【課題】 立体角をわずかに変えて観察した際に表面塗装に生じる変化も表面特性検査の際に分解できるようにすることである。
【解決手段】 本発明は、表面の光学的特性を検査するための装置に関するものであり、所与の第１立体角で検査表面に光を照射する、少なくとも一つの第１照射装置を備え、表面に照射され、そこから反射して戻ってきた光を補足するための少なくとも一つの第１検出装置を備え、このとき第１検出装置は位置分解して光を検出することができ、所与の第２の立体角で表面に対して配置されており、少なくとも一つのさらなる照射装置または第２検出装置を備え、これは所与の第３の立体角で光を検査表面に照射するか、または表面に照射されてここから反射して戻ってきた光を検出する。 （もっと読む）

【課題】照明条件などの観察条件の設定を容易にして使い勝手を改善する。
【解決手段】観察対象を照明するための照明部と、照明部により観察対象を照明する照明方向、明るさ、角度の少なくともいずれかを変化させた複数の異なる照明条件を設定するための簡易観察条件設定手段と、簡易観察条件設定手段で設定された複数の照明条件毎に簡易的に取得された複数の簡易観察画像を表示手段の画面上に一覧表示する簡易観察画像表示手段と、簡易観察画像表示手段に表示された複数の簡易観察画像の内から所望の一の簡易観察画像を選択する選択手段と、選択手段で選択された簡易観察画像に設定されている照明条件に基づき、必要に応じてさらに照明条件を設定可能な観察条件設定手段と、観察条件設定手段で設定された照明条件に基づいて、撮像手段で取得された観察画像を表示する観察画像表示手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 歩留まりと効率を改善する材料の暗視野検査照明装置を提供する。
【解決手段】 単一光源から光が幾つかの照明アーム間で分割され、各々がマルチモードファイババンドルにより光源からウェハ位置まで光を導く。共通の照明領域の周囲にアームが配置されているので、幾つかの方向からアームが照明される。各アームに関して、ファイババンドルから出射する光は回転プリズムに入射し、プリズムの底辺で反射し、プリズムの出射面上の発散円筒状面により１方向に発散される。アナモルフィックミラーで光が反射して、ウェハの照明領域に伝播する。ビームは非対称フットプリントを有しているので、法入射角を見たとき、ほぼ円形のウェハ領域を照明する。縦方向の前側焦点面にファイババンドルがある。両方向の後側焦点面に照明領域がある。 （もっと読む）

【課題】単に、照明レベルを制御し、画面全体の明るさを調整するのではなく、画面内での照明均一性を確保することが可能な照明制御機能を備えた視覚センサを提供すること。
【解決手段】所定の配列パターンを有しかつ予め決められた検出領域をほぼ同時に照らす複数の照明器と、複数の照明器でほぼ同時に照らされた検出領域内の画像を取得する二次元撮像素子とを有すると共に、二次元撮像素子で取得された検出領域内の画像に基づいて各種の検査を行う運用モードと、二次元撮像素子で取得された検出領域内の画像の濃度が均一となるように、複数の照明器の照明強度を調整する設定モードとを有する。 （もっと読む）

【課題】正確かつ安定性が高い品質の光を照射することができ、しかも構成が簡単で効率もよいカラー撮像素子検査用の光源装置を提供する。
【解決手段】 互いに異なる色の光を発する複数のＬＥＤ１と、各ＬＥＤ１に接続され、混合される前の各色の光を光混合部３に伝達する多数の第１メイン光ファイバ２と、各ＬＥＤ１に前記第１メイン光ファイバ２とともに接続され、混合される前の各色の光をそれぞれ導入される複数のサブ光ファイバ６と、前記各サブ光ファイバ６から導出される光の強度をそれぞれ検出する受光素子７と、前記受光素子７で検出された各ＬＥＤ１に対応する光の強度が、予め定めたそれぞれの目標値となるように、前記各ＬＥＤ１への供給電力をそれぞれ制御する供給電力制御部８とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 二つの光源装置の機能を満足しながらも、小型で且つ安価な光源装置を提供する。
【解決手段】 ランプ光源ユニット（２）が同ユニットベース（１３）上に取り付けられた状態そのままで、好ましくは光源装置本体（１）に固設された移動手段（１９）であるスライドレールに沿って、該本体前方（光軸方向）に一体的に移動させてランプ光源ユニット（２）を取り外し、別光源であるＬＥＤ用回路ユニット（５）と交換する。この際、ＬＥＤ用回路ユニット（５）の接続コネクタ（７）に、ＬＥＤ照射ユニット（６）を接続する。 （もっと読む）

【課題】
表面検査装置に於いて充分な照射光強度、検査精度を維持し、更にスループットの向上を図る。
【解決手段】
基板５表面にレーザ光線２を照射し、該レーザ光線による散乱反射光を検出して異物を検出する表面検査装置に於いて、光源部１２が複数の発光源を有し、１つの結像レンズを有すると共に各発光源に対応して設けられ該発光源からのレーザ光線を前記結像レンズに入射する光学部材を有し、前記発光源から結像レンズに入射する光軸を前記結像レンズの光軸に対して傾斜する様にし、前記各発光源からのレーザ光線の照射点を互いに走査方向に対して交差する方向にずらす様な光束として基板表面に照射し、走査ピッチを大きくした照射光学系を具備した。
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【課題】 透過照明により帯状ワークに形成されたパターンを撮像し検査する装置において、幅の広いワークや反りや凹凸が生じたワークであっても、ワークの検査する個所を撮像装置の焦点深度内に維持することができるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】 帯状ワークの幅方向にテンションを与えるワーク引っ張り機構と、ワーク引っ張り機構によりテンションが与えられた帯状ワークを吸着保持するステージとを備え、該ステージは、帯状ワークの両側にあるワーク引っ張り機構の間に、検査するパターンの長さに応じた間隔を開けて複数設ける。 （もっと読む）

【課題】光を円筒状に照射することができる照明装置及びそれを用いた検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】光源２からの出射光を拡散しながら透過させる拡散透過板３と、拡散透過板３を介して拡散された光を中心軸から放射状に反射する円錐状の反射面を有する反射部材４とを有する。 （もっと読む）

【課題】構造を肥大化させることなく、良好な光伝達効率または光量ムラ軽減が可能な光伝達素子を提供する。
【解決手段】基端面を光導入面９ａ、先端面を光導出面９ｂ、側周面９ｃを内向きの反射面とし、前記光導入面９ａから内部に導入した光を前記光導出面９ｂから射出する光伝達素子９であって、前記側周面９ｃに、内部を進む光が外部に漏れないように全反射される角度を限度として傾斜する凹凸面９ｃ１を形成した。 （もっと読む）