インダクタ部品の製造方法およびインダクタ部品
【課題】スクリーン印刷によってスパイラル導体の導体パターンを印刷する場合であっても、スパイラル形状の導体が適切に形成されたインダクタ部品を安定的に供給することが可能なインダクタ部品の製造方法およびインダクタ部品を提供する。
【解決手段】インダクタ部品の製造方法は、互いに交差する方向に延びる第１及び第２のパターン部分を有するスパイラル形状の導体パターンの形状に対応する開口５２ａが形成されたマスク５２を有するスクリーン版を用いる。そして、グリーンシート上に配置したスクリーン版にスキージを押圧すると共に、第１のパターン部分が延びる方向にスキージを移動させることにより、開口５２ａを通して導電ペーストをグリーンシートに印刷し、第１のパターン部分に対応する開口５２ａａの幅Ｗ３１〜３８を、第２のパターン部分に対応する開口５２ａｂの幅Ｗ４１〜４９よりも広く設定する。
【解決手段】インダクタ部品の製造方法は、互いに交差する方向に延びる第１及び第２のパターン部分を有するスパイラル形状の導体パターンの形状に対応する開口５２ａが形成されたマスク５２を有するスクリーン版を用いる。そして、グリーンシート上に配置したスクリーン版にスキージを押圧すると共に、第１のパターン部分が延びる方向にスキージを移動させることにより、開口５２ａを通して導電ペーストをグリーンシートに印刷し、第１のパターン部分に対応する開口５２ａａの幅Ｗ３１〜３８を、第２のパターン部分に対応する開口５２ａｂの幅Ｗ４１〜４９よりも広く設定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スパイラル形状の導体を有するインダクタ部品の製造方法およびインダクタ部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
インダクタ部品は、例えば、特許文献１に記載されているように、スクリーン印刷によって複数の導体パターンが形成されたグリーンシートを１つの導体パターンが含まれるチップ状に切断し、焼成することによって製造される。スクリーン印刷は、メッシュに導体パターンの形状に対応する開口を有するマスクを形成したスクリーン版を通してその開口に導電ペーストを押し込むことによって行われる。そして、この開口への導電ペーストの押し込みは、スキージをスクリーン版に押圧させた状態で移動させることによって行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１０８９６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記スクリーン印刷によってスパイラル形状の導体パターンを形成すると、スキージが移動する方向と交差する方向に形成されるパターン部分に比べて、スキージが移動する方向に沿って形成されるパターン部分が適切に形成されない場合が多い。このため、パターン部分が途中で断線する等、導体が適切に形成されたインダクタ部品を安定的に供給することが困難であるという問題があった。
【０００５】
スクリーン印刷において上記のように導体パターンが適切に形成されない原因として以下のようなことが考えられる。すなわち、スクリーン印刷において、スキージ９１が移動する方向に対して交差する方向のパターン部分に対応する開口９３ａには、スキージ９１が移動する方向（図７に示す白抜矢印方向）に交差する壁９３ｂがあるので、スキージ９１によって開口９３ａに押し込まれた導電ペースト（図示せず）は、この壁９３ｂに衝突することによって下向きの力を受け、開口９３ａの深部にまで到達する。このため、導電ペーストは、グリーンシート９５上に適切に塗着される。一方、スキージ９１の移動方向に沿った（図７の奥行き方向）パターン部分に対応する開口９３ａには、上述したような壁が存在しないので下向きの力を受けることができず、導電ペーストは、開口９３ａの深部にまで到達することができない。このため、導電ペーストは、グリーンシート９５上に適切に塗着されないことが多くなる。
【０００６】
本発明は、スクリーン印刷によってスパイラル形状の導体パターンを形成する場合であっても、スパイラル形状の導体が適切に形成されたインダクタ部品を安定的に供給することが可能なインダクタ部品の製造方法およびインダクタ部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のインダクタ部品の製造方法は、スクリーン版及びスキージを用いたスクリーン印刷によりグリーンシートに導電ペーストを印刷して、互いに交差する方向に延びる第１及び第２のパターン部分を有するスパイラル形状の導体パターンを形成する工程を備えるインダクタ部品の製造方法であって、スクリーン版として、導体パターンの形状に対応する開口が形成されたマスクを有するスクリーン版を用い、導体パターンを形成する工程では、グリーンシート上に配置したスクリーン版にスキージを押圧すると共に、第１のパターン部分が延びる方向にスキージを移動させることにより、開口を通して導電ペーストをグリーンシートに印刷しており、第１のパターン部分に対応する開口の幅を、第２のパターン部分に対応する開口の幅よりも広く設定したことを特徴とする。
【０００８】
このインダクタ部品の製造方法では、導体パターンが適切に印刷されない場合が多いスキージが移動する方向に延びる第１のパターン部分の幅を、スキージが移動する方向と交差する方向に延びる第２のパターン部分の幅よりも広く形成することにより、第１のパターン部分を形成するための導電ペーストの量を増やしている。これにより、第１のパターン部分が断線した状態に印刷されることを回避して、適切な導体が形成されたインダクタ部品を安定的に供給することができる。
【０００９】
また、本発明のインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分に対応する開口の幅を、スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される第１のパターン部分に対応する開口の幅ほど広く設定することが好ましい。
【００１０】
ここで、スクリーン印刷によってスパイラル状の導体パターンを印刷する際には、導体パターンの外側部分ほど適切に印刷されないという問題がある。これは、スクリーン版とグリーンシートとの間の付着力の差によるものと考えられる。ここで、図８を用いて、この付着力の差が発生するメカニズムを説明する。図８は、形成される導体パターン９６に対応するスクリーン版９４及びグリーンシート９５の断面図である。すなわち、スクリーン印刷をした際、複数の導体パターン９６が形成されるグリーンシート９５において導体パターン９６が形成される部分（図８に示すＸ部）は、十分な量の導電ペーストがあるのでスクリーン版９４とグリーンシート９５とが付着しやすい状態となる。一方、導体パターン９６と導体パターン９６との間の部分（図８に示すＹ部）は、導体パターン９６が形成される部分（Ｘ部）に比べると導電ペーストの量が少なく、スクリーン版９４とグリーンシート９５とが付着しにくい状態となる。
【００１１】
このような付着力の差が発生することによって、グリーンシート９５上のスクリーン版９４は、図８に示すように、導体パターン９６が形成される部分では、グリーンシート９５と接近し、導体パターン９６と導体パターン９６との間では、グリーンシート９５と離反しやすい状態となる。このため、スクリーン版９４にスキージ９１を押圧しながら移動させた際、導体パターン９６と導体パターン９６との間（Ｙ部）では、グリーンシート９５に導電ペーストが十分に塗着されるよりも前にスクリーン版９４がグリーンシート９５から離れるようになり、この部分に対応する導体パターン９６が適切に形成されないと考えられる。
【００１２】
なお、この問題を解決するための方法として、スキージの移動速度を遅くして、時間をかけて導体パターンを印刷するという方法も考えられるが、導電ペーストの量が十分にある内側部分の導体パターンが滲んでしまうという新たな問題が発生する。
【００１３】
さらに、導体パターンが形成されたグリーンシートを焼成することも、適切な導体が形成されないことの一因であると考えられる。すなわち、スパイラル形状の導体パターンにおける内側部分に形成される第１のパターン部分よりも外側部分に形成される第１のパターン部分の方が長いので、焼成の際の収縮量もその分大きくなる。そして、この導体パターンの収縮とグリーンシートの収縮の時間差により発生する応力が、第１のパターン部分における１箇所に集中して起こった場合には、収縮量が大きいほど大きな応力が第１のパターン部分に作用する。このため、収縮量の絶対値が大きい外側部分に形成される第１のパターン部分ほど大きな応力が作用することとなり、焼成により断線する可能性も高くなる。
【００１４】
そこで、本発明のインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分に対応する開口の幅を、スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される第１のパターン部分に対応する開口の幅ほど広く設定することが好ましい。これにより、外側部分に形成される第１のパターン部分を形成する導電ペースト量が増えるので、この部分のスクリーン版とグリーンシートとの付着力が高まる。この結果、導体パターンの外側部分においてスクリーン版とグリーンシートとが離れやすくなる状態を回避して、適切な導体パターンを形成することができる。また、第１のパターン部分を形成する導電ペーストの量が増えることにより、適切に第１のパターン部分が形成されるようになり、焼成後においても、断線等のない適切な導体を形成することができる。
【００１５】
また、本発明のインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分に対応する隣り合う開口同士の間隔を、スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される第１のパターン部分に対応する隣り合う開口同士の間隔ほど広く設定することが好ましい。これにより、隣り合う第１のパターン部分同士の距離が十分に確保されるので、導体パターンを形成する際に導電ペーストの滲みが発生した場合であっても、隣り合う第１のパターン部分同士を短絡するといった不具合を回避することができる。
【００１６】
また、本発明のインダクタ部品の製造方法では、マスクは、スキージが移動する方向に延びる開口及び非開口の平面視における面積が、スキージが移動する方向と交差する方向に延びる開口及び非開口の平面視における面積よりも広く形成されていることが好ましい。このような形状のマスクを有するスクリーン版を用いることにより、印刷時におけるスキージの移動に対する抵抗が緩和されると共に、スキージが移動方向に対して円滑にガイドされる。
【００１７】
また、本発明のインダクタ部品は、上述のインダクタ部品の製造方法によって製造される。これにより、導体パターンに断線が生じ難いインダクタ部品が得られることとなり、インダクタ部品の特性を確保することができる。
【００１８】
