【課題】Ｘ線検出部のオフセット値に応じて、Ｘ線の撮像開始を示すトリガが正確に生成できる撮像装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線照射により生成されるＸ線像を撮像する撮像部７と、Ｘ線照射を検出し、この検出結果を示す検出信号を出力するＸ線検出部９０と、Ｘ線検出部９０のオフセット値を記憶するＥＰ−ＲＯＭ９３ａと、ＥＰ−ＲＯＭ９３ａに記憶されたオフセット値に基づいて、撮像部７による撮像の開始タイミングを検出信号から取得するための基準情報を生成する信号処理部６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】低エネルギの単色性の高い特性Ｘ線20を得ることができるＸ線源11を提供する。
【解決手段】ターゲット19の厚み寸法を電子ビーム15の浸透深さ以上とし、低エネルギのＸ線成分を吸収する。電子ビーム15のエネルギを１０ｋｅＶ以下とし、高エネルギのＸ線成分がターゲット19を透過するのを制限する。低エネルギのＸ線成分の吸収と高エネルギのＸ線成分の非透過により、低エネルギの単色性の高い特性Ｘ線20を得る。 （もっと読む）

【課題】放射線治療に要する時間をより短縮できるベッド位置決めシステムを提供する。
【解決手段】Ｘ線治療システムは、患者が乗る移動可能な天板を有するベッド、ベッド位置決めシステム及び治療装置を備える。治療装置は、回転可能な回転ガントリーに照射ヘッド及びＸ線発生装置を設ける。Ｘ線源及びＸ線受像器は天板を間に挟み対向して回転ガントリーに設けられる。Ｘ線源からＸ線を放出してＸ線撮影を行う。この撮影によってＸ線受像器で得られたＸ線データを用い、Ｘ線画像情報及び再構成によるＣＴ画像情報の作成を並行して実施する。Ｘ線画像情報に基づいたベッド移動量の算出も、ＣＴ画像情報の作成と並行して行われる。算出されたベッド移動量が適正であると判定されたとき、そのベッド移動量に基づいたベッド制御装置によるベッド（天板）の位置決めが行われる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、露光装置を支持する露光装置の支持構造および露光装置に関し、装置本体の振動を効果的に低減することを目的とする。
【解決手段】 露光用機器が配置される装置本体を、建屋基礎上に本体用ペデスタルを介して支持し、振動源となる補助機器を、前記建屋基礎上に前記本体用ペデスタルから独立した支持手段を介して支持してなることを特徴とする。また、前記露光用機器には、レチクルステージ、投影光学系およびウエハステージが含まれることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光発生部から放出されるデブリが集光光学手段に到達しないように容器内のガスの流れを制御し得るようにすること。
【解決手段】集光鏡２の光射出側から光入射側へのガス流が形成されるように、集光鏡２の光射出側に第２ガス供給ユニット１６ｂ、第２ガス排気ユニット９ｂを配置し、第２ガス供給ユニット１６ｂから供給されるガスを集光鏡２の内側を通って第１ガス排気ユニット９ａから排気させる。そのため、例えば、容器（チャンバ１０）の内壁を内側に突き出させ、ガスがすべて集光鏡２の内側を通過するように構成する。また、ホイルトラップ３と集光鏡２を一体化し、集光鏡２の内側を流れたガスがホイルトラップ３の内側のみを通過するようにしてもよい。また、上記ガスとして、付着堆積したデブリを除去するクリーニング効果のあるクリーニングガス、あるいはその混合ガスを用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】中性子モデレータ及び中性子照射方法並びに危険物質検出装置において、発生する２次ガンマ線を低減して必要となる高速中性子及び熱中性子を取り出し可能とし、危険物質の構成元素に拘らず高精度にこの危険物質を検出可能とする。
