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国際特許分類[H01L21/50]の内容

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国際特許分類[H01L21/50]に分類される特許

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【課題】 パネルにダメージを与えることなく、パネルを円滑かつ確実に処理ステージ間を移載することができるようにする。
【解決手段】 処理ステージ10〜16において、奇数番目の処理ステージには3本のホルダアーム20を有し、パネル1の裏面を真空吸着するパネルホルダ17が配置され、偶数番目の処理ステージには4本のホルダアーム30を有し、パネル1の裏面を真空吸着するパネルホルダ18が設置されており、これら各パネルホルダ17,18はそれぞれ取付部材21,31に装着され、それぞれZ軸駆動手段,Y軸駆動手段及びX軸駆動手段からなる駆動手段に装着されている。パネルホルダ17と18とは相互にホルダアームを入り組ませた状態に配置して、受け取り側のパネルホルダを受け渡し側のパネルホルダの下方位置から上昇させて、パネル1をパネルホルダ間で移載する。 (もっと読む)


【課題】大型のパワーモジュールを対象とし、複数台のワイヤボンディング装置を同時に稼動させるワイヤボンディングシステムにおいて、設置するクリーンルームの空間的・時間的利用効率を向上し、ワークの供給・排出ラインを簡単な搬送機構とする。
【解決手段】ボンディング前のワーク2aを搬送するワーク供給ライン3とボンディング後のワーク2bを搬送するワーク排出ライン4とを前後に有するワイヤボンディングシステム1におけるワイヤボンディング装置5であって、ワーク2をボンディングするボンディングヘッド6を回転、上下動および平面移動させるボンダ機構部7を備え、該ボンダ機構部7が支持体8によって、ワーク供給ライン3からワーク排出ライン4へワークを搬送する搬送路6の上方に配置されたことを特徴とするワイヤボンディング装置5を提供する。 (もっと読む)


【課題】短時間内にて、大量多数の微小の電子チップ部品の電極を整列する方法が求められていた。
【解決手段】微小電子チップ部品を縦又は斜め位置に保持するロードプレートと、前記ロードプレートに対面する整列板と、前記ロードプレートと前記整列板の間に電位を加えると共に、前記チップ部品を整列板の面に沿って配設された接着テープ面に垂直に付着させるチップ部品整列方法と、前記ロードプレートと前記整列板の間に電位を加える電源装置による。ロードプレートは貫通しない穴を配設し、ホルダ部と金属電極板に分けられたもの、ホルダ部は仕切り板からなるもの、メッシュ状の金網からなるものがある。 (もっと読む)


【課題】パッケージとの機械的な結合強度を向上させると共に、導通性の向上も図れる水晶振動片およびその製造方法、並びに水晶デバイスを提供する。
【解決手段】水晶体20−1の主面が電気軸(X軸)に略平行となっており、主面の一部が導電性接着剤42の付着するマウント部20aとなっている水晶振動片20であって、マウント部20aは厚み方向に窪んでいる複数の凹部50を有し、この凹部50の開口部は、導電性接着剤に含まれる導電性フィラー42bの外形よりも大きく、かつ、電気軸(X軸)方向の幅寸法W1がマウント部20aの水晶体20−1の厚み寸法D1以下となっている。 (もっと読む)


【課題】部品表面に接触することなく、低ストレスで部品を搬送する。
【解決手段】保持アーム3がチップトレイ10に接触した後、搬送ヘッド1を下降させ、搬送ヘッド1の貫通孔2から空気を引き、吸引口2a方向へICチップ11を吸引する。そして、搬送ヘッド1が上方へと移動することにより、ICチップ11は前記吸引によりトレイポケット部10aから浮上する。保持アーム3の下アーム部3bが、浮上している状態のICチップ11の底部に入り込んで、ICチップ11を掬い上げるように保持し、搬送ユニット体8を、ICチップ11を載置する所定の位置まで搬送する。 (もっと読む)


【課題】 電気的特性を向上させ、かつ動作信頼性の高い水晶振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 セラミックパッケージ1の内部底面には電極パッド12、13が形成されており、前記電極パッド12,13間には水晶振動素子である平面視矩形形状の水晶振動板2が搭載されている。水晶振動板の引出電極211,221には表裏主面および側面に渡ってシリコーン系樹脂導電性接合材を硬化させた導電固体S1,S1が形成されている。このような導電固体S1,S1が一体的に形成された水晶振動板をシリコーン系樹脂導電性接合材によりセラミックパッケージ1の電極パッド12、13に導電接合する。 (もっと読む)


【課題】テープリール規格の調整/定位装置及び方法を提供する。
【解決手段】主に画像検査測定器、中孔検査測定器を包含し、該画像検査測定器はテープリールの上方に位置し、該中孔検査測定器はテープリールの中孔を検査測定する。該画像検査測定器と該中孔検査測定器間には固定距離を具え、該固定距離は各種テープリール規格の公倍数である。 (もっと読む)


例示的なダイキャリアが開示される。いくつかの実施形態において、ダイキャリアは、ダイが検査される際に、複数の個片化されたダイを有することができる。ダイは、ダイの検査を容易にする一定のパターンで、キャリア上に配置されることができる。キャリアは、異なる検査器に対し互換性のあるインターフェースがキャリアに取り外しが可能なように構成される。キャリアはまた、ダイのための搬送容器としても構成される。本発明は、概して、一般的な検査システムや方法に適用されるが、特に半導体デバイス検査に適している。
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【課題】 電子タグ用インレットの製造ラインにおける連続インレットテープの搬送精度を向上する。
【解決手段】 インレットとなる構造体のうちの最初のものを通信特性検査が実施される検査位置まで移動し、CCDカメラCAM1がその検査位置での構造体の平面像を撮影し、画像データを画像センサーコントローラーPSCへ送信する。画像センサーコントローラーPSCは、CCDカメラCAM1から送信されてきた画像データを解析して構造体の位置ずれ量を測定し、補正値としてプログラマブルコントローラーPLCへ送信する。準の移動量にその補正値を加減して実際の移動量として位置決めユニットLDUへ送信し、その送信された移動量に従って次の構造体が移動される。 (もっと読む)


【課題】半導体装置のICトレイ収納時、輸送等の振動によるICトレイ受け台の磨耗を抑制し、安定した基板実装を可能にする。
【解決手段】半導体装置を構成する配線基板の絶縁基材2がトレイ5の受け台6に載置される。電子部品接続用基板に接続する接続端子3が主面の外周部に配設される。受け台6に載置されるダミー端子9が、配線基板の主面の接続端子3の内側に突設されている。これにより、配線基板のICトレイ収納時、輸送等の振動による絶縁基材2の表面への受け台6の樹脂カスの付着を抑制する。半導体装置の電子部品接続用基板実装後の半導体装置と金属板の接着剤による接着が安定した状態で実現できる。 (もっと読む)


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