力検出機能をもった駆動装置

【課題】駆動機能と力検出機能を備えた装置の構造単純化／薄型化を図る。
【解決手段】上方基板１５と下方基板２５との間に、２本のリニアアクチュエータＵ１，Ｕ２を、互いに逆方向に傾斜するように配置する。アクチュエータＵ１，Ｕ２の上端は、上方膜部１１，１２を介して上方基板１５に接続され、下端は、導電性の下方膜部２１，２２を介して下方基板２５に接続される。上方基板１５に右方向の力が作用して右方へスライドすると、Ｕ１は寝る方向へ傾いて下方膜部２１は上方へ変形し、Ｕ２は立つ方向へ傾いて下方膜部２２は下方へ変形する。下方膜部２１と電極Ｅ５による容量素子と、下方膜部２２と電極Ｅ６による容量素子との容量値の差により、Ｘ軸方向の力検出を行う。両容量値の和により、Ｚ軸方向の力検出もできる。アクチュエータＵ１，Ｕ２を伸縮駆動すれば、上方基板１５を移動させたり回転させたりできる。

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＸＹＺ三次元座標系において、所定の作用点に対して所定方向に作用した力を検出する検出機能と、前記作用点を所定方向に駆動する駆動機能と、を有する装置であって、
ＸＹ平面に平行な平面上に広がる上方構造体と、
ＸＹ平面に平行な平面上に広がり、前記上方構造体の下方に配置された下方構造体と、
上端が前記上方構造体の下面側に第１の上方接続部を介して接続され、下端が前記下方構造体の上面側に第１の下方接続部を介して接続され、与えられた電気信号に基づいて上下両端を結ぶ第１の接続線分の長さを変える第１の伸縮機構をもった第１の接続部材と、
上端が前記上方構造体の下面側に第２の上方接続部を介して接続され、下端が前記下方構造体の上面側に第２の下方接続部を介して接続され、与えられた電気信号に基づいて上下両端を結ぶ第２の接続線分の長さを変える第２の伸縮機構をもった第２の接続部材と、
前記第１の接続部材および前記第２の接続部材の下端の変位に基づいて、作用した力を示す電気信号を出力する検出部と、
前記第１の接続線分および前記第２の接続線分の長さがそれぞれ所望の長さになるように、前記第１の伸縮機構および前記第２の伸縮機構に所定の電気信号を与えて駆動する駆動部と、
を備え、
前記第１の上方接続部は、前記第１の接続部材がその上端付近を中心として少なくともＸＺ平面内で回動自在となるように、前記第１の接続部材を前記上方構造体に接続し、
前記第１の下方接続部は、前記第１の接続部材がその下端付近を中心として少なくともＸＺ平面内で回動自在となるように、前記第１の接続部材を前記下方構造体に接続し、
前記第２の上方接続部は、前記第２の接続部材がその上端付近を中心として少なくともＸＺ平面内で回動自在となるように、前記第２の接続部材を前記上方構造体に接続し、
前記第２の下方接続部は、前記第２の接続部材がその下端付近を中心として少なくともＸＺ平面内で回動自在となるように、前記第２の接続部材を前記下方構造体に接続し、
前記第１の接続線分と前記第２の接続線分とが同じ長さになるように前記第１の伸縮機構および前記第２の伸縮機構を調整したときに、前記第１の接続線分をＸＺ平面に正射影して得られる投影像は、Ｚ軸に対して第１の方向に傾斜しており、前記第２の接続線分をＸＺ平面に正射影して得られる投影像は、Ｚ軸に対して前記第１の方向とは逆の第２の方向に傾斜しており、
前記検出部は、前記第１の接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第１のセンサと、前記第２の接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第２のセンサと、を有し、前記第１のセンサの検出値と前記第２のセンサの検出値との差を示す電気信号を、前記下方構造体を固定した状態において前記上方構造体上の所定の作用点に作用したＸ軸方向の力Ｆｘの検出値として出力し、
前記駆動部は、所定の電気信号を与えることにより、前記第１の伸縮機構および前記第２の伸縮機構を駆動して前記第１の接続線分と前記第２の接続線分との長さを調整し、前記下方構造体に対する前記上方構造体の位置もしくは向きを変化させることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
検出部が、更に、第１のセンサの検出値と第２のセンサの検出値との和を示す電気信号を、下方構造体を固定した状態において上方構造体に作用したＺ軸方向の力Ｆｚの検出値として出力することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
第１の接続線分と第２の接続線分とが同じ長さになるように調整したときに、第１の接続線分と第２の接続線分とが、ＸＺ平面もしくはＸＺ平面に平行な同一平面上に配置されており、ＹＺ平面に関して面対称をなすことを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項４】
ＸＹＺ三次元座標系において、所定の作用点に対して所定方向に作用した力を検出する検出機能と、前記作用点を所定方向に駆動する駆動機能と、を有する装置であって、
ＸＹ平面に平行な平面上に広がる上方構造体と、
ＸＹ平面に平行な平面上に広がり、前記上方構造体の下方に配置された下方構造体と、
上端が前記上方構造体の下面側に上方接続部を介して接続され、下端が前記下方構造体の上面側に下方接続部を介して接続され、与えられた電気信号に基づいて上下両端を結ぶ接続線分の長さを変える伸縮機構をもった第１〜第４のＸ軸接続部材と、
上端が前記上方構造体の下面側に上方接続部を介して接続され、下端が前記下方構造体の上面側に下方接続部を介して接続され、与えられた電気信号に基づいて上下両端を結ぶ接続線分の長さを変える伸縮機構をもった第１〜第４のＹ軸接続部材と、
前記第１〜第４のＸ軸接続部材および前記第１〜第４のＹ軸接続部材の下端の変位に基づいて、作用した力を示す電気信号を出力する検出部と、
