説明

スルホニウム塩開始剤

式(I)で示され、式中、L1、L’1、L"1、L2、L’2、L"2、L3、L’3、L"3、L4、L’4及びL"4は、例えば水素又はCOTであり;R、R’及びR"は、例えば水素、C6〜C12アリール又はC3〜C20ヘテロアリールであり;X、X’及びX"は、O、S、単結合、NRa又はNCORaであり;Tは、例えば水素、C1〜C20アルキル、C3〜C12シクロアルキル、C2〜C20アルケニル、C5〜C12シクロアルケニル、C7〜C18シクロアルキレンアリール、C5〜C18シクロアルキレンヘテロアリール、C6〜C14アリールであるが、R、R’又はR"の内の少なくとも1つは、非置換又は置換C3〜C20ヘテロアリールであり;及びYは、無機又は有機アニオンである化合物は、光潜在性酸発生剤として適切である。


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【特許請求の範囲】
【請求項1】
式I
【化1】

[式中、
1、L’1、L"1、L2、L’2、L"2、L3、L’3、L"3、L4、L’4及びL"4は、互いに独立して水素、R1、OR1、SR1、NR12、ハロゲン、NO2、CN、NR1COR2、COOR1、OCOR1、CONR12、OCOOR1、OCONR12、NR1COOR2、SO3H、SO3M、SOR1、SO21、COOT又はCOTであり;
R、R’及びR"は、互いに独立して水素、C6〜C12アリール、少なくとも1つのLで置換されたC6〜C12アリール、又はT、或いはC3〜C20ヘテロアリール又は少なくとも1つのLで置換されたC3〜C20ヘテロアリールであり、この場合、C3〜C20ヘテロアリールは、アンヌレート化ベンゼン環を含み、対応するX、X’又はX"への結合は、前記アンヌレート化環上に位置せず;
X、X’及びX"は、互いに独立してO、S、CRab、単結合、NRa又はNCORaであるが;X、X’及びX"がOである場合、対応するR、R’又はR"は、ピリジニルではなく;
Tは、水素、C1〜C20アルキル、1つ以上のDで置換されたC1〜C20アルキル、1つ以上のEで中断されたC2〜C20アルキル、1つ以上のDで置換され且つ1つ以上のEで中断されたC2〜C20アルキルであり;又はTは、
3〜C12シクロアルキル、1つ以上のDで置換されたC3〜C12シクロアルキル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC2〜C12シクロアルキル、1つ以上のDで置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC2〜C12シクロアルキルであり;又はTは、
2〜C20アルケニル、1つ以上のDで置換されたC2〜C20アルケニル、1つ以上のEで中断されたC3〜C20アルケニル、1つ以上のDで置換され、且つ、1つ以上のEで中断されたC3〜C20アルケニル、C5〜C12シクロアルケニル、1つ以上のDで置換されたC5〜C12シクロアルケニル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC3〜C12シクロアルケニル、1つ以上のDで置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC3〜C12シクロアルケニルであり;又はTは、
2〜C20アルキニル、1つ以上のDで置換されたC2〜C20アルキニル;1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC4〜C20アルキニル、1つ以上のDで置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC4〜C20アルキニル;又はTは、
7〜C12ビシクロアルキル、1つ以上のDで置換されたC7〜C12ビシクロアルキル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルキル、1つ以上のDで置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルキルであり;又はTは、
7〜C12ビシクロアルケニル、1つ以上のDで置換されたC7〜C12ビシクロアルケニル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルケニル、1つ以上のDで置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルケニルであり;又はTは、C10〜C20トリシクロアルキル、1つ以上のDで置換されたC6〜C12トリシクロアルキル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C15トリシクロアルキル、1つ以上のDで置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C15トリシクロアルキルであり;又はTは、
