【課題】測定領域の上流側に位置する装置において所定の時刻に発生し、測定領域を流通する目的ガスの濃度等の時間変化を測定する際に、測定領域やその近傍の吸着ガスによる影響を排除し、目的ガスの濃度等の時間変化をリアルタイムで決定する。
【解決手段】予め測定領域１３の下流側で吸引しつつ測定領域１３の上流側で所定時刻に発生する目的ガスの濃度等を、測定領域１３に所定波長の光を入射し、測定領域１３を通過した光を検出することにより測定する装置において、目的ガスの発生前に参照範囲設定部２３が使用者に設定させた参照範囲内の時系列データに基づいて、ベースライン演算部２４がベースラインを作成する。 （もっと読む）

【課題】１つの光源で複数の赤外線検出部に簡易な構成の凹面反射鏡で集光させることができ、構造が簡単な非分散型赤外ガスセンサを提供する。
【解決手段】１つの光源２と、光源を取り囲み、光源からの赤外線を反射させる凹曲面を有する反射部１４と、それぞれ異なる位置に配置され、反射部で反射された赤外線を検出する複数の赤外線検出部６と、を備えた非分散型赤外ガスセンサであって、光源を頂点とし、複数の赤外線検出部を結んで形成される仮想円Ｃを底面とした仮想円錐が形成されるように、光源及び赤外線検出部が配置されており、凹曲面は、仮想円の外周上に設定される第１焦点Ｆ_１と、光源を第２焦点Ｆ_２とする楕円体を、第１焦点と第２焦点とを結ぶ直線を軸として回転させることで形成される回転楕円体ＥＬ_１、ＥＬ_２であって、第１焦点を仮想円の外周に沿って移動させた際に得られる全ての回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げて形成される。 （もっと読む）

【課題】高い検出感度を得ることが可能なガス分析装置を提供する。
【解決手段】ガス分析装置は、その内部に分析対象のガスが導入された中空ファイバ４と、中空ファイバ４の一方端側に配置されて、中空ファイバ４の内部に光を照射する投光部１２と、中空ファイバ４の他方端側に配置されて、中空ファイバ４の内部を通過した光を検出する検出部１３と、検出部１３で検出された光に基づいて、分析対象のガスを分析するための点灯制御／信号検出部２１およびシステム制御部２２とを備える。投光部１２は、発光波長が異なる複数の赤外線ＬＥＤ２ａ〜２ｃを含む。 （もっと読む）

【課題】小型薄型でかつ簡便な素子形状を有し、非分散赤外吸収型（Ｎｏｎ−Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ ＩｎｆｒａＲｅｄ）ガス濃度計（以下、ＮＤＩＲガス濃度計という）に関して、通常の実装方法に加えて、小型化薄型化を実現するために赤外線受光窓を横倒しにして部品実装基板へ表面実装できる光学フィルタ内蔵の赤外線センサを提供すること。
【解決手段】直方体の封止部材内に封止された、透過する赤外線を選択する光学フィルタと、光学フィルタを透過した赤外線を検出するセンサ素子と、前記センサ素子で検出した検出信号を外部に出力する複数の接続端子と、該センサ素子と該の接続端子とを接続する接続配線と、を備え、前記接続端子は、内側に折れ曲がったＬ字状に形成され、少なくとも隣接する２面にわたって前記封止部材から露出していることを特徴とする赤外線センサ。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサの温度と温度センサで検出される温度との実質的な差を解消し、高感度な赤外線センサおよびこれを用いたＮＤＩＲガス濃度計を提供する。
【解決手段】開口部51から入射する光のうち所定の波長の赤外線のみを下流側に透過する光学フィルタ2と、前記光学フィルタを透過した赤外線を光電変換して電気信号として出力する光電変換部32を有する赤外線センサ素子3とを備えた赤外線センサ1であって、前記赤外線センサは、前記赤外線センサ素子の温度を測定する温度センサを赤外線センサ素子と熱的に一体構成にして樹脂封止5している赤外線センサ。前記光電変換部から出力された電気信号に対して前記温度センサで得られた温度に基づいて補正する信号処理用ＩＣ4と、前記信号処理用ＩＣと接続された配線端子とをさらに備え、該信号処理用ＩＣは前記温度センサを有し、前記配線端子と赤外線センサ素子とを積層してバンプ配線により続する。 （もっと読む）

