ダイ供給機
【課題】 ウェハをダイシングしてなるダイ集合体からダイをピックアップして供給するダイ供給機の実用性を向上させる。
【解決手段】 ピックアップヘッドが有する複数のノズル被装着具に複数の吸着ノズルがそれぞれ装着されるダイ供給機に、それら複数の吸着ノズル４４を格納するノズル格納装置１００を設置する。そして、そのノズル格納装置を、それら複数の吸着ノズルが複数のノズル被装着具の相対位置関係と同じ相対位置関係で格納されるようにし、そのノズル格納装置に、ピックアップヘッドへの同時装着のためにそれら複数の吸着ノズルを同時に動作させるノズル作動機構１２０，１２２，１２４，１２６，１２８を設ける。複数の吸着ノズルを迅速に装着することができ、ヒップアップヘッドの構造の単純化，軽量化を図ることができる。
【解決手段】 ピックアップヘッドが有する複数のノズル被装着具に複数の吸着ノズルがそれぞれ装着されるダイ供給機に、それら複数の吸着ノズル４４を格納するノズル格納装置１００を設置する。そして、そのノズル格納装置を、それら複数の吸着ノズルが複数のノズル被装着具の相対位置関係と同じ相対位置関係で格納されるようにし、そのノズル格納装置に、ピックアップヘッドへの同時装着のためにそれら複数の吸着ノズルを同時に動作させるノズル作動機構１２０，１２２，１２４，１２６，１２８を設ける。複数の吸着ノズルを迅速に装着することができ、ヒップアップヘッドの構造の単純化，軽量化を図ることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハをダイシングしてなるダイ集合体からダイをピックアップして供給するダイ供給機に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイ集合体からダイをピックアップして供給するダイ供給機は、例えば、下記特許文献に記載されているようなものであり、ピックアップヘッドが有する吸着ノズルによってダイを吸着保持し、ピックアップヘッドを移動させて、その保持されたダイを所定の供給位置にて供給する。多くの場合、その供給されたダイは、部品装着機によって、基板に装着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ダイが装着されたダイ装着品の製造速度を向上させるには、ダイ供給機によるダイの供給速度（単位時間あたりに供給可能なダイの数）を向上させる必要があり、そのため、ピックアップヘッドに複数の吸着ノズルを装備させることも検討されている。その一方で、例えば、種々のサイズのダイに対応可能とするといった理由から、ダイ供給機には、吸着ノズルが交換可能であることが望まれている。したがって、複数の吸着ノズルを装備させる場合、複数のノズルを交換して装着することが要求される。この複数の吸着ノズルの装着の技術については、改良の余地が残されており、工夫を凝らすことにより、複数のノズルを備えたダイ供給機の実用性を向上させることが可能である。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高いダイ供給機を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明のダイ供給機は、ピックアップヘッドに装着される複数の吸着ノズルを格納する格納装置に、それら複数の吸着ノズルをピックアップヘッドに同時に装着するためにそれら複数の吸着ノズルを同時に動作させるノズル作動機構が設けられたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のダイ供給機によれば、ピックアップヘッドに複数の吸着ノズルを迅速に装着することが可能であり、また、その装着のために吸着ノズルを動作させる機構をピックアップヘッドに設ける必要がないため、ヒップアップヘッドの構造の単純化，軽量化を図ることができる。そのような利点を有することで、本発明のダイ供給機は、実用性の高いものとなる。
【発明の態様】
【０００７】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から何某かの構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【０００８】
なお、以下の各項において、（１）項が請求項１に、（２）項が請求項２に、（５）項ないし（９）項が請求項３ないし請求項７に、それぞれ相当する。
【０００９】
（１）ウェハをダイシングしてなるダイ集合体からダイをピックアップして供給するダイ供給機であって、
ダイ集合体を保持するダイ集合体保持装置と、
それぞれがダイを吸着保持する複数の吸着ノズルをそれぞれ装着可能な複数のノズル被装着具と、それら複数のノズル被装着具を昇降させることでそれら複数のノズル被装着具に装着された複数の吸着ノズルを昇降させるノズル昇降機構とを有し、前記ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体からダイをピックアップするためのピックアップヘッドと、
そのピックアップヘッドを、ダイのピックアップおよびピックアップされたダイの所定の供給位置における供給のために移動させるヘッド移動装置と、
前記複数の吸着ノズルを、前記複数のノズル被装着具の相対位置関係と同じ相対位置関係で格納するように構成されており、かつ、格納されたそれら複数の吸着ノズルを前記複数のノズル被装着具に同時に装着するためにそれら複数の吸着ノズルを同時に動作させるノズル作動機構を有するノズル格納装置と
を備えたダイ供給機。
【００１０】
本項の態様のダイ供給機によれば、ノズル格納装置に格納された複数の吸着ノズルの相対位置関係と複数のノズル被装着具の相対位置関係とが等しくされている。つまり、複数の吸着ノズルの相対位置関係が、それら複数の吸着ノズルがピックアップヘッドに装着されている場合と、ノズル格納装置に格納されている場合とで、等しくされている。そのため、複数の吸着ノズルの装着に際し、ヘッド移動装置，ノズル昇降機構を利用するだけで、ノズル格納装置に格納された複数の吸着ノズルを、同時に、複数のノズル被装着具に対して係合状態とする若しくは係合する寸前の状態とすることができる。吸着ノズルの装着の際、係合状態とされた吸着ノズルをノズル被装着具に固定等する必要があるが、本項の態様のダイ供給機では、その固定等のために行われる吸着ノズルの動作、詳しくは、ノズル被吸着具に対する相対動作を複数の吸着ノズルについて同時に行わせる機構として、上記ノズル作動機構が設けられている。したがって、本項の態様のダイ供給機によれば、迅速に、複数の吸着ノズルを、自動で、かつ、迅速に、ピックアップヘッドに装着させることが可能である。また、本項の態様のダイ供給機では、上記ノズル作動機構が、ノズル格納装置に設けられているため、その機構をピックアップヘッドに設ける必要がなく、ピックアップヘッドの構造の単純化，軽量化が図られることとなる。そのような利点を有することで、本項の態様のダイ供給機は、実用性の高いものとなる。
【００１１】
本項の態様におけるノズル作動機構によってなされる吸着ノズルの動作は、上記ヘッド移動装置およびノズル昇降機構によっては行い得ない吸着ノズルとノズル被装着具との相対動作であることが望ましい。そのような動作である場合に、上記ノズル作動機構をノズル格納装置に設けたことによる利点を、充分に享受できることとなる。なお、そのような動作には、例えば、先に説明したように吸着ノズルのノズル被装着具に固定等するための動作が該当し、具体的には、吸着ノズルをそれの軸線回りに回転させる動作，吸着ノズルを何らかの回動軸線回りに回動させるような動作が含まれる。
【００１２】
本項の態様における「ヘッド移動装置」は、例えば、ピックアップヘッドを、ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体に平行な一直線に沿って移動させるものや、そのダイ集合体に平行な一平面に沿って移動させるものが含まれる。つまり、一次元的に移動させるものや、二次元的に移動させるものが含まれる。さらに、ピックアップヘッドを、ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体に直角な方向にも移動可能なものであってもよい。その場合、ヘッド移動装置は、「ノズル昇降機構」を兼ねるものとされていてもよいのである。
【００１３】
（２）前記ノズル格納装置が、前記複数の吸着ノズルをそれぞれ保持する複数のノズル保持具を有して、それら複数のノズル保持具がそれら複数の吸着ノズルを保持した状態で、それら複数の吸着ノズルを格納するように構成されており、
前記ノズル作動機構が、それら複数のノズル保持具を同期して動作させることで、それら複数のノズル保持具に保持された前記複数の吸着ノズルを同時に動作させるように構成された(1)項に記載のダイ供給機。
【００１４】
本項の態様は、上記ノズル作動機構の構造に関して限定を加えた態様である。ノズル保持具を動作させて吸着ノズルを動作させれば、ノズル格納装置に格納された吸着ノズルを簡便に動作させることができる。
【００１５】
（３）前記ノズル格納装置が、前記複数のノズル保持具を複数セット有して、複数の吸着ノズルを複数セット格納するように構成された(2)項に記載のダイ供給機。
【００１６】
本項の態様のダイ供給機によれば、ノズル格納装置は、同時に装着可能な複数の吸着ノズルを複数セット格納することができ、例えば、セットごとにサイズ，能力等の異なる複数の吸着ノズルを格納させれば、それらを交換してピックアップヘッドに装着することにより、当該ダイ供給機の汎用性，利便性が向上することになる。
【００１７】
（４）前記ノズル作動機構が、各セットの前記複数のノズル保持具を同期して動作させるように構成された(3)項に記載のダイ供給機。
【００１８】
本項の態様によれば、どのセットの複数の吸着ノズルも同期して動作させられる。したがって、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置であっても、ノズル作動機構の構造を比較的単純なものとすることが可能である。
【００１９】
（５）前記ノズル作動機構が、１つのアクチュエータを有し、そのアクチュエータによって前記複数のノズル保持具を同期して動作させるように構成された(2)項ないし(4)項のいずれか１つに記載のダイ供給機。
【００２０】
本項の態様のダイ供給装置では、ノズル作動機構に単一のアクチュエータしか必要としないことから、当該ノズル作動機構、ひいては、当該ダイ供給機のコスト、特に、ノズル作動機構のコストを低く抑えることが可能となる。「アクチュエータ」は、特に限定されるものではなく、例えば、電磁モータ，ソレノイドのような電磁力によって作動するようなものであってもよく、エアシリンダ，油圧シリンダのような流体圧によって作動するようなものであってもよい。なお、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置である場合、複数のノズル保持具のセットごとに１つのアクチュエータを有するように構成してもよいが、上記コストの観点からすれば、いずれのセットの複数のノズル保持具も、１つのアクチュエータで同期して動作するように構成することが望ましい。
【００２１】
（６）前記ノズル作動機構が、前記アクチュエータによって動作させられる１つの駆動部材と、その駆動部材と係合してその駆動部材によって駆動される被駆動部材と、その被駆動部材の動作を前記複数のノズル保持具の動作に変換する動作変換機構とを有する(5)項に記載のダイ供給機。
【００２２】
本項の態様によれば、ノズル作動機構がアクチュエータを１つしか有しない構造のものであったとしても、簡便に、そのアクチュエータの力によって、複数の吸着ノズルを同期して動作させることが可能である。「駆動部材」と「被駆動部材」の組み合わせは具体的に限定されるものではない。例えば、後の項によって限定されるラック，ピニオンを始めウォームとウォームホイール、互いに噛合する各種のギヤどうし、カムとカムフォロアといった機械的に直接係合するものや、間接的に係合するもの、例えば、駆動部材の動作が流体圧，磁力等によって被駆動部材の動作に変換されるようなもの等、種々の組み合わせを採用することが可能である。また、同様に、「動作変換機構」も種々の構造のものを採用することが可能である。なお、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置の場合、複数のノズル保持具のセットに対応して複数の被駆動部材を有し、それら複数の被駆動部材が、１つの駆動部材と係合してその駆動部材によって駆動されるように構成することが可能である。
【００２３】
（７）前記ノズル格納装置が、
前記複数のノズル保持具と、前記被駆動部材と、前記動作変換機構とがユニット化されたノズル収容ユニットを含んで構成され、
そのノズル収容ユニットが、別のノズル収容ユニットと交換可能とされた(6)項に記載のダイ供給機。
【００２４】
本項の態様によれば、ノズル収容ユニットを構成の異なるノズル収容ユニットと交換することができる。例えば、ノズル保持具のサイズ，配置数，配置態様等において異なるノズル収容ユニットと交換可能とすることで、交換可能な吸着ノズルのバリエーションを、当該ダイ供給機の使用態様等に応じて、種々に変更することが可能となり、当該ダイ供給機の利便性，汎用性が向上する。特に、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置の場合、セット数，内容において異なる別のノズル収容ユニットと交換可能とすることで、上記利便性，汎用性は、さらに向上することとなる。また、本項の態様によれば、ノズル収容ユニットが、アクチュエータ、つまり、ノズル作動機構の駆動源を含んでいないことから、交換可能とされた各ノズル収容ユニット自体の低コスト化を図ることが可能となる。
【００２５】