8〜C18シクロアルキレンアリール、1つ以上のDで置換されたC8〜C18シクロアルキレンアリール、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C18シクロアルキレンアリール、1つ以上のDで置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C18シクロアルキレンアリールであり;又はTは、
7〜C18シクロアルキレンヘテロアリール、1つ以上のDで置換されたC7〜C18シクロアルキレンヘテロアリール、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC6〜C18シクロアルキレンヘテロアリール、1つ以上のDで置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC6〜C18シクロアルキレンヘテロアリールであり;又はTは、
6〜C14アリール、1つ以上のDで置換されたC6〜C14アリール、C3〜C12ヘテロアリール、又は1つ以上のDで置換されたC3〜C12ヘテロアリールであり;
1、R2、Ra及びRbは、互いに独立して、Tの意味を有し;
Dは、水素、R5、OR5、SR5、NR56、ハロゲン、NO2、CN、O−グリシジル、O−ビニル、O−アリル、COR5、NR5COR6、COOR5、OCOR5、CONR56、OCOOR5、OCONR56、NR5COOR6、SO3H、SO3M、=O、C6〜C14アリール、1つ以上のR12、OR12、ハロゲン、SR12、NO2、CN、COR12、NR12COR13、COOR12、OCOR12、CONR1213、OCOOR12、OCONR1213、NR12COOR13、又はSO3Hで置換したC6〜C14アリール、C3〜C12ヘテロアリール、1つ以上のR12、OR12、ハロゲン、SR12、NO2、CN、COR12、NR12COR13、COOR12、OCOR12、CONR1213、OCOOR12、OCONR1213、NR12COOR13、又はSO3Hで置換したC3〜C12ヘテロアリールであり;又は
3〜C12シクロアルキル、1つ以上のR14で置換されたC3〜C12シクロアルキル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC2〜C12シクロアルキル、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC2〜C12シクロアルキルであり;又はDは、
5〜C12シクロアルケニル、1つ以上のR14で置換されたC5〜C12シクロアルケニル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC3〜C12シクロアルケニル、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC3〜C12シクロアルケニルであり;又はDは、
7〜C12ビシクロアルキル、1つ以上のR14で置換されたC7〜C12ビシクロアルキル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルキル、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルキルであり;又はDは、
7〜C12ビシクロアルケニル、1つ以上のR14で置換されたC7〜C12ビシクロアルケニル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルケニル、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルケニルであり;又はDは、
10〜C20トリシクロアルキル、1つ以上のR14で置換されたC10〜C20トリシクロアルキル、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C15トリシクロアルキル、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC6〜C12トリシクロアルキルであり;又は
8〜C18シクロアルキレンアリール、1つ以上のR14で置換されたC8〜C18シクロアルキレンアリール、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C18シクロアルキレンアリール、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C18シクロアルキレンアリールであり;又は
7〜C18シクロアルキレンヘテロアリール、1つ以上のR14で置換されたC7〜C18シクロアルキレンヘテロアリール、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC8〜C18シクロアルキレンヘテロアリール、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC8〜C18シクロアルキレンヘテロアリールであり;
Eは、O、S、COO、OCO、CO、NR5、NCOR5、NR5CO、CONR5、OCOO、OCONR5、NR5COO、SO2、SO、CR5=CR6、又は
【化2】

