エアオペレイトバルブ
【課題】安価なエアオペレイトバルブを提供すること。
【解決手段】操作エアを利用してピストン２３，２４をシリンダ内で摺動させることにより弁部２を駆動させるエアオペレイトバルブ１において、パイプ状の外装部材２１と、外装部材２１の一方開口部に取り付けられる第１閉鎖プレート２６Ａと、外装部材２１の他方開口部に取り付けられる第２閉鎖プレート２５とでシリンダを構成する。外装部材２１は、第１，第２閉鎖プレート２６Ａ，２５にかしめ等により取り付けることが望ましい。
【解決手段】操作エアを利用してピストン２３，２４をシリンダ内で摺動させることにより弁部２を駆動させるエアオペレイトバルブ１において、パイプ状の外装部材２１と、外装部材２１の一方開口部に取り付けられる第１閉鎖プレート２６Ａと、外装部材２１の他方開口部に取り付けられる第２閉鎖プレート２５とでシリンダを構成する。外装部材２１は、第１，第２閉鎖プレート２６Ａ，２５にかしめ等により取り付けることが望ましい。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、操作エアを利用してピストンをシリンダ内で摺動させることにより弁部を駆動させるエアオペレイトバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
操作エアを利用してピストンをシリンダ内で摺動させることにより弁部を駆動させるエアオペレイトバルブとしては、例えば図２７に示すエアオペレイトバルブ１１００がある。
【０００３】
エアオペレイトバルブ１１００は、ボディ１１０１にアクチュエータ部１１１０を取り付け、更に、アクチュエータ部１１１０を強制的に駆動させる手動機構１１２０をアクチュエータ部１１１０に取り付けて外観を構成している。
【０００４】
ボディ１１０１は、一次側流路１１０２と二次側流路１１０３との間に弁座１１０４が設けられている。ダイアフラム１１０５は、ボディ１１０１にホルダ１１０６を介してアダプタ１１０７をねじ込むことにより、ボディ１１０１とホルダ１１０６との間に外縁部を狭持されている。ステム１１０８はホルダ１１０６に摺動自在に装填され、ダイアフラム１１０５の背圧面に接触している。アクチュエータ部１１１０は、センターロッド１１１８をステム１１０８に突き当てるようにアダプタ１１０７にねじ込まれ、ボディ１１０１に取り付けられる。
【０００５】
アクチュエータ部１１１０は、操作エアの耐圧性を確保するために、Ｏリング以外の構成部品がステンレスなどの剛性を有する金属で形成されている。アクチュエータ部１１１０は、中空状のベース１１１１とキャップ１１１２を螺合接続してシリンダを構成する。ベース１１１１とキャップ１１１２は、仕切板１１１３を挟みこんで保持し、仕切板１１１３で仕切られた第１ピストン室１１１４と第２ピストン室１１１５を形成する。第１ピストン室１１１４と第２ピストン室１１１５は、第１ピストン１１１６と第２ピストン１１１７が摺動可能に装填され、加圧室１１１４ａ，１１１５ａと背圧室１１１４ｂ，１１１５ｂに気密に区画される。
【０００６】
センターロッド１１１８は、第１ピストン１１１６から仕切板１１１３を介して第２ピストン１１１７へと貫き通され、第１，第２ピストン１１１６，１１１７に固定されている。第１ピストン室１１１４の背圧室１１１４ｂには圧縮バネ１１１９が縮設され、圧縮バネ１１１９の弾性力が第１ピストン１１１６とセンターロッド１１１８を介してステム１１０８に作用し、ダイアフラム１１０５を弁座１１０４に当接させる。
【０００７】
センターロッド１１１８には、上端面から中央付近まで軸線に沿って主流路１１１８ａが穿設され、主流路１１１８ａに直交するように分岐流路１１１８ｂ，１１１８ｃが形成されている。分岐流路１１１８ｂ，１１１８ｃは、加圧室１１１４ａ，１１１５ａに連通するように形成されている。センターロッド１１１８は、上端部がキャップ１１１２に形成した給排気流路１１１２ｂ内に位置し、流路１１１８ａ，１１１８ｂ，１１１８ｃを経由して加圧室１１１４ａ，１１１５ａに操作エアを供給し、又は、加圧室１１１４ａ，１１１５ａから操作エアを排出するようになっている。一方、キャップ１１１２には、背圧室１１１４ｂに連通するように第１呼吸孔１１１２ａが形成されている。また、ベース１１１１には、背圧室１１１５ｂに連通するように第２呼吸孔１１１１ａが形成されている。従って、アクチュエータ部１１１０は、圧縮バネ１１１９の弾性力と、加圧室１１１４ａ，１１１５ａに作用する操作エアの圧力とのバランスに応じてセンターロッド１１１８が図中上下方向に移動する。
【０００８】
このような構成を有するエアオペレイトバルブ１１００は、操作エアを給排気流路１１１２ｂに供給しないときには、圧縮バネ１１１９の弾性力が第１ピストン１１１６、センターロッド１１１８、ステム１１０８を介してダイアフラム１１０５に作用し、ダイアフラム１１０５を弁座１１０４に当接させる。この場合、一次側流路１１０２に供給された制御流体が遮断され、弁座１１０４から二次側流路１１０３へ流れない。
【０００９】
一方、操作エアを給排気流路１１１２ｂに供給し、加圧室１１１４ａ，１１１５ａの内圧が圧縮バネ１１１９の弾性力に打ち勝った場合には、センターロッド１１１８が図中上向きに上昇してステム１１０８から離間する。ダイアフラム１１０５は、弁座方向に加圧されなくなり、自身の反力により弁座１１０４から離れる。この状態で、一次側流路１１０２に制御流体を供給すると、制御流体が一次側流路１１０２から弁座１１０４を介して二次側流路１１０３へ流れる。
【００１０】
その後、加圧室１１１４ａ，１１１５ａの操作エアを給排気流路１１１２ｂから排出すると、圧縮バネ１１１９の弾性力が加圧室１１１４ａ，１１１５ａの内圧に打ち勝ち、センターロッド１１１８が下降する。センターロッド１１１８は、ステム１１０８を介してダイアフラム１１０５を弁座方向に加圧し、ダイアフラム１１０５を弁座１１０４に当接させる。これにより、流路が遮断され、一次側流路１１０２に供給された制御流体が弁座１１０４から二次側流路１１０３へ流れなくなる。
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−２１４２３１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、従来のエアオペレイトバルブ１１００は、剛性の高い金属からなるベース１１１１とキャップ１１１２とのネジを嵌め合わせてシリンダを構成しており、第１，第２ピストン室１１１４，１１１５を形成するために、ベース１１１１とキャップ１１１２をコップ形状に削り出して設けていた。そのため、従来のエアオペレイトバルブ１１００は、シリンダを構成するベース１１１１とキャップ１１１２の切削加工数が多く、切削で削られる無駄な部分が多かった。よって、従来のエアオペレイトバルブ１１００は、加工費や材料費がかかり、コスト高であった。
【００１３】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、安価なエアオペレイトバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係るエアオペレイトバルブは、次のような構成を有している。
（１）操作エアを利用してピストンをシリンダ内で摺動させることにより弁部を駆動させるエアオペレイトバルブにおいて、前記シリンダは、パイプ状の外装部材と、前記外装部材の一方開口部に取り付けられる第１閉鎖プレートと、前記外装部材の他方開口部に取り付けられる第２閉鎖プレートとを有する。
【００１５】
（２）（１）に記載の発明において、前記第１閉鎖プレートと２閉鎖プレートを、かしめ又は溶接、圧入、接着、係止構造の少なくとも一つによって前記外装部材に取り付ける。
【００１６】
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、前記シリンダは、前記ピストンを収納するためのピストン室を形成する内装部材を前記外装部材の中空部に配置して、シリンダ壁を２重構造にしている。
【００１７】
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明において、前記第１閉鎖プレートに、操作ポート又は継手、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータの少なくとも一つを設けている。
【００１８】
（５）（４）に記載の発明において、前記第１閉鎖プレートを前記外装部材に回転可能に取り付ける。
【００１９】
（６）（５）に記載の発明において、前記第１閉鎖プレートを、前記外装部材の他方開口部に取り付けられる第１プレートと、前記給気ポート又は前記取付部の少なくとも一方を有し、前記第１プレートに着脱自在に取り付けられる第２プレートと、に分割している。
【発明の効果】
【００２０】
上記（１）に記載の発明は、パイプ状の外装部材の両端開口部に板状の第１，第２閉鎖プレートを取り付けることによりシリンダを構成するので、外装部材や第１，第２閉鎖プレートをコップ状に成形する切削加工が不要であり、切削で削られる無駄な部分が外装部材や第１，第２閉鎖プレートにない。よって、上記（１）に記載の発明によれば、加工費や材料費を削減してコストダウンを図ることができる。
尚、外装部材は、両端部が開口するパイプ状であれば、円筒に限らず、多角形状等であってもよい。外装部材は、例えば金属を材質とすれば、引抜加工や押出加工によって簡単に成形すると良い。一方、第１，第２閉鎖プレートは、外装部材の開口部に取り付けられれば、円板形状に限らず、多角形状の板であってもよい。第１，第２閉鎖プレートは、例えば金属を材質とすれば、簡単な形状であるので打抜加工・切削加工・ダイカスト等で簡単に成形してもよい。
【００２１】
上記（２）に記載の発明によれば、かしめ又は溶接、圧入、接着、係止構造の少なくとも一つによって第１，第２閉鎖プレートを外装部材の両端開口部に取り付けるので、シリンダを簡単に組み立てることができる。
尚、第１，第２閉鎖プレートは、かしめ又は溶接、圧入、接着、係止構造の何れか一つのみでなく、例えば、第１，第２閉鎖プレートを外装部材の開口部に圧入して、接触面に接着剤を塗布するなどして、２以上の方法を組み合わせて第１，第２閉鎖プレートを外装部材に取り付けてもよい。
また、係止構造とは、例えば、外装部材の内周面に形成した雌ネジと第１，第２閉鎖プレートの外周面に形成した雄ネジとを螺合して係止させるネジ構造の他、第１，第２閉鎖プレートの外周面に爪を設け、その爪を外装部材の内周面に形成した溝に係合させて係止する凹凸構造などであってもよい。
【００２２】
上記（３）に記載の発明によれば、外装部材の中空部に内装部材を配置してシリンダの壁を２重構造にしたので、外装部材の肉厚を薄くしてバルブ全体の軽量化を図ることができる。
この場合、例えば、内装部材を樹脂成形品として、内装部材の剛性を外装部材で補完するようにすれば、バルブの軽量化及び小型化を図ることができる。そして、内装部材が、一方に開口する筒状の内装部品を組み合わせてピストン室を構成するものであれば、内装部品を射出成形等で簡単に製造してコストダウンを図ることができる。
【００２３】
上記（４）に記載の発明は、操作ポート又は継手、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータの少なくとも一つを設けた第１閉鎖プレートを変更するだけで、第１閉鎖プレートを除く部品（外装部材や第２閉鎖プレート等）を共用して機能変更することができ、コストダウンを図ることができる。
この場合、例えば、操作ポートと並べて弁開閉検知センサ又は弁開度調整機構、インジケータを第１閉鎖プレートに設ければ、操作ポートに配管を接続する作業や弁開閉検知センサや弁開度調整機構、インジケータの操作を一方向から行いやすい。
また、例えば、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータを共通して取り付けることが可能な取付部を第１閉鎖プレートに設ければ、第１閉鎖プレートを外装部材から取り外さずに、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータを交換して機能変更することができる。
【００２４】
上記（５）に記載の発明によれば、第１閉鎖プレートが外装部材に対して回転可能に取り付けられているので、第１閉鎖プレートを回転させて操作ポート等の位置を簡単に調整できる。
尚、この場合、第１閉鎖プレートと外装部材との摺接部に摩擦を生じる摩擦部材を配置すれば、第１閉鎖プレートを回転させるときに適度な操作感を与えることができる。
【００２５】
上記（６）に記載の発明によれば、第１閉鎖プレートを、外装部材の他方開口部に取り付けられる第１プレートと、給気ポート又は取付部の少なくとも一方を有し、第１プレートに着脱自在に取り付けられる第２プレートとに分割したので、バルブ組立後であっても第２プレートを交換すれば、機能変更することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、本発明に係るエアオペレイトバルブの一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２７】
（第１実施形態）
先ず、本発明のエアオペレイトバルブの第１実施形態を説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るエアオペレイトバルブ１Ａの断面図である。図２は、図１に示すエアオペレイトバルブ１Ａの上面図である。
第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、シリンダが、パイプ状の外装部材２１と、外装部材２１の一方の開口部に取り付けられる「第１閉鎖プレート」の一例であるキャップ２６Ａと、外装部材２１の他方の開口部に取り付けられる「第２閉鎖プレート」の一例であるベース２５とを有する点に特徴を有する。また、エアオペレイトバルブ１Ａは、キャップ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃの種類を変えることにより他の部品を共通して使用したまま機能を変更できる点に特徴を有する。
【００２８】
＜全体構成＞
図１に示すように、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、制御流体を制御する弁部２と、弁部２に駆動力を与えるアクチュエータ部３Ａとを備える。エアオペレイトバルブ１Ａは、アクチュエータ部３Ａをアダプタ１１を介してボディ４に連結することにより、円柱状の外観を構成する。
【００２９】
弁部２は、ボディ４に内蔵されている。ボディ４は、ステンレスやアルミなど、剛性と耐熱性のある金属材料を円柱状に形成したものである。ボディ４の下側面には、一次側ポート５と二次側ポート６が設けられている。一方、ボディ４の上側面には、取付孔７が円柱状に開設されている。取付孔７の底壁中央部には、弁座８が環状に設けられ、その弁座８を介して一次側ポート５と二次側ポート６とが連通している。
【００３０】
弁部２は、ボディ４の取付孔７にダイアフラム９を装着し、ダイアフラム９の外縁部をホルダ１０で押さえ、取付孔７の内周面とホルダ１０の外周面との間に挿入したアダプタ１１をボディ４にねじ込むことにより、ダイアフラム９の外縁部をボディ４とホルダ１０との間で狭持している。ダイアフラム９は、樹脂や金属などを薄い膜状に形成し、変形可能にしたものである。そして、ホルダ１０とアダプタ１１は、耐熱性や剛性を有する金属を材質としている。ホルダ１０には、ダイアフラム９に接触するように金属製のステム１３が装填され、ステム１３を介してダイアフラム９にアクチュエータ部３Ａの駆動力を伝達するようになっている。
【００３１】
アクチュエータ部３Ａは、図１及び図２に示すように外観が円柱形状をなす。図１に示すように、アクチュエータ部３Ａは、ノーマルクローズタイプのエアシリンダ構造を有する。アクチュエータ部３Ａは、ピストン２３，２４を収納するシリンダを、複数の部品、具体的には外装部材２１と内装部品２２とベース２５とキャップ２６Ａとに分割して構成する。
【００３２】
図１に示すように、アクチュエータ部３Ａは、パイプ状の外装部材２１に内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４を交互に装填し、外装部材２１の両端開口部にベース２５とキャップ２６Ａを取り付け、シリンダ壁を２重構造にしている。内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、外装部材２１の内部において重ね合わされた状態で固定され、第１ピストン室２７と第２ピストン室２８を形成する。ピストン２３，２４は、第１，第２ピストン室２７，２８に摺動可能に装填され、第１，第２ピストン室２７，２８を加圧室２７ａ，２８ａと背圧室２７ｂ，２８ｂとにそれぞれ区画している。第２ピストン室２８の背圧室２８ｂには、圧縮バネ２９が縮設され、ピストン２３，２４に図中下方向（弁座方向）の力を常時付与している。