また、本発明のインダクタ部品は、スクリーン版とスキージとを用いたスクリーン印刷により形成された、スキージの移動方向に延びる第１のパターン部分と該第１のパターン部分に交差する方向に延びる第２のパターン部分とを有するスパイラル形状の導体パターンを焼成して得られた導体を備えるインダクタ部品であって、導体は、第１のパターン部分に対応する第１の導体部分と、第２のパターン部分に対応する第２の導体部分と、を有しており、第１の導体部分の幅は、第２の導体部分の幅よりも広く設定されていることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明のインダクタ部品では、第１の導体部分の幅は、スパイラル形状の導体における外側部分に形成される第１の導体部分ほど広く設定されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、スクリーン印刷によってスパイラル形状の導体パターンを印刷する場合であっても、スパイラル形状の導体が適切に形成されたインダクタ部品を安定的に供給することが可能とする。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法によって製造されるインダクタ部品を含む積層型コモンモードフィルタを示す斜視図である。
【図２】図１に示す素体の構成を示す分解斜視図である。
【図３】図１に示す積層型コモンモードフィルタに含まれるコイル導体を積層方向から見た図である。
【図４】本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法の工程に含まれる印刷工程を説明する図である。
【図５】本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法で用いられるスクリーン版が有するマスクに設定された開口の状態を示した図である。
【図６】本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法において印刷される導体パターン示す平面図である。
【図７】スクリーン版及スキージを用いたスクリーン印刷を説明する図である。
【図８】印刷後の導体パターンに対するスクリーン版の状態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら、本発明に係るインダクタ部品の製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００２３】
図１は、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法によって製造されるインダクタ部品を含む積層型コモンモードフィルタを示す斜視図である。また、図２は、素体の構成を示す分解斜視図である。図１に示すように、積層型コモンモードフィルタ１は、略直方体形状の素体２と、素体２の長手方向の両端部に形成された外部電極３〜６とを備えている。
【００２４】
外部電極３，５は、素体２の長手方向の一方の端面２ａにおいて、所定の間隔をもって素体２の積層方向に延在しており、外部電極３，５の両端部は、素体２の上面２ｃおよび底面２ｄに張り出した状態となっている。外部電極４，６は、素体２の長手方向の他方の端面２ｂにおいて、所定の間隔をもって素体２の積層方向に延在しており、外部電極４，６の両端部は、素体２の上面２ｃおよび底面２ｄに張り出した状態となっている。
【００２５】
素体２は、図２に示すように、矩形状のスパイラルパターンを構成する第１コイル導体３１および第２コイル導体３４が表面に形成された一対の非磁性シート（インダクタ部品）２２，２６を含む複数の非磁性体層１１と、非磁性体層１１を挟む一対の磁性体層１２，１２とが積層された積層体である。素体２は、導電ペーストにより導体パターンを形成したグリーンシートの焼成によって形成されており、実際の積層型コモンモードフィルタ１では、非磁性体層１１および磁性体層１２を構成する各層同士は、視認できない程度に一体化されている。
【００２６】
磁性体層１２，１２は、それぞれ複数（本実施形態では４枚）の磁性シート２１の積層体である。焼成後の各磁性シート２１の厚さは、例えば２０μｍ〜４０μｍ程度となっている。磁性体層１２，１２は、非磁性体層１１を積層方向の上下から挟むように配置されており、上述した素体２の上面２ｃおよび底面２ｄを構成している。
【００２７】
非磁性体層１１は、複数層（本実施形態では６層）の非磁性シートの積層体である。より具体的には、非磁性体層１１は、コイル導体（導体）３１が形成された非磁性シート２２、引出導体３２が形成された非磁性シート２３、第１余白非磁性シート２４、引出導体３３が形成された非磁性シート２５、コイル導体（導体）３４が形成された非磁性シート２６および第２余白非磁性シート２７がこの順に積層されて構成されている。
【００２８】
焼成後のスパイラル形状のコイル導体３１は、非磁性シート２２の表面に形成されている。コイル導体３１の引出部３１ａは、素体２の端面２ｂまで引き出され、外部電極４に接続されている。また、コイル導体３１の引出部３１ｂは、非磁性シート２２の中央側に延びている。非磁性シート２３において、コイル導体３１の引出部３１ｂに対応する位置には、非磁性シート２３を厚み方向に貫通するスルーホール導体（不図示）が形成されている。
【００２９】
焼成後の引出導体３２は、非磁性シート２３の表面において、コイル導体３１と同様に、例えば５μｍ〜２０μｍ程度の厚さで形成されている。引出導体３２の外側端部３２ａは、素体２の端面２ａまで引き出され、外部電極３に接続されている。また、引出導体３２の内側端部３２ｂは、非磁性シート２３のスルーホール導体に対応する位置に延びている。これにより、コイル導体３１は、引出導体３２を介して外部電極３に接続されている。
【００３０】
焼成後のスパイラル形状のコイル導体３４は、非磁性シート２６の表面に形成されており、積層方向から見てコイル導体３１と磁気結合することができる。コイル導体３４の外側端部３４ａは、素体２の端面２ｂまで引き出され、外部電極６に接続されている。また、コイル導体３４の内側端部３４ｂは、非磁性シート２６の中央側に伸びている。非磁性シート２６において、コイル導体３４の内側端部３４ｂに対応する位置には、非磁性シート２６を厚み方向に貫通するスルーホール導体（不図示）が形成されている。
【００３１】
焼成後の引出導体３３は、非磁性シート２５の表面において、コイル導体３４と同様に、例えば５μｍ〜２０μｍ程度の厚さで形成されている。引出導体３３の外側端部３３ａは、素体２の端面２ａまで引き出され、外部電極５に接続されている。また、引出導体３３の内側端部３３ｂは、非磁性シート２６のスルーホール導体に対応する位置まで伸びている。これにより、コイル導体３４は、引出導体３３を介して外部電極５に接続されている。
【００３２】
次に、図３を用いて、コイル導体３１およびコイル導体３４の構成について詳細に説明する。図３は、本実施形態に係る積層型コモンモードフィルタ１のコイル導体３１およびコイル導体３４を積層方向から見た図である。
【００３３】
図３に示すように、コイル導体３１は、矩形状のスパイラル形状の一辺を構成する所定の方向に直線状に延びる第１の導体４１及び第１の導体４１と直交する方向に直線状に延びる第２の導体４３により形成されている。第１の導体４１は、複数の第１の導体部分４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅ，４１Ｆ，４１Ｇ，４１Ｈ（以後、第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈと示す）を有している。第２の導体４３は、複数の第２の導体部分４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｄ，４３Ｅ，４３Ｆ，４３Ｇ，４３Ｈ，４３Ｉ（以後、第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉと示す）を有している。
【００３４】
第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈは、後段にて詳述するスクリーン印刷においてスキージ５６の移動方向に延びる第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ（図６参照）に対応する導体部分である。第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉは、スキージ５６の移動方向と直交する方向に延びる第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉ（図６参照）に対応する導体部分である。なお、第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈおよび第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉにおける滲みの状態等から、スクリーン印刷時におけるスキージ５６の移動方向を特定することが可能である。
【００３５】
第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｄは、その幅Ｗ１〜Ｗ８が第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉにおける幅Ｗ１１〜Ｗ１９よりも広く設定されている。さらに、第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈは、スパイラル形状のコイル導体３１において外側部分に形成される第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈほど、その幅Ｗ１〜Ｗ８が広く設定されている。例えば、図３に示すように、スパイラル形状のコイル導体３１における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｄにおいては、その幅Ｗ１〜Ｗ４の比が１：２：３：４となっており、外側部分に形成されている第１の導体部分ほどその幅が広く設定されている。
【００３６】
同様に、スパイラル形状のコイル導体３１における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１の導体部分４１Ｅ〜４１Ｈにおいても、その幅Ｗ５〜Ｗ８の比が１：２：３：４となっており、外側部分に形成されている第１の導体部分ほどその幅が広く形成されている。
【００３７】
さらに、第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈは、スパイラル形状のコイル導体３１において外側部分に形成されている第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈほど、隣り合う第１の導体部分同士の間隔Ｗ２１〜Ｗ２３が広く設定されている。例えば、図３に示すように、スパイラル形状のコイル導体３１における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｄにおいては、隣り合う第１の導体部分同士の間隔Ｗ２１〜Ｗ２３の比が２：３：４となっており、外側部分に形成されている隣り合う第１の導体部分同士の間隔ほど広く設定されている。
