【課題】安価で構造も簡単な製造設備を用いてＭＥＭＳマイクチップの誘電体膜のエレクトレット化工程を実現することができ、生産性を向上させることができる微小コンデンサマイクロホンの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のＭＥＭＳマイクが形成された半導体基板は、シート８０に貼り付けられた状態で放電電極５１と対向して設置される。半導体基板上のＭＥＭＳマイク４３ａが備える誘電体膜のエレクトレット化は、ＭＥＭＳマイク４３ａが備える固定電極と振動膜との間に所定の電位差を付与した状態で、当該固定電極と振動膜との間の誘電体膜に放電電極５１のコロナ放電により発生したイオンを入射させ、当該イオンに基づく電荷を当該誘電体膜に固定することで実施される。当該エレクトレット化は、半導体基板と放電電極とを相対的に移動させることにより、半導体基板上の各ＭＥＭＳマイクに対して順次実施される。 （もっと読む）

【課題】感度調整が容易で、特性ばらつきの少ないマイクロホン装置を提供する。
【解決手段】マイクロホン装置をコンデンサ部の第２の電極に接続されるコンデンサ電極端子と、接地端子とを、別途導出し、これらコンデンサ電極端子と、接地端子との間に感度調整電圧を印加することで感度調整を可能にした点を特徴とするもので、所望の感度のマイクロホン装置を実現可能とするものである。
また、同一構成で実装状態の膜スチフネスを測定できる、マイクロホン装置を実現可能とするものである。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳマイクロホンパッケージに関し、さらに詳細には金属ケースの端部を折曲させてクランプする組立工程を利用して金属ケースをメイン基板に接地させることができ、ＰＣＢに音孔が形成されたＭＥＭＳマイクロホンパッケージを提供すること。
【解決手段】本発明のマイクロホンパッケージ１００は、内部に部品が挿入されるように一面が開放された四角筒状で、カーリングが容易であるように開放側の端部の角部が面取り（ｃｈａｍｆｅｒｉｎｇ）された金属ケース１０２と、外部音を伝播させるための音孔１０６ａが形成されており、ＭＥＭＳマイクロホンチップ１０とＡＳＩＣチップ２０が実装され、上記金属ケース１０２に挿入されるＰＣＢ１０６と、カーリング過程で上記ＰＣＢ１０６を保持し、上記金属ケース１０２と上記ＰＣＢ１０６の間に空間を形成するための保持部材１０４と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】振動体と振動体を挟む部材との電位差を安全に大きくとることができる静電型スピーカを提供する。
【解決手段】入力部６０は変圧器５０の一次側に接続されている。また、バイアス電源７０のマイナス側は振動体１０に接続され、バイアス電源７０のプラス側は変圧器５０の２次側の中点（センタータップ）と接続されており、２つの電極２０はそれぞれ変圧器５０の２次側の一端および他端に接続されている。また、電極２０Ｕの振動体１０側にはエレクトレット４０Ｕが固着され、電極２０Ｌの振動体１０側にはエレクトレット４０Ｌが固着されている。バイアス電源７０の電圧Ｅ１と振動体１０Ａの電圧Ｅ２とを加算した電圧（Ｅ１＋Ｅ２）が、バイアス電源７０のマイナス側と電極２０Ｕ（振動体１０Ａと電極２０Ｌ）との間の電圧差となる。 （もっと読む）

【課題】表面電荷密度が大きなエレクトレットおよび該エレクトレットを備えるエレクトレットコンデンサマイクロフォンの提供。
【解決手段】含フッ素芳香族ポリマーを主成分として含む含フッ素芳香族系樹脂を含有することを特徴とするエレクトレット。該エレクトレットを備えるエレクトレットコンデンサマイクロフォン。前記含フッ素芳香族ポリマーは、フッ素原子が芳香環に直接結合した分子構造を有する含フッ素芳香族ポリマーを含むことが好ましい。前記含フッ素芳香族ポリマーは、含フッ素ポリアリーレンおよび／または含フッ素ポリアリーレンエーテルであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】電子部品において、エアギャップ内の水分に起因する使用不能状態の発生及び雑音の増加を抑制する。
【解決手段】電子部品１は、固定膜８と、固定膜８に対向する振動膜１６と、固定膜８に設けられ、中央部に少なくとも１つの第１貫通孔１１を有する第１電極６と、振動膜１６に、第１電極６と重なる位置に設けられ、周縁部に少なくとも１つの第２貫通孔１７を有する第２電極１８と、固定膜８と振動膜１６との間にリブ１０に囲まれるように構成され、第１貫通孔１１及び第２貫通孔１７にそれぞれ通じているエアギャップ１４と、エアギャップ１４を囲むリブ中１０に設けられ、エアギャップ１４から外側に向かって伸びる少なくとも１つの側孔１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきが小さく、小型、高信頼性、高性能なエレクトレットコンデンサーを提供する。
【解決手段】半導体基板１０１及び薄膜で構成するエレクトレットコンデンサーにおいて、半導体基板１０１の中央部に、半導体基板１０１を選択的に除去したメンブレン領域１１３を備え、導電膜により、下部電極１０４と引出し配線１１５が設けられている。この下部電極１０４を、メンブレン領域１１３の内側に設けることにより、寄生容量を抑制することができる。これにより、高性能なＥＣＭを実現することができる。
また、シリコン窒化膜１０３、シリコン酸化膜１０５及びシリコン窒化膜１０６の端面は、半導体基板１０１と重なるように設けることにより、振動膜１１２の共振周波数特性を容易に制御することができ、小型かつ高感度のエレクトレットコンデンサーを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】実装方法に融通が利き、且つ、実装及び取り外しの利便性が高いコンデンサマイクロホンを提供する。
【解決手段】振動膜電極及び固定電極を有し、振動膜電極又は固定電極にエレクトレット膜が設けられたコンデンサ部と、その静電容量の変化を電気信号に変換して出力する変換回路部と、コンデンサ部と変換回路部とを電気的に導通させる導通部とを備えるコンデンサマイクロホンＭであって、筐体１は、その天面１ａを構成する第１板状部材と、底面１ｂを構成する第２板状部材と、第１板状部材と第２板状部材との間に介在する中間部材とを組み合わせて形成され、筐体１の外表面のうちの天面１ａと側面１ｃと底面１ｂとに渡って形成されると共に、変換回路部と導通するように形成されている導電性の表面端子部材Ｓを備える。 （もっと読む）

【課題】静電型スピーカにおいて指向特性等を制御することができる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の静電型スピーカは、エレクトレット材３０を塗布した電極２０と、前記電極に対向して離間配置され、前記電極との電位差に応じて変位するシート状の導電性振動体１０とを有するスピーカであって、エレクトレット材３０の表面電位が２以上の位置において異なることを特徴とする。この静電型スピーカによれば、エレクトレット材３０の厚みを場所に応じて異ならせることにより振動体に働く静電力を振動体の場所によって異ならせることができる。これにより、振動体の振動によって発生する音の指向特性や出力特性といった各種特性を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】エレクトレット誘電体膜に帯電している表面電圧を簡易な手法にて所定の電圧に調整し得るようにする。
【解決手段】例えば固定極２０側に一体に含まれているエレクトレット誘電体膜２３に帯電している表面電圧を調整するにあたって、アルコール蒸気を含む圧搾空気４７をエレクトレット誘電体膜２３の全面に吹き付けて、エレクトレット誘電体膜２３の表面電圧を所定の電圧値に調整する。 （もっと読む）