【課題】既存のプラズマ技術のものを超えるアスペクト比およびプロセス速度を達成する。
【解決手段】プラズマを用いて基板をエッチングするための方法およびデバイスにおいて、プラズマは、プラズマ源（１）の陰極と陽極の間の少なくとも１枚の縦列伝導板系のチャネル内で、これらのプラズマ源の陰極と陽極の間で実質的に大気常態値以下の圧力で生成され加速される。前記プラズマは前記プラズマ源から処理チャンバ（２）へと放出され、その内部で前記基板（９）が前記プラズマに曝露される。処理チャンバは、作業中真空に近い低圧に維持される。この曝露中前記基板と前記プラズマの間に、交流バイアス電圧が印加される。 （もっと読む）

有機材料を水素リッチガスおよび灰に変換するガス化ユニットと、該ガス化ユニットとの連通において、該ガス化ユニット内で形成された灰をガラスに変換するジュール加熱されたガラス化ユニットと、元素としての炭素およびガス化ユニット内の不完全燃焼により形成された産物を水素リッチガスに変換するプラズマとを有する、最適化されたガス化／ガラス化処理システム。該ガス化ユニットは、１つ以上の酸化剤注入ポートをさらに備え、該１つ以上の酸化剤注入ポートを通じて、酸素、蒸気、二酸化炭素、空気、およびそれらの組み合わせの流れを制御し、該有機成分の水素リッチガスへの該変換を最適化する、フィードバック制御デバイスをさらに備える。
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本発明の目的は、ロッド陰極と、本体部材及び陽極貫通軸方向オリフィスを有するノズル陽極と、ロッド陰極及びノズル陽極の両方の電極に接続された電源ユニットと、プラズマ形成ガスを電極間の空間内に供給し、陽極貫通軸方向オリフィスと連通し、且つ、陽極貫通軸方向オリフィスの吸気口部分及び排気口部分の間に配置された内部開口部を通じて、適切に選択された技術的ガス又はガス混合物を陽極貫通軸方向オリフィス内に供給するガスシステムとを具備する直流アークプラズマトロンにより達成される。開口部は、陽極貫通軸方向オリフィスの吸気口部分及び排気口部分の間の連続した円形の軸方向ギャップとして構成され、軸方向ギャップのサイズは、陽極貫通軸方向オリフィスの吸気口部分の直径よりも小さいか又は大きく、且つ、陽極貫通軸方向オリフィスの排気口部分の直径も、陽極貫通軸方向オリフィスの上記吸気口部分の直径よりも小さいか又は大きい。
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【課題】 溶融した物質の落下を阻止して高温の立体的なプラズマ形成空間内に保持し、空間内に物質を長時間保持して分子解離を実現する。
【解決手段】 処理室６内に投入された廃棄物Ｍは、分解領域に集積された導電性を有する多孔性の粒子である抵抗素子１１の積層上に落下し、分解領域に集積した粒状の抵抗素子１１，１１・・・が対のプラズマアーク電極５，５間に連なり、抵抗素子の集積隙間の範囲内に高温の立体的なプラズマの作用空間ＰＳが形成され、抵抗素子の集積上に落下した廃棄物は、抵抗素子１１の集積の範囲内に止まる限りプラズマ環境に曝されながら、高温プラズマに衝突されて解離し、物質における核力以外のすべての結合が断ち切られてその構成成分レベルに解離・融化する。 （もっと読む）

【課題】圧縮応力を有した被膜を形成し得る、プラズマとコールドスプレーとを組み合わせた方法および装置を提供すること。
【解決手段】後方ガンチャンバ９１は、３つのカソードと、１つのガス注入リングと、を備えている。第１ニュートロードセグメント９２は、短い初期アーク長さを可能とするための適切なアーク形状を有している。複数のニュートロードセグメント９３は、ガス流量が増加した際に、より長いアーク経路を提供し得るように、機能する。アノードセグメント９９は、ノズルとして機能し、アークを着座させるための段部９４と、ガスを加速するための超音速縮径／拡径ノズル部９５と、を備えている。ノズル部９５の出口穴を超えたところに、粉末注入器９７が配置されている。ノズル部９５は、小さなマッハ数のためのものである。粉末原材料を加速し、６００〜２０００ｍ／ｓｅｃという粒子速度を得る。 （もっと読む）

