【課題】掩蔽（obscurated：オブスキュレーション）光学系において、分解能の限界が結像構造の位置及び配向に応じて変わる場合、結像光学系の精密測定の実行を可能にするデバイス、このデバイスを有する投影露光装置、その方法、センサユニットとを提供する。
【解決手段】結像光学系上流ビーム経路内に位置決め可能な第１格子構造（１６）を有する第１格子パターン（６）と、下流ビーム経路内に位置決め可能な第２格子構造（１８）を有する第２格子パターン（８）と、第２格子パターン（８）の第２格子構造（１８）への第１格子パターン（６）の第１格子構造（１６）の結像中に生成される重ね合わせ縞パターンの空間分解測定用センサユニットとを備えるデバイスに関する。 （もっと読む）

【課題】 広角角化を可能とし、投写面（スクリーン）までの位置が変更しても歪みを最小限に抑え、かつ、その製造も容易な投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】 映像表示素子１に表示された映像を拡大して投写面に投写する投写型映像表示装置、複数の投写用レンズを含んで構成されるレンズ光学系２、３と、レンズ光学系からの出射光を反射してスクリーン５上に傾斜して投写する反射系を構成する反射ミラー５とを備えており、レンズ光学系を構成する後方レンズ群３は回転非対称の自由曲面の形状を有する複数のレンズ３１、３２を備えており、かつ、反射ミラー５は、その一部が反射方向に凸形状の回転非対称の凸面反射ミラーから構成された投写光学ユニットを備えている。 （もっと読む）

【課題】関連する光学素子の変化を調整可能なマイクロリソグラフィ投影対物レンズを提供する。
【解決手段】光学素子と、光学素子を操作するように構成されたマニピュレータと、マニピュレータを制御するように構成された制御ユニットであって、マニピュレータの移動を制御するように構成された第１のデバイス、マニピュレータの移動範囲の境界情報を有するメモリ、および少なくとも１つの誤差の二乗平均平方根（ＲＭＳ）の二乗に基づくメリット関数を生成し、マニピュレータの移動範囲の境界情報に応じてメリット関数を最小化するように構成された第２のデバイスと、を備える。 （もっと読む）

【課題】対物系のＮＡ値を大きくすることができる対物系を提供する。
【解決手段】合焦レンズ素子及び各視野レンズ素子は、同じ単一のガラス素材から形成され、マンジャンミラー集合体３１２、視野レンズ素子集合体３０５及び合焦レンズ素子集合体３１１の全ての構成要素は、受け取る光エネルギの軸線に沿って整列され、マンジャンミラー集合体において、１個または複数個のマンジャンミラー素子の２個の反射面は、受け取る光エネルギの軸線に沿って非ゼロ距離の離れた鏡面である。 （もっと読む）

【課題】コンパクトなマイクロリソグラフィー投影光学系を提供する。
【解決手段】物体面１００の物体フィールドを像面１０２の像フィールドに結像する、波長が２４８ｎｍ以下、好ましくは１９３ｎｍ以下、特に波長が１〜３０ｎｍの範囲のＥＵＶリソグラフィー用のマイクロリソグラフィー投影光学系に関する。本マイクロリソグラフィー投影光学系は、例えば、虹彩絞りを導入することができる、十分なスペースの取扱い可能な絞り面２０００を設ける。 （もっと読む）

【課題】光源からの光を導くための改善されたコリメータを提供する。
【解決手段】導光体およびＬＥＤなどの光源を有する平坦反射コリメータ組立体において、導光体の側面は、導光体の軸線上に配置された平行化焦点を有する放物面形を有する平行化反射面を形成する。導光体の中心部は、平行化焦点と実質的に同じ虚焦点を有する主反射面を形成する。平行化反射面は、放物面であるか、又は、様々な焦点距離を有し且つ共通の平行化焦点を有する複数の放物面部分として形成される。また、平行化反射面は、分散光学系を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】積層型回折光学素子に、強いパワーを与えつつ、回折により発生する色収差を少なくする。
【解決手段】積層型回折光学素子は、複数の回折格子が積層されて構成されている。該積層型回折光学素子において、複数の回折格子のそれぞれの格子面１１，１２は、互いに異なる特定の波長に応じた互いに異なる形状のブレーズド構造を有する。それぞれの格子面の光入射側と光射出側とに互いに異なる透光媒質４１，４２，４３が配置されている。該透光媒質はそれぞれ、特定の波長に対応する格子面の光入射側と光出射側に配置された透光媒質の該特定の波長に対する屈折率が互いに異なり、該特定の波長に対応する格子面以外の格子面の光入射側と光出射側に配置された透光媒質の該特定の波長に対する屈折率が互いに等しい分散特性を有する。 （もっと読む）

【課題】装置コストアップおよび装置サイズの大型化を抑えつつ台形歪みを補正することができる画像投影装置を提供する。
【解決手段】画像処理部５３の補正部５３ｂは、第２光学系の傾きを検知する傾き検知センサ５５の検知結果に基づいて、画像データの画素を間引き、間引き後補完処理を行って、投影画像と逆の台形形状補正画像データを作成する。駆動部５３ａは、この補正画像データに基づいて、画像形成部としての液晶パネルの各液晶素子に変調信号を入力し、画像生成部１０に補正画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】広画角でかつ大きな射出瞳を有し、高解像を実現できる偏心光学系を提供する。
【解決手段】本発明に係る偏心光学系は、画像表示素子の原画像の中間像を形成するリレー光学系と、その中間像を虚像として投影する接眼光学系を有する光学系であって、記接眼光学系は、相互に偏心した２面で構成され、前記２面の間を屈折率１以上の媒質で満たされた正のパワーを有する裏面鏡であり、リレー光学系は、少なくとも３面有し、前記少なくとも３面は相互に偏心して構成され、前記少なくとも３面で形成された内部を屈折率１以上の媒質で満たされたプリズム光学系であることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 焦点板に形成した被写体像について高画質の電子画像をリアルタイムで得ることができ明るいファインダー像の観察ができるファインダー光学系を得ること。
【解決手段】 焦点板に結像された被写体像を正立像とする正立光学系と、正立光学系によって形成された正立像の虚像を形成する接眼光学系と、焦点板に結像された被写体像を正立光学系を介して撮像素子に結像する撮像光学系とを有し、撮像光学系と接眼光学系は、正立光学系の光出射側に各々の光入射側の面が正立光学系の光出射面に対向するように配置されており、撮像光学系は絞り、正の屈折力の第１レンズ、正の屈折力の第２レンズから構成され、撮像光軸は観察光軸に対して傾いており、第１レンズの物体側面において撮像光軸との交点上の法線と撮像光軸とのなす角θ１、撮像光軸と観察光軸とのなす角θ０、撮像光学系の焦点距離ｆ、第１レンズの物体側面の近軸曲率半径ｒ２を各々適切に設定すること。 （もっと読む）