【課題】温度が変化した場合でも、測定対象の状態を精度良く検知することができる弾性表面波センサ、センシングシステム、及び圧力測定方法を提供すること。
【解決手段】第１弾性表面波素子と第２弾性表面波素子との出力電圧の差をとって、（圧力と温度の影響を含む）第１の演算値を求め、第３弾性表面波素子と第２弾性表面波素子との出力電圧の差をとって、（温度のみの影響を含む）第２の演算値を求める。第２の演算値と温度による基板変化量のマップを用いて、第２の演算値を温度（のみ）による基板変化量に換算し、この温度による基板変化量から（圧力基準値に対応する）温度補正量を求め、温度補正量に第１の演算値を加えた加算値を求め、加算値から圧力及び温度による基板変化量を求める。そして、圧力及び温度による基板変化量から温度のみによる基板変化量を引くことにより、圧力のみによる基板変化量を求める。 （もっと読む）

【課題】端子の基板からの剥離を抑制することができる弾性波装置を提供する。
【解決手段】ＳＡＷ装置１は、基板３と、基板３の第１主面３ａに設けられたＳＡＷ素子１１と、ＳＡＷ素子１１上に振動空間１０を形成しつつＳＡＷ素子１１を覆うカバー５と、ＳＡＷ素子１１に電気的に接続されており、第１主面３ａの面する方向にカバー５を貫通する端子７とを有する。端子７は、第１主面３ａから基板３内に突出する突部７ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴ電極を圧電基板上に送信側電極及び受信側電極として弾性波の伝搬方向に並べた弾性波フィルタにおいて、ＩＤＴ電極から放出された弾性波が圧電基板の端部にて反射して当該ＩＤＴ電極に再入射することを抑えながら、圧電基板の寸法を小さく抑えること。
【解決手段】ＩＤＴ電極１２、１３と弾性波の伝搬方向においてＩＤＴ電極１２、１３に近接する圧電基板１１の端部との間に補助マルチストリップカプラ４２を設けて、弾性波が補助マルチストリップカプラ４２を通過する時にこの弾性波のエネルギーがトラックＴｒ１、Ｔｒ２に亘って分散した状態となるように電極指４１の本数を設定する。 （もっと読む）

【課題】耐湿性が向上し、耐湿試験での電気特性の変化を防止することができる弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１２の主面１２ａに、ＩＤＴ２０を形成する第１の導電膜に隣接し、かつ第１の導電膜の周囲を取り囲むように、第１の絶縁膜１４が形成されている。圧電基板１２の主面１２ａと、第１の絶縁膜１４と、第１の導電膜とに接合されるように、第２の導電膜２８が形成されている。第１の絶縁膜１４に接合され、第１の導電膜を覆うように、第２の絶縁膜１６が形成されている。第１の導電膜と第１の絶縁膜１４との境界部分と第２の導電膜２８とが交差する領域及びその近傍領域において、第２の導電膜２８と第１の導電膜との間及び第２の導電膜２８と第１の絶縁膜１４との間に延在するように、目張り膜２６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波を発生する電極をウェハレベルで簡単かつ良好に封止することができる弾性表面波装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波を伝搬する圧電基板１と、圧電基板上に形成され、弾性表面波の伝搬方向に伸びて互いに対向配置された一対のバスバー電極２ａを有するＩＤＴ電極２と、圧電基板上に配置され、圧電基板との間にＩＤＴ電極２を収容する収容空間３を形成する封止部材４と、を含む弾性表面波装置である。圧電基板上において、伝搬方向と一致するＩＤＴ電極の中心を通る仮想的な中心線を定義したときに、封止部材４の圧電基板側の面である配設面４ａの外郭線は、中心線の両側において、この中心線に沿ってＩＤＴ電極２から離れるにしたがって、この中心線から配設面４ａを構成する外郭線までの距離が短くなる反射部４Ａを有し、反射部４Ａは、少なくとも一部が一対のバスバー電極２ａを伝搬方向に沿って伸ばした一対の仮想線で挟まれた領域である軌跡上に存在する。 （もっと読む）

