【課題】絶縁膜のストレスに耐え、絶縁膜からの酸素や水分の影響を抑制しつつ、エレクトロマイグレーションの耐性や配線間の耐圧も改善することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法では、（ａ）凹部１０２が形成された絶縁膜１０１上に、ＴａＮ膜１０３を成膜する工程と、（ｂ）ＴａＮ膜１０３上に、Ｔａよりも熱膨張係数が大きいＴｉを主成分とするＴｉ膜１０４を成膜する工程と、（ｃ）Ｔｉ膜１０４上に、Ｔｉよりも熱膨張係数が大きいＣｕを主成分とするＣｕ膜１０５を成膜する工程と、（ｄ）Ｃｕを、電解めっきにより、凹部１０２内に埋め込む工程とを含む。 （もっと読む）

集積回路デバイス（１００）が、基板パッド（１０２）を含む上面を有する基板（１１０）、及び能動回路を含む上部半導体表面（１０７）と（底面）１０６とを含む半導体基板（１０５）を含む複数の基板貫通ビア（１１５）ダイを含む。上部半導体表面（１０７）は、基板の上面上の基板パッドに結合されるボンドコネクタ１０９を含む。複数の基板貫通ビア（ＴＳＶ）が、底面から外に延びる突出するＴＳＶティップ（１２１）に上側半導体表面から延びる内部金属コア（１２５）を含む。複数のＴＳＶの少なくとも１つが、そこへの如何なる電気的接続もない、突出するＴＳＶティップを有し、ＴＳＶダイの底面からの熱消散を可能にするための付加的な表面領域を提供するダミーＴＳＶ（１２０）である。

（もっと読む）

【課題】 半導体装置を３次元実装するため、狭ピッチ、微小径、高アスペクト比の開孔に空隙を形成することなく導電性材料を埋め込み、低コストで貫通電極を形成する。
【解決手段】 半導体基板１０上の絶縁膜層１１、パッド電極１２が形成された面に導電性の接着剤層１３を用いて導電性のサポート基板１４を貼り合わせする。この状態で半導体基板１０の裏面を研磨して薄化した後、開孔１５を形成する。さらにサポート基板１４、接着剤層１３を通じて複数のパッド電極１２に同時に同電位を与え、ボトムアップ成長のメッキ法で開孔１５に銅を埋め込み、Ｃｕプラグ１６、Ｃｕポスト１７からなる貫通電極を形成する。このようにすると開孔１５のアスペクト比が極端に高くならないので銅が良好に埋め込まれ、また半導体基板１０の表裏反転を伴う工程処理回数が低減できる。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を貼り合わせる積層半導体装置を効率よく製造できる方法を提供する。
【解決手段】複数の基板を貼り合わせて積層半導体装置を製造する半導体装置製造方法であって、回路が形成された複数の基板のうちの一の基板に凹部を形成する凹部形成ステップと、一の基板を複数の基板のうちの他の基板に重ね合わせる重ね合わせステップと、重ね合わせステップの後に、一の基板の凹部に導電性材料を導入することにより、一の基板の回路と他の基板の回路との間の電気的な導通路を形成する導通形成ステップとを備える半導体装置製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】簡単な工程で絶縁膜、半導体膜、導電膜等のパターンを作製する方法、さらには、層間絶縁膜、平坦化膜、ゲート絶縁膜等の絶縁膜、配線、電極、端子等の導電膜、半導体膜等の半導体素子の各部位の膜、良好なマスクパターン、及びコンタクトホールを形成する方法を提案し、更には低コストで、スループットや歩留まりの高い半導体装置の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の一は、膜上にぬれ性の低い１のマスクパターンを形成した後、第１のマスクパターンを介して、膜上にぬれ性の高い材料を塗布又は吐出して第２のマスクパターンを形成し、第１のマスクパターンを除去して、第２のマスクパターンをマスクとして第１の膜の一部を除去する。 （もっと読む）

【課題】多層配線構造において、測定パッドとバンプ等形成用の外部接続パッドの構造をそれぞれの用途に合わせて最適化する。
【解決手段】半導体装置１００は、測定パッド２と外部接続パッド３を有している。測定パッド２は、その周端部に沿って２０個のビアコンタクトが配置され、当該ビアコンタクトが形成されていない平坦な中央部を有し、当該中央部は、測定用のプローブ針が接触されるプローブ針接触領域２Ａになっている。外部接続パッド３は、９個のビアコンタクトが配置され、当該ビアコンタクトが配置されることにより凹凸のある領域を有し、当該領域は、外部接続媒体が形成される外部接続媒体形成領域３Ａになっている。 （もっと読む）

【課題】製造工程で生じるＣＭＰ後の膜厚ばらつき等の歩留まり低下要因を設計段階で取り除くことができる半導体集積回路及びそのレイアウト方法を提供する。
【解決手段】複数の機能回路毎にパターン面積率及びパターン周囲長率を抽出した後、当該抽出結果により規定される基準を用いて、複数の機能回路のそれぞれを第一の回路領域と第二の回路領域とに分別し、少なくとも一つ以上の第一の回路領域の周囲に第二の回路領域を配置する。第二の回路領域内に位置する任意の一点から所定の距離の範囲内には、少なくとも第一の回路領域の一部が含まれている。 （もっと読む）

【課題】電磁（ＥＭ）妨害あるいはＥＭＩに対してある程度の保護を具備した半導体装置において、低コストで、半導体ウエハからＥＭ保護の施されたダイを形成する方法を提供する。
【解決手段】半導体ダイ１２，１３，１４は、傾斜したサイドウォール３５，３６，３７を有するように形成される。この傾斜サイドウォール上、および、半導体ダイの底部表面上に導体４０が形成される。導電材料である導体４０は、ダイ１２−１４に対しＥＭＩから保護する。 （もっと読む）

【課題】第１の領域中の層間絶縁膜を湿式エッチングにより除去する際に、使用する薬液が第２の領域に浸透することを防止する。これにより、第２の領域の特性の劣化がない、高性能の半導体装置を提供する。
【解決手段】第１の領域と、第１の領域を囲むように設けられたガードリングと、ガードリングの外側に設けられた第２の領域と、を有する半導体装置。第１の領域は、導電性を有する第１の膜によって構成された第１の電極を有する。第1の領域中の第１の電極の表面は、第２の膜で覆われていない。ガードリングは、凹状の溝の内壁を覆う第１の膜と、凹状の溝の内部において少なくとも第１の膜の表面の一部を覆う絶縁性の第２の膜を有する。 （もっと読む）

【課題】、ダマシンインターコネクトのエレクトロマイグレーション特性を向上させるべく銅線内に保護キャップを形成する方法を提供する。
【解決手段】ａ）酸化物を含まない銅または銅合金１０７の露呈領域と誘電体の露呈領域とを含む基板１００を、アルミニウムを含む化合物に、少なくとも約摂氏３５０度の基板温度で曝して、前記誘電体および前記銅または銅合金の層の両方の上にアルミニウムを含む第１の層を形成する工程と、（ｂ）前記第１の層の少なくとも一部を化学的に修正して、アルミニウムを含むパッシベーション層１０９を形成する工程と、（ｃ）前記パッシベーション層の上に誘電体層１１１．を堆積させる工程とを備える方法。 （もっと読む）