【課題】表面に錐形状を有する製品に対し、迅速かつ容易に検査を行える検査装置を提供する。
【解決手段】一方の面に少なくとも１以上の錐形状の突起部分を有する平板状の半透明の試料（１０１）の検査装置であって、
前記試料に対し、前記試料の表面に平行な方向から光を照射する第１の光照射手段（１０４）と、
前記第１の光照射手段に対向する方向から光を照射する第２の光照射手段（１０４）と、
前記試料を撮像する撮像手段（１０３）と、
前記撮像手段と前記試料との間の距離を測定する距離測定手段（１０５）と、
前記距離測定手段により得られた距離を基に撮像手段の焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段（１０７）と、
前記撮像手段により撮像された画像データを処理する画像処理手段（１１０）と、
前記画像処理手段で処理された結果を表示する表示手段（１１１）と、
を有することを特徴とする検査装置。。 （もっと読む）

【課題】従来の縞パターン投影法とフーリエ変換法による三次元計測方法に、新たな処理フローを加えることにより、感光体表面に発生する膜厚むら、きず、突起、異物及び色むら等の全種の欠陥を検出する表面検査装置、それを用いた欠陥検出方法、プログラム及び記録媒体を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、対象物上に縞パターンを投影する手段と、対象物の表面を撮像する手段と、対象物の画像データからフーリエ変換法により対象物の三次元形状データを算出する手段と、画像データの高周波成分に基づいて欠陥検出を行う手段と、低周波成分に基づいて欠陥検出を行う手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
光学的な表面を有する基板の検査方法において、特に、原器あるいはマスターから複製される基板の適切な表面検査方法が開発されていないため、高密度化する記録媒体や光学素子の量産化が遅れている。
【解決手段】
原器あるいはマスターとそれから複製される基板とをそれぞれ反射ミラーとするような構成のマイケルソン型干渉計あるいは、マッハツェンダー型干渉計を構築することにより、原器あるいはマスターから反射する位相情報を含む光と、検査対象から反射する光とが干渉し干渉縞を観測する。干渉縞を解析することにより、原器あるいはマスターの表面が有する特定の光学的構造と、検査対象の表面構造との差異を観測することができ、検査対象の表面状態を検知することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】対象上の色層にむらがないことについての客観的な情報を提示する方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明は、表面特性測定方法に関し、当該方法では、被検査表面（５）の第１の領域に放射線を放射し、次に、第１の領域へ放射が行われ第１の領域により反射された少なくともいくらかの放射線を検出し、この反射した放射線に固有の測定値が出力される。さらに別の方法ステップでは、表面（５）の第２の領域に放射線を放射し、再度、第２の領域へ放射が行われ第２の領域により反射された放射線の少なくともいくらかの放射線を検出し、この放射線に固有の第２の測定値が出力される。最後に、第１の測定値と第２の測定値との間の関係に固有の結果値が、出力される。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの平面部及び端面（エッジ部）の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】エッジを含んだディスク表面の所定形状の検査領域部分を視野内に含む撮像手段を用いて当該検査領域部分からの反射光を撮像することにより得た取り込み画像からハードディスクのエッジ位置を検出するエッジ検出処理手段と、当該検査対象ディスクの内径、外径及び記録面領域の範囲を規定する仕様情報を取得する情報取得手段と、検出したエッジ位置と仕様情報に基づき、取り込み画像を記録面領域、非記録内周領域、非記録外周領域、外周エッジ領域、内周エッジ領域の各領域に対応したウインドウに分離するウインドウ分離手段と、各領域ごとにデータ処理を行い、塵埃の位置及び大きさの情報を得る画像解析手段と、得られた結果をモニタ画面上に表示させる表示制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの検査対象領域に対する照明光の光量の安定化・均一化を図り、ディスク表面（記録面部分）及び端面（エッジ部）の同時検査や両面の同時検査への適用にも好適なハードディスク検査装置を提供する。
【解決手段】垂直姿勢で保持されたディスク（12）の面に対し、照明装置（112，114,116,118）からエッジを含んだ検査領域の形状と略同一形状の照射範囲となる照明光パターンの照明光を照射し、当該エッジを含んだ検査領域部分からの反射光をカメラ（102,104）によって撮像する。ディスク（12）の表面側及び裏面側の各検査面に対して、それぞれ１台ずつ光源装置（310,311）を備え、１台の光源装置（310又は311)から光ファイバー（312又は313）を２分岐して、ディスク検査領域に対して２方向（左右）から対称的に照明する。 （もっと読む）

多数の溝（２０）を画成するハニカム構造体（１２）を備えたセラミック・フィルター体（１０）の欠陥（ＤＥＦ１〜ＤＥＦ６）を検出するためのシステム（５０）及び方法の開示である。栓体（３０）により選択溝の端部（２２、２４）が封止される。この方法において、光学的に連絡できるようハニカム構造体の第１及び第２端部（１６、１８）にそれぞれ動作可能に配された第１光源ユニット（５２）及び第１検出器ユニット（６２）が使用される。多数の溝を通して、第１光源ユニットから第１検出器ユニットに光ビーム（ＬＢ）が送出される。特定の栓体の欠陥により対応する光ビームの検出可能部分（ＬＢＤ）が検出される。多数の検出器素子（６４）を用いて検出可能光ビーム部分を検出することにより、位置及び強度変化の情報が得られ、その情報により欠陥の正確な位置及び種類を推定できる。対向端部（１６、１８）に配された光源ユニット（５２、５２’）及び対向端部（１８、１６）に配された検出器ユニット（６２、６２’）により、セラミック・フィルター体の両端において欠陥の同時測定が可能な“両端型”システムが構成される。非填塞セラミック・フィルター体の欠陥（ＤＥＦ４、ＤＥＦ５）を測定するためのシステム及び方法も開示されている。
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【課題】円板状物体の外径面の全体を撮像することができる円板状物体外観検査装置の提供。
【解決手段】搬送経路１２に沿って移動する円板状物体Ｃの厚さ方向の一側に配置される第１の撮像手段３１と、円板状物体Ｃの厚さ方向の逆側に配置されて円板状物体Ｃの外径面Ｃｂの像を第１の撮像手段３１に向け反射させる円錐状反射面３５ａとを有し、第１の撮像手段３１は、円板状物体Ｃの一側の面Ｃａと円錐状反射面３５ａで反射される外径面Ｃｂとを撮像する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの表面の押圧を一定にすることが可能な異物検出方法を提供すること。
【解決手段】一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した異物の有無を検出する異物検出方法であって、液晶表示パネルの表面をエア圧により押圧するためのエアが噴出されるエア噴出口が長手方向に複数配置されたエア噴出バーを、液晶表示パネルの表面に対して平行に移動させることにより、基板間に混入した異物による表示欠陥を顕在化させる。 （もっと読む）

【課題】超音波センサを含む他のセンサや画像処理手法では難しい、ホーン部分の摩耗面や傷の状態を監視できるパンタグラフのホーン監視装置を提供する。
【解決手段】パンタグラフ１１上方に設置され、前記パンタグラフ１１のホーン１２の上面の摩耗面１２ａの画像を撮像する撮像手段と、前記画像を画像処理することで前記ホーン１２の摩耗面１２ａや傷１２ｂの状態を監視する画像処理手段とを備えた。 （もっと読む）