であり、C6〜C14アリーレン、C3〜C12ヘテロアリーレン、C3〜C12シクロアルキレン、1つ以上のR14で置換されたC3〜C12シクロアルキレン、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC2〜C12シクロアルキレン、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC2〜C12シクロアルキレンであり;又はEは、
5〜C12シクロアルケニレン、1つ以上のR14で置換されたC5〜C12シクロアルケニレン、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC3〜C12シクロアルケニレン、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC3〜C12シクロアルケニレンであり;又はEは、
7〜C12ビシクロアルキレン、1つ以上のR14で置換されたC7〜C12ビシクロアルキレン、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルキレン、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルキレンであり;又はEは、
7〜C12ビシクロアルケニレン、1つ以上のR14で置換されたC7〜C12ビシクロアルケニレン、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルケニレン、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC5〜C12ビシクロアルケニレンであり;又はEは、
10〜C20トリシクロアルキレン、1つ以上のR14で置換されたC10〜C20トリシクロアルキレン、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C15トリシクロアルキレン、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C15トリシクロアルキレンであり;又はEは、
8〜C18シクロアルキレンアリーレン、1つ以上のR14で置換されたC8〜C18シクロアルキレンアリーレン、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C18シクロアルキレンアリーレン、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC7〜C18シクロアルキレンアリーレンであり;又はEは、
7〜C18シクロアルキレンヘテロアリーレン、1つ以上のR14で置換されたC7〜C18シクロアルキレンヘテロアリーレン、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC6〜C18シクロアルキレンヘテロアリーレン、1つ以上のR14で置換され、且つ、1つ以上のO、CO、COO、CONR5、S又はNR5で中断されたC6〜C18シクロアルキレンヘテロアリーレンであり;
5及びR6は、互いに独立して、水素、環を形成する別の置換基への共有結合、別の置換基で環を形成するC1〜C6アルキレン、C1〜C12アルキル、フェニル、或いはC1〜C4アルキル及び/又はC1〜C4アルコキシで置換されたフェニルであり;
7、R8、R9、R10及びR11は、互いに独立して、水素、C1〜C12アルキル、C1〜C12アルコキシ、フェニル、フェノキシ、置換フェニル又は置換フェノキシであり;
12及びR13は、互いに独立して、水素、C1〜C12アルキル、C5〜C12シクロアルキル又はフェニルであり;
14は、水素、C1〜C12アルキル、C5〜C12シクロアルキル、C1〜C12アルコキシ、C2〜C12シクロアルコキシ、フェニル又はハロゲンであり;
nは、1〜100の整数であり;
Yは、無機アニオン又は有機アニオンであり;及び
Mは、無機カチオン又は有機カチオンであり;及び
但し、R、R’又はR"の内の少なくとも1つは、C3〜C20ヘテロアリール、又は少なくとも1つのLで置換されたC3〜C20ヘテロアリールである]の化合物。
【請求項2】
R、R’又はR"の内の少なくとも2つが、互いに独立して、C3〜C20ヘテロアリール、又は少なくとも1つのLで置換されたC3〜C20ヘテロアリールである、請求項1に記載の式Iの化合物。
【請求項3】
R、R’及びR"が同一であり;L、L’及びL"が同一であり;L1、L’1及びL"1が同一であり;L2、L’2及びL"2が同一であり;L3、L’3及びL"3が同一であり;L4、L’4及びL"4が同一であり、X、X’及びX"が同一である化合物、即ち、式Ia
【化3】

