【課題】欠陥を含まない品質の良いレジストパターンをウエーハに形成する。
【解決手段】液体供給源からパーティクルろ過装置９を経て供給される薬液３を吐出ノズル６より吐出してウェーハの表面に吐出する。このパーティクルろ過装置９と吐出ノズル６との間の管路に、薬液３中に含まれる気泡やパーティクルなどの粒子状物質の量を測定する微粒子測定装置１３を介装する。さらに、配管の開閉を行う電磁制御弁１０の制御電圧値および微粒子測定装置１３の測定値を常時収集するデータ収集ユニット１５と、微粒子測定装置１３の測定結果の演算を行う演算装置１６とを設ける。演算装置１６では、ウェハ１枚あたりに塗布される薬液中に含まれる粒子状物質の数を算出し、その粒子状物質の数を規格値と比較することにより、薄膜塗布装置を停止するか否かの判定を行う。 （もっと読む）

【課題】長期間に渡り安定した状態でむらのない転写処理を継続し、高い稼働率を確保してコストダウンに貢献することのできる感光性積層体製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１４に対して感光性シートフイルム１２を圧着するための圧着ローラ６４ａ、６４ｂの外周部に被覆されるゴム層６５ａ、６５ｂのうち、少なくとも感光性シートフイルム１２に接するゴム層６５ａの感光性シートフイルム１２に対する静止摩擦係数を、０．１〜０．７の範囲に設定することにより、ゴム層６５ａと感光性シートフイルム１２との間で適度な滑りが発生し、それによって、感光性シートフイルム１２を安定して搬送し、濃淡むらのないカラーフィルタ基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】 透過モード、及び反射モードのいずれにおいても、良好な表示特性のカラーフィルター、及び、該カラーフィルターに好適に用いられる着色感光性樹脂組成物等を提供すること。
【解決手段】 少なくとも（１）アルカリ可溶性バインダーと、（２）モノマー又はオリゴマーと、（３）光重合開始剤又は光重合開始剤系と、（４）着色剤と、を含むＲ、Ｇ、又はＢの着色感光性樹脂組成物であって、前記着色剤として特定の顔料を、特定の量含有することを特徴とする着色感光性樹脂組成物、及び、Ｒ、Ｇ、Ｂの各感光性樹脂層の形成に該着色感光性樹脂組成物を用いることを特徴とするカラーフィルター等。 （もっと読む）

【課題】 塗布欠陥がなく、表面形状が均一で、安定かつ良好な塗布面が得られ、性能も良好な平版印刷用原版の製造方法、平版印刷用原版及びこれを用いた印刷方法を提供することにある。
【解決手段】 支持体上に１種以上の粒子物を含有する親水性層、画像形成層をこの順に設けてなる平版印刷用原版の製造方法において、連続的に搬送される支持体上に、溝きりバーを用いて過剰量の親水性層塗布液を塗布した後、過剰量の該親水性層塗布液を掻き落して塗布する際の、該溝きりバーのピッチをＰ、高さをＨ、１種以上の該粒子物の内、平均粒径が最も大きい粒子物の平均粒径をＡとするとき、２Ａ＜Ｈ、１４≦Ｐ／Ａ≦３６であることを特徴とする平版印刷用原版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 スピンレス方式で被処理基板上に処理液を供給ないし塗布する基板処理装置において基板の大型化に無理なく効率的に対応すること。
【解決手段】このレジスト塗布ユニット（ＣＴ）８２は、プロセスラインＡの方向（Ｘ方向）に長く延びるステージ１１２を有し、このステージ１１２上で基板Ｇを噴出口１２０からの空気圧で浮上させて同方向（Ｘ方向）に平流しで搬送しながら、ステージ１１２上方に配置された定置型のレジストノズル１１４より基板Ｇ上にレジスト液を供給して、基板上面に一定の膜厚でレジスト塗布膜を形成する。ステージ１１２の両端部の搬入、搬出領域に属する各噴出口１２０については、空気の噴出流量を基板Ｇとの相対的な位置関係で個別的かつ自動的に切り換える噴出制御部（流量切換弁）をステージ１１２の内部に設けている。 （もっと読む）