【００３８】
同様に、スパイラル形状のコイル導体３１における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１の導体部分４１Ｅ〜４１Ｈにおいても、隣り合う第１の導体部分同士の間隔Ｗ２４〜Ｗ２６の比が２：３：４となっており、外側部分に形成されている隣り合う第１の導体部分同士の間隔ほど広く設定されている。
【００３９】
一方、第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉは、どの位置に形成されていてもその幅Ｗ１１〜Ｗ１９は全て等しく形成されている。また、第２の導体部分４３Ａ〜４１Ｉは、隣り合う第２の導体部分同士の間隔が全て等しくなるように形成されている。
【００４０】
なお、コイル導体３４については、上述したコイル導体３１の構成と同じであるのでここではその詳細な説明を省略する。
【００４１】
続いて、本実施形態に係るインダクタ部品の製造工程を含む、積層型コモンモードフィルタ１の製造方法について詳細に説明する。
【００４２】
まず、非磁性シート２２，２６を構成する非磁性グリーンシートおよび磁性シート２１を構成する磁性グリーンシートをそれぞれ用意する。非磁性グリーンシートは、例えばＦｅ２Ｏ３とＺｎＯとＣｕＯとの混合粉を原料としたスラリーを、ドクターブレード法によってフィルム上に塗布して形成する。Ｆｅ２Ｏ３とＺｎＯとＣｕＯとの混合粉の代わりに、誘電体材料（ＴｉＯ２とＣｕＯとＮｉＯとＭｎＣＯとの混合粉等）や、酸化物セラミック材料（Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、フォルステライト、ステアタイト、コージライト等、またはこれらの混合粉）を用いてもよい。
【００４３】
また、磁性グリーンシートは、例えば、フェライト（例えば、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ−Ｍｇ系フェライト、Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、又は、Ｎｉ−Ｃｕ系フェライト等）粉末を原料としたスラリーを、ドクターブレード法によってフィルム上に塗布して形成する。
【００４４】
次に、所定の非磁性グリーンシートにおけるスルーホール導体の形成予定位置に、レーザ加工等によってスルーホールを形成する。スルーホールの形成後、非磁性グリーンシートに、コイル導体３１、引出導体３２、コイル導体３４および引出導体３３に対応する導体パターンを形成する。各導体パターンは、例えば、銀もしくはニッケルを主成分とする導電ペーストをスクリーン印刷した後、乾燥することによって形成される。各スルーホールには、各導体パターンの形成の際に導電ペーストが充填される。
【００４５】
以下、本実施形態に係るインダクタ部品を製造する製造方法に含まれる印刷工程について、図４（ａ）、図４（ｂ）、図５、図６を用いて詳述する。図４は、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法の工程に含まれる印刷工程を説明する図である。図５は、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法で用いられるスクリーン版が有するマスクの平面図である。また、図６は、本実施形態のインダクタ部品に係る製造方法において印刷される導体パターン示す平面図である。
【００４６】
印刷工程は、図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、スクリーン版５３及びスキージ５６を用いたスクリーン印刷によりグリーンシート５４に導電ペースト５５を印刷して、図５に示すような、互いに交差する方向に延びる第１のパターン６１と第２のパターン６３とを有するスパイラル形状の導体パターン６６を形成する。第１のパターン６１は、複数の第１のパターン部分６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄ，６１Ｅ，６１Ｆ，６１Ｇ，６１Ｈ（以後、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈと示す）を有している。第２のパターン６３は、第２のパターン部分６３Ａ，６３Ｂ，６３Ｃ，６３Ｄ，６３Ｅ，６３Ｆ，６３Ｇ，６３Ｈ，６３Ｉ（以後、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉと示す）を有している。
【００４７】
具体的には、まず、グリーンシート５４及びスクリーン版５３の準備をし、図４（ａ）、図５に示すように、グリーンシート５４上に導体パターン６６の形状に対応する開口５２ａが形成されたマスク５２とメッシュ５１とを有するスクリーン版５３を配置する。マスク５２は、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａと第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂとを有している。
【００４８】
スクリーン版５３は、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａが延びる方向とスキージ５６の移動方向とが一致するように配置される。そして、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａの幅を、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂの幅よりも広く設定する。
【００４９】
次に、図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、スクリーン版５３の表面に導電ペースト５５を載置する。次に、グリーンシート上５４に配置したスクリーン版５３にスキージ５６を押圧すると共に、第１開口５２ａａが延びる方向にスキージ５６を移動させることにより、開口５２ａを通して導電ペースト５５をグリーンシート５４に印刷する。
【００５０】
これにより、グリーンシート５４上には、図６に示すような、スキージ５６が移動する方向に延びる第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈが形成され、スキージ５６が移動する方向と直交する方向に延びる第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉが形成される。また、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈは、その幅Ｗ３１〜Ｗ３８が第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉにおける幅Ｗ４１〜Ｗ４９よりも広く形成される。
【００５１】
さらに、本実施形態では、図５に示すように、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａの幅を、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａほど、その幅Ｗ３１〜Ｗ３８が広くなるように設定する。例えば、図５に示すように、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する開口５２ａａにおいては、その幅Ｗ３１〜Ｗ３４の比を１：２：３：４に設定する。
【００５２】
さらに、本実施形態では、図５に示すように、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士の間隔に対応する隣り合う第１開口５２ａａ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５８ほど広くなるようにその間隔を設定する。例えば、図５に示すように、隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士の間隔に対応する隣り合う第１開口５２ａａ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５３においては、その間隔の比を２：３：４に設定する。
【００５３】
一方、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂの幅は全て等しく設定されている。また、隣り合う第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉ同士の間隔に対応する隣り合う第２開口５２ａｂ同士の間隔も全て等しく設定されている。
【００５４】
これにより、グリーンシート５４上には、図６に示すような、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈは、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈほど、その幅Ｗ３１〜Ｗ３８が広く形成される。例えば、図５に示すように、スパイラル形状の導体パターン６６における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｄにおいては、その幅Ｗ３１〜Ｗ３４の比が１：２：３：４となっており、外側部分に形成される第１のパターン部分ほどその幅が広く形成される。
【００５５】
また、隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５６は、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成されている隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５６ほど広く形成される。例えば、図５に示すように、スパイラル形状の導体パターン６６における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｄの間隔Ｗ５１〜Ｗ５３においては、その間隔の比が２：３：４となっており、外側部分に形成される隣り合う第１のパターン部分の間隔ほど広く形成される。
【００５６】
さらに、マスク５２は、図５に示すように、印刷方向に一致するように配置された開口５２ａ及び非開口部５２ｂの平面視における面積（例えば、図５に示すＡ１、Ａ２、Ａ３の領域）が、印刷方向に直交する方向に一致するように配置された開口５２ａ及び非開口部５２ｂの平面視における面積（例えば、図５に示すＢ１、Ｂ２の領域）よりも広くなるように形成されている。
【００５７】
以上に示した印刷工程によって導体パターンが形成された後、乾燥工程を経て各グリーンシートを順次積層して圧着し、チップ単位に切断する。その後、例えば８００℃〜９００℃の温度で所定時間の焼成を行い、素体２を得る。その後、素体２の端面２ａ，２ｂに外部電極３〜６を形成する。これにより、図１、図２に示した積層型コモンモードフィルタ１が完成する。
【００５８】