【解決手段】検査対象物Ａを挿入及び排出可能な検査室２１を設けると共に、この検査室２１の周囲に熱中性子吸収材１５を設け、検査室２１内で検査対象物Ａに対向して中性子発生源１１を配置する一方、中性子発生源１１に対して検査対象物とは反対側に中性子減速材１２を配置し、中性子減速材１２の周囲をガンマ線遮蔽材１３，１４により被覆し、検査対象物Ａから発生するガンマ線を検出するＧｅ検出器２４及びＢＧＯ検出器２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】休止時にチャンバ内へ放電ガスが供給されることを回避でき、放電停止時において良好に放電を再開できるよう放電ガス導入管内の圧力を適宜調整可能とすること。
【解決手段】極端紫外光放射種を含む放電ガスを、放電ガス導入管１１を介してチャンバ１００内のプラズマ生成部１０６に供給し、プラズマ生成部１０６で発生するＥＵＶ光を集光鏡１０１で集光し光取出部１０４から出射する。放電ガス導入管１１内の圧力を第２の圧力モニタ６によって検知して、検知された圧力が所定の圧力を超えると、放電ガス排気管１２に設けられた排気バルブ５を開放して第２の排気ユニット８により放電ガスを排気する。一方、放電ガス導入管１１内の圧力が低下すると、排気バルブ５を閉じて放電ガスが第２の排気ユニット８により排気されないようにする。なお、プラズマ非生成期間に、放電ガス導入管１１内にパージガスを導入するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】大型のＸ線発生装置を用いることなく、包装材料の殺菌に適した最適なＸ線エネルギー（すなわち、最適な波長）を用いて殺菌する。
【解決手段】Ｘ線発生装置が発生するＸ線を包装材料に照射して包装材料を殺菌する。包装材料は空気中に配置される。Ｘ線発生装置が発生するＸ線のスペクトルの連続Ｘ線領域の主要部分がＸ線エネルギーの３〜２０ｋｅＶの範囲内にあるようにする。このようなエネルギー範囲のＸ線を用いることで、大型のＸ線発生装置を用いることなく、効果的に殺菌することができる。このエネルギー範囲よりも小さいＸ線エネルギー、あるいは、それよりも大きいＸ線エネルギーでは、Ｘ線が微生物に及ぼす影響が小さくなり、殺菌効果が低下する。 （もっと読む）

【課題】微細構造体、特に電鋳加工し微細金型として利用可能な傾斜した側壁を有する高精度な３次元微細構造体を、簡易なＸ線露光システムにより、安価に大量生産できる方法を提供することである。
【解決手段】Ｘ線を照射し露光した樹脂層を現像することにより得られる微細構造体の製造方法において、パターンを形成したＸ線マスク２を介して前記樹脂層１にＸ線を照射し露光する部分露光工程と、前記樹脂層１の表面全体にＸ線を照射し露光する全面露光工程と、前記部分露光工程及び前記全面露光工程において露光された前記樹脂層１を現像する現像工程と、を具備することにより、前記樹脂層１に傾斜した側壁を有する微細構造体３、４を得ることを特徴とする微細構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】１つの装置体系で、廃棄体が処分基準を満たしているか否かの確認に必要な情報を得るための様々な測定を選択実行でき、多くの構成機器を無駄なく利用することで、廃棄体品質保証を、合理的に且つ経済的に行なえるようにする。
【解決手段】測定に必要なＸ線エネルギーに応じた電子線を発生させるエネルギー可変型電子線加速器１０と、その電子線を透過させることで所要特性の放射線を発生させる放射線コンバータ１２と、被測定物である廃棄体１４を載せる試料台１６と、放射線が廃棄体を透過あるいは反射することで発生する放射線の線種および強度を測定する放射線検出装置１８を具備し、バックグラウンド測定、パッシブ中性子・γ線測定、Ｘ線ＣＴスキャン測定、光核反応による難測定核種の測定、光中性子混合線による核分裂性物質・非核分裂性物質の弁別測定及び中性子放射化分析が選択測定可能になっている。 （もっと読む）