【００３３】
このように、アクチュエータ部３Ａは、個別に設けられた外装部材２１、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ、ピストン２３，２４、ベース２５、キャップ２６Ａを組み合わせてシリンダを構成する。そして、アクチュエータ部３Ａは、アダプタ１１を介してボディ４に固定される。そのため、部品の寸法や組立のばらつきによっては、ピストン２３，２４が弁座８に対して同軸上に配置されないことがある。しかし、ピストン２３，２４は、円柱状のステム１３を介してダイアフラム９に駆動力を伝達する。そのため、ピストン２３がステム１３に当接する位置が軸線から若干ずれた場合でも、ステム１３がダイアフラム９に面接触して駆動力を分散して伝達するため、ダイアフラム９を弁座８に対して円周方向に均一な力で密接させることができる。
【００３４】
尚、アクチュエータ部３Ａは、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃによって、ピストン２３，２４が摺動する第１，第２ピストン室２７，２８を形成するので、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃによって「内装部材」が構成される。
【００３５】
上記エアオペレイトバルブ１Ａは、キャップ２６Ａに上端面中央部に設けられた操作ポート８５を介して操作エアを給排気される。操作ポート８５は、ピストン２３，２４に形成した内部流路（後述）を介して第１，第２ピストン室２７，２８の加圧室２７ａ，２８ａに連通する。また、エアオペレイトバルブ１Ａは、外装部材２１と内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとの間に、第１，第２ピストン室２７，２８の背圧室２７ｂ，２８ｂをアダプタ１１に形成した呼吸孔１２に連通させるための導通流路３１が複数形成されている。従って、エアオペレイトバルブ１Ａは、圧縮バネ２９の弾性力（反発力）と、加圧室２７ａ，２８ａの内圧とのバランスに応じて、ピストン２３，２４が軸線方向に移動し、弁部２に駆動力を伝えることができる。
【００３６】
次に、エアオペレイトバルブ１Ａのシリンダを構成する部品について説明する。
【００３７】
＜ピストンの構成＞
図３は、図１に示す第１ピストン２３と第２ピストン２４の中央縦断面図である。
ピストン２３，２４は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリレン）など、耐熱性があって軽量な樹脂を射出成形した樹脂成形品である。
【００３８】
ピストン２３は、ピストン部４１にピストンロッド４２とピストンロッド４３を一体成形したものである。ピストン部４１は、円柱状をなし、外径寸法が内装部品２２の内径寸法とほぼ同径にされている。ピストン部４１には、ゴムや樹脂などの弾性材料で設けられたＯリングなどのシール部材３３（図１参照）を装着するための装着溝４４が外周面に沿って環状に設けられている。また、ピストンロッド４２，４３にも、ゴムや樹脂などの弾性材料で設けられたＯリングなどのシール部材３２，３４（図１参照）を装着するための装着溝４５，４６が外周面に沿って環状に設けられている。
【００３９】
図１及び図３に示すように、ピストン２３には、主流路４７と分岐流路４８をＴ字状に形成した内部流路が設けられている。主流路４７は、ピストンロッド４３の端面中央部から軸線に沿って分岐流路４８まで形成されている。分岐流路４８は、加圧室２７ａに対応し、ピストンロッド４２の装着溝４５と、ピストンロッド４２がピストン部４１に接続する基端部との間に設けられている。分岐流路４８は、ピストンロッド４２の径方向に貫通して形成されている。分岐流路４８は、断面が横幅の広い矩形状をなす。
【００４０】
一方、ピストン２４は、ピストン部５１にピストンロッド５２を一体成形したものである。ピストン部５１は、円柱状をなし、外径寸法が内装部品２２の内径寸法とほぼ同径にされている。ピストン部５１には、ゴムや樹脂などの弾性材料で設けられたＯリングなどのシール部材３５（図１参照）を装着するための装着溝５３が外周面に沿って環状に設けられている。また、ピストンロッド５２にも、ゴムや樹脂などの弾性材料で設けられたＯリングなどのシール部材３６（図１参照）を装着するための装着溝５４が外周面に沿って環状に設けられている。
【００４１】
図１及び図３に示すように、ピストン２４には、主流路５５と分岐流路５６をＴ字状に形成した内部流路が設けられている。主流路５５は、ピストン部５１の端面中央部から軸線に沿って分岐流路５６まで形成されている。分岐流路５６は、キャップ２６Ａの挿入孔８１に対応し、ピストンロッド５２の装着溝５３より先端側に設けられている。分岐流路５６は、ピストンロッド５２の径方向に貫通して形成されている。分岐流路５６は、断面が横幅の広い矩形状をなす。
【００４２】
ピストン２４は、主流路５５の開口部に、嵌合凹部５７が主流路５５と同心円状に設けられている。嵌合凹部５７の底壁には、連通路５８が帯状に形成され、主流路５５を流れる操作エアの一部を連通路５８を介して嵌合凹部５７へ導いている。
尚、ピストン２４は、ピストンロッド５２の基端部が拡径されてガイド部５９を備える。ガイド部５９は、圧縮バネ２９に挿入され、圧縮バネ２９を軸線方向に安定して伸縮させるために設けられている。
【００４３】
このようなピストン２３，２４は、ピストン２３のピストンロッド４３をピストン２４の嵌合凹部５７に嵌合し、端面を当接させることにより、ピストン２４の主流路５５とピストン２３の主流路４７とが連通する。
【００４４】
＜内装部品の構成＞
図１に示す内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、ＰＰＳ、ＰＢＴ、ＰＯＭ、ＰＡ、ＰＶＤＦなど、耐熱性と剛性を有する樹脂を射出成形した樹脂成形品である。内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、同一形状をなすので、ここでは、説明の便宜上、内装部品２２Ｂについて説明し、内装部品２２Ａ，２２Ｃの説明を省略する。
【００４５】
図１に示すように、内装部品２２Ｂは、袋状をなす。内装部品２２Ｂは、側面が円筒形状に形成され、側面の一端開口部を塞ぐように閉塞端面が設けられている。内装部品２２Ｂは、外径寸法が外装部材２１の内径寸法とほぼ同径にされ、側面の内径寸法がピストン部５１に対応している。内装部品２２Ｂの側面は、内装部品２２Ｂを外装部材２１に装填したときに外装部材２１の内周面に当接して支持されるため、肉厚が薄くされている。これに対して、内装部品２２Ｂの閉塞端面は、内装部品２２Ｂを外装部材２１に装填したときに外装部材２１の中空部を仕切って第１，第２ピストン室２７，２８を形成する仕切板となるため、操作エアに対する耐圧性を確保するように肉厚にされている。
【００４６】
図４は、図１に示す内装部品２２Ｂの外観斜視図である。
内装部品２２Ｂは、閉塞端面の中央部にピストン２３のピストンロッド４３を貫き通すための貫通孔６１が設けられている。閉塞端面の外面には、貫通孔６１と同心円状に環状溝６２が形成されている。そして、閉塞端面の外面には、貫通孔６１と環状溝６２との間から外径方向に長く、案内溝６３が複数形成されている。そして、内装部品２２Ｂの外周面には、Ｄカット通路６４が案内溝６３から連続するように軸線と平行に形成されている。内装部品２２Ｂは、側面の開口端部にＤカット通路６４と連続するように、切欠部６５が形成されている。
【００４７】
＜外装部材、ベース、キャップの構成＞
図１に示すように、外装部材２１の両端部をキャップ２６Ａとベース２５にかしめ固定し、シリンダの外観を構成する。外装部材２１とベース２５とキャップ２６Ａは、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの周りを囲んで内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの強度を補完する。
【００４８】
図５は、図１に示すキャップ２６Ａとベース２５と外装部材２１との関係を示す断面図である。
外装部材２１は、両端が開放した円筒形状をなす。外装部材２１は、ステンレスなどの剛性を有する金属を、引抜加工又は押出加工により肉薄なパイプ状に成形し、その引抜管又は押出管を所定の長さにカットしたものである。外装部材２１の全長は、内装部品２２を重ね合わせ、ピストン室をいくつ設けるかによって決定される。また、外装部材２１の肉厚は、操作エアに対する耐圧性を考慮して決定される。第１実施形態では０．５ｍｍにしている。
【００４９】
ベース２５とキャップ２６Ａは、圧縮バネ２９の弾性力に抗して内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを重ね合わせて外装部材２１に収納するように、外装部材２１の両端部を塞ぎ、外装部材２１の内部に空間（隙間）を形成する。また、キャップ２６Ａとベース２５は、内装部品２２Ａ，２２Ｃの閉塞端面に当接し、内装部品２２Ａ，２２Ｃを支持する。そのため、ベース及びキャップ２６Ａは、ステンレスやアルミなど、剛性を有する金属を材質とする円板形状をなす。
【００５０】
ベース２５は、最外径寸法が外装部材２１の外径寸法と同径か、より大きい円柱状をなし、中央部に連結孔７１が貫通して設けられている。連結孔７１の内周面には、アダプタ１１の外周面に設けられた雄ネジをねじ込むための雌ネジが形成されている。ベース２５の一端面には、連結孔７１と同軸上に、内装部品２２Ａを位置決めするための位置決め凹部７２が設けられている。そして、位置決め凹部７２を形成された端面の外周には、外装部材２１の開放端部を圧入するために、圧入代を有する圧入部７３が設けられている。さらに、ベース２５の外周面には、圧入部７３より内側に、外装部材２１の端部をかしめて内向きに変形させるためのかしめ溝７４が環状に形成されている。
【００５１】
キャップ２６Ａは、最外径寸法が外装部材２１の外径寸法と同径か、より大きい円柱状をなす。キャップ２６Ａは、挿入孔８１が一端面中央部に円柱状に開設されている。挿入孔８１は、ピストン２４のピストンロッド５２が非接触で挿入できるように形成されている。キャップ２６Ａの一端面には、ゴムや樹脂などの弾性材料からなるＯリングなどのシール部材３７（図１参照）を装着するための装着溝８２が、挿入孔８１の周りに環状に設けられている。装着溝８２は、内装部品２２Ｃの環状溝６２に対応する。キャップ２６Ａの一端面外周には、外装部材２１の開放端部を圧入するために、圧入代を有する圧入部８３が設けられている。そして、キャップ２６Ａの外周面には、圧入部８３より内側に、外装部材２１の端部をかしめて内向きに変形させるためのかしめ溝８４が環状に形成されている。このようなキャップ２６Ａは、他端面中央部から挿入孔８１に連通するように操作ポート８５が設けられている。
【００５２】
＜エアオペレイトバルブの組立方法＞
次に、上記構成要素を備えるエアオペレイトバルブ１Ａの組立方法について一例を説明する。
先ず、ボディ４の取付孔７に弁座８を固定し、取付孔７にダイアフラム９をセットする。そして、ダイアフラム９の外縁部を押さえるようにホルダ１０をボディ４の取付孔７に挿入し、ホルダ１０にステム１３を嵌め込んだ後、アダプタ１１をボディ４にねじ込んで固定する。これにより弁部２が組み立てられる。
【００５３】
そして、アクチュエータ部３Ａを組み立てる。ピストン２３，２４の装着溝４４，４５，４６，５３，５４に、シール部材３２，３３，３４，３５，３６を装着する。そして、外装部材２１の一端開口部にベース２５の圧入部７３を圧入する。そして、内装部品２２Ａ、ピストン２３、内装部品２２Ｂ、ピストン２４、圧縮バネ２９、内装部品２２Ｃを外装部材２１に装填する。そして、内装部品２２Ｃの環状溝６２とキャップ２６Ａの装着溝８２との間でシール部材３７を押し潰すように、外装部材２１の他端開口部にキャップ２６Ａの圧入部８３を圧入する。この段階で、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４と圧縮バネ２９とが外装部材２１内に仮保持される。それから、外装部材２１の両端部を、ベース２５とキャップ２６Ａのかしめ溝７４，８４に沿ってかしめて固定する。
【００５４】
その後、アクチュエータ部３Ａを弁部２に連結する。すなわち、ボディ４に螺設したアダプタ１１をベース２５の連結孔７１にねじ込む。このとき、ピストン２３のピストンロッド４２がステム１３に突き当たり、ピストン２３，２４に作用する圧縮バネ２９の弾性力をステム１３を介してダイアフラム９に伝達し、ダイアフラム９を弁座８に当接させる。以上で組立が完了する。
【００５５】
＜流路構造＞
上記のように組み立てたエアオペレイトバルブ１Ａの操作エア流路構造について説明する。図６は、図１に示すエアオペレイトバルブ１Ａであって、操作エア流路構造を示す図である。
操作ポート８５は、キャップ２６Ａの挿入孔８１、ピストン２４の分岐流路５６、主流路５５、ピストン２３の主流路４７、分岐流路４８を介して第１ピストン室２７の加圧室２７ａに連通している。また、操作ポート８５は、キャップ２６Ａの挿入孔８１、ピストン２４の分岐流路５６、主流路５５、連通路５８、嵌合凹部５７を介して第２ピストン室２８の加圧室２８ａに連通している。
【００５６】
このように、エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストン２３，２４に設けた流路４７，４８，５５，５６によって、加圧室２７ａ，２８ａに操作エアを給排気するための流路が形成される。
【００５７】
また、エアオペレイトバルブ１Ａは、図中ドットハッチングに示すように、第１，第２ピストン室２７，２８の背圧室２７ｂ，２８ｂをアダプタ１１に設けた一つの呼吸孔１２に導通させるための導通流路３１を備える。
【００５８】
内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、外周面に形成されたＤカット通路６４により外装部材２１との間に空間を形成する。第１ピストン室２７の背圧室２７ｂは、内装部品２２Ａの切欠部６５と、内装部品２２Ｂの案内溝６３とを介して、内装部品２２ＡのＤカット通路６４によって設けられる空間に連通する。第２ピストン室２８の背圧室２８ｂは、内装部品２２Ｂ，２２Ｃに設けた切欠部６５を介して、内装部品２２Ｂ，２２ＣのＤカット通路６４によって設けられる空間に連通する。
【００５９】
内装部品２２Ａの閉塞端面とベース２５との間には、内装部品２２Ａに設けた環状溝６２と案内溝６３とによって隙間が形成されている。その隙間は、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃと外装部材２１との間に形成される空間に連通する一方、アダプタ１１に設けた中空孔に連通している。アダプタ１１には、中空孔に連通するように呼吸孔１２が形成されている。
【００６０】
このように、エアオペレイトバルブ１Ａは、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとの間に形成される空間、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃと外装部材２１との間に形成される空間、内装部品２２Ａとベース２５との間に形成される空間によって、第１，第２ピストン室２７，２８の背圧室２７ｂ、２８ｂをアダプタ１１の呼吸孔１２に連通させるための導通流路３１が形成される。
【００６１】
＜エアオペレイトバルブの動作説明＞
次に、エアオペレイトバルブ１Ａの動作を説明する。
エアオペレイトバルブ１Ａは、図２に示すようにボディ４に設けた取付孔１４にボルト（図示せず）を挿通し、そのボルトを取付プレートや半導体製造装置などに締結することにより、設置固定される。エアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５が給排気管（図示せず）を介して給排気制御装置（図示せず）に接続され、操作エアの給排気を制御される。
【００６２】
エアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５に操作エアが供給されないときには、圧縮バネ２９の弾性力によってピストン２３，２４が弁座方向へ押し下げられ、ステム１３を介してダイアフラム９を弁座８に当接させる。そのため、一次側ポート５に供給された制御流体は、弁座８から二次側ポート６へ流れない。