外部電極３〜６は、素体２の端面２ａ，２ｂに銀、ニッケルもしくは銅を主成分とする電極ペーストを転写した後、例えば７００℃程度にて焼き付けを行い、更に電気めっきを施すことによって形成される。電気めっきには、Ｃｕ／Ｎｉ／Ｓｎ、Ｎｉ／Ｓｎ、Ｎｉ／Ａｕ、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、又は、Ｎｉ／Ａｇ等を用いることができる。
【００５９】
以上に示したように、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法では、導体パターン６６の形状に対応する開口５２ａが形成されたマスク５２を有するスクリーン版５３を用いてスクリーン印刷を行い、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａの幅を、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂの幅よりも広く設定している。これにより、導体パターン６６が適切に印刷されない場合が多いスキージ５６が移動する方向に延びる第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈの幅Ｗ３１〜Ｗ３８が、スキージ５６が移動する方向と交差する方向に延びる第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉの幅Ｗ４１〜Ｗ４９よりも広く形成されるので、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈを形成する導電ペースト５５の量が増える。この結果、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈが断線した状態に印刷されることを回避して、適切な導体３１が形成された非磁性シート２２を安定的に供給することができる。
【００６０】
また、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第２開口５２ａａの幅を、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第２開口５２ａａほど広く設定している。これにより、導体パターン６６の外側部分に形成される第１のパターン部分を形成する導電ペースト５５の量が増えるので、導体パターン６６の外側部分におけるスクリーン版５３とグリーンシート５４との付着力が高まる。この結果、導体パターン６６の外側部分においてスクリーン版５３とグリーンシート５４とが離れやすくなる状態を回避でき、導体パターン６６の外側部分においても適切な第１のパターン部分を形成することができる。また、導体パターン６６の外側部分における第１のパターン部分を形成する導電ペースト５５の量が増えることにより、導体パターン６６の外側部分であってもグリーンシート５４上に適切な第１のパターン部分が形成されるようになり、焼成後においても、断線等のない適切な導体を形成することができる。
【００６１】
また、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する開口５２ａａ同士の隣り合う間隔を、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する開口５２ａａ同士の隣り合う間隔ほど広く設定している。これにより、隣り合う第１のパターン６１部分同士の距離が十分に確保されるため、導体パターン６６を形成した際に導電ペースト５５の滲みが発生した場合であっても、隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士を短絡するといった不具合を回避することができる。なお、隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈのうち外側部分の第１のパターン部分に対応する開口５２ａａの幅に合わせてその間隔を設定してもよい。これにより、導体ペーストの滲み量を考慮した間隔とすることができるので上述した効果がより大きくなる。
【００６２】
また、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法では、マスク５２は、スキージ５６が移動する方向に合わせて配置された開口５２ａａ及び非開口５２ｂａの平面視における面積が、スキージ５６が移動する方向と直交する方向に合わせて配置された開口５２ａｂ及び非開口５２ｂｂの平面視における面積よりも広く形成されている。このような形状のマスク５２を有するスクリーン版５３を用いることにより、スクリーン印刷をする際のスキージ５６の移動に対する抵抗が緩和されると共に、スキージ５６が移動方向に対して円滑にガイドされる。
【００６３】
以上、本発明を上記実施形態に基づいて詳細に説明した。しかし、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で以下のような様々な変形が可能である。
【００６４】
上記実施形態では、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａほど、その幅Ｗ３１〜Ｗ３８が広くなるように設定したが、これに限定されるものではない。第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａの幅を、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂの幅よりも広く設定さえすれば、第１開口５２ａａは、その幅が全て等しくなるように設定してもよい。
【００６５】
また、第１開口５２ａａは、図５に示すその幅Ｗ３１〜Ｗ３４の比を、例えば１：２：２：３と設定してもよく、第１開口５２ａａは、導体パターン６６に対応した開口パターンの内側部分よりも外側部分の第１開口５２ａａの幅が狭くならない範囲で設定してもよい。この点については、第１開口５２ａａ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５６の設定についても同様である。
【００６６】
上記実施形態では、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈと第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉとから成るスパイラル形状の導体パターン６６を形成する例を挙げて説明したがこれに限定されるものではなく、例えば、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈと第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉとが、１／４円弧状のパターン部分や面取り状のパターン部分を介して繋がった導体パターンを形成してもよい。
【００６７】
また、上記実施形態では、本発明に係るインダクタ部品の製造方法を、積層型コモンモードフィルタ１の製造方法に適用した例を用いて説明したがこれに限定されるものではなく、例えば、積層インダクタ、積層チップビーズ、インダクタ部品を含む積層型複合部品の製造方法に適用することも可能である。
【００６８】
また、上記実施形態では、本発明に係るインダクタ部品を、積層型コモンモードフィルタ１に適用した例を用いて説明したがこれに限定されるものではなく、積層インダクタ、積層チップビーズ、インダクタ部品を含む積層型複合部品に適用することも可能である。
【符号の説明】
【００６９】
１…積層型コモンモードフィルタ、２…素体、２１…磁性シート、２２，２３，２５，２６…非磁性シート、３１，３４…コイル導体、４１…第１の導体、４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅ，４１Ｆ，４１Ｇ，４１Ｈ…第１の導体部分、４３…第２の導体、４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｄ，４３Ｅ，４３Ｆ，４３Ｇ，４３Ｈ，４３Ｉ…第２の導体部分、５１…メッシュ、５２…マスク、５２ａ…開口、５２ａａ…第１開口、５２ａｂ…第２開口、５２ｂ…非開口、５２ｂａ…第１非開口、５２ｂｂ…第２非開口、５３…スクリーン版、５４…グリーンシート、５５…導電ペースト、５６…スキージ、６１…第１のパターン、６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄ，６１Ｅ，６１Ｆ，６１Ｇ，６１Ｈ…第１のパターン部分、６３…第２のパターン、６３Ａ，６３Ｂ，６３Ｃ，６３Ｄ，６３Ｅ，６３Ｆ，６３Ｇ，６３Ｈ，６３Ｉ…第２のパターン部分、６６…導体パターン。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スパイラル形状の導体を有するインダクタ部品の製造方法およびインダクタ部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
インダクタ部品は、例えば、特許文献１に記載されているように、スクリーン印刷によって複数の導体パターンが形成されたグリーンシートを１つの導体パターンが含まれるチップ状に切断し、焼成することによって製造される。スクリーン印刷は、メッシュに導体パターンの形状に対応する開口を有するマスクを形成したスクリーン版を通してその開口に導電ペーストを押し込むことによって行われる。そして、この開口への導電ペーストの押し込みは、スキージをスクリーン版に押圧させた状態で移動させることによって行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１０８９６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記スクリーン印刷によってスパイラル形状の導体パターンを形成すると、スキージが移動する方向と交差する方向に形成されるパターン部分に比べて、スキージが移動する方向に沿って形成されるパターン部分が適切に形成されない場合が多い。このため、パターン部分が途中で断線する等、導体が適切に形成されたインダクタ部品を安定的に供給することが困難であるという問題があった。
【０００５】
スクリーン印刷において上記のように導体パターンが適切に形成されない原因として以下のようなことが考えられる。すなわち、スクリーン印刷において、スキージ９１が移動する方向に対して交差する方向のパターン部分に対応する開口９３ａには、スキージ９１が移動する方向（図７に示す白抜矢印方向）に交差する壁９３ｂがあるので、スキージ９１によって開口９３ａに押し込まれた導電ペースト（図示せず）は、この壁９３ｂに衝突することによって下向きの力を受け、開口９３ａの深部にまで到達する。このため、導電ペーストは、グリーンシート９５上に適切に塗着される。一方、スキージ９１の移動方向に沿った（図７の奥行き方向）パターン部分に対応する開口９３ａには、上述したような壁が存在しないので下向きの力を受けることができず、導電ペーストは、開口９３ａの深部にまで到達することができない。このため、導電ペーストは、グリーンシート９５上に適切に塗着されないことが多くなる。
【０００６】
