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国際特許分類[G01J5/12]の内容

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【課題】検出したい対象物投影エリア形状に対応したメンブレン形状を有するサーモパイルセンサ型赤外線検出器の提供。
【解決手段】異なる二種の電極材で構成された熱電対をメンブレン上に温接点、ヒートシンク上に冷接点となるように配置し、その熱電対を直列に接続し、その上に絶縁保護膜を設けたサーモパイルチップに於いて、ドライエッチング工法によりダイアフラム加工を行う際、正方形又は長方形の四角形状、あるいは丸形形状以外の多角形形状にてメンブレンを形成する。 (もっと読む)


【課題】常に一定の温度制御と、1850度以上の高温領域における温度制御が可能な加熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】処理室と、処理室内に設けられた加熱物支持部材と、加熱物支持部材内に配置された加熱手段と、加熱物支持部材の温度を測定する温度測定手段とを有する加熱処理装置であって、温度測定手段が、処理室の周壁に設けられた加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを透過可能な透過窓の外部に配置されており、温度測定手段が、加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを集光する集光部と、赤外線内の2波長の強度比に基づいて温度を算出する算出部とを有する。 (もっと読む)


【課題】高密度ポリエチレンからなるキャップを具備したサーモパイル型赤外線検出装置に於いて、赤外線透過性の高密度ポリエチレンからなるキャップ測温用サーミスタをサーモパイル型赤外線検出装置へ具備する為の接着剤固定等の組み込み作業が追加される事により、サーモパイル型赤外線検出装置自身のコストアップにつながっている。
また、キャップ測温用サーミスタの組み込み性からリード線を細くする必要があり、組み込み作業の難易度が高いことからコストアップにつながっている。
【解決手段】キャップと測温用サーミスタの組み込み作業となる接着剤固定を廃止し、リード線を太くする事で、予めリードフォーミングされた測温用サーミスタをキャップ成型時に一体成形する事で測温用サーミスタ付きキャップとしてサーモパイル型赤外線検出装置へ具備する事を特徴としている。 (もっと読む)


【課題】サーモパイルの使用態様に応じたサーモパイルの温度特性を計測し、温度特性の安定性を評価可能なサーモパイル評価装置を提供する。
【解決手段】サーモパイル保持部7の台座部7bをC方向に移動させて、円筒状ローラ6aと被評価サーモパイルとの離間距離Xや、台座部7bを基部7aに対して上下方向に移動させてサーモパイル4の検出面4aを円筒状ローラ6aの基準面6a1に対する高さYを変更させて、サーモパイル4の計測条件を変更可能となっている。同様に、サーモパイル保持部7の支持部7cをE方向に回動させて、円筒状ローラ6aの基準面6a1に対する傾斜角θを種々変更させてこれらの計測条件の変更に伴うサーモパイル4の温度特性の安定性を計測評価することが可能となっている。 (もっと読む)


【課題】半導体や液晶パネル製造装置等において薬液、純水やこれらの混合液等の液体を応答性よく検出するようにした非接触式温度検出装置の提供。
【解決手段】両配管P8、P9の間に接続した非接触式温度検出装置S1の基体200において、四角柱部210は連通路210a及び凹所210bを有し、凹所210bは四角柱部210の上側端面213から連通路210aの軸方向中央部に向け凹状に形成され、凹所210bの底壁部212bは、連通路210aの周壁の壁部を構成し、薄く形成されている。凹所210bを閉じるように四角柱部210に組み付けたハウジング300の底壁330には、サーモパイル型温度センサ340が嵌着されて、凹所210bの内部を介し底壁部212bに対向している。当該温度センサ340は、連通路210a内の液体から凹所210b内に底壁部212bを通り放射される熱放射エネルギーに基づき上記液体の温度を検出する。 (もっと読む)


【課題】従来の手法では、検出対象物の放射率に合わせサーモパイル型赤外線検出装置にて出力調整を行う事で検出温度を算出する為、検出対象物の変化、あるいは検出対象物の放射率が変化すると検出対象物の測温精度が低下するという課題がある。また、別基板にて具備されたフォトインタラプタにて検出対象物の反射率を測定する事により検出対象物の放射率を算出し、サーモパイル型赤外線検出装置からの検出出力への補正を行う手法に於いては、別々の領域を測定している事から、片方の測定領域が汚れ等により、放射率が変化した場合、補正にズレが発生し、誤検出が問題となっている。
【解決手段】本発明は、検出対象物の反射率を測定する事により検出対象物の放射率を算出する為のフォトインタラプタをサーモパイル型赤外線検出装置と同一基板上に具備しサーモパイル検出領域と同一の領域を検出する事により測温精度を向上する事を特徴としている。 (もっと読む)


【課題】赤外線センサから離れた領域において高い分解能で温度を検出できる赤外線センサを提供する。
【解決手段】基板と、基板の上に設けられた絶縁膜と、絶縁膜上に、1軸上に配置された第1画素と第2画素とを含み、所定の検出領域の温度を検出する赤外線センサが、それぞれの画素は、絶縁膜の上に設けられた温接点と冷接点を有する熱電対と、熱電対の温接点を覆うように設けられた赤外線吸収膜とを含み、第1画素とその検出領域との間の距離は、第2画素とその検出領域との間の距離より大きく、第1画素の赤外線吸収膜の面積は、第2画素の赤外線吸収膜の面積より小さい。 (もっと読む)


【課題】被験者の尿温を測定するにあたり、可及的高精度な尿温測定を行うことのできる尿温測定装置を提供する。
【解決手段】被験者の排泄する尿の温度を測定する尿温測定装置において、被験者の排泄時の局部近傍に設定した所定領域内の物体から放射される赤外線を受けて当該所定領域内の温度分布を計測する放射温度計測手段と、前記被験者が前記放射温度計測手段の計測動作開始を指示する動作開始指示手段と、被験者の便座への着座を検出する着座検出手段と、前記動作開始指示手段からの計測動作開始指示により、前記放射温度計測手段の計測動作を開始させる制御を行なう尿温計測制御手段と、を備え、前記尿温計測制御手段は、前記着座検出手段が非着座状態を検出している間は、前記動作開始指示手段からの計測動作開始の指示を無効にすることとした。 (もっと読む)


【課題】温度の誤検出を少なくすることができる定着装置を提供する。
【解決手段】非接触サーミスタの測定結果を用いて、加熱ローラを所定温度(例えば定着温度である180℃)とする(S101)。非接触サーミスタの近傍に設けられた非接触型センサユニット(サーモパイル)を用いて、加熱ローラの温度を測定する(S103)。非接触サーミスタの測定温度(実測値を補正した補正後温度)と、非接触型センサユニットの測定温度との差を演算する(S105)。その差が所定値(例えば3℃)を超えると(S107でYES)、非接触型センサユニットの汚れなどによる、非接触型センサユニットの測定エラーが生じているとして、エラー表示を行なう。 (もっと読む)


【課題】検知できる測定対象物の投影幅を小さくすることが可能であり、測定対象物サイズの選択自由度を向上させた測定対象物の位置測定システムを提供する。
【解決手段】測定対象物と光センサと光学系とを有する光熱エネルギー検出による測定対象物の位置測定システムにおいて、光センサは、複数の光検出素子の行又は列の配列方向が、測定対象物の一方向に対して45度傾斜されるよう測定対象物と対向して配置されて、光センサと測定対象物との相対的な位置関係が変化することによる、光センサの検出エリア内での測定対象物の一方向の輪郭を、周辺との温度差を追従することで検出する。 (もっと読む)


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