【００６３】
その後、操作ポート８５に操作エアを供給すると、操作エアがピストン２４の分岐流路５６、主流路５５、ピストン２３の主流路４７、分岐流路４８を経由して第１ピストン室２７の加圧室２７ａに供給される。また、操作エアは、ピストン２４の分岐流路５６、主流路５５、連通路５８、嵌合凹部５７を介して加圧室２８ａに供給される。加圧室２７ａ，２８ａが加圧されて圧縮バネ２９の弾性力に打ち勝つと、ピストン２３，２４が図中上方向（弁座８と反対方向）へ円滑に上昇し、ピストンロッド４２をステム１３から離間させる。これにより、ダイアフラム９は、弁座方向に加圧されなくなり、自身の反力により弁座８から離れる。この状態で一次側ポート５に制御流体を供給すると、制御流体が一次側ポート５から弁座８を介して二次側ポート６へ流れる。
【００６４】
更にその後、操作ポート８５から加圧室２７ａ，２８ａの操作エアを排出し、圧縮バネ２９の弾性力が加圧室２７ａ，２８ａの内圧より大きくなると、ピストン２３，２４が下降してピストンロッド４２をステム１３に突き当て、ステム１３を介してダイアフラム９に弁座方向の力を付与する。これにより、ダイアフラム９が弁座８に当接して流路を遮断し、制御流体が弁座８から二次側ポート６へ流れなくなる。
【００６５】
＜機能変更＞
次に、エアオペレイトバルブ１Ａの機能変更について説明する。
エアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５又は弁開閉検知センサ９１、「弁開度調整機構」の一例であるストローク調整つまみ９２、開閉インジケータ９３、インスタント継手９６の少なくとも一つがキャップ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃにそれぞれ設けられ、キャップ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃの変更のみで機能を変更できるようにしている。
【００６６】
＜弁開閉検知センサ＞
図７は、エアオペレイトバルブ１Ａの断面図であって、キャップ２６Ｂが弁開閉検知センサ９１を備えるものを示す。図８は、図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａの上面図である。
図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５と弁開閉検知センサ９１とを備えるキャップ２６Ｂを外装部材２１の上端開口部に回転可能に取り付けている。
【００６７】
キャップ２６Ｂは、外形寸法がキャップ２６Ａと同一であり、外装部材２１の上端開口部が回転可能にかしめ固定されている。キャップ２６Ｂの端面には、円柱凹部１０１が挿入孔８１の開口部に円柱状に設けられている。キャップ２６Ｂの図中上端面には、挿入孔８１より外側に操作ポート８５が開設されている。操作ポート８５は、バイパス流路１０２を介して円柱凹部１０１に連通している。また、キャップ２６Ｂの図中上端面には、挿入孔８１と軸線をずらしつつ、挿入孔８１に重なるように接続孔１０３が設けられている。接続孔１０３の内周面には、雌ネジが形成され、弁開閉検知センサ９１を螺設されるようになっている。弁開閉検知センサ９１は、検出部を挿入孔８１に突出させるように接続孔１０３にねじ込まれて固定されている。
【００６８】
エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストン２３のピストンロッド４２の先端部と、ピストン２４のピストンロッド５２の先端部に、金属部品１０５，１０６を固着している。金属部品１０５，１０６は、ステンレスや黄銅などの剛性や強度の高く、磁性を有する金属材料で形成されている。金属部品１０５，１０６は、樹脂製のピストンロッド４２，５２に圧入、インサート成形、接着、溶着などによって固定されている。
【００６９】
キャップ２８Ｂを取り付けられたエアオペレイトバルブ１Ａは、給排気管が操作ポート８５から上方に設けられるとともに、弁開閉検知センサ９１の配線が上方に引き出され、弁開閉状態を弁開閉検知センサ９１によって検出する。
【００７０】
すなわち、エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストン２３，２４が上昇して弁開するときには、ピストン２４に設けたピストンロッド５２の金属部品１０６が弁開閉検知センサ９１に近づく。弁開閉検知センサ９１は、金属部品１０６を認識し、エアオペレイトバルブ１Ａが弁開状態であることを検出する。一方、エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストン２３，２４が下降して弁閉するときには、金属部品１０６が弁開閉検知センサ９１から遠ざかる。弁開閉検知センサ９１は、金属部品１０６を認識できくなると、エアオペレイトバルブ１Ａが弁閉状態であることを検出する。
【００７１】
＜ストローク調整つまみ＞
ところで、キャップ２６Ｂは、弁開閉検知センサ９１とストローク調整つまみ９２と開閉インジケータ９３とを共通して取り付けられるように接続孔１０３を設けている。
【００７２】
図９は、図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａのキャップ２６Ｂに、ストローク調整つまみ９２を取り付けた図である。図１０は、図９に示すエアオペレイトバルブ１Ａの上面図である。
図９及び図１０に示すエアオペレイトバルブ１Ａは、「弁開度調整機構」の一例であるストローク調整つまみ９２をキャップ２６Ｂの接続孔１０３に螺設している。ストローク調整つまみ９２は、回転量を調整することにより、挿入孔８１に突出する下端部分の位置を調整する。エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストンロッド５２をストローク調整つまみ９２に当接するまでピストン２３，２４を移動させ、ダイアフラム９が弁座８から離間する量（ストローク）を調整する。このとき、ピストンロッド５２は、先端部がストローク調整つまみ９２に衝突して押しつけられるが、先端部に金属部品１０６を固着されているため、ストローク調整つまみ９２にぶつかる衝撃で摩耗したり変形することはない。尚、図１０に示すキャップ２６Ｂのように、ストローク調整つまみ９２の周りにメモリを設けておけば、流量調整を容易に行うことができる。
【００７３】
＜開閉インジケータ＞
図１１は、図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａのキャップ２６Ｂに、開閉インジケータ９３を取り付けた図であって、弁閉状態を示す。図１２は、図１１に示すエアオペレイトバルブ１Ａの弁開状態を示す。
図１１及び図１２に示すエアオペレイトバルブ１Ａは、キャップ２６Ｂの接続孔１０３に開閉インジケータ９３が螺設されている。開閉インジケータ９３は、ロッド９４を外部に突出可能に設け、コイルスプリング９５によってロッド９４をピストン２４のピストンロッド５２に突き当てている。このエアオペレイトバルブ１Ａによれば、ピストン２３，２４が上方へ移動する際には、図１２に示すように、コイルスプリング９５の弾性力に抗してロッド９４を突き上げる。また、ピストン２３，２４が下降する際には、図１１に示すように、ロッド９４がコイルスプリング９５の弾性力によって下降する。よって、ユーザは、ロッド９４が開閉インジケータ９３から突出する量に基づいて弁開閉状態を判断することができる。尚、この場合、ピストンロッド５２に金属部材１０６を固着しているため、ピストンロッド５２がロッド９４に擦れて摩耗しない。
【００７４】
＜インスタント継手＞
図１３は、図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａのキャップ２６Ｂを、インスタント継手９６を備えるキャップ２６Ｃに交換した図である。
図１３に示すエアオペレイトバルブ１Ａは、インスタント継手９６を装着したキャップ２６Ｃに外装部材２１を取り付けている。キャップ２６Ｃは、インスタント継手９６を装着できるように、挿入孔８１より外側にずれた位置に操作ポート８５が設けられている。操作ポート８５は、バイパス流路１０２を介して円柱凹部１０１に連通している。このエアオペレイトバルブ１Ａは、給排気管をインスタント継手９６にワンタッチで接続できるので、配管が容易である。
【００７５】
＜作用効果＞
従って、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、パイプ状の外装部材２１の両端開口部に板状のキャップ２６Ａとベース２５を取り付けることによりシリンダを構成するので、外装部材２１やキャップ２６Ａ、ベース２５をコップ状に成形する切削加工が不要であり、切削で削られる無駄な部分が外装部材２１やキャップ２６Ａ、ベース２５にない。よって、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａによれば、加工費や材料費を削減してコストダウンを図ることができる。
【００７６】
また、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａによれば、キャップ２６Ａとベース２５を外装部材２１の開口部に挿入し、外装部材２１の開口部外周面をかしめることにより、キャップ２６Ａとベース２５を外装部材２１に取り付けるので、シリンダを簡単に組み立てることができる。
【００７７】
また、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａによれば、金属製外装部材２１の中空部に樹脂成形品である内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを配置してシリンダの壁を２重構造にしたので、外装部材２１の肉厚を薄くしてバルブ全体の軽量化を図ることができる。
【００７８】
また、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５を設けたキャップ２６Ａ、操作ポート８５と弁開閉検知センサ９１又は弁開度調整機構９２、インジケータ９４を設けたキャップ２８Ｂ、インスタント継手９６を設けたキャップ２６Ｃを変更するだけで、第１閉鎖プレートを除く部品（外装部材２１やベース２５等）を共用して機能変更することができ、コストダウンを図ることができる。
【００７９】
しかも、操作ポート８５やインスタント継手９６に接続する配管や、弁開閉検知センサ９１の配線を上方に引き出したり、ストローク調整ロッド９２を上方から操作できるようにしたので、配管・配線や操作を容易に行うことができる。
そして、キャップ２８Ｂは、弁開閉検知センサ９１、弁開度調整機構９２、インジケータ９４について接続孔１０３（取付部）を共通して使用できるので、第１閉鎖プレートを専用設計する必要がなく、コストダウンすることができる。
【００８０】
また、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、キャップ２６Ｂを外装部材２１に対して回転可能に取り付けた。そのため、例えば、エアオペレイトバルブ１Ａを複数台並設する場合でも、第１閉鎖プレート２８Ｂを外装部材２１に対して回転させれば、他の部品との干渉を考慮せずに、操作ポート８５や弁開閉検知センサ９１、ストローク調整つまみ９２、開閉インジケータ９３の位置を簡単に調整して揃えることができる。
【００８１】
（第２実施形態）
次に、本発明のエアオペレイトバルブに係る第２実施形態について図面を参照して説明する。図１４は、本発明の第２実施形態に係るエアオペレイトバルブ１Ｂの断面図であって、キャップ２６Ｄが操作ポート８５のみを備えるものを示す。図１５は、図１４に示すエアオペレイトバルブ１Ｂの上面図である。
第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂは、キャップ２６Ｄを、「第１プレート」の一例である固定プレート１１１と「第２プレート」の一例であるオプションプレート１１２とに分割している点が、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａと相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態と共通する構成については第１実施形態と同一符号を図面に付し、説明を適宜割愛する。
【００８２】
図１４に示すように、キャップ２６Ｄは、固定プレート１１１とオプションプレート１１２Ａに分割され、図１５に示すように、固定プレート１１１とオプションプレート１１２Ａを上方から２本のボルト１１３，１１３で固定したものである。
【００８３】
固定プレート１１１には、挿入孔８１が円柱状に設けられ、挿入孔８１の開口部に円柱凹部１０１が形成されている。また、固定プレート１１１には、円柱凹部１０１に接続するようにパイパス流路１０２が貫通して設けられている。固定プレート１１１の端面には、挿入孔８１と円柱凹部１０１とパイパス流路１０２の周りを囲むように、シール部材３７を装着するための装着溝８２が形成されている。そして、固定プレート１１１には、挿入孔８１から軸芯をずらしつつ挿入孔８１と重なるように第１接続孔１１５が設けられている。挿入孔８１の内壁には、シール部材３８を装着するための装着溝１１４が環状に形成され、ピストン２４のピストンロッド５２と挿入孔８１の内周面との間を気密に区画している。尚、固定プレート１１１は、圧入部８３とかしめ溝８４も備える。
【００８４】
一方、オプションプレート１１２Ａには、操作ポート８５が固定プレート１１１のバイパス流路１０２と対応して設けられている。オプションプレート１１２Ａは、操作ポート８５の一端開口部の周りに、シール部材３９を装着するための装着溝１１７が形成されている。
【００８５】
このようなエアオペレイトバルブ１Ｂは、固定プレート１１１に外装部材２１をかしめ固定している。固定プレート１１１は、オプションプレート１１２Ａは、固定プレート１１１に対してボルト１１３，１１３で固定され、第１接続孔１１５を覆っている。従って、図１４に示すようにオプションプレート１１２Ａを備えるキャップ２６Ｄは、操作ポート８５から操作エアを給排気する機能のみを有する。
【００８６】
第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂは、オプションプレート１１２Ａを固定プレート１１１に対して着脱自在に設けているため、オプションプレート１１２Ａを他のオプションプレート１１２Ｂ，１１２Ｃに交換して機能変更を行うことが可能である。
【００８７】
図１６は、図１４に示すエアオペレイトバルブ１Ｂのオプションプレート１１２Ａを、弁開閉検知センサ９１を備えるオプションプレート１１２Ｂに交換した図である。図１７は、図１６に示すエアオペレイトバルブ１Ｂの上面図である。
図１６及び図１７に示すように、エアオペレイトバルブ１Ｂは、オプションプレート１１２Ｂを固定プレート１１１にボルト１１３，１１３で固定している。オプションプレート１１２Ｂは、固定プレート１１１のバイパス流路１０２に対応する操作ポート８５が中心からずれて設けられている。また、オプションプレート１１２Ｂは、第１接続孔１１５に対応する第２接続孔１１６が中心からずれて設けられている。第２接続孔１１６の内周面には雌ネジが形成され、弁開閉検知センサ９２を螺設できるようになっている。従って、エアオペレイトバルブ１Ｂは、ボルト１１３を取り外してオプションプレート１１２Ａをオプションプレート１１２Ｂに交換するだけで、弁開閉検知機能を持つことができる。
【００８８】
図１８は、図１６に示すエアオペレイトバルブ１Ｂにストローク調整つまみ９２を装着した場合の断面図である。図１９は、図１６に示すエアオペレイトバルブ１Ｂに開閉インジケータ９３を装着した場合の断面図である。
図１６に示すエアオペレイトバルブ１Ｂは、第２接続孔１１６に弁開閉検知センサ９１を着脱可能に取り付けている。そのため、エアオペレイトバルブ１Ｂは、図１８に示すように、ストローク調整つまみ９２を第２接続孔１１６に螺設することにより、ストローク調整機能を備えることができる。また、エアオペレイトバルブ１Ｂは、図１９に示すように、開閉インジケータ９３を第２接続孔１１６に螺設することにより、弁開閉状態を外部から視認するインジケータ機能を備えることができる。
【００８９】
図２０は、図１４に示すエアオペレイトバルブのキャップ２６Ｄを構成するオプションプレート１１２Ａを、インスタント継手９６を装着したオプションプレート１１２Ｃに交換した図である。