（８）前記駆動部材がラックであり、前記被駆動部材がそのラックと噛合するピニオンである(6)項または(7)項に記載のダイ供給機。
【００２６】
本項の態様では、駆動部材，被駆動部材がラック，ピニオンに限定されている。ラック＆ピニオン機構は、比較的簡素な機構であり、その機構を採用すれば、比較的構造の簡素なノズル作動機構を実現させることが可能となる。また、ラックとピニオンは、容易に互いを噛合させることおよび噛合を解除することが可能であり、それらを分離して上記ノズル収容ユニットを構築する場合においても便利である。複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置の場合、例えば、セットごとに対応する複数のピニオンが１つのラックとそれの軸線方向における任意の箇所において噛合するように構成すればよく、ラックの軸線方向におけるセットごとの複数のノズル保持具の配置の自由度が高いものとなる。そのことは、セット数，内容において異なる別のノズル収容ユニットに交換可能とされたノズル格納装置の場合、特に、大きな利点となる。
【００２７】
（９）前記複数の吸着ノズルの各々が、前記複数のノズル被装着具のうちの対応するものに対して自身の軸線回りに回転動作させられることによりそのものに装着されるように構成されており、
前記ノズル作動機構が、前記複数のノズル保持具を、それらの各々によって保持された複数の吸着ノズルの各々の軸線回りに同期して回転させるよう構成された(2)項ないし(8)項のいずれか１つに記載のダイ供給機。
【００２８】
本項の態様は、後に例示するような場合、つまり、吸着ノズルの装着に際し、吸着ノズルをノズル被装着具に対して回転させることで、掛合ピンがスロット内を移動させられて吸着ノズルがノズル被装着具に固定されるような場合に、便利な態様である。一般に、ダイ供給機のピックアップヘッドには、吸着ノズルをそれの軸線回りに回転させるための機構が設けられていない。吸着ノズルを回転させてノズル被装着具に固定させるような機構を採用する場合であっても、本項の態様によれば、ピックアップヘッドに吸着ノズルを回転させる機構を搭載する必要がないため、ピックアップヘッドの構造の簡素化，軽量化が図れるのである。なお、螺子機構を採用して吸着ノズルをノズル被装着具に捻じ込んで固定するような場合においても、本項の態様は便利な態様となる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】請求可能発明の実施例であるダイ供給機を示す全体斜視図である。
【図２】ダイ供給機を構成するダイ集合体保持装置を示す斜視図である。
【図３】ダイ供給機を構成するピックアップヘッドを示す斜視図である。
【図４】ピックアップヘッドに装着される吸着ノズルを示す斜視図である。
【図５】ピックアップヘッドのノズルホルダに吸着ノズルが装着された状態を示す斜視図である。
【図６】ピックアップヘッドが有するノズル昇降機構の作動を説明するための模式図である。
【図７】ダイ供給機を構成するノズルストッカを示す斜視図である。
【図８】ノズルストッカを別の視点において示す斜視図である。
【図９】ノズルストッカの内部の一部分を拡大して示す斜視図である。
【図１０】ノズルストッカのノズル作動機構を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、請求可能発明を実施するための形態として、請求可能発明の実施例であるダイ供給機を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された形態を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の形態で実施することができる。
【実施例】
【００３１】
≪ダイ供給機の全体構成≫
図１に斜視図を示すダイ供給機は、ウェハにダイシングシートを貼着したものをダイシングしてなるダイ集合体ＤＳから、ダイシングによって得られた複数のダイＤの各々を供給するための機械である。ちなみに、ダイシングシートは、可撓性を有し、ダイ集合体ＤＳの裏面に貼着されており、ダイ集合体ＤＳは、各ダイＤをそのダイシングシートから剥がし易くするために、そのダイシングシートが張り広げられた状態とされている。なお、ダイ集合体ＤＳは、単に「ウェハ」と呼ばれることもあり、また、ダイＤは、「チップ」と呼ばれることもある。
【００３２】
図に示すように、本ダイ供給機は、大まかには、当該ダイ供給機の基体として機能するメインフレーム１０と、メインフレーム１０に併設されて複数のダイ集合体ＤＳを収容するダイ集合体スタッカ１２と、メインフレーム１０上に配設されて１つのダイ集合体ＤＳを固定的に保持するダイ集合体保持装置１４と、ダイ集合体保持装置１４によって固定保持されたダイ集合体ＤＳからダイをピックアップするピックアップヘッド１６と、ピックアップヘッド１６をダイ集合体保持装置１４によって固定保持されたダイ集合体ＤＳに平行な一平面に沿って移動させるヘッド移動装置１８とを含んで構成されている。なお、当該ダイ供給機は、図における右手前が前側，左手前が左側であり、以下の説明において、方向を表す場合に、当該ダイ供給機の前後，左右，上下に関連して、前後方向（Ｘ方向），左右方向（Ｙ方向），上下方向（Ｚ方向）という場合がある。
【００３３】
ダイ集合体スタッカ１２は、ダイ集合体収容装置として機能するものであり、昇降テーブル２２と、昇降テーブル２２上に配設されたラック２４（詳しい構造の図示は省略）とを有しており、複数のダイ集合体Ｄが、そのラック２４に、あたかも積み重ねられるようにして収容される。ラック２４からは、複数のダイ集合体ＤＳのいずれをも独立して引き出し可能とされており、昇降テーブル２２の昇降によって所定の高さ位置に位置させられた１のダイ集合体ＤＳが、引き出される（詳しくは後述する）。つまり、ダイ集合体スタッカ１２は、いわゆるマガジンタイプの収容装置とされているのである。
【００３４】
ダイ集合体保持装置１４は、図２に示すように、メインフレーム１０上に固定されてＸ方向に延びる１対のガイドレール２６と、それら１対のガイドレール２６にガイドされてＸ方向に移動可能な保持フレーム２８と、その保持フレーム２８をＸ方向に移動させるフレーム移動機構３０と、ダイ集合体ＤＳを左右両側において押え付けるようにして保持フレーム２８に固定するためのダイ集合体固定機構３２とを含んで構成されている。図では、保持フレーム２８が、ダイ供給機２４の前方側寄りに位置させられており、その位置は、保持されたダイ集合体ＤＳからダイＤがピックアップされる際に位置させられる位置（作業位置）である。
【００３５】
ピックアップヘッド１６は、図３に示すように、基体３４と、４つのロッド３６と、基体３４に支持されて４つのロッド３６をそれらの各々の軸線方向（図では上下方向）に移動可能に保持するロッド保持体３８と、それらロッド３６を昇降させるロッド昇降機構４０とを含んで構成されている。４つのロッド３６の各々の下端部には、ノズル被装着具としてのスリーブ４２が付設されており、そのスリーブ４２には、図４に拡大して示す吸着ノズル４４が、図５に示すように装着される。つまり、ピックアップヘッド１６は、４つまでの吸着ノズル４４を装着可能とされているのである。
【００３６】
吸着ノズル４４は、主筒４６と、主筒４６から張り出すようにして設けられたフランジ４８と、主筒４６の下端部において主筒４６に対して進退可能に保持された可動筒５０と、可動筒５０の下端に形成されて先端がノズル口として機能する先端筒５２とを含んで構成されている。可動筒５０は、スプリング５４によって、先端に向かって付勢されている。吸着ノズル４４の内部には、図示しない負圧源に接続されるとともにノズル口に至る負圧路が形成されており、その負圧路を介して、ノズル口に負圧が供給される（「負圧路が減圧される」という意味である）。この負圧の作用によって、吸着ノズル４４は、先端部において、ダイＤを吸着保持する。
【００３７】
吸着ノズル４４のスリーブ４２への装着に関して説明すれば、スリーブ４２の内径は、吸着ノズル４４の主筒４６の外径より僅かに大きくされており、吸着ノズル４４は、主筒４６がスリーブ４２に嵌め入れられるようにして装着される。吸着ノズル４４は、主筒４６からそれの径方向に延び出す１対の掛合ピン５６を有し、一方で、スリーブ４２には、それら１対の掛合ピン５６に対応して、１対の概してＪ字状のスロット５８が形成されている。詳しく言えば、各スロット５８は、一端が当該スリーブ４２下端に開口するとともに当該スリーブ４２の軸線方向（吸着ノズル４４の軸線方向）に延びる部分（以下、「軸線方向部」と言う場合がある）と、その部分と連続して当該スリーブ４２の周方向に延びる部分（以下、「周方向部」と呼ぶ場合がある）とからなり、周方向部の止端部（以下、単に「止端部」という場合がある）は、それ以外の部分より若干下方に曲げられている。また、スリーブ４２の下部には、スプリング６０によって下方に向かって付勢されたリテーナリング６２が設けられている。
【００３８】
吸着ノズル４４を装着する場合には、吸着ノズル４４の各掛合ピン５６がスリーブ４２の各スロット５８の軸線方向部に沿って移動するように、吸着ノズル４４の主筒４６をスリーブ４２に嵌入させ、次いで、吸着ノズル４４がスリーブ４２の奥にまで入った状態で、各掛合ピン５６が各スロット５８の周方向部に沿って移動するように、吸着ノズル４４をそれの軸線回りに回転させる。止端部に各掛合ピン５６が嵌り込んだ状態において、スプリング６０の付勢力によってリテーナリング６２が各掛合ピン５６を下方に押し付けることで、吸着ノズル４４がスリーブ４２に固定される。吸着ノズル４４をスリーブ４２から離脱させる場合には、吸着ノズル４４を、逆方向に回転させた後、軸線方向にスリーブ４４から抜き出せばよい。
【００３９】
吸着ノズル４４は、ダイＤを吸着保持する際に、昇降させられる。吸着ノズル４４の昇降は、ロッド昇降機構４０がロッド３６を昇降させることによって行われる。つまり、ロッド昇降機構４０は、吸着ノズル４４を昇降させるノズル昇降機構として機能する。図３を参照しつつロッド昇降機構４０について詳しく説明すれば、ロッド昇降機構４０は、ロッド３６に係合する複数のレバー６４を有するレバーブロック６６と、レバーブロック６６を回転させかつ昇降させるレバーブロック作動機構６８とを含んで構成されている。上方からの視点において模式的に示す図６から解るように、レバーブロック６６は、５つのレバー６４を有している。それら５つのレバー６４のうちの４つのレバー６４ａは、９０°ピッチで配置されており、残る１つのレバー６４ｂは、４つのレバー６４ａのうちの２つのものの間に、それら２つのものに対して４５°ズレた位置に配置されている。
【００４０】
レバーブロック作動機構６８は、レバーブロック６６を支持する支持軸７０を有しており、その支持軸７０をそれの軸線回りに回転させることで、レバーブロック６６を回転させる機能を有している。図６（ａ）は、レバー６４ｂが４つのロッド３６のうちの１つの真上に位置する状態、つまり、１ロッド係合可能状態である。この状態では、４つのレバー６４ａは、いずれもが、４つのロッド３６のいずれの上方にも位置しない。一方、図６（ｂ）は、４つのレバー６４ａがそれぞれ４つのロッド３６の真上に位置する状態、つまり、４ロッド係合可能状態である。この状態では、残る１つのレバー６４ｂは、４つのロッド３６のいずれの上方にも位置しない。レバーブロック作動機構６８は、それら２つの状態のいずれかとなるように、レバーブロック６６を回転させる。
【００４１】
また、レバーブロック作動機構６８は、支持軸７０を昇降させることによってレバーブロック６６を昇降させる機能をも有している。上記１ロッド係合可能状態において、レバーブロック６６を下降させることによって、４つのロッド３６のうちの係合可能とされた１つを押し下げ、そのロッド３６に付設されたスリーブ４２に装着されている吸着ノズル４４が下降させられる。つまり、レバーブロック６６の回転位置に応じた１つの吸着ノズル４４が下降させられる。一方、上記４ロッド係合可能状態において、レバーブロック６６を下降させることによって、４つのロッドの各々に付設されたスリーブ４２に装着されている吸着ノズル４４が、つまり、４つの吸着ノズル４４が下降させられる。下降させられたレバーブロック６６を上昇させることで、レバー６４が係合している１つのロッド３６若しくは４つのロッド３６は、４つのロッドに対応して設けられた４つのスプリング７２のうちの１つ若しくはそれらの全部の弾撥力によって上昇させられ、下降させられていた４つの吸着ノズル４４のうちの１つ若しくは４つが、上昇させられる。このように、ロッド昇降機構４０は、４つの吸着ノズル４４を同時に、若しくは、４つの吸着ノズル４４のうちの任意に選択された１つを昇降させる機能を有しているのである。
【００４２】
ピックアップヘッド１６は、吸着ノズル４４の上下を逆さまにする機構であるノズル反転機構７４を有している。図３に示すように、ロッド保持体３８は、左右に延びる姿勢で基体３４に付設された支持軸７６によって、回転可能に支持されており、ロッド保持体３８の側面に付設されたピニオン７８をそれと噛合するラック８０によって回転させることで、反転させられる（図３の太矢印が示す動作を行う）。この反転により、ロッド３６に付設されたスリーブ４２に装着された吸着ノズル４４が、反転させられるのである。詳しく言えば、ロッド３６の下端部においてノズル口が下に向いた姿勢で装着されている吸着ノズル４４が、ノズル口が上を向くような姿勢に変更されるのである。ダイ集合体ＤＳからピックアップされたダイＤは、このノズル反転機構によって反転させられた状態で供給される。
【００４３】
