【課題】 加水分解性の液体材料が大気と接触するのを確実に防止できる液体自動供給システムを提供する。
【解決手段】 このＣＶＤ装置５０は、処理室５１にペンタエトキシタンタル（ＰＥＴ）を供給するための容器５３に予備容器７３を接続し、容器５３内のペンタエトキシタンタル（ＰＥＴ）の残量が少なくなったときは、配管５４と容器５３とを切り離して新しい容器５３と交換するのではなく、予備容器７３からペンタエトキシタンタル（ＰＥＴ）を補充する。これにより、配管５４と容器５３とを切り離すためのジョイント６１ｊを通じて配管５４内に大気が侵入し、配管５４内の残留ペンタエトキシタンタル（ＰＥＴ）が加水分解されて酸化タンタルが生成することはない。 （もっと読む）

【課題】 強誘電体キャパシタに保護膜を設け、強誘電体膜の還元を抑制する。
【解決手段】 前記保護膜としてＡｌ₂ Ｏ₃ 膜を、３．０〜３．１ｇ／ｃｍ³ 、あるいはそれ以上の密度に形成する。 （もっと読む）

【課題】 入力回路の簡素化と製品管理の取り扱いを簡便にしつつ、実質的な低消費電力化及び素子の微細化に適合して安定した入出力伝達特性を実現できる入力回路を備えた半導体集積回路装置を提供する。
【解決手段】 外部端子から供給される入力信号を受ける差動増幅回路に第１と第２の動作電圧を第１と第２のスイッチＭＯＳＦＥＴを介して供給するようにし、バイアス電圧発生回路により上記入力信号が上記第１と第２の動作電圧の中心電圧付近にあるときに上記第１と第２スイッチＭＯＳＦＥＴをオン状態にし、その入力信号が継続的に一定期間上記第１電圧又は第２電圧にあるときには、それに対応した出力信号を形成すべく上記第１又は第２スイッチＭＯＳＦＥＴのいずれか一方をオン状態に他方をオフ状態にする制御電圧を形成し、上記第１動作電圧と第２動作電圧に対応した第１振幅の入力信号と、上記第１動作電圧と第２動作電圧の間の所定の中間電圧に対応した第２振幅の入力信号の双方の供給を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 ＭＯＣＶＤ法に適した有機タンタル化合物及びこれを用いて形成される高誘電体薄膜又は強誘電体薄膜として優れたタンタル含有薄膜を得る。均一で安定した気化が行われ、高い成膜速度で高純度の所望のＳＢＴ薄膜が得られる。
【解決手段】 次の一般式（２）で示される有機金属化学蒸着用の有機タンタル化合物単体からなるか、又は前記有機タンタル化合物を有機溶媒に溶解してなる有機金属化学蒸着用原料である。
【化９】


有機溶媒としては炭素数４〜１０の直鎖状、分岐状又は環状の有機化合物が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】チップサイズを増大させることなく特性の向上を図ることができる半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】本発明の半導体記憶装置は、メモリセル領域５０と周辺回路領域との間に配置されたセル形状の書込動作補助回路２を有し、書込動作補助回路２は、書込開始時にデジット線のディスチャージ動作を行い、書込終了時にデジット線のプリチャージ動作を行う第１の回路４と、デジット線のディスチャージ動作及びデジット線のプリチャージ動作の切替を行う第２の回路５とを有する。 （もっと読む）

【課題】 多ビットのデータを入出力可能であって、動作速度の遅延や消費電力の増大を抑えたＤＲＡＭを提供する。
【解決手段】 このＤＲＡＭでは、多数のグローバル入出力線対ＧＩＯがサブワードドライバ領域２４間のメモリセルアレイ上を走る。ローカル入出力線対ＬＩＯはメモリサブブロック２６ごとに複数に分割される。グローバル入出力線対ＧＩＯとローカル入出力線対ＬＩＯを接続するスイッチング素子３０はセンスアンプ領域２２上に分散して配置される。１つのローカル入出力線対ＬＩＯには複数のビット線対が共通に接続される。 （もっと読む）

【課題】被覆性が良く、界面が安定な強誘電体薄膜を形成できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】強誘電体薄膜を誘電体として用いたコンデンサと能動素子を電気回路的に組み合わせて構成される半導体装置の製造方法において、その強誘電体がゾル−ゲル法で作成される半導体装置の製造方法。 （もっと読む）