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国際特許分類[G01J3/45]の内容

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【課題】測定の感度向上と確からしさの向上をもたらすCD測定装置及び方法を提供すること。
【解決手段】円二色性測定装置は、直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差(δ)を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分(DC)、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分(AC)をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比(AC/DC)に前記位相差の変調振幅(δ)を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。
【解決手段】 光源Aからの光を固定鏡2と一対の回転鏡3a、3bとに二分割し、これら固定鏡2並びに回転鏡3a、3bから戻った光を再び合成して干渉光を得る二光束干渉計であって、上下方向に沿って延設され、その上下に前記一対の回転鏡3a、3bを互いに平行な姿勢で保持する回転アーム4と、回転アーム4を回動可能に保持する支持軸5と、回転アーム4の下端部で支持軸5を支点として回転アーム4を反復揺動させる駆動源7と、回転鏡3a、3bからの光を反射して回転鏡3a、3bに戻す固定反射鏡9とからなり、回転アーム4の回動を停止して回転アーム4が自重により静止した位置で、二分割された固定鏡側の光と回転鏡側の光の光路差が0のセンターバースト位置となるように、上下の回転鏡3a、3bの位置が予め調整される構成とする。 (もっと読む)


【課題】外乱による信頼性の低下を抑えた分光特性測定装置とその制御方法、分光特性測定方法、及び光路長差伸縮機構を提供する。
【解決手段】本発明は、被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つにまとめた後、分割光学系によって第1反射部と第2反射部に導き、前記第1反射部と前記第2反射部の相対位置に影響を及ぼす外乱を推定し、該外乱を解消するように前記第1反射部と前記第2反射部の少なくとも一方を移動させることにより前記第1反射部によって反射された第1反射光と前記第2反射部によって反射された第2反射光の光路長差を伸縮させつつ、前記第1反射光と前記第2反射光を結像光学系によって同一点に導き、その点の干渉光強度変化に基づき前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する。 (もっと読む)


【課題】光路長差を伸縮させるために低価格の駆動装置を用いながらも、高精度なインターフェログラムを得ることができる分光特性測定装置及び分光特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の分光特性測定装置は、被測定物Sの測定点から発せられた光を対物レンズ2によって固定ミラー部161、可動ミラー部162に導き、これらミラー部161、162によって反射された光を結像レンズ18によって同一点に導く。制御部22は可動ミラー部162を繰り返し移動、停止させて固定ミラー部161、可動ミラー部161によって反射された光の光路長差を間欠的に伸縮させる。処理部24は、前記可動ミラー部162が各停止位置にあるときに同一点に導かれた光の強度を検出し、これら光強度とそのときの光路長差の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度を求め、この光強度に基づきインターフェログラムを作成する。 (もっと読む)


【課題】検出感度の低下を招くことなく高精度に眼底の分光特性を測定することができる眼底分光特性測定装置及び眼底分光特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の眼底分光特性測定装置1は、光源からの光を被検眼眼底Sbに照射して該眼底Sbから発せられる光を対物レンズを通して第1反射部16と第2反射部15に導く。そして第1及び第2反射部16、15で反射された第1及び第2反射光を結像レンズで同一点に導き、干渉光強度を検出部24で検出する。位相シフター14によって第1及び第2反射光の光路長差を伸縮させつつ検出部24で干渉光強度変化を検出し、処理部30はその干渉光強度変化からインターフェログラムを求める。このとき、処理部30は結像レンズの光軸と結像面の交点から受光素子までの距離、結像レンズの焦点距離、第1反射部16の移動量から光路長差を算出し、光路長差に応じてスペクトルを補正する。 (もっと読む)