本発明は、スクリーン印刷によってスパイラル形状の導体パターンを形成する場合であっても、スパイラル形状の導体が適切に形成されたインダクタ部品を安定的に供給することが可能なインダクタ部品の製造方法およびインダクタ部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のインダクタ部品の製造方法は、スクリーン版及びスキージを用いたスクリーン印刷によりグリーンシートに導電ペーストを印刷して、互いに交差する方向に延びる第１及び第２のパターン部分を有するスパイラル形状の導体パターンを形成する工程を備えるインダクタ部品の製造方法であって、スクリーン版として、導体パターンの形状に対応する開口が形成されたマスクを有するスクリーン版を用い、導体パターンを形成する工程では、グリーンシート上に配置したスクリーン版にスキージを押圧すると共に、第１のパターン部分が延びる方向にスキージを移動させることにより、開口を通して導電ペーストをグリーンシートに印刷しており、第１のパターン部分に対応する開口の幅を、第２のパターン部分に対応する開口の幅よりも広く設定したことを特徴とする。
【０００８】
このインダクタ部品の製造方法では、導体パターンが適切に印刷されない場合が多いスキージが移動する方向に延びる第１のパターン部分の幅を、スキージが移動する方向と交差する方向に延びる第２のパターン部分の幅よりも広く形成することにより、第１のパターン部分を形成するための導電ペーストの量を増やしている。これにより、第１のパターン部分が断線した状態に印刷されることを回避して、適切な導体が形成されたインダクタ部品を安定的に供給することができる。
【０００９】
また、本発明のインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分に対応する開口の幅を、スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される第１のパターン部分に対応する開口の幅ほど広く設定することが好ましい。
【００１０】
ここで、スクリーン印刷によってスパイラル状の導体パターンを印刷する際には、導体パターンの外側部分ほど適切に印刷されないという問題がある。これは、スクリーン版とグリーンシートとの間の付着力の差によるものと考えられる。ここで、図８を用いて、この付着力の差が発生するメカニズムを説明する。図８は、形成される導体パターン９６に対応するスクリーン版９４及びグリーンシート９５の断面図である。すなわち、スクリーン印刷をした際、複数の導体パターン９６が形成されるグリーンシート９５において導体パターン９６が形成される部分（図８に示すＸ部）は、十分な量の導電ペーストがあるのでスクリーン版９４とグリーンシート９５とが付着しやすい状態となる。一方、導体パターン９６と導体パターン９６との間の部分（図８に示すＹ部）は、導体パターン９６が形成される部分（Ｘ部）に比べると導電ペーストの量が少なく、スクリーン版９４とグリーンシート９５とが付着しにくい状態となる。
【００１１】
このような付着力の差が発生することによって、グリーンシート９５上のスクリーン版９４は、図８に示すように、導体パターン９６が形成される部分では、グリーンシート９５と接近し、導体パターン９６と導体パターン９６との間では、グリーンシート９５と離反しやすい状態となる。このため、スクリーン版９４にスキージ９１を押圧しながら移動させた際、導体パターン９６と導体パターン９６との間（Ｙ部）では、グリーンシート９５に導電ペーストが十分に塗着されるよりも前にスクリーン版９４がグリーンシート９５から離れるようになり、この部分に対応する導体パターン９６が適切に形成されないと考えられる。
【００１２】
なお、この問題を解決するための方法として、スキージの移動速度を遅くして、時間をかけて導体パターンを印刷するという方法も考えられるが、導電ペーストの量が十分にある内側部分の導体パターンが滲んでしまうという新たな問題が発生する。
【００１３】
さらに、導体パターンが形成されたグリーンシートを焼成することも、適切な導体が形成されないことの一因であると考えられる。すなわち、スパイラル形状の導体パターンにおける内側部分に形成される第１のパターン部分よりも外側部分に形成される第１のパターン部分の方が長いので、焼成の際の収縮量もその分大きくなる。そして、この導体パターンの収縮とグリーンシートの収縮の時間差により発生する応力が、第１のパターン部分における１箇所に集中して起こった場合には、収縮量が大きいほど大きな応力が第１のパターン部分に作用する。このため、収縮量の絶対値が大きい外側部分に形成される第１のパターン部分ほど大きな応力が作用することとなり、焼成により断線する可能性も高くなる。
【００１４】
そこで、本発明のインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分に対応する開口の幅を、スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される第１のパターン部分に対応する開口の幅ほど広く設定することが好ましい。これにより、外側部分に形成される第１のパターン部分を形成する導電ペースト量が増えるので、この部分のスクリーン版とグリーンシートとの付着力が高まる。この結果、導体パターンの外側部分においてスクリーン版とグリーンシートとが離れやすくなる状態を回避して、適切な導体パターンを形成することができる。また、第１のパターン部分を形成する導電ペーストの量が増えることにより、適切に第１のパターン部分が形成されるようになり、焼成後においても、断線等のない適切な導体を形成することができる。
【００１５】
また、本発明のインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分に対応する隣り合う開口同士の間隔を、スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される第１のパターン部分に対応する隣り合う開口同士の間隔ほど広く設定することが好ましい。これにより、隣り合う第１のパターン部分同士の距離が十分に確保されるので、導体パターンを形成する際に導電ペーストの滲みが発生した場合であっても、隣り合う第１のパターン部分同士を短絡するといった不具合を回避することができる。
【００１６】
また、本発明のインダクタ部品の製造方法では、マスクは、スキージが移動する方向に延びる開口及び非開口の平面視における面積が、スキージが移動する方向と交差する方向に延びる開口及び非開口の平面視における面積よりも広く形成されていることが好ましい。このような形状のマスクを有するスクリーン版を用いることにより、印刷時におけるスキージの移動に対する抵抗が緩和されると共に、スキージが移動方向に対して円滑にガイドされる。
【００１７】
また、本発明のインダクタ部品は、上述のインダクタ部品の製造方法によって製造される。これにより、導体パターンに断線が生じ難いインダクタ部品が得られることとなり、インダクタ部品の特性を確保することができる。
【００１８】
また、本発明のインダクタ部品は、スクリーン版とスキージとを用いたスクリーン印刷により形成された、スキージの移動方向に延びる第１のパターン部分と該第１のパターン部分に交差する方向に延びる第２のパターン部分とを有するスパイラル形状の導体パターンを焼成して得られた導体を備えるインダクタ部品であって、導体は、第１のパターン部分に対応する第１の導体部分と、第２のパターン部分に対応する第２の導体部分と、を有しており、第１の導体部分の幅は、第２の導体部分の幅よりも広く設定されていることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明のインダクタ部品では、第１の導体部分の幅は、スパイラル形状の導体における外側部分に形成される第１の導体部分ほど広く設定されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、スクリーン印刷によってスパイラル形状の導体パターンを印刷する場合であっても、スパイラル形状の導体が適切に形成されたインダクタ部品を安定的に供給することが可能とする。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法によって製造されるインダクタ部品を含む積層型コモンモードフィルタを示す斜視図である。
【図２】図１に示す素体の構成を示す分解斜視図である。
【図３】図１に示す積層型コモンモードフィルタに含まれるコイル導体を積層方向から見た図である。
【図４】本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法の工程に含まれる印刷工程を説明する図である。
【図５】本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法で用いられるスクリーン版が有するマスクに設定された開口の状態を示した図である。
【図６】本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法において印刷される導体パターン示す平面図である。
【図７】スクリーン版及スキージを用いたスクリーン印刷を説明する図である。
【図８】印刷後の導体パターンに対するスクリーン版の状態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら、本発明に係るインダクタ部品の製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００２３】
図１は、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法によって製造されるインダクタ部品を含む積層型コモンモードフィルタを示す斜視図である。また、図２は、素体の構成を示す分解斜視図である。図１に示すように、積層型コモンモードフィルタ１は、略直方体形状の素体２と、素体２の長手方向の両端部に形成された外部電極３〜６とを備えている。
【００２４】
外部電極３，５は、素体２の長手方向の一方の端面２ａにおいて、所定の間隔をもって素体２の積層方向に延在しており、外部電極３，５の両端部は、素体２の上面２ｃおよび底面２ｄに張り出した状態となっている。外部電極４，６は、素体２の長手方向の他方の端面２ｂにおいて、所定の間隔をもって素体２の積層方向に延在しており、外部電極４，６の両端部は、素体２の上面２ｃおよび底面２ｄに張り出した状態となっている。
【００２５】
素体２は、図２に示すように、矩形状のスパイラルパターンを構成する第１コイル導体３１および第２コイル導体３４が表面に形成された一対の非磁性シート（インダクタ部品）２２，２６を含む複数の非磁性体層１１と、非磁性体層１１を挟む一対の磁性体層１２，１２とが積層された積層体である。素体２は、導電ペーストにより導体パターンを形成したグリーンシートの焼成によって形成されており、実際の積層型コモンモードフィルタ１では、非磁性体層１１および磁性体層１２を構成する各層同士は、視認できない程度に一体化されている。
【００２６】
磁性体層１２，１２は、それぞれ複数（本実施形態では４枚）の磁性シート２１の積層体である。焼成後の各磁性シート２１の厚さは、例えば２０μｍ〜４０μｍ程度となっている。磁性体層１２，１２は、非磁性体層１１を積層方向の上下から挟むように配置されており、上述した素体２の上面２ｃおよび底面２ｄを構成している。
