【課題】半導体デバイスなどパターンを有するウェハ，液晶基板およびメディア等の欠陥の高精度な異物検出方法および異物検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の第１の特徴は、検査対象基板に光を照射する照射光学系と、前記検査対照基板からの光を検出する検出光学系と、前記検査対象基板からの回折光を遮光する空間フィルタとを有する検査装置において、前記空間フィルタは、複数の遮光材と、前記遮光材の形状，角度、または間隔の少なくとも１つを変化させる制御部材と、前記制御部材を制御する制御部と、を有することにある。 （もっと読む）

【課題】 被検体の表面に段差があっても、光学系の調整なしで、より正確に表面欠陥を検出することができる。
【解決手段】 光源からの光を被検体の表面に照明する照明部と、被検体表面からの反射光を捕捉する光学系と、光学系により捕捉された反射光の一部を通過させるアパーチャと、アパーチャを通過した反射光の強度を検出する検出部を具備し、光学系が、被検体の表面の位置から光学系の焦点距離となる位置に、且つ光学系の光軸に垂直な面が照明部の照明光の光軸と平行となる角度で配置し、アパーチャを、光学系に対し被検体の表面位置とは反対の側で、光学系の焦点距離の位置で、且つ反射光が通過する位置に配置した。 （もっと読む）

【課題】
スキャトロメトリを用いることにより、基板上に形成された線幅数１００ｎｍ以下のパターンの断面形状を、例えばディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定することも可能となる。しかし、ディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定したパターンの幅や高さ等を全て表示することは困難であり、また全て表示することが必ずしも有効であるとはいえない。
【解決手段】
本発明では、パターンの幅や高さ、特にデバイスの性能に直接影響を及ぼすパターン断面の磁性体部分の断面積(単位長さあたりの体積)等の分布を独立に、又は組み合わせて表示する。また、結果の特徴を強調して表示する。さらに、リードライトテスト結果との相関を予め評価しておくことにより、パターン断面形状の検査・測定時に最終的な不良箇所の特定を可能とし、不良の発生を事前に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象の管の端面における欠陥を精度良く検出することが可能な管端面検査装置及び管端面検査方法を提供する。
【解決手段】管端面検査装置（１）は、検査対象の管（１０）の端面（１０ａ）を撮影し、管端面（１０ａ）が写った検査画像を生成する撮像部（３）と、照明光を管端面（１０ａ）へ向けて照射し、管端面の外周端（１０ｂ）及び内周端（１０ｃ）で正反射された照明光の少なくとも一部が撮像部（３）へ向かい、管端面のその他の部位で正反射された照明光が撮像部（３）からそれるように配置された照明光源（２）と、検査画像から管端面の外周端（１０ｂ）に相当する第１のエッジ及び管端面の内周端（１０ｃ）に相当する第２のエッジを検出し、その第１のエッジ及び第２のエッジに基づいて管（１０）の良否を判定する画像処理部（４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】 塗膜形成ムラを検出することが出来るとともに、装置内の調整を容易に行なうことが可能な塗膜形成ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】 塗膜形成ムラ検出装置１００は、表面に膜を塗布した基板Ｗを保持し回転する回転テーブル５と、基板Ｗに光を照射する光照射手段２と、光照射手段２による基板Ｗ表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段４と、を備える。そして、回転テーブル５上には調整用画像５０が描かれている。調整工程において画像処理装置６の調整処理部６２は、調整用画像５０の反射光量の電気信号を出力し表示する。よって、その信号から調整内容を簡単に判断することができ、調整作業が可能になる効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で一律の安定した精度で測定することができる操作性に優れた分岐器検査装置を提供する。
【解決手段】軌道上を走行可能な台車２１と、台車２１の走行距離を測定する距離センサ２５と、測定対象物の形状を測定するレーザ式変位センサ２９と、レーザ式変位センサ２９を測定対象側レール１１の軌間測定点Ｐの鉛直線上に常に位置させるスライドガイド２７と、測定制御装置４０とを有する。測定制御装置４０は各測定位置情報、測定情報を記憶する基本データ記憶部、測定データ記憶部、入力部、表示部及び制御部を備える。制御部は台車２１の走行距離が測定位置情報に一致した時に測定情報、走行距離を表示部に表示させ、入力部からの入力によりレーザ式変位センサ２９を作動させて測定を行わせ、測定データを表示部に表示させると共に測定データ記憶部に格納する。 （もっと読む）

【課題】端子の一端側部分を良好に観察できるようにすること。
【解決手段】撮像部２０と、端子Ｔの一端側部分９６の一側面９６ａと対向する位置に配設可能であると共に、一側面９６ａからの光線を撮像部２０に導く第１導光部材４２を有する導光部４０と、第１導光部材４２を、端子Ｔの一端側部分９６の一側面９６ａに対して端子Ｔの長手方向Ｌ複数位置で対向させるように、導光部４０を端子Ｔの長手方向Ｌに沿って移動可能な移動機構部６０と、画像処理部８０と、を備え、画像処理部８０は、撮像部２０により端子Ｔの一端側部分９６の長手方向に沿った複数位置で撮像された複数の画像を合成し、端子Ｔの一端側部分９６の一側面９６ａの合成画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】トレイに収納された検査対象物に迅速かつ確実にフォーカスを合わせる。
【解決手段】検査対象物を収納したトレイを載置するステージとステージを水平方向に駆動する前後駆動機構及び左右駆動機構とトレイに収納された検査対象物を撮影する撮影部と撮影部を垂直方向に駆動する上下駆動機構とを備える装置を用い、前後駆動機構及び左右駆動機構を制御してステージを移動させる第１ステップと、ステージの水平位置に対応する撮影部の垂直位置が予め記憶されているかを判断する第２ステップと、垂直位置が記憶されている場合は、撮影部を当該垂直位置に移動させ、垂直位置が記憶されていない場合は、撮影部の垂直位置が調整された後に、ステージの水平位置と撮影部の垂直位置とを対応付けて記憶する第３ステップと、撮影部を用いて検査対象物を撮影する第４ステップと、を少なくとも実行する。 （もっと読む）

【課題】スクリーンにおける局所的歪みの存在を定量的に解析してスクリーンの良否判定を行うことが可能なスクリーン検査システムを提供する。
【解決手段】スクリーンに正対する方向から前記スクリーンを撮影する撮影装置と、前記スクリーンに対して前記正対する方向より斜めの方向から光を投射する投射装置と、前記撮影装置から得られる前記スクリーンの撮影画像に基づき、前記スクリーンの局所的歪みに起因する明るさムラの程度を判定する画像処理装置とによってスクリーン検査システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑えることや、短時間で高精度に外観検査を行うこと、駆動モータに掛かる負荷を低くすることが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、２つの駆動ローラの先端部外周にそれぞれ形成された先細のテーパ面により球状のワークＷを保持する保持装置４０と、回転速度が周期的に且つ逆位相で変化するように各駆動ローラを同方向に回転させてワークＷを従動回転させる回転駆動装置と、ワークＷの回転によりレーザ光が走査される方向と交差する方向にビーム断面が細長いスリット光をワークＷの表面に向けて照射する投光部７１と、ワークＷの表面で反射したレーザ光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する複数の受光素子が、反射したレーザ光のビーム断面の長手方向に沿って配置される受光部７４と、各受光素子によってそれぞれ生成された電気信号を基にワークＷの外観の良否を判定する判定部７６とを備える。 （もっと読む）