前記各接続線分の長さがそれぞれ所望の長さになるように、前記各伸縮機構に所定の電気信号を与えて駆動する駆動部と、
を備え、
前記各上方接続部は、前記接続部材がその上端付近を中心として任意の方向に回動自在となるように、前記接続部材を前記上方構造体に接続し、
前記各下方接続部は、前記接続部材がその下端付近を中心として任意の方向に回動自在となるように、前記接続部材を前記下方構造体に接続し、
前記各接続線分がすべて同じ長さになるように前記各伸縮機構を調整したときに、
前記第１のＸ軸接続部材の接続線分と前記第２のＸ軸接続部材の接続線分とは、Ｘ軸の正の領域においてＸ軸と直交するＸ軸正側直交面に含まれ、かつ、ＸＺ平面に関して互いに逆方向に傾斜しており、
前記第３のＸ軸接続部材の接続線分と前記第４のＸ軸接続部材の接続線分とは、Ｘ軸の負の領域においてＸ軸と直交するＸ軸負側直交面に含まれ、かつ、ＸＺ平面に関して互いに逆方向に傾斜しており、
前記第１のＹ軸接続部材の接続線分と前記第２のＹ軸接続部材の接続線分とは、Ｙ軸の正の領域においてＹ軸と直交するＹ軸正側直交面に含まれ、かつ、ＹＺ平面に関して互いに逆方向に傾斜しており、
前記第３のＹ軸接続部材の接続線分と前記第４のＹ軸接続部材の接続線分とは、Ｙ軸の負の領域においてＹ軸と直交するＹ軸負側直交面に含まれ、かつ、ＹＺ平面に関して互いに逆方向に傾斜しており、
前記検出部は、
前記第１のＸ軸接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第１のＸ軸センサと、前記第２のＸ軸接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第２のＸ軸センサと、前記第３のＸ軸接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第３のＸ軸センサと、前記第４のＸ軸接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第４のＸ軸センサと、前記第１のＹ軸接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第１のＹ軸センサと、前記第２のＹ軸接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第２のＹ軸センサと、前記第３のＹ軸接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第３のＹ軸センサと、前記第４のＹ軸接続部材の下端のＺ軸方向への変位を検出する第４のＹ軸センサと、を有し、各センサの検出値に基づいて得られた電気信号を、前記下方構造体を固定した状態において前記上方構造体上の所定の作用点に作用した力の検出値として出力し、
前記駆動部は、所定の電気信号を与えることにより、前記各伸縮機構を駆動して前記各接続線分の長さを調整し、前記下方構造体に対する前記上方構造体の位置もしくは向きを変化させることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
各接続線分がすべて同じ長さになるように各伸縮機構を調整したときに、
第１のＸ軸接続部材の接続線分のＸＹ平面への正射影像および第１のＹ軸接続部材の接続線分のＸＹ平面への正射影像が、ＸＹ座標系の第１象限に位置し、
第３のＸ軸接続部材の接続線分のＸＹ平面への正射影像および第２のＹ軸接続部材の接続線分のＸＹ平面への正射影像が、ＸＹ座標系の第２象限に位置し、
第４のＸ軸接続部材の接続線分のＸＹ平面への正射影像および第４のＹ軸接続部材の接続線分のＸＹ平面への正射影像が、ＸＹ座標系の第３象限に位置し、
第２のＸ軸接続部材の接続線分のＸＹ平面への正射影像および第３のＹ軸接続部材の接続線分のＸＹ平面への正射影像が、ＸＹ座標系の第４象限に位置することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項６】
請求項５に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
各接続線分がすべて同じ長さになるように各伸縮機構を調整したときに、
第１〜第４のＸ軸接続部材、第１〜第４のＹ軸接続部材、上方構造体、下方構造体によって構成される主構造体が、ＸＺ平面に関して面対称をなし、かつ、ＹＺ平面に関しても面対称をなすことを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項７】
請求項６に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
検出部が、
「第１のＹ軸センサの検出値と第２のＹ軸センサの検出値との差」と「第３のＹ軸センサの検出値と第４のＹ軸センサの検出値との差」との和に対応する信号値Ｖ（Ｆｘ）^＊を、作用したＸ軸方向の力Ｆｘの検出値として出力し、
「第１のＸ軸センサの検出値と第２のＸ軸センサの検出値との差」と「第３のＸ軸センサの検出値と第４のＸ軸センサの検出値との差」との和に対応する信号値Ｖ（Ｆｙ）^＊を、作用したＹ軸方向の力Ｆｙの検出値として出力することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項８】
請求項７に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
検出部が、更に、
「第３のＹ軸センサの検出値と第４のＹ軸センサの検出値との和」と「第１のＹ軸センサの検出値と第２のＹ軸センサの検出値との和」との差に対応する信号値Ｖ（Ｍｘ）を、作用したＸ軸まわりのモーメントＭｘの検出値として出力し、
「第１のＸ軸センサの検出値と第２のＸ軸センサの検出値との和」と「第３のＸ軸センサの検出値と第４のＸ軸センサの検出値との和」との差に対応する信号値Ｖ（Ｍｙ）を、作用したＹ軸まわりのモーメントＭｙの検出値として出力することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項９】