【課題】使用環境によらず、発振安定性に優れた弾性表面波共振子、およびかかる共振子を備えた弾性表面波発振器および電子機器を提供すること。
【解決手段】オイラー角（−1.5°≦φ≦1.5°，117°≦θ≦142°，42.79°≦｜ψ｜≦49.57°）の水晶基板３０を用い、ＳＡＷを励振するＩＤＴ１２およびこれを挟む一対の反射器２０と、電極指１８間の水晶基板３０を窪ませた溝３２を有するＳＡＷ共振子１０であって、ＳＡＷの波長をλ、溝３２の深さをＧとした場合に、0.01λ≦Ｇを満たし、ＩＤＴ１２のライン占有率をηとした場合に、溝３２の深さＧとライン占有率ηとが−2×Ｇ／λ＋0.72≦η≦−2.5×Ｇ／λ＋0.7775（ただし0.01λ≦Ｇ≦0.05λ）、および、−3.5898×Ｇ／λ＋0.7995≦η≦−2.5×Ｇ／λ＋0.7775（ただし0.05λ＜Ｇ≦0.0695λ）の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴ電極を圧電基板上に送信側電極及び受信側電極として弾性波の伝搬方向に並べた弾性波フィルタにおいて、通過周波数帯域よりも高域側の減衰傾度が急峻で且つ通過周波数帯域の平坦性が良好な広帯域の弾性波フィルタを得ること。
【解決手段】送信側ＩＤＴ電極１２及び受信側ＩＤＴ電極１３としてアポダイズ型電極及びテーパー型電極の一方側及び他方側を夫々配置すると共に、これらＩＤＴ電極１２、１３間にマルチストリップカプラ３２を設けて、送信側ＩＤＴ電極１２から送信される弾性波を受信側ＩＤＴ電極１３にて受信できる弾性波に転移させる。 （もっと読む）

【課題】 高周波を直接発振させることができると共に、ＡＴカット振動子並みの周波数精度が得られ、発振器を構成した場合において位相雑音やジッタ特性が良好な弾性波素子を提供することである。
【解決手段】 基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角（０±２°、３５〜４０°、０±２°）によってカット形成された水晶基板１２と、この水晶基板１２の表面に板波を励振させる少なくとも１つの櫛形励振電極１３と、裏面に周波数の調整を行う周波数調整膜１４とを備え、位相速度が４５００〜６０００ｍ／ｓの範囲にある板波の温度特性が２５℃付近に変曲点を持つ略３次温度特性になるように櫛形励振電極１３と周波数調整膜１４の膜厚を調整した。 （もっと読む）

【課題】圧電基板と支持基板とを樹脂製の接着層で接合した複合基板において、弾性表面波デバイスとして利用したときに弾性表面波に対するノイズを低減する。
【解決手段】圧電基板１１の裏面と支持基板１２とを接合する樹脂製の接着剤組成物からなる接着層１３に、接着剤組成物よりも弾性率の高い物質からなる粒子を含有させている。これにより、この複合基板１０を弾性表面波デバイスとして利用したときに弾性表面波に対するノイズを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスの製造を容易なものとしつつ、小型化を図ることができる圧電デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】内部端子対５５が設けられたベース基板５１と、ベース基板５１に対して固定された圧電体基板２１と、圧電体基板２１上に設けられたＩＤＴ２２と、圧電体基板２１上に設けられ、ＩＤＴ２２に電気的に接続された引出電極対２４とを備える弾性表面波素子片２と、内部端子対５５の一方の端子と引出電極対２４の一方の端子とに跨るように接合された第１の受動部品３１と、内部端子対５５の他方の端子と引出電極対２４の他方の端子とに跨るように接合された第２の受動部品３２とを有する。 （もっと読む）