【課題】
本発明は、本高速でパターンドメディア表面やスタンパのパターン形状の整形不良を検査できるパターン形状検査装置または検査方法並びにパターンドメディアディスク製造ラインを提供することである。
【解決手段】
本発明は、パターンが形成された被検査対象を載置して回転させながら半径方向に移動させ、前記被検査対象に対して遠紫外光を含む広帯域の照明光を斜め方向から照射し、該照射光学系で照射された被検査対象から発生する０次反射光を検出し、前記検出された０次反射光を一定の波長幅を有するチャンネル分光データを得、該チャンネル分光データが設定許容範囲内に存在するか判断し、前記判断結果を基に前記被検査対象に形成されたパターン形状を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ナットの表面で反射した反射光からナット表面の傷の有無を検出する部品傷検出装置の提供。
【解決手段】所定位置に配置された被検査部品に光を照射する投光装置２７ａ，２７ｂを配置するとともに、被検査部品の反射光を受ける位置にＣＣＤカメラ２９ａ，２９ｂを配置し、被検査部品の反射状態を画像情報としてＣＣＤカメラ２９ａ，２９ｂで取り込み、この画像情報から被検査部品表面の傷の有無を判定するように構成した部品傷検査装置１であって、被検査部品を載置して回転させる回転台を設け、回転台２４ａ，２４ｂが回転する間ＣＣＤカメラ２９ａ，２９ｂにより所定回転角毎被検査部品の反射状態を取り込むように構成してある。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査に適したウェーハの画像を効率よく取得できるようにする。
【解決手段】受光部２により撮像された検査対象のウェーハＷの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にあるか否かを判定し、ウェーハＷの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にないと判定した場合に、ウェーハＷを撮像する際の露光時間を変更して、受光部２によりウェーハＷの画像を再度取得させる制御処理部６ａと、ウェーハＷの画像の平均輝度が欠陥検出可能範囲内にあると判定された場合に、当該ウェーハＷの画像に基づいて欠陥検査を行う画像処理部６ｂとを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】タイヤの外観検査において、マスター画像を用意することなくパターンマッチングによりタイヤの外観を検査する外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ表面を撮像した撮像画像の中から複数のモデル画像を設定するモデル画像設定ステップと、複数のモデル画像と撮像画像とを繰り返しパターンマッチングし、所定のマッチング率以上の撮像画像の領域をマッチング画像として抽出するマッチング画像抽出ステップと、モデル画像とマッチング画像との差分を演算し、差分画像を作成する差分画像作成ステップと、差分画像を閾値と比較して欠陥画像を抽出する欠陥画像抽出ステップとを含むようにした。 （もっと読む）

【課題】試験するタイヤのサイズを変更した場合にも、試験準備時間を短縮できるタイヤ側面故障検出装置を得る。
【解決手段】ビデオカメラ２０によって正面からタイヤ１２の側面を撮影する際に、撮影範囲の一方の端で正反射光が撮影範囲に入る位置となるように光ファイバー１８の先端１８Ａをビデオカメラ２０に近づける。これにより、投射された正反射光は、基準高輝度部位に発生すると共に、タイヤ１２の側面に局所的な微小な膨らみがあるその他の高輝度部位の輝度が、周辺の輝度に比べて高くなる。このため、パソコン２４で基準高輝度部位とその他の高輝度部位とのタイヤ周方向の距離、及びその他の高輝度部位の輝度から、タイヤ１２の側面の故障を検出する。 （もっと読む）