【課題】装置内に液体としての水分が侵入し、或いは、装置内に気体としての水分が多量に侵入した場合、その侵入を既存の構成部品を用いて検知することができるガス濃度測定装置の提供。
【解決手段】光源と、光源の光路上に配置され試料ガスが導入される試料セルと、試料セルを透過した光源の光を受光して干渉成分の吸収スペクトルに合わせた波長域の光の強度を検出する干渉成分検出器と、試料セルを透過した光源の光を受光して測定対象成分の吸収スペクトルに合わせた波長域の光の強度を検出する主検出器と、主検出器が検出した強度と干渉成分検出器が検出した強度に基づき測定対象成分の濃度を算出する演算部と、干渉成分検出器が検出した強度に基づき性能低下物質が侵入した可能性があることを検知する侵入検知部と、性能低下物質が侵入した可能性があることが検知された場合に性能低下物質の更なる侵入の阻止を行う侵入防止部とを備える。 （もっと読む）

【課題】１スキャン毎に適切なゲイン調整が行えるレーザガス分析装置を実現すること。
【解決手段】測定ガスにレーザ光をスキャンしながら照射する半導体レーザを含む光源ユニットと、前記測定ガスを透過したレーザ光を検出する受光素子とこの受光素子の出力信号が入力されるゲイン可変のアンプとこのアンプの出力信号が入力されるＡ／Ｄ変換器とこのＡ／Ｄ変換器の出力データに基づき前記測定ガスの濃度を演算する演算処理部を含む検出ユニットとで構成されたレーザガス分析装置において、前記半導体レーザのスキャンごとに前記Ａ／Ｄ変換器の出力データのピークツーピーク値を検出するピークツーピーク検出器と、このピークツーピーク検出器の出力信号があらかじめ設定されている閾値から外れていたら前記アンプのゲインを閾値内に戻す方向に調整するゲイン調整部、を設けたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】濃度測定センサの近傍を試料ガスの雰囲気で満たすことにより、測定環境雰囲気の変動によらずに試料ガス中の測定対象物の濃度を安定かつ正確に測定する。
【解決手段】試料ガス中の測定対象物の濃度を測定するガス濃度測定装置であって、光源が配置された光源ユニットと、前記光源の光路上に配置され、試料セルユニットと、前記光源の光路上に配置され、前記試料セルユニットを透過した前記光源の光を受光して前記測定対象物の濃度を測定する濃度測定センサが配置されたセンサユニットと、前記濃度測定センサ近傍に前記試料ガスを導入する導入手段とを備えたガス濃度測定装置。 （もっと読む）

【課題】材料が多量に余っているにも関わらず早い時点でバルブが全開になる等して制御不能となるのを防ぐことができる材料ガス制御装置を提供する。
【解決手段】前記導出管Ｌ２に設けられた第１バルブ１と、前記混合ガスにおける材料ガスの濃度を測定する濃度測定機構ＣＳと、前記濃度測定機構ＣＳにより測定される材料ガスの測定濃度が、予め設定された設定濃度となるように前記第1バルブ１の開度を制御する第１バルブ制御部２４と、前記導入管Ｌ１に設けられた第２バルブ３２と、前記第１バルブ１の開度が全開の開度から第１所定値だけ小さい開度である閾値開度になった場合において、所定時間内に前記第２バルブ３２の開度を、前記第１バルブ１の開度が閾値開度になった時点での変更前開度から第２所定値だけ大きい変更後開度となるように制御する第２バルブ制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】燃焼部の燃焼管の容量に応じたピーク検出パラメータで検出信号のピーク検出を行なうことができる水質分析計を提供する。
【解決手段】演算部５６は、情報記憶部２、ピーク検出角度設定手段４、ピーク検出手段６及び演算手段８を備えている。情報記憶部２には、酸化反応部３２に設置され得る燃焼管の種類に応じた複数のピーク検出角度候補が保持されており、ピーク検出角度設定手段４によってピーク検出に用いるピーク検出角度を選択的に設定することができる。情報記憶部２はこのほか、赤外線ガス分析部４６及び化学発光分析部４８の検出器で得られる検出信号のピーク面積をＴＣやＴＯＣ、ＴＮに換算するための検量線なども記憶している。演算手段８はピーク検出手段６が検出したピークの面積を求め、検量線を用いてＴＣやＴＯＣ、ＴＮなどを算出する。 （もっと読む）