本発明は、真空コーティング設備で電気式のアーク蒸発器の高電流放電を点火するための点火装置に関する。点火は、カソードとアノードの間の接点の機械式の開閉によって行われる。接触は、強制軌道上を動く点火フィンガによって成立する。強制軌道に基づき、単純な機械式の駆動装置によって、コーティングから防護された待機位置へと点火フィンガを移動させることができ、さらに、第２のターゲットの点火のために利用することができる。
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【課題】荷電粒子流輸送用の輸送室の熱損傷、および、この輸送室での荷電粒子流の電力効率低下を簡易かつ適切に抑制できる真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空処理装置１００は、アノードおよびカソード間の放電により、荷電粒子流を形成できる荷電粒子流形成手段４０と、荷電粒子流形成手段４０から放出された荷電粒子流２７を輸送する輸送室２０と、輸送室２０から放出された荷電粒子流２７を用いて真空処理が行われる接地状態の導電性の真空処理室３０と、を備える。そして、輸送室２０が、導電性の第１壁部材２０Ｃおよび第１壁部材２０Ｃの内部に配された絶縁性の第２壁部材２０Ｄを有しており、第２壁部材２０Ｄの内部が、荷電粒子流２７の輸送空間２１になっている。 （もっと読む）

【課題】 絶縁管の消耗率を下げ、絶縁管の寿命を長くすること。
【解決手段】 成膜装置は、排気系を備えた真空チャンバー内に向けて、プラズマビームを生成するホローカソードとプラズマビームに電位勾配を与える一以上の中間電極とを有するプラズマガンと、プラズマガンからプラズマビームを出力するための出口部と同軸に位置する真空チャンバーの管部の外周を包囲するように設けられプラズマビームを管部を介して真空チャンバーへ引き出す収束コイルと、管部の内部においてプラズマガンの出口部と同軸に配置され陽極の極性を有する反射電子帰還電極と、を備える。ホローカソードの電位より高い電位を有し接地された反射電子帰還電極の内周部に設けられた絶縁管が、反射電子帰還電極に対して最も近い位置に配置されている中間電極と電気的に接触している。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの数が極めて少ない良質の薄膜を形成できる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】プラズマ発生部１０においてアーク放電にともなって発生したプラズマは、プラズマ分離部２０において斜め磁場により進行方向が曲げられ、パーティクルトラップ３０に直進するパーティクルと分離される。そして、プラズマ移送部４０を介して成膜チャンバ５０に入り、基板５１上に膜を形成する。プラズマ移送部４０の少なくとも一部には、接地電圧に対し５〜１５Ｖ低い電圧が印加される。この負の電圧により、正に帯電したパーティクルがプラズマと分離され、プラズマ移送部４０に設けられたフィン４３２、防着板４４２ａ，４４２ｂ及び筐体壁面に捕捉される。 （もっと読む）

回転台（１９）上に実装された加工物用遊星運搬台（２２）が真空チャンバ内に設けられる。雲の中心軸（Ａ_ＣＬ）が回転台（１９）の回転軸（Ａ_２０）と交差するように、イオン含有雲（ＣＬ）の供給源（２４）が設けられる。雲（ＣＬ）は、遊星軸（Ａ_２２）の移動経路（Ｔ）でのイオン密度プロファイルが、前述の中心軸（Ａ_ＣＬ）から遊星運搬体（２２）の直径のせいぜい半分の距離で最大イオン密度の５０％に低下する。遊星運搬台（２２）上の加工物がイオン含有雲によってエッチングされるとき、エッチング除去された材料は、実質的に、隣接した遊星運搬台上に再堆積されるのでなく、真空チャンバの壁の方へ放出される。
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【課題】 複数の磁石を必要とせず、磁石の表面の磁束密度を容易に均一化する磁石ホルダを備えるスパッタリング装置を安価に提供する。
【解決手段】 スパッタリング装置が、プラズマガンと、プラズマ形成室と、一対の磁石１１Ａ，１１Ｂと、一対の磁石ホルダ２５Ａ，２５Ｂと、真空成膜室と、電磁コイルと、電源と、を備え、前記一対の磁石ホルダは、それぞれ、その有効主面に対向する第１の構成部材２８Ａ，２８Ｂと、前記有効主面以外の部分に対向する第２の構成部材２６Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂと、を有し、第１の構成部材２８Ａ，２８Ｂが磁性材料からなる。 （もっと読む）

【課題】プラズマガンの放電時において中間電極を流れる電流の制限を適切に行えるプラズマ装置を提供する。
【解決手段】本発明のプラズマ装置１００は、カソードユニット４１および中間電極Ｇ₁、Ｇ₂を有して、カソードユニット４１と中間電極Ｇ₁、Ｇ₂との間にグロー放電を形成するとともに、カソードユニット４１とアノードＡとの間にアーク放電を形成するプラズマガン４０と、プラズマガン４０に電力を供給するプラズマガン電源５０と、を備え、グロー放電時およびアーク放電時に中間電極Ｇ₁、Ｇ₂を流れる電流を制限する抵抗値を変更可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明のプラズマスクラバーは、電力消耗を減らしながら、反応炉内に高い温度雰囲気を形成して、難分解性気体を効果的に分解除去する。
【解決手段】本発明のプラズマスクラバーは、難分解性気体が供給される第１反応炉１０、前記第１反応炉１０内に設置され、前記難分解性気体の流れ方向に突出形成され、前記第１反応炉１０との放電によって前記第１反応炉１０との間に供給される前記難分解性気体にプラズマを発生させる電極４０、前記第１反応炉１０に連結装着され、前記プラズマが前記電極４０に付着して（anchoring）連続的なアークジェットを形成する第２反応炉２０、及び前記第２反応炉２０に連結装着され、前記第２反応炉２０で電子及び反応性の高い化学種を含む高温の反応部を形成して、滞留時間増加及び反応性を高め、前記難分解性気体を分解する第３反応炉３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】炭化珪素焼結体本来の優れた特性を保持しながら炭化珪素単相の焼結体よりも良好な加工性を示し、優れたセラミックス構造材料となりうる炭化珪素／窒化硼素複合材料焼結体、および炭化珪素／窒化硼素複合材料焼結体の新たな製造方法を提供する。
【解決手段】上記焼結体は、炭化珪素55〜92質量%、六方晶窒化硼素5〜35質量%ならびに焼結助剤等を3〜25質量%の割合で含有し、酸素不純物含有量が0.2質量%以下であり、曲げ強度が400MPa以上である。上記製造方法は、炭化珪素粉末および六方晶窒化硼素粉末を含む混合粉末を焼成する前に真空または不活性雰囲気中1450〜1650℃の温度で熱処理する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】電極絶縁用の絶縁体のシール部材でのプラズマ損傷を適切に防止できるプラズマガンを提供する。
【解決手段】本発明のプラズマガン１００は、プラズマを形成可能なカソードユニット１と、プラズマを引き出せる第１通孔４２が形成された板状の第１電極２と、第１通孔４２の中心軸２０１と軸を合わせた第２通孔４３が形成され、中心軸２０１において第１電極２と並んでいる板状の第２電極３と、第１電極２および第２電極３間に配され、第１電極２および第２電極３間の空間領域１０１を気密に保つように構成された環状の絶縁体５１と、第１通孔４２または第２通孔４３に配された導電性の筒体２５と、を備える。この筒体２５は、空間領域１０１を跨ぐように中心軸２０１に沿って延在している。 （もっと読む）