【課題】 ウエハ面内の疎水化処理分布の均一性を向上させる。
【解決手段】 ウエハ４Ｗの主面上にレジスト膜を塗布するのに先立って、ウエハ４Ｗの主面に対してＨＭＤＳガスにより疎水化処理を施す際に、上記ＨＭＤＳガスを、疎水化処理室２ｃのウエハ４Ｗを載置する載置面においてウエハ４Ｗの外側に形成された溝５から疎水化処理室２ｃ内に供給しつつ、上記載置面に対向する天井面においてウエハ４Ｗの主面中央の上方に形成された排気口７から疎水化処理室２ｃの外部に排気しながら上記疎水化処理を施すようにした。 （もっと読む）

(a) 平版用基板上に画像領域と非画像領域とを含む平版印刷版を準備し；
(b) 工程(a)の該平版印刷版を、下記化合物:
(i) ポリアルキレンオキシド鎖と、ラジカル重合性の少なくとも1つの構造単位との両方を含む化合物、及び
(ii) (i)の該ラジカル重合性構造単位と共重合することができ、そして、遊離酸基として又は塩の形態で存在することができるpK_s＜5の少なくとも1つの酸性官能基をさらに含むモノマー
から誘導された構造単位を含む親水性ポリマーを含む溶液と接触させ；
(c) 乾燥させる
ことを含む画像形成された平版印刷版の後処理方法。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光ビームの走査によって露光が可能で、高感度で保存性がよく、また、
現像の際、感光層露光部の溶解性が優れ、鮮明な画像を現像し得ると共に耐刷性、耐薬品性の優れたポジ型感光性平版印刷版、その製造方法およびそれを利用したポジ画像形成方法を提供する。
【解決手段】 波長６００ｎｍ〜１３００ｎｍの範囲内に吸収域を有する光熱変換物質と、アルカリ可溶性樹脂とを含有する感光層を有し、該感光層は複数層の積層体であり、未露光の状態で、該感光層のアルカリ現像液に対する溶解速度が表面部から下層部に向かって大となるように構成されてなることを特徴とするポジ型感光性平版印刷版。
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【課題】 フィラーを含有し、溶媒の６０質量％以上が水である塗布液を同時重層用スライド型コータで塗布するとき、スライド面からの蒸発を抑制し、均一な塗布面を確保し、生産性が低下しない、簡易で安価な平版印刷版材料の製造方法を提供する。
【解決手段】 フィラーを含有し、溶媒の６０質量％以上が水である少なくとも２種の塗布液を、バックロールで塗布反対面が保持され、連続搬送される帯状支持体へ、それぞれ別々に塗布液を押出す２つ以上のスリットと、該スリットを構成する３つ以上のバーと、塗布液の温度を調整する手段およびスライド面を冷却する手段で構成される、２層以上の塗布層を同時に塗布する同時重層用スライド型コータを用い、コータのスライド面の温度が２〜１０℃であり、塗布液の温度をスライド面の温度より５℃〜２０℃高く調整して重層塗布することを特徴とする平版印刷版材料の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ラミネート時にフレキシブル基板と感光性樹脂組成物層の間にエアーが混入することを抑制し、パターン異常の発生が少ないＣＯＦ用配線板を製造する。
【解決手段】 少なくとも支持体と感光性樹脂組成物が積層された感光性樹脂積層体をフレキシブル基板にラミネートする方法において、感光性樹脂組成物層の厚みが０．５〜２０μｍであり、フレキシブル基板の厚みが２００μｍ以下であり、且つラミネートが減圧雰囲気下で行われることを特徴とする感光性樹脂積層体のラミネート方法。 （もっと読む）

【課題】 蒸着装置やエッチング装置などの高額設備や、高額な金型を使用せず、簡単、且つ低コストなプロセス、設備にて精度の良い透過型回折素子を形成することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 透明ウェハ２の表面上に、感光することにより屈折率が低下する感光性樹脂層５を形成する工程と、感光性樹脂層を仮硬化させる仮硬化工程と、該感光性樹脂層に光を照射することにより屈折率の異なる領域５ａ、５ｂを交互に形成する屈折率差形成工程と、から成る。 （もっと読む）

【課題】液浸露光プロセス、中でもリソグラフィー露光光がレジスト膜に到達する経路の少なくとも前記レジスト膜上に空気より屈折率が高くかつ前記レジスト膜よりも屈折率が低い所定厚さの液体を介在させた状態で露光することによってレジストパターンの解像度を向上させる液浸露光プロセスにおいて、液浸露光プロセスに用いて好適なレジスト保護膜形成用材料を除去するための保護膜除去用溶剤であって、フッ素系溶剤を含む液浸露光プロセス用レジスト保護膜除去用溶剤を用いることにより、液浸露光を用いた高解像性レジストパターンの形成を可能とする。
【解決手段】液浸露光プロセスに用いて好適なレジスト保護膜形成用材料を除去するための保護膜除去用溶剤であって、フッ素系溶剤を含む液浸露光プロセス用レジスト保護膜除去用溶剤を用いて前記保護膜を除去する。 （もっと読む）

本発明は、（Ｉ）導電性、電気抵抗性および誘電性の粒子から選択される機能相粒子と、３２５〜６００℃の範囲のガラス転移温度を有する無機結合剤とを含む無機材料の微細粒子を含み、（ＩＩ）（ｅ）コポリマー、インターポリマーまたはそれらの混合物である水性現像可能な非感光性ポリマーであって、各コポリマーまたはインターポリマーが、（１）Ｃ_１−１０のアルキルアクリレート、Ｃ_１−１０のアルキルメタクリレート、スチレン、置換スチレンまたはそれらの組合せを含む非酸性コモノマーと（２）エチレン性不飽和カルボン酸含有部分を含む酸性コモノマーとを含む水性現像可能な非感光性ポリマーと、（ｄ）第１および第２の官能性単位を有する二官能性ＵＶ硬化性モノマーであって、第１の官能性単位がビニル基であり、第２の官能性単位が、カルボン酸部分との反応によって化学結合を形成することができる、二官能性ＵＶ硬化性モノマーとを含む有機媒体中に分散された、光画像形成性前駆組成物に関する。 （もっと読む）

【課題】印刷版原版の感光層の表面の酸素を確実に遮断した状態で感光層を露光することが出来る印刷版原版露光装置を提供する。
【解決手段】
透明基板の表面と押さえ部材の底面部および側壁面とで形成される閉空間を真空排気手段によって真空排気して、前記側壁部を徐々に屈曲させつつ、前記底面部に保持された前記印刷版原版の前記感光層を前記一端側から徐々に前記透明基板表面に密着させていき、前記透明基板の表面に前記印刷版原版の前記感光層の全面を略完全に密着させ、前記印刷版原版の前記感光層から酸素を遮断する。 （もっと読む）

【課題】十分な保護機能を有する保護膜を用いることができ、しかも高価な廃液処理システムを用いる必要のないパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基板１１上にレジスト膜１３を形成する工程と、レジスト膜上に保護膜１４を形成する工程と、保護膜と露光用レンズとの間に第１の液体を介在させた状態でレジスト膜を露光する工程と、レジスト膜を露光した後、保護膜を酸化性の第２の液体１８によって除去する工程と、保護膜を除去した後、レジスト膜を現像してレジストパターンを形成する工程とを備える。 （もっと読む）