【課題】成膜した際の表面粗さが小さい材料からなる剥離層を基板との間に有し、剥離層がない場合と比較して反射率が低下しない多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】本発明による多層膜反射鏡は、屈折率の異なる２層から成る層対（４）を基板（１）上に積み重ねた多層膜からなる。基板と層対との間に、モリブデンを含む材料からなる単層膜（３）を、単層膜の一部が層対で覆われないように成膜している。本発明の一実施形態によれば、単層膜と基板との間に、二酸化ケイ素からなる膜（２）を成膜している。 （もっと読む）

新規のＸ線処理システムは、ターゲット・ゾーン(829)内に指向されるＸ線の1つ又は2つ以上の大面積フラットパネル源(821, 823, 825, 827)を利用する。ターゲット・ゾーン内部のターゲット物質には、1つ又は2つ以上のフラットパネル源からＸ線(831, 833, 835, 837)が照射され、ターゲット物質中の汚染物質の存在の生物学的作用を低減する。フラットパネル源は、電子源、電子加速器、及び電子ターゲット媒体を含む。電子源は、電界放出又は熱イオン放出を介して電子を放出することができる。Ｘ線源は、透過モード、反射モード、又は透過/反射組み合わせモードで作業することができる。本発明のシステムにおける大面積フラットパネルＸ線源の使用は、低減された取り付け上及び作業上のコスト、並びに高められた効率を可能にする。
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【課題】気体放電に基づく高い放射線出力を備える極紫外放射線源を提供する。
【解決手段】本発明は、気体放電プラズマに基づく極紫外放射線の生成用の装置に関する。本発明の目的は、工業用途用の極紫外気体放電源において作動媒体としてスズを用いることを可能にする極紫外スペクトル領域（１２ｎｍ〜１４ｎｍ）における高い放射線出力を有するプラズマに基づく放射線生成に関する新規な可能性を見つけることである。本目的は、本発明によれば、気体調製ユニット（８）がスズ含有作動媒体の温度および圧力ならびに気体状態にある該作動媒体の真空室（４）への流れの所定の制御のために設けられることで達成される。少なくとも１つの断熱貯槽容器（８３）および断熱供給管路（８１）が、気体調製ユニット（８）から電極ハウジング（１、２）の内側に位置する予備電離ユニット（７）に気体のスズ含有作動媒体を輸送するために設けられる。 （もっと読む）

【課題】
操作者が画像を観察しながら、直接線入射領域や肺野領域をカバーするために、コリメータが有する放射線形状制限手段（補償フィルタ）などを操作することは相当の技能を要し、操作者の負担が増大する。
【解決手段】
収集された前記画像データの２次元濃淡情報が所定の閾値以上となる領域の座標データと、ＳＩＤとに基づいて放射線形状制限制御手段の目的位置を算出し、算出された目的位置へ放射線形状制限手段を移動させる制御手段を設けることにより、関心領域の周囲に放射線形状制限手段を移動させる操作が自動化される。また、上記制御に加えて、所定の周期で強制的に放射線形状制限手段を画像中心から遠ざかる方向へ移動させる制御を行うことにより、関心領域が被検体の体動などにより移動した場合にも、関心領域の周囲に放射線形状制限手段を移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】 制御回路基板を効率よく冷却することができるＸ線源を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１は、Ｘ線管９を収容するＸ線管収容部１１と、Ｘ線管９に電圧を供給する高圧供給回路１３ｂが絶縁ブロック１３ｆ中にモールドされた構造の高圧電源部１３と、を有するＸ線発生部５と、Ｘ線発生部５を制御する制御回路基板１９と、それらを収容する筐体３と、を備えている。Ｘ線管収容部１１とで電源部１３を挟む位置には、空気を流動させる通風領域としての基板配置スペースＡが形成されている。そして、制御回路基板１９は、この基板配置スペースＡ内に配置されている。 （もっと読む）

Ｘ線レンズを位置調整するための位置決め手段を提供する。
Ｘ線レンズの位置決め装置１６は、レンズ取付部４４と位置決め部４２とを備える。位置決め部４２は、Ｘ線源１２のＸ線放射部（ホットスポット）３６と概ね一致する回転中心を有する少なくとも一つの角度計ステージ６４，６６を備える。上記一つ以上の角度計ステージ６４，６６に加え、必要に応じて一つ以上の平行移動ステージ６０，６２をさらに設けることで、Ｘ線レンズ２８の調節が容易となり、より直観的に調節することができる。
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【課題】放射線などの線量測定装置の校正装置において、校正用線源と被校正線量測定装置との距離を小さくし、校正用線源の交換を行なうことなく、任意且つ迅速に作業が行なえる校正装置を得る。
【解決手段】校正用線源からの放射線の減衰を大気によって行なわせる方式に代え、放射線遮蔽金属などによって形成された厚みもしくは材質の異なる複数の移動フィルターの中の一個を、単一の校正用線源に対して選択的に使用する。 （もっと読む）

【課題】固体スズが排気装置の真空ポンプの回転部分や摺動部分に付着することを抑制し、極端紫外光発生装置が具備する排気装置の整備周期、および交換周期を長期化できる極端紫外光発生装置を提供すること。
【解決手段】極端紫外光発生装置の光源チャンバーと排気装置９との間に、光源チャンバーからの排出ガス中のスズおよび／またはスズ化合物をスズ水素化物とする水素ラジカル発生部８ａと、スズ水素化物を熱分解させ分解生成したスズを液体スズにして排出ガスから分離する加熱処理部８ｂとからなる処理ユニット８を設け、処理ユニット８は、液体スズを回収貯蔵容器３０に回収・貯蔵し、スズおよび／またはスズ化合物を含まない排出ガスを排気装置９へ送出する。 （もっと読む）

【課題】回転負荷若しくは並進負荷を軽減し、又はシステム構成要素の回転若しくは並進の必要性を一挙に解消したよりコンパクトで且つ／又はより軽量のＸ線源を組み入れた改良型イメージング・システム、トポロジ及び方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線イメージング・システム（１０）を提供する。Ｘ線イメージング・システム（１０）は分散型Ｘ線源（４８）と検出器（２０）とを含んでいる。分散型Ｘ線源（４８）は、実質的に直線状の線分（７２）、実質的に円弧状の線分（７８）、曲線状の線分（８０）又は実質的に非平面状の表面（８６）として構成された複数の放出点（７４）からＸ線（５６）を放出するように構成されており、検出器（２０）は、検出器（２０）に入射するＸ線（１８）に応答して複数の信号を発生するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】液体金属を貯蔵するターゲット容器高温部を低温にする作用ばかりではなく、ターゲット容器における低温部分を温度上昇させることにより、高温となる陽子ビーム入射窓部と容器の低温部分との温度差を是正し熱応力を低減し、構造における強度健全性を確保する。
【解決手段】陽子ビームをターゲット容器内に貯蔵された液体金属に照射して核破砕反応により中性子を発生させると共に、液体金属を循環流動させる中性子発生装置用液体金属ターゲットにおいて、ターゲット容器内の陽子ビームの照射部分を挟んで液体金属の流入側と流出側とに開口部が設けられ、核破砕反応により発生した熱エネルギを液体金属の流動により前記陽子ビームの入射部近傍の容器側壁低温部へ導き熱伝達し、容器低温部温度を上昇させることで、高温状態である入射窓部との温度差を低下させる液体金属の流れを調整する調整手段を設ける。 （もっと読む）