【課題】高価な検出器を用いなくとも測定の精度が低下するおそれのない干渉計及びそれを備えた分光装置を提供する。
【解決手段】干渉計２は、光源１１と、該光源１１からの光を平行光に変換するコリメータ光学系１２と、該平行光を透過光Ｔと反射光Ｒに分離して偶数個の固定鏡Ｍ１、Ｍ２に導くとともに、偶数個の固定鏡Ｍ１、Ｍ２にて互いに逆方向の光路に反射された透過光Ｔと反射光Ｒとを合成して出射するビームスプリッタＢＳと、該ビームスプリッタＢＳにて合成され出射された光を集光する集光光学系１６と、該集光光学系１６にて集光された光を受光する検出器１７とを備える。ビームスプリッタＢＳは、ビームスプリッタＢＳから離間した回転軸Ｘの回りに回転する。 （もっと読む）

【課題】ステップ走査干渉計を、最適に機能させる方法を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態では、ステップ走査赤外線（IR）分光干渉計における路長差（遅延）は、ステップ変更に続く第1の期間について交流サーボ機構（サーボ）制御下で、および、第1の期間に続く第2の期間について直流サーボ制御下で維持される。データは、直流サーボ制御期間中および/または直流サーボ制御期間後に取得される。データ取得前に交流サーボ制御を停止することで、ディザー周波数ノイズを制限することができる。さもないと、ディザー周波数ノイズは、高速時間分解分光法（TSR）などの高速時間スケール用途で特に、対象となる信号に影響を与える可能性がある。鏡位置制御回路は、鏡位置ステップ、および、交流から直流への鏡サーボ制御の切り換えを制御する。 （もっと読む）

【課題】 テラヘルツ時間領域分光装置において光軸上に配置させた複数のレンズを用いて光路長を変化させる時間遅延機構を提供する。
【解決手段】
テラヘルツ時間領域分光装置の時間遅延ユニットにおいて、レーザー光の光軸を中心として、入射面が該光軸と垂直になるように配設した複数のレンズと、レンズの一つから入射したレーザー光を折り返し他のレンズより出射可能に配設したミラーと、レンズに対するレーザー光の入射位置を移動することによって光路長を可変とする手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 手持ち式分光計に組み込むことができる干渉計を開示する。
【解決手段】 干渉計は、包囲光路光学部品群と検出器を有し、包囲光路光学部品群は少なくとも２つの反射素子（２２１、２２２）とビームスプリッタ（２１０）を有し、ビームスプリッタは入力ビーム（２０５）を第１および第２ビーム（２３１、２３２）へ分割する。包囲光路光学部品群は第１および第２のビームを、領域を包囲する光路の逆方向に周回させ、第１および第２のビームを検出器（２５０）に向けて出力する。検出器は第１および第２のビームの干渉により生じたパターンを検知する。好ましい実施例では、２つの反射素子は一対の凹面鏡であり、包囲光路光学部品群は三角形の領域を包囲する。反射および結像のために凹面鏡を使用するので干渉計は小型になる。 （もっと読む）

【課題】干渉性の高い基準光源を用いずに移動鏡１５の位置を求めることができ、これによって、小型で高分解能のフーリエ変換型の分光器１を実現する。
【解決手段】駆動機構２１は、共振によって移動鏡１５を移動させ、時間経過とともに移動鏡１５の位置を周期的に変化させる。この構成において、移動鏡位置算出機構２３は、移動鏡１５の基準位置Ｘ０と変位が最大の位置Ｘｍとの間の位置Ｘｐを検出し、位置Ｘｐよりも変位が大きい位置Ｘｅを外挿法によって算出し、算出した位置Ｘｅを干渉強度測定点に対応する移動鏡１５の位置とする。外挿法によって干渉強度測定点に対応する移動鏡１５の位置Ｘｅを算出するので、移動鏡１５の変位量を大きくして、高分解能の分光器１を実現する場合でも、干渉性の高い基準光源（例えば大型のＨｅ−Ｎｅレーザ）を用いることなく、干渉強度測定点に対応する移動鏡１５の位置Ｘｅを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】外部光源の放射スペクトルを測定する分光光度計において、外部光を導入するための専用の導入開口及び光軸を切り換えるための光軸切換機構を必要としない分光光度計を提供する。
【解決手段】内部光源を交換可能な分光光度計において、内部光源を取り外した後、図示しない光源位置決め部品に着脱可能な、外部ミラー５及び内部ミラー６により構成される外部光導入光学装置４が装着されることを特徴とする。また、外部ミラー５に、その鏡面を外部光源の方向に向けるための光軸調整軸７を備えさせることにより、外部光源を専用の保持機構に取り付けることなく、設置状態のままで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】接着剤を用いずに剛体３３・３４と板ばね３１・３２とを連結できる構成とすることにより、干渉計や分光器を小型化しながら高精度な干渉による高分解能を実現する。
【解決手段】板ばね部３１・３２は、対向配置されており、互いに離間して配置される剛体３３と剛体３４との間の空間を介して対向する平板部３１ｐ・３２ｐをそれぞれ有している。剛体３３・３４は、各平板部３１ｐ・３２ｐよりも厚いので、駆動部３５による板ばね部３１の曲げ変形時に、固定された剛体３４に対して剛体３３を大きく変位させることができる。また、剛体３３・３４は、ガラスまたはシリコンで構成されているので、剛体３３・３４と板ばね部３１・３２との連結に、接着剤なしで連結する方法を用いることが可能となる。これにより、接着剤に起因する製造誤差を排除することができ、干渉計や分光器においては、従来のようなコーナーキューブの設置が不要となる。 （もっと読む）

垂直性および分散の問題を解決するためバランス界面を使うマイクロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）干渉計を提供する。ＭＥＭＳ干渉計は、第１媒体の第１表面上で第１媒体と第２媒体との界面に形成されたビームスプリッタ、第１媒体の第２表面に形成された第１のミラー、第１媒体の第３表面上に形成された第２のミラー、およびバランス界面を有する。ビームスプリッタは、入射ビームを受け取り、第１媒体中を伝播する第１干渉ビームおよび第２媒体中を伝播する第２干渉ビームに分けるよう、光学的に結合されている。第１のミラーが第１干渉ビームを受け取り第１干渉ビームを反射して第１の反射した干渉ビームを生成するよう光学的に結合しており、第２のミラーが第２干渉ビームを受け取り、第２干渉ビームを反射して第２の反射した干渉ビームを生成するよう結合されている。第１干渉ビームおよび第２干渉ビームのそれぞれの光路にバランス界面があり、ティルト角の相違および位相誤差の相違を最小にする。 （もっと読む）

【課題】インコヒーレント光を用いた測定において回折限界以下の空間分解能を得る。
【解決手段】膜質評価装置１は、マイケルソン干渉計３で赤外光の干渉光を形成した後に、ビームスプリッタ１２で第１の測定光と第２の測定光に分岐させる。第１の測定光と第２の測定光は、測定対象物Ｗの表面に位置をずらして照射させる。これにより、２つの測定光が重ねあわされる領域と重ね合わされない領域が形成される。差分処理部２１で２つの測定光を受光したときの光強度信号の差分を算出し、このデータに基づいてフーリエ変換することで赤外スペクトルを得る。 （もっと読む）