[式中、R、X、Y、L1、L2、L3及びL4は、請求項1で定義される]請求項1に記載の式Iの化合物。
【請求項4】
3及びL4が水素であり;L1、L2が、互いに独立して水素又はC1〜C4アルキルであり;
Lが、水素、R1、OR1、SR1、ハロゲン、NO2、CN、COOR1、OCOR1、OCOOR1、COOT又はCOTであり;
Xが、O、S、CRab、又は単結合であるが、XがOである場合、Rはピリジニルではなく;及び
1が、請求項1に定義される通りのTについて与えられる意味の内の1つを有する、請求項3に記載の式Iaの化合物。
【請求項5】
3〜C20ヘテロアリールとしてのR及びR’及びR"が、チエニル、ベンゾ[b]チエニル、ナフト[2,3−b]チエニル、チアントレニル、ジベンゾフリル、クロメニル、キサンテニル、チオキサンチル、フェノキサチイニル、ピロリル、イミダゾリル、ピラゾリル、ピラジニル、ピリミジニル、ピリダジニル、インドリジニル、イソインドリル、インドリル、インダゾリル、プリニル、キノリジニル、イソキノリル、キノリル、フタラジニル、ナフチリジニル、キノキサリニル、キナゾリニル、シンノリニル、プテリジニル、カルバゾリル、β−カルボリニル、フェナントリジニル、アクリジニル、ペリミジニル、フェナントロリニル、フェナジニル、イソチアゾリル、フェノチアジニル、イソオキサゾリル、フラザニル、フェノキサジニル、7−フェナントリル、アントラキノン−2−イル(=9,10−ジオキソ−9,10−ジヒドロアントラセン−2−イル)、3−ベンゾ[b]チエニル、5−ベンゾ[b]チエニル、2−ベンゾ[b]チエニル、4−ジベンゾフリル、4,7−ジベンゾフリル、4−メチル−7−ジベンゾフリル、2−キサンテニル、8−メチル−2−キサンテニル、3−キサンテニル、2−フェノキサチイニル、2,7−フェノキサチイニル、2−ピロリル、3−ピロリル、5−メチル−3−ピロリル、2−イミダゾリル、4−イミダゾリル、5−イミダゾリル、2−メチル−4−イミダゾリル、2−エチル−4−イミダゾリル、2−エチル−5−イミダゾリル、3−ピラゾリル、1−メチル−3−ピラゾリル、1−プロピル−4−ピラゾリル、2−ピラジニル、5,6−ジメチル−2−ピラジニル、2−インドリジニル、2−メチル−3−イソインドリル、2−メチル−1−イソインドリル、1−メチル−2−インドリル、1−メチル−3−インドリル、1,5−ジメチル−2−インドリル、1−メチル−3−インダゾリル、2,7−ジメチル−8−プリニル、2−メトキシ−7−メチル−8−プリニル、2−キノリジニル、3−イソキノリル、6−イソキノリル、7−イソキノリル、3−メトキシ−6−イソキノリル、2−キノリル、6−キノリル、7−キノリル、2−メトキシ−3−キノリル、2−メトキシ−6−キノリル、6−フタラジニル、7−フタラジニル、1−メトキシ−6−フタラジニル、1,4−ジメトキシ−6−フタラジニル、1,8−ナフチリジン−2−イル、2−キノキサリニル、6−キノキサリニル、2,3−ジメチル−6−キノキサリニル、2,3−ジメトキシ−6−キノキサリニル、2−キナゾリニル、7−キナゾリニル、2−ジメチルアミノ−6−キナゾリニル、3−シンノリニル、6−シンノリニル、7−シンノリニル、3−メトキシ−7−シンノリニル、2−プテリジニル、6−プテリジニル、7−プテリジニル、6,7−ジメトキシ−2−プテリジニル、2−カルバゾリル、3−カルバゾリル、9−メチル−2−カルバゾリル、9−メチル−3−カルバゾリル、β−カルボリン−3−イル、1−メチル−β−カルボリン−3−イル、1−メチル−β−カルボリン−6−イル、3−フェナントリジニル、2−アクリジニル、3−アクリジニル、2−ペリミジニル、1−メチル−5−ペリミジニル、5−フェナントロリニル、6−フェナントロリニル、1−フェナジニル、2−フェナジニル、3−イソチアゾリル、4−イソチアゾリル、5−イソチアゾリル、2−フェノチアジニル、3−フェノチアジニル、10−メチル−3−フェノチアジニル、3−イソオキサゾリル、4−イソオキサゾリル、5−イソオキサゾリル、4−メチル−3−フラザニル、2−フェノキサジニル、又は10−メチル−2−フェノキサジニルであり、
ここで前記C3〜C20ヘテロアリールの全ては、非置換であるか、或いは1つ以上のハロゲン、C1〜C4アルキル又はCOTで置換され;及び
この場合、前記C3〜C20ヘテロアリールは、アンヌレート化ベンゼン環を含み、対応するX、X’又はX"への結合は、前記アンヌレート化環上に位置しない、請求項1から4までのいずれか1項に記載の式I又はIaの化合物。
【請求項6】
3〜C20ヘテロアリールとしてのR及びR’及びR"が、チエニル、フリル、ベンゾ[b]チエニル、ナフト[2,3−b]チエニル、チアントレニル、ベンゾフリル、ジベンゾフリル、クロメニル、キサンテニル、チオキサンチル、フェノキサチイニル、7−フェナントリル、アントラキノン−2−イル(=9,10−ジオキソ−9,10−ジヒドロアントラセン−2−イル)、3−ベンゾ[b]チエニル、5−ベンゾ[b]チエニル、2−ベンゾ[b]チエニル、4−ジベンゾフリル、4,7−ジベンゾフリル、4−メチル−7−ジベンゾフリル、2−キサンテニル、8−メチル−2−キサンテニル、3−キサンテニル、2−フェノキサチイニル、2,7−フェノキサチイニルであり;
ここで前記C3〜C20ヘテロアリールの全ては、非置換であるか、或いは1つ以上のハロゲン、C1〜C4アルキル又はCOTで置換され;及び
この場合、前記C3〜C20ヘテロアリールは、アンヌレート化ベンゼン環を含み、対応するX、X’又はX"への結合は、前記アンヌレート化環上に位置しない、請求項1から5までのいずれか1項に記載の式I又はIaの化合物。
【請求項7】
3〜C20ヘテロアリールとしてのR及びR’及びR"が、チエニル又はフリルであり、その両方が、非置換であるか、或いは少なくとも1つのC1〜C4アルキル及び/又はCOTで置換される、請求項1から6までのいずれか1項に記載の式I又はIaの化合物。
【請求項8】
フリーデル−クラフツ触媒の存在下で、塩化チオニルと、式II
【化4】