オプションプレート１１２Ｃは、オプションプレート１１２Ａと比べて操作ポート８５を浅く設けることにより段差を設け、その段差にインスタント継手９６を突き当てるようにしてインスタント継手９６が取り付けられている。オプションプレート１１２Ｃを備える図２０に示すエアオペレイトバルブ１Ｂは、給排気管を上方からワンタッチで操作ポート８５に接続することができる。
【００９０】
＜作用効果＞
従って、第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂによれば、キャップ２６Ｄを、外装部材の一方開口部に取り付けられる固定プレート１１１と、操作ポート８５又は弁開閉検知センサ９１等を取り付ける第２接続孔１１６の少なくとも一方を有し、固定プレート１１１に着脱自在に取り付けられるオプションプレート１１２（１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃ）とに分割したので、バルブ組立後であっても第２プレート１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃを交換すれば、機能変更することができる。
【００９１】
具体的には、上述した第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａでは、インスタント継手９６を備えるキャップ２６Ｃと弁開閉検知センサ９１などを備えるキャップ２６Ｂとは、エアオペレイトバルブ１Ａを組み立てる前でなければ使用先で変更することができなかったが、第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂでは、オプションプレート１１２Ｂ，１１２Ｃを交換すれば、インスタント継手９６を備える仕様と、弁開閉検知センサ９１を備える仕様とを使用先でも簡単に変更することができる。
【００９２】
更に言えば、エアオペレイトバルブ１Ｂは、オプションプレート１１２Ｂが、弁開閉検知センサ９１とストローク調整つまみ９２と開閉インジケータ９３とを第２接続孔１１６に任意に接続されるので、オプションプレート１１２Ｂを交換しなくても、弁開閉検知センサ９１とストローク調整つまみ９２と開閉インジケータ９３とを交換するだけで、機能変更することができる。
【００９３】
また、第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂは、上方からボルト１１３，１１３を締結してオプションプレート１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃを固定プレート１１１に固定するので、エアオペレイトバルブ１Ｂをラインに組み付けた状態でも、オプションプレート１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃの交換作業を容易に行うことができる。
【００９４】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００９５】
（１）例えば、上記実施形態では、外装部材２１の両端部をベース２５とキャップ２６Ａに圧入した後にかしめて固定した。
これに対して、図２１のＰ部に示すように、外装部材２１の両端部をベース２５とキャップ２６Ａに圧入した後、外装部材２１の両端部をベース２５とキャップ２６Ａに溶接固定してもよい。この方法によれば、外装部材２１にベース２５とキャップ２６Ａを強固に固定し、また流体漏れも確実に防止できる。
また、図２２に示すキャップ２６Ｅのように、ベース２５とキャップ２６Ｅにかしめ溝７４，８４を形成せず、図中Ｐ１部に示すように、外装部材２１の両端部をベース２５とキャップ２６Ｅに圧入又は接着するのみ、或いは、圧入した部位を接着剤などで接着させることにより、外装部材２１をベース２５とキャップ２６Ｅに取り付けてもよい。この方法によれば、かしめ溝７４，８４を加工する手間を省くことができる。
また、図２３に示すように、ベース１３５とキャップ１３６の下端外周面に雄ネジを形成する一方、外装部材１３７の開口端内周面に雌ネジを形成し、外装部材１３７の両端部をベース１３５とキャップ１３６に螺合接続して係合させてもよい。この方法は、ネジ加工を必要とし、コストアップするものの、外装部材１３７の両端部を圧入しないため、ベース１３５やキャップ１３６、外装部材１３７を簡単に着脱して再利用できる利点がある。
【００９６】
（２）上記第１実施形態では、キャップ２６Ｂ，２６Ｃを回転できるように外装部材２１をキャップ２６Ｂ，２６Ｃにかしめた。これに対して、図２４に示すように、キャップ２６Ｂの圧入部８３と外装部材２１との間にＯリング等の摩擦部材１３０を装着してもよい。この場合、キャップ２６Ｂ，２６Ｃを回転させるときに、摩擦部材１３０が抵抗を生じ、ユーザに適度な操作感を与えることができる。
【００９７】
（３）例えば、上記実施の形態では、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの外周面にＤカット通路６４を形成することにより、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃと外装部材２１との間に導通流路３１を形成した。これに対して、Ｄカット通路６４に変えて、図２５に示すように、断面矩形状の導通溝１３１を内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの外周面に複数形成してもよい。この場合には、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの導通溝１３１と外装部材２１の内周面との間に導通流路３１が形成される。また、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの外周面にＤカット通路６４を設けず、図２６に示すように、外装部材２１の内周面に導通溝１３２を形成し、内装部品２２と外装部材２１との間に導通流路３１を形成してもよい。尚、導通溝１３２は、外装部材２１を引抜加工や押出加工時に一緒に形成することができ、加工費が安価である。更には、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに導通溝１３１を設けるとともに、外装部材２１に導通溝１３２を設けてもよい。
【００９８】
（４）上記実施形態では、エアオペレイトバルブ１Ａ，１Ｂの外径を円柱状としたが、外径を多角形形状にし、上下開口部に板状のベース２５とキャップ２６を取り付けてもよい。この場合には、外装部材２１は、外周面形状を多角形状とし、内周面形状を円柱状にして内装部品２２を装填できるようにしてもよいし、外周面形状と内周面形状とをともに多角形状とし、内装部品２２の外周面形状を多角形としてもよい。尚、このような場合であっても、外装部材２１がパイプ状をなすため、引抜加工や押出加工によって多角形状のパイプを設けて所定長に切断すれば、外装部材２１を簡単に製造することができる。また、ベース２６とキャップ２６は、板状の簡単形状であるため、打抜加工や簡単な切削加工により安価且つ簡単に製造できる。
【００９９】
（５）上記実施形態では、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４を樹脂成形品で構成したが、アルミダイカスト成形品やロストワックス成形品など、切削加工数が少なく、安価に成形できる成形品で内装部品やピストンを構成してもよい。エアオペレイトバルブ１Ａ，１Ｂが高温の制御流体を制御する場合やヒーティングされる場合には、全体の温度が８０度を超え、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４として樹脂成形品を使用できないことがある。この場合には、金属であるアルミダイカスト成形品やロストワックス成形品によって内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４を構成し、全体温度が８０度を超えるような耐熱温度を超える環境下でもエアオペレイトバルブ１Ａ，１Ｂを使用できるようにするとよい。
【０１００】
（６）上記実施形態では、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを全て同一形状とした。これに対して、外装部材２１に装着する位置に応じて内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの形状を変えてもよい。すなわち、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、閉塞端面が第１，第２ピストン室２７，２８を仕切る仕切板としての役割を果たすため、閉塞端面の肉厚を暑くする一方、内装部品２２Ａ，２２Ｃは、閉塞端面がベース２５とキャップ２６に支持されて強度を補完されるため、閉塞端面の肉厚を薄くしてもよい。このように、目的に応じて内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの形状を変えることにより、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの材料を無駄なく適切に使用することができる。また、不必要な部分の肉厚を薄くすることにより、バルブの小型化・軽量化を図ることができる。
【０１０１】
（７）上記実施形態では、外装部材２１を金属製パイプとした。これに対して、外装部材２１を樹脂成形品としてもよい。この場合、外装部材２１を肉厚にして耐圧性を確保するため、バルブが大型化する。しかし、射出成形などによって容易に製造できるため、コストダウンを図ることができる。また、重量を軽量化することも可能になる。
【０１０２】
（８）上記実施形態では、ピストン２３，２４に金属部品１０５，１０６を設けた（図７、図１４等）。これに対して、ピストン２３，２４が他の部品に当接等しなければ、ステム１３に当接する先端部にのみ金属部品を設けるようにしてもよい。
【０１０３】
（９）上記実施形態では、アクチュエータ部３の駆動力をステム１３を介してダイアフラム９に伝達した。これに対して、ピストン２３，２４の先端部にダイアフラム９を固定し、ダイアフラム９に直接駆動力を伝達するようにしてもよい。
（１０）上記実施形態では、エアオペレイトバルブ１は、一次側ポート５と二次側ポート６の連通状態を切り替える二方弁とした。これに対して、上記実施形態で説明したアクチュエータ部３の構造を三方弁等の多方弁に適用してもよい。また、上記実施形態のエアオペレイトバルブ１はダイアフラム弁であるが、ポペット弁であってもよい。
（１１）上記実施形態では、一次側ポート５から二次側ポート６へ制御流体が流れるようにしたが、二次側ポート６から一次側ポート５へ制御流体が流れるようにエアオペレイトバルブ１Ａ，１Ｂを使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るエアオペレイトバルブの断面図である。
【図２】図１に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図３】図１に示す第１ピストンと第２ピストンの中央縦断面図である。
【図４】図１に示す内装部品の外観斜視図である。
【図５】図１に示すキャップとベースと外装部材との関係を示す断面図である。
【図６】図１に示すエアオペレイトバルブであって、操作エア流路構造を示す図である。
【図７】図１に示すエアオペレイトバルブに弁開閉検知センサを設けた図である。
【図８】図７に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図９】図７に示すエアオペレイトバルブのキャップに、ストローク調整つまみを取り付けた図である。
【図１０】図９に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図１１】図７に示すエアオペレイトバルブのキャップに、開閉インジケータを取り付けた図であって、弁閉状態を示す。
【図１２】図１１に示すエアオペレイトバルブの弁開状態を示す。
【図１３】図１に示すエアオペレイトバルブにインスタント継手を設けた図である。
【図１４】本発明の第２実施形態に係るエアオペレイトバルブの断面図であって、キャップが操作ポートのみを備えるものを示す。
【図１５】図１４に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図１６】図１４に示すエアオペレイトバルブのオプションプレートを、弁開閉検知センサを備えるオプションプレートに交換した図である。
【図１７】図１６に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図１８】図１６に示すエアオペレイトバルブにストローク調整つまみを装着した場合の断面図である。
【図１９】図１６に示すエアオペレイトバルブに開閉インジケータを装着した場合の断面図である。
【図２０】図１４に示すエアオペレイトバルブのキャップを構成するオプションプレートを、インスタント継手を装着したオプションプレートに交換した図である。
【図２１】本発明のエアオペレイトバルブの外装部材をキャップとベースに連結する連結構造の変形例である。
【図２２】本発明のエアオペレイトバルブの外装部材をキャップとベースに連結する連結構造の変形例である。
【図２３】本発明のエアオペレイトバルブの外装部材をキャップとベースに連結する連結構造の変形例である。
【図２４】本発明のエアオペレイトバルブの変形例であって、圧入部にＯリング（摩擦部材）を装着したものである。
【図２５】本発明のエアオペレイトバルブを構成する内装部品の変形例を示す図である。
【図２６】本発明のエアオペレイトバルブを構成する外装部材の変形例を示す図である。
【図２７】従来のエアオペレイトバルブの断面図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１Ａ，１Ｂ エアオペレイトバルブ
２ 弁部
２１ 外装部材
２２ 内装部品（内装部材）
２３ ピストン
２４ ピストン
２５ ベース（第２閉鎖プレート）
２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄ キャップ（第１閉鎖プレート）
２７ 第１ピストン室
２８ 第２ピストン室
７３ 圧入部
７４ かしめ溝
８３ 圧入部
８４ かしめ溝
８５ 操作ポート
９１ 弁開閉検知センサ
９２ ストローク調整つまみ（弁開度調整機構）
９３ 開閉インジケータ（インジケータ）
９６ インスタント継手（継手）
１１１ 固定プレート（第１プレート）
１１２ オプションプレート（第２プレート）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、操作エアを利用してピストンをシリンダ内で摺動させることにより弁部を駆動させるエアオペレイトバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
操作エアを利用してピストンをシリンダ内で摺動させることにより弁部を駆動させるエアオペレイトバルブとしては、例えば図２７に示すエアオペレイトバルブ１１００がある。
【０００３】
エアオペレイトバルブ１１００は、ボディ１１０１にアクチュエータ部１１１０を取り付け、更に、アクチュエータ部１１１０を強制的に駆動させる手動機構１１２０をアクチュエータ部１１１０に取り付けて外観を構成している。
【０００４】
ボディ１１０１は、一次側流路１１０２と二次側流路１１０３との間に弁座１１０４が設けられている。ダイアフラム１１０５は、ボディ１１０１にホルダ１１０６を介してアダプタ１１０７をねじ込むことにより、ボディ１１０１とホルダ１１０６との間に外縁部を狭持されている。ステム１１０８はホルダ１１０６に摺動自在に装填され、ダイアフラム１１０５の背圧面に接触している。アクチュエータ部１１１０は、センターロッド１１１８をステム１１０８に突き当てるようにアダプタ１１０７にねじ込まれ、ボディ１１０１に取り付けられる。
【０００５】
アクチュエータ部１１１０は、操作エアの耐圧性を確保するために、Ｏリング以外の構成部品がステンレスなどの剛性を有する金属で形成されている。アクチュエータ部１１１０は、中空状のベース１１１１とキャップ１１１２を螺合接続してシリンダを構成する。ベース１１１１とキャップ１１１２は、仕切板１１１３を挟みこんで保持し、仕切板１１１３で仕切られた第１ピストン室１１１４と第２ピストン室１１１５を形成する。第１ピストン室１１１４と第２ピストン室１１１５は、第１ピストン１１１６と第２ピストン１１１７が摺動可能に装填され、加圧室１１１４ａ，１１１５ａと背圧室１１１４ｂ，１１１５ｂに気密に区画される。
【０００６】