請求項６に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
検出部が、
「第３のＹ軸センサの検出値と第４のＹ軸センサの検出値との和」と「第１のＹ軸センサの検出値と第２のＹ軸センサの検出値との和」との差に対応する信号値Ｖ（Ｍｘ）を、作用したＸ軸まわりのモーメントＭｘの検出値として出力し、
「第１のＸ軸センサの検出値と第２のＸ軸センサの検出値との和」と「第３のＸ軸センサの検出値と第４のＸ軸センサの検出値との和」との差に対応する信号値Ｖ（Ｍｙ）を、作用したＹ軸まわりのモーメントＭｙの検出値として出力することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
検出部が、更に、
「第１のＹ軸センサの検出値と第２のＹ軸センサの検出値との差」と「第３のＹ軸センサの検出値と第４のＹ軸センサの検出値との差」との和に対応する信号値Ｖ（Ｆｘ）^＊と、
「第１のＸ軸センサの検出値と第２のＸ軸センサの検出値との差」と「第３のＸ軸センサの検出値と第４のＸ軸センサの検出値との差」との和に対応する信号値Ｖ（Ｆｙ）^＊とを求め、
所定の係数ｋ１〜ｋ４を用いて、
Ｖ（Ｆｘ）^＊−ｋ２／ｋ１・Ｖ（Ｍｙ）なる式で得られる値に対応する信号値Ｖ（Ｆｘ）を、作用したＸ軸方向の力Ｆｘの検出値として出力し、
Ｖ（Ｆｙ）^＊−ｋ４／ｋ３・Ｖ（Ｍｘ）なる式で得られる値に対応する信号値Ｖ（Ｆｙ）を、作用したＹ軸方向の力Ｆｙの検出値として出力することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１１】
請求項７〜１０のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
検出部が、更に、
「第１〜第４のＸ軸センサの検出値の総和」もしくは「第１〜第４のＹ軸センサの検出値の総和」、または「第１〜第４のＸ軸センサの検出値の総和と第１〜第４のＹ軸センサの検出値の総和との和」に対応する信号値Ｖ（Ｆｚ）を、作用したＺ軸方向の力Ｆｚの検出値として出力することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１２】
請求項７〜１１のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
検出部が、更に、
「第１のＸ軸センサの検出値と第２のＸ軸センサの検出値との差」と「第４のＸ軸センサの検出値と第３のＸ軸センサの検出値との差」と「第２のＹ軸センサの検出値と第１のＹ軸センサの検出値との差」と「第３のＹ軸センサの検出値と第４のＹ軸センサの検出値との差」との和に対応する信号値Ｖ（Ｍｚ）を、作用したＺ軸まわりのモーメントＭｚの検出値として出力することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１３】
請求項４〜１２のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
駆動部が、
第１〜第４のＸ軸接続部材ならびに第２および第４のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して伸ばす動作を行わせるための電気信号を与え、第１および第３のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して縮める動作を行わせるための電気信号を与えるか、もしくは、第１〜第４のＸ軸接続部材ならびに第１および第３のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して伸ばす動作を行わせるための電気信号を与え、第２および第４のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して縮める動作を行わせるための電気信号を与え、下方構造体に対する上方構造体のＸ軸方向に関する位置を変化させるＸ軸方向駆動動作を行う機能を有することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１４】
請求項４〜１３のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
駆動部が、
第１〜第４のＹ軸接続部材ならびに第２および第４のＸ軸接続部材の伸縮機構に対して伸ばす動作を行わせるための電気信号を与え、第１および第３のＸ軸接続部材の伸縮機構に対して縮める動作を行わせるための電気信号を与えるか、もしくは、第１〜第４のＹ軸接続部材ならびに第１および第３のＸ軸接続部材の伸縮機構に対して伸ばす動作を行わせるための電気信号を与え、第２および第４のＸ軸接続部材の伸縮機構に対して縮める動作を行わせるための電気信号を与え、下方構造体に対する上方構造体のＹ軸方向に関する位置を変化させるＹ軸方向駆動動作を行う機能を有することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１５】
請求項４〜１４のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
駆動部が、
第１〜第４のＸ軸接続部材および第１〜第４のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して伸ばすか縮めるかのどちらかの共通の伸縮動作を行わせるための電気信号を与えることにより、下方構造体に対する上方構造体のＺ軸方向に関する位置を変化させるＺ軸方向駆動動作を行う機能を有することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１６】