の化合物、又は式II、II’及び/又はII"
【化5】

[式中、
R、R’、R"、X、X’、X"、L1、L’1、L"1、L2、L’2、L"2、L3、L’3、L"3、L4、L’4及びL"4は、請求項1に定義される通りである]の化合物の混合物を反応させ、その後場合によりアニオンYの交換により、式Iの化合物を製造する方法。
【請求項9】
(a1)カチオン的又は酸触媒的に重合性又は架橋性の化合物、又は、
(a2)酸の作用下での現像液におけるその溶解性を増大させる化合物;及び/又は
(ax)ラジカル重合性又は架橋性の化合物;及び
(b)請求項1に記載の式Iの少なくとも1つの化合物
を含む放射線感受性組成物。
【請求項10】
カチオン的又は酸触媒的に重合性又は架橋性の化合物の重合又は架橋における、又は酸の作用下で現像液におけるそれらの溶解性を増加させる化合物の溶解性を増加させるための光潜在性酸供与体としての請求項1に記載の式Iの化合物の使用。
【請求項11】
成分(a1)又は(a2)及び/又は(ax)及び(b)に加えて、更なる添加剤(c)及び/又は増感剤化合物(d)並びに場合により更なる光重合開始剤(e)を含む、請求項9に記載の放射線感受性組成物。
【請求項12】
着色表面コーティング及び非着色表面コーティング、接着剤、積層接着剤、構造用接着剤、感圧接着剤、印刷インク、印刷版、凸版印刷版、平版印刷版、凹版印刷版、方法レス印刷版、スクリーン印刷ステンシル、歯科組成物、カラーフィルタ、スペーサ、エレクトロルミネセンスディスプレイ及び液晶ディスプレイ(LCD)、導波管、光スイッチ、色校正刷系、レジスト、電子工学用フォトレジスト、電気メッキレジスト、液膜及び乾燥膜の両方のためのエッチングレジスト、ソルダレジスト、UV及び可視レーザ直接結像系用フォトレジスト材料、プリント回路基板の連続ビルドアップ層における誘電層の形成用フォトレジスト材料、カラーフィルタ、化学増幅レジスト材料、画像記録材料、ホログラフィック画像の記録用画像記録材料、光学情報ストレージ又はホログラフィックデータストレージ、脱色材料、画像記録材料用脱色材料、マイクロカプセルを使用する画像記録材料、磁気記録材料、マイクロ機械部品、メッキマスク、エッチマスク、ガラス繊維ケーブルコーティング、超小形電子回路の製造における放射線感受性酸供与体としての請求項1に記載の式Iの化合物の使用。
【請求項13】
請求項9に記載の組成物が少なくとも1つの表面上にコーティングされたコーティング基材。
【請求項14】
電磁放射線又は電子ビームの作用下でのカチオン的又は酸触媒的に重合性又は架橋性の化合物の光重合又は架橋のための方法であって、請求項1に記載の式Iの化合物が光潜在性酸供与体として使用される前記方法。
【請求項15】
着色表面コーティング及び非着色表面コーティング、接着剤、積層接着剤、構造用接着剤、感圧接着剤、印刷インク、印刷版、凸版印刷版、平版印刷版、凹版印刷版、方法レス印刷版、スクリーン印刷ステンシル、歯科組成物、カラーフィルタ、スペーサ、エレクトロルミネセンスディスプレイ及び液晶ディスプレイ(LCD)、導波管、光スイッチ、色校正刷系、レジスト、電子工学用フォトレジスト、電気メッキレジスト、液膜及び乾燥膜の両方のためのエッチングレジスト、ソルダレジスト、UV及び可視レーザ直接結像系用フォトレジスト材料、プリント回路基板の連続ビルドアップ層における誘電層の形成用フォトレジスト材料、カラーフィルタ、化学増幅レジスト材料、画像記録材料、ホログラフィック画像の記録用画像記録材料、光学情報ストレージ又はホログラフィックデータストレージ、脱色材料、画像記録材料用脱色材料、マイクロカプセルを使用する画像記録材料、磁気記録材料、マイクロ機械部品、メッキマスク、エッチマスク、ガラス繊維ケーブルコーティング、超小形電子回路の製造における請求項14に記載の方法。

【公表番号】特表2011−501744(P2011−501744A)
【公表日】平成23年1月13日(2011.1.13)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−528346(P2010−528346)
【出願日】平成20年9月22日(2008.9.22)
【国際出願番号】PCT/EP2008/062587
【国際公開番号】WO2009/047105
【国際公開日】平成21年4月16日(2009.4.16)
【出願人】(508020155)ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア (2,842)
【氏名又は名称原語表記】BASF SE
【住所又は居所原語表記】D−67056 Ludwigshafen, Germany
【Fターム(参考)】