【００２７】
非磁性体層１１は、複数層（本実施形態では６層）の非磁性シートの積層体である。より具体的には、非磁性体層１１は、コイル導体（導体）３１が形成された非磁性シート２２、引出導体３２が形成された非磁性シート２３、第１余白非磁性シート２４、引出導体３３が形成された非磁性シート２５、コイル導体（導体）３４が形成された非磁性シート２６および第２余白非磁性シート２７がこの順に積層されて構成されている。
【００２８】
焼成後のスパイラル形状のコイル導体３１は、非磁性シート２２の表面に形成されている。コイル導体３１の引出部３１ａは、素体２の端面２ｂまで引き出され、外部電極４に接続されている。また、コイル導体３１の引出部３１ｂは、非磁性シート２２の中央側に延びている。非磁性シート２３において、コイル導体３１の引出部３１ｂに対応する位置には、非磁性シート２３を厚み方向に貫通するスルーホール導体（不図示）が形成されている。
【００２９】
焼成後の引出導体３２は、非磁性シート２３の表面において、コイル導体３１と同様に、例えば５μｍ〜２０μｍ程度の厚さで形成されている。引出導体３２の外側端部３２ａは、素体２の端面２ａまで引き出され、外部電極３に接続されている。また、引出導体３２の内側端部３２ｂは、非磁性シート２３のスルーホール導体に対応する位置に延びている。これにより、コイル導体３１は、引出導体３２を介して外部電極３に接続されている。
【００３０】
焼成後のスパイラル形状のコイル導体３４は、非磁性シート２６の表面に形成されており、積層方向から見てコイル導体３１と磁気結合することができる。コイル導体３４の外側端部３４ａは、素体２の端面２ｂまで引き出され、外部電極６に接続されている。また、コイル導体３４の内側端部３４ｂは、非磁性シート２６の中央側に伸びている。非磁性シート２６において、コイル導体３４の内側端部３４ｂに対応する位置には、非磁性シート２６を厚み方向に貫通するスルーホール導体（不図示）が形成されている。
【００３１】
焼成後の引出導体３３は、非磁性シート２５の表面において、コイル導体３４と同様に、例えば５μｍ〜２０μｍ程度の厚さで形成されている。引出導体３３の外側端部３３ａは、素体２の端面２ａまで引き出され、外部電極５に接続されている。また、引出導体３３の内側端部３３ｂは、非磁性シート２６のスルーホール導体に対応する位置まで伸びている。これにより、コイル導体３４は、引出導体３３を介して外部電極５に接続されている。
【００３２】
次に、図３を用いて、コイル導体３１およびコイル導体３４の構成について詳細に説明する。図３は、本実施形態に係る積層型コモンモードフィルタ１のコイル導体３１およびコイル導体３４を積層方向から見た図である。
【００３３】
図３に示すように、コイル導体３１は、矩形状のスパイラル形状の一辺を構成する所定の方向に直線状に延びる第１の導体４１及び第１の導体４１と直交する方向に直線状に延びる第２の導体４３により形成されている。第１の導体４１は、複数の第１の導体部分４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅ，４１Ｆ，４１Ｇ，４１Ｈ（以後、第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈと示す）を有している。第２の導体４３は、複数の第２の導体部分４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｄ，４３Ｅ，４３Ｆ，４３Ｇ，４３Ｈ，４３Ｉ（以後、第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉと示す）を有している。
【００３４】
第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈは、後段にて詳述するスクリーン印刷においてスキージ５６の移動方向に延びる第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ（図６参照）に対応する導体部分である。第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉは、スキージ５６の移動方向と直交する方向に延びる第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉ（図６参照）に対応する導体部分である。なお、第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈおよび第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉにおける滲みの状態等から、スクリーン印刷時におけるスキージ５６の移動方向を特定することが可能である。
【００３５】
第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｄは、その幅Ｗ１〜Ｗ８が第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉにおける幅Ｗ１１〜Ｗ１９よりも広く設定されている。さらに、第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈは、スパイラル形状のコイル導体３１において外側部分に形成される第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈほど、その幅Ｗ１〜Ｗ８が広く設定されている。例えば、図３に示すように、スパイラル形状のコイル導体３１における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｄにおいては、その幅Ｗ１〜Ｗ４の比が１：２：３：４となっており、外側部分に形成されている第１の導体部分ほどその幅が広く設定されている。
【００３６】
同様に、スパイラル形状のコイル導体３１における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１の導体部分４１Ｅ〜４１Ｈにおいても、その幅Ｗ５〜Ｗ８の比が１：２：３：４となっており、外側部分に形成されている第１の導体部分ほどその幅が広く形成されている。
【００３７】
さらに、第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈは、スパイラル形状のコイル導体３１において外側部分に形成されている第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｈほど、隣り合う第１の導体部分同士の間隔Ｗ２１〜Ｗ２３が広く設定されている。例えば、図３に示すように、スパイラル形状のコイル導体３１における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１の導体部分４１Ａ〜４１Ｄにおいては、隣り合う第１の導体部分同士の間隔Ｗ２１〜Ｗ２３の比が２：３：４となっており、外側部分に形成されている隣り合う第１の導体部分同士の間隔ほど広く設定されている。
【００３８】
同様に、スパイラル形状のコイル導体３１における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１の導体部分４１Ｅ〜４１Ｈにおいても、隣り合う第１の導体部分同士の間隔Ｗ２４〜Ｗ２６の比が２：３：４となっており、外側部分に形成されている隣り合う第１の導体部分同士の間隔ほど広く設定されている。
【００３９】
一方、第２の導体部分４３Ａ〜４３Ｉは、どの位置に形成されていてもその幅Ｗ１１〜Ｗ１９は全て等しく形成されている。また、第２の導体部分４３Ａ〜４１Ｉは、隣り合う第２の導体部分同士の間隔が全て等しくなるように形成されている。
【００４０】
なお、コイル導体３４については、上述したコイル導体３１の構成と同じであるのでここではその詳細な説明を省略する。
【００４１】
続いて、本実施形態に係るインダクタ部品の製造工程を含む、積層型コモンモードフィルタ１の製造方法について詳細に説明する。
【００４２】
まず、非磁性シート２２，２６を構成する非磁性グリーンシートおよび磁性シート２１を構成する磁性グリーンシートをそれぞれ用意する。非磁性グリーンシートは、例えばＦｅ２Ｏ３とＺｎＯとＣｕＯとの混合粉を原料としたスラリーを、ドクターブレード法によってフィルム上に塗布して形成する。Ｆｅ２Ｏ３とＺｎＯとＣｕＯとの混合粉の代わりに、誘電体材料（ＴｉＯ２とＣｕＯとＮｉＯとＭｎＣＯとの混合粉等）や、酸化物セラミック材料（Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、フォルステライト、ステアタイト、コージライト等、またはこれらの混合粉）を用いてもよい。
【００４３】
また、磁性グリーンシートは、例えば、フェライト（例えば、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ−Ｍｇ系フェライト、Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、又は、Ｎｉ−Ｃｕ系フェライト等）粉末を原料としたスラリーを、ドクターブレード法によってフィルム上に塗布して形成する。
【００４４】
次に、所定の非磁性グリーンシートにおけるスルーホール導体の形成予定位置に、レーザ加工等によってスルーホールを形成する。スルーホールの形成後、非磁性グリーンシートに、コイル導体３１、引出導体３２、コイル導体３４および引出導体３３に対応する導体パターンを形成する。各導体パターンは、例えば、銀もしくはニッケルを主成分とする導電ペーストをスクリーン印刷した後、乾燥することによって形成される。各スルーホールには、各導体パターンの形成の際に導電ペーストが充填される。
【００４５】
以下、本実施形態に係るインダクタ部品を製造する製造方法に含まれる印刷工程について、図４（ａ）、図４（ｂ）、図５、図６を用いて詳述する。図４は、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法の工程に含まれる印刷工程を説明する図である。図５は、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法で用いられるスクリーン版が有するマスクの平面図である。また、図６は、本実施形態のインダクタ部品に係る製造方法において印刷される導体パターン示す平面図である。
【００４６】
印刷工程は、図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、スクリーン版５３及びスキージ５６を用いたスクリーン印刷によりグリーンシート５４に導電ペースト５５を印刷して、図５に示すような、互いに交差する方向に延びる第１のパターン６１と第２のパターン６３とを有するスパイラル形状の導体パターン６６を形成する。第１のパターン６１は、複数の第１のパターン部分６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄ，６１Ｅ，６１Ｆ，６１Ｇ，６１Ｈ（以後、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈと示す）を有している。第２のパターン６３は、第２のパターン部分６３Ａ，６３Ｂ，６３Ｃ，６３Ｄ，６３Ｅ，６３Ｆ，６３Ｇ，６３Ｈ，６３Ｉ（以後、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉと示す）を有している。