ピックアップヘッド１６を移動させるヘッド移動装置１８は、図１から解るように、ＸＹロボット型の移動装置である。ヘッド移動装置１８は、ピックアップヘッド１６を支持するスライドベース８２と、Ｙ方向に延びる姿勢で配置されてスライドベース８２をＹ方向に移動可能に支持するビーム８４と、Ｘ方向に延びる姿勢でメインフレーム１０に固定されてビーム８４をＸ方向に移動可能に支持する１対のガイド部材８６と、スライドベース８２をＹ方向に移動させるＹ方向移動機構８８と、ビーム８４をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構（図では隠れて見えない）とを含んで構成されている。ヘッド移動装置１８は、スライドベース８２が支持するピックアップヘッド１６を、ダイ集合体保持装置１４によって保持されたダイ集合体ＤＳの表面に平行な平面に沿って移動させることができ、ダイ集合体ＤＳからのダイＤのピックアップの際、および、ピックアップされたダイＤの供給の際等に、ピックアップヘッド１６を、任意の位置若しくは設定された位置に移動させる。
【００４４】
スライドベース８２には、ダイ集合体保持装置１４によって保持されたダイ集合体ＤＳの表面（上面）を撮像可能な撮像装置としてのダイカメラ９０が固定されており、ヘッド移動装置１８は、そのカメラ９０をも、ピックアップヘッド１６と共に移動させる。また、ビーム８４の背面側には、ダイ集合体スタッカ１２のラック２４からダイ集合体保持装置１４の保持フレーム２８へのダイ集合体ＤＳの引き出しの際、および、ダイＤがピックアップされた後のダイ集合体ＤＳ（厳密には、ダイ集合体とは呼べなくなっている）の保持フレーム２８からラック２４への収容の際に下降させられて、ダイ集合体ＤＳを把持するダイ集合体クランプ９２が設けられており、ヘッド移動装置１８、詳しくはそれのＸ方向移動機構は、そのクランプ９２をもＸ方向に移動させる機能を有している。
【００４５】
図１では、ダイ集合体ＤＳによって隠れて見えないが、ダイ集合体保持装置１４の下方には、ダイ突上装置が配設されている。このダイ突上装置は、突上具と、その突上具を上昇させる突上具昇降機構と、その突上具をダイ集合体ＤＳに沿った一平面内において移動させる突上具移動機構とを含んで構成されている。ダイ突上装置は、ダイＤのピックアップの際、そのピックアップを円滑に行うための補助装置である。ピックアップされるダイＤの下方に突上具が位置させられ、その位置において突上具が上昇させられることで、そのダイＤが、ダイシングシートを介して、突上具によって突上げられる、つまり、持ち上げられる。
【００４６】
≪ダイ供給機の基本的動作≫
以下に、ダイＤのピックアップおよび供給を行う場合におけるダイ供給機の動作を説明する。まず、ダイ集合体スタッカ１２のラック２４に収容されているダイ集合体ＤＳの１つが、ダイ集合体保持装置１４の保持フレーム２８に載置される。このとき、保持フレーム２８は、フレーム移動機構３０によって、ヘッド移動装置１８のビーム８４の下方を通過させられて、ダイ集合体スタッカ１２に近い位置、つまり、後方側の位置に位置させられる。一方で、ダイ集合体スタッカ１２の昇降テーブルによって、載置されるダイ集合体ＤＳが、上下方向における所定の引出可能位置に位置させられる。ビーム８４がヘッド移動装置１８のＸ方向移動機構によって後方側に移動させられ、ダイ集合体クランプ９２によって、載置されるダイ集合体ＤＳが把持される。次いで、ビーム８４がＸ方向移動機構によって前方側に移動させられ、把持されたダイ集合体ＤＳが、保持フレーム２８に載置される。載置されたダイ集合体ＤＳは、ダイ集合体固定機構３２によって保持フレーム２８に固定され、その状態で、フレーム移動機構３０によって保持フレーム２８が、前方側に移動させられて、所定の作業位置に位置させられる。
【００４７】
次いで、ダイカメラ９０が、ヘッド移動装置１８によって、ピックアップされるダイＤの上方に位置させられ、その位置において、そのダイＤが撮像される。ダイＤの撮像によって得られた撮像データに基づいて、ダイＤのＸ方向およびＹ方向の正確な位置が特定される。後に説明するが、４つの吸着ノズル４４によって、４つのダイＤが吸着保持されるため、ダイＤの撮像および撮像データに基づく位置の特定の処理は、一度に、４つのダイＤについて行われる。
【００４８】
１つのダイＤの上記特定された位置の上方に１つの吸着ノズル４４が位置する位置に、ヘッド移動装置１８によって、ピックアップヘッド１６が移動させられる。その位置において、その１つの吸着ノズル４４のみが、ロッド昇降機構４０によって下降させられ、その吸着ノズル４４のノズル口がその１つのダイに接触した時点で、その吸着ノズル４４に負圧が供給されて、その１つのダイＤがその吸着ノズル４４によって吸着される。そのダイＤを吸着保持した後、その吸着ノズル４４が、ロッド昇降機構４０によって上昇させられ、そのダイＤのピックアップが完了する。なお、ピックアップの際には、吸着ノズル４４の上昇に伴って、ピックアップされるダイＤに対して、上記ダイ突上装置による突上が行われる。このようなピックアップ動作が、４つの吸着ノズル４４の各々について、つまり、４つのダイＤの各々について、順次行われ、４つのダイＤについてピップアップが完了する。
【００４９】
４つのダイＤのピックアップが完了した後、ピックアップヘッド１６は、ヘッド移動装置１８によって、所定の供給位置に移動させられ、その位置に位置する状態で、上記ノズル反転機構によって、４つの吸着ノズル４４が反転させられる。これにより、４つの吸着ノズル４４にそれぞれ吸着保持されている４つのダイＤは、裏返しの姿勢で、それぞれについての所定の供給位置において供給される。供給された４つのダイＤは、その姿勢のまま、部品装着機の装着ヘッドの部品保持デバイスによって保持されて、基板への装着に供される。つまり、４つの吸着ノズル４４から、部品装着機の部品保持デバイスに受け渡されるようにして供給されるのである。この受け渡しの際、各吸着ノズル４４に供給されていた負圧は解除される。
【００５０】
上記一連の動作が、１つのダイ集合体ＤＳに対して繰り返され、そのダイ集合体ＤＳのダイＤが無くなった場合に、そのダイ集合体ＤＳが、上記動作の逆の動作によって、ダイ集合体ストッカ１２に戻される。そして、別の新たなダイ集合体ＤＳが、上記動作によって、ダイ集合体保持装置１４に保持され、そのダイ集合体ＤＳからのダイＤの供給が行われる。
【００５１】
上述したダイＤのピックアップおよび供給のための動作は、ピックアップヘッド１６に吸着ノズル４４が４つ装着されている場合の動作である。本ダイ供給機は、必ずしも４つの吸着ノズル４４を装着しなければならない訳ではない。例えば、ダイＤのサイズが大きい場合には、大きな吸着ノズル４４を装着させる必要があり、その場合には、例えば吸着ノズル４４のフランジ４８の外径とピックアップヘッド１６が有する４つのロッド３６相互の間隔との関係で、４つの吸着ノズル４４を装着できない場合がある。その場合には、対角位置に存在する２つのロッド３６だけに、２つの吸着ノズル４４を装着したり、また、いずれか１つにだけ、吸着ノズル４４を装着したりして、ピックアップおよび供給のための動作を行うことが可能とされている。なお、その場合には、１度のピックアップ動作は、２つダイＤ若しくは１つのダイＤごとに行われることになる。
【００５２】
≪吸着ノズルの交換のための構成≫
吸着ノズル４４は、供給されるダイＤのサイズ等に応じて適切なものを使用するのが望ましく、そのため、本ダイ供給機は、吸着ノズル４４を、自動で交換するように構成されている。つまり、ピックアップヘッド１６に装着されている吸着ノズル４４を自動で離脱させ、別の吸着ヘッド４４を自動で装着可能とされているのである。その場合、複数の吸着ノズル４４がピックアップヘッド１６に装着されているときに、それら複数の吸着ノズル４４を同時に離脱させ、別の複数の吸着ノズル４４を同時に装着することも可能とされている。以下に、吸着ノズル４４の自動交換を可能とするための構成について説明する。
【００５３】
本ダイ供給機は、ノズル格納装置として機能するノズルストッカ１００を備えている。ノズルストッカ１００は、図１および図２から解るように、上記作業位置に位置する場合のダイ集合体保持装置１４の保持フレーム２８と、ダイ集合体スタッカ１２との間の箇所において、メインフレーム１０上に配設されている。図７，図８に示すように、ノズルストッカ１００は、基台１０２と、基台１０２に取り付けられたノズル収容ユニット１０４と、基台１０２を昇降させる基台昇降機構１０６とを含んで構成されている（図７では、基台昇降機構１０４は省略されており、図８では、ノズル収容ユニット１０４については内部構造の一部のみが示されている）。
【００５４】
内部構造の一部分を示す図９をも参照しつつ説明すれば、ノズル収容ユニット１０４は、ユニットベース１０８と、そのユニットベース１０８に回転可能に支持された複数のノズル収容具１１０と、ユニットベース１０８にスライド可能に支持されるとともに複数のノズル収容具１１０を覆うカバー１１２とを含んで構成されている（図８では，ユニットベース１０８，カバー１１２は省略されている）。ノズル収容具１１０は、筒状をなしてノズル保持具として機能する収容筒１１４を有しており、吸着ノズル４４のフランジ４８がその収容筒１１４の上端部に載せ置かれるようにして、その吸着ノズル４４を収容する。収容筒１１４の上端部には、係止ピン１１６が突出して設けられており、その係止ピン１１６が、吸着ノズル４４のフランジ４８の外周端に設けられた複数のノッチ１１８（図４，図５参照）のうちの１つに嵌り込む状態で、かつ、吸着ノズル４４の軸線とノズル収容具１１０の軸線とが一致させられた状態で、吸着ノズル４４が収容される。なお、図９では、１つのノズル収容具１１０の収容筒１１４は省略されている。ちなみに、係止ピン１１６およびそれが嵌るノッチ１１８は、収容された状態における吸着ノズル４４のノズル収容具１１０に対する回転位置規定手段として、また、後に説明するように、ノズル収容具１１０の回転によって吸着ノズル４４を回転させるための回転力伝達手段として機能する。
【００５５】
ノズル収容ユニット１０４には、１２のノズル収容具１１０が配設されている。詳しく説明すれば、当該ダイ供給機の左側から右側に向かって（図７では、右側から左側に向かって）、１つのセットをなす比較的外径の小さな４つのノズル収容具１１０，別の１つのセットをなす比較的外径の小さな４つのノズル収容具１１０，比較的大きな外径をなす４つのノズル収容具１１０が、順に並んでいる。左側のセット，中央のセットのそれぞれの４つのノズル収容具１１０は、左右に２列，前後に２列、詳しくは、上方から見て、四角形の４つの頂点の位置に配置されている。それに対し、右側の４つのノズル収容具１１０は、左右方向に１列に配置されている。つまり、本ノズル収容ユニット１０４には、４つの吸着ノズル４４からなる吸着ノズルのセットを２セット収容可能とされている。言い換えれば、ノズルストッカ１００は、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能とされているのである。
【００５６】
左側のセット，中央のセットそれぞれの４つのノズル収容具１１０の各々の中心軸線の相対位置関係は、ピックアップヘッド１６の４つのスリーブ４２の各々の中心軸線の相対位置関係と一致させられている。つまり、４つの吸着ノズル４４がピックアップヘッド１６に装着されている場合のそれら吸着ノズル４４の相対位置関係と、ノズルストッカ１００に格納されている場合のそれら吸着ノズル４４の相対位置関係とが、等しくされているのである。なお、中央のセットの４つのノズル収容具１１０は、ピックアップヘッド１６に現に装着されている４つの吸着ノズル４４のためのノズル収容具１１０であるため、図では、それら４つのノズル収容具１１０は、それらのいずれにも吸着ノズル４４は収容されておらず、空とされている。
【００５７】
各ノズル収容具１１０は、収容筒１１４の下方においてそれと一体的かつ同軸的に付設されたギヤ１２０を有している。一方、基台１０２には、ラック１２２が、左右に延びる姿勢で、かつ、それの軸線方向に移動可能に配設されている。図１０にも示すように、上記右側の４つのノズル収容具１１０のギヤ１２０は、そのラック１２２と噛合しており、上記左側，中央の各々のセットの４つのノズル収容具の各々のギヤ１２０は、ユニットベース１０８に互いが一体的に回転するように支持された２つのギヤ１２４，１２６を介して、ラック１２２に連結されている。詳しく言えば、４つのノズル収容具の各々のギヤ１２０がユニットベース１０８の上方に位置させられているギヤ１２４に、ギヤ１２６がラック１２２に、それぞれ噛合している。つまり、ラック１２２と噛合するギヤ１２０，ギヤ１２６が、ピニオンとして機能する。基台１０２には、アクチュエータ１２８が固定されており、このアクチュエータ１２８によって、ラック１２２が、それの軸線方向に所定量往復動作するようにされている。このラック１２２の往復動作に伴って、各ノズル収容具１１０は、それによって保持された吸着ノズル４４の軸線回りに、同期して所定角度回転する。ちなみに、吸着ノズル４４の主筒４６に形成されたスロット５８の周方向部の長さは、その所定角度に対応している。
【００５８】
以上のような構造から、ノズルストッカ１００は、ノズル作動機構、詳しく言えば、それぞれがノズル保持具として機能する複数の収容筒１１４を、１つのアクチュエータ１２８によって同期して回転動作させることで、それら複数の収容筒１１４にそれぞれ保持された複数の吸着ノズル４４を同時に動作させる機構を有しているのである。さらに、左側のセット，中央のセットの４つのノズル収容具１１０に関して言えば、そのノズル作動機構は、アクチュエータ１２８によって動作させられる１つの駆動部材であるラック１２２と、そのラック１２２と係合して駆動される被駆動部材であるピニオンとされたギヤ１２６と、ギヤ１２４，ギヤ１２０を含んで構成されてギヤ１２６の回転動作を複数の収容筒１１４の回転動作に変換する動作変換機構とを含んで構成されているのである。なお、各ギヤ１２６は、１つのセットを構成する４つのノズル収容具１１０に対応しており、図に示すノズルストッカ１００では、それぞれが４つのノズル収容具１１０によって構成される２つのセットに対応する２つの被駆動部材が、１つの駆動部材に噛合するものとされている。