【課題】広視野分光イメージングを行う場合であっても高精度に分光特性を測定することができる分光特性測定装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】測定モードでは被測定物の各輝点から発せられた光を分割光学系を通して第1及び第2反射部に入射させ、そこで反射された光を結像光学系によって干渉像を形成する。第1反射部を移動させることにより分割光学系から第1及び第2反射部を経て結像光学系に向かう第1及び第2反射光の間の相対的な光路長差を伸縮させ、そのときの干渉像の光強度変化に基づき被測定物の各輝点のインターフェログラムを求める。校正モードでは、輝点から出射される所定波長λの光を分割光学系に入射させることにより、該輝点に対応する複数の干渉像を形成させ、そのときの光強度変化に基づき該光強度変化の1周期に対応する第1反射部の移動量を求め、輝点の波長λ、第1反射部の移動量、前記干渉像の画角θから前記第1反射部の設置角を求める。 (もっと読む)


【課題】光路長を可変にするためのメカニズムとして、小型で簡単な装置構成の採用を可能とする光路長可変装置を提供する。
【解決手段】入射光学系2と固定平面鏡Mfと可動平面鏡群Mmを備え、入射光学系2より第1光軸に沿って入射された第1光線L1が可動平面鏡群で複数回反射されて第2光線L2となり、第2光線が固定平面鏡で反射されて第3光線L3となり、第3光線が再度可動平面鏡群で反射されて第4光線L4となって第1光線とは逆の向きに進んで射出し、可動平面鏡群が固定平面鏡および第1光軸に対して相対運動することにより、入射から射出までの光路長が可変となる光路長可変装置であって、第2光線が固定平面鏡に垂直入射するように第1光軸、可動平面鏡群、固定平面鏡の各々が配置されている。 (もっと読む)


【課題】平板型のBSを用いた小型、安価な構成で、BSで発生するゴースト光の影響を抑えながら、干渉強度の高い良好な干渉光を得る。
【解決手段】干渉計では、レーザ光源から出射されたレーザ光を平板型のBSで2光束に分離し、それぞれを別々の反射光学素子で反射させた後、BSに再度入射させて干渉させる。干渉光は、BSからレーザ光源とは異なる方向に出射され、光検出器にて検出される。BSは、平板状の基板と、上記基板の表面に形成される反射透過膜と、上記基板の裏面に形成される反射防止膜とを有している。上記基板の反射透過膜が形成された面でのレーザ光の反射率および透過率をそれぞれRbおよびTbとし、上記基板の反射防止膜が形成された面でのレーザ光の反射率をRaとすると、以下の条件式(1)および(2)を満足する。すなわち、(1)1.5<Rb/Tb<20、(2)Ra<0.03である。 (もっと読む)


【課題】平板型のBS13を用いたときの2光束の光路差の補償を、光学部品の部品点数を増大させることなく行って、小型で組み立てが容易な構成を実現する。光学面の枚数を少なくして、BS13に対する入射光の強度が微弱な場合でも、干渉光を確実に得る。
【解決手段】干渉計2では、透明基板13aの片面が反射透過面である平板型のBS13で入射光を2光束に分離し、2光束を固定鏡15および移動鏡14でそれぞれ反射させた後、BS13で合成して干渉させる。固定鏡15および移動鏡14のどちらか一方は、裏面反射鏡で構成されている。この裏面反射鏡は、BS13の反射透過面で反射された一方の光束と上記反射透過面を透過した他方の光束とで、BS13で分離されてから合成されるまでに透明基板13aを通過する回数が異なることによって生ずる上記両光束の光路差を補償する平板15bの裏面に反射膜15aを一体的に形成して構成されている。 (もっと読む)


【課題】簡素な構成からなる位置検出装置を得る。
【解決手段】所定の移動方向(矢印AR)に移動する板ばね部41(被測定物)の位置を検出する位置検出装置70は、受光部72Aと、受光部72Aに対向し受光部72Aに向けて測定光80を投光する投光部71Aとを備える。受光部72Aおよび投光部71Aは、受光部72Aおよび投光部71Aの間で移動する板ばね部41の移動方向(矢印AR)に対して、測定光80が斜めに交差するように配置される。板ばね部41の移動に伴って、測定光80の一部は板ばね部41に遮られるとともに、測定光80の残部は受光部72Aに到達する。受光部72Aが受光する測定光80の残部の受光量に基づいて、板ばね部41の位置が検出される。 (もっと読む)


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