センターロッド１１１８は、第１ピストン１１１６から仕切板１１１３を介して第２ピストン１１１７へと貫き通され、第１，第２ピストン１１１６，１１１７に固定されている。第１ピストン室１１１４の背圧室１１１４ｂには圧縮バネ１１１９が縮設され、圧縮バネ１１１９の弾性力が第１ピストン１１１６とセンターロッド１１１８を介してステム１１０８に作用し、ダイアフラム１１０５を弁座１１０４に当接させる。
【０００７】
センターロッド１１１８には、上端面から中央付近まで軸線に沿って主流路１１１８ａが穿設され、主流路１１１８ａに直交するように分岐流路１１１８ｂ，１１１８ｃが形成されている。分岐流路１１１８ｂ，１１１８ｃは、加圧室１１１４ａ，１１１５ａに連通するように形成されている。センターロッド１１１８は、上端部がキャップ１１１２に形成した給排気流路１１１２ｂ内に位置し、流路１１１８ａ，１１１８ｂ，１１１８ｃを経由して加圧室１１１４ａ，１１１５ａに操作エアを供給し、又は、加圧室１１１４ａ，１１１５ａから操作エアを排出するようになっている。一方、キャップ１１１２には、背圧室１１１４ｂに連通するように第１呼吸孔１１１２ａが形成されている。また、ベース１１１１には、背圧室１１１５ｂに連通するように第２呼吸孔１１１１ａが形成されている。従って、アクチュエータ部１１１０は、圧縮バネ１１１９の弾性力と、加圧室１１１４ａ，１１１５ａに作用する操作エアの圧力とのバランスに応じてセンターロッド１１１８が図中上下方向に移動する。
【０００８】
このような構成を有するエアオペレイトバルブ１１００は、操作エアを給排気流路１１１２ｂに供給しないときには、圧縮バネ１１１９の弾性力が第１ピストン１１１６、センターロッド１１１８、ステム１１０８を介してダイアフラム１１０５に作用し、ダイアフラム１１０５を弁座１１０４に当接させる。この場合、一次側流路１１０２に供給された制御流体が遮断され、弁座１１０４から二次側流路１１０３へ流れない。
【０００９】
一方、操作エアを給排気流路１１１２ｂに供給し、加圧室１１１４ａ，１１１５ａの内圧が圧縮バネ１１１９の弾性力に打ち勝った場合には、センターロッド１１１８が図中上向きに上昇してステム１１０８から離間する。ダイアフラム１１０５は、弁座方向に加圧されなくなり、自身の反力により弁座１１０４から離れる。この状態で、一次側流路１１０２に制御流体を供給すると、制御流体が一次側流路１１０２から弁座１１０４を介して二次側流路１１０３へ流れる。
【００１０】
その後、加圧室１１１４ａ，１１１５ａの操作エアを給排気流路１１１２ｂから排出すると、圧縮バネ１１１９の弾性力が加圧室１１１４ａ，１１１５ａの内圧に打ち勝ち、センターロッド１１１８が下降する。センターロッド１１１８は、ステム１１０８を介してダイアフラム１１０５を弁座方向に加圧し、ダイアフラム１１０５を弁座１１０４に当接させる。これにより、流路が遮断され、一次側流路１１０２に供給された制御流体が弁座１１０４から二次側流路１１０３へ流れなくなる。
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−２１４２３１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、従来のエアオペレイトバルブ１１００は、剛性の高い金属からなるベース１１１１とキャップ１１１２とのネジを嵌め合わせてシリンダを構成しており、第１，第２ピストン室１１１４，１１１５を形成するために、ベース１１１１とキャップ１１１２をコップ形状に削り出して設けていた。そのため、従来のエアオペレイトバルブ１１００は、シリンダを構成するベース１１１１とキャップ１１１２の切削加工数が多く、切削で削られる無駄な部分が多かった。よって、従来のエアオペレイトバルブ１１００は、加工費や材料費がかかり、コスト高であった。
【００１３】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、安価なエアオペレイトバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係るエアオペレイトバルブは、次のような構成を有している。
（１）操作エアを利用してピストンをシリンダ内で摺動させることにより弁部を駆動させるエアオペレイトバルブにおいて、前記シリンダは、パイプ状の外装部材と、前記外装部材の一方開口部に取り付けられる第１閉鎖プレートと、前記外装部材の他方開口部に取り付けられる第２閉鎖プレートとを有する。
【００１５】
（２）（１）に記載の発明において、前記第１閉鎖プレートと２閉鎖プレートを、かしめ又は溶接、圧入、接着、係止構造の少なくとも一つによって前記外装部材に取り付ける。
【００１６】
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、前記シリンダは、前記ピストンを収納するためのピストン室を形成する内装部材を前記外装部材の中空部に配置して、シリンダ壁を２重構造にしている。
【００１７】
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明において、前記第１閉鎖プレートに、操作ポート又は継手、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータの少なくとも一つを設けている。
【００１８】
（５）（４）に記載の発明において、前記第１閉鎖プレートを前記外装部材に回転可能に取り付ける。
【００１９】
（６）（５）に記載の発明において、前記第１閉鎖プレートを、前記外装部材の他方開口部に取り付けられる第１プレートと、前記給気ポート又は前記取付部の少なくとも一方を有し、前記第１プレートに着脱自在に取り付けられる第２プレートと、に分割している。
【発明の効果】
【００２０】
上記（１）に記載の発明は、パイプ状の外装部材の両端開口部に板状の第１，第２閉鎖プレートを取り付けることによりシリンダを構成するので、外装部材や第１，第２閉鎖プレートをコップ状に成形する切削加工が不要であり、切削で削られる無駄な部分が外装部材や第１，第２閉鎖プレートにない。よって、上記（１）に記載の発明によれば、加工費や材料費を削減してコストダウンを図ることができる。
尚、外装部材は、両端部が開口するパイプ状であれば、円筒に限らず、多角形状等であってもよい。外装部材は、例えば金属を材質とすれば、引抜加工や押出加工によって簡単に成形すると良い。一方、第１，第２閉鎖プレートは、外装部材の開口部に取り付けられれば、円板形状に限らず、多角形状の板であってもよい。第１，第２閉鎖プレートは、例えば金属を材質とすれば、簡単な形状であるので打抜加工・切削加工・ダイカスト等で簡単に成形してもよい。
【００２１】
上記（２）に記載の発明によれば、かしめ又は溶接、圧入、接着、係止構造の少なくとも一つによって第１，第２閉鎖プレートを外装部材の両端開口部に取り付けるので、シリンダを簡単に組み立てることができる。
尚、第１，第２閉鎖プレートは、かしめ又は溶接、圧入、接着、係止構造の何れか一つのみでなく、例えば、第１，第２閉鎖プレートを外装部材の開口部に圧入して、接触面に接着剤を塗布するなどして、２以上の方法を組み合わせて第１，第２閉鎖プレートを外装部材に取り付けてもよい。
また、係止構造とは、例えば、外装部材の内周面に形成した雌ネジと第１，第２閉鎖プレートの外周面に形成した雄ネジとを螺合して係止させるネジ構造の他、第１，第２閉鎖プレートの外周面に爪を設け、その爪を外装部材の内周面に形成した溝に係合させて係止する凹凸構造などであってもよい。
【００２２】
上記（３）に記載の発明によれば、外装部材の中空部に内装部材を配置してシリンダの壁を２重構造にしたので、外装部材の肉厚を薄くしてバルブ全体の軽量化を図ることができる。
この場合、例えば、内装部材を樹脂成形品として、内装部材の剛性を外装部材で補完するようにすれば、バルブの軽量化及び小型化を図ることができる。そして、内装部材が、一方に開口する筒状の内装部品を組み合わせてピストン室を構成するものであれば、内装部品を射出成形等で簡単に製造してコストダウンを図ることができる。
【００２３】
上記（４）に記載の発明は、操作ポート又は継手、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータの少なくとも一つを設けた第１閉鎖プレートを変更するだけで、第１閉鎖プレートを除く部品（外装部材や第２閉鎖プレート等）を共用して機能変更することができ、コストダウンを図ることができる。
この場合、例えば、操作ポートと並べて弁開閉検知センサ又は弁開度調整機構、インジケータを第１閉鎖プレートに設ければ、操作ポートに配管を接続する作業や弁開閉検知センサや弁開度調整機構、インジケータの操作を一方向から行いやすい。
また、例えば、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータを共通して取り付けることが可能な取付部を第１閉鎖プレートに設ければ、第１閉鎖プレートを外装部材から取り外さずに、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータを交換して機能変更することができる。
【００２４】
上記（５）に記載の発明によれば、第１閉鎖プレートが外装部材に対して回転可能に取り付けられているので、第１閉鎖プレートを回転させて操作ポート等の位置を簡単に調整できる。
尚、この場合、第１閉鎖プレートと外装部材との摺接部に摩擦を生じる摩擦部材を配置すれば、第１閉鎖プレートを回転させるときに適度な操作感を与えることができる。
【００２５】
上記（６）に記載の発明によれば、第１閉鎖プレートを、外装部材の他方開口部に取り付けられる第１プレートと、給気ポート又は取付部の少なくとも一方を有し、第１プレートに着脱自在に取り付けられる第２プレートとに分割したので、バルブ組立後であっても第２プレートを交換すれば、機能変更することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、本発明に係るエアオペレイトバルブの一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２７】
（第１実施形態）
先ず、本発明のエアオペレイトバルブの第１実施形態を説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るエアオペレイトバルブ１Ａの断面図である。図２は、図１に示すエアオペレイトバルブ１Ａの上面図である。
第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、シリンダが、パイプ状の外装部材２１と、外装部材２１の一方の開口部に取り付けられる「第１閉鎖プレート」の一例であるキャップ２６Ａと、外装部材２１の他方の開口部に取り付けられる「第２閉鎖プレート」の一例であるベース２５とを有する点に特徴を有する。また、エアオペレイトバルブ１Ａは、キャップ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃの種類を変えることにより他の部品を共通して使用したまま機能を変更できる点に特徴を有する。
【００２８】
＜全体構成＞
図１に示すように、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、制御流体を制御する弁部２と、弁部２に駆動力を与えるアクチュエータ部３Ａとを備える。エアオペレイトバルブ１Ａは、アクチュエータ部３Ａをアダプタ１１を介してボディ４に連結することにより、円柱状の外観を構成する。
【００２９】
弁部２は、ボディ４に内蔵されている。ボディ４は、ステンレスやアルミなど、剛性と耐熱性のある金属材料を円柱状に形成したものである。ボディ４の下側面には、一次側ポート５と二次側ポート６が設けられている。一方、ボディ４の上側面には、取付孔７が円柱状に開設されている。取付孔７の底壁中央部には、弁座８が環状に設けられ、その弁座８を介して一次側ポート５と二次側ポート６とが連通している。
【００３０】
弁部２は、ボディ４の取付孔７にダイアフラム９を装着し、ダイアフラム９の外縁部をホルダ１０で押さえ、取付孔７の内周面とホルダ１０の外周面との間に挿入したアダプタ１１をボディ４にねじ込むことにより、ダイアフラム９の外縁部をボディ４とホルダ１０との間で狭持している。ダイアフラム９は、樹脂や金属などを薄い膜状に形成し、変形可能にしたものである。そして、ホルダ１０とアダプタ１１は、耐熱性や剛性を有する金属を材質としている。ホルダ１０には、ダイアフラム９に接触するように金属製のステム１３が装填され、ステム１３を介してダイアフラム９にアクチュエータ部３Ａの駆動力を伝達するようになっている。
【００３１】
アクチュエータ部３Ａは、図１及び図２に示すように外観が円柱形状をなす。図１に示すように、アクチュエータ部３Ａは、ノーマルクローズタイプのエアシリンダ構造を有する。アクチュエータ部３Ａは、ピストン２３，２４を収納するシリンダを、複数の部品、具体的には外装部材２１と内装部品２２とベース２５とキャップ２６Ａとに分割して構成する。
【００３２】
図１に示すように、アクチュエータ部３Ａは、パイプ状の外装部材２１に内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４を交互に装填し、外装部材２１の両端開口部にベース２５とキャップ２６Ａを取り付け、シリンダ壁を２重構造にしている。内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、外装部材２１の内部において重ね合わされた状態で固定され、第１ピストン室２７と第２ピストン室２８を形成する。ピストン２３，２４は、第１，第２ピストン室２７，２８に摺動可能に装填され、第１，第２ピストン室２７，２８を加圧室２７ａ，２８ａと背圧室２７ｂ，２８ｂとにそれぞれ区画している。第２ピストン室２８の背圧室２８ｂには、圧縮バネ２９が縮設され、ピストン２３，２４に図中下方向（弁座方向）の力を常時付与している。
【００３３】
このように、アクチュエータ部３Ａは、個別に設けられた外装部材２１、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ、ピストン２３，２４、ベース２５、キャップ２６Ａを組み合わせてシリンダを構成する。そして、アクチュエータ部３Ａは、アダプタ１１を介してボディ４に固定される。そのため、部品の寸法や組立のばらつきによっては、ピストン２３，２４が弁座８に対して同軸上に配置されないことがある。しかし、ピストン２３，２４は、円柱状のステム１３を介してダイアフラム９に駆動力を伝達する。そのため、ピストン２３がステム１３に当接する位置が軸線から若干ずれた場合でも、ステム１３がダイアフラム９に面接触して駆動力を分散して伝達するため、ダイアフラム９を弁座８に対して円周方向に均一な力で密接させることができる。
【００３４】
尚、アクチュエータ部３Ａは、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃによって、ピストン２３，２４が摺動する第１，第２ピストン室２７，２８を形成するので、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃによって「内装部材」が構成される。
【００３５】
上記エアオペレイトバルブ１Ａは、キャップ２６Ａに上端面中央部に設けられた操作ポート８５を介して操作エアを給排気される。操作ポート８５は、ピストン２３，２４に形成した内部流路（後述）を介して第１，第２ピストン室２７，２８の加圧室２７ａ，２８ａに連通する。また、エアオペレイトバルブ１Ａは、外装部材２１と内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとの間に、第１，第２ピストン室２７，２８の背圧室２７ｂ，２８ｂをアダプタ１１に形成した呼吸孔１２に連通させるための導通流路３１が複数形成されている。従って、エアオペレイトバルブ１Ａは、圧縮バネ２９の弾性力（反発力）と、加圧室２７ａ，２８ａの内圧とのバランスに応じて、ピストン２３，２４が軸線方向に移動し、弁部２に駆動力を伝えることができる。
【００３６】
次に、エアオペレイトバルブ１Ａのシリンダを構成する部品について説明する。
【００３７】
＜ピストンの構成＞
図３は、図１に示す第１ピストン２３と第２ピストン２４の中央縦断面図である。
ピストン２３，２４は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリレン）など、耐熱性があって軽量な樹脂を射出成形した樹脂成形品である。
【００３８】