【００５９】
図７に示すように、ノズル収容ユニット１０４の外殻部材であるカバー１１２は、上面に、複数のノズル収容具１１０に対応して、複数の開口１３０を有している。一方、基台１０２には、アクチュエータ１３２と、そのアクチュエータ１３２によって左右に移動させられるレバー１３４とを含んで構成されたカバー移動機構１３６（図８，図１０参照）が設けられており、図示は省略するが、そのレバー１３４の上端が、カバー１１２に係合するようにされている。このアクチュエータ１３２によって、カバー１１２は、左右に所定距離移動させられる。図７に示す状態は、カバー１１２が一方の移動端に位置している状態であり、その状態では、各開口１３０が、対応するノズル収容具１１０に対してズレている。つまり、その状態では、フランジ４８が開口１３０に干渉し、吸着ノズル４４を、開口１３０を通してノズル収容具１１０に収容することはできず、また、ノズル収容具１１０に収容されている吸着ノズル４４を、開口１３０を通して取り出すことはできない。一方、図示は省略するが、カバー１１２が他方の移動端に位置している状態は、各開口１３０が対応するノズル収容具１１０と一致する位置に位置する状態であり、その状態においては、開口１３０を通しての吸着ノズル４４の収容，取り出しが可能とされる。つまり、カバー１１２およびカバー移動機構１３６は、ノズル収容具１１０に対する開口１３０の状態を、半開状態と全開状態とに切換えるシャッターとして機能するものとなっているのである。
【００６０】
ダイ集合体ＤＳが載置される保持フレーム２８は、ダイ集合体ＤＳの当該保持フレーム２８への載置，当該保持フレーム２８からの取除きの際に、ダイ集合体スタッカ１２に近い位置に位置させられる。図１から解るように、その際、保持フレーム２８は、ノズルストッカ１００の上方に位置する。基台昇降機構１０６は、吸着ノズル４４の交換の際に、ノズルストッカ１００を上方に位置させるために設けられている。
【００６１】
ノズルストッカ１００が有するノズル収容ユニット１０４は、ノズル収容具１１０のサイズ，配置等において異なる別のノズル収容ユニットに交換可能である。具体的に言えば、例えば、１列に配置されている４つのノズル収容具１１０に代えて、４つのノズル収容具１１０のセットをさらに２つ追加したような構成のノズル収容ユニットに交換したり、また、逆に、４つのノズル収容具のセットに代えて、１列に配置されている４つのノズル収容具１１０の列の延長上に、１以上のノズル収容具１１０が配置されたような構成のノズル収容ユニットに交換したりすることも可能である。基台１０２に支持されているラック１２２と噛合するギヤ１２０，ギヤ１２４は、ノズル収容ユニット１０４を上方に向かって基台１０２から外すことにより、そのラック１２２との噛合が容易に解除でき、また、別のノズル収容ユニットを上方から基台１０２に取り付けることにより、そのノズル収容ユニットのそれらのギヤを容易にラック１２２に噛合させることができるため、ノズル収容ユニットの他のノズル収容ユニットへの交換は、容易に行うことができる。また、異なる構成のノズル収容ユニットに交換した場合であっても、ラック１２２を動作させることにより、そのノズル収容ユニットが有する複数のノズル収容具１１０を同期して回転動作させることができるのである。
【００６２】
≪吸着ノズルの交換の際のダイ供給機の動作≫
以下に、ピックアップヘッド１６に装着されている吸着ノズル４４を別の吸着ノズル４４に自動で交換する際のダイ供給機の動作を、先に説明した各図に示す状態において４つの吸着ノズル４４を別の４つの吸着ノズル４４に同時に交換する場合を例にとって、説明する。
【００６３】
吸着ノズル４４を交換する場合、まず、ダイ集合体保持装置１４の保持テーブル２８を、上記作業位置に位置させ、その状態において、基台昇降機構１０６によって、ノズルストッカ１００のノズル収容ユニット１０４を、基台１０２ごと所定の交換位置に上昇させる。このとき、ノズル収容ユニット１０４のカバー１１２は、カバー移動機構１３６により、開口１３０が上記全開状態となるように位置させられる。次いで、４つのスリーブ４２の軸線が、空になっている４つのノズル収容具１１０、つまり、中央のセットの４つのノズル収容具１１０の軸線とそれぞれと一致する位置まで、ピックアップヘッド１６が、ヘッド移動装置１８によって移動させられる。この位置において、ロッド昇降機構４０により、４つのスリーブ４２に装着されている４つの吸着ノズル４４が、同時に下降させられ、空になっていた４つのノズル収容具１１０に収容される。このとき、各収容筒１１４の上端の係止ピン１１６が各吸着ノズル４４のフランジ４８に設けられたノッチ１１８に嵌る回転位置に、各ノズル収容具１１０は位置させられており、各係止ピン１１６は、各吸着ノズル４４のノッチ１１８に嵌り込む。なお、ノズル収容具１１０は、ノズル作動機構を構成するアクチュエータ１２８によってラック１２２が一方の移動端に位置させられていることで、上記回転位置に位置させられている。
【００６４】
４つの吸着ノズル４４の各々が対応するノズル収容具１１０に収容された後、ラック１２２がアクチュエータ１２８によって一方の移動端から他方の移動端に位置させられて、各ノズル収容具１１０が互いに同期して回転させられる。この回転により、収容された各吸着ノズル４４は、ピックアップヘッド１６の４つのスリーブ４２に対して互いに同期して回転する。この回転により、各吸着ノズル４４の主筒４６に設けられた１対の掛合ピン５６は、スリーブ４２に形成された１対のスロット５８の周方向部の止端部から、軸線方向部の上端に位置させられることになる。この状態において、ノズル収容ユニット１０４のカバー１１２が、カバー移動機構１３６により、開口１３０が上記半開状態となるように位置させられる。そして、ロッド昇降機構４０によって４つのロッド３６が同時に上昇させられ、４つの吸着ノズル４４は、４つのノズル収容具１１０にそれぞれ残存したままで、４つのスリーブ４２から抜き出される。つまり、４つの吸着ノズル４４の各々と４つのノズル収容具１１０の各々との係合状態が解除されるのである。
【００６５】
次に、４つのスリーブ４２の軸線が、左側のセットの４つのノズル収容具１１０の軸線とそれぞれ一致する位置まで、ピックアップヘッド１６が、ヘッド移動装置１８によって移動させられる。その位置において、ロッド昇降機構４０により、４つのスリーブ４２が、同時に下降させられ、それら４つのノズル収容具１１０に収容されている４つの吸着ノズル４４の主筒４６が、４つのスリーブ４２にそれぞれ嵌め入れられる。つまり、４つの吸着ノズル４４の各々と４つのノズル収容具１１０の各々とが、係合状態とされるのである。このとき、各吸着ノズル４４の主筒４６に設けられた１対の掛合ピン５６が、対応するスリーブ４２に形成された１対のスロット５８のそれぞれの軸線方向部に嵌り込むような回転位置に、４つのノズル収容具１１０は回転させられている。各吸着ノズル４４の主筒４６がスリーブ４２の奥まで嵌め入れられた状態において、ラック１２２がアクチュエータ１２８によって上記他方の移動端から上記一方の移動端に位置させられて、各ノズル収容具１１０が互いに同期して先の方向とは逆の方向に回転させられる。この回転により、収容された各吸着ノズル４４は、ピックアップヘッド１６の４つのスリーブ４２に対して互いに同期して先の方向とは逆の方向に回転する。この回転により、各吸着ノズル４４の主筒４６に設けられた１対の掛合ピン５６は、スリーブ４２に形成された１対のスロット５８の周方向部の止端部にまで回転させられることになる。
【００６６】
次いで、ノズル収容ユニット１０４のカバー１１２が、カバー移動機構１３６により、開口１３０が上記全開状態となるように位置させられる。その後、ロッド昇降機構４０によって４つのロッド３６が同時に上昇させられ、４つの吸着ノズル４４は、４つのスリーブ４２に嵌り入ったままで、それら４つのスリーブ４２とともに上昇させられる。このようにして、先に装着されていた４つの吸着ノズル４４とは別の４つの吸着ノズル４４が、同時に、ピックアップヘッド１６に装着されるのである。その後、カバー移動機構１３６により、カバー１１２が、開口１３０が上記半開状態となる位置に戻され、そして、ノズル収容ユニット１０４が、基台昇降機構１０６によって、退避位置まで下降させられて、一連の吸着ノズル４４の交換の動作が終了する。
【００６７】
上述のように、本ダイ供給機では、複数の吸着ノズル４４を別の複数の吸着ノズル４４に交換する際、複数の吸着ノズル４４を同時にピックアップヘッド１６から離脱させ、別の複数の吸着ノズル４４を同時にピックアップヘッド１６に装着させるように構成されていることから、その交換を迅速に行うことが可能とされている。また、離脱のための複数の吸着ノズル４４の同時動作、および、装着のための複数の吸着ノズル４４の同時動作を行わせる機構、つまり、上記ノズル作動機構が、ピックアップヘッド１６にではなく、ノズルストッカ１００に設けられているため、ピックアップヘッドの構造の単純化，軽量化を図ることが可能となっている。
【００６８】
上記吸着ノズルの交換のための動作は、複数の吸着ノズル４４を別の複数の吸着ノズルに交換する場合の動作であるが、本ダイ供給機では、複数の吸着ノズル４４を１つずつ交換することも可能であり、また、１つしか装着されていない吸着ノズル４４を、別の１つに交換することも可能である。なお、ノズルストッカ１００の右側において１列に並ぶ４つのノズル収容具１１０は、左側，中央の各セットのノズル収容具１１０と、ラック１２２の移動方向に対する回転方向が逆になっている。したがって、１列に並ぶ４つのノズル収容具１１０に関する装着動作，離脱動作を適切に行わせるためには、ラック１２２が上記一方の移動端に位置する場合の回転位置において、ノズル収容具１１０に収容された吸着ノズル４４の主筒４２に設けられた１対の掛合ピン５６がスリーブ４２に形成された１対のスロット５８の軸線方向部と一致するように、収容筒１１４の上端の係止ピン１１６の位置を設定し、その回転位置において、ロッド昇降機構４０によるスリーブ４２の昇降を行って吸着ノズル４４の主筒４６のスリーブ４２に対する嵌入，抜出を行い、かつ、上記他方の移動端に位置する場合に、１対の掛合ピン５６がスリーブ４２の１対のスロット５８の周方向部の止端部に位置するように構成すればよい。簡単に言えば、交換の際のラック１２２の動作の方向が反対となるようにすればよいのである。
【符号の説明】
【００６９】
１２：ダイ集合体スタッカ〔ダイ集合体収容装置〕 １４：ダイ集合体保持装置 １６：ピックアップヘッド １８：ヘッド移動装置 ３６：ロッド ４０：ロッド昇降機構〔ノズル昇降機構〕 ４２：スリーブ〔ノズル被装着具〕 ４４：吸着ノズル ５６：掛合ピン ５８：スロット １００：ノズルストッカ〔ノズル格納装置〕 １０４：ノズル収容ユニット １１０：ノズル収容具 １１４：収容筒〔ノズル保持具〕 １２０：ギヤ〔動作変換機構，ノズル作動機構〕 １２２：ラック〔駆動部材，ノズル作動機構〕 １２４：ギヤ〔動作変換機構，ノズル作動機構〕 １２６：ギヤ〔ピニオン，被駆動部材，ノズル作動機構〕 １２８：アクチュエータ〔ノズル作動機構〕 Ｄ：ダイ ＤＳ：ダイ集合体
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハをダイシングしてなるダイ集合体からダイをピックアップして供給するダイ供給機に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイ集合体からダイをピックアップして供給するダイ供給機は、例えば、下記特許文献に記載されているようなものであり、ピックアップヘッドが有する吸着ノズルによってダイを吸着保持し、ピックアップヘッドを移動させて、その保持されたダイを所定の供給位置にて供給する。多くの場合、その供給されたダイは、部品装着機によって、基板に装着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ダイが装着されたダイ装着品の製造速度を向上させるには、ダイ供給機によるダイの供給速度（単位時間あたりに供給可能なダイの数）を向上させる必要があり、そのため、ピックアップヘッドに複数の吸着ノズルを装備させることも検討されている。その一方で、例えば、種々のサイズのダイに対応可能とするといった理由から、ダイ供給機には、吸着ノズルが交換可能であることが望まれている。したがって、複数の吸着ノズルを装備させる場合、複数のノズルを交換して装着することが要求される。この複数の吸着ノズルの装着の技術については、改良の余地が残されており、工夫を凝らすことにより、複数のノズルを備えたダイ供給機の実用性を向上させることが可能である。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高いダイ供給機を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明のダイ供給機は、ピックアップヘッドに装着される複数の吸着ノズルを格納する格納装置に、それら複数の吸着ノズルをピックアップヘッドに同時に装着するためにそれら複数の吸着ノズルを同時に動作させるノズル作動機構が設けられたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のダイ供給機によれば、ピックアップヘッドに複数の吸着ノズルを迅速に装着することが可能であり、また、その装着のために吸着ノズルを動作させる機構をピックアップヘッドに設ける必要がないため、ヒップアップヘッドの構造の単純化，軽量化を図ることができる。そのような利点を有することで、本発明のダイ供給機は、実用性の高いものとなる。
【発明の態様】
【０００７】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から何某かの構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【０００８】
