【課題】貼り合せ板状体の周辺部に不透光領域があっても、接着剤内の気泡や異物とともにその周辺部における接着剤の状態が現れ得る検査画像を得ることのできる貼り合せ板状体検査装置を提供することである。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、貼り合せ板状体１０の第１板状体１１側から当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段５１と、貼り合せ板状体１０の第２板状体１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照明する第２照明手段５２とを有し、第１照明手段５１は、貼り合せ板状体１０の上方から、貼り合せ板状体１０の表面における撮影ラインＬ_Cから所定距離だけ離れて当該撮影ラインＬ_Cに沿った方向に延びる所定領域Ｅ_Lを斜めに照明し、第１照明手段及５１及び第２照明手段５２による照明がなされている状態で、ラインセンサカメラ５０が貼り合せ板状体１０を走査することにより検査画像を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】赤外線フィルター用ポリカーボネート樹脂における不良品の判定を高い精度で行う方法を提供する。
【解決手段】可視光を吸収する染料を含有するポリカーボネート樹脂の赤外線透過率の良否を判定する方法であって、該ポリカーボネート樹脂を所定形状のペレットに成形し、
Ａ）ペレットをペレット搬送部にペレット同士が重積しない単層状態に載置する工程、
Ｂ）ペレットを搬送し、赤外線投光装置及び受光装置からなる赤外線透過式の検査部を通過させる工程、
Ｃ）赤外線の透過量を測定しペレットの良否を判定する工程、
Ｄ）判定に従って、ペレットを選別する工程
の各工程を有し、
当該判定に用いるペレットの形状を、扁平率０．２５〜０．９、短径１〜４ｍｍ、長さ２〜４ｍｍとすることを特徴とする赤外線フィルター用ポリカーボネート樹脂の良否判定方法による。 （もっと読む）

【課題】ヒートシールされた軟包装体のシール状態に問題がないかどうかを、中に内容物が何も入っていない状態で、比較的簡単な方法により短時間で判別できるような検査方法を提供する。
【解決手段】ヒートシール部分と、ヒートシールされていない部分で、反射光の拡散特性が異なることを利用して、拡散の少ない収束光２を発するような照明光源１と、複数台のカメラ５〜７を用いて、検査物体３からの反射光４を、カメラで撮影して、ヒートシール部は、多くのカメラで明るく写るのに対し、非ヒートシール部は、少ないカメラでしか明るく見えないことから、ヒートシールされた部分とされていない部分を判別することができる検査方法である。 （もっと読む）

【課題】Ｏリング等弾性材料からなるシール部材に付着している異物を適切に検出することができる弾性材料からなるシール部材の検査方法、及びその装置を提供する。
【解決手段】Ｏリング２の裏面２ａと平面部材４の平面４ａとが所定間隔を存して平行となるように配置し、Ｏリング２の裏面２ａに対して垂直な方向からＯリング２の裏面２ａを撮影し、その撮影した映像を解析してＯリング２に異物が付着しているか否かを検査する。Ｏリング２の裏面２ａに付着している異物がＯリング２に埋もれてしまうことがなく、Ｏリング２の裏面２ａに付着している異物を適切に検出できる。又、Ｏリング２に下方向へ延びるように付着している異物が平面部材４の平面４ａに接することで、その糸状の異物が撮影される領域を広げて糸状の異物を撮影でき、Ｏリング２に下方向へ延びるように付着している糸状の異物を適切に検出できる。 （もっと読む）

【課題】微細な異物や空気の混入、変形等のスタンパの転写面の側の異常要素を短時間で容易に検出できるスタンパによる転写の検査方法、該検査方法を利用する転写方法及び転写システムを提供する。
【解決手段】透光性及び可撓性を有し片面が転写面であるスタンパ１２Ａ、１２Ｂが転写面において被転写物１４に接するように設置された状態でスタンパ１２Ａ、１２Ｂを転写面と反対側の背面の側から観察することにより、転写面の側の異物（異常要素）１６に起因して生じる光学的変化部分の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアディスクの両側の表面を検査する検査装置において、スループットを高い状態に維持しながら検査を実施することを可能にする。
【解決手段】光学検査ユニット１００Ａ，Ｂと基板を載置して回転させる基板回転駆動部を複数備えて回転駆動部に載置した基板を検査する位置と基板を取出・供給する位置との間を回転して搬送するテーブルユニット２００Ａ，Ｂと基板反転ユニット３００と基板を収納するカセット部と、未検査の基板を取り出してテーブルユニット２００Ａ，Ｂに供給すると共に、両面を検査し終えた基板を収納する基板ハンドリングユニット４００とを備えて構成し、光学検査ユニット１００Ａ，Ｂとテーブルユニット２００Ａ，Ｂとを複数備え、基板反転ユニット３００による基板の反転と基板ハンドリングユニット４００による検査を終えた基板の取出し未検査基板の供給とを交互に行なうようにした。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体のセル内の隔壁の欠陥を検出することが可能なハニカム構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】一方の端面から他方の端面まで貫通する複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体１００を検査対象とし、ハニカム構造体１００の一方の端面１１を、一方の端面１１との角度θが０°より大きく９０°より小さくなる方向から、撮像装置２１で撮像して、ハニカム構造体１００のセル内の隔壁の欠陥を検査するハニカム構造体の検査方法。 （もっと読む）

【課題】基板表面の離散的であって線状に分布する欠陥(線状スクラッチ欠陥)を他のランダムに分布する微小な欠陥と区別して分類することを可能にする。
【解決手段】基板表面欠陥検査装置１０００は、基板１を載置して回転可能なステージ手段１９０と、基板１に光を照射する照明光源１１０と、基板１からの反射・散乱光を検出する検出手段１２０，１３０，１４０と、検出される信号を増幅してＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段１５１，１５２，１５３と、このＡ／Ｄ変換手段で変換された検出器から出力される信号を処理して基板上の欠陥を検出して検出した欠陥を分類する欠陥検出手段１６０とを備えて構成し、欠陥検出手段１６０は、検出器から出力される信号を処理して基板の表面の微小な欠陥を抽出し、この抽出した微小な欠陥の中から線状の領域に離散的に存在する線状欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】
磁気ディスク検査において、カセットから取り出した磁気ディスクの両面を検査し、検査結果に応じたグレード分けをして再びカセットに戻すまでのトータルをスループットを高い状態を維持しつつ、低発塵環境の中で実施することを可能にする。
【解決手段】
カセットに収納された複数の未検査の基板をカセットから取出し、このカセットから取出した複数の基板を磁気ディスク検査装置の複数の基板取出・供給位置で複数の回転駆動部に載置し複数の検査位置に搬送し、この複数の基板を複数の回転駆動部で回転させながら光を照射して光学的に検査し、光学的な検査を終了した複数の基板を複数の基板取出・供給位置に搬送し、この搬送された複数の基板を取出し、この取出した複数の基板を検査が終了した基板を収納するカセットに光学的な検査の結果に応じて分別して収納するようにした。 （もっと読む）

【課題】数秒／枚程度で生産されるパターンドメディアを全面を全数に亘って検査することを可能にするパターンドメディアの形状欠陥検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】基板に形成された寸法が１００nm以下の繰り返しパターンを検査する方法において、基板に複数の波長成分を含む光を照射し、この光を照射した基板からの反射光を分光して検出し、この分光して検出して得た信号を処理して分光反射率を求め、この求めた分光反射率から評価値を算出し、予め求めておいた評価値とパターン断面形状との関係に基づいて分光反射率から算出した評価値からパターンの形状欠陥を判定するようにした。 （もっと読む）