【課題】基板上の配線溝に形成した配線膜の膜特性を改善可能なシートプラズマ成膜装置を提供する。
【解決手段】シートプラズマ成膜装置１００は、ソースプラズマ２２を輸送方向に向けて放出可能なプラズマガン４０と、輸送方向に延びた輸送空間２１を有するシートプラズマ変形室２０と、互いに同極同士を向き合わせ、輸送空間を挟むように配置される第１の磁界発生手段の対２４Ａ、２４Ｂと、輸送空間に連通した成膜空間３１を有する成膜室３０と、互いに異極同士を向き合わせ、成膜空間を挟むように配置される第２の磁界発生手段の対３２、３３と、を備え、ソースプラズマ２２は輸送空間を移動する間に第１の磁界発生手段の対２４Ａ、２４Ｂの磁界により中心を含む主面Ｓに沿ってシート状に拡げ、シート状のプラズマ２７が成膜空間３１を移動する間に第２の磁界発生手段の対３２、３３の磁界により主面Ｓから凸状に偏倚する装置である。 （もっと読む）

【課題】成膜粒子の入射エネルギー及び相分離の度合いの制御性を向上させることが可能な、相分離膜の製造方法を提供する。
【解決手段】陰極アーク放電により陰極材料のアークプラズマ２４を発生させる工程と、前記アークプラズマ中のイオンを基板２３に照射する工程と、該イオンにより該基板２３上に相分離する組成の材料から成る膜を形成する工程を含む相分離膜の製造方法。前記相分離する組成の材料が、Ａｌ_X（Ｓｉ_YＧｅ_1-Y）_1-X（０．３≦Ｘ≦０．８、０≦Ｙ≦１）の組成を有するアルミニウム及びシリコン、アルミニウム及びゲルマニウム、またはアルミニウム及びシリコン及びゲルマニウムからなる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、多様な形態のプラズマ反応装置及びこれを用いたプラズマ反応方法に関し、より詳しくは、回転アークプラズマを発生させ、発生した回転アークを用いて燃料の改質、難分解性ガスの化学処理、吸蔵触媒方式のNOx低減装置等に応用するための装置及びこれを用いた反応方法に関する。
【解決手段】
このために反応原料がスワール(swirl)構造の流入ホールに流入されるようにし、流入される原料が回転流を形成しながら進行するようになり、これによって上記原料が制限された体積のプラズマ反応空間でも充分に反応されると同時に、より速い高温プラズマ反応が可能となり、また、反応炉の上部の幅が拡張されて形成された広域チャンバを介してプラズマ反応ゾーンが排出前に拡張されるようにして、拡張段に電極と一定の間隔で離隔された先端部が形成されるようにして形成されたプラズマが膨脹及び停滞することによって、プラズマ反応ゾーンの不連続性を排除することができる多様なプラズマ反応装置及びこれを用いたプラズマ反応方法、難分解性ガスのプラズマ反応方法及び吸蔵触媒方式のＮＯｘ低減装置に関する。 （もっと読む）

本発明は、バーナハンドル（６ａ）及びバーナベース（６ｂ）を備える蒸気プラズマバーナ（６）に関する。バーナベース（６ｂ）内部には、液体供給管（３２）、加熱装置（２６）、バーナチャンバ（２７）、陰極支持部（２８）に接続される陰極（２２）、及び、ノズル（２３）として構成され、出口開口部（２５）を有する陽極（２４）が配置される。本発明は、このような蒸気プラズマバーナ（６）用の陰極（２２）及びノズル（２３）にも関する。本発明の目的は、最適に着火でき、磨耗部分を容易に除去できる蒸気プラズマバーナ（６）を提供することである。この目的のため、陰極支持部（２８）は、軸方向に変位可能なピストンとして陰極（２２）とともに構成され、陰極（２２）が静止位置において、ノズル（２３）に押し付けられるようにバネ素子（３０）に接続され、動作中に水が提供されるとき、陰極（２２）がノズル（２３）から持ち上げられるように陰極支持部（２８）が液体供給ライン（３２）と連絡して、電気アークを陰極（２２）と陽極（２４）間で着火することができる。
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陽極及び陰極の間に存在するプラズマアークを用いる本発明による熱エネルギーの生成方法は、融合プロセスに適した軽元素に電気エネルギーを供給してプラズマ状態とし、プラズマ中で生成した微粒子を拡散させ、金属格子において融合プロセスを可能とするのに適した金属を陽極として用いる。本方法を用いた設備は高効率で運転できるので、従来は化石燃料及び／又は再生燃料及び／又は合成燃料に頼っていた全ての場所において、熱エネルギーを直接又は他のエネルギー形態に変換して使えるようになった。
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