【課題】 高い解像力を有し、かつ、広い撮像領域の全域でフォーカスを合わせることができる対物光学系を提供すること。
【解決手段】 対物光学系４００は、物体を結像する結像光学系４０と、物体の像を再結像する再結像光学系７０と、結像光学系４０と再結像光学系７０との間の光路上に配置されている反射手段６０と、を有しており、反射手段６０の光軸方向（Ｚ方向）の位置および光軸に対する傾きの少なくとも一方を局所的に変更可能である。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成でありながら、フォーカシング機能を有して、投写した像の台形歪みを良好に補正可能な映像投写装置用光学系を提供する。
【解決手段】映像表示素子ＤＳに表示された映像を拡大して所定の投写面に斜め方向から投写する映像投写装置用光学系ＰＬであって、光軸に沿って映像表示素子ＤＳ側から順に並んだ、中心軸に対して回転対称に形成された複数の回転対称レンズからなる回転対称レンズ群Ｇ１と、中心軸に対して非回転対称に形成された複数の自由曲面レンズからなる自由曲面レンズ群Ｇ２と、中心軸に対して非回転対称に形成された反射面を有する自由曲面ミラーＭとを有し、自由曲面レンズ群Ｇ２における少なくとも２つの自由曲面レンズをそれぞれ光軸に沿って平行移動させると、像面Ｉが光軸に沿って平行移動するようになっている。 （もっと読む）

【課題】反射面を含む結像光学系を採用しつつ、色収差も補正可能で、歪みない大画面の投射が可能で、コンパクトな投射光学系を実現する。
【解決手段】画像を形成するライトバルブに光源からの照明光を照射し、ライトバルブに形成された画像を平面の投影面に拡大投影する投射光学系であって、１以上のレンズからなり、投影面とライトバルブとの間に、画像の中間像を形成するための正のパワーを有する第１光学系７１と、中間像と第１光学系との間に設けられた１枚の第１反射面７２１と、中間像を結像した後の発散する光束を反射し、投影面状に結像させるための正のパワーを有する１枚の第２反射面７２２と、を有し、第１反射面７２１、第１光学系７１、第２反射面７２２の順に、投影面から近い位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】反射屈折投影対物系、投影露光装置、及び半導体構成要素及び他の微細構造化構成要素を製造する方法を提供する。
【解決手段】物体平面の物体視野を像平面の像視野上に結像するためのマイクロリソグラフィのための反射屈折投影対物系は、物体視野を第１の実中間像上に結像する第１の部分対物系、第１の中間像を第２の実中間像上に結像する第２の部分対物系、及び第２の中間像を像視野上に結像する第３の部分対物系を含む。第２の部分対物系は、厳密に１つの凹ミラー及び少なくとも１つのレンズを有する反射屈折対物系である。第１の折り返しミラー及び第２の折り返しミラーが設けられる。第２の部分対物系のレンズの少なくとも１つの面は、０．２％よりも低い反射率を有する。代替的又は追加的に、第２の部分対物系のレンズの全ての面は、周縁光線同心からのずれが２０°よりも大きいか又はそれに等しいように構成される。 （もっと読む）

【課題】設計上の制限を充足しつつ、観察者の眼に虚像として入る画像光について、縦横比を所望の状態に設定できる虚像表示装置を提供すること。
【解決手段】縦横比変換光学系での伸張変換によって、形成された虚像の縦横比について、元の画像表示装置の画像領域の縦横比（４：３）よりも横長の縦横比（１６：９）に変換することができる。これにより、例えば虚像表示装置全体に対する画像表示装置を含む画像形成装置の横幅が設計上制限され画像領域を映像として必要とされる比較的横長の縦横比（例えば１６：９）にすることができず、正方形に近い比（例えば縦横比４：３）となる場合であっても、観察者の眼に虚像として認識される画像光の縦横比を、シリンドリカルレンズでの縦横比変換によって所望の状態（例えば縦横比１６：９）に調整できる。 （もっと読む）

