ロボットハンド及びロボット
【課題】段取り換えを容易に行うことができるようにする。
【解決手段】左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒに設けられた左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒは、液晶ガラス基板Ｗを載置可能な３つのフォーク１２と、フォーク１２の長手方向に互いに離れて配置される一対の固定部材１５と、一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置され、フォーク１２に載置された液晶ガラス基板Ｗの長手方向の移動を規制する一対のガイド部材１３とを有しており、一対のガイド部材１３の少なくとも一方は、フォーク１２の長手方向位置が、複数の位置に選択的に設定可能に構成されている。
【解決手段】左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒに設けられた左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒは、液晶ガラス基板Ｗを載置可能な３つのフォーク１２と、フォーク１２の長手方向に互いに離れて配置される一対の固定部材１５と、一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置され、フォーク１２に載置された液晶ガラス基板Ｗの長手方向の移動を規制する一対のガイド部材１３とを有しており、一対のガイド部材１３の少なくとも一方は、フォーク１２の長手方向位置が、複数の位置に選択的に設定可能に構成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、対象物を搬送するためのロボットハンド及びそれを備えたロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、対象物を搬送するためのロボットハンドが知られている（例えば、特許文献１参照）。この従来技術のロボットハンド（基板搬送用ハンド）は、ロボット（自動搬送装置）のハンド取付部にハンド取付用プレートを介して取り付けられている。そして、対象物（基板）の周縁部より外側に配したアームと、このアームに取り付けられ、対象物の周縁部を把持する基板把持部とを備えている。
【０００３】
基板把持部の基材把持材は、ガイド部材（把持母材）と、このガイド部材を移動・案内するガイドと、対象物の裏面を支持する支持ピンとから構成されている。ガイド部材は、アームに固定したガイドに沿ってアームの長手方向に移動でき、所望の位置でボルトネジにより固定される。また、ガイド部材は、基板ガイド部と基板対面部とを備えている。基板ガイド部は、対象物の受取時に対象物の位置が多少ずれている場合でも、基板対面部に囲われる部分に対象物をガイドする。基板対面部は、支持ピン上に把持されている対象物の端面と所定の隙間を介して対向するように配されており、対象物がずれるのを防止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２５４３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来技術のロボットハンドは、ガイド部材のボルトネジによる固定位置を変えることで、対象物の支持位置を変えることができるので、互いに寸法の異なる対象物を搬送する環境に用いることができる。このように、対象物を搬送するためのロボットハンドを、互いに寸法の異なる対象物を搬送する環境に用いる場合、搬送対象となる対象物の寸法を変更する度に、対象物と所定の隙間を介して対向するように、ガイド部材の固定位置を変更する段取り換えを行う必要がある。一般には、教示時に、対象物の寸法ごとに、ガイド部材の固定位置を設定して目印を記録しておき、搬送対象となる対象物の寸法を変更する際に、ガイド部材を上記教示時に記録した目印に合致するように配置して固定することにより段取り換えを行う。このため、段取り換えに手間がかかり、作業性が良いとは言えなかった。
【０００６】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、段取り換えを容易に行うことができるロボットハンド及びロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、ロボットアームに設けられ、対象物を搬送するためのロボットハンドであって、前記対象物を載置可能な少なくとも１つのフォークと、前記フォークの長手方向に互いに離れて配置される一対の第１固定部材と、前記一対の第１固定部材の間にそれぞれ配置され、前記フォークに載置された前記対象物の前記長手方向の移動を規制する一対の第１ガイド部材と、を有し、前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、前記フォークの長手方向位置が、複数の位置に選択的に設定可能に構成されているロボットハンドが適用される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のロボットハンド及びロボットによれば、段取り換えを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】一実施の形態のロボットの全体構成を表す斜視図である。
【図２】最も寸法の大きな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図３】図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ断面に相当する断面図である。
【図４】２番目に寸法の大きな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図５】図４中のＶ−Ｖ断面に相当する断面図である。
【図６】最も寸法の小さな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図７】図６中のＶＩＩ−ＶＩＩ断面に相当する断面図である。
【図８】フォークの短手方向にもガイド部材を配置する変形例において、最も寸法の大きな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図９】図８中のＩＸ−ＩＸ断面に相当する断面図である。
【図１０】２番目に寸法の大きな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図１１】図１０中のＸＩ−ＸＩ断面に相当する断面図である。
【図１２】最も寸法の小さな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図１３】図１２中のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面に相当する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、一実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
図１に示すように、本実施形態のロボット１は、図示しないカセットに収納された薄板状の液晶ガラス基板Ｗ（対象物）を所定の領域に搬送する多関節ロボットである。このロボット１は、所定の方向に走行可能な走行台車２と、走行台車２に取り付けられた固定ベース３と、昇降アーム４と、水平ベース５と、水平ベース５に対称構造で連結された左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒとを有している。なお、走行台車２は必ずしも必要ではなく、ロボットは架台等に固定されたものでもよい。
【００１２】
昇降アーム４は、先端が固定ベース３に連結された第１昇降リンク４ａと、先端が水平ベース５に連結された第２昇降リンク４ｂとを有しており、第１昇降リンク４ａが第１旋回軸７を中心に旋回し、第２昇降リンク４ｂが第２旋回軸８を中心に旋回して、昇降アーム４より上側に配置された水平ベース５、左アーム６Ｌ、及び右アーム６Ｒを上下動させる。
【００１３】
水平ベース５は、第３旋回軸２０を中心に旋回して、左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒを水平方向に旋回させる。
【００１４】
左アーム６Ｌは、水平ベース５に連結された第１左リンク６Ｌａと、液晶ガラス基板Ｗを搬送するための左ハンド９Ｌを先端に備えた第２左リンク６Ｌｂとを有しており、第１左リンク６Ｌａが第３旋回軸１０Ｌを中心に旋回し、第２左リンク６Ｌｂが第４旋回軸１１Ｌを中心に旋回して、左ハンド９Ｌを進退移動させる。
【００１５】
右アーム６Ｒは、水平ベース５に連結された第１右リンク６Ｒａと、液晶ガラス基板Ｗを搬送するための右ハンド９Ｒを先端に備えた第２右リンク６Ｒｂとを有しており、第１右リンク６Ｒａが第３旋回軸１０Ｒを中心に旋回し、第２右リンク６Ｒｂが第４旋回軸１１Ｒを中心に旋回して、右ハンド９Ｒを進退移動させる。
【００１６】
左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒは、上下方向の位置がずれて配置されている（この例では、左ハンド９Ｌが上側、右ハンド９Ｒが下側に配置されている）が、基本的には互いに同様の構造であり、液晶ガラス基板Ｗを載置可能な３つのフォーク１２をそれぞれ有している。なお、フォーク１２の数は、この例のように３つに限られず、１つや２つ、あるいは４つ以上でもよい。
【００１７】
なお、左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒ（以下、これらを「アーム６」と総称する）のそれぞれが、特許請求の範囲に記載のロボットアームに相当する。また、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒ（以下、これらを「ハンド９」と総称する）のそれぞれが、特許請求の範囲に記載のロボットハンドに相当する。
【００１８】
以上のように基本構成されたロボット１は、アーム６を揺動させることで、ハンド９を前方に移動させ、昇降アーム４を上方に駆動させることで、ハンド９を上方に移動させ、カセット内の液晶ガラス基板Ｗをフォーク１２上に載置する。その後、アーム６を揺動させることで、ハンド９を後方に移動させ、水平ベース５を旋回させることで、アーム６を水平方向に旋回させる。そして、アーム６を揺動させることで、ハンド９を前方に移動させ、昇降アーム４を下方に駆動させることで、ハンド９を下方に移動させ、フォーク１２上に載置した液晶ガラス基板Ｗを所定の領域に載置する。以上により、ロボット１は、カセットに収納された液晶ガラス基板Ｗを所定の領域に搬送する。
【００１９】
ここで、本実施形態では、ロボット１の搬送対象として、互いに寸法の異なる３種類の液晶ガラス基板Ｗが準備されている。この例では、最も寸法の大きな（例えば、７３０×９２０）液晶ガラス基板Ｗ１（後述の図２及び図３参照）と、２番目に寸法の大きな（例えば、６８０×８８０）液晶ガラス基板Ｗ２（後述の図４及び図５参照）と、最も寸法の小さな（例えば、６２０×７５０）液晶ガラス基板Ｗ３（後述の図６及び図７参照）とが準備されている。フォーク１２は、これら３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のいずれも載置可能となっている。
【００２０】
また、図１中では図示省略しているが、フォーク１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗがフォーク１２の長手方向（以下適宜、「フォーク長手方向」と称する）にずれるのを防止する（フォーク１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗのフォーク長手方向の移動を規制する）ため、フォーク１２上に、当該フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗのフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙（例えば、０．５ｍｍのクリアランス）を介して対向するように、一対のガイド部材１３（第１ガイド部材。後述の図２等参照）が固定されるようになっている。したがって、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する度に、液晶ガラス基板Ｗとフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、ガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換えが行われる。なお、上記のクリアランスは、液晶ガラス基板Ｗの寸法に比べ十分に小さく設定する必要がある。クリアランスが大きすぎると、一対のガイド部材１３の間で液晶ガラス基板Ｗが大きく動くため、液晶ガラス基板Ｗに衝撃が加わる等の不都合が生じる。一方、クリアランスが小さすぎると、液晶ガラス基板Ｗの公差やロボット１等の機械類の経時変化等が許容されず、液晶ガラス基板Ｗが一対のガイド部材１３の間に収まらないことが起こりうる。
【００２１】
ここで、段取り換えについて説明する前に、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた３つのフォーク１２について説明する。
【００２２】
図２〜図７において、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた３つのフォーク１２は、互いに同様の構造であり、フォーク長手方向に互いに離れた２箇所に、フォーク長手方向に沿って上面に孔設された、ネジ１４が締結される複数のネジ孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆをそれぞれ有し、さらに、フォーク長手方向に沿って上面に立設された、液晶ガラス基板Ｗを支持する複数のピン１２ｇをそれぞれ有している。また、各フォーク１２上のフォーク長手方向に対応する上記２箇所には、一対の固定部材１５（第１固定部材）がフォーク長手方向に互いに離れて配置されている。詳細には、一対の固定部材１５は、各フォーク１２上の、ロボット１の装置基準等に応じて設定されたフォーク長手方向に沿った所定の位置（以下適宜、「所定の長手方向位置」と称する）に、それぞれ配置されている。
【００２３】
一対の固定部材１５は、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１４を挿通させフォーク１２上のネジ孔１２ａに締結させるための長孔１５ａ（第１挿通孔）をこの例では２つ有しており、２つのネジ１４が各長孔１５ａに挿通され各ネジ孔１２ａに締結されることで、上記所定の長手方向位置にそれぞれ固定される。なお、上記「長孔状」とは、短軸方向の寸法より長軸方向の寸法の方が大きくなるように設けられた孔の形状を意味する。各長孔１５ａはそれぞれ、フォーク１２の短手方向の長さが、ネジ１４の軸部より長く、かつ、ネジ１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク長手方向の長さが、少なくとも上記短手方向の長さより長く設定されている。
【００２４】
また、一対の固定部材１５は、段取り換えを行う際でも固定位置が変更されない、すなわち搬送対象が液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のいずれの場合でも同じ位置に固定されるようになっており、上記一対のガイド部材１３のそれぞれは、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間に配置され、当該固定部材１５を基準に、固定位置が設定されるようになっている。具体的には、上記一対のガイド部材１３のぞれぞれは、フォーク長手方向に沿ったフォーク長手方向位置が、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間の複数の位置に選択的に設定可能に構成されている。
【００２５】