ピストン２３は、ピストン部４１にピストンロッド４２とピストンロッド４３を一体成形したものである。ピストン部４１は、円柱状をなし、外径寸法が内装部品２２の内径寸法とほぼ同径にされている。ピストン部４１には、ゴムや樹脂などの弾性材料で設けられたＯリングなどのシール部材３３（図１参照）を装着するための装着溝４４が外周面に沿って環状に設けられている。また、ピストンロッド４２，４３にも、ゴムや樹脂などの弾性材料で設けられたＯリングなどのシール部材３２，３４（図１参照）を装着するための装着溝４５，４６が外周面に沿って環状に設けられている。
【００３９】
図１及び図３に示すように、ピストン２３には、主流路４７と分岐流路４８をＴ字状に形成した内部流路が設けられている。主流路４７は、ピストンロッド４３の端面中央部から軸線に沿って分岐流路４８まで形成されている。分岐流路４８は、加圧室２７ａに対応し、ピストンロッド４２の装着溝４５と、ピストンロッド４２がピストン部４１に接続する基端部との間に設けられている。分岐流路４８は、ピストンロッド４２の径方向に貫通して形成されている。分岐流路４８は、断面が横幅の広い矩形状をなす。
【００４０】
一方、ピストン２４は、ピストン部５１にピストンロッド５２を一体成形したものである。ピストン部５１は、円柱状をなし、外径寸法が内装部品２２の内径寸法とほぼ同径にされている。ピストン部５１には、ゴムや樹脂などの弾性材料で設けられたＯリングなどのシール部材３５（図１参照）を装着するための装着溝５３が外周面に沿って環状に設けられている。また、ピストンロッド５２にも、ゴムや樹脂などの弾性材料で設けられたＯリングなどのシール部材３６（図１参照）を装着するための装着溝５４が外周面に沿って環状に設けられている。
【００４１】
図１及び図３に示すように、ピストン２４には、主流路５５と分岐流路５６をＴ字状に形成した内部流路が設けられている。主流路５５は、ピストン部５１の端面中央部から軸線に沿って分岐流路５６まで形成されている。分岐流路５６は、キャップ２６Ａの挿入孔８１に対応し、ピストンロッド５２の装着溝５３より先端側に設けられている。分岐流路５６は、ピストンロッド５２の径方向に貫通して形成されている。分岐流路５６は、断面が横幅の広い矩形状をなす。
【００４２】
ピストン２４は、主流路５５の開口部に、嵌合凹部５７が主流路５５と同心円状に設けられている。嵌合凹部５７の底壁には、連通路５８が帯状に形成され、主流路５５を流れる操作エアの一部を連通路５８を介して嵌合凹部５７へ導いている。
尚、ピストン２４は、ピストンロッド５２の基端部が拡径されてガイド部５９を備える。ガイド部５９は、圧縮バネ２９に挿入され、圧縮バネ２９を軸線方向に安定して伸縮させるために設けられている。
【００４３】
このようなピストン２３，２４は、ピストン２３のピストンロッド４３をピストン２４の嵌合凹部５７に嵌合し、端面を当接させることにより、ピストン２４の主流路５５とピストン２３の主流路４７とが連通する。
【００４４】
＜内装部品の構成＞
図１に示す内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、ＰＰＳ、ＰＢＴ、ＰＯＭ、ＰＡ、ＰＶＤＦなど、耐熱性と剛性を有する樹脂を射出成形した樹脂成形品である。内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、同一形状をなすので、ここでは、説明の便宜上、内装部品２２Ｂについて説明し、内装部品２２Ａ，２２Ｃの説明を省略する。
【００４５】
図１に示すように、内装部品２２Ｂは、袋状をなす。内装部品２２Ｂは、側面が円筒形状に形成され、側面の一端開口部を塞ぐように閉塞端面が設けられている。内装部品２２Ｂは、外径寸法が外装部材２１の内径寸法とほぼ同径にされ、側面の内径寸法がピストン部５１に対応している。内装部品２２Ｂの側面は、内装部品２２Ｂを外装部材２１に装填したときに外装部材２１の内周面に当接して支持されるため、肉厚が薄くされている。これに対して、内装部品２２Ｂの閉塞端面は、内装部品２２Ｂを外装部材２１に装填したときに外装部材２１の中空部を仕切って第１，第２ピストン室２７，２８を形成する仕切板となるため、操作エアに対する耐圧性を確保するように肉厚にされている。
【００４６】
図４は、図１に示す内装部品２２Ｂの外観斜視図である。
内装部品２２Ｂは、閉塞端面の中央部にピストン２３のピストンロッド４３を貫き通すための貫通孔６１が設けられている。閉塞端面の外面には、貫通孔６１と同心円状に環状溝６２が形成されている。そして、閉塞端面の外面には、貫通孔６１と環状溝６２との間から外径方向に長く、案内溝６３が複数形成されている。そして、内装部品２２Ｂの外周面には、Ｄカット通路６４が案内溝６３から連続するように軸線と平行に形成されている。内装部品２２Ｂは、側面の開口端部にＤカット通路６４と連続するように、切欠部６５が形成されている。
【００４７】
＜外装部材、ベース、キャップの構成＞
図１に示すように、外装部材２１の両端部をキャップ２６Ａとベース２５にかしめ固定し、シリンダの外観を構成する。外装部材２１とベース２５とキャップ２６Ａは、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの周りを囲んで内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの強度を補完する。
【００４８】
図５は、図１に示すキャップ２６Ａとベース２５と外装部材２１との関係を示す断面図である。
外装部材２１は、両端が開放した円筒形状をなす。外装部材２１は、ステンレスなどの剛性を有する金属を、引抜加工又は押出加工により肉薄なパイプ状に成形し、その引抜管又は押出管を所定の長さにカットしたものである。外装部材２１の全長は、内装部品２２を重ね合わせ、ピストン室をいくつ設けるかによって決定される。また、外装部材２１の肉厚は、操作エアに対する耐圧性を考慮して決定される。第１実施形態では０．５ｍｍにしている。
【００４９】
ベース２５とキャップ２６Ａは、圧縮バネ２９の弾性力に抗して内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを重ね合わせて外装部材２１に収納するように、外装部材２１の両端部を塞ぎ、外装部材２１の内部に空間（隙間）を形成する。また、キャップ２６Ａとベース２５は、内装部品２２Ａ，２２Ｃの閉塞端面に当接し、内装部品２２Ａ，２２Ｃを支持する。そのため、ベース及びキャップ２６Ａは、ステンレスやアルミなど、剛性を有する金属を材質とする円板形状をなす。
【００５０】
ベース２５は、最外径寸法が外装部材２１の外径寸法と同径か、より大きい円柱状をなし、中央部に連結孔７１が貫通して設けられている。連結孔７１の内周面には、アダプタ１１の外周面に設けられた雄ネジをねじ込むための雌ネジが形成されている。ベース２５の一端面には、連結孔７１と同軸上に、内装部品２２Ａを位置決めするための位置決め凹部７２が設けられている。そして、位置決め凹部７２を形成された端面の外周には、外装部材２１の開放端部を圧入するために、圧入代を有する圧入部７３が設けられている。さらに、ベース２５の外周面には、圧入部７３より内側に、外装部材２１の端部をかしめて内向きに変形させるためのかしめ溝７４が環状に形成されている。
【００５１】
キャップ２６Ａは、最外径寸法が外装部材２１の外径寸法と同径か、より大きい円柱状をなす。キャップ２６Ａは、挿入孔８１が一端面中央部に円柱状に開設されている。挿入孔８１は、ピストン２４のピストンロッド５２が非接触で挿入できるように形成されている。キャップ２６Ａの一端面には、ゴムや樹脂などの弾性材料からなるＯリングなどのシール部材３７（図１参照）を装着するための装着溝８２が、挿入孔８１の周りに環状に設けられている。装着溝８２は、内装部品２２Ｃの環状溝６２に対応する。キャップ２６Ａの一端面外周には、外装部材２１の開放端部を圧入するために、圧入代を有する圧入部８３が設けられている。そして、キャップ２６Ａの外周面には、圧入部８３より内側に、外装部材２１の端部をかしめて内向きに変形させるためのかしめ溝８４が環状に形成されている。このようなキャップ２６Ａは、他端面中央部から挿入孔８１に連通するように操作ポート８５が設けられている。
【００５２】
＜エアオペレイトバルブの組立方法＞
次に、上記構成要素を備えるエアオペレイトバルブ１Ａの組立方法について一例を説明する。
先ず、ボディ４の取付孔７に弁座８を固定し、取付孔７にダイアフラム９をセットする。そして、ダイアフラム９の外縁部を押さえるようにホルダ１０をボディ４の取付孔７に挿入し、ホルダ１０にステム１３を嵌め込んだ後、アダプタ１１をボディ４にねじ込んで固定する。これにより弁部２が組み立てられる。
【００５３】
そして、アクチュエータ部３Ａを組み立てる。ピストン２３，２４の装着溝４４，４５，４６，５３，５４に、シール部材３２，３３，３４，３５，３６を装着する。そして、外装部材２１の一端開口部にベース２５の圧入部７３を圧入する。そして、内装部品２２Ａ、ピストン２３、内装部品２２Ｂ、ピストン２４、圧縮バネ２９、内装部品２２Ｃを外装部材２１に装填する。そして、内装部品２２Ｃの環状溝６２とキャップ２６Ａの装着溝８２との間でシール部材３７を押し潰すように、外装部材２１の他端開口部にキャップ２６Ａの圧入部８３を圧入する。この段階で、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４と圧縮バネ２９とが外装部材２１内に仮保持される。それから、外装部材２１の両端部を、ベース２５とキャップ２６Ａのかしめ溝７４，８４に沿ってかしめて固定する。
【００５４】
その後、アクチュエータ部３Ａを弁部２に連結する。すなわち、ボディ４に螺設したアダプタ１１をベース２５の連結孔７１にねじ込む。このとき、ピストン２３のピストンロッド４２がステム１３に突き当たり、ピストン２３，２４に作用する圧縮バネ２９の弾性力をステム１３を介してダイアフラム９に伝達し、ダイアフラム９を弁座８に当接させる。以上で組立が完了する。
【００５５】
＜流路構造＞
上記のように組み立てたエアオペレイトバルブ１Ａの操作エア流路構造について説明する。図６は、図１に示すエアオペレイトバルブ１Ａであって、操作エア流路構造を示す図である。
操作ポート８５は、キャップ２６Ａの挿入孔８１、ピストン２４の分岐流路５６、主流路５５、ピストン２３の主流路４７、分岐流路４８を介して第１ピストン室２７の加圧室２７ａに連通している。また、操作ポート８５は、キャップ２６Ａの挿入孔８１、ピストン２４の分岐流路５６、主流路５５、連通路５８、嵌合凹部５７を介して第２ピストン室２８の加圧室２８ａに連通している。
【００５６】
このように、エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストン２３，２４に設けた流路４７，４８，５５，５６によって、加圧室２７ａ，２８ａに操作エアを給排気するための流路が形成される。
【００５７】
また、エアオペレイトバルブ１Ａは、図中ドットハッチングに示すように、第１，第２ピストン室２７，２８の背圧室２７ｂ，２８ｂをアダプタ１１に設けた一つの呼吸孔１２に導通させるための導通流路３１を備える。
【００５８】
内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、外周面に形成されたＤカット通路６４により外装部材２１との間に空間を形成する。第１ピストン室２７の背圧室２７ｂは、内装部品２２Ａの切欠部６５と、内装部品２２Ｂの案内溝６３とを介して、内装部品２２ＡのＤカット通路６４によって設けられる空間に連通する。第２ピストン室２８の背圧室２８ｂは、内装部品２２Ｂ，２２Ｃに設けた切欠部６５を介して、内装部品２２Ｂ，２２ＣのＤカット通路６４によって設けられる空間に連通する。
【００５９】
内装部品２２Ａの閉塞端面とベース２５との間には、内装部品２２Ａに設けた環状溝６２と案内溝６３とによって隙間が形成されている。その隙間は、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃと外装部材２１との間に形成される空間に連通する一方、アダプタ１１に設けた中空孔に連通している。アダプタ１１には、中空孔に連通するように呼吸孔１２が形成されている。
【００６０】
このように、エアオペレイトバルブ１Ａは、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとの間に形成される空間、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃと外装部材２１との間に形成される空間、内装部品２２Ａとベース２５との間に形成される空間によって、第１，第２ピストン室２７，２８の背圧室２７ｂ、２８ｂをアダプタ１１の呼吸孔１２に連通させるための導通流路３１が形成される。
【００６１】
＜エアオペレイトバルブの動作説明＞
次に、エアオペレイトバルブ１Ａの動作を説明する。
エアオペレイトバルブ１Ａは、図２に示すようにボディ４に設けた取付孔１４にボルト（図示せず）を挿通し、そのボルトを取付プレートや半導体製造装置などに締結することにより、設置固定される。エアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５が給排気管（図示せず）を介して給排気制御装置（図示せず）に接続され、操作エアの給排気を制御される。
【００６２】
エアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５に操作エアが供給されないときには、圧縮バネ２９の弾性力によってピストン２３，２４が弁座方向へ押し下げられ、ステム１３を介してダイアフラム９を弁座８に当接させる。そのため、一次側ポート５に供給された制御流体は、弁座８から二次側ポート６へ流れない。
【００６３】
その後、操作ポート８５に操作エアを供給すると、操作エアがピストン２４の分岐流路５６、主流路５５、ピストン２３の主流路４７、分岐流路４８を経由して第１ピストン室２７の加圧室２７ａに供給される。また、操作エアは、ピストン２４の分岐流路５６、主流路５５、連通路５８、嵌合凹部５７を介して加圧室２８ａに供給される。加圧室２７ａ，２８ａが加圧されて圧縮バネ２９の弾性力に打ち勝つと、ピストン２３，２４が図中上方向（弁座８と反対方向）へ円滑に上昇し、ピストンロッド４２をステム１３から離間させる。これにより、ダイアフラム９は、弁座方向に加圧されなくなり、自身の反力により弁座８から離れる。この状態で一次側ポート５に制御流体を供給すると、制御流体が一次側ポート５から弁座８を介して二次側ポート６へ流れる。
【００６４】
更にその後、操作ポート８５から加圧室２７ａ，２８ａの操作エアを排出し、圧縮バネ２９の弾性力が加圧室２７ａ，２８ａの内圧より大きくなると、ピストン２３，２４が下降してピストンロッド４２をステム１３に突き当て、ステム１３を介してダイアフラム９に弁座方向の力を付与する。これにより、ダイアフラム９が弁座８に当接して流路を遮断し、制御流体が弁座８から二次側ポート６へ流れなくなる。
【００６５】
＜機能変更＞
次に、エアオペレイトバルブ１Ａの機能変更について説明する。
エアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５又は弁開閉検知センサ９１、「弁開度調整機構」の一例であるストローク調整つまみ９２、開閉インジケータ９３、インスタント継手９６の少なくとも一つがキャップ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃにそれぞれ設けられ、キャップ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃの変更のみで機能を変更できるようにしている。
【００６６】
＜弁開閉検知センサ＞
図７は、エアオペレイトバルブ１Ａの断面図であって、キャップ２６Ｂが弁開閉検知センサ９１を備えるものを示す。図８は、図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａの上面図である。
図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５と弁開閉検知センサ９１とを備えるキャップ２６Ｂを外装部材２１の上端開口部に回転可能に取り付けている。
【００６７】
キャップ２６Ｂは、外形寸法がキャップ２６Ａと同一であり、外装部材２１の上端開口部が回転可能にかしめ固定されている。キャップ２６Ｂの端面には、円柱凹部１０１が挿入孔８１の開口部に円柱状に設けられている。キャップ２６Ｂの図中上端面には、挿入孔８１より外側に操作ポート８５が開設されている。操作ポート８５は、バイパス流路１０２を介して円柱凹部１０１に連通している。また、キャップ２６Ｂの図中上端面には、挿入孔８１と軸線をずらしつつ、挿入孔８１に重なるように接続孔１０３が設けられている。接続孔１０３の内周面には、雌ネジが形成され、弁開閉検知センサ９１を螺設されるようになっている。弁開閉検知センサ９１は、検出部を挿入孔８１に突出させるように接続孔１０３にねじ込まれて固定されている。