請求項４〜１５のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
駆動部が、
第１および第３のＸ軸接続部材の伸縮機構に対して第１の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、第２および第４のＸ軸接続部材の伸縮機構に対して第２の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、第１および第２のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して第３の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、第３および第４のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して第４の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、
このとき、前記第１の伸縮動作と前記第３の伸縮動作とは、伸ばすか縮めるかのどちらかの共通の伸縮動作となり、前記第２の伸縮動作と前記第４の伸縮動作とは、伸ばすか縮めるかのどちらかの共通の伸縮動作となり、前記第１および第３の伸縮動作と前記第２および第４の伸縮動作とは、一方が伸ばす動作、他方が縮める動作という相反する関係になるようにし、かつ、前記第１の伸縮動作による伸縮量よりも前記第３の伸縮動作による伸縮量の方が大きくなり、前記第２の伸縮動作による伸縮量よりも前記第４の伸縮動作による伸縮量の方が大きくなるようにし、下方構造体に対して上方構造体をＸ軸に関して回転させるＸ軸まわり駆動動作を行う機能を有することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１７】
請求項４〜１６のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
駆動部が、
第１および第２のＸ軸接続部材の伸縮機構に対して第１の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、第３および第４のＸ軸接続部材の伸縮機構に対して第２の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、第１および第３のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して第３の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、第２および第４のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して第４の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、
このとき、前記第１の伸縮動作と前記第３の伸縮動作とは、伸ばすか縮めるかのどちらかの共通の伸縮動作となり、前記第２の伸縮動作と前記第４の伸縮動作とは、伸ばすか縮めるかのどちらかの共通の伸縮動作となり、前記第１および第３の伸縮動作と前記第２および第４の伸縮動作とは、一方が伸ばす動作、他方が縮める動作という相反する関係になるようにし、かつ、前記第１の伸縮動作による伸縮量よりも前記第３の伸縮動作による伸縮量の方が小さくなり、前記第２の伸縮動作による伸縮量よりも前記第４の伸縮動作による伸縮量の方が小さくなるようにし、下方構造体に対して上方構造体をＹ軸に関して回転させるＹ軸まわり駆動動作を行う機能を有することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１８】
請求項４〜１７のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
駆動部が、
第１および第４のＸ軸接続部材ならびに第２および第３のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して第１の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、第２および第３のＸ軸接続部材ならびに第１および第４のＹ軸接続部材の伸縮機構に対して第２の伸縮動作を行わせるための電気信号を与え、このとき、前記第１の伸縮動作と前記第２の伸縮動作とは、一方が伸ばす動作、他方が縮める動作という相反する関係になるようにし、下方構造体に対して上方構造体をＺ軸に関して回転させるＺ軸まわり駆動動作を行う機能を有することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項１９】
請求項４〜１８のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
上方構造体が、平板状の上方基板からなり、もしくは、平板状の上方基板を含み、
下方構造体が、平板状の下方基板からなり、もしくは、平板状の下方基板を含み、
各接続線分がすべて同じ長さになるように各伸縮機構を調整したときに、前記上方基板および前記下方基板の基板面が、ＸＹ平面に平行になるように構成されていることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
上方基板および下方基板のいずれか一方もしくは双方の上面側および下面側のいずれか一方もしくは双方に溝が形成されており、この溝の底部に形成された膜部を用いて上方接続部もしくは下方接続部を構成し、前記膜部のもつ可撓性により接続部材が回動自在となるようにしたことを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２１】
請求項２０に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
