【課題】測定位置および方向を変える場合でも、検出器の取り付けを変更せずに検出器ホルダの取り付け方向のみを変更すればよく、測定点が測定平面からずれない真円度測定装置の実現。
【解決手段】ベース21と、載置されたワーク32を回転する回転台22と、回転台の回転軸に対して平行に伸び、回転台の回転軸とワークの測定点を含む測定平面に平行に移動可能なコラム24と、コラムに沿って移動可能に支持されたキャリッジ25と、キャリッジに取り付けられた検出器ホルダ29と、測定子31が測定平面で変位可能なように、検出器ホルダに取り付けられた検出器30と、を有し、検出器ホルダは、測定平面に垂直な回転軸を中心とした異なる回転位置でキャリッジに取り付け可能で、異なる回転位置に取り付けても測定子が測定平面で変位可能な状態が維持される真円度測定装置。 （もっと読む）

【課題】
非接触座標測定機の真直度の評価作業に時間が掛からないようにする。
【解決手段】
直方体形の基材１１と基材１１の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体１６，１７，１８，１９とからなる評価用標準器１を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての校正値Ａを得る第１の手順と、評価する非接触座標測定機２で評価用標準器１を測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての測定値Ｂを得る第２の手順と、測定値Ｂから校正値Ａを引いた補正値Ｃから非接触座標測定機２の真直度を評価する第３の手順とを実行する。 （もっと読む）

【課題】波長が１３．５ｎｍ付近の極端紫外(Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ)光を露光光源とする反射型マスクの欠陥修正技術を利用した半導体集積回路装置の製造技術を提供する。
【解決手段】位相欠陥２１１が生じている開口パターン２０４の近傍の吸収層２０３に、開口パターン２０４よりも微細な開口径を有する補助パターン３０１を形成する。この補助パターン３０１は、ウエハ上のフォトレジスト膜に開口パターン２０４を転写する際の露光光量を調整するためのパターンである。 （もっと読む）

【課題】細管などの狭い部分の奥深くにまでスタイラスを挿入することができるように小型化することが可能な測定部を備えた表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】表面粗さ測定装置１０は、材料表面９０に接触する触針１２８を有するスタイラス１２０と、スタイラス１２０を材料表面９０に並行に対して走査するキャリッジ１１０と、スタイラス１２０に設けられ、触針１２８の上下動に応じて上下動する光反射部材１３０であって、該上下動の方向に湾曲した反射面を有する光反射部材１３０と、第１端面１４２が光反射部材１３０の反射面に面するように第１端部１４２がキャリッジ１１０に固定された細長い導光部材１４０であって、第２端面１４４から入射された光を第１端面１４２まで導き該第１端面１４２から出射して反射面に照射し、反射面で反射して第１端面１４２に入射する反射光を第２端面１４４まで導く導光部材１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】路面の凹凸評価或いはそれに必要な計測を行うことが出来、路面の凹凸評価或いはそれに必要な計測を行う車両の走行速度の変動に対処することが出来る路面凹凸評価システムの提供。
【解決手段】車両（１）に搭載された路面凹凸評価装置（１０）と、当該車両（１）の車速を計測する速度センサ（４）と、当該車両（１）の垂直方向（上下方向）加速度を計測する加速度センサ（６）と、衛星（７）からの信号に基づいて当該車両の現在位置の情報（位置情報）を取得する装置（ＧＰＳレシーバー８）を備えている。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度の経時変化を把握する方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】長尺体の直線度の経時変化を把握する方法は、角速度センサーが取り付けられた移動体を、長尺体にガイドされながら移動させる移動工程（Ｓ３）と、前記移動体が移動した際の前記角速度センサーの姿勢の変化の情報を前記角速度センサーが取得する取得工程（Ｓ４）と、前記角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、情報処理部が関連づけして情報処理する情報処理工程（Ｓ５）と、定期的に前記移動体を移動させ、その都度前記情報処理部が前記情報処理し、該情報処理した結果の経時変化を、記憶部が記憶する記憶工程（Ｓ６）と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度を容易に測定することを考慮した方法を提供すること。
【解決手段】長尺体の直線度を測定する測定方法は、角速度センサーが取り付けられた移動体を、長尺体にガイドされながら移動させる移動工程（Ｓ２）と、前記移動体が移動した際の前記角速度センサーの姿勢の変化の情報を前記角速度センサーが取得する取得工程（Ｓ３）と、前記角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、情報処理部が関連づけして情報処理する情報処理工程（Ｓ４）と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度を容易に測定することを考慮した直線度測定装置を提供すること。
【解決手段】長尺体１３の直線度測定装置１は、第１直線ガイド部材２と、第２直線ガイド部材３と、移動体４と、角速度センサー（５）と、情報処理部１０と、測定対象の長尺体１３と前記第２直線ガイド部材３とが一つの直線軸を形成するように、前記測定対象の長尺体１３を取り付け可能な取り付け部１１と、を備え、前記移動体４が、前記第１直線ガイド部材２と前記長尺体１３とにガイドされて一の方向へ移動し、前記移動体４が移動している間の前記角速度センサー（５）の姿勢の変化の情報と前記長尺体１３における移動中の前記角速度センサー（５）の位置との関係を、前記情報処理部１０が関連づけして情報処理することにより前記長尺体１３の直線度を測定する構成であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 物品の表面の筋目の存在を容易かつ精度良く判定できるようにする。
【解決手段】 第１工程で、物品の表面の位置に対する高さの関係を示す第１の曲線（粗さ曲線）を相互に平行な複数の測定ラインに沿って測定し、第２工程で、第１の曲線をフーリエ変換することで物品の表面の凹凸の周波数に対する振幅の関係を示す第２の曲線に変換し、第３工程で、複数の第２の曲線のピークの重なり状態に基づいて物品の表面に測定ラインに交差する方向の筋目が存在するか否かを判定するので、複数の測定ラインに沿って第１の曲線を求める始点位置がずれても筋目の存在を確実に判定することができ、しかも第２の曲線のピークの高さから筋目の深さあるいは高さを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】測定時間の短縮が図れる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗを載置する回転テーブル２０と、被測定物の表面性状に応じた信号を発する検出手段３０と、回転テーブルおよび検出手段を相対移動させる検出器駆動機構４０と、検出手段からの信号を取り込み、この取り込んだ信号を処理して被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状を求める処理装置６０とを備える。検出手段は、複数の検出器３１，３２を含んで構成される。処理装置６０は、複数の検出器３１，３２からの信号を順番に取り込んで処理する。 （もっと読む）