【課題】 広い波長域に渡って諸収差を良好に補正し、かつ広い観察領域において像側のテレセントリック性が良く高い光学性能を有する反射屈折光学系を得ること。
【解決手段】 反射屈折部を含む第１結像光学系と、第１結像光学系からの光束を受けて中間像を形成するとともに、中間像を像面に結像させる第２結像光学系を有し、第１結像光学系は光軸周辺が光透過部で、外周側のうち物体側の面が裏面反射部である第１の光学素子と光軸周辺が光透過部で、外周側のうち像側の面が裏面反射部である第２の光学素子を有し、物体からの光束は、順に第１の光学素子の光透過部、第２の光学素子の裏面反射部、第１の光学素子の裏面反射部、第２の光学素子の光透過部を介した後に第２結像光学系に出射しており、第２結像光学系は、光学有効径内で曲率の向きが変化する変曲点を有する非球面形状のレンズ面を含んでいること。 （もっと読む）

【課題】ＮＡ＞１の開口数で液浸リソグラフィを可能にする真空紫外（ＶＵＶ）領域で使用するのに適する反射屈折投影対物レンズを提供する。
【解決手段】物体面１０１上に設けられたパターンを像面１０２上に結像するための反射屈折投影対物レンズ１００であって、物体面上に設けられたパターンを第１中間像１０３に結像する第１対物レンズ部１１０、第１中間像を第２中間像１０４に結像する第２対物レンズ部１２０、及び第２中間像を像面上に結像する第３対物レンズ部１３０、を備え、第１連続鏡面を有する第１凹面鏡１２１と、第２連続鏡面を有する少なくとも１つの第２凹面鏡１２２とが、第２中間像の上流側に配置され、ひとみ面が、物体面と第１中間像との間、第１及び第２中間像の間、及び第２中間像と像面との間に形成され、すべての凹面鏡が、ひとみ面から光学的に離して配置される。 （もっと読む）

【課題】異なる視野点における結像収差の補正が容易なマイクロリソグラフィのための反射屈折投影対物系を提供すること。
【解決手段】反射屈折投影対物系は、物体面に配置された軸外物体視野を投影対物系の像面に配置された軸外像視野上に結像するように配置された複数の光学要素を含む。光学要素は、物体面から到来する放射線から第１の中間像を発生させ、かつ第１の瞳面を含む第１の屈折対物系部分と、第１の中間像を第２の中間像へと結像する少なくとも１つの凹面ミラーを含み、かつ第１の瞳面と光学的に共役な第２の瞳面を含む第２の対物系部分と、第２の中間像を像面上に結像し、かつ第１及び第２の瞳面と光学的に共役な第３の瞳面を含む第３の屈折対物系部分とを形成する。物体面と第１の瞳面の間に配置された光学要素は、第１の瞳面に光学的に近く配置された負のレンズ群を含むフーリエレンズ群を形成する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで広角化の要求に対応できる投射光学系を提供する。
【解決手段】 縮小側の第１の像面から拡大側の第２の像面へ投射する投射光学系１であって、８枚のレンズＬ１〜Ｌ８を含む第１の屈折光学系１１と、第１の屈折光学系１１よりも拡大側に位置する６枚のレンズＬ９〜Ｌ１４を含む第２の屈折光学系１２と、第２の屈折光学系１２よりも拡大側に位置する正の屈折力の第１の反射面２１ａを含む第１の反射光学系２０とを有し、第１の像面の中心から第２の像面の中心に至る光線１１０が第１の屈折光学系１１の光軸、第２の屈折光学系１２の光軸、および第１の反射光学系２０の光軸の共通する光軸１０１と３回交差して第２の像面に至る投射光学系１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 広い観察視野にわたり高い光学性能が容易に得られる反射屈折光学系を得ること。
【解決手段】 反射屈折部を含む第１結像光学系と、第１結像光学系からの光束を受けて中間像を形成するとともに、中間像を像面に結像させる屈折部を含む第２結像光学系とを有し、第１結像光学系は、光軸周辺が光透過部で、外周側のうち物体側の面が裏面反射部である第１の光学素子と、光軸周辺が光透過部で、外周側のうち像側の面が裏面反射部である第２の光学素子とを有し、第１の光学素子および第２の光学素子の裏面反射部の反射面側が互いに向き合うように配置されており、第１の光学素子と第２の光学素子との間には開口絞りが配置されており、物体からの光束は、順に第１の光学素子の光透過部、開口絞り、第２の光学素子の裏面反射部、開口絞り、第１の光学素子の裏面反射部、開口絞り、第２の光学素子の光透過部を介した後に第２結像光学系に出射すること。 （もっと読む）