【課題】 液晶パネルや液晶セルの欠陥、特に真上からでは見えにくい欠陥や小さく見える欠陥等を確実に検出することができるとともに、安価な装置構成とすることができる被検査体の検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 被検査体の液晶パネル１を構成する一方の基板側から照明装置２により照明し、被検査体の画面を被検査体を構成する他方の基板側より撮像手段３により撮像することにより取り込まれる検査画像に基づいて被検査体の欠陥を検出する被検査体の検査方法において、照明装置２の照明方向を被検査体に対し垂直方向にして被検査体を検査する第１の検査工程と、照明装置２の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更して被検査体を検査する第２の検査工程とを含むものとする。 （もっと読む）

【課題】光源装置及び撮像装置のレンズの清掃並びに、光源装置の交換における無駄を防止することができる熱可塑性接着剤検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】熱可塑性接着剤検査装置１は、熱可塑性接着剤４０及び４１に光を照射する光源装置３ａ及び３ｂと、熱可塑性接着剤４０及び４１からの反射光を撮像する撮像装置４ａ及び４ｂとを備えた熱可塑性接着剤検査装置において、
撮像装置４ａ及び４ｂから送られてきた画像データを処理し、熱可塑性接着剤部と背景部の輝度の比率を算出する画像処理装置５ａ及び５ｂと、前記比率を予め設定された値と比較することにより、光源装置３ａ及び３ｂ並びに撮像装置４ａ及び４ｂの汚れを判定する判定装置７ａ及び７ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】 片側鏡面加工品の表裏を判別するための識別塗料の塗布を無くし、より簡単に低コストで、少ない工程で、片側鏡面加工品の表裏を判別することができる方法を提供する。
【解決手段】 加工品の表面に照明を照らして生じた加工品表面の照明の映り込みをカメラで撮像し、得られた画像に写し出された加工品表面の照明の輝度値を画像処理装置にて測定し、片側鏡面加工品の表裏判別を行う。 （もっと読む）

検査する容器をその長手方向軸を中心に回転できるようにして、容器内の充填物を充分に迅速に回転開始させ、場合によって存在する異物を容器底から巻き上がらせ、充填物にある光拡散する異物を検知するための暗視野工程で機能する少なくとも一つの検査装置と関連付けて配置しており移送方向で後に続く第二回転台に宙吊りで容器を移送し、そのとき両方の回転台は円弧部分でお互いに接線配置されており、容器が第一回転台から直接、第二回転台に移すことができる。
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画像処理装置側での画像補正を不要又は可及的に減少させ、検査精度を向上させるとともに検査時間を短縮できるようにすべく、独立して光量調整可能な複数の光照射部１１を有し、所定の対象領域Ａに向かって光を照射する光照射装置１と、前記対象領域Ａをレンズを介して撮像し、撮像した画像である対象領域画像を出力する撮像装置２と、前記撮像装置２が出力した対象領域画像における各部の明るさが所定の目標値に近づくように、前記光照射部１１の光量をそれぞれ制御する光量制御部３とを備えた光量調整システムを設けた。
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【課題】比較的簡単な検査装置を用いて、ガラスパネルのフェース部の内部欠陥の有無及び大きさと深さ方向位置とを容易に視認検出することを可能にする。
【解決手段】フェース部２の側方からフェース部２の内部に入射した第２検査光７ａ（８ａ）は、フェース部２の内部に欠陥Ｐ２があると、この内部欠陥Ｐ２の箇所で乱反射を起こして散乱光Ｐ２ａとなる。一方、外表面２ｂの側からフェース部の内部に入射した補助光１０ａは、粗面に形成された内表面２ａで反射されて反射光１０ａ１となる。そして、反射光１０ａ１により内表面２ａの位置を認識した状態で、内部欠陥Ｐ２の箇所での検査光７ａ（８ａ）の散乱光Ｐ２ａを視認する。 （もっと読む）

オブジェクトを検査するためのシステムが開示される。このようなシステムは、ａ）放射源を有し、検査されるべきオブジェクトを照射するための照射系と、ｂ）照射されたオブジェクトをイメージセンサ上に結像させる対物レンズと、ｃ）検査されるべきオブジェクトから来る放射を、検出可能な信号に変換するためのイメージセンサと、を有する。上記放射源は、Ａ）少なくとも一つのカソードと、Ｂ）少なくとも一つのアノードと、Ｃ）（複数の）カソードと（複数の）アノードとの中間に位置付けされ、実質的に電気絶縁される、一つ又は複数のプレートであり、各プレートが、少なくとも一つの孔を有すると共に、放電が広がり得る連続的な放電路が、カソードとアノードとの間に生成されるように配置される、一つ又は複数のプレートと、を有する。
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【課題】各光源の光パルスパターンを調整することで、所望の均一強度でストロボ発光される複数の光源の各々の光度を調整する照明方法を提供する。
【解決手段】ストロボ継続時間にかけて対象物を照明するために、全ての光源が制御される。光パルスパターンは、様々な方法で形成したマイクロストロボ発光される光パルスパターンであってよい。この照明方法を使用することにより、画像取得の最中に対象物が移動しているか否かにかかわらず、物体上のエッジ強度プロフィールの形状を保存でき、精密なエッジ位置測定を可能にする。 （もっと読む）

【課題】超高輝度発光ダイオードを用いて十分な照度が得られるようにした照明装置を提供する。
【解決手段】高輝度発光ダイオード23から発光された光Ｌaを集束レンズ24により平行光Ｌbに変換して、拡散される光Ｌaを一方向へ集束させることで、所定の作業領域を十分な照度の光で照らすことができる。この平行光Ｌbを自動車の塗装面などの被検査表面25に照射すると、被検査表面25における傷26が光の陰影となって現われるので、平行光Ｌbを探傷検査に用いることができる。
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半導体ウエハ検査システムやフォトマスク検査システムなどの検査システムに使用するレーザ照射器を提供する。照射器の利得媒体は光ファイバを備え、増幅と、ビームスプリッティングと、周波数および／または帯域幅の変換と、ピーク出力低下と、Ｑスイッチまたはモード同期となどを用いることができる。ドープファイバ、格子、飽和性吸収体、レーザダイオードを含む構成を開示して、照射を向上させる。
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