溝の内部に溝の底面から基板面位置まで伸びる突起部が設けられており、接続部材の端部が前記突起部を介して膜部に接続されていることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２２】
請求項１９に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
上方基板および下方基板のいずれか一方もしくは双方が可撓性基板によって構成され、当該可撓性基板の一部が上方接続部もしくは下方接続部を構成し、前記上方接続部もしくは下方接続部のもつ可撓性により接続部材が回動自在となるようにしたことを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２３】
請求項２２に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
上方構造体が、可撓性基板によって構成された上方基板と、前記可撓性基板の上面の所定箇所に固着された連結部材と、前記連結部材の上方に接続され、検出対象となる力を受ける機能を果たす受力体と、を有することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２４】
請求項２２または２３に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
第１のＸ軸接続部材の接続位置および第２のＸ軸接続部材の接続位置を含む領域と、第３のＸ軸接続部材の接続位置および第４のＸ軸接続部材の接続位置を含む領域と、第１のＹ軸接続部材の接続位置および第２のＹ軸接続部材の接続位置を含む領域と、第３のＹ軸接続部材の接続位置および第４のＹ軸接続部材の接続位置を含む領域と、の４つの領域を可撓性基板上に定義したときに、これら４つの領域の境界に沿って、可撓性基板の外周側から中心部に向かってスリットが形成されていることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２５】
請求項４〜１８のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
下方構造体が、Ｚ軸上に位置する中心部と、前記中心部から第１〜第４のＸ軸接続部材の下端への接続位置および第１〜第４のＹ軸接続部材の下端への接続位置へそれぞれ伸びる８本の可撓性をもった枝状部と、を有することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２６】
請求項４〜１８のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
上方接続部および下方接続部のいずれか一方もしくは双方が転がり球面軸受を用いて構成されていることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２７】
請求項２０〜２４のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
下方接続部が可撓性をもった膜部もしくは可撓性基板の一部によって構成され、
各センサが、前記膜部もしくは前記可撓性基板の一部に形成された変位電極と、この変位電極に対向する位置に固定された固定電極と、からなる容量素子によって構成されていることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２８】
請求項２７に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
膜部もしくは可撓性基板が導電性材料から構成され、前記膜部もしくは前記可撓性基板の一部が変位電極として機能することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項２９】
請求項２５に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
各センサが、枝状部に形成された変位電極と、この変位電極に対向する位置に固定された固定電極と、からなる容量素子によって構成されていることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項３０】
請求項２９に記載の力検出機能をもった駆動装置において、
枝状部が導電性材料から構成され、前記枝状部の一部が変位電極として機能することを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項３１】
請求項１〜３０のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
接続部材が、
外側筒状部と、その内側に嵌合した内側柱状部と、を同一の軸上に配置してなる構造部と、
前記内側柱状部を前記外側筒状部に対して、前記軸に沿った方向に摺動させることにより全長を所望の長さに調整し、当該長さを維持させる伸縮機構と、
を有するリニアアクチュエータによって構成されていることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。
【請求項３２】
請求項１〜３０のいずれかに記載の力検出機能をもった駆動装置において、
接続部材が、
上方竿部および下方竿部と、
前記上方竿部の下端部に形成された貫通孔と前記下方竿部の上端部に形成された貫通孔との双方を貫通し、両者を軸に直交する平面内で回動自在な状態で相互に接続する枢軸と、
前記上方竿部もしくは前記下方竿部に対して動力を作用させることにより、前記上方竿部と前記下方竿部とのなす角度が所望の角度となるように調整し、当該角度を維持させる伸縮機構と、
を有するリンク機構によって構成されていることを特徴とする力検出機能をもった駆動装置。

【図１】