【課題】外力を測定することができる触覚センサを提供する。
【解決手段】風速等の外力を測定するための触覚センサであって、第１導電部材１１と、第１導電部材１１と所定の間隔で配置された第２導電部材１２と、第１導電部材１１を内部に備えた弾性部材１３と、弾性部材１３に設けられ、外力を受ける触覚部材１４と、外力を検知するための検知部とを有する。弾性部材１３は、触覚部材１４が受けた外力によって変形し、これにより、第１導電部材１１と第２導電部材１２の間の静電容量が変化する。この静電容量の変化に基づいて外力を検知する。 （もっと読む）

【課題】操作部の倒れ方向及び倒れ度合いを検出するのと同時に、この操作部のねじれ度合いを検出可能とする３軸力センサを提供する。
【解決手段】ダイアフラム１１と、ダイアフラムの面上に設けられこれを変形させる操作部２０と、操作部の操作によってこれに作用する直交座標系のＸ軸方向とＹ軸方向の操作力を検出すると同時に、直交座標のＺ軸方向のねじり力も検出する力センサ３００を備え、ダイアフラム上の第１の直交座標のＸ軸とＹ軸上にそれぞれ原点に対して対称に配置され操作部のＸ軸方向とＹ軸方向への操作力を検出する力センサ素子と、ダイアフラム上であって第１の直交座標と原点及びＺ軸を共通にしかつ第１の直交座標と異なる角度をなす第２の直交座標のＸ軸とＹ軸上にそれぞれ原点に対して対称に配置され操作部のＺ軸廻りのねじり力を検出する力センサ素子を有する。 （もっと読む）

【課題】低電圧で、かつ、タイムラグおよび温度ムラなく歪検出用抵抗素子の発熱を促進することができ、これにより電圧印加後から定常状態になるまでの時間を大幅に短縮することができる力覚センサ用チップを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る力覚センサ用チップ１００は、外力を検出するための力覚センサ用チップ１００であって、外力が印加される作用部１１と、作用部１１を周囲から支持する支持部１２と、作用部１１と支持部１２とを連結する連結部１３と、を有するベース部材１０と、前記外力が印加された場合におけるベース部材１０の変形発生部に形成された複数の歪検出用抵抗素子Ｓと、歪検出用抵抗素子Ｓの上層に、抵抗素子用配線２１および層間絶縁膜２５を介して形成された薄膜抵抗２２と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】連結した小さい負荷、あるいは、大きい負荷によってもたらされる複数方向の応力と偶力とをそれぞれ適切に測定することができる多分力ロードセルを提供する。
【解決手段】基部２から直交する四方に向けて放射状に突設した断面積の小さい第１アーム６を、基部２を囲繞して配置した第１枠体３に連結するとともに、前記第１枠体３から四方に向けて放射状に突設した断面積の大きい第２アーム７を、第１枠体３の外側に配置した第２枠体としての固定枠体５に連結し、第１アーム６および第２アーム７の外面にそれぞれ歪ゲージＧａ，Ｇｂを付設してある。 （もっと読む）

【課題】駆動機能と力検出機能を備えた装置の構造単純化／薄型化を図る。
【解決手段】上方基板１５と下方基板２５との間に、２本のリニアアクチュエータＵ１，Ｕ２を、互いに逆方向に傾斜するように配置する。アクチュエータＵ１，Ｕ２の上端は、上方膜部１１，１２を介して上方基板１５に接続され、下端は、導電性の下方膜部２１，２２を介して下方基板２５に接続される。上方基板１５に右方向の力が作用して右方へスライドすると、Ｕ１は寝る方向へ傾いて下方膜部２１は上方へ変形し、Ｕ２は立つ方向へ傾いて下方膜部２２は下方へ変形する。下方膜部２１と電極Ｅ５による容量素子と、下方膜部２２と電極Ｅ６による容量素子との容量値の差により、Ｘ軸方向の力検出を行う。両容量値の和により、Ｚ軸方向の力検出もできる。アクチュエータＵ１，Ｕ２を伸縮駆動すれば、上方基板１５を移動させたり回転させたりできる。 （もっと読む）

【課題】応力の計測精度を向上させるとともに、検出面に対して過剰な応力が付与された場合であっても構成部品の破損を防止できる光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】光ファイバ３８、４４、５０の長手方向とは異なる方向に付与された応力の方向を前記長手方向と平行方向に変換して、グレーティング４０、４６、５２に伝達する弾性体５６が設けられている。弾性体５６は、光ファイバ３８、４４、５０の長手方向に対して平行方向に延在する平坦部５８と、平坦部５８の両端に連結される傾斜部６２ａ、６２ｂと、傾斜部６２ａ、６２ｂに連結されるとともに、光ファイバ３８、４４、５０の長手方向に対して垂直方向に延在して光ファイバ３８、４４、５０と接合する接合部６４ａ、６４ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】検知部の破損および弾性部材の剥離を防止可能な触覚センサを提供する。
【解決手段】触覚センサ１０は、基板１と、酸化膜２と、検知部３（３１，３２）と、弾性部材４と、金属プレート５とを備える。酸化膜２は、基板１上に形成される。検知部３（３１，３２）は、酸化膜２上に配置される。弾性部材４は、金属プレート５から突出した突出部４１，４２を有する。弾性部材４は、突出部４１，４２がそれぞれ検知部３１，３２を覆うように基板１および酸化膜２上に配置される。金属プレート５は、弾性部材４の突出部４１，４２と所望の間隔を隔てて突出部４１，４２の周囲および弾性部材４上に配置される。 （もっと読む）

【課題】物体との接触面である被測定エリア全体に前記物体が接触して水平応力が付与される場合でも、該水平応力を検出することが可能となる。
【解決手段】ＦＢＧセンサ１４Ａ〜１４Ｄにおいて、応力検出センサ部１６は、平面視で、応力方向変換部１８に内包されるように配置されると共に、応力方向変換部１８から伝達された水平応力Ｆ_Hによってグレーティング２６ｘ、２６ｙが伸縮し、一方で、グレーティング７２ｘ、７２ｙは、被測定エリア２２における応力方向変換部１８の外方に配置されている。 （もっと読む）

【課題】軸受ユニットの量産時に、大量の軸受ユニットの零点とゲイン特性の測定をを効率よく行う。
【解決手段】転がり軸受ユニットと荷重測定装置とを備え、あらかじめ求めた零点とゲイン特性とをそれぞれの基準値を比較して合否判定や個々の転がり軸受ユニットの零点とゲイン特性を記憶する転がり軸受ユニットの荷重測定装置において、荷重測定装置への転がり軸受ユニットの締結工程の少なくとも一部が自動化されていることを特徴とする転がり軸受ユニットの荷重測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構造で、物体から付与される応力を複数の方向の成分（垂直応力、水平応力）に分離して検出することを可能とする。
【解決手段】ＦＢＧセンサ２２は、特定波長の光を反射するグレーティング２６ｘ、２６ｙを配列した光ファイバ２０ｘ、２０ｙからなる応力検出センサ部２８ｘ、２８ｙと、外部から付与された応力をグレーティング２６ｘ、２６ｙを配列した方向（Ｘ方向、Ｙ方向）の応力に変換してグレーティング２６ｘ、２６ｙに伝達する応力方向変換部３０とを有し、応力方向変換部３０の周囲には、複数の応力検出センサ部２８ｘ、２８ｙが配置されている。 （もっと読む）