【００４７】
具体的には、まず、グリーンシート５４及びスクリーン版５３の準備をし、図４（ａ）、図５に示すように、グリーンシート５４上に導体パターン６６の形状に対応する開口５２ａが形成されたマスク５２とメッシュ５１とを有するスクリーン版５３を配置する。マスク５２は、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａと第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂとを有している。
【００４８】
スクリーン版５３は、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａが延びる方向とスキージ５６の移動方向とが一致するように配置される。そして、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａの幅を、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂの幅よりも広く設定する。
【００４９】
次に、図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、スクリーン版５３の表面に導電ペースト５５を載置する。次に、グリーンシート上５４に配置したスクリーン版５３にスキージ５６を押圧すると共に、第１開口５２ａａが延びる方向にスキージ５６を移動させることにより、開口５２ａを通して導電ペースト５５をグリーンシート５４に印刷する。
【００５０】
これにより、グリーンシート５４上には、図６に示すような、スキージ５６が移動する方向に延びる第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈが形成され、スキージ５６が移動する方向と直交する方向に延びる第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉが形成される。また、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈは、その幅Ｗ３１〜Ｗ３８が第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉにおける幅Ｗ４１〜Ｗ４９よりも広く形成される。
【００５１】
さらに、本実施形態では、図５に示すように、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａの幅を、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａほど、その幅Ｗ３１〜Ｗ３８が広くなるように設定する。例えば、図５に示すように、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する開口５２ａａにおいては、その幅Ｗ３１〜Ｗ３４の比を１：２：３：４に設定する。
【００５２】
さらに、本実施形態では、図５に示すように、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士の間隔に対応する隣り合う第１開口５２ａａ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５８ほど広くなるようにその間隔を設定する。例えば、図５に示すように、隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士の間隔に対応する隣り合う第１開口５２ａａ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５３においては、その間隔の比を２：３：４に設定する。
【００５３】
一方、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂの幅は全て等しく設定されている。また、隣り合う第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉ同士の間隔に対応する隣り合う第２開口５２ａｂ同士の間隔も全て等しく設定されている。
【００５４】
これにより、グリーンシート５４上には、図６に示すような、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈは、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈほど、その幅Ｗ３１〜Ｗ３８が広く形成される。例えば、図５に示すように、スパイラル形状の導体パターン６６における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｄにおいては、その幅Ｗ３１〜Ｗ３４の比が１：２：３：４となっており、外側部分に形成される第１のパターン部分ほどその幅が広く形成される。
【００５５】
また、隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５６は、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成されている隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５６ほど広く形成される。例えば、図５に示すように、スパイラル形状の導体パターン６６における内側部分から外側部分に向かって並んで形成された隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｄの間隔Ｗ５１〜Ｗ５３においては、その間隔の比が２：３：４となっており、外側部分に形成される隣り合う第１のパターン部分の間隔ほど広く形成される。
【００５６】
さらに、マスク５２は、図５に示すように、印刷方向に一致するように配置された開口５２ａ及び非開口部５２ｂの平面視における面積（例えば、図５に示すＡ１、Ａ２、Ａ３の領域）が、印刷方向に直交する方向に一致するように配置された開口５２ａ及び非開口部５２ｂの平面視における面積（例えば、図５に示すＢ１、Ｂ２の領域）よりも広くなるように形成されている。
【００５７】
以上に示した印刷工程によって導体パターンが形成された後、乾燥工程を経て各グリーンシートを順次積層して圧着し、チップ単位に切断する。その後、例えば８００℃〜９００℃の温度で所定時間の焼成を行い、素体２を得る。その後、素体２の端面２ａ，２ｂに外部電極３〜６を形成する。これにより、図１、図２に示した積層型コモンモードフィルタ１が完成する。
【００５８】
外部電極３〜６は、素体２の端面２ａ，２ｂに銀、ニッケルもしくは銅を主成分とする電極ペーストを転写した後、例えば７００℃程度にて焼き付けを行い、更に電気めっきを施すことによって形成される。電気めっきには、Ｃｕ／Ｎｉ／Ｓｎ、Ｎｉ／Ｓｎ、Ｎｉ／Ａｕ、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、又は、Ｎｉ／Ａｇ等を用いることができる。
【００５９】
以上に示したように、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法では、導体パターン６６の形状に対応する開口５２ａが形成されたマスク５２を有するスクリーン版５３を用いてスクリーン印刷を行い、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａの幅を、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂの幅よりも広く設定している。これにより、導体パターン６６が適切に印刷されない場合が多いスキージ５６が移動する方向に延びる第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈの幅Ｗ３１〜Ｗ３８が、スキージ５６が移動する方向と交差する方向に延びる第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉの幅Ｗ４１〜Ｗ４９よりも広く形成されるので、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈを形成する導電ペースト５５の量が増える。この結果、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈが断線した状態に印刷されることを回避して、適切な導体３１が形成された非磁性シート２２を安定的に供給することができる。
【００６０】
また、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第２開口５２ａａの幅を、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第２開口５２ａａほど広く設定している。これにより、導体パターン６６の外側部分に形成される第１のパターン部分を形成する導電ペースト５５の量が増えるので、導体パターン６６の外側部分におけるスクリーン版５３とグリーンシート５４との付着力が高まる。この結果、導体パターン６６の外側部分においてスクリーン版５３とグリーンシート５４とが離れやすくなる状態を回避でき、導体パターン６６の外側部分においても適切な第１のパターン部分を形成することができる。また、導体パターン６６の外側部分における第１のパターン部分を形成する導電ペースト５５の量が増えることにより、導体パターン６６の外側部分であってもグリーンシート５４上に適切な第１のパターン部分が形成されるようになり、焼成後においても、断線等のない適切な導体を形成することができる。
【００６１】
また、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法では、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する開口５２ａａ同士の隣り合う間隔を、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する開口５２ａａ同士の隣り合う間隔ほど広く設定している。これにより、隣り合う第１のパターン６１部分同士の距離が十分に確保されるため、導体パターン６６を形成した際に導電ペースト５５の滲みが発生した場合であっても、隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈ同士を短絡するといった不具合を回避することができる。なお、隣り合う第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈのうち外側部分の第１のパターン部分に対応する開口５２ａａの幅に合わせてその間隔を設定してもよい。これにより、導体ペーストの滲み量を考慮した間隔とすることができるので上述した効果がより大きくなる。
【００６２】
