【課題】小型の触覚センサユニット１を提供する
【解決手段】触覚センサユニット１は、変形を検出するピエゾ抵抗層１１Ｗが形成されたカンチレバー１２を有する半導体基板１１とカンチレバー１２を内部に埋め込んだ弾性体１３とピエゾ抵抗層１１Ｗと接続されたバンプ１４とを有するセンサチップ１０と、接続パッド２２と接続された配線層２１とを有する配線板２０と、を具備し、バンプ１４と接続パッド２２とを介して、センサチップ１０が配線板２０にフリップチップ実装されている。 （もっと読む）

【課題】スピンドル軸芯方向に沿って離れた位置に２つの多分力計測センサを備えた多分力計測スピンドルユニットにおいて、タイヤに作用する実荷重を求める際に用いる変換行列を確実に校正することができ、校正された変換行列を用いることで、タイヤに発生する並進荷重およびモーメントを精度よく算出する。
【解決手段】本発明に係る多分力計測スピンドルユニット１の校正方法は、スピンドル軸４に作用する荷重を計測する「計測工程」と、この計測工程で得られた計測荷重ベクトルとこの計測荷重ベクトルに作用する変換行列Ｅとを用いて、タイヤＴに働く実荷重ベクトルを求める「算出工程」と、この算出工程に先立って、複数の一次独立な試験条件の基で計測荷重ベクトルを計測し且つ得られた計測荷重ベクトルを基に変換行列Ｅを校正する「校正工程」を有している。 （もっと読む）

【課題】系への入力と系からの出力とがどちらも多変数（多元・多次元の物理量）である場合に系からの出力に基づいて前記系への入力を推定することができるようにする。
【解決手段】第一近似係数を算定する処理と、推定入力物理量を算出する処理と、推定入力物理量の有効判定を行う処理と、推定入力物理量の決定を行う処理と、推定出力物理量を算出する処理と、残差を算出する処理と、残差と増減表との比較を行う処理と、次推定入力物理量成分を決定する処理と、打ち切り判定を行う処理とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】外圧の方向と大きさとを高い精度で検出することが可能な検出装置、電子機器及びロボットを提供する。
【解決手段】基準点Ｐの周りに複数配置された圧力センサー１２を有する第１基板１０と、基準点Ｐと重なる位置に重心が位置するとともに外圧によって先端部が第１基板１０に当接した状態で弾性変形する単位突起２４が形成された第２基板２０と、を備え、単位突起２４が、硬度の高い弾性体突起２２と、硬度の低い弾性体層２３と、からなる。 （もっと読む）

【課題】外圧の有無を高速に検出し、かつ外圧の方向と大きさを高い精度で検出することが可能な検出装置、電子機器及びロボットを提供すること。
【解決手段】検出装置は、基準点Ｐの周りに複数配置された圧力センサー１２を有する第１基板１０と、基準点Ｐと重なる位置に重心が位置するとともに外圧によって先端部が第１基板１０に当接した状態で弾性変形する弾性体突起２２が形成された第２基板２０と、を備えた検出部１と、複数の圧力センサー１２のうちの一部により検出された圧力値から外圧の有無を検出する検出動作を行い、その検出結果から検出部１の次の検出動作を制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検出部から出力される原検出信号から可撓体の振動に起因するノイズ成分を良好に除去し、フィルタ処理により得られる検出信号の位相の遅れを抑制する。
【解決手段】検出部１０１は、被測定対象の状態により変形する可撓体と、可撓体の変形量を検出し、検出結果を示す原検出信号１０２を出力するセンサとを有する。フィルタ部１０３は、フィルタ係数を用いて原検出信号１０２をフィルタ処理して得られる検出信号１０７を出力する。演算装置１０４は、原検出信号１０２に含まれる可撓体の振動数を演算により求める。変更部１０６は、フィルタ部１０３のフィルタ係数を変更して、フィルタ部１０３を、演算装置１０４により演算された振動数ｆを減衰させるフィルタとして機能させる。 （もっと読む）

【課題】せん断応力及び接触圧力の直接同時測定に際し、生体へ適用可能で且つ接触圧力による影響を排除したせん断応力の測定ができるセンサ装置７０を提供する。
【解決手段】圧力変換素子５０はポリピロール薄膜を用い、電極材は銅張ポリイミドフィルムを用いた。せん断応力測定部３０は片面側電極１０における櫛型電極１１ａと対面側電極２０における櫛形電極２１ａとの櫛部分を揃わせて対面させ、両電極の間に圧力変換素子５０を挟み込む。接触圧力測定部４０は片面側電極１０における方形電極１２ａと対面側電極２０における櫛形電極２１ｃとを対面させ、両電極の間に圧力変換素子５０を挟み込む。４ゲージ法ブリッジ回路６０の抵抗変化量の関係に基づき、せん断応力測定部３０等における抵抗変化量ΔＲ_aから接触圧力の影響による抵抗変化量ΔＲ_bを差し引きした出力を得ることにより、接触圧力による影響を排除したせん断応力の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】外圧の方向と大きさを高い精度で検出することが可能な検出装置、電子機器及びロボットを提供する。
【解決手段】基準点Ｐの周りに複数配置された第１容量電極１２、を有する第１基板１０と、第１容量電極１２を挟んで第１基板１０と対向配置された第２基板２０と、第１基板１０と第２基板２０との間において誘電体を挟んで第１容量電極１２と対向配置された第２容量電極２２と、基準点Ｐと重なる位置に重心が位置するとともに外圧によって先端部が第２基板２０に当接した状態で弾性変形する弾性体突起３２、が形成された第３基板３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】感度及び信頼性が高く、構造がより簡単で製造コストの安価な力覚または運動センサを提供する。
【解決手段】本発明による力覚または運動センサにおいては、センサを保持し固定するためのベース１と、６自由度方向の応力に感応するよう構成され前記ベースと対向して配置されたテーブル３０と、前記ベースと前記テーブルとの間に配置され前記応力に対応して動作する動作部と、前記動作部の変位及び／または変形を検出する複数の検出素子と、前記各々の検出素子の変位及び／または変形量を総合的に計算する演算部とからなるセンサにおいて、前記動作部は放射状に配置された複数の感応アーム１０と、これらアームと一体化されたアームより厚いボス部２５とからなる。 （もっと読む）

【課題】外圧の方向と大きさを高い精度で検出することが可能な検出装置、電子機器及びロボットを提供する。
【解決手段】基準点Ｐの周りに複数配置された圧力センサー１２を有する第１基板１０と、基準点Ｐと重なる位置に重心が位置するとともに外圧によって先端部が第１基板１０に当接した状態で弾性変形する弾性体突起２２、が形成された第２基板２０と、を備える。 （もっと読む）