【課題】三次元対象物で検知される欠陥を高い精度で位置特定し、場合によっては、マーキングするための方法を提供すること
【解決手段】本発明は、三次元対象物（２）、特に塗装された車体上の欠陥の位置を特定する方法及びマーキングシステムに関し、撮像装置（３、４）によって、欠陥が検知され、その位置が特定される。本発明によれば、対象物（２）の設計データ（ＣＡＤデータ）と撮像装置（３、４）の光学撮像特性と対象物（２）が、撮像時に既知であり、これらによって、欠陥の位置が決定され、場合によっては、スプレーヘッドによってマーキングされる。 （もっと読む）

本発明は、ウェハと前記ウェハから作られた太陽電池セルとの間の対応を確立するための方法とシステムに関する。この方法は、それぞれのウェハとそれぞれの太陽電池セルに対して、ウェハのイメージを提供する段階と、セルのイメージを提供する段階と、ウェハイメージをセルイメージと比較する段階と、セルイメージとウェハイメージとの間の一致に基づいて現在のセルを現在のウェハに割り当てる段階とを有する。このシステムは、ウェハのイメージとセルのイメージを提供するための少なくとも１つの撮像デバイスと、ウェハイメージをセルイメージと比較し、そしてセルイメージとウェハイメージの間の一致に基づいて現在のセルを現在のウェハに割り当てる処理ユニットと、メモリユニットとを有する。
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【課題】例えば欠陥を探しての試料の検査のあいだ、試料を照射する方法および装置を提供する。
【解決手段】ある局面において、照射装置は、それぞれ第１端および第２端を有する光ファイバの束を含む。照射装置は、１つ以上の入射ビームを、光ファイバの１つ以上の対応する第１端に選択的に伝達することによって、選択された１つ以上の入射ビームがファイバの１つ以上の対応する第２端から出力されるようにする照射セレクタをさらに含む。照射装置は、ファイバの対応する１つ以上の第２端から出力された選択された１つ以上の入射ビームを受け取り、選択された１つ以上の入射ビームを試料に向けて導くレンズ構成も含む。レンズ構成およびファイバは、ファイバの第２端において試料の画像化平面を画像化するよう互いに対して構成される。ある局面において、入射ビームはレーザビームである。本発明の具体的な応用例において、試料は、半導体デバイス、半導体ウェーハ、および半導体レチクルからなるグループから選択される。 （もっと読む）

【目的】 光の漏れ具合をデジタル画像処理することにより導電性ローラＤＲの表面状態を定量的に把握し、良否判定アルゴリズムを用いることにより導電性ローラＤＲの良否判定を正確に行うことを可能とし、さらに検査員の画像注視により制限があった検査数量を増加させることが可能な表面判別方法を提供する。
【構成】 検査ローラ１８及び導電性ローラＤＲの転接部に光りを照射し、転接部における光り漏れ具合をＣＣＤカメラ２８により撮影する。ＣＣＤカメラ２８により撮影された光り漏れ部の画像データを信号処理装置３０へ送出する。信号処理部３０では、画像変換部３１で光り漏れ部の画像をデジタル画像情報に変換し、画像処理部３２で光り漏れ部の幅および高さを画素数表現で計測し、良否判定処理部３３で幅及び高さの画素数データと良否判定アルゴリズムにより、導電性ローラＤＲの表面状態の判別を行う。これにより、検査員が画像表示装置を注視することなく、導電性ローラＤＲの表面状態の良否を判定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでありながら集光効率を向上させることができ、しかも照明ムラのほとんど無いライン光照射装置を提供する。【解決手段】複数の光ファイバ４の光導出端部４ａを一列に密に配列してなる光射出部２１及びその光射出部２１の前方であって前記列方向Ｐに沿って延伸するように配置した柱状レンズを対で有し、線状に収斂するライン光ＬＬを射出する複数の発光部２と、光照射対象であるワークＷに対向して配置され、そのワークＷを観測するための観測孔３ａ、３ｂが貫通させてあるものであって、前記各発光部２から射出されるライン光ＬＬの光軸面が所定線上で交わるようにそれら発光部２を保持する保持体３とを具備させた。 （もっと読む）

本システムは、仕様書を越える可能性のある領域の表示をオペレータに提供する、或いは前記オペレータによるより詳細な分析を要求する遠隔映像検査装置からの画像の分析を自動的に実行する。パターン認識アルゴリズムは、前記画像の異常或いは欠陥を調査するため連続画像に適用される。前記調査領域は、最初、欠陥の可能性がより高い、検査されるアイテムのエッジに制限される。処理要求及び誤検出の可能性を減らすために、調査領域は制限された視野及び奥行きに狭められる。へこみ及び小さな割れなどの欠陥は、立体測定技術を用いて、或いは公知の補足画像を欠陥と予測することで検出される。この技術は、画像相違マップを提供するのに用いられる。公知の三角アルゴリズムを用いて、前記マップは奥行き及び距離情報を前記処理システムに提供する。
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【課題】 暗くなる箇所が発生することなく、どの箇所においても均等に照らすことができる表面検査用照明装置を提供する点にある。
【解決手段】 多数の発光体が線状に配置された線状光源１４の光照射側に集光手段１６を配置してなる照明部３の複数のそれぞれを、検査対象物のほぼ同一箇所に対して照射し、該照明部３の各発光体ＶＬ１が検査対象物を照射するそれぞれの位置と該別の照明部３の各発光体ＶＲ１が検査対象物を照射するそれぞれの位置とが照射する線状の発光体群の長手方向において異なるように複数の照明部３の各発光体ＶＬ１、ＶＲ１を配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】被検体表面の塵埃，膜厚むら等の欠陥を単純な画像として観察することができ、従って画像処理装置と組合わせて自動欠陥検査装置を構成するのが容易になる表面欠陥検査装置を得ることにある。
【構成】表面に薄膜を有する被検体２１の直前に配置され、かつ２１の観察視野とほぼ等しい大きさであって、光源１からの光を略平行な光束として２１に照射するとともに、２１の表面からの正反射光を通過させるコリメータレンズ１２と、１２の焦点近傍に配置され、任意に選択可能な複数の中心波長を持ち、１２に光を入射する狭帯域光源２〜５と、この光源からの光を反射または透過により１２を通過させて２１に垂直に照射させるハーフミラー１１と、２１の表面からの正反射光を１２に通過させ、１１で透過または反射させ、光源２〜５と共役な位置に入射瞳を有し、２１の表面を観察する結像レンズ１３を具備したもの。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ハーベスタで収穫されたサトウキビの梢頭部を収穫後に迅速且つ構成度で分別、除去するサトウキビ梢頭部の識別装置を提供する。
【解決手段】本発明は、製糖原料であるサトウキビの茎部と、ショ糖の結晶化を阻害し製糖効率を低下させるサトウキビの梢頭部とを分別する、製糖工程におけるサトウキビ梢頭部の識別装置に関する。同装置では、サトウキビ１にレーザ光源３からのレーザ光を照射し、後方反射光を光センサ７にて検出して、信号処理部９にて得られた受光パターンに基づいて茎部と梢頭部とを識別する。 （もっと読む）