【００６８】
エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストン２３のピストンロッド４２の先端部と、ピストン２４のピストンロッド５２の先端部に、金属部品１０５，１０６を固着している。金属部品１０５，１０６は、ステンレスや黄銅などの剛性や強度の高く、磁性を有する金属材料で形成されている。金属部品１０５，１０６は、樹脂製のピストンロッド４２，５２に圧入、インサート成形、接着、溶着などによって固定されている。
【００６９】
キャップ２８Ｂを取り付けられたエアオペレイトバルブ１Ａは、給排気管が操作ポート８５から上方に設けられるとともに、弁開閉検知センサ９１の配線が上方に引き出され、弁開閉状態を弁開閉検知センサ９１によって検出する。
【００７０】
すなわち、エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストン２３，２４が上昇して弁開するときには、ピストン２４に設けたピストンロッド５２の金属部品１０６が弁開閉検知センサ９１に近づく。弁開閉検知センサ９１は、金属部品１０６を認識し、エアオペレイトバルブ１Ａが弁開状態であることを検出する。一方、エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストン２３，２４が下降して弁閉するときには、金属部品１０６が弁開閉検知センサ９１から遠ざかる。弁開閉検知センサ９１は、金属部品１０６を認識できくなると、エアオペレイトバルブ１Ａが弁閉状態であることを検出する。
【００７１】
＜ストローク調整つまみ＞
ところで、キャップ２６Ｂは、弁開閉検知センサ９１とストローク調整つまみ９２と開閉インジケータ９３とを共通して取り付けられるように接続孔１０３を設けている。
【００７２】
図９は、図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａのキャップ２６Ｂに、ストローク調整つまみ９２を取り付けた図である。図１０は、図９に示すエアオペレイトバルブ１Ａの上面図である。
図９及び図１０に示すエアオペレイトバルブ１Ａは、「弁開度調整機構」の一例であるストローク調整つまみ９２をキャップ２６Ｂの接続孔１０３に螺設している。ストローク調整つまみ９２は、回転量を調整することにより、挿入孔８１に突出する下端部分の位置を調整する。エアオペレイトバルブ１Ａは、ピストンロッド５２をストローク調整つまみ９２に当接するまでピストン２３，２４を移動させ、ダイアフラム９が弁座８から離間する量（ストローク）を調整する。このとき、ピストンロッド５２は、先端部がストローク調整つまみ９２に衝突して押しつけられるが、先端部に金属部品１０６を固着されているため、ストローク調整つまみ９２にぶつかる衝撃で摩耗したり変形することはない。尚、図１０に示すキャップ２６Ｂのように、ストローク調整つまみ９２の周りにメモリを設けておけば、流量調整を容易に行うことができる。
【００７３】
＜開閉インジケータ＞
図１１は、図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａのキャップ２６Ｂに、開閉インジケータ９３を取り付けた図であって、弁閉状態を示す。図１２は、図１１に示すエアオペレイトバルブ１Ａの弁開状態を示す。
図１１及び図１２に示すエアオペレイトバルブ１Ａは、キャップ２６Ｂの接続孔１０３に開閉インジケータ９３が螺設されている。開閉インジケータ９３は、ロッド９４を外部に突出可能に設け、コイルスプリング９５によってロッド９４をピストン２４のピストンロッド５２に突き当てている。このエアオペレイトバルブ１Ａによれば、ピストン２３，２４が上方へ移動する際には、図１２に示すように、コイルスプリング９５の弾性力に抗してロッド９４を突き上げる。また、ピストン２３，２４が下降する際には、図１１に示すように、ロッド９４がコイルスプリング９５の弾性力によって下降する。よって、ユーザは、ロッド９４が開閉インジケータ９３から突出する量に基づいて弁開閉状態を判断することができる。尚、この場合、ピストンロッド５２に金属部材１０６を固着しているため、ピストンロッド５２がロッド９４に擦れて摩耗しない。
【００７４】
＜インスタント継手＞
図１３は、図７に示すエアオペレイトバルブ１Ａのキャップ２６Ｂを、インスタント継手９６を備えるキャップ２６Ｃに交換した図である。
図１３に示すエアオペレイトバルブ１Ａは、インスタント継手９６を装着したキャップ２６Ｃに外装部材２１を取り付けている。キャップ２６Ｃは、インスタント継手９６を装着できるように、挿入孔８１より外側にずれた位置に操作ポート８５が設けられている。操作ポート８５は、バイパス流路１０２を介して円柱凹部１０１に連通している。このエアオペレイトバルブ１Ａは、給排気管をインスタント継手９６にワンタッチで接続できるので、配管が容易である。
【００７５】
＜作用効果＞
従って、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、パイプ状の外装部材２１の両端開口部に板状のキャップ２６Ａとベース２５を取り付けることによりシリンダを構成するので、外装部材２１やキャップ２６Ａ、ベース２５をコップ状に成形する切削加工が不要であり、切削で削られる無駄な部分が外装部材２１やキャップ２６Ａ、ベース２５にない。よって、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａによれば、加工費や材料費を削減してコストダウンを図ることができる。
【００７６】
また、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａによれば、キャップ２６Ａとベース２５を外装部材２１の開口部に挿入し、外装部材２１の開口部外周面をかしめることにより、キャップ２６Ａとベース２５を外装部材２１に取り付けるので、シリンダを簡単に組み立てることができる。
【００７７】
また、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａによれば、金属製外装部材２１の中空部に樹脂成形品である内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを配置してシリンダの壁を２重構造にしたので、外装部材２１の肉厚を薄くしてバルブ全体の軽量化を図ることができる。
【００７８】
また、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、操作ポート８５を設けたキャップ２６Ａ、操作ポート８５と弁開閉検知センサ９１又は弁開度調整機構９２、インジケータ９４を設けたキャップ２８Ｂ、インスタント継手９６を設けたキャップ２６Ｃを変更するだけで、第１閉鎖プレートを除く部品（外装部材２１やベース２５等）を共用して機能変更することができ、コストダウンを図ることができる。
【００７９】
しかも、操作ポート８５やインスタント継手９６に接続する配管や、弁開閉検知センサ９１の配線を上方に引き出したり、ストローク調整ロッド９２を上方から操作できるようにしたので、配管・配線や操作を容易に行うことができる。
そして、キャップ２８Ｂは、弁開閉検知センサ９１、弁開度調整機構９２、インジケータ９４について接続孔１０３（取付部）を共通して使用できるので、第１閉鎖プレートを専用設計する必要がなく、コストダウンすることができる。
【００８０】
また、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａは、キャップ２６Ｂを外装部材２１に対して回転可能に取り付けた。そのため、例えば、エアオペレイトバルブ１Ａを複数台並設する場合でも、第１閉鎖プレート２８Ｂを外装部材２１に対して回転させれば、他の部品との干渉を考慮せずに、操作ポート８５や弁開閉検知センサ９１、ストローク調整つまみ９２、開閉インジケータ９３の位置を簡単に調整して揃えることができる。
【００８１】
（第２実施形態）
次に、本発明のエアオペレイトバルブに係る第２実施形態について図面を参照して説明する。図１４は、本発明の第２実施形態に係るエアオペレイトバルブ１Ｂの断面図であって、キャップ２６Ｄが操作ポート８５のみを備えるものを示す。図１５は、図１４に示すエアオペレイトバルブ１Ｂの上面図である。
第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂは、キャップ２６Ｄを、「第１プレート」の一例である固定プレート１１１と「第２プレート」の一例であるオプションプレート１１２とに分割している点が、第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａと相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態と共通する構成については第１実施形態と同一符号を図面に付し、説明を適宜割愛する。
【００８２】
図１４に示すように、キャップ２６Ｄは、固定プレート１１１とオプションプレート１１２Ａに分割され、図１５に示すように、固定プレート１１１とオプションプレート１１２Ａを上方から２本のボルト１１３，１１３で固定したものである。
【００８３】
固定プレート１１１には、挿入孔８１が円柱状に設けられ、挿入孔８１の開口部に円柱凹部１０１が形成されている。また、固定プレート１１１には、円柱凹部１０１に接続するようにパイパス流路１０２が貫通して設けられている。固定プレート１１１の端面には、挿入孔８１と円柱凹部１０１とパイパス流路１０２の周りを囲むように、シール部材３７を装着するための装着溝８２が形成されている。そして、固定プレート１１１には、挿入孔８１から軸芯をずらしつつ挿入孔８１と重なるように第１接続孔１１５が設けられている。挿入孔８１の内壁には、シール部材３８を装着するための装着溝１１４が環状に形成され、ピストン２４のピストンロッド５２と挿入孔８１の内周面との間を気密に区画している。尚、固定プレート１１１は、圧入部８３とかしめ溝８４も備える。
【００８４】
一方、オプションプレート１１２Ａには、操作ポート８５が固定プレート１１１のバイパス流路１０２と対応して設けられている。オプションプレート１１２Ａは、操作ポート８５の一端開口部の周りに、シール部材３９を装着するための装着溝１１７が形成されている。
【００８５】
このようなエアオペレイトバルブ１Ｂは、固定プレート１１１に外装部材２１をかしめ固定している。固定プレート１１１は、オプションプレート１１２Ａは、固定プレート１１１に対してボルト１１３，１１３で固定され、第１接続孔１１５を覆っている。従って、図１４に示すようにオプションプレート１１２Ａを備えるキャップ２６Ｄは、操作ポート８５から操作エアを給排気する機能のみを有する。
【００８６】
第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂは、オプションプレート１１２Ａを固定プレート１１１に対して着脱自在に設けているため、オプションプレート１１２Ａを他のオプションプレート１１２Ｂ，１１２Ｃに交換して機能変更を行うことが可能である。
【００８７】
図１６は、図１４に示すエアオペレイトバルブ１Ｂのオプションプレート１１２Ａを、弁開閉検知センサ９１を備えるオプションプレート１１２Ｂに交換した図である。図１７は、図１６に示すエアオペレイトバルブ１Ｂの上面図である。
図１６及び図１７に示すように、エアオペレイトバルブ１Ｂは、オプションプレート１１２Ｂを固定プレート１１１にボルト１１３，１１３で固定している。オプションプレート１１２Ｂは、固定プレート１１１のバイパス流路１０２に対応する操作ポート８５が中心からずれて設けられている。また、オプションプレート１１２Ｂは、第１接続孔１１５に対応する第２接続孔１１６が中心からずれて設けられている。第２接続孔１１６の内周面には雌ネジが形成され、弁開閉検知センサ９２を螺設できるようになっている。従って、エアオペレイトバルブ１Ｂは、ボルト１１３を取り外してオプションプレート１１２Ａをオプションプレート１１２Ｂに交換するだけで、弁開閉検知機能を持つことができる。
【００８８】
図１８は、図１６に示すエアオペレイトバルブ１Ｂにストローク調整つまみ９２を装着した場合の断面図である。図１９は、図１６に示すエアオペレイトバルブ１Ｂに開閉インジケータ９３を装着した場合の断面図である。
図１６に示すエアオペレイトバルブ１Ｂは、第２接続孔１１６に弁開閉検知センサ９１を着脱可能に取り付けている。そのため、エアオペレイトバルブ１Ｂは、図１８に示すように、ストローク調整つまみ９２を第２接続孔１１６に螺設することにより、ストローク調整機能を備えることができる。また、エアオペレイトバルブ１Ｂは、図１９に示すように、開閉インジケータ９３を第２接続孔１１６に螺設することにより、弁開閉状態を外部から視認するインジケータ機能を備えることができる。
【００８９】
図２０は、図１４に示すエアオペレイトバルブのキャップ２６Ｄを構成するオプションプレート１１２Ａを、インスタント継手９６を装着したオプションプレート１１２Ｃに交換した図である。
オプションプレート１１２Ｃは、オプションプレート１１２Ａと比べて操作ポート８５を浅く設けることにより段差を設け、その段差にインスタント継手９６を突き当てるようにしてインスタント継手９６が取り付けられている。オプションプレート１１２Ｃを備える図２０に示すエアオペレイトバルブ１Ｂは、給排気管を上方からワンタッチで操作ポート８５に接続することができる。
【００９０】
＜作用効果＞
従って、第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂによれば、キャップ２６Ｄを、外装部材の一方開口部に取り付けられる固定プレート１１１と、操作ポート８５又は弁開閉検知センサ９１等を取り付ける第２接続孔１１６の少なくとも一方を有し、固定プレート１１１に着脱自在に取り付けられるオプションプレート１１２（１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃ）とに分割したので、バルブ組立後であっても第２プレート１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃを交換すれば、機能変更することができる。
【００９１】
具体的には、上述した第１実施形態のエアオペレイトバルブ１Ａでは、インスタント継手９６を備えるキャップ２６Ｃと弁開閉検知センサ９１などを備えるキャップ２６Ｂとは、エアオペレイトバルブ１Ａを組み立てる前でなければ使用先で変更することができなかったが、第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂでは、オプションプレート１１２Ｂ，１１２Ｃを交換すれば、インスタント継手９６を備える仕様と、弁開閉検知センサ９１を備える仕様とを使用先でも簡単に変更することができる。
【００９２】
更に言えば、エアオペレイトバルブ１Ｂは、オプションプレート１１２Ｂが、弁開閉検知センサ９１とストローク調整つまみ９２と開閉インジケータ９３とを第２接続孔１１６に任意に接続されるので、オプションプレート１１２Ｂを交換しなくても、弁開閉検知センサ９１とストローク調整つまみ９２と開閉インジケータ９３とを交換するだけで、機能変更することができる。
【００９３】
また、第２実施形態のエアオペレイトバルブ１Ｂは、上方からボルト１１３，１１３を締結してオプションプレート１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃを固定プレート１１１に固定するので、エアオペレイトバルブ１Ｂをラインに組み付けた状態でも、オプションプレート１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃの交換作業を容易に行うことができる。
【００９４】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００９５】
（１）例えば、上記実施形態では、外装部材２１の両端部をベース２５とキャップ２６Ａに圧入した後にかしめて固定した。
これに対して、図２１のＰ部に示すように、外装部材２１の両端部をベース２５とキャップ２６Ａに圧入した後、外装部材２１の両端部をベース２５とキャップ２６Ａに溶接固定してもよい。この方法によれば、外装部材２１にベース２５とキャップ２６Ａを強固に固定し、また流体漏れも確実に防止できる。