なお、以下の各項において、（１）項が請求項１に、（２）項が請求項２に、（５）項ないし（９）項が請求項３ないし請求項７に、それぞれ相当する。
【０００９】
（１）ウェハをダイシングしてなるダイ集合体からダイをピックアップして供給するダイ供給機であって、
ダイ集合体を保持するダイ集合体保持装置と、
それぞれがダイを吸着保持する複数の吸着ノズルをそれぞれ装着可能な複数のノズル被装着具と、それら複数のノズル被装着具を昇降させることでそれら複数のノズル被装着具に装着された複数の吸着ノズルを昇降させるノズル昇降機構とを有し、前記ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体からダイをピックアップするためのピックアップヘッドと、
そのピックアップヘッドを、ダイのピックアップおよびピックアップされたダイの所定の供給位置における供給のために移動させるヘッド移動装置と、
前記複数の吸着ノズルを、前記複数のノズル被装着具の相対位置関係と同じ相対位置関係で格納するように構成されており、かつ、格納されたそれら複数の吸着ノズルを前記複数のノズル被装着具に同時に装着するためにそれら複数の吸着ノズルを同時に動作させるノズル作動機構を有するノズル格納装置と
を備えたダイ供給機。
【００１０】
本項の態様のダイ供給機によれば、ノズル格納装置に格納された複数の吸着ノズルの相対位置関係と複数のノズル被装着具の相対位置関係とが等しくされている。つまり、複数の吸着ノズルの相対位置関係が、それら複数の吸着ノズルがピックアップヘッドに装着されている場合と、ノズル格納装置に格納されている場合とで、等しくされている。そのため、複数の吸着ノズルの装着に際し、ヘッド移動装置，ノズル昇降機構を利用するだけで、ノズル格納装置に格納された複数の吸着ノズルを、同時に、複数のノズル被装着具に対して係合状態とする若しくは係合する寸前の状態とすることができる。吸着ノズルの装着の際、係合状態とされた吸着ノズルをノズル被装着具に固定等する必要があるが、本項の態様のダイ供給機では、その固定等のために行われる吸着ノズルの動作、詳しくは、ノズル被吸着具に対する相対動作を複数の吸着ノズルについて同時に行わせる機構として、上記ノズル作動機構が設けられている。したがって、本項の態様のダイ供給機によれば、迅速に、複数の吸着ノズルを、自動で、かつ、迅速に、ピックアップヘッドに装着させることが可能である。また、本項の態様のダイ供給機では、上記ノズル作動機構が、ノズル格納装置に設けられているため、その機構をピックアップヘッドに設ける必要がなく、ピックアップヘッドの構造の単純化，軽量化が図られることとなる。そのような利点を有することで、本項の態様のダイ供給機は、実用性の高いものとなる。
【００１１】
本項の態様におけるノズル作動機構によってなされる吸着ノズルの動作は、上記ヘッド移動装置およびノズル昇降機構によっては行い得ない吸着ノズルとノズル被装着具との相対動作であることが望ましい。そのような動作である場合に、上記ノズル作動機構をノズル格納装置に設けたことによる利点を、充分に享受できることとなる。なお、そのような動作には、例えば、先に説明したように吸着ノズルのノズル被装着具に固定等するための動作が該当し、具体的には、吸着ノズルをそれの軸線回りに回転させる動作，吸着ノズルを何らかの回動軸線回りに回動させるような動作が含まれる。
【００１２】
本項の態様における「ヘッド移動装置」は、例えば、ピックアップヘッドを、ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体に平行な一直線に沿って移動させるものや、そのダイ集合体に平行な一平面に沿って移動させるものが含まれる。つまり、一次元的に移動させるものや、二次元的に移動させるものが含まれる。さらに、ピックアップヘッドを、ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体に直角な方向にも移動可能なものであってもよい。その場合、ヘッド移動装置は、「ノズル昇降機構」を兼ねるものとされていてもよいのである。
【００１３】
（２）前記ノズル格納装置が、前記複数の吸着ノズルをそれぞれ保持する複数のノズル保持具を有して、それら複数のノズル保持具がそれら複数の吸着ノズルを保持した状態で、それら複数の吸着ノズルを格納するように構成されており、
前記ノズル作動機構が、それら複数のノズル保持具を同期して動作させることで、それら複数のノズル保持具に保持された前記複数の吸着ノズルを同時に動作させるように構成された(1)項に記載のダイ供給機。
【００１４】
本項の態様は、上記ノズル作動機構の構造に関して限定を加えた態様である。ノズル保持具を動作させて吸着ノズルを動作させれば、ノズル格納装置に格納された吸着ノズルを簡便に動作させることができる。
【００１５】
（３）前記ノズル格納装置が、前記複数のノズル保持具を複数セット有して、複数の吸着ノズルを複数セット格納するように構成された(2)項に記載のダイ供給機。
【００１６】
本項の態様のダイ供給機によれば、ノズル格納装置は、同時に装着可能な複数の吸着ノズルを複数セット格納することができ、例えば、セットごとにサイズ，能力等の異なる複数の吸着ノズルを格納させれば、それらを交換してピックアップヘッドに装着することにより、当該ダイ供給機の汎用性，利便性が向上することになる。
【００１７】
（４）前記ノズル作動機構が、各セットの前記複数のノズル保持具を同期して動作させるように構成された(3)項に記載のダイ供給機。
【００１８】
本項の態様によれば、どのセットの複数の吸着ノズルも同期して動作させられる。したがって、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置であっても、ノズル作動機構の構造を比較的単純なものとすることが可能である。
【００１９】
（５）前記ノズル作動機構が、１つのアクチュエータを有し、そのアクチュエータによって前記複数のノズル保持具を同期して動作させるように構成された(2)項ないし(4)項のいずれか１つに記載のダイ供給機。
【００２０】
本項の態様のダイ供給装置では、ノズル作動機構に単一のアクチュエータしか必要としないことから、当該ノズル作動機構、ひいては、当該ダイ供給機のコスト、特に、ノズル作動機構のコストを低く抑えることが可能となる。「アクチュエータ」は、特に限定されるものではなく、例えば、電磁モータ，ソレノイドのような電磁力によって作動するようなものであってもよく、エアシリンダ，油圧シリンダのような流体圧によって作動するようなものであってもよい。なお、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置である場合、複数のノズル保持具のセットごとに１つのアクチュエータを有するように構成してもよいが、上記コストの観点からすれば、いずれのセットの複数のノズル保持具も、１つのアクチュエータで同期して動作するように構成することが望ましい。
【００２１】
（６）前記ノズル作動機構が、前記アクチュエータによって動作させられる１つの駆動部材と、その駆動部材と係合してその駆動部材によって駆動される被駆動部材と、その被駆動部材の動作を前記複数のノズル保持具の動作に変換する動作変換機構とを有する(5)項に記載のダイ供給機。
【００２２】
本項の態様によれば、ノズル作動機構がアクチュエータを１つしか有しない構造のものであったとしても、簡便に、そのアクチュエータの力によって、複数の吸着ノズルを同期して動作させることが可能である。「駆動部材」と「被駆動部材」の組み合わせは具体的に限定されるものではない。例えば、後の項によって限定されるラック，ピニオンを始めウォームとウォームホイール、互いに噛合する各種のギヤどうし、カムとカムフォロアといった機械的に直接係合するものや、間接的に係合するもの、例えば、駆動部材の動作が流体圧，磁力等によって被駆動部材の動作に変換されるようなもの等、種々の組み合わせを採用することが可能である。また、同様に、「動作変換機構」も種々の構造のものを採用することが可能である。なお、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置の場合、複数のノズル保持具のセットに対応して複数の被駆動部材を有し、それら複数の被駆動部材が、１つの駆動部材と係合してその駆動部材によって駆動されるように構成することが可能である。
【００２３】
（７）前記ノズル格納装置が、
前記複数のノズル保持具と、前記被駆動部材と、前記動作変換機構とがユニット化されたノズル収容ユニットを含んで構成され、
そのノズル収容ユニットが、別のノズル収容ユニットと交換可能とされた(6)項に記載のダイ供給機。
【００２４】
本項の態様によれば、ノズル収容ユニットを構成の異なるノズル収容ユニットと交換することができる。例えば、ノズル保持具のサイズ，配置数，配置態様等において異なるノズル収容ユニットと交換可能とすることで、交換可能な吸着ノズルのバリエーションを、当該ダイ供給機の使用態様等に応じて、種々に変更することが可能となり、当該ダイ供給機の利便性，汎用性が向上する。特に、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置の場合、セット数，内容において異なる別のノズル収容ユニットと交換可能とすることで、上記利便性，汎用性は、さらに向上することとなる。また、本項の態様によれば、ノズル収容ユニットが、アクチュエータ、つまり、ノズル作動機構の駆動源を含んでいないことから、交換可能とされた各ノズル収容ユニット自体の低コスト化を図ることが可能となる。
【００２５】
（８）前記駆動部材がラックであり、前記被駆動部材がそのラックと噛合するピニオンである(6)項または(7)項に記載のダイ供給機。
【００２６】
本項の態様では、駆動部材，被駆動部材がラック，ピニオンに限定されている。ラック＆ピニオン機構は、比較的簡素な機構であり、その機構を採用すれば、比較的構造の簡素なノズル作動機構を実現させることが可能となる。また、ラックとピニオンは、容易に互いを噛合させることおよび噛合を解除することが可能であり、それらを分離して上記ノズル収容ユニットを構築する場合においても便利である。複数の吸着ノズルを複数セット格納可能なノズル格納装置の場合、例えば、セットごとに対応する複数のピニオンが１つのラックとそれの軸線方向における任意の箇所において噛合するように構成すればよく、ラックの軸線方向におけるセットごとの複数のノズル保持具の配置の自由度が高いものとなる。そのことは、セット数，内容において異なる別のノズル収容ユニットに交換可能とされたノズル格納装置の場合、特に、大きな利点となる。
【００２７】
（９）前記複数の吸着ノズルの各々が、前記複数のノズル被装着具のうちの対応するものに対して自身の軸線回りに回転動作させられることによりそのものに装着されるように構成されており、
前記ノズル作動機構が、前記複数のノズル保持具を、それらの各々によって保持された複数の吸着ノズルの各々の軸線回りに同期して回転させるよう構成された(2)項ないし(8)項のいずれか１つに記載のダイ供給機。
【００２８】
本項の態様は、後に例示するような場合、つまり、吸着ノズルの装着に際し、吸着ノズルをノズル被装着具に対して回転させることで、掛合ピンがスロット内を移動させられて吸着ノズルがノズル被装着具に固定されるような場合に、便利な態様である。一般に、ダイ供給機のピックアップヘッドには、吸着ノズルをそれの軸線回りに回転させるための機構が設けられていない。吸着ノズルを回転させてノズル被装着具に固定させるような機構を採用する場合であっても、本項の態様によれば、ピックアップヘッドに吸着ノズルを回転させる機構を搭載する必要がないため、ピックアップヘッドの構造の簡素化，軽量化が図れるのである。なお、螺子機構を採用して吸着ノズルをノズル被装着具に捻じ込んで固定するような場合においても、本項の態様は便利な態様となる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】請求可能発明の実施例であるダイ供給機を示す全体斜視図である。
【図２】ダイ供給機を構成するダイ集合体保持装置を示す斜視図である。
【図３】ダイ供給機を構成するピックアップヘッドを示す斜視図である。
【図４】ピックアップヘッドに装着される吸着ノズルを示す斜視図である。
【図５】ピックアップヘッドのノズルホルダに吸着ノズルが装着された状態を示す斜視図である。
【図６】ピックアップヘッドが有するノズル昇降機構の作動を説明するための模式図である。
【図７】ダイ供給機を構成するノズルストッカを示す斜視図である。
【図８】ノズルストッカを別の視点において示す斜視図である。
【図９】ノズルストッカの内部の一部分を拡大して示す斜視図である。
【図１０】ノズルストッカのノズル作動機構を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、請求可能発明を実施するための形態として、請求可能発明の実施例であるダイ供給機を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された形態を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の形態で実施することができる。
【実施例】
【００３１】
≪ダイ供給機の全体構成≫
図１に斜視図を示すダイ供給機は、ウェハにダイシングシートを貼着したものをダイシングしてなるダイ集合体ＤＳから、ダイシングによって得られた複数のダイＤの各々を供給するための機械である。ちなみに、ダイシングシートは、可撓性を有し、ダイ集合体ＤＳの裏面に貼着されており、ダイ集合体ＤＳは、各ダイＤをそのダイシングシートから剥がし易くするために、そのダイシングシートが張り広げられた状態とされている。なお、ダイ集合体ＤＳは、単に「ウェハ」と呼ばれることもあり、また、ダイＤは、「チップ」と呼ばれることもある。