なお、図２〜図８に示す例では、固定部材１５の各長孔１５ａに挿通され、フォーク１２上の各ネジ孔１２ａに締結されて、固定部材１５とフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第１締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結される各ネジ孔１２ａが、特許請求の範囲に記載の第１締結孔に相当する。
【００２６】
以下、段取り換えについて説明する。
【００２７】
まず、図２及び図３を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、最も寸法の大きな液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合について説明する。
【００２８】
図２及び図３に示すように、液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた各フォーク１２上には、一対の固定部材１５と、一対のガイド部材１３とがそれぞれ配置される。一対の固定部材１５は、上述したように、上記所定の長手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００２９】
一対のガイド部材１３は、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗを支持するパッド１３１ａが液晶ガラス基板Ｗ側の上端部に立設された平板部１３１と、平板部１３１上のパッド１３１ａより固定部材１５側においてネジ１６により固定されたガイド部１３２とから構成されている。平板部１３１は、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１４を挿通させフォーク１２上のネジ孔１２ｂ〜１２ｆのいずれかに締結させるための長孔１３１ｂ（第２挿通孔）をこの例では２つ有している。各長孔１３１ｂはそれぞれ、フォーク１２の短手方向の長さが、ネジ１４の軸部より長く、かつ、ネジ１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク長手方向の長さが、少なくとも上記短手方向の長さより長く設定されている。
【００３０】
液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合、まず、一対のガイド部材１３が、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、近い方の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１４が各長孔１３１ｂに挿通されネジ孔１２ｂ，１２ｃに締結されることで、一対のガイド部材１３は、フォーク１２上にそれぞれ固定される。以上により、ガイド部材１３は、一対の固定部材１５の間の複数の位置のうち、ガイド部１３２の端面が、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ１の端面に対しフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上の固定部材１５より液晶ガラス基板Ｗ１側となる位置に固定される。
【００３１】
なお、図２及び図３に示す例では、上記所定の長手方向位置に配置された一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に当接する、一対のガイド部材１３の平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第１当接面に相当する。また、ガイド部材１３の平板部１３１の各長孔１３１ｂに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｂ，１２ｃに締結されて、ガイド部材１３とフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第２締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結されるネジ孔１２ｂ，１２ｃが、特許請求の範囲に記載の第２締結孔に相当する。
【００３２】
以上のように段取り換えが行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ１は、その端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａに支持されつつフォーク１２上に載置される。
【００３３】
次に、図４及び図５を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、２番目に寸法の大きな液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合について説明する。
【００３４】
図４及び図５に示すように、液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた各フォーク１２上には、一対の固定部材１５と、液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３の寸法に応じて準備された、互いにフォーク長手方向寸法の異なる２種類の、一対の中間部材１７Ａ（図４及び図５参照）及び一対の中間部材１７Ｂ（後述の図６及び図７参照）のうち、フォーク長手方向寸法の小さな一対の中間部材１７Ａと、一対のガイド部材１３とがそれぞれ配置される。なお、図４及び図５に示す例では、中間部材１７Ａが、特許請求の範囲に記載の第１中間部材に相当する。一対の固定部材１５は、上述したように、上記所定の長手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００３５】
一対の中間部材１７Ａは、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１４を挿通させフォーク１２上のネジ孔１２ｂ〜１２ｄのいずれかに締結させるための長孔１７Ａａ（第３挿通孔）をこの例では１つ有している。長孔１７Ａａは、フォーク１２の短手方向の長さが、ネジ１４の軸部より長く、かつ、ネジ１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク長手方向の長さが、少なくとも上記短手方向の長さより長く設定されている。
【００３６】
液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合、まず、一対の中間部材１７Ａが、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対の中間部材１７Ａは、液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、近い方の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、ネジ１４が長孔１７Ａａに挿通されネジ孔１２ｂに締結されることで、一対の中間部材１７Ａは、フォーク１２上にそれぞれ固定される。その後、一対のガイド部材１３が、フォーク１２上に固定された一対の中間部材１７Ａの間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、近い方の中間部材１７Ａの液晶ガラス基板Ｗ２側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１４が各長孔１３１ｂに挿通されネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結されることで、一対のガイド部材１３は、フォーク１２上にそれぞれ固定される。以上により、中間部材１７Ａは、フォーク１２上の固定部材１５と当該固定部材１５に近い方のガイド部材１３との間に固定され、ガイド部材１３は、一対の固定部材１５の間の複数の位置のうち、ガイド部１３２の端面が、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ２の端面に対しフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上の固定部材１５より液晶ガラス基板Ｗ２側となる位置に固定される。
【００３７】
なお、図４及び図５に示す例では、上記所定の長手方向位置に配置された一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に当接する、一対の中間部材１７Ａの液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第２当接面に相当する。また、一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が当接するようにフォーク１２上に固定された一対の中間部材１７Ａの、液晶ガラス基板Ｗ２側の面に当接する、一対のガイド部材１３の液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第３当接面に相当する。さらに、ガイド部材１３の平板部１３１の各長孔１３１ｂに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結されて、ガイド部材１３とフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第２締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結されるネジ孔１２ｃ，１２ｄが、特許請求の範囲に記載の第２締結孔に相当する。またさらに、中間部材１７Ａの長孔１７Ａａに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｂに締結されて、中間部材１７Ａとフォーク１２とを締結するネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第３締結部材に相当し、このネジ１４が締結されるネジ孔１２ｂが、特許請求の範囲に記載の第３締結孔に相当する。
【００３８】
以上のように段取り換えが行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ２は、その端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａに支持されつつフォーク１２上に載置される。
【００３９】
次に、図６及び図７を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、最も寸法の小さな液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合について説明する。
【００４０】
図６及び図７に示すように、液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた各フォーク１２上には、一対の固定部材１５と、上記２種類の、一対の中間部材１７Ａ及び一対の中間部材１７Ｂのうち、フォーク長手方向寸法の大きな一対の中間部材１７Ｂと、一対のガイド部材１３とがそれぞれ配置される。なお、図６及び図７に示す例では、中間部材１７Ｂが、特許請求の範囲に記載の第１中間部材に相当する。一対の固定部材１５は、上述したように、上記所定の長手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００４１】
一対の中間部材１７Ｂは、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、２つのネジ１４を挿通させフォーク１２上のネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結させるための長孔１７Ｂａ（第３挿通孔）をこの例では１つ有している。長孔１７Ｂａは、フォーク１２の短手方向の長さが、ネジ１４の軸部より長く、かつ、ネジ１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク長手方向の長さが、少なくとも上記短手方向の長さより長く設定されている。
【００４２】
液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合、まず、一対の中間部材１７Ｂが、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対の中間部材１７Ｂは、液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、近い方の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１４が長孔１７Ｂａに挿通されネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結されることで、一対の中間部材１７Ｂは、フォーク１２上にそれぞれ固定される。その後、一対のガイド部材１３が、フォーク１２上に固定された一対の中間部材１７Ｂの間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、近い方の中間部材１７Ｂの液晶ガラス基板Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１４が各長孔１３１ｂに挿通されネジ孔１２ｅ，１２ｆに締結されることで、一対のガイド部材１３は、フォーク１２上にそれぞれ固定される。以上により、中間部材１７Ｂは、フォーク１２上の固定部材１５と当該固定部材１５に近い方のガイド部材１３との間に固定され、ガイド部材１３は、一対の固定部材１５の間の複数の位置のうち、ガイド部１３２の端面が、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ３の端面に対しフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上の固定部材１５より液晶ガラス基板Ｗ３側となる位置に固定される。
【００４３】
なお、図６及び図７に示す例では、上記所定の長手方向位置に配置された一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に当接する、一対の中間部材１７Ｂの液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第２当接面に相当する。また、一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が当接するようにフォーク１２上に固定された一対の中間部材１７Ｂの、液晶ガラス基板Ｗ３側の面に当接する、一対のガイド部材１３の液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第３当接面に相当する。さらに、ガイド部材１３の平板部１３１の各長孔１３１ｂに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｅ，１２ｆに締結されて、ガイド部材１３とフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第２締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結されるネジ孔１２ｅ，１２ｆが、特許請求の範囲に記載の第２締結孔に相当する。またさらに、中間部材１７Ｂの長孔１７Ｂａに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結されて、中間部材１７Ｂとフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第３締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結されるネジ孔１２ｃ，１２ｄが、特許請求の範囲に記載の第３締結孔に相当する。
【００４４】
