【課題】反射率の低下を低減し、優れたスループットを有する露光装置を提供する。
【解決手段】ＥＵＶ光を用いてレチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルのパターンを被処理体に投影する投影光学系とを備える露光装置であって、前記照明光学系及び前記投影光学系は、前記ＥＵＶ光を反射する複数の多層膜ミラーを有し、前記複数の多層膜ミラーのうち、前記ＥＵＶ光の単位面積あたりの照射強度が０．１ｍＷ／ｍｍ^２を超える位置に配置される少なくとも１つの多層膜ミラーは、前記ＥＵＶ光の入射側の最表面に白金を有することを特徴とする露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管のメンテナンスを行うべきか否かの判断をすることができなかった。
【解決手段】カソードとアノードとによって加速した電子線を電子光学系によってターゲットに導いてターゲットからＸ線を出力させるＸ線出力部と、前記Ｘ線出力部によって出力されたＸ線の照射範囲にサンプルを配置するサンプル配置部と、前記照射範囲内のＸ線を取得してＸ線画像を取得するＸ線画像取得部とを含むＸ線検出器において、前記Ｘ線出力部における性能の劣化を示す複数のパラメータを取得して性能の劣化に関する出力を行う。 （もっと読む）

【課題】治療計画情報の絞り開度に対応した照射野と実際の照射野とを一致させた放射線照射を確実に実施して安全性を向上すること。
【解決手段】医用ライナック本体４から照射され、絞り装置５を通過した放射線をＦＰＤ６により撮影し、この放射線の照射野を撮影した画像データに基づいて実際の放射線の照射野を求め、この照射野と治療計画情報に含む照射野とを照合し、この照合結果に基づいて医用ライナック本体４による放射線治療を実施又は中断する。 （もっと読む）

【課題】ＢＮＣＴを行うにあたり、中性子を照射する自由度を向上させること。
【解決手段】この中性子発生装置１０２は、高エネルギーの陽子が照射されて中性子を発生するターゲット１を備える。ターゲット１の周囲には、陽子の照射によってターゲットから発生した中性子を減速する中性子減速部３Ｂが配置される。また、中性子減速部３Ｂの外側には、ターゲット１から発生した中性子を反射させるとともに増倍させて中性子減速部３Ｂへ導く反射体５Ｂが設けられる。そして、中性子減速部３Ｂは、陽子の進行方向と平行なＹ軸の周りを回転する。 （もっと読む）

【課題】ＢＮＣＴを行うにあたり、中性子を照射する自由度を向上させること。
【解決手段】この中性子発生装置は、高エネルギーの陽子が通過する陽子通路と、高エネルギーの陽子が照射されて中性子を発生するターゲット１とを備える。そして、ターゲット１の周囲には、陽子の照射によってターゲット１から発生した中性子を減速する中性子減速部３が複数配置される。また、中性子減速部３の外側には、ターゲット１から発生した中性子を反射させるとともに増倍させて、中性子減速部３へ導く反射体５が設けられる。 （もっと読む）

【課題】被検体の所定位置をより高精度に放射線治療装置の所定位置に合致させること。
【解決手段】治療用放射線２３を放射する治療用放射線照射装置１６と、治療用放射線照射装置１６に固定されるイメージャ２４、２５、３２、３３と、被検体４３が配置されるカウチ４１を駆動する駆動装置１１、１５、４２とを備えている放射線治療装置３を制御する放射線治療装置制御装置２であり、イメージャ１６、２４、２５、３１、３２、３３により撮像された参照イメージャ画像を収集する参照画像作成部５６と、イメージャ２４、２５、３２、３３により被検体４３の撮像イメージャ画像を撮像する透過画像撮像部と、被検体４３の特徴点が撮像イメージャ画像に映し出される位置と参照イメージャ画像に特徴点が映し出される位置とに基づいて治療用放射線照射装置１６に対するカウチ４１の相対位置が適正かどうかを判別する患部位置制御部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】患者への接近ならびに患者用テーブルの水平移動のために使用可能な範囲を強くは制限されないＸ線コンピュータ断層撮影装置を提供する。
【解決手段】検査空間を1つの平面において少なくとも部分的に包囲する静止配置のＸ線検出器２と、静止配置のＸ線発生装置とを備え、Ｘ線発生装置が、検査空間の周囲に少なくとも１８０°の角度にわたってリング状に延在するＸ線源３と、１つ又は複数の光走査ユニット４とを有し、１つ又は複数の光走査ユニット４によるＸ線源３の走査によって、Ｘ線源３に沿って移動するＸ線焦点が形成可能であり、Ｘ線焦点からＸ線束６が検査空間を貫通してＸ線検出器２における瞬間に対向する検出素子に向けられており、１つ又は複数の光走査ユニット４は、各光走査ユニット４によりそれぞれ３６０°よりも小さい角度範囲だけがＸ線源３の中心のリング軸線１２と交差することなしに走査されるように、リング状のＸ線源３の中心のリング軸線１２の外側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】高効率で特性Ｘ線29を放出させることができ、放出する特性Ｘ線29へのノイズ成分の混入を抑え、シートビーム形状の特性Ｘ線29を容易に得られるＸ線源11を提供する。
【解決手段】真空容器12内に区画する区画部23を設ける。区画部23内には、電子銃14から電子ビーム15が入射して連続Ｘ線28を放出する１次ターゲット26を設け、１次ターゲット26から放出された連続Ｘ線28が入射して特性Ｘ線29を放出する２次ターゲット27を設ける。２次ターゲット27には、ボックス形で、電子ビーム15が通過する電子ビーム通過孔30を設け、電子ビーム通過孔30を設けた面に対して交差する面に特性Ｘ線29をシートビーム形状に規制して放出するＸ線通過孔31を設ける。 （もっと読む）

【課題】アンギオグラフィーシステムにおいて、造影剤のＫ吸収端エネルギーを跨いだ２色のＸ線ビームを発生して鮮明な画像を撮影する。
【解決手段】100MeVクラスの電子加速器（リニアック）からの電子ビーム１をシリコン単結晶２に照射して、ヨウ素Ｋ吸収端を中心エネルギーとするパラメトリックＸ線を発生させる。低域Ｘ線ビームの光路を結晶回折によってシフトさせ、高域Ｘ線ビームに重畳する。２色のＸ線ビームを、サンプル６に照射してイメージ化する。低域Ｘ線ビームの画像には造影剤の像は出ず、高域Ｘ線ビームの画像には造影剤の像が出る。シャッター８、９、10で２色のＸ線ビームを切り替えて撮影し、差分を求めることで、造影剤のみの鮮明な吸収画像を得ることができる。加速器および造影剤注入を患者の心拍と同期させることにより、最小の造影剤とＸ線照射量で心臓血管の静止像が得られる。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィで使用するために、極端紫外放射などの短い波長の放射を発生させる放射ソースを提供する。
【解決手段】錫などの液体金属の個々の浴１８，２０に浸される回転電極１４，１６が設けられる。電極１４，１６間で放電を生成し、放射を発生させる。放電の近傍で低圧になるようにポンピングを改善し、ソースの変換効率を改善できるようにするために、電極１４，１６および／または電極１４，１６の周囲の金属の遮蔽用のプレートに孔を設ける。電極１４，１６の孔は、液体金属を攪拌させ、電極１４，１６と液体金属間の熱および電気接触を改善することによって、電極１４，１６の冷却を改善する。電気接触の改善は、放電回路の時定数も低下させ、これによってソースの変換効率をさらに改善する。 （もっと読む）