【００３２】
図に示すように、本ダイ供給機は、大まかには、当該ダイ供給機の基体として機能するメインフレーム１０と、メインフレーム１０に併設されて複数のダイ集合体ＤＳを収容するダイ集合体スタッカ１２と、メインフレーム１０上に配設されて１つのダイ集合体ＤＳを固定的に保持するダイ集合体保持装置１４と、ダイ集合体保持装置１４によって固定保持されたダイ集合体ＤＳからダイをピックアップするピックアップヘッド１６と、ピックアップヘッド１６をダイ集合体保持装置１４によって固定保持されたダイ集合体ＤＳに平行な一平面に沿って移動させるヘッド移動装置１８とを含んで構成されている。なお、当該ダイ供給機は、図における右手前が前側，左手前が左側であり、以下の説明において、方向を表す場合に、当該ダイ供給機の前後，左右，上下に関連して、前後方向（Ｘ方向），左右方向（Ｙ方向），上下方向（Ｚ方向）という場合がある。
【００３３】
ダイ集合体スタッカ１２は、ダイ集合体収容装置として機能するものであり、昇降テーブル２２と、昇降テーブル２２上に配設されたラック２４（詳しい構造の図示は省略）とを有しており、複数のダイ集合体Ｄが、そのラック２４に、あたかも積み重ねられるようにして収容される。ラック２４からは、複数のダイ集合体ＤＳのいずれをも独立して引き出し可能とされており、昇降テーブル２２の昇降によって所定の高さ位置に位置させられた１のダイ集合体ＤＳが、引き出される（詳しくは後述する）。つまり、ダイ集合体スタッカ１２は、いわゆるマガジンタイプの収容装置とされているのである。
【００３４】
ダイ集合体保持装置１４は、図２に示すように、メインフレーム１０上に固定されてＸ方向に延びる１対のガイドレール２６と、それら１対のガイドレール２６にガイドされてＸ方向に移動可能な保持フレーム２８と、その保持フレーム２８をＸ方向に移動させるフレーム移動機構３０と、ダイ集合体ＤＳを左右両側において押え付けるようにして保持フレーム２８に固定するためのダイ集合体固定機構３２とを含んで構成されている。図では、保持フレーム２８が、ダイ供給機２４の前方側寄りに位置させられており、その位置は、保持されたダイ集合体ＤＳからダイＤがピックアップされる際に位置させられる位置（作業位置）である。
【００３５】
ピックアップヘッド１６は、図３に示すように、基体３４と、４つのロッド３６と、基体３４に支持されて４つのロッド３６をそれらの各々の軸線方向（図では上下方向）に移動可能に保持するロッド保持体３８と、それらロッド３６を昇降させるロッド昇降機構４０とを含んで構成されている。４つのロッド３６の各々の下端部には、ノズル被装着具としてのスリーブ４２が付設されており、そのスリーブ４２には、図４に拡大して示す吸着ノズル４４が、図５に示すように装着される。つまり、ピックアップヘッド１６は、４つまでの吸着ノズル４４を装着可能とされているのである。
【００３６】
吸着ノズル４４は、主筒４６と、主筒４６から張り出すようにして設けられたフランジ４８と、主筒４６の下端部において主筒４６に対して進退可能に保持された可動筒５０と、可動筒５０の下端に形成されて先端がノズル口として機能する先端筒５２とを含んで構成されている。可動筒５０は、スプリング５４によって、先端に向かって付勢されている。吸着ノズル４４の内部には、図示しない負圧源に接続されるとともにノズル口に至る負圧路が形成されており、その負圧路を介して、ノズル口に負圧が供給される（「負圧路が減圧される」という意味である）。この負圧の作用によって、吸着ノズル４４は、先端部において、ダイＤを吸着保持する。
【００３７】
吸着ノズル４４のスリーブ４２への装着に関して説明すれば、スリーブ４２の内径は、吸着ノズル４４の主筒４６の外径より僅かに大きくされており、吸着ノズル４４は、主筒４６がスリーブ４２に嵌め入れられるようにして装着される。吸着ノズル４４は、主筒４６からそれの径方向に延び出す１対の掛合ピン５６を有し、一方で、スリーブ４２には、それら１対の掛合ピン５６に対応して、１対の概してＪ字状のスロット５８が形成されている。詳しく言えば、各スロット５８は、一端が当該スリーブ４２下端に開口するとともに当該スリーブ４２の軸線方向（吸着ノズル４４の軸線方向）に延びる部分（以下、「軸線方向部」と言う場合がある）と、その部分と連続して当該スリーブ４２の周方向に延びる部分（以下、「周方向部」と呼ぶ場合がある）とからなり、周方向部の止端部（以下、単に「止端部」という場合がある）は、それ以外の部分より若干下方に曲げられている。また、スリーブ４２の下部には、スプリング６０によって下方に向かって付勢されたリテーナリング６２が設けられている。
【００３８】
吸着ノズル４４を装着する場合には、吸着ノズル４４の各掛合ピン５６がスリーブ４２の各スロット５８の軸線方向部に沿って移動するように、吸着ノズル４４の主筒４６をスリーブ４２に嵌入させ、次いで、吸着ノズル４４がスリーブ４２の奥にまで入った状態で、各掛合ピン５６が各スロット５８の周方向部に沿って移動するように、吸着ノズル４４をそれの軸線回りに回転させる。止端部に各掛合ピン５６が嵌り込んだ状態において、スプリング６０の付勢力によってリテーナリング６２が各掛合ピン５６を下方に押し付けることで、吸着ノズル４４がスリーブ４２に固定される。吸着ノズル４４をスリーブ４２から離脱させる場合には、吸着ノズル４４を、逆方向に回転させた後、軸線方向にスリーブ４４から抜き出せばよい。
【００３９】
吸着ノズル４４は、ダイＤを吸着保持する際に、昇降させられる。吸着ノズル４４の昇降は、ロッド昇降機構４０がロッド３６を昇降させることによって行われる。つまり、ロッド昇降機構４０は、吸着ノズル４４を昇降させるノズル昇降機構として機能する。図３を参照しつつロッド昇降機構４０について詳しく説明すれば、ロッド昇降機構４０は、ロッド３６に係合する複数のレバー６４を有するレバーブロック６６と、レバーブロック６６を回転させかつ昇降させるレバーブロック作動機構６８とを含んで構成されている。上方からの視点において模式的に示す図６から解るように、レバーブロック６６は、５つのレバー６４を有している。それら５つのレバー６４のうちの４つのレバー６４ａは、９０°ピッチで配置されており、残る１つのレバー６４ｂは、４つのレバー６４ａのうちの２つのものの間に、それら２つのものに対して４５°ズレた位置に配置されている。
【００４０】
レバーブロック作動機構６８は、レバーブロック６６を支持する支持軸７０を有しており、その支持軸７０をそれの軸線回りに回転させることで、レバーブロック６６を回転させる機能を有している。図６（ａ）は、レバー６４ｂが４つのロッド３６のうちの１つの真上に位置する状態、つまり、１ロッド係合可能状態である。この状態では、４つのレバー６４ａは、いずれもが、４つのロッド３６のいずれの上方にも位置しない。一方、図６（ｂ）は、４つのレバー６４ａがそれぞれ４つのロッド３６の真上に位置する状態、つまり、４ロッド係合可能状態である。この状態では、残る１つのレバー６４ｂは、４つのロッド３６のいずれの上方にも位置しない。レバーブロック作動機構６８は、それら２つの状態のいずれかとなるように、レバーブロック６６を回転させる。
【００４１】
また、レバーブロック作動機構６８は、支持軸７０を昇降させることによってレバーブロック６６を昇降させる機能をも有している。上記１ロッド係合可能状態において、レバーブロック６６を下降させることによって、４つのロッド３６のうちの係合可能とされた１つを押し下げ、そのロッド３６に付設されたスリーブ４２に装着されている吸着ノズル４４が下降させられる。つまり、レバーブロック６６の回転位置に応じた１つの吸着ノズル４４が下降させられる。一方、上記４ロッド係合可能状態において、レバーブロック６６を下降させることによって、４つのロッドの各々に付設されたスリーブ４２に装着されている吸着ノズル４４が、つまり、４つの吸着ノズル４４が下降させられる。下降させられたレバーブロック６６を上昇させることで、レバー６４が係合している１つのロッド３６若しくは４つのロッド３６は、４つのロッドに対応して設けられた４つのスプリング７２のうちの１つ若しくはそれらの全部の弾撥力によって上昇させられ、下降させられていた４つの吸着ノズル４４のうちの１つ若しくは４つが、上昇させられる。このように、ロッド昇降機構４０は、４つの吸着ノズル４４を同時に、若しくは、４つの吸着ノズル４４のうちの任意に選択された１つを昇降させる機能を有しているのである。
【００４２】
ピックアップヘッド１６は、吸着ノズル４４の上下を逆さまにする機構であるノズル反転機構７４を有している。図３に示すように、ロッド保持体３８は、左右に延びる姿勢で基体３４に付設された支持軸７６によって、回転可能に支持されており、ロッド保持体３８の側面に付設されたピニオン７８をそれと噛合するラック８０によって回転させることで、反転させられる（図３の太矢印が示す動作を行う）。この反転により、ロッド３６に付設されたスリーブ４２に装着された吸着ノズル４４が、反転させられるのである。詳しく言えば、ロッド３６の下端部においてノズル口が下に向いた姿勢で装着されている吸着ノズル４４が、ノズル口が上を向くような姿勢に変更されるのである。ダイ集合体ＤＳからピックアップされたダイＤは、このノズル反転機構によって反転させられた状態で供給される。
【００４３】
ピックアップヘッド１６を移動させるヘッド移動装置１８は、図１から解るように、ＸＹロボット型の移動装置である。ヘッド移動装置１８は、ピックアップヘッド１６を支持するスライドベース８２と、Ｙ方向に延びる姿勢で配置されてスライドベース８２をＹ方向に移動可能に支持するビーム８４と、Ｘ方向に延びる姿勢でメインフレーム１０に固定されてビーム８４をＸ方向に移動可能に支持する１対のガイド部材８６と、スライドベース８２をＹ方向に移動させるＹ方向移動機構８８と、ビーム８４をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構（図では隠れて見えない）とを含んで構成されている。ヘッド移動装置１８は、スライドベース８２が支持するピックアップヘッド１６を、ダイ集合体保持装置１４によって保持されたダイ集合体ＤＳの表面に平行な平面に沿って移動させることができ、ダイ集合体ＤＳからのダイＤのピックアップの際、および、ピックアップされたダイＤの供給の際等に、ピックアップヘッド１６を、任意の位置若しくは設定された位置に移動させる。
【００４４】
スライドベース８２には、ダイ集合体保持装置１４によって保持されたダイ集合体ＤＳの表面（上面）を撮像可能な撮像装置としてのダイカメラ９０が固定されており、ヘッド移動装置１８は、そのカメラ９０をも、ピックアップヘッド１６と共に移動させる。また、ビーム８４の背面側には、ダイ集合体スタッカ１２のラック２４からダイ集合体保持装置１４の保持フレーム２８へのダイ集合体ＤＳの引き出しの際、および、ダイＤがピックアップされた後のダイ集合体ＤＳ（厳密には、ダイ集合体とは呼べなくなっている）の保持フレーム２８からラック２４への収容の際に下降させられて、ダイ集合体ＤＳを把持するダイ集合体クランプ９２が設けられており、ヘッド移動装置１８、詳しくはそれのＸ方向移動機構は、そのクランプ９２をもＸ方向に移動させる機能を有している。
【００４５】
図１では、ダイ集合体ＤＳによって隠れて見えないが、ダイ集合体保持装置１４の下方には、ダイ突上装置が配設されている。このダイ突上装置は、突上具と、その突上具を上昇させる突上具昇降機構と、その突上具をダイ集合体ＤＳに沿った一平面内において移動させる突上具移動機構とを含んで構成されている。ダイ突上装置は、ダイＤのピックアップの際、そのピックアップを円滑に行うための補助装置である。ピックアップされるダイＤの下方に突上具が位置させられ、その位置において突上具が上昇させられることで、そのダイＤが、ダイシングシートを介して、突上具によって突上げられる、つまり、持ち上げられる。
【００４６】
≪ダイ供給機の基本的動作≫
以下に、ダイＤのピックアップおよび供給を行う場合におけるダイ供給機の動作を説明する。まず、ダイ集合体スタッカ１２のラック２４に収容されているダイ集合体ＤＳの１つが、ダイ集合体保持装置１４の保持フレーム２８に載置される。このとき、保持フレーム２８は、フレーム移動機構３０によって、ヘッド移動装置１８のビーム８４の下方を通過させられて、ダイ集合体スタッカ１２に近い位置、つまり、後方側の位置に位置させられる。一方で、ダイ集合体スタッカ１２の昇降テーブルによって、載置されるダイ集合体ＤＳが、上下方向における所定の引出可能位置に位置させられる。ビーム８４がヘッド移動装置１８のＸ方向移動機構によって後方側に移動させられ、ダイ集合体クランプ９２によって、載置されるダイ集合体ＤＳが把持される。次いで、ビーム８４がＸ方向移動機構によって前方側に移動させられ、把持されたダイ集合体ＤＳが、保持フレーム２８に載置される。載置されたダイ集合体ＤＳは、ダイ集合体固定機構３２によって保持フレーム２８に固定され、その状態で、フレーム移動機構３０によって保持フレーム２８が、前方側に移動させられて、所定の作業位置に位置させられる。
【００４７】
次いで、ダイカメラ９０が、ヘッド移動装置１８によって、ピックアップされるダイＤの上方に位置させられ、その位置において、そのダイＤが撮像される。ダイＤの撮像によって得られた撮像データに基づいて、ダイＤのＸ方向およびＹ方向の正確な位置が特定される。後に説明するが、４つの吸着ノズル４４によって、４つのダイＤが吸着保持されるため、ダイＤの撮像および撮像データに基づく位置の特定の処理は、一度に、４つのダイＤについて行われる。
【００４８】