以上のように段取り換えが行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ３は、その端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａに支持されつつフォーク１２上に載置される。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態のロボット１は、左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒに左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒを備えており、これら左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒを用いて液晶ガラス基板Ｗを搬送する。
【００４６】
ここで、一般に、液晶ガラス基板Ｗを搬送する方式としては、ハンドに設けた適宜の吸着部材により液晶ガラス基板Ｗを真空吸着しつつ搬送する吸着方式や、ハンドに設けたフォーク上に液晶ガラス基板Ｗを載置しつつ搬送する非吸着方式がある。吸着方式の場合、吸着部材により液晶ガラス基板Ｗを真空吸着しつつハンドの移動を行うことで、液晶ガラス基板Ｗの位置ずれを防止しつつ液晶ガラス基板Ｗを搬送することができるが、吸着により液晶ガラス基板Ｗが撓んだり、液晶ガラス基板Ｗの吸着面に形成されたコーティング層に斑が発生するおそれがある。非吸着方式の場合、フォークを液晶ガラス基板Ｗの下側に移動させ、その後フォークを上昇させてフォーク上に液晶ガラス基板Ｗを載置し、その状態でハンドの移動を行うことで、液晶ガラス基板Ｗを搬送する。このような非吸着方式の場合、一般に、フォーク上に載置される液晶ガラス基板Ｗの位置ずれを防止するため、フォーク上に、液晶ガラス基板Ｗに対し長手方向に所定の間隙を介して対向するように、一対のガイド部材が配置される。フォーク上に一対のガイド部材が配置されたハンドを用いることにより、フォーク上に載置された液晶ガラス基板Ｗの位置ずれを防止しつつ液晶ガラス基板Ｗを搬送することができる。
【００４７】
また、ここで、上記フォーク上に一対のガイド部材が配置されたハンドをアームの先端に備えたロボットを、互いに寸法の異なる液晶ガラス基板Ｗを搬送する環境に用いる場合が考えられる。この場合、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する度に、液晶ガラス基板Ｗと所定の間隙を介して対向するように、ガイド部材の固定位置を変更する段取り換えを行う必要がある。一般には、教示時に、液晶ガラス基板Ｗの寸法ごとに、ガイド部材の固定位置を設定して目印を記録しておき、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する際に、ガイド部材を上記教示時に記録した目印に合致するように配置して固定することにより段取り換えを行う。このため、段取り換えに手間がかかり、作業性が良いとは言えなかった。
【００４８】
そこで本実施形態においては、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒが、液晶ガラス基板Ｗを載置可能な３つのフォーク１２と、フォーク１２上のフォーク長手方向に互いに離れて配置される一対の固定部材１５と、一対のガイド部材１３とを有している。一対のガイド部材１３は、一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置され、フォーク１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗのフォーク長手方向の移動を規制する。そして、一対のガイド部材１３のそれぞれは、フォーク１２上のフォーク長手方向位置が、一対の固定部材１５の間の複数の位置に選択的に設定可能に構成されている。これにより、互いに寸法の異なる液晶ガラス基板Ｗを搬送する環境に用いる場合でも、フォーク１２上に配置された固定部材１５を基準に、ガイド部材１３の固定位置を設定できるので、段取り換えを容易に行うことができる。また、予め、液晶ガラス基板Ｗの寸法ごとに、液晶ガラス基板Ｗとの間隙が所定の間隔となるようにガイド部材１３をフォーク１２上に配置したハンドを用意して、液晶ガラス基板Ｗを搬送する際に、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法に応じてハンドを付け替える場合に比べ、コストを大幅に削減することができると共に、作業性を向上することができる。
【００４９】
また、本実施形態では特に、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、フォーク１２上の所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される（図２及び図３参照）。また、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ２，Ｗ３とは反対側の面が、中間部材１７Ａ，１７Ｂの液晶ガラス基板Ｗ２，Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される（図４〜図７参照）。ガイド部材１３をフォーク１２上に固定された固定部材１５に突き当てて配置したり、ガイド部材１３をフォーク１２上に固定された、フォーク１２上に固定された固定部材１５に突き当てて配置された中間部材１７Ａ，１７Ｂに突き当てて配置することにより、ガイド部材１３を、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗに対しフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、容易かつ確実に配置することができる。
【００５０】
また、本実施形態では特に、固定部材１５、ガイド部材１３、及び中間部材１７Ａ，１７Ｂは、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、長孔１５ａ、長孔１３１ｂ、及び長孔１７Ａａ，１７Ｂａを有している。これにより、固定部材１５及びガイド部材１３、及び中間部材１７Ａ，１７Ｂをフォーク１２上に固定する際の組み付け性を向上することができる。
【００５１】
なお、実施の形態は、上記内容に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を説明する。
【００５２】
（１）フォークの短手方向にもガイド部材を配置する場合
図８〜図１３において、本変形例の左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒは、前述の液晶ガラス基板Ｗを載置可能な５つのフォーク１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃ，１１２Ｄ，１１２Ｅを有している。なお、フォーク１１２の数は、この例のように５つに限られず、１つや２つ、あるいは４つ以上でもよい。フォーク１１２Ａ〜１１２Ｅ（以下適宜、これらを「フォーク１１２」と総称する）は、前述の３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のいずれも載置可能となっている。
【００５３】
また、本変形例においては、フォーク１１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗがフォーク１１２の短手方向（以下適宜、「フォーク短手方向」と称する）にずれるのを防止する（フォーク１１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗのフォーク短手方向の移動を規制する）ため、上記５つのフォーク１１２Ａ〜１１２Ｅのうち、１番目のフォーク１１２Ａ上と５番目のフォーク１１２Ｅ上に、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗのフォーク短手方向の両端からそれぞれ所定の間隙（例えば、０．５ｍｍのクリアランス）を介して対向するように、液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３の寸法に応じて準備された、互いにフォーク短手方向寸法の異なる３種類の、一対のガイド部材１１３Ａ（図８及び図９参照）、一対のガイド部材１１３Ｂ（図１０及び図１１参照）、及び一対のガイド部材１１３Ｃ（図１２及び図１３参照）のいずれかが固定されるようになっている。したがって、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する度に、液晶ガラス基板Ｗとフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、ガイド部材１１３の種類を変更する段取り換えが行われる。
【００５４】
１番目のフォーク１１２Ａと５番目のフォーク１１２Ｅとは、互いに対称構造となっており、フォーク長手方向に沿って適宜の間隙で３箇所に、フォーク短手方向に沿って上面に孔設された、ネジ１１４が締結される複数のネジ孔１１２ａ，１１２ｂ，１１２ｃをそれぞれ有している。また、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上のフォーク長手方向の対応する上記３箇所には、一対の固定部材１１５（第２固定部材）の一方又は他方が、２つのフォーク１１２Ａ，１１２Ｅ間でフォーク短手方向に互いに離れて配置されている。つまり、フォーク１１２Ａ上の上記３箇所には、一対の固定部材１１５の一方がそれぞれ配置され、フォーク１１２Ｅ上の上記３箇所には、一対の固定部材１１５の他方がそれぞれ配置されている。詳細には、一対の固定部材１１５は、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の、ロボット１の装置基準等に応じて設定されたフォーク短手方向に沿った所定の位置（以下適宜、「所定の短手方向位置」と称する）に、それぞれ配置されている。
【００５５】
一対の固定部材１１５は、フォーク短手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１１４を挿通させフォーク１１２Ａ上又はフォーク１１２Ｅ上のネジ孔１１２ａに締結させるための長孔１１５ａをこの例では２つ有しており、２つのネジ１１４が各長孔１１５ａに挿通され各ネジ孔１１２ａに締結されることで、上記所定の短手方向位置にそれぞれ固定される。各長孔１１５ａはそれぞれ、フォーク長手方向の長さが、ネジ１１４の軸部より長く、かつ、ネジ１１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク短手方向の長さが、少なくとも上記長手方向の長さより長く設定されている。また、一対の固定部材１１５は、段取り換えを行う際でも固定位置が変更されない、すなわち搬送対象が液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のいずれの場合でも同じ位置に固定されるようになっている。
【００５６】
また、上記５つのフォーク１１２Ａ〜１１２Ｅのうち、２番目のフォーク１１２Ｂと４番目のフォーク１１２Ｄとは、上記実施形態におけるフォーク１２とほぼ同様の構造であり、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する度に、液晶ガラス基板Ｗとフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、前述のガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換えが行われる（前述の図２〜図７参照）。
【００５７】
また、上記５つのフォーク１１２Ａ〜１１２Ｅのうち、３番目のフォーク１１２Ｃは、フォーク長手方向に沿って上面に立設された、液晶ガラス基板Ｗを支持する複数のピン１１２Ｃａを有している。
【００５８】
以下、段取り換えについて説明する。
【００５９】
まず、図８及び図９を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、最も寸法の大きな液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合について説明する。
【００６０】
図８及び図９に示すように、液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた１番目のフォーク１１２Ａ上と５番目のフォーク１１２Ｅ上には、一対の固定部材１１５の一方又は他方と、上記３種類の、一対のガイド部材１１３Ａ、一対のガイド部材１１３Ｂ、及び一対のガイド部材１１３Ｃのうち、最もフォーク短手方向寸法の小さな一対のガイド部材１１３Ａの一方又は他方とがそれぞれ配置される。なお、図８及び図９に示す例では、ガイド部材１１３Ａが、特許請求の範囲に記載の第２ガイド部材に相当する。一対の固定部材１１５は、上述したように、上記所定の短手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００６１】
一対のガイド部材１１３Ａは、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗを支持するパッド２３１ａが液晶ガラス基板Ｗ側の上端部に立設された平板部２３１Ａと、平板部２３１Ａ上のパッド２３１ａより固定部材１１５側においてネジ１１６により固定されたガイド部２３２とから構成されている。平板部２３１Ａは、フォーク短手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１１４を挿通させフォーク１１２Ａ上又はフォーク１１２Ｅ上のネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結させるための長孔２３１Ａａをこの例では２つ有している。各長孔２３１Ａａはそれぞれ、フォーク長手方向の長さが、ネジ１１４の軸部より長く、かつ、ネジ１１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク短手方向の長さが、少なくとも上記長手方向の長さより長く設定されている。
【００６２】
液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合、まず、一対のガイド部材１１３Ａが、上記所定の短手方向位置に固定された一対の固定部材１１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１１３Ａは、平板部２３１Ａの液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、近い方の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１１４が各長孔２３１Ａａに挿通されネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結されることで、一対のガイド部材１１３Ａは、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上にそれぞれ固定される。以上により、ガイド部材１１３Ａは、ガイド部２３２の端面が、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ１の端面に対しフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の固定部材１１５より液晶ガラス基板Ｗ１側となる位置に固定される。
【００６３】
なお、図８及び図９に示す例では、上記所定の短手方向位置に配置された一対の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に当接する、一対のガイド部材１１３Ａの液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第４当接面に相当する。
【００６４】