また、本実施形態に係るインダクタ部品の製造方法では、マスク５２は、スキージ５６が移動する方向に合わせて配置された開口５２ａａ及び非開口５２ｂａの平面視における面積が、スキージ５６が移動する方向と直交する方向に合わせて配置された開口５２ａｂ及び非開口５２ｂｂの平面視における面積よりも広く形成されている。このような形状のマスク５２を有するスクリーン版５３を用いることにより、スクリーン印刷をする際のスキージ５６の移動に対する抵抗が緩和されると共に、スキージ５６が移動方向に対して円滑にガイドされる。
【００６３】
以上、本発明を上記実施形態に基づいて詳細に説明した。しかし、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で以下のような様々な変形が可能である。
【００６４】
上記実施形態では、スパイラル形状の導体パターン６６において外側部分に形成される第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａほど、その幅Ｗ３１〜Ｗ３８が広くなるように設定したが、これに限定されるものではない。第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈに対応する第１開口５２ａａの幅を、第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉに対応する第２開口５２ａｂの幅よりも広く設定さえすれば、第１開口５２ａａは、その幅が全て等しくなるように設定してもよい。
【００６５】
また、第１開口５２ａａは、図５に示すその幅Ｗ３１〜Ｗ３４の比を、例えば１：２：２：３と設定してもよく、第１開口５２ａａは、導体パターン６６に対応した開口パターンの内側部分よりも外側部分の第１開口５２ａａの幅が狭くならない範囲で設定してもよい。この点については、第１開口５２ａａ同士の間隔Ｗ５１〜Ｗ５６の設定についても同様である。
【００６６】
上記実施形態では、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈと第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉとから成るスパイラル形状の導体パターン６６を形成する例を挙げて説明したがこれに限定されるものではなく、例えば、第１のパターン部分６１Ａ〜６１Ｈと第２のパターン部分６３Ａ〜６３Ｉとが、１／４円弧状のパターン部分や面取り状のパターン部分を介して繋がった導体パターンを形成してもよい。
【００６７】
また、上記実施形態では、本発明に係るインダクタ部品の製造方法を、積層型コモンモードフィルタ１の製造方法に適用した例を用いて説明したがこれに限定されるものではなく、例えば、積層インダクタ、積層チップビーズ、インダクタ部品を含む積層型複合部品の製造方法に適用することも可能である。
【００６８】
また、上記実施形態では、本発明に係るインダクタ部品を、積層型コモンモードフィルタ１に適用した例を用いて説明したがこれに限定されるものではなく、積層インダクタ、積層チップビーズ、インダクタ部品を含む積層型複合部品に適用することも可能である。
【符号の説明】
【００６９】
１…積層型コモンモードフィルタ、２…素体、２１…磁性シート、２２，２３，２５，２６…非磁性シート、３１，３４…コイル導体、４１…第１の導体、４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅ，４１Ｆ，４１Ｇ，４１Ｈ…第１の導体部分、４３…第２の導体、４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｄ，４３Ｅ，４３Ｆ，４３Ｇ，４３Ｈ，４３Ｉ…第２の導体部分、５１…メッシュ、５２…マスク、５２ａ…開口、５２ａａ…第１開口、５２ａｂ…第２開口、５２ｂ…非開口、５２ｂａ…第１非開口、５２ｂｂ…第２非開口、５３…スクリーン版、５４…グリーンシート、５５…導電ペースト、５６…スキージ、６１…第１のパターン、６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄ，６１Ｅ，６１Ｆ，６１Ｇ，６１Ｈ…第１のパターン部分、６３…第２のパターン、６３Ａ，６３Ｂ，６３Ｃ，６３Ｄ，６３Ｅ，６３Ｆ，６３Ｇ，６３Ｈ，６３Ｉ…第２のパターン部分、６６…導体パターン。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン版及びスキージを用いたスクリーン印刷によりグリーンシートに導電ペーストを印刷して、互いに交差する方向に延びる第１及び第２のパターン部分を有するスパイラル形状の導体パターンを形成する工程を備えるインダクタ部品の製造方法であって、
前記スクリーン版として、前記導体パターンの形状に対応する開口が形成されたマスクを有するスクリーン版を用い、
前記導体パターンを形成する前記工程では、前記グリーンシート上に配置した前記スクリーン版に前記スキージを押圧すると共に、前記第１のパターン部分が延びる方向に前記スキージを移動させることにより、前記開口を通して前記導電ペーストを前記グリーンシートに印刷しており、
前記第１のパターン部分に対応する前記開口の幅を、前記第２のパターン部分に対応する前記開口の幅よりも広く設定したことを特徴とするインダクタ部品の製造方法。
【請求項２】
前記第１のパターン部分に対応する前記開口の幅を、前記スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される前記第１のパターン部分に対応する前記開口の幅ほど広く設定したことを特徴とする請求項１に記載のインダクタ部品の製造方法。
【請求項３】
前記第１のパターン部分に対応する隣り合う前記開口同士の間隔を、前記スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される前記第１のパターン部分に対応する隣り合う前記開口同士の間隔ほど広く設定したことを特徴とする請求項２に記載のインダクタ部品の製造方法。
【請求項４】
前記マスクは、前記スキージが移動する方向に延びる前記開口及び非開口の平面視における面積が、前記スキージが移動する方向と交差する方向に延びる前記開口及び非開口の平面視における面積よりも広く形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインダクタ部品の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のインダクタ部品の製造方法によって製造されるインダクタ部品。
【請求項６】
スクリーン版とスキージとを用いたスクリーン印刷により形成された、前記スキージの移動方向に延びる第１のパターン部分と該第１のパターン部分に交差する方向に延びる第２のパターン部分とを有するスパイラル形状の導体パターンを焼成して得られた導体を備えるインダクタ部品であって、
前記導体は、前記第１のパターン部分に対応する第１の導体部分と、前記第２のパターン部分に対応する第２の導体部分と、を有しており、
前記第１の導体部分の幅は、前記第２の導体部分の幅よりも広く設定されていることを特徴とするインダクタ部品。
【請求項７】
前記第１の導体部分の幅は、前記スパイラル形状の導体における外側部分に形成される第１の導体部分ほど広く設定されていることを特徴とする請求項６に記載のインダクタ部品。
【請求項１】
スクリーン版及びスキージを用いたスクリーン印刷によりグリーンシートに導電ペーストを印刷して、互いに交差する方向に延びる第１及び第２のパターン部分を有するスパイラル形状の導体パターンを形成する工程を備えるインダクタ部品の製造方法であって、
前記スクリーン版として、前記導体パターンの形状に対応する開口が形成されたマスクを有するスクリーン版を用い、
前記導体パターンを形成する前記工程では、前記グリーンシート上に配置した前記スクリーン版に前記スキージを押圧すると共に、前記第１のパターン部分が延びる方向に前記スキージを移動させることにより、前記開口を通して前記導電ペーストを前記グリーンシートに印刷しており、
前記第１のパターン部分に対応する前記開口の幅を、前記第２のパターン部分に対応する前記開口の幅よりも広く設定したことを特徴とするインダクタ部品の製造方法。
【請求項２】
前記第１のパターン部分に対応する前記開口の幅を、前記スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される前記第１のパターン部分に対応する前記開口の幅ほど広く設定したことを特徴とする請求項１に記載のインダクタ部品の製造方法。
【請求項３】
前記第１のパターン部分に対応する隣り合う前記開口同士の間隔を、前記スパイラル形状の導体パターンにおいて外側部分に形成される前記第１のパターン部分に対応する隣り合う前記開口同士の間隔ほど広く設定したことを特徴とする請求項２に記載のインダクタ部品の製造方法。
【請求項４】
前記マスクは、前記スキージが移動する方向に延びる前記開口及び非開口の平面視における面積が、前記スキージが移動する方向と交差する方向に延びる前記開口及び非開口の平面視における面積よりも広く形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインダクタ部品の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のインダクタ部品の製造方法によって製造されるインダクタ部品。
【請求項６】
スクリーン版とスキージとを用いたスクリーン印刷により形成された、前記スキージの移動方向に延びる第１のパターン部分と該第１のパターン部分に交差する方向に延びる第２のパターン部分とを有するスパイラル形状の導体パターンを焼成して得られた導体を備えるインダクタ部品であって、
前記導体は、前記第１のパターン部分に対応する第１の導体部分と、前記第２のパターン部分に対応する第２の導体部分と、を有しており、
前記第１の導体部分の幅は、前記第２の導体部分の幅よりも広く設定されていることを特徴とするインダクタ部品。
【請求項７】
前記第１の導体部分の幅は、前記スパイラル形状の導体における外側部分に形成される第１の導体部分ほど広く設定されていることを特徴とする請求項６に記載のインダクタ部品。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１１−１０３３４３（Ｐ２０１１−１０３３４３Ａ）
【公開日】平成２３年５月２６日（２０１１．５．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２５７２４３（Ｐ２００９−２５７２４３）
【出願日】平成２１年１１月１０日（２００９．１１．１０）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年５月２６日（２０１１．５．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１１月１０日（２００９．１１．１０）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
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