１つのダイＤの上記特定された位置の上方に１つの吸着ノズル４４が位置する位置に、ヘッド移動装置１８によって、ピックアップヘッド１６が移動させられる。その位置において、その１つの吸着ノズル４４のみが、ロッド昇降機構４０によって下降させられ、その吸着ノズル４４のノズル口がその１つのダイに接触した時点で、その吸着ノズル４４に負圧が供給されて、その１つのダイＤがその吸着ノズル４４によって吸着される。そのダイＤを吸着保持した後、その吸着ノズル４４が、ロッド昇降機構４０によって上昇させられ、そのダイＤのピックアップが完了する。なお、ピックアップの際には、吸着ノズル４４の上昇に伴って、ピックアップされるダイＤに対して、上記ダイ突上装置による突上が行われる。このようなピックアップ動作が、４つの吸着ノズル４４の各々について、つまり、４つのダイＤの各々について、順次行われ、４つのダイＤについてピップアップが完了する。
【００４９】
４つのダイＤのピックアップが完了した後、ピックアップヘッド１６は、ヘッド移動装置１８によって、所定の供給位置に移動させられ、その位置に位置する状態で、上記ノズル反転機構によって、４つの吸着ノズル４４が反転させられる。これにより、４つの吸着ノズル４４にそれぞれ吸着保持されている４つのダイＤは、裏返しの姿勢で、それぞれについての所定の供給位置において供給される。供給された４つのダイＤは、その姿勢のまま、部品装着機の装着ヘッドの部品保持デバイスによって保持されて、基板への装着に供される。つまり、４つの吸着ノズル４４から、部品装着機の部品保持デバイスに受け渡されるようにして供給されるのである。この受け渡しの際、各吸着ノズル４４に供給されていた負圧は解除される。
【００５０】
上記一連の動作が、１つのダイ集合体ＤＳに対して繰り返され、そのダイ集合体ＤＳのダイＤが無くなった場合に、そのダイ集合体ＤＳが、上記動作の逆の動作によって、ダイ集合体ストッカ１２に戻される。そして、別の新たなダイ集合体ＤＳが、上記動作によって、ダイ集合体保持装置１４に保持され、そのダイ集合体ＤＳからのダイＤの供給が行われる。
【００５１】
上述したダイＤのピックアップおよび供給のための動作は、ピックアップヘッド１６に吸着ノズル４４が４つ装着されている場合の動作である。本ダイ供給機は、必ずしも４つの吸着ノズル４４を装着しなければならない訳ではない。例えば、ダイＤのサイズが大きい場合には、大きな吸着ノズル４４を装着させる必要があり、その場合には、例えば吸着ノズル４４のフランジ４８の外径とピックアップヘッド１６が有する４つのロッド３６相互の間隔との関係で、４つの吸着ノズル４４を装着できない場合がある。その場合には、対角位置に存在する２つのロッド３６だけに、２つの吸着ノズル４４を装着したり、また、いずれか１つにだけ、吸着ノズル４４を装着したりして、ピックアップおよび供給のための動作を行うことが可能とされている。なお、その場合には、１度のピックアップ動作は、２つダイＤ若しくは１つのダイＤごとに行われることになる。
【００５２】
≪吸着ノズルの交換のための構成≫
吸着ノズル４４は、供給されるダイＤのサイズ等に応じて適切なものを使用するのが望ましく、そのため、本ダイ供給機は、吸着ノズル４４を、自動で交換するように構成されている。つまり、ピックアップヘッド１６に装着されている吸着ノズル４４を自動で離脱させ、別の吸着ヘッド４４を自動で装着可能とされているのである。その場合、複数の吸着ノズル４４がピックアップヘッド１６に装着されているときに、それら複数の吸着ノズル４４を同時に離脱させ、別の複数の吸着ノズル４４を同時に装着することも可能とされている。以下に、吸着ノズル４４の自動交換を可能とするための構成について説明する。
【００５３】
本ダイ供給機は、ノズル格納装置として機能するノズルストッカ１００を備えている。ノズルストッカ１００は、図１および図２から解るように、上記作業位置に位置する場合のダイ集合体保持装置１４の保持フレーム２８と、ダイ集合体スタッカ１２との間の箇所において、メインフレーム１０上に配設されている。図７，図８に示すように、ノズルストッカ１００は、基台１０２と、基台１０２に取り付けられたノズル収容ユニット１０４と、基台１０２を昇降させる基台昇降機構１０６とを含んで構成されている（図７では、基台昇降機構１０４は省略されており、図８では、ノズル収容ユニット１０４については内部構造の一部のみが示されている）。
【００５４】
内部構造の一部分を示す図９をも参照しつつ説明すれば、ノズル収容ユニット１０４は、ユニットベース１０８と、そのユニットベース１０８に回転可能に支持された複数のノズル収容具１１０と、ユニットベース１０８にスライド可能に支持されるとともに複数のノズル収容具１１０を覆うカバー１１２とを含んで構成されている（図８では，ユニットベース１０８，カバー１１２は省略されている）。ノズル収容具１１０は、筒状をなしてノズル保持具として機能する収容筒１１４を有しており、吸着ノズル４４のフランジ４８がその収容筒１１４の上端部に載せ置かれるようにして、その吸着ノズル４４を収容する。収容筒１１４の上端部には、係止ピン１１６が突出して設けられており、その係止ピン１１６が、吸着ノズル４４のフランジ４８の外周端に設けられた複数のノッチ１１８（図４，図５参照）のうちの１つに嵌り込む状態で、かつ、吸着ノズル４４の軸線とノズル収容具１１０の軸線とが一致させられた状態で、吸着ノズル４４が収容される。なお、図９では、１つのノズル収容具１１０の収容筒１１４は省略されている。ちなみに、係止ピン１１６およびそれが嵌るノッチ１１８は、収容された状態における吸着ノズル４４のノズル収容具１１０に対する回転位置規定手段として、また、後に説明するように、ノズル収容具１１０の回転によって吸着ノズル４４を回転させるための回転力伝達手段として機能する。
【００５５】
ノズル収容ユニット１０４には、１２のノズル収容具１１０が配設されている。詳しく説明すれば、当該ダイ供給機の左側から右側に向かって（図７では、右側から左側に向かって）、１つのセットをなす比較的外径の小さな４つのノズル収容具１１０，別の１つのセットをなす比較的外径の小さな４つのノズル収容具１１０，比較的大きな外径をなす４つのノズル収容具１１０が、順に並んでいる。左側のセット，中央のセットのそれぞれの４つのノズル収容具１１０は、左右に２列，前後に２列、詳しくは、上方から見て、四角形の４つの頂点の位置に配置されている。それに対し、右側の４つのノズル収容具１１０は、左右方向に１列に配置されている。つまり、本ノズル収容ユニット１０４には、４つの吸着ノズル４４からなる吸着ノズルのセットを２セット収容可能とされている。言い換えれば、ノズルストッカ１００は、複数の吸着ノズルを複数セット格納可能とされているのである。
【００５６】
左側のセット，中央のセットそれぞれの４つのノズル収容具１１０の各々の中心軸線の相対位置関係は、ピックアップヘッド１６の４つのスリーブ４２の各々の中心軸線の相対位置関係と一致させられている。つまり、４つの吸着ノズル４４がピックアップヘッド１６に装着されている場合のそれら吸着ノズル４４の相対位置関係と、ノズルストッカ１００に格納されている場合のそれら吸着ノズル４４の相対位置関係とが、等しくされているのである。なお、中央のセットの４つのノズル収容具１１０は、ピックアップヘッド１６に現に装着されている４つの吸着ノズル４４のためのノズル収容具１１０であるため、図では、それら４つのノズル収容具１１０は、それらのいずれにも吸着ノズル４４は収容されておらず、空とされている。
【００５７】
各ノズル収容具１１０は、収容筒１１４の下方においてそれと一体的かつ同軸的に付設されたギヤ１２０を有している。一方、基台１０２には、ラック１２２が、左右に延びる姿勢で、かつ、それの軸線方向に移動可能に配設されている。図１０にも示すように、上記右側の４つのノズル収容具１１０のギヤ１２０は、そのラック１２２と噛合しており、上記左側，中央の各々のセットの４つのノズル収容具の各々のギヤ１２０は、ユニットベース１０８に互いが一体的に回転するように支持された２つのギヤ１２４，１２６を介して、ラック１２２に連結されている。詳しく言えば、４つのノズル収容具の各々のギヤ１２０がユニットベース１０８の上方に位置させられているギヤ１２４に、ギヤ１２６がラック１２２に、それぞれ噛合している。つまり、ラック１２２と噛合するギヤ１２０，ギヤ１２６が、ピニオンとして機能する。基台１０２には、アクチュエータ１２８が固定されており、このアクチュエータ１２８によって、ラック１２２が、それの軸線方向に所定量往復動作するようにされている。このラック１２２の往復動作に伴って、各ノズル収容具１１０は、それによって保持された吸着ノズル４４の軸線回りに、同期して所定角度回転する。ちなみに、吸着ノズル４４の主筒４６に形成されたスロット５８の周方向部の長さは、その所定角度に対応している。
【００５８】
以上のような構造から、ノズルストッカ１００は、ノズル作動機構、詳しく言えば、それぞれがノズル保持具として機能する複数の収容筒１１４を、１つのアクチュエータ１２８によって同期して回転動作させることで、それら複数の収容筒１１４にそれぞれ保持された複数の吸着ノズル４４を同時に動作させる機構を有しているのである。さらに、左側のセット，中央のセットの４つのノズル収容具１１０に関して言えば、そのノズル作動機構は、アクチュエータ１２８によって動作させられる１つの駆動部材であるラック１２２と、そのラック１２２と係合して駆動される被駆動部材であるピニオンとされたギヤ１２６と、ギヤ１２４，ギヤ１２０を含んで構成されてギヤ１２６の回転動作を複数の収容筒１１４の回転動作に変換する動作変換機構とを含んで構成されているのである。なお、各ギヤ１２６は、１つのセットを構成する４つのノズル収容具１１０に対応しており、図に示すノズルストッカ１００では、それぞれが４つのノズル収容具１１０によって構成される２つのセットに対応する２つの被駆動部材が、１つの駆動部材に噛合するものとされている。
【００５９】
図７に示すように、ノズル収容ユニット１０４の外殻部材であるカバー１１２は、上面に、複数のノズル収容具１１０に対応して、複数の開口１３０を有している。一方、基台１０２には、アクチュエータ１３２と、そのアクチュエータ１３２によって左右に移動させられるレバー１３４とを含んで構成されたカバー移動機構１３６（図８，図１０参照）が設けられており、図示は省略するが、そのレバー１３４の上端が、カバー１１２に係合するようにされている。このアクチュエータ１３２によって、カバー１１２は、左右に所定距離移動させられる。図７に示す状態は、カバー１１２が一方の移動端に位置している状態であり、その状態では、各開口１３０が、対応するノズル収容具１１０に対してズレている。つまり、その状態では、フランジ４８が開口１３０に干渉し、吸着ノズル４４を、開口１３０を通してノズル収容具１１０に収容することはできず、また、ノズル収容具１１０に収容されている吸着ノズル４４を、開口１３０を通して取り出すことはできない。一方、図示は省略するが、カバー１１２が他方の移動端に位置している状態は、各開口１３０が対応するノズル収容具１１０と一致する位置に位置する状態であり、その状態においては、開口１３０を通しての吸着ノズル４４の収容，取り出しが可能とされる。つまり、カバー１１２およびカバー移動機構１３６は、ノズル収容具１１０に対する開口１３０の状態を、半開状態と全開状態とに切換えるシャッターとして機能するものとなっているのである。
【００６０】
ダイ集合体ＤＳが載置される保持フレーム２８は、ダイ集合体ＤＳの当該保持フレーム２８への載置，当該保持フレーム２８からの取除きの際に、ダイ集合体スタッカ１２に近い位置に位置させられる。図１から解るように、その際、保持フレーム２８は、ノズルストッカ１００の上方に位置する。基台昇降機構１０６は、吸着ノズル４４の交換の際に、ノズルストッカ１００を上方に位置させるために設けられている。
【００６１】
ノズルストッカ１００が有するノズル収容ユニット１０４は、ノズル収容具１１０のサイズ，配置等において異なる別のノズル収容ユニットに交換可能である。具体的に言えば、例えば、１列に配置されている４つのノズル収容具１１０に代えて、４つのノズル収容具１１０のセットをさらに２つ追加したような構成のノズル収容ユニットに交換したり、また、逆に、４つのノズル収容具のセットに代えて、１列に配置されている４つのノズル収容具１１０の列の延長上に、１以上のノズル収容具１１０が配置されたような構成のノズル収容ユニットに交換したりすることも可能である。基台１０２に支持されているラック１２２と噛合するギヤ１２０，ギヤ１２４は、ノズル収容ユニット１０４を上方に向かって基台１０２から外すことにより、そのラック１２２との噛合が容易に解除でき、また、別のノズル収容ユニットを上方から基台１０２に取り付けることにより、そのノズル収容ユニットのそれらのギヤを容易にラック１２２に噛合させることができるため、ノズル収容ユニットの他のノズル収容ユニットへの交換は、容易に行うことができる。また、異なる構成のノズル収容ユニットに交換した場合であっても、ラック１２２を動作させることにより、そのノズル収容ユニットが有する複数のノズル収容具１１０を同期して回転動作させることができるのである。
【００６２】
≪吸着ノズルの交換の際のダイ供給機の動作≫
以下に、ピックアップヘッド１６に装着されている吸着ノズル４４を別の吸着ノズル４４に自動で交換する際のダイ供給機の動作を、先に説明した各図に示す状態において４つの吸着ノズル４４を別の４つの吸着ノズル４４に同時に交換する場合を例にとって、説明する。
【００６３】
吸着ノズル４４を交換する場合、まず、ダイ集合体保持装置１４の保持テーブル２８を、上記作業位置に位置させ、その状態において、基台昇降機構１０６によって、ノズルストッカ１００のノズル収容ユニット１０４を、基台１０２ごと所定の交換位置に上昇させる。このとき、ノズル収容ユニット１０４のカバー１１２は、カバー移動機構１３６により、開口１３０が上記全開状態となるように位置させられる。次いで、４つのスリーブ４２の軸線が、空になっている４つのノズル収容具１１０、つまり、中央のセットの４つのノズル収容具１１０の軸線とそれぞれと一致する位置まで、ピックアップヘッド１６が、ヘッド移動装置１８によって移動させられる。この位置において、ロッド昇降機構４０により、４つのスリーブ４２に装着されている４つの吸着ノズル４４が、同時に下降させられ、空になっていた４つのノズル収容具１１０に収容される。このとき、各収容筒１１４の上端の係止ピン１１６が各吸着ノズル４４のフランジ４８に設けられたノッチ１１８に嵌る回転位置に、各ノズル収容具１１０は位置させられており、各係止ピン１１６は、各吸着ノズル４４のノッチ１１８に嵌り込む。なお、ノズル収容具１１０は、ノズル作動機構を構成するアクチュエータ１２８によってラック１２２が一方の移動端に位置させられていることで、上記回転位置に位置させられている。