以上のように段取り換えが行われると共に、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換え（図２及び図３参照）も行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ１は、そのフォーク短手方向側の端面が、一対のガイド部材１１３Ａのガイド部２３２の端面のフォーク短手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向すると共に、そのフォーク長手方向側の端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上のガイド部材１１３Ａの平板部２３１Ａ上のパッド２３１ａと、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａと、フォーク１１２Ｃ上のピン１１２Ｃａとに支持されつつフォーク１１２上に載置される。
【００６５】
次に、図１０及び図１１を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、２番目に寸法の大きな液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合について説明する。
【００６６】
図１０及び図１１に示すように、液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた１番目のフォーク１１２Ａ上と５番目のフォーク１１２Ｅ上には、一対の固定部材１１５の一方又は他方と、上記３種類の、一対のガイド部材１１３Ａ、一対のガイド部材１１３Ｂ、及び一対のガイド部材１１３Ｃのうち、２番目にフォーク短手方向寸法の小さな一対のガイド部材１１３Ｂの一方又は他方とがそれぞれ配置される。なお、図１０及び図１１に示す例では、ガイド部材１１３Ｂが、特許請求の範囲に記載の第２ガイド部材に相当する。一対の固定部材１１５は、上述したように、上記所定の短手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００６７】
一対のガイド部材１１３Ｂは、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗを支持するパッド２３１ａが液晶ガラス基板Ｗ側の上端部に立設された平板部２３１Ｂと、平板部２３１Ｂ上のパッド２３１ａより固定部材１１５側においてネジ１１６により固定されたガイド部２３２とから構成されている。平板部２３１Ｂは、フォーク短手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１１４を挿通させフォーク１１２Ａ上又はフォーク１１２Ｅ上のネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結させるための長孔２３１Ｂａをこの例では２つ有している。各長孔２３１Ｂａはそれぞれ、フォーク長手方向の長さが、ネジ１１４の軸部より長く、かつ、ネジ１１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク短手方向の長さが、少なくとも上記長手方向の長さより長く設定されている。
【００６８】
液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合、まず、一対のガイド部材１１３Ｂが、上記所定の短手方向位置に固定された一対の固定部材１１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１１３Ｂは、平板部２３１Ｂの液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、近い方の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１１４が各長孔２３１Ｂａに挿通されネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結されることで、一対のガイド部材１１３Ｂは、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上にそれぞれ固定される。以上により、ガイド部材１１３Ｂは、ガイド部２３２の端面が、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ２の端面に対しフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の固定部材１１５より液晶ガラス基板Ｗ２側となる位置に固定される。
【００６９】
なお、図１０及び図１１に示す例では、上記所定の短手方向位置に配置された一対の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に当接する、一対のガイド部材１１３Ｂの液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第４当接面に相当する。
【００７０】
以上のように段取り換えが行われると共に、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換え（図４及び図５参照）も行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ２は、そのフォーク短手方向側の端面が、一対のガイド部材１１３Ｂのガイド部２３２の端面のフォーク短手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向すると共に、そのフォーク長手方向側の端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上のガイド部材１１３Ｂの平板部２３１Ｂ上のパッド２３１ａと、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａと、フォーク１１２Ｃ上のピン１１２Ｃａとに支持されつつフォーク１１２上に載置される。
【００７１】
次に、図１２及び図１３を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、最も寸法の小さな液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合について説明する。
【００７２】
図１２及び図１３に示すように、液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた１番目のフォーク１１２Ａ上と５番目のフォーク１１２Ｅ上には、一対の固定部材１１５の一方又は他方と、上記３種類の、一対のガイド部材１１３Ａ、一対のガイド部材１１３Ｂ、及び一対のガイド部材１１３Ｃのうち、最もフォーク短手方向寸法の大きな一対のガイド部材１１３Ｃの一方又は他方とがそれぞれ配置される。なお、図１２及び図１３に示す例では、ガイド部材１１３Ｃが、特許請求の範囲に記載の第２ガイド部材に相当する。一対の固定部材１１５は、上述したように、上記所定の短手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００７３】
一対のガイド部材１１３Ｃは、平板部２３１Ｃと、平板部２３１Ｃ上の固定部材１１５側においてネジ１１６により固定されたガイド部２３２とから構成されている。平板部２３１Ｃは、フォーク短手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１１４を挿通させフォーク１１２Ａ上又はフォーク１１２Ｅ上のネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結させるための長孔２３１Ｃａをこの例では２つ有している。各長孔２３１Ｃａはそれぞれ、フォーク長手方向の長さが、ネジ１１４の軸部より長く、かつ、ネジ１１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク短手方向の長さが、少なくとも上記長手方向の長さより長く設定されている。
【００７４】
液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合、まず、一対のガイド部材１１３Ｃが、上記所定の短手方向位置に固定された一対の固定部材１１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１１３Ｃは、平板部２３１Ｃの液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、近い方の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１１４が各長孔２３１Ｃａに挿通されネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結されることで、一対のガイド部材１１３Ｃは、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上にそれぞれ固定される。以上により、ガイド部材１１３Ｃは、ガイド部２３２の端面が、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ３の端面に対しフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の固定部材１１５より液晶ガラス基板Ｗ３側となる位置に固定される。
【００７５】
なお、図１２及び図１３に示す例では、上記所定の短手方向位置に配置された一対の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に当接する、一対のガイド部材１１３Ｃの液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第４当接面に相当する。
【００７６】
以上のように段取り換えが行われると共に、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換え（図６及び図７参照）も行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ３は、そのフォーク短手方向側の端面が、一対のガイド部材１１３Ｃのガイド部２３２の端面のフォーク短手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向すると共に、そのフォーク長手方向側の端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａと、フォーク１１２Ｃ上のピン１１２Ｃａとに支持されつつフォーク１１２上に載置される。
【００７７】
本変形例においては、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ間でフォーク短手方向に互いに離れて配置される一対の固定部材１１５と、一対の固定部材１１５の間にそれぞれ配置され、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上に載置された液晶ガラス基板Ｗ側のフォーク短手方向の移動を規制する一対のガイド部材１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃとを有している。そして、一対のガイド部材１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃは、平板部２３１Ａ，２３１Ｂ，２３１Ｃの液晶ガラス基板Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３とは反対側の面が、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の所定の短手方向位置に固定された一対の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。これにより、ガイド部材１１３を、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗに対しフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、容易かつ確実に配置することができる。
【００７８】
（２）その他
以上では、一対のガイド部材１３のそれぞれについて、フォーク長手方向位置が複数の位置に選択的に設定可能に構成されていたが、これに限られず、一対のガイド部材１３の一方のみ、フォーク長手方向位置を複数の位置に選択的に設定可能に構成してもよい。
【００７９】
また以上では、ロボット１の搬送対象として、互いに寸法の異なる３種類の液晶ガラス基板Ｗが準備されていた場合を例示したが、これに限られず、互いに寸法の異なる２種類の液晶ガラス基板Ｗが準備されている場合や、互いに寸法の異なる４種類以上の液晶ガラス基板Ｗが準備されている場合にも適用することができる。
【００８０】
さらに以上では、対象物を液晶ガラス基板Ｗとしたが、これに限られず、対象物は他のもの（例えば半導体基板等）でもよい。
【００８１】
また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。
【００８２】
その他、一々例示はしないが、上記実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【００８３】
１ ロボット
６ アーム（ロボットアーム）
６Ｌ 左アーム（ロボットアーム）
６Ｒ 右アーム（ロボットアーム）
９ ハンド（ロボットハンド）
９Ｌ 左ハンド（ロボットハンド）
９Ｒ 右ハンド（ロボットハンド）
１２ フォーク
１２ａ〜ｆ ネジ孔
１３ ガイド部材（第１ガイド部材）
１４ ネジ
１５ 固定部材（第１固定部材）
１５ａ 長孔（第１挿通孔）
１７Ａ，Ｂ 中間部材（第１中間部材）
１７Ａａ，Ｂａ 長孔（第３挿通孔）
１１２ フォーク
１１２Ａ〜Ｅ フォーク
１１３Ａ〜Ｃ ガイド部材（第２ガイド部材）
１１５ 固定部材（第２固定部材）
１３１ｂ 長孔（第２挿通孔）
Ｗ 液晶ガラス基板（対象物）
Ｗ１〜３ 液晶ガラス基板（対象物）
【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、対象物を搬送するためのロボットハンド及びそれを備えたロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、対象物を搬送するためのロボットハンドが知られている（例えば、特許文献１参照）。この従来技術のロボットハンド（基板搬送用ハンド）は、ロボット（自動搬送装置）のハンド取付部にハンド取付用プレートを介して取り付けられている。そして、対象物（基板）の周縁部より外側に配したアームと、このアームに取り付けられ、対象物の周縁部を把持する基板把持部とを備えている。
【０００３】
基板把持部の基材把持材は、ガイド部材（把持母材）と、このガイド部材を移動・案内するガイドと、対象物の裏面を支持する支持ピンとから構成されている。ガイド部材は、アームに固定したガイドに沿ってアームの長手方向に移動でき、所望の位置でボルトネジにより固定される。また、ガイド部材は、基板ガイド部と基板対面部とを備えている。基板ガイド部は、対象物の受取時に対象物の位置が多少ずれている場合でも、基板対面部に囲われる部分に対象物をガイドする。基板対面部は、支持ピン上に把持されている対象物の端面と所定の隙間を介して対向するように配されており、対象物がずれるのを防止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２５４３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来技術のロボットハンドは、ガイド部材のボルトネジによる固定位置を変えることで、対象物の支持位置を変えることができるので、互いに寸法の異なる対象物を搬送する環境に用いることができる。このように、対象物を搬送するためのロボットハンドを、互いに寸法の異なる対象物を搬送する環境に用いる場合、搬送対象となる対象物の寸法を変更する度に、対象物と所定の隙間を介して対向するように、ガイド部材の固定位置を変更する段取り換えを行う必要がある。一般には、教示時に、対象物の寸法ごとに、ガイド部材の固定位置を設定して目印を記録しておき、搬送対象となる対象物の寸法を変更する際に、ガイド部材を上記教示時に記録した目印に合致するように配置して固定することにより段取り換えを行う。このため、段取り換えに手間がかかり、作業性が良いとは言えなかった。