また、図２２に示すキャップ２６Ｅのように、ベース２５とキャップ２６Ｅにかしめ溝７４，８４を形成せず、図中Ｐ１部に示すように、外装部材２１の両端部をベース２５とキャップ２６Ｅに圧入又は接着するのみ、或いは、圧入した部位を接着剤などで接着させることにより、外装部材２１をベース２５とキャップ２６Ｅに取り付けてもよい。この方法によれば、かしめ溝７４，８４を加工する手間を省くことができる。
また、図２３に示すように、ベース１３５とキャップ１３６の下端外周面に雄ネジを形成する一方、外装部材１３７の開口端内周面に雌ネジを形成し、外装部材１３７の両端部をベース１３５とキャップ１３６に螺合接続して係合させてもよい。この方法は、ネジ加工を必要とし、コストアップするものの、外装部材１３７の両端部を圧入しないため、ベース１３５やキャップ１３６、外装部材１３７を簡単に着脱して再利用できる利点がある。
【００９６】
（２）上記第１実施形態では、キャップ２６Ｂ，２６Ｃを回転できるように外装部材２１をキャップ２６Ｂ，２６Ｃにかしめた。これに対して、図２４に示すように、キャップ２６Ｂの圧入部８３と外装部材２１との間にＯリング等の摩擦部材１３０を装着してもよい。この場合、キャップ２６Ｂ，２６Ｃを回転させるときに、摩擦部材１３０が抵抗を生じ、ユーザに適度な操作感を与えることができる。
【００９７】
（３）例えば、上記実施の形態では、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの外周面にＤカット通路６４を形成することにより、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃと外装部材２１との間に導通流路３１を形成した。これに対して、Ｄカット通路６４に変えて、図２５に示すように、断面矩形状の導通溝１３１を内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの外周面に複数形成してもよい。この場合には、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの導通溝１３１と外装部材２１の内周面との間に導通流路３１が形成される。また、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの外周面にＤカット通路６４を設けず、図２６に示すように、外装部材２１の内周面に導通溝１３２を形成し、内装部品２２と外装部材２１との間に導通流路３１を形成してもよい。尚、導通溝１３２は、外装部材２１を引抜加工や押出加工時に一緒に形成することができ、加工費が安価である。更には、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに導通溝１３１を設けるとともに、外装部材２１に導通溝１３２を設けてもよい。
【００９８】
（４）上記実施形態では、エアオペレイトバルブ１Ａ，１Ｂの外径を円柱状としたが、外径を多角形形状にし、上下開口部に板状のベース２５とキャップ２６を取り付けてもよい。この場合には、外装部材２１は、外周面形状を多角形状とし、内周面形状を円柱状にして内装部品２２を装填できるようにしてもよいし、外周面形状と内周面形状とをともに多角形状とし、内装部品２２の外周面形状を多角形としてもよい。尚、このような場合であっても、外装部材２１がパイプ状をなすため、引抜加工や押出加工によって多角形状のパイプを設けて所定長に切断すれば、外装部材２１を簡単に製造することができる。また、ベース２６とキャップ２６は、板状の簡単形状であるため、打抜加工や簡単な切削加工により安価且つ簡単に製造できる。
【００９９】
（５）上記実施形態では、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４を樹脂成形品で構成したが、アルミダイカスト成形品やロストワックス成形品など、切削加工数が少なく、安価に成形できる成形品で内装部品やピストンを構成してもよい。エアオペレイトバルブ１Ａ，１Ｂが高温の制御流体を制御する場合やヒーティングされる場合には、全体の温度が８０度を超え、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４として樹脂成形品を使用できないことがある。この場合には、金属であるアルミダイカスト成形品やロストワックス成形品によって内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとピストン２３，２４を構成し、全体温度が８０度を超えるような耐熱温度を超える環境下でもエアオペレイトバルブ１Ａ，１Ｂを使用できるようにするとよい。
【０１００】
（６）上記実施形態では、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを全て同一形状とした。これに対して、外装部材２１に装着する位置に応じて内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの形状を変えてもよい。すなわち、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、閉塞端面が第１，第２ピストン室２７，２８を仕切る仕切板としての役割を果たすため、閉塞端面の肉厚を暑くする一方、内装部品２２Ａ，２２Ｃは、閉塞端面がベース２５とキャップ２６に支持されて強度を補完されるため、閉塞端面の肉厚を薄くしてもよい。このように、目的に応じて内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの形状を変えることにより、内装部品２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの材料を無駄なく適切に使用することができる。また、不必要な部分の肉厚を薄くすることにより、バルブの小型化・軽量化を図ることができる。
【０１０１】
（７）上記実施形態では、外装部材２１を金属製パイプとした。これに対して、外装部材２１を樹脂成形品としてもよい。この場合、外装部材２１を肉厚にして耐圧性を確保するため、バルブが大型化する。しかし、射出成形などによって容易に製造できるため、コストダウンを図ることができる。また、重量を軽量化することも可能になる。
【０１０２】
（８）上記実施形態では、ピストン２３，２４に金属部品１０５，１０６を設けた（図７、図１４等）。これに対して、ピストン２３，２４が他の部品に当接等しなければ、ステム１３に当接する先端部にのみ金属部品を設けるようにしてもよい。
【０１０３】
（９）上記実施形態では、アクチュエータ部３の駆動力をステム１３を介してダイアフラム９に伝達した。これに対して、ピストン２３，２４の先端部にダイアフラム９を固定し、ダイアフラム９に直接駆動力を伝達するようにしてもよい。
（１０）上記実施形態では、エアオペレイトバルブ１は、一次側ポート５と二次側ポート６の連通状態を切り替える二方弁とした。これに対して、上記実施形態で説明したアクチュエータ部３の構造を三方弁等の多方弁に適用してもよい。また、上記実施形態のエアオペレイトバルブ１はダイアフラム弁であるが、ポペット弁であってもよい。
（１１）上記実施形態では、一次側ポート５から二次側ポート６へ制御流体が流れるようにしたが、二次側ポート６から一次側ポート５へ制御流体が流れるようにエアオペレイトバルブ１Ａ，１Ｂを使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るエアオペレイトバルブの断面図である。
【図２】図１に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図３】図１に示す第１ピストンと第２ピストンの中央縦断面図である。
【図４】図１に示す内装部品の外観斜視図である。
【図５】図１に示すキャップとベースと外装部材との関係を示す断面図である。
【図６】図１に示すエアオペレイトバルブであって、操作エア流路構造を示す図である。
【図７】図１に示すエアオペレイトバルブに弁開閉検知センサを設けた図である。
【図８】図７に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図９】図７に示すエアオペレイトバルブのキャップに、ストローク調整つまみを取り付けた図である。
【図１０】図９に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図１１】図７に示すエアオペレイトバルブのキャップに、開閉インジケータを取り付けた図であって、弁閉状態を示す。
【図１２】図１１に示すエアオペレイトバルブの弁開状態を示す。
【図１３】図１に示すエアオペレイトバルブにインスタント継手を設けた図である。
【図１４】本発明の第２実施形態に係るエアオペレイトバルブの断面図であって、キャップが操作ポートのみを備えるものを示す。
【図１５】図１４に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図１６】図１４に示すエアオペレイトバルブのオプションプレートを、弁開閉検知センサを備えるオプションプレートに交換した図である。
【図１７】図１６に示すエアオペレイトバルブの上面図である。
【図１８】図１６に示すエアオペレイトバルブにストローク調整つまみを装着した場合の断面図である。
【図１９】図１６に示すエアオペレイトバルブに開閉インジケータを装着した場合の断面図である。
【図２０】図１４に示すエアオペレイトバルブのキャップを構成するオプションプレートを、インスタント継手を装着したオプションプレートに交換した図である。
【図２１】本発明のエアオペレイトバルブの外装部材をキャップとベースに連結する連結構造の変形例である。
【図２２】本発明のエアオペレイトバルブの外装部材をキャップとベースに連結する連結構造の変形例である。
【図２３】本発明のエアオペレイトバルブの外装部材をキャップとベースに連結する連結構造の変形例である。
【図２４】本発明のエアオペレイトバルブの変形例であって、圧入部にＯリング（摩擦部材）を装着したものである。
【図２５】本発明のエアオペレイトバルブを構成する内装部品の変形例を示す図である。
【図２６】本発明のエアオペレイトバルブを構成する外装部材の変形例を示す図である。
【図２７】従来のエアオペレイトバルブの断面図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１Ａ，１Ｂ エアオペレイトバルブ
２ 弁部
２１ 外装部材
２２ 内装部品（内装部材）
２３ ピストン
２４ ピストン
２５ ベース（第２閉鎖プレート）
２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄ キャップ（第１閉鎖プレート）
２７ 第１ピストン室
２８ 第２ピストン室
７３ 圧入部
７４ かしめ溝
８３ 圧入部
８４ かしめ溝
８５ 操作ポート
９１ 弁開閉検知センサ
９２ ストローク調整つまみ（弁開度調整機構）
９３ 開閉インジケータ（インジケータ）
９６ インスタント継手（継手）
１１１ 固定プレート（第１プレート）
１１２ オプションプレート（第２プレート）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
操作エアを利用してピストンをシリンダ内で摺動させることにより弁部を駆動させるエアオペレイトバルブにおいて、
前記シリンダは、
パイプ状の外装部材と、
前記外装部材の一方開口部に取り付けられる第１閉鎖プレートと、
前記外装部材の他方開口部に取り付けられる第２閉鎖プレートとを有すること、
を特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項２】
請求項１に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記第１閉鎖プレートと２閉鎖プレートを、かしめ又は溶接、圧入、接着、係止構造の少なくとも一つによって前記外装部材に取り付けたこと
を特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記シリンダは、
前記ピストンを収納するためのピストン室を形成する内装部材を前記外装部材の中空部に配置して、シリンダ壁を２重構造にしていることを特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項２の何れか一つに記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記第１閉鎖プレートに、操作ポート又は継手、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータの少なくとも一つを設けたことを特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項５】
請求項４に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記第１閉鎖プレートを前記外装部材に回転可能に取り付けたこと
を特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項６】
請求項５に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記第１閉鎖プレートを、前記外装部材の他方開口部に取り付けられる第１プレートと、前記給気ポート又は前記取付部の少なくとも一方を有し、前記第１プレートに着脱自在に取り付けられる第２プレートと、に分割したこと
を特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項１】
操作エアを利用してピストンをシリンダ内で摺動させることにより弁部を駆動させるエアオペレイトバルブにおいて、
前記シリンダは、
パイプ状の外装部材と、
前記外装部材の一方開口部に取り付けられる第１閉鎖プレートと、
前記外装部材の他方開口部に取り付けられる第２閉鎖プレートとを有すること、
を特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項２】
請求項１に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記第１閉鎖プレートと２閉鎖プレートを、かしめ又は溶接、圧入、接着、係止構造の少なくとも一つによって前記外装部材に取り付けたこと
を特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記シリンダは、
前記ピストンを収納するためのピストン室を形成する内装部材を前記外装部材の中空部に配置して、シリンダ壁を２重構造にしていることを特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項２の何れか一つに記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記第１閉鎖プレートに、操作ポート又は継手、弁開閉検知センサ、弁開度調整機構、インジケータの少なくとも一つを設けたことを特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項５】
請求項４に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記第１閉鎖プレートを前記外装部材に回転可能に取り付けたこと
を特徴とするエアオペレイトバルブ。
【請求項６】
請求項５に記載するエアオペレイトバルブにおいて、
前記第１閉鎖プレートを、前記外装部材の他方開口部に取り付けられる第１プレートと、前記給気ポート又は前記取付部の少なくとも一方を有し、前記第１プレートに着脱自在に取り付けられる第２プレートと、に分割したこと
を特徴とするエアオペレイトバルブ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【公開番号】特開２００８−１４４８１７（Ｐ２００８−１４４８１７Ａ）
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−３３１０３３（Ｐ２００６−３３１０３３）
【出願日】平成１８年１２月７日（２００６．１２．７）
【出願人】（０００１０６７６０）シーケーディ株式会社 (627)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１２月７日（２００６．１２．７）
【出願人】（０００１０６７６０）シーケーディ株式会社 (627)
【Ｆターム（参考）】
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