【００６４】
４つの吸着ノズル４４の各々が対応するノズル収容具１１０に収容された後、ラック１２２がアクチュエータ１２８によって一方の移動端から他方の移動端に位置させられて、各ノズル収容具１１０が互いに同期して回転させられる。この回転により、収容された各吸着ノズル４４は、ピックアップヘッド１６の４つのスリーブ４２に対して互いに同期して回転する。この回転により、各吸着ノズル４４の主筒４６に設けられた１対の掛合ピン５６は、スリーブ４２に形成された１対のスロット５８の周方向部の止端部から、軸線方向部の上端に位置させられることになる。この状態において、ノズル収容ユニット１０４のカバー１１２が、カバー移動機構１３６により、開口１３０が上記半開状態となるように位置させられる。そして、ロッド昇降機構４０によって４つのロッド３６が同時に上昇させられ、４つの吸着ノズル４４は、４つのノズル収容具１１０にそれぞれ残存したままで、４つのスリーブ４２から抜き出される。つまり、４つの吸着ノズル４４の各々と４つのノズル収容具１１０の各々との係合状態が解除されるのである。
【００６５】
次に、４つのスリーブ４２の軸線が、左側のセットの４つのノズル収容具１１０の軸線とそれぞれ一致する位置まで、ピックアップヘッド１６が、ヘッド移動装置１８によって移動させられる。その位置において、ロッド昇降機構４０により、４つのスリーブ４２が、同時に下降させられ、それら４つのノズル収容具１１０に収容されている４つの吸着ノズル４４の主筒４６が、４つのスリーブ４２にそれぞれ嵌め入れられる。つまり、４つの吸着ノズル４４の各々と４つのノズル収容具１１０の各々とが、係合状態とされるのである。このとき、各吸着ノズル４４の主筒４６に設けられた１対の掛合ピン５６が、対応するスリーブ４２に形成された１対のスロット５８のそれぞれの軸線方向部に嵌り込むような回転位置に、４つのノズル収容具１１０は回転させられている。各吸着ノズル４４の主筒４６がスリーブ４２の奥まで嵌め入れられた状態において、ラック１２２がアクチュエータ１２８によって上記他方の移動端から上記一方の移動端に位置させられて、各ノズル収容具１１０が互いに同期して先の方向とは逆の方向に回転させられる。この回転により、収容された各吸着ノズル４４は、ピックアップヘッド１６の４つのスリーブ４２に対して互いに同期して先の方向とは逆の方向に回転する。この回転により、各吸着ノズル４４の主筒４６に設けられた１対の掛合ピン５６は、スリーブ４２に形成された１対のスロット５８の周方向部の止端部にまで回転させられることになる。
【００６６】
次いで、ノズル収容ユニット１０４のカバー１１２が、カバー移動機構１３６により、開口１３０が上記全開状態となるように位置させられる。その後、ロッド昇降機構４０によって４つのロッド３６が同時に上昇させられ、４つの吸着ノズル４４は、４つのスリーブ４２に嵌り入ったままで、それら４つのスリーブ４２とともに上昇させられる。このようにして、先に装着されていた４つの吸着ノズル４４とは別の４つの吸着ノズル４４が、同時に、ピックアップヘッド１６に装着されるのである。その後、カバー移動機構１３６により、カバー１１２が、開口１３０が上記半開状態となる位置に戻され、そして、ノズル収容ユニット１０４が、基台昇降機構１０６によって、退避位置まで下降させられて、一連の吸着ノズル４４の交換の動作が終了する。
【００６７】
上述のように、本ダイ供給機では、複数の吸着ノズル４４を別の複数の吸着ノズル４４に交換する際、複数の吸着ノズル４４を同時にピックアップヘッド１６から離脱させ、別の複数の吸着ノズル４４を同時にピックアップヘッド１６に装着させるように構成されていることから、その交換を迅速に行うことが可能とされている。また、離脱のための複数の吸着ノズル４４の同時動作、および、装着のための複数の吸着ノズル４４の同時動作を行わせる機構、つまり、上記ノズル作動機構が、ピックアップヘッド１６にではなく、ノズルストッカ１００に設けられているため、ピックアップヘッドの構造の単純化，軽量化を図ることが可能となっている。
【００６８】
上記吸着ノズルの交換のための動作は、複数の吸着ノズル４４を別の複数の吸着ノズルに交換する場合の動作であるが、本ダイ供給機では、複数の吸着ノズル４４を１つずつ交換することも可能であり、また、１つしか装着されていない吸着ノズル４４を、別の１つに交換することも可能である。なお、ノズルストッカ１００の右側において１列に並ぶ４つのノズル収容具１１０は、左側，中央の各セットのノズル収容具１１０と、ラック１２２の移動方向に対する回転方向が逆になっている。したがって、１列に並ぶ４つのノズル収容具１１０に関する装着動作，離脱動作を適切に行わせるためには、ラック１２２が上記一方の移動端に位置する場合の回転位置において、ノズル収容具１１０に収容された吸着ノズル４４の主筒４２に設けられた１対の掛合ピン５６がスリーブ４２に形成された１対のスロット５８の軸線方向部と一致するように、収容筒１１４の上端の係止ピン１１６の位置を設定し、その回転位置において、ロッド昇降機構４０によるスリーブ４２の昇降を行って吸着ノズル４４の主筒４６のスリーブ４２に対する嵌入，抜出を行い、かつ、上記他方の移動端に位置する場合に、１対の掛合ピン５６がスリーブ４２の１対のスロット５８の周方向部の止端部に位置するように構成すればよい。簡単に言えば、交換の際のラック１２２の動作の方向が反対となるようにすればよいのである。
【符号の説明】
【００６９】
１２：ダイ集合体スタッカ〔ダイ集合体収容装置〕 １４：ダイ集合体保持装置 １６：ピックアップヘッド １８：ヘッド移動装置 ３６：ロッド ４０：ロッド昇降機構〔ノズル昇降機構〕 ４２：スリーブ〔ノズル被装着具〕 ４４：吸着ノズル ５６：掛合ピン ５８：スロット １００：ノズルストッカ〔ノズル格納装置〕 １０４：ノズル収容ユニット １１０：ノズル収容具 １１４：収容筒〔ノズル保持具〕 １２０：ギヤ〔動作変換機構，ノズル作動機構〕 １２２：ラック〔駆動部材，ノズル作動機構〕 １２４：ギヤ〔動作変換機構，ノズル作動機構〕 １２６：ギヤ〔ピニオン，被駆動部材，ノズル作動機構〕 １２８：アクチュエータ〔ノズル作動機構〕 Ｄ：ダイ ＤＳ：ダイ集合体
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハをダイシングしてなるダイ集合体からダイをピックアップして供給するダイ供給機であって、
ダイ集合体を保持するダイ集合体保持装置と、
それぞれがダイを吸着保持する複数の吸着ノズルをそれぞれ装着可能な複数のノズル被装着具と、それら複数のノズル被装着具を昇降させることでそれら複数のノズル被装着装具に装着された複数の吸着ノズルを昇降させるノズル昇降機構とを有し、前記ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体からダイをピックアップするためのピックアップヘッドと、
そのピックアップヘッドを、ダイのピックアップおよびピックアップされたダイの所定の供給位置における供給のために移動させるヘッド移動装置と、
前記複数の吸着ノズルを、前記複数のノズル被装着具の相対位置関係と同じ相対位置関係で格納するように構成されており、かつ、格納されたそれら複数の吸着ノズルを前記複数のノズル被装着具に同時に装着するためにそれら複数の吸着ノズルを同時に動作させるノズル作動機構を有するノズル格納装置と
を備えたダイ供給機。
【請求項２】
前記ノズル格納装置が、前記複数の吸着ノズルをそれぞれ保持する複数のノズル保持具を有して、それら複数のノズル保持具がそれら複数の吸着ノズルを保持した状態で、それら複数の吸着ノズルを格納するように構成されており、
前記ノズル作動機構が、それら複数のノズル保持具を同期して動作させることで、それら複数のノズル保持具に保持された前記複数の吸着ノズルを同時に動作させるように構成された請求項１に記載のダイ供給機。
【請求項３】
前記ノズル作動機構が、１つのアクチュエータを有し、そのアクチュエータによって前記複数のノズル保持具を同期して動作させるように構成された請求項２に記載のダイ供給機。
【請求項４】
前記ノズル作動機構が、前記アクチュエータによって動作させられる１つの駆動部材と、その駆動部材と係合してその駆動部材によって駆動される被駆動部材と、その被駆動部材の動作を前記複数のノズル保持具の動作に変換する動作変換機構とを有する請求項３に記載のダイ供給機。
【請求項５】
前記ノズル格納装置が、
前記複数のノズル保持具と、前記被駆動部材と、前記動作変換機構とがユニット化されたノズル収容ユニットを含んで構成され、
そのノズル収容ユニットが、別のノズル収容ユニットと交換可能とされた請求項４に記載のダイ供給機。
【請求項６】
前記駆動部材がラックであり、前記被駆動部材がそのラックと噛合するピニオンである請求項４または請求項５に記載のダイ供給機。
【請求項７】
前記複数の吸着ノズルの各々が、前記複数のノズル被装着具のうちの対応するものに対して自身の軸線回りに回転動作させられることによりそのものに装着されるように構成されており、
前記ノズル作動機構が、前記複数のノズル保持具を、それらの各々によって保持された複数の吸着ノズルの各々の軸線回りに同期して回転させるよう構成された請求項２ないし請求項６のいずれか１つに記載のダイ供給機。
【請求項１】
ウェハをダイシングしてなるダイ集合体からダイをピックアップして供給するダイ供給機であって、
ダイ集合体を保持するダイ集合体保持装置と、
それぞれがダイを吸着保持する複数の吸着ノズルをそれぞれ装着可能な複数のノズル被装着具と、それら複数のノズル被装着具を昇降させることでそれら複数のノズル被装着装具に装着された複数の吸着ノズルを昇降させるノズル昇降機構とを有し、前記ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体からダイをピックアップするためのピックアップヘッドと、
そのピックアップヘッドを、ダイのピックアップおよびピックアップされたダイの所定の供給位置における供給のために移動させるヘッド移動装置と、
前記複数の吸着ノズルを、前記複数のノズル被装着具の相対位置関係と同じ相対位置関係で格納するように構成されており、かつ、格納されたそれら複数の吸着ノズルを前記複数のノズル被装着具に同時に装着するためにそれら複数の吸着ノズルを同時に動作させるノズル作動機構を有するノズル格納装置と
を備えたダイ供給機。
【請求項２】
前記ノズル格納装置が、前記複数の吸着ノズルをそれぞれ保持する複数のノズル保持具を有して、それら複数のノズル保持具がそれら複数の吸着ノズルを保持した状態で、それら複数の吸着ノズルを格納するように構成されており、
前記ノズル作動機構が、それら複数のノズル保持具を同期して動作させることで、それら複数のノズル保持具に保持された前記複数の吸着ノズルを同時に動作させるように構成された請求項１に記載のダイ供給機。
【請求項３】
前記ノズル作動機構が、１つのアクチュエータを有し、そのアクチュエータによって前記複数のノズル保持具を同期して動作させるように構成された請求項２に記載のダイ供給機。
【請求項４】
前記ノズル作動機構が、前記アクチュエータによって動作させられる１つの駆動部材と、その駆動部材と係合してその駆動部材によって駆動される被駆動部材と、その被駆動部材の動作を前記複数のノズル保持具の動作に変換する動作変換機構とを有する請求項３に記載のダイ供給機。
【請求項５】
前記ノズル格納装置が、
前記複数のノズル保持具と、前記被駆動部材と、前記動作変換機構とがユニット化されたノズル収容ユニットを含んで構成され、
そのノズル収容ユニットが、別のノズル収容ユニットと交換可能とされた請求項４に記載のダイ供給機。
【請求項６】
前記駆動部材がラックであり、前記被駆動部材がそのラックと噛合するピニオンである請求項４または請求項５に記載のダイ供給機。
【請求項７】
前記複数の吸着ノズルの各々が、前記複数のノズル被装着具のうちの対応するものに対して自身の軸線回りに回転動作させられることによりそのものに装着されるように構成されており、
前記ノズル作動機構が、前記複数のノズル保持具を、それらの各々によって保持された複数の吸着ノズルの各々の軸線回りに同期して回転させるよう構成された請求項２ないし請求項６のいずれか１つに記載のダイ供給機。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１３−８０７９１（Ｐ２０１３−８０７９１Ａ）
【公開日】平成２５年５月２日（２０１３．５．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１９４８８（Ｐ２０１１−２１９４８８）
【出願日】平成２３年１０月３日（２０１１．１０．３）
【出願人】（０００２３７２７１）富士機械製造株式会社 (775)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２日（２０１３．５．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月３日（２０１１．１０．３）
【出願人】（０００２３７２７１）富士機械製造株式会社 (775)
【Ｆターム（参考）】
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