【０００６】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、段取り換えを容易に行うことができるロボットハンド及びロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、ロボットアームに設けられ、対象物を搬送するためのロボットハンドであって、前記対象物を載置可能な少なくとも１つのフォークと、前記フォークの長手方向に互いに離れて配置される一対の第１固定部材と、前記一対の第１固定部材の間にそれぞれ配置され、前記フォークに載置された前記対象物の前記長手方向の移動を規制する一対の第１ガイド部材と、を有し、前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、前記フォークの長手方向位置が、複数の位置に選択的に設定可能に構成されているロボットハンドが適用される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のロボットハンド及びロボットによれば、段取り換えを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】一実施の形態のロボットの全体構成を表す斜視図である。
【図２】最も寸法の大きな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図３】図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ断面に相当する断面図である。
【図４】２番目に寸法の大きな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図５】図４中のＶ−Ｖ断面に相当する断面図である。
【図６】最も寸法の小さな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図７】図６中のＶＩＩ−ＶＩＩ断面に相当する断面図である。
【図８】フォークの短手方向にもガイド部材を配置する変形例において、最も寸法の大きな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図９】図８中のＩＸ−ＩＸ断面に相当する断面図である。
【図１０】２番目に寸法の大きな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図１１】図１０中のＸＩ−ＸＩ断面に相当する断面図である。
【図１２】最も寸法の小さな液晶ガラス基板を搬送対象とする場合の、段取り換えを説明するための説明図である。
【図１３】図１２中のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面に相当する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、一実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
図１に示すように、本実施形態のロボット１は、図示しないカセットに収納された薄板状の液晶ガラス基板Ｗ（対象物）を所定の領域に搬送する多関節ロボットである。このロボット１は、所定の方向に走行可能な走行台車２と、走行台車２に取り付けられた固定ベース３と、昇降アーム４と、水平ベース５と、水平ベース５に対称構造で連結された左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒとを有している。なお、走行台車２は必ずしも必要ではなく、ロボットは架台等に固定されたものでもよい。
【００１２】
昇降アーム４は、先端が固定ベース３に連結された第１昇降リンク４ａと、先端が水平ベース５に連結された第２昇降リンク４ｂとを有しており、第１昇降リンク４ａが第１旋回軸７を中心に旋回し、第２昇降リンク４ｂが第２旋回軸８を中心に旋回して、昇降アーム４より上側に配置された水平ベース５、左アーム６Ｌ、及び右アーム６Ｒを上下動させる。
【００１３】
水平ベース５は、第３旋回軸２０を中心に旋回して、左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒを水平方向に旋回させる。
【００１４】
左アーム６Ｌは、水平ベース５に連結された第１左リンク６Ｌａと、液晶ガラス基板Ｗを搬送するための左ハンド９Ｌを先端に備えた第２左リンク６Ｌｂとを有しており、第１左リンク６Ｌａが第３旋回軸１０Ｌを中心に旋回し、第２左リンク６Ｌｂが第４旋回軸１１Ｌを中心に旋回して、左ハンド９Ｌを進退移動させる。
【００１５】
右アーム６Ｒは、水平ベース５に連結された第１右リンク６Ｒａと、液晶ガラス基板Ｗを搬送するための右ハンド９Ｒを先端に備えた第２右リンク６Ｒｂとを有しており、第１右リンク６Ｒａが第３旋回軸１０Ｒを中心に旋回し、第２右リンク６Ｒｂが第４旋回軸１１Ｒを中心に旋回して、右ハンド９Ｒを進退移動させる。
【００１６】
左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒは、上下方向の位置がずれて配置されている（この例では、左ハンド９Ｌが上側、右ハンド９Ｒが下側に配置されている）が、基本的には互いに同様の構造であり、液晶ガラス基板Ｗを載置可能な３つのフォーク１２をそれぞれ有している。なお、フォーク１２の数は、この例のように３つに限られず、１つや２つ、あるいは４つ以上でもよい。
【００１７】
なお、左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒ（以下、これらを「アーム６」と総称する）のそれぞれが、特許請求の範囲に記載のロボットアームに相当する。また、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒ（以下、これらを「ハンド９」と総称する）のそれぞれが、特許請求の範囲に記載のロボットハンドに相当する。
【００１８】
以上のように基本構成されたロボット１は、アーム６を揺動させることで、ハンド９を前方に移動させ、昇降アーム４を上方に駆動させることで、ハンド９を上方に移動させ、カセット内の液晶ガラス基板Ｗをフォーク１２上に載置する。その後、アーム６を揺動させることで、ハンド９を後方に移動させ、水平ベース５を旋回させることで、アーム６を水平方向に旋回させる。そして、アーム６を揺動させることで、ハンド９を前方に移動させ、昇降アーム４を下方に駆動させることで、ハンド９を下方に移動させ、フォーク１２上に載置した液晶ガラス基板Ｗを所定の領域に載置する。以上により、ロボット１は、カセットに収納された液晶ガラス基板Ｗを所定の領域に搬送する。
【００１９】
ここで、本実施形態では、ロボット１の搬送対象として、互いに寸法の異なる３種類の液晶ガラス基板Ｗが準備されている。この例では、最も寸法の大きな（例えば、７３０×９２０）液晶ガラス基板Ｗ１（後述の図２及び図３参照）と、２番目に寸法の大きな（例えば、６８０×８８０）液晶ガラス基板Ｗ２（後述の図４及び図５参照）と、最も寸法の小さな（例えば、６２０×７５０）液晶ガラス基板Ｗ３（後述の図６及び図７参照）とが準備されている。フォーク１２は、これら３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のいずれも載置可能となっている。
【００２０】
また、図１中では図示省略しているが、フォーク１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗがフォーク１２の長手方向（以下適宜、「フォーク長手方向」と称する）にずれるのを防止する（フォーク１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗのフォーク長手方向の移動を規制する）ため、フォーク１２上に、当該フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗのフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙（例えば、０．５ｍｍのクリアランス）を介して対向するように、一対のガイド部材１３（第１ガイド部材。後述の図２等参照）が固定されるようになっている。したがって、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する度に、液晶ガラス基板Ｗとフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、ガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換えが行われる。なお、上記のクリアランスは、液晶ガラス基板Ｗの寸法に比べ十分に小さく設定する必要がある。クリアランスが大きすぎると、一対のガイド部材１３の間で液晶ガラス基板Ｗが大きく動くため、液晶ガラス基板Ｗに衝撃が加わる等の不都合が生じる。一方、クリアランスが小さすぎると、液晶ガラス基板Ｗの公差やロボット１等の機械類の経時変化等が許容されず、液晶ガラス基板Ｗが一対のガイド部材１３の間に収まらないことが起こりうる。
【００２１】
ここで、段取り換えについて説明する前に、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた３つのフォーク１２について説明する。
【００２２】
図２〜図７において、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた３つのフォーク１２は、互いに同様の構造であり、フォーク長手方向に互いに離れた２箇所に、フォーク長手方向に沿って上面に孔設された、ネジ１４が締結される複数のネジ孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆをそれぞれ有し、さらに、フォーク長手方向に沿って上面に立設された、液晶ガラス基板Ｗを支持する複数のピン１２ｇをそれぞれ有している。また、各フォーク１２上のフォーク長手方向に対応する上記２箇所には、一対の固定部材１５（第１固定部材）がフォーク長手方向に互いに離れて配置されている。詳細には、一対の固定部材１５は、各フォーク１２上の、ロボット１の装置基準等に応じて設定されたフォーク長手方向に沿った所定の位置（以下適宜、「所定の長手方向位置」と称する）に、それぞれ配置されている。
【００２３】
一対の固定部材１５は、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１４を挿通させフォーク１２上のネジ孔１２ａに締結させるための長孔１５ａ（第１挿通孔）をこの例では２つ有しており、２つのネジ１４が各長孔１５ａに挿通され各ネジ孔１２ａに締結されることで、上記所定の長手方向位置にそれぞれ固定される。なお、上記「長孔状」とは、短軸方向の寸法より長軸方向の寸法の方が大きくなるように設けられた孔の形状を意味する。各長孔１５ａはそれぞれ、フォーク１２の短手方向の長さが、ネジ１４の軸部より長く、かつ、ネジ１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク長手方向の長さが、少なくとも上記短手方向の長さより長く設定されている。
【００２４】
また、一対の固定部材１５は、段取り換えを行う際でも固定位置が変更されない、すなわち搬送対象が液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のいずれの場合でも同じ位置に固定されるようになっており、上記一対のガイド部材１３のそれぞれは、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間に配置され、当該固定部材１５を基準に、固定位置が設定されるようになっている。具体的には、上記一対のガイド部材１３のぞれぞれは、フォーク長手方向に沿ったフォーク長手方向位置が、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間の複数の位置に選択的に設定可能に構成されている。
【００２５】
なお、図２〜図８に示す例では、固定部材１５の各長孔１５ａに挿通され、フォーク１２上の各ネジ孔１２ａに締結されて、固定部材１５とフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第１締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結される各ネジ孔１２ａが、特許請求の範囲に記載の第１締結孔に相当する。
【００２６】
以下、段取り換えについて説明する。
【００２７】
まず、図２及び図３を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、最も寸法の大きな液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合について説明する。
【００２８】
図２及び図３に示すように、液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた各フォーク１２上には、一対の固定部材１５と、一対のガイド部材１３とがそれぞれ配置される。一対の固定部材１５は、上述したように、上記所定の長手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００２９】
一対のガイド部材１３は、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗを支持するパッド１３１ａが液晶ガラス基板Ｗ側の上端部に立設された平板部１３１と、平板部１３１上のパッド１３１ａより固定部材１５側においてネジ１６により固定されたガイド部１３２とから構成されている。平板部１３１は、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１４を挿通させフォーク１２上のネジ孔１２ｂ〜１２ｆのいずれかに締結させるための長孔１３１ｂ（第２挿通孔）をこの例では２つ有している。各長孔１３１ｂはそれぞれ、フォーク１２の短手方向の長さが、ネジ１４の軸部より長く、かつ、ネジ１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク長手方向の長さが、少なくとも上記短手方向の長さより長く設定されている。
【００３０】
液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合、まず、一対のガイド部材１３が、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、近い方の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１４が各長孔１３１ｂに挿通されネジ孔１２ｂ，１２ｃに締結されることで、一対のガイド部材１３は、フォーク１２上にそれぞれ固定される。以上により、ガイド部材１３は、一対の固定部材１５の間の複数の位置のうち、ガイド部１３２の端面が、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ１の端面に対しフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上の固定部材１５より液晶ガラス基板Ｗ１側となる位置に固定される。
【００３１】
なお、図２及び図３に示す例では、上記所定の長手方向位置に配置された一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に当接する、一対のガイド部材１３の平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第１当接面に相当する。また、ガイド部材１３の平板部１３１の各長孔１３１ｂに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｂ，１２ｃに締結されて、ガイド部材１３とフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第２締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結されるネジ孔１２ｂ，１２ｃが、特許請求の範囲に記載の第２締結孔に相当する。
