【課題】
被検査球に非接触で有害なキズをつけることなく検査を実施することができて、光を透過する材質を含む被検査球の全表面及び内部のキズ，異物及び欠陥の有無を判定可能とする。
【解決手段】
球体保持器４と、流体供給装置１を含み、球体保持器４は中心部に流体供給装置１に連通する流体噴出孔２ａを有していると共に、上面に半球状のくぼみを形成してなり、かつ半球状のくぼみには中心より放射方向に１本又は非対称複数本の流体流出溝３を設けて被検査球７を流体噴出孔２ａよりの噴出流体で球体保持器４上に浮揚させ、非接触で回転させながら検査手段により被検査球７の全表面及び内面を検査する。 （もっと読む）

【課題】
検査時間を増大させることなく、微細凹凸パターンが形成された、ハードディスク用のパターンドメディアなどの試料よりの欠陥種類の特定を容易に行うようにする。
【解決手段】
微細凹凸パターンの欠陥検査において、スキャッタロメトリー法にて検査対象物の特徴を検出する際に、検査対象物の検出対象領域の分光波形を検出し、検出対象領域が検査対象物のパターン種類によって決まるどの領域区分に属するかの領域判定を行い、領域判定の結果により、判定された領域区分に対応する、欠陥種類毎に異なる特徴量の演算式と判定指標値を選択し、選択した特徴量の演算式にしたがって、前記分光波形データに対し、特徴量演算を行い、算出した特徴量の値と、前記選択した判定指標値とを比較して欠陥種類毎の判定処理を行う。 （もっと読む）

【課題】
特にセラミックス球の外観検査装置において、静電気帯電防止を図ると共に、従来の装置で検出困難であったセラミックス球特有の色むら等の欠陥の検出を可能ならしめる。
【解決手段】
セラミックス球１を油中に浸漬し、油中で回転装置によって子午線状に回転するセラミックス球の表面に照明手段６により光を照射して撮影手段７により球全表面を撮影し、撮影された球表面の画像を処理してセラミックス球の欠陥の有無を判定する装置において、上記照明手段６を特にセラミックス球に明視野及び暗視野となるように光を照射可能な照明手段とした。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面が傾斜方向の異なる複数の面を有している場合であっても迅速に表面の欠陥の有無の測定を行うことができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象物９０の表面にそれぞれ波長帯が異なる複数本の光ビームＲ，Ｇ、Ｂを照射する光源１１と、検査対象物９０の表面で正反射された光ビームＲ，Ｇ，Ｂを検査対象物９０の表面の傾斜方向に応じてそれぞれ異なる収束位置Ｐ１，Ｐ２、Ｐ３に収束させるレンズ１３と、各収束位置Ｐ１〜Ｐ３に配置され、それぞれ異なる波長帯の光ビームを透過させるカラーフィルタ１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂと、そのカラーフィルタ１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂを透過した光ビームの輝度を検出する受光素子１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂと、前記光ビームを走査させる走査機構とを備えた表面検査装置１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】ディスク部材について，表裏各面と端面を形成するチャンファ部との境界部分において突起した形状欠陥を検出することができること。
【解決手段】１つの平面内の複数の位置各々に配置された複数のＬＥＤ１２からディスク基板１の測定部位Ｐに対し，順次異なる照射角度で光を照射し，その照射ごとに，計算機３０により，測定部位Ｐからの反射光の像のカメラ２０Ｒ，２０Ｌで撮像し，さらに，計算機３０により，各ＬＥＤ１２に対応した撮像画像と光の照射角度φとに基づいて，測定部位Ｐの表面角度の分布を算出し，表面角度の変化が許容範囲内か否かの判別により表面形状の良否を判別し，表面形状の画像を，形状不良部分を明示しつつ画像表示装置に表示させる。 （もっと読む）

【課題】検出感度の校正を容易に行うことができる表面検査装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】ケース１５内の検出ユニット１４内に設けられたウエハチャック７に載置されたウエハ１を高速回転することにより検査する表面検査装置において、ＦＦＵ３により検出ユニット１４内のウエハ１周辺に清浄な空気を供給し、ウエハチャック７の下方に設けた排気口により検出ユニット１４内の空気を排出することにより、ウエハチャック７の下方に設けられ回転機構４によって、ウエハチャック７及びウエハ１が高速回転する場合に、その周辺に生じる乱流を層流にする。 （もっと読む）

【課題】ハードディスク装置における記録密度の向上に伴い、磁気ヘッドと磁気ディスクとのスペーシング（浮上量）は数十ｎｍから数ｎｍと非常に狭くなってきており、ディスク基板表面の１μｍ程度の微小欠陥の凹凸を弁別して検出することは重要な解決課題である。
【解決手段】回転するディスク基板表面に、斜め方向からレーザ光を照射するステップと、微小な凹凸の欠陥からの低角度散乱光の強度と高角度散乱光の強度を検出するステップと、前記低角度散乱光の強度と高角度散乱光の強度の比率が一定の場合、微小な凸状欠陥であると判断するステップと、前記低角度散乱光の強度と高角度散乱光の強度の比率が変化する（大きくなる）場合、微小な凹状欠陥であると判断するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】
変形させなければ欠陥の有無を確認することが不可能な被検査物であっても、被検査物を一旦停止させることなく外観検査を可能とするスポンジ部材外観検査装置を提供する。
【解決手段】
本発明のスポンジ部材外観検査装置１は、搬送ベルト１６にスポンジ部材を載置して、当該搬送ベルト１６を回転して当該スポンジ部材を搬送する搬送手段１０Ａ，１０Ｂと、スポンジ部材の搬送経路に配置され、搬送中の当該スポンジ部材を押圧して変形させる変形手段２０と、この変形手段２０で押圧されたスポンジ部材を撮像する撮像手段４０，４１を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異常の原因を推定することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、半導体ウェハ１０を支持するウェハ保持部２０と、ウェハ保持部２０に支持されたウェハ１０の上ベベル部を照明する落射照明３２と、落射照明３２に照明されたウェハ１０の上ベベル部を撮像する撮像部３０と、撮像部３０に撮像されたウェハ１０の上ベベル部の像における色情報のうち、明度および彩度に関する情報を用いてウェハ１０の上ベベル部の表面状態を判別する画像処理部４０とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】照明系と検出系、温度・気圧と言った環境をモニタリングする情報収集機能、モニタリング結果と設計値、理論計算値もしくはシミュレーション結果により導出した理想値を比較しモニタリング結果と理想値を近づけるように装置を較正するフィードバック機能を有する装置状態管理機能、を含むことで、装置状態及び装置感度を一定に保つ手段を提供する。
【解決手段】制御部８００を記録部８０１、比較部８０２、感度予測部８０３、フィードバック制御部８０４、を含む構成とする。比較部８０２において、記録部８０１から送信されたモニタリング結果とデータベース８０５に格納された理想値を対比する。理想値とモニタリング結果との差分が所定の閾値を越えた場合には、フィードバック制御部８０４が照明系と検出系の補正を行う。 （もっと読む）