半導体ウエハ検査システムやフォトマスク検査システムなどの検査システムに使用するレーザ照射器を提供する。照射器の利得媒体は光ファイバを備え、増幅と、ビームスプリッティングと、周波数および／または帯域幅の変換と、ピーク出力低下と、Ｑスイッチまたはモード同期となどを用いることができる。ドープファイバ、格子、飽和性吸収体、レーザダイオードを含む構成を開示して、照射を向上させる。
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【課題】 分光分布に抜けがなく、均一な照度分分布を有し、高速に光量や色の切替が可能で、メンテナンスの不要な長寿命であって、小型化した検査用光源装置を実現する。
【解決手段】 被検査受光素子に対し所定の光を照射する検査用光源装置において、
発光部からの出射光を同一照度分布とすると共に対象とする照射範囲を分割して照射する複数の光学系を有することを特徴とする検査用光源装置。 （もっと読む）

本発明は、測定間隙（１）内で縦方向に動かされる糸（２）を光源（４）からの光線（３）で走査する装置であって、糸の所で反射される光用の受信器（５，６）と、受信器からの電気信号を処理する装置（９）とを有するものに関する。僅かな空間しか必要とせず、簡単に制御可能であり、糸に存在する異物を一層選択的にかつ一層大きい感度で識別するのを可能にするような装置を提供するため、少なくとも２つの波長範囲（２９，３０）にある光を放射するため、ただ１つの光源（４）が設けられ、これらの波長範囲が２つの主波長（３２，３３）により決定されている。
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【課題】 対象物に均一に光を照射することができ、且つその光の色の設定が容易な同軸落射照明装置を提供すること。
【解決手段】 上下方向に伸びる筒体、この筒体内部に筒体の長さ方向に沿って互いに同軸に配置された一対の光学レンズ、この一対の光学レンズの間にレンズの軸に対して表面を傾斜させて配置されたハーフミラー、そして上記筒体の側部に備えられ、上記ハーフミラー表面での反射を介してレンズの軸と同軸に且つ筒体の下側方向に伝わる光を発する光源からなり、この光源が、直流電圧の印加により発光する有機エレクトロルミネッセンス素子を少なくとも一個備えていることを特徴とする同軸落射照明装置。 （もっと読む）

【課題】 検査対象部位や検査の目的が変わっても、同じ構成の照明系を用いて検査に適した照明を実施できるようにする。
【解決手段】 基板４の上方に、カメラ１を光軸を下方に向けて配備し、このカメラ１の撮像対象領域を、複数のフルカラーＬＥＤランプを有する照明装置により照明する。照明装置の各ＬＥＤランプは、前記カメラ１の光軸を取り囲み、かつ基板４上の撮像対象領域の中心点Ｏに対し、所定の角度幅をもつ範囲に配置される。これらのＬＥＤランプを、角度範囲の異なる複数の領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに分類し、領域単位で制御することによって、検査の内容に応じた照明パターンを実現する。 （もっと読む）

【課題】 構成が簡単で、そして小型化が容易な環状発光装置を提供すること
【解決手段】 基板表面に、環状に形成されたエレクトロルミネッセンス発光性積層体を付設してなる環状発光装置。 （もっと読む）

【課題】 ガントリー部の移動に伴う揺れが少ないガントリー型ＸＹステージを提供する。
【解決手段】 架台４上に９個の除振マウント５を設け、その上に石定盤６を設ける。そして、石定盤６上に１対のガイドベース７を設け、その上に、石定盤６に対してＹ方向に移動可能にＣＦＲＰからなる１対の支柱１２を設ける。また、１対の支柱１２間には、ＣＦＲＰからなるビーム１４を張架する。更に、ビーム１４に対してＸ方向に移動可能に移動ベース１８を設け、移動ベース１８にレーザ光学ユニット２０を搭載する。 （もっと読む）

【課題】 車両用内装品の表皮に形成されるピンホールを精度よく検査することができ、しかも製造費が安価である表皮の検査装置を提供する。
【解決手段】 表皮の検査装置を装着部材２０と光源３０とによって構成する。装着部材２０は、検査対象たる表皮を有する車両用内装品の芯材２を利用して構成する。つまり、芯材２の両端部を切り落としたものを装着部材２０とする。光源３０は、芯材２の切り落とされた端部と対向するようにして装着部材２０の背面側に配置する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象を強調して、検査すべき対象の取り違え、検査漏れ、不具合箇所の見逃し、良否の誤判断等を低減することができる検査方法、及び低コストで汎用性が高い検査支援システムを提供する。
【解決手段】 作業者は、電子部品５１，５２，…が配置された回路基板５に対し液晶パネル２３を被せるようにして離隔配置する。液晶パネル２３は、電子部品５１の位置に対応する高透光領域２３１ａ、及び低透光領域２３１ｂが混在するパターン２３１を表示する。作業者は、液晶パネル２３に表示されたパターン２３１の内の高透光領域２３１ａから透けて見える電子部品５１を検査する。 （もっと読む）

【課題】 板材の良否の検査をより確実に行う。
【解決手段】 圧電プレート２０８を保持部材４０４の上に乗せる。吸引装置４１２を動作させ、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａの気圧を計測しながら、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａを徐々に所定の気圧になるまで減圧していく。圧電プレート２０８に欠陥があると、所定の気圧となる前に破損する。圧電プレート２０８を上面と下面とを貫通する孔がある場合は、孔２１０Ｂから外気が流入し、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａが減圧されない。よって内部空間４０２Ａの気圧の変化を示す減圧曲線によって、孔の有無が検査できる。また、圧電プレート２０８が撓んだ状態で市販されている干渉計を用いて、圧電プレート２０８に干渉縞を形成し、この干渉縞を観察し、欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）