【００３２】
以上のように段取り換えが行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ１は、その端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａに支持されつつフォーク１２上に載置される。
【００３３】
次に、図４及び図５を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、２番目に寸法の大きな液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合について説明する。
【００３４】
図４及び図５に示すように、液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた各フォーク１２上には、一対の固定部材１５と、液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３の寸法に応じて準備された、互いにフォーク長手方向寸法の異なる２種類の、一対の中間部材１７Ａ（図４及び図５参照）及び一対の中間部材１７Ｂ（後述の図６及び図７参照）のうち、フォーク長手方向寸法の小さな一対の中間部材１７Ａと、一対のガイド部材１３とがそれぞれ配置される。なお、図４及び図５に示す例では、中間部材１７Ａが、特許請求の範囲に記載の第１中間部材に相当する。一対の固定部材１５は、上述したように、上記所定の長手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００３５】
一対の中間部材１７Ａは、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１４を挿通させフォーク１２上のネジ孔１２ｂ〜１２ｄのいずれかに締結させるための長孔１７Ａａ（第３挿通孔）をこの例では１つ有している。長孔１７Ａａは、フォーク１２の短手方向の長さが、ネジ１４の軸部より長く、かつ、ネジ１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク長手方向の長さが、少なくとも上記短手方向の長さより長く設定されている。
【００３６】
液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合、まず、一対の中間部材１７Ａが、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対の中間部材１７Ａは、液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、近い方の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、ネジ１４が長孔１７Ａａに挿通されネジ孔１２ｂに締結されることで、一対の中間部材１７Ａは、フォーク１２上にそれぞれ固定される。その後、一対のガイド部材１３が、フォーク１２上に固定された一対の中間部材１７Ａの間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、近い方の中間部材１７Ａの液晶ガラス基板Ｗ２側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１４が各長孔１３１ｂに挿通されネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結されることで、一対のガイド部材１３は、フォーク１２上にそれぞれ固定される。以上により、中間部材１７Ａは、フォーク１２上の固定部材１５と当該固定部材１５に近い方のガイド部材１３との間に固定され、ガイド部材１３は、一対の固定部材１５の間の複数の位置のうち、ガイド部１３２の端面が、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ２の端面に対しフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上の固定部材１５より液晶ガラス基板Ｗ２側となる位置に固定される。
【００３７】
なお、図４及び図５に示す例では、上記所定の長手方向位置に配置された一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に当接する、一対の中間部材１７Ａの液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第２当接面に相当する。また、一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が当接するようにフォーク１２上に固定された一対の中間部材１７Ａの、液晶ガラス基板Ｗ２側の面に当接する、一対のガイド部材１３の液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第３当接面に相当する。さらに、ガイド部材１３の平板部１３１の各長孔１３１ｂに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結されて、ガイド部材１３とフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第２締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結されるネジ孔１２ｃ，１２ｄが、特許請求の範囲に記載の第２締結孔に相当する。またさらに、中間部材１７Ａの長孔１７Ａａに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｂに締結されて、中間部材１７Ａとフォーク１２とを締結するネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第３締結部材に相当し、このネジ１４が締結されるネジ孔１２ｂが、特許請求の範囲に記載の第３締結孔に相当する。
【００３８】
以上のように段取り換えが行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ２は、その端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａに支持されつつフォーク１２上に載置される。
【００３９】
次に、図６及び図７を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、最も寸法の小さな液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合について説明する。
【００４０】
図６及び図７に示すように、液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた各フォーク１２上には、一対の固定部材１５と、上記２種類の、一対の中間部材１７Ａ及び一対の中間部材１７Ｂのうち、フォーク長手方向寸法の大きな一対の中間部材１７Ｂと、一対のガイド部材１３とがそれぞれ配置される。なお、図６及び図７に示す例では、中間部材１７Ｂが、特許請求の範囲に記載の第１中間部材に相当する。一対の固定部材１５は、上述したように、上記所定の長手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００４１】
一対の中間部材１７Ｂは、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、２つのネジ１４を挿通させフォーク１２上のネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結させるための長孔１７Ｂａ（第３挿通孔）をこの例では１つ有している。長孔１７Ｂａは、フォーク１２の短手方向の長さが、ネジ１４の軸部より長く、かつ、ネジ１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク長手方向の長さが、少なくとも上記短手方向の長さより長く設定されている。
【００４２】
液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合、まず、一対の中間部材１７Ｂが、上記所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対の中間部材１７Ｂは、液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、近い方の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１４が長孔１７Ｂａに挿通されネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結されることで、一対の中間部材１７Ｂは、フォーク１２上にそれぞれ固定される。その後、一対のガイド部材１３が、フォーク１２上に固定された一対の中間部材１７Ｂの間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、近い方の中間部材１７Ｂの液晶ガラス基板Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１４が各長孔１３１ｂに挿通されネジ孔１２ｅ，１２ｆに締結されることで、一対のガイド部材１３は、フォーク１２上にそれぞれ固定される。以上により、中間部材１７Ｂは、フォーク１２上の固定部材１５と当該固定部材１５に近い方のガイド部材１３との間に固定され、ガイド部材１３は、一対の固定部材１５の間の複数の位置のうち、ガイド部１３２の端面が、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ３の端面に対しフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上の固定部材１５より液晶ガラス基板Ｗ３側となる位置に固定される。
【００４３】
なお、図６及び図７に示す例では、上記所定の長手方向位置に配置された一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に当接する、一対の中間部材１７Ｂの液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第２当接面に相当する。また、一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が当接するようにフォーク１２上に固定された一対の中間部材１７Ｂの、液晶ガラス基板Ｗ３側の面に当接する、一対のガイド部材１３の液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第３当接面に相当する。さらに、ガイド部材１３の平板部１３１の各長孔１３１ｂに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｅ，１２ｆに締結されて、ガイド部材１３とフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第２締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結されるネジ孔１２ｅ，１２ｆが、特許請求の範囲に記載の第２締結孔に相当する。またさらに、中間部材１７Ｂの長孔１７Ｂａに挿通され、フォーク１２上のネジ孔１２ｃ，１２ｄに締結されて、中間部材１７Ｂとフォーク１２とを締結する２つのネジ１４が、特許請求の範囲に記載の第３締結部材に相当し、これら２つのネジ１４が締結されるネジ孔１２ｃ，１２ｄが、特許請求の範囲に記載の第３締結孔に相当する。
【００４４】
以上のように段取り換えが行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ３は、その端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１２上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａに支持されつつフォーク１２上に載置される。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態のロボット１は、左アーム６Ｌ及び右アーム６Ｒに左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒを備えており、これら左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒを用いて液晶ガラス基板Ｗを搬送する。
【００４６】
ここで、一般に、液晶ガラス基板Ｗを搬送する方式としては、ハンドに設けた適宜の吸着部材により液晶ガラス基板Ｗを真空吸着しつつ搬送する吸着方式や、ハンドに設けたフォーク上に液晶ガラス基板Ｗを載置しつつ搬送する非吸着方式がある。吸着方式の場合、吸着部材により液晶ガラス基板Ｗを真空吸着しつつハンドの移動を行うことで、液晶ガラス基板Ｗの位置ずれを防止しつつ液晶ガラス基板Ｗを搬送することができるが、吸着により液晶ガラス基板Ｗが撓んだり、液晶ガラス基板Ｗの吸着面に形成されたコーティング層に斑が発生するおそれがある。非吸着方式の場合、フォークを液晶ガラス基板Ｗの下側に移動させ、その後フォークを上昇させてフォーク上に液晶ガラス基板Ｗを載置し、その状態でハンドの移動を行うことで、液晶ガラス基板Ｗを搬送する。このような非吸着方式の場合、一般に、フォーク上に載置される液晶ガラス基板Ｗの位置ずれを防止するため、フォーク上に、液晶ガラス基板Ｗに対し長手方向に所定の間隙を介して対向するように、一対のガイド部材が配置される。フォーク上に一対のガイド部材が配置されたハンドを用いることにより、フォーク上に載置された液晶ガラス基板Ｗの位置ずれを防止しつつ液晶ガラス基板Ｗを搬送することができる。
【００４７】
また、ここで、上記フォーク上に一対のガイド部材が配置されたハンドをアームの先端に備えたロボットを、互いに寸法の異なる液晶ガラス基板Ｗを搬送する環境に用いる場合が考えられる。この場合、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する度に、液晶ガラス基板Ｗと所定の間隙を介して対向するように、ガイド部材の固定位置を変更する段取り換えを行う必要がある。一般には、教示時に、液晶ガラス基板Ｗの寸法ごとに、ガイド部材の固定位置を設定して目印を記録しておき、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する際に、ガイド部材を上記教示時に記録した目印に合致するように配置して固定することにより段取り換えを行う。このため、段取り換えに手間がかかり、作業性が良いとは言えなかった。
【００４８】
そこで本実施形態においては、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒが、液晶ガラス基板Ｗを載置可能な３つのフォーク１２と、フォーク１２上のフォーク長手方向に互いに離れて配置される一対の固定部材１５と、一対のガイド部材１３とを有している。一対のガイド部材１３は、一対の固定部材１５の間にそれぞれ配置され、フォーク１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗのフォーク長手方向の移動を規制する。そして、一対のガイド部材１３のそれぞれは、フォーク１２上のフォーク長手方向位置が、一対の固定部材１５の間の複数の位置に選択的に設定可能に構成されている。これにより、互いに寸法の異なる液晶ガラス基板Ｗを搬送する環境に用いる場合でも、フォーク１２上に配置された固定部材１５を基準に、ガイド部材１３の固定位置を設定できるので、段取り換えを容易に行うことができる。また、予め、液晶ガラス基板Ｗの寸法ごとに、液晶ガラス基板Ｗとの間隙が所定の間隔となるようにガイド部材１３をフォーク１２上に配置したハンドを用意して、液晶ガラス基板Ｗを搬送する際に、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法に応じてハンドを付け替える場合に比べ、コストを大幅に削減することができると共に、作業性を向上することができる。