（ｉ）親水性表面を有するリトグラフ支持体のウェブを提供すること、（ｉｉ）ウェブの親水性表面上にフェノール樹脂を含んで成る層を被覆すること、（ｉｉｉ）層を乾燥すること、（ｉｖ）ウェブ温度を０．１〜６０秒の期間中１５０℃より上に維持する加熱段階、（ｖ）被覆されたウェブをコア上に巻くか、もしくは被覆されたウェブをシートに切断すること、の段階を含んで成る感熱性リトグラフ印刷版の前駆物質の製法が開示されている。短期間のオンライン加熱段階が前駆物質の熟成動態の有意な改善をもたらす。被覆後短時間で安定な感度が得られる。 （もっと読む）

【課題】 基板の回転による遠心力で基板から飛び散る液体を種類毎に回収することができ、且つ、装置を小型化することができるようにすること。
【解決手段】 第ｊレジスト液（ｊ＝１〜３）が半導体ウエハ８に滴下されたときには、第ｊ容器の収容開口部の高さに半導体ウエハ８を昇降させ、その昇降された高さで半導体ウエハ８を回転させるようにした。そのため、その回転による遠心力で半導体ウエハ８から半径方向に飛び散る第ｊレジスト液を、第ｊ容器内に収容させることができる。またその際、半導体ウエハ８をウエハ保持部９に受け渡す機構、つまり、この種の装置に一般的に備えられている機構で半導体ウエハ８を昇降させるようにしたため、例えば、第１〜第３容器１２〜１４を昇降させて半導体ウエハ８と第１〜第３容器１２〜１４との相対的な位置関係を制御する方法に比べ、装置を容易に小型化することができる。 （もっと読む）

（ｉ）親水性表面を有するリトグラフ支持体のウェブを提供すること、（ｉｉ）ウェブの親水性表面上にフェノール樹脂を含んで成る被膜を適用すること、（ｉｉｉ）被覆されたウェブに熱を供給することにより被膜を乾燥すること、（ｉｖ）ウェブが外界条件下に維持されるであろう速度より高いが３０℃／秒を超えない平均冷却速度でウェブ温度が低下される冷却段階、（ｖ）前駆物質をコア上に巻き付けるもしくは前駆物質をシートに切断すること、の段階を含んで成る感熱性リトグラフ印刷版の前駆物質の製法が開示されている。冷却段階が前駆物質の熟成動態の有意な改善をもたらす。被覆後短時間で安定な感度が得られる。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の飛散を有効に防止し得る回転カップ式塗布装置を提供する。
【解決手段】 インナーカップ３上にはトレイ７を固定し、このトレイ７の各隅部からはドレイン誘導管１０が導出されている。ドレイン誘導管１０は先部１１が前記ドレイン回収通路３ａの底部に向かうように外側に向かって斜め下方に傾斜している。そして、先部１１の下端１１ａはインナーカップ３の底面３ｂよりも低くなっている。このためインナーカップ３とトレイ７を一体的に回転することで、板状被処理物Ｗの表面に供給された塗布液は遠心力で、庇状壁部９に形成した穴、ドレイン誘導管１０内の流路およびドレイン誘導管１０の先部１１を通って排出される際に、インナーカップ３の内周壁に直接衝突することがない。 （もっと読む）

（ｉ）親水性表面を有するリトグラフ支持体のウェブを提供すること、（ｉｉ）ウェブの親水性表面上にフェノール樹脂を含んで成る被膜を適用すること、（ｉｉｉ）被膜を乾燥すること、（ｉｖ）ウェブ温度を０．１〜６０秒の期間中フェノール樹脂のガラス転移温度Ｔｇより上に維持する加熱段階、（ｖ）ウェブが外界条件下に維持されるであろう速度より速い、しかし３０℃／秒を超えない平均冷却速度でウェブ温度が低下される冷却段階、（ｖｉ）前駆物質をコア上に巻く、もしくは前駆物質をシートに切断すること、の段階を含んで成る感熱性リトグラフ印刷版の前駆物質の製法が開示されている。加熱および冷却段階が前駆物質の熟成動態の有意な改善をもたらす。被覆後短時間で安定な感度が得られる。 （もっと読む）