【課題】測定対象の移動距離、或いは測定対象が小さい場合でも測定を可能とする。
【解決手段】測定基準物１及び測定基準物１に沿って一定の測定間隔ｄ１で直線移動及び停止可能なステージ３と、測定基準物１及びステージ３の表面形状及び運動軌跡間の相対変位を検出する変位センサ７とを備え、ステージ３上の２点につき測定間隔ｄ１毎に相対変位を測定した結果に基づき測定基準物１及びステージ３の形状誤差、運動誤差を求める真直度測定装置において、相対変位の測定間隔ｄ１毎の測定を、ステージ３の２点についてステージ３の移動を繰り返し変位センサ７を各別に配置して行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 短時間に、精度の高いＳＰＭ測定を行うことができる複合型顕微鏡を提供する。
【解決手段】 プローブにより試料３表面を走査し物性値の力を検出し画像化可能にしたＳＰＭ６、試料３の表面形状の３次元情報を取得可能にしたＬＳＭを有し、ＬＳＭにより取得された３次元情報に基づいて制御部１１によりＳＰＭ６の走査軌道情報を求め、該走査軌道情報に基づいてプローブの走査軌道を制御する。 （もっと読む）

【課題】 余分な振動をカット（相殺）して、カンチレバーのみの振動特性で該カンチレバーを振動させること。
【解決手段】 試料に対向配置され、先端に探針３ａを有すると共に基端側が本体部３ｂに片持ち状態に支持されたカンチレバー３を固定するものであって、カンチレバーを試料に対して所定角度傾けた状態で本体部を載置して固定する載置台１０と、該載置台に固定され、所定の波形信号に応じた位相及び振幅で振動する第１の加振源１１と、該第１の加振源が固定されたホルダ本体１２と、該ホルダ本体の少なくとも１箇所に固定され、第１の加振源から載置台及びホルダ本体に伝わった振動を、相殺させる振動を発生させる第２の加振源１３とを備えている加振型カンチレバーホルダ２を提供する。 （もっと読む）

【課題】液中観察を行うにあたり、誰でも簡便、確実且つ短時間に試料を固定すること。
【解決手段】試料Ｓを溶液Ｗ内に浸した状態で固定するものであって、試料を載置する載置面１０ａを有する底板１０と、載置された試料の周囲を囲むように底板上に設けられ、囲んだ内側に溶液を貯留可能な壁部１１とを有する下部マウント２と、壁部の上面に接する上板２０と、該上板の外縁から略９０度折曲されるように形成され、壁部の外周面に接するフランジ部２１とを有し、下部マウントに対して上方から嵌合可能な上部マウント３と、該上部マウントが嵌合したときに、試料の外縁に接触して該試料を上方から載置面に押し付ける押さえ部材４とを備え、壁部の外周面及びフランジ部の内周面には、下部マウントに対して上部マウントを捩じ込みながら嵌合させる嵌合手段５が設けられている液中セル１を提供する。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーに対して垂直方向に高い探針を備える計測プローブ及びこのような探針を容易に形成することができる計測プローブの製造方法を提供すること。
【解決手段】計測プローブ１は、導電性ポリマーを含むカンチレバー２と、カンチレバー２の固定端２ａが接続されてカンチレバー２を片持ち支持する基部３とを備えている。カンチレバー２は、固定端２ａが基部３に接続される一方、自由端２ｂがカンチレバー２の軸線方向及び面内方向に対して垂直方向のそれぞれに対して先鋭に形成されている。カンチレバー２の固定端２ａと自由端２ｂとの間には湾曲部（曲げ部）２Ａが配されており、固定端２ａ側の面内方向に対して自由端２ｂ側が垂直方向に曲げられて探針５となっている。 （もっと読む）

【課題】ワークの評価範囲の設定及び触針の評価範囲の開始位置への移動及び終了位置での移動停止が容易に且つ正確に行える表面粗さ／形状測定装置の実現。
【解決手段】触針28を有し、触針の変位信号を出力する測定子22と、測定子移動機構24とを備える表面粗さ／形状測定装置であって、オペレータの指示する評価範囲設定情報の入力部42,44と、評価範囲設定情報が入力された時の触針の被測定物の表面との初期接触位置Piから触針を接触させた状態で移動させて評価範囲設定情報に基づいて測定開始位置Psを決定する測定開始点検出部52と、触針を移動させ評価範囲設定情報に基づいて測定終了位置Peを決定する測定終了点検出部54と、評価範囲設定情報に基づいて評価範囲を決定する評価範囲決定部56とを備える。 （もっと読む）

【課題】 アスペクト比の高い凹凸を有する試料の表面形状を感度良く観察することが可能であるとともに、試料の電気特性を検出することが可能であるプローブを提供する。
【解決手段】 プローブ２０は、先端部２１ａが先鋭化されるとともに基端部２１ｂが略棒状に形成され、導電性を有し、試料上を走査される探針２１と、探針２１が先端部２２ａに突出して設けられるとともに、探針２１と電気的に接続される配線２９が配設されたカンチレバー２２と、カンチレバー２２の基端部２２ｂを、先端部２２ａが自由端となるように片持ち状態で固定する本体部２３とを備えている。探針２１の基端部２１ｂの断面形状は、中空部３０を有する略Ｃ形で、プローブ２２の中心軸２２ｄに対して略線対称となっている。 （もっと読む）

【課題】 観察等を行う箇所を容易に再現良く探し出すことが可能な顕微鏡用サンプル板を提供すること。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡や光学顕微鏡での試料の観察，測定又は加工に用いるための顕微鏡用サンプル板７であって、当該サンプル板７が透明材料からなり、低い拡大倍率で視認可能な低倍率用マーキング２ａと、当該低倍率用マーキング４ａの内側又は周縁に形成されていて、高い拡大倍率で判別可能な高倍率用マーキング４ｃとを有し、当該高倍率用マーキング４ｃの内側又は周縁に試料等５を有していることを特徴とする顕微鏡用サンプル板７である。 （もっと読む）

【課題】 走査プローブ顕微鏡を用いて、凹凸形状を有する試料（特に急峻なエッジを有する試料）を測定する際には、ユーザによる測定パラメータの設定により、測定形状に誤差が発生する場合がある。本発明は、ユーザの判断によって測定パラメータを設定することなく、容易に、適切な各測定パラメータを設定することができる手法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明では、走査プローブ顕微鏡を用いた試料測定において、スキャン速度、フィードバックゲイン、接触力等の各測定パラメータを変化させて実際の測定対象を測定し、その測定形状から得られた特徴量を用いて適切な測定パラメータを設定する。 （もっと読む）

【課題】 製品ばらつきが小さく、製品歩留まりが高い櫛歯型プローブを提供すること。
【解決手段】 櫛歯型プローブ１０は、静止部１、可動部２、探針３および支持部４を備えている。櫛歯ドライブ１０ａは、静止部１の櫛歯状凹凸部と可動部２の櫛歯状凹凸部とが非接触で噛合し、交流電源７によって与えられる静電力により可動部２がＺ方向に振動する。櫛歯型プローブ１０は、可動部２を励振するのに圧電体層のような機能性薄膜を用いないので、製品歩留まりが高い。可動部２が外力（探針３−試料Ｓ間の原子間力）の影響を受けると、櫛歯ドライブ１０ａのアドミッタンスが変化する。アドミッタンス検出器２０によりアドミッタンスを検出し、この検出値から可動部２の変位量を求める。 （もっと読む）