【００４９】
また、本実施形態では特に、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、フォーク１２上の所定の長手方向位置に固定された一対の固定部材１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される（図２及び図３参照）。また、一対のガイド部材１３は、平板部１３１の液晶ガラス基板Ｗ２，Ｗ３とは反対側の面が、中間部材１７Ａ，１７Ｂの液晶ガラス基板Ｗ２，Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される（図４〜図７参照）。ガイド部材１３をフォーク１２上に固定された固定部材１５に突き当てて配置したり、ガイド部材１３をフォーク１２上に固定された、フォーク１２上に固定された固定部材１５に突き当てて配置された中間部材１７Ａ，１７Ｂに突き当てて配置することにより、ガイド部材１３を、フォーク１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗに対しフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、容易かつ確実に配置することができる。
【００５０】
また、本実施形態では特に、固定部材１５、ガイド部材１３、及び中間部材１７Ａ，１７Ｂは、フォーク長手方向に沿って長孔状に形成された、長孔１５ａ、長孔１３１ｂ、及び長孔１７Ａａ，１７Ｂａを有している。これにより、固定部材１５及びガイド部材１３、及び中間部材１７Ａ，１７Ｂをフォーク１２上に固定する際の組み付け性を向上することができる。
【００５１】
なお、実施の形態は、上記内容に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を説明する。
【００５２】
（１）フォークの短手方向にもガイド部材を配置する場合
図８〜図１３において、本変形例の左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒは、前述の液晶ガラス基板Ｗを載置可能な５つのフォーク１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃ，１１２Ｄ，１１２Ｅを有している。なお、フォーク１１２の数は、この例のように５つに限られず、１つや２つ、あるいは４つ以上でもよい。フォーク１１２Ａ〜１１２Ｅ（以下適宜、これらを「フォーク１１２」と総称する）は、前述の３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のいずれも載置可能となっている。
【００５３】
また、本変形例においては、フォーク１１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗがフォーク１１２の短手方向（以下適宜、「フォーク短手方向」と称する）にずれるのを防止する（フォーク１１２上に載置された液晶ガラス基板Ｗのフォーク短手方向の移動を規制する）ため、上記５つのフォーク１１２Ａ〜１１２Ｅのうち、１番目のフォーク１１２Ａ上と５番目のフォーク１１２Ｅ上に、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗのフォーク短手方向の両端からそれぞれ所定の間隙（例えば、０．５ｍｍのクリアランス）を介して対向するように、液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３の寸法に応じて準備された、互いにフォーク短手方向寸法の異なる３種類の、一対のガイド部材１１３Ａ（図８及び図９参照）、一対のガイド部材１１３Ｂ（図１０及び図１１参照）、及び一対のガイド部材１１３Ｃ（図１２及び図１３参照）のいずれかが固定されるようになっている。したがって、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する度に、液晶ガラス基板Ｗとフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、ガイド部材１１３の種類を変更する段取り換えが行われる。
【００５４】
１番目のフォーク１１２Ａと５番目のフォーク１１２Ｅとは、互いに対称構造となっており、フォーク長手方向に沿って適宜の間隙で３箇所に、フォーク短手方向に沿って上面に孔設された、ネジ１１４が締結される複数のネジ孔１１２ａ，１１２ｂ，１１２ｃをそれぞれ有している。また、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上のフォーク長手方向の対応する上記３箇所には、一対の固定部材１１５（第２固定部材）の一方又は他方が、２つのフォーク１１２Ａ，１１２Ｅ間でフォーク短手方向に互いに離れて配置されている。つまり、フォーク１１２Ａ上の上記３箇所には、一対の固定部材１１５の一方がそれぞれ配置され、フォーク１１２Ｅ上の上記３箇所には、一対の固定部材１１５の他方がそれぞれ配置されている。詳細には、一対の固定部材１１５は、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の、ロボット１の装置基準等に応じて設定されたフォーク短手方向に沿った所定の位置（以下適宜、「所定の短手方向位置」と称する）に、それぞれ配置されている。
【００５５】
一対の固定部材１１５は、フォーク短手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１１４を挿通させフォーク１１２Ａ上又はフォーク１１２Ｅ上のネジ孔１１２ａに締結させるための長孔１１５ａをこの例では２つ有しており、２つのネジ１１４が各長孔１１５ａに挿通され各ネジ孔１１２ａに締結されることで、上記所定の短手方向位置にそれぞれ固定される。各長孔１１５ａはそれぞれ、フォーク長手方向の長さが、ネジ１１４の軸部より長く、かつ、ネジ１１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク短手方向の長さが、少なくとも上記長手方向の長さより長く設定されている。また、一対の固定部材１１５は、段取り換えを行う際でも固定位置が変更されない、すなわち搬送対象が液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のいずれの場合でも同じ位置に固定されるようになっている。
【００５６】
また、上記５つのフォーク１１２Ａ〜１１２Ｅのうち、２番目のフォーク１１２Ｂと４番目のフォーク１１２Ｄとは、上記実施形態におけるフォーク１２とほぼ同様の構造であり、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗの寸法を変更する度に、液晶ガラス基板Ｗとフォーク長手方向に所定の間隙を介して対向するように、前述のガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換えが行われる（前述の図２〜図７参照）。
【００５７】
また、上記５つのフォーク１１２Ａ〜１１２Ｅのうち、３番目のフォーク１１２Ｃは、フォーク長手方向に沿って上面に立設された、液晶ガラス基板Ｗを支持する複数のピン１１２Ｃａを有している。
【００５８】
以下、段取り換えについて説明する。
【００５９】
まず、図８及び図９を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、最も寸法の大きな液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合について説明する。
【００６０】
図８及び図９に示すように、液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた１番目のフォーク１１２Ａ上と５番目のフォーク１１２Ｅ上には、一対の固定部材１１５の一方又は他方と、上記３種類の、一対のガイド部材１１３Ａ、一対のガイド部材１１３Ｂ、及び一対のガイド部材１１３Ｃのうち、最もフォーク短手方向寸法の小さな一対のガイド部材１１３Ａの一方又は他方とがそれぞれ配置される。なお、図８及び図９に示す例では、ガイド部材１１３Ａが、特許請求の範囲に記載の第２ガイド部材に相当する。一対の固定部材１１５は、上述したように、上記所定の短手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００６１】
一対のガイド部材１１３Ａは、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗを支持するパッド２３１ａが液晶ガラス基板Ｗ側の上端部に立設された平板部２３１Ａと、平板部２３１Ａ上のパッド２３１ａより固定部材１１５側においてネジ１１６により固定されたガイド部２３２とから構成されている。平板部２３１Ａは、フォーク短手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１１４を挿通させフォーク１１２Ａ上又はフォーク１１２Ｅ上のネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結させるための長孔２３１Ａａをこの例では２つ有している。各長孔２３１Ａａはそれぞれ、フォーク長手方向の長さが、ネジ１１４の軸部より長く、かつ、ネジ１１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク短手方向の長さが、少なくとも上記長手方向の長さより長く設定されている。
【００６２】
液晶ガラス基板Ｗ１を搬送対象とする場合、まず、一対のガイド部材１１３Ａが、上記所定の短手方向位置に固定された一対の固定部材１１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１１３Ａは、平板部２３１Ａの液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、近い方の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１１４が各長孔２３１Ａａに挿通されネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結されることで、一対のガイド部材１１３Ａは、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上にそれぞれ固定される。以上により、ガイド部材１１３Ａは、ガイド部２３２の端面が、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ１の端面に対しフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の固定部材１１５より液晶ガラス基板Ｗ１側となる位置に固定される。
【００６３】
なお、図８及び図９に示す例では、上記所定の短手方向位置に配置された一対の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ１側の面に当接する、一対のガイド部材１１３Ａの液晶ガラス基板Ｗ１とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第４当接面に相当する。
【００６４】
以上のように段取り換えが行われると共に、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換え（図２及び図３参照）も行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ１は、そのフォーク短手方向側の端面が、一対のガイド部材１１３Ａのガイド部２３２の端面のフォーク短手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向すると共に、そのフォーク長手方向側の端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上のガイド部材１１３Ａの平板部２３１Ａ上のパッド２３１ａと、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａと、フォーク１１２Ｃ上のピン１１２Ｃａとに支持されつつフォーク１１２上に載置される。
【００６５】
次に、図１０及び図１１を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、２番目に寸法の大きな液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合について説明する。
【００６６】
図１０及び図１１に示すように、液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた１番目のフォーク１１２Ａ上と５番目のフォーク１１２Ｅ上には、一対の固定部材１１５の一方又は他方と、上記３種類の、一対のガイド部材１１３Ａ、一対のガイド部材１１３Ｂ、及び一対のガイド部材１１３Ｃのうち、２番目にフォーク短手方向寸法の小さな一対のガイド部材１１３Ｂの一方又は他方とがそれぞれ配置される。なお、図１０及び図１１に示す例では、ガイド部材１１３Ｂが、特許請求の範囲に記載の第２ガイド部材に相当する。一対の固定部材１１５は、上述したように、上記所定の短手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００６７】
一対のガイド部材１１３Ｂは、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗを支持するパッド２３１ａが液晶ガラス基板Ｗ側の上端部に立設された平板部２３１Ｂと、平板部２３１Ｂ上のパッド２３１ａより固定部材１１５側においてネジ１１６により固定されたガイド部２３２とから構成されている。平板部２３１Ｂは、フォーク短手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１１４を挿通させフォーク１１２Ａ上又はフォーク１１２Ｅ上のネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結させるための長孔２３１Ｂａをこの例では２つ有している。各長孔２３１Ｂａはそれぞれ、フォーク長手方向の長さが、ネジ１１４の軸部より長く、かつ、ネジ１１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク短手方向の長さが、少なくとも上記長手方向の長さより長く設定されている。
【００６８】
液晶ガラス基板Ｗ２を搬送対象とする場合、まず、一対のガイド部材１１３Ｂが、上記所定の短手方向位置に固定された一対の固定部材１１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１１３Ｂは、平板部２３１Ｂの液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、近い方の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１１４が各長孔２３１Ｂａに挿通されネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結されることで、一対のガイド部材１１３Ｂは、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上にそれぞれ固定される。以上により、ガイド部材１１３Ｂは、ガイド部２３２の端面が、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ２の端面に対しフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の固定部材１１５より液晶ガラス基板Ｗ２側となる位置に固定される。
【００６９】