【課題】設定された撮像位置を維持したまま、周長が異なる金属リングの側縁を検査するための画像生成装置を提供する。
【解決手段】画像生成装置１は、第１の一対のローラ６ａ，１０ａ間及び第２の一対のローラ６ｂ，１０ｂ間に金属リング２を挟持し、少なくとも一つのローラを回転させることにより金属リング２を周方向に回転させるローラ６ａ，６ｂ，１０ａ，１０ｂと、金属リング２の側縁２ａを定位置Ｐで撮像するカメラ４と、得られた画像を処理して表示する画像処理装置５とを備える。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアディスク上に繰り返し発生した欠陥をスタンパの経時的変化による劣化により発生した欠陥と、プロセスの不良により発生した欠陥とを識別して、スタンパの経時変化により発生した欠陥を検出する。
【解決手段】試料上に塗布されたレジストに微細なパターンを転写するためのスタンパの不良を検出するパターンドメディア用スタンパの検査方法において、表面に塗布されたレジスト膜にスタンパの微細なパターンが転写された試料に光を照射し、光が照射された試料からの反射光を分光検出し、分光検出して得た検出波形から欠陥を抽出し、抽出した欠陥のうち複数の試料上の同じ位置に発生した欠陥についてスタンパに起因する欠陥と、レジスト膜のパターンを形成するプロセスに起因する欠陥とを弁別し、スタンパに起因する欠陥の個数が予め設定した個数を超えたときに警告を通知するようにした。 （もっと読む）

【課題】測定対象物及びスライダの損傷を回避して、微小な欠陥を検出することが可能な平滑面検査装置を提供する。
【解決手段】測定対象物３を支持するステージ２６と、ステージ２６を回転させるスピンドル４と、測定対象物３に光を照射する光源５と、測定対象物３からの散乱光を信号化する光検出部８と、散乱光７を第１の欠陥の情報に変換する信号処理部１１と、第１の欠陥の情報を記憶する第１のメモリ部１２とを有する第１のパートと、第１の欠陥よりも小さい第２の欠陥を検出し、接触センサが搭載されたスライダ９と、スライダ９を浮上させるロード・アンロード機構と、第１のメモリ部１２に記憶された第１の欠陥の情報に基づいて、ロード・アンロード機構２２を制御するスライダ制御部１４と、接触センサ信号処理部１６で変換された第２の欠陥の情報を記憶する第２のメモリ部１７とを有する第２のパートとを備える。 （もっと読む）

【課題】 回路パターンからの散乱光の影響を抑えた方向から照明光の照射を行うことで、基板の端部近傍の欠陥検査をより正確に行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】 表面に回路パターンが形成されたウェハ１０の端部近傍に対して、複数の方向から照明光の照射が可能な照明部３０と、前記照明光が照射されたウェハ１０の端部近傍の前記回路パターンからの散乱光を検出する撮像部４０と、撮像部４０を用いて検出された前記回路パターンからの散乱光に基づき、ウェハ１０の端部近傍の検査を行う検査部８０と、各種制御を行う制御部６０とを有し、制御部６０は検査時に前記回路パターンに対して照明部３０により照射する照明光の照射方向を照射可能な複数の方向から選択する。 （もっと読む）

【課題】金属リング、又は、複数個の金属リングを積層して構成される金属ベルトの側方端面に傷が存在するか否かを確認することを容易にする。
【解決手段】検査装置３０は、第１固定ローラ３２ａ、第２固定ローラ３２ｂ及び可動ローラ３２ｃを備える。これらローラ３２ａ〜３２ｃは、ローラ本体９８ａ〜９８ｃと、該ローラ本体９８ａ〜９８ｃの下方底部に設けられたフランジ部材９６ａ〜９６ｃとを有する。ローラ本体９８ａ〜９８ｃは、フランジ部材９６ａ〜９６ｃに向かうにつれてテーパー状に縮径する。可動ローラ３２ｃが移動することでローラ３２ａ〜３２ｃに掛け渡された金属ベルト１２が緊張した後、ローラ３２ａ〜３２ｃが回転動作されると、該金属ベルト１２の下方側の側方端面２２ａがフランジ部材９６ａ〜９６ｃの上端面に着座する。この着座により、金属ベルト１２を構成する金属リング１８の上方側の側方端面２２ｂの位置が揃う。 （もっと読む）