なお、図１０及び図１１に示す例では、上記所定の短手方向位置に配置された一対の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ２側の面に当接する、一対のガイド部材１１３Ｂの液晶ガラス基板Ｗ２とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第４当接面に相当する。
【００７０】
以上のように段取り換えが行われると共に、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換え（図４及び図５参照）も行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ２は、そのフォーク短手方向側の端面が、一対のガイド部材１１３Ｂのガイド部２３２の端面のフォーク短手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向すると共に、そのフォーク長手方向側の端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上のガイド部材１１３Ｂの平板部２３１Ｂ上のパッド２３１ａと、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａと、フォーク１１２Ｃ上のピン１１２Ｃａとに支持されつつフォーク１１２上に載置される。
【００７１】
次に、図１２及び図１３を用いて、上記３種類の液晶ガラス基板Ｗ１〜Ｗ３のうち、最も寸法の小さな液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合について説明する。
【００７２】
図１２及び図１３に示すように、液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合、左ハンド９Ｌ及び右ハンド９Ｒに備えられた１番目のフォーク１１２Ａ上と５番目のフォーク１１２Ｅ上には、一対の固定部材１１５の一方又は他方と、上記３種類の、一対のガイド部材１１３Ａ、一対のガイド部材１１３Ｂ、及び一対のガイド部材１１３Ｃのうち、最もフォーク短手方向寸法の大きな一対のガイド部材１１３Ｃの一方又は他方とがそれぞれ配置される。なお、図１２及び図１３に示す例では、ガイド部材１１３Ｃが、特許請求の範囲に記載の第２ガイド部材に相当する。一対の固定部材１１５は、上述したように、上記所定の短手方向位置にそれぞれ固定されている。
【００７３】
一対のガイド部材１１３Ｃは、平板部２３１Ｃと、平板部２３１Ｃ上の固定部材１１５側においてネジ１１６により固定されたガイド部２３２とから構成されている。平板部２３１Ｃは、フォーク短手方向に沿って長孔状に形成された、ネジ１１４を挿通させフォーク１１２Ａ上又はフォーク１１２Ｅ上のネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結させるための長孔２３１Ｃａをこの例では２つ有している。各長孔２３１Ｃａはそれぞれ、フォーク長手方向の長さが、ネジ１１４の軸部より長く、かつ、ネジ１１４の頭部より短くなるように設定されると共に、フォーク短手方向の長さが、少なくとも上記長手方向の長さより長く設定されている。
【００７４】
液晶ガラス基板Ｗ３を搬送対象とする場合、まず、一対のガイド部材１１３Ｃが、上記所定の短手方向位置に固定された一対の固定部材１１５の間にそれぞれ配置される。詳細には、一対のガイド部材１１３Ｃは、平板部２３１Ｃの液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、近い方の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。そして、この状態で、２つのネジ１１４が各長孔２３１Ｃａに挿通されネジ孔１１２ｂ，１１２ｃに締結されることで、一対のガイド部材１１３Ｃは、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上にそれぞれ固定される。以上により、ガイド部材１１３Ｃは、ガイド部２３２の端面が、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗ３の端面に対しフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の固定部材１１５より液晶ガラス基板Ｗ３側となる位置に固定される。
【００７５】
なお、図１２及び図１３に示す例では、上記所定の短手方向位置に配置された一対の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ３側の面に当接する、一対のガイド部材１１３Ｃの液晶ガラス基板Ｗ３とは反対側の面が、特許請求の範囲に記載の第４当接面に相当する。
【００７６】
以上のように段取り換えが行われると共に、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のガイド部材１３の固定位置を変更する段取り換え（図６及び図７参照）も行われることで、搬送対象となる液晶ガラス基板Ｗ３は、そのフォーク短手方向側の端面が、一対のガイド部材１１３Ｃのガイド部２３２の端面のフォーク短手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向すると共に、そのフォーク長手方向側の端面が、一対のガイド部材１３のガイド部１３２の端面のフォーク長手方向の両端からそれぞれ所定の間隙を介して対向するように、フォーク１１２Ｂ，１１２Ｄ上のピン１２ｇ及びガイド部材１３の平板部１３１上のパッド１３１ａと、フォーク１１２Ｃ上のピン１１２Ｃａとに支持されつつフォーク１１２上に載置される。
【００７７】
本変形例においては、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ間でフォーク短手方向に互いに離れて配置される一対の固定部材１１５と、一対の固定部材１１５の間にそれぞれ配置され、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上に載置された液晶ガラス基板Ｗ側のフォーク短手方向の移動を規制する一対のガイド部材１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃとを有している。そして、一対のガイド部材１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃは、平板部２３１Ａ，２３１Ｂ，２３１Ｃの液晶ガラス基板Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３とは反対側の面が、フォーク１１２Ａ，１１２Ｅ上の所定の短手方向位置に固定された一対の固定部材１１５の液晶ガラス基板Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３側の面に突き当たり当接するように、それぞれ配置される。これにより、ガイド部材１１３を、フォーク１１２上に載置される液晶ガラス基板Ｗに対しフォーク短手方向に所定の間隙を介して対向するように、容易かつ確実に配置することができる。
【００７８】
（２）その他
以上では、一対のガイド部材１３のそれぞれについて、フォーク長手方向位置が複数の位置に選択的に設定可能に構成されていたが、これに限られず、一対のガイド部材１３の一方のみ、フォーク長手方向位置を複数の位置に選択的に設定可能に構成してもよい。
【００７９】
また以上では、ロボット１の搬送対象として、互いに寸法の異なる３種類の液晶ガラス基板Ｗが準備されていた場合を例示したが、これに限られず、互いに寸法の異なる２種類の液晶ガラス基板Ｗが準備されている場合や、互いに寸法の異なる４種類以上の液晶ガラス基板Ｗが準備されている場合にも適用することができる。
【００８０】
さらに以上では、対象物を液晶ガラス基板Ｗとしたが、これに限られず、対象物は他のもの（例えば半導体基板等）でもよい。
【００８１】
また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。
【００８２】
その他、一々例示はしないが、上記実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【００８３】
１ ロボット
６ アーム（ロボットアーム）
６Ｌ 左アーム（ロボットアーム）
６Ｒ 右アーム（ロボットアーム）
９ ハンド（ロボットハンド）
９Ｌ 左ハンド（ロボットハンド）
９Ｒ 右ハンド（ロボットハンド）
１２ フォーク
１２ａ〜ｆ ネジ孔
１３ ガイド部材（第１ガイド部材）
１４ ネジ
１５ 固定部材（第１固定部材）
１５ａ 長孔（第１挿通孔）
１７Ａ，Ｂ 中間部材（第１中間部材）
１７Ａａ，Ｂａ 長孔（第３挿通孔）
１１２ フォーク
１１２Ａ〜Ｅ フォーク
１１３Ａ〜Ｃ ガイド部材（第２ガイド部材）
１１５ 固定部材（第２固定部材）
１３１ｂ 長孔（第２挿通孔）
Ｗ 液晶ガラス基板（対象物）
Ｗ１〜３ 液晶ガラス基板（対象物）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットアームに設けられ、対象物を搬送するためのロボットハンドであって、
前記対象物を載置可能な少なくとも１つのフォークと、
前記フォークの長手方向に互いに離れて配置される一対の第１固定部材と、
前記一対の第１固定部材の間にそれぞれ配置され、前記フォークに載置された前記対象物の前記長手方向の移動を規制する一対の第１ガイド部材と、
を有し、
前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、
前記フォークの長手方向位置が、複数の位置に選択的に設定可能に構成されている
ことを特徴とするロボットハンド。
【請求項２】
前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、
当該第１ガイド部材に近い方の前記第１固定部材に当接する第１当接面を備える
ことを特徴とする請求項１に記載のロボットハンド。
【請求項３】
前記フォークは、
前記第１固定部材と前記フォークとを締結する第１締結部材が締結される第１締結孔と、
前記第１ガイド部材と前記フォークとを締結する第２締結部材が締結される第２締結孔と、
を有し、
前記第１固定部材は、
前記第１締結部材を挿通させ前記第１締結孔に締結させるための第１挿通孔を有し、
前記第１ガイド部材は、
前記第２締結部材を挿通させ前記第２締結孔に締結させるための第２挿通孔を有し、
前記第１挿通孔及び前記第２挿通孔は、
前記長手方向に沿って長孔状に形成されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のロボットハンド。
【請求項４】
前記第１固定部材と、当該第１固定部材に近い方の前記第１ガイド部材との間に配置され、前記第１固定部材に当接する第２当接面を備える、中間部材をさらに有しており、
前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、
前記第１固定部材に当接した前記中間部材に当接する第３当接面を備える
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のロボットハンド。
【請求項５】
前記フォークは、
前記第１固定部材と前記フォークとを締結する第１締結部材が締結される第１締結孔と、
前記第１ガイド部材と前記フォークとを締結する第２締結部材が締結される第２締結孔と、
前記中間部材と前記フォークとを締結する第３締結部材が締結される第３締結孔と、
を有し、
前記第１固定部材は、
前記第１締結部材を挿通させ前記第１締結孔に締結させるための第１挿通孔を有し、
前記第１ガイド部材は、
前記第２締結部材を挿通させ前記第２締結孔に締結させるための第２挿通孔を有し、
前記中間部材は、
前記第３締結部材を挿通させ前記第３締結孔に締結させるための第３挿通孔を有し、
前記第１挿通孔、前記第２挿通孔、及び前記第３挿通孔は、
前記長手方向に沿って長孔状に形成されている
ことを特徴とする請求項４に記載のロボットハンド。
【請求項６】
前記フォークの短手方向に互いに離れて配置される一対の第２固定部材と、
前記一対の第２固定部材の間にそれぞれ配置され、前記フォークに載置された前記対象物の前記短手方向の移動を規制する一対の第２ガイド部材と、
を有し、
前記一対の第２ガイド部材の少なくとも一方は、
当該第２ガイド部材に近い方の前記第２固定部材に当接する第４当接面を備える
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のロボットハンド。
【請求項７】
ロボットアームと、当該ロボットアームに設けられたロボットハンドと、を備えたロボットであって、
前記ロボットハンドは、
対象物を載置可能な少なくとも１つのフォークと、
前記フォークの長手方向に互いに離れて配置される一対の第１固定部材と、
前記一対の第１固定部材の間にそれぞれ配置され、前記フォークに載置された前記対象物の前記長手方向の移動を規制する一対の第１ガイド部材と、
を有し、
前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、
前記フォークの長手方向位置が、複数の位置に選択的に設定可能に構成されている
ことを特徴とするロボット。
【請求項１】
ロボットアームに設けられ、対象物を搬送するためのロボットハンドであって、
前記対象物を載置可能な少なくとも１つのフォークと、
前記フォークの長手方向に互いに離れて配置される一対の第１固定部材と、
前記一対の第１固定部材の間にそれぞれ配置され、前記フォークに載置された前記対象物の前記長手方向の移動を規制する一対の第１ガイド部材と、
を有し、
前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、
前記フォークの長手方向位置が、複数の位置に選択的に設定可能に構成されている
ことを特徴とするロボットハンド。
【請求項２】
前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、
当該第１ガイド部材に近い方の前記第１固定部材に当接する第１当接面を備える
ことを特徴とする請求項１に記載のロボットハンド。
【請求項３】
前記フォークは、
前記第１固定部材と前記フォークとを締結する第１締結部材が締結される第１締結孔と、
前記第１ガイド部材と前記フォークとを締結する第２締結部材が締結される第２締結孔と、
を有し、
前記第１固定部材は、
前記第１締結部材を挿通させ前記第１締結孔に締結させるための第１挿通孔を有し、
前記第１ガイド部材は、
前記第２締結部材を挿通させ前記第２締結孔に締結させるための第２挿通孔を有し、
前記第１挿通孔及び前記第２挿通孔は、
前記長手方向に沿って長孔状に形成されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のロボットハンド。
【請求項４】
前記第１固定部材と、当該第１固定部材に近い方の前記第１ガイド部材との間に配置され、前記第１固定部材に当接する第２当接面を備える、中間部材をさらに有しており、
前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、
前記第１固定部材に当接した前記中間部材に当接する第３当接面を備える
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のロボットハンド。
【請求項５】
前記フォークは、
前記第１固定部材と前記フォークとを締結する第１締結部材が締結される第１締結孔と、
前記第１ガイド部材と前記フォークとを締結する第２締結部材が締結される第２締結孔と、
前記中間部材と前記フォークとを締結する第３締結部材が締結される第３締結孔と、
を有し、
前記第１固定部材は、
前記第１締結部材を挿通させ前記第１締結孔に締結させるための第１挿通孔を有し、
前記第１ガイド部材は、
前記第２締結部材を挿通させ前記第２締結孔に締結させるための第２挿通孔を有し、
前記中間部材は、
前記第３締結部材を挿通させ前記第３締結孔に締結させるための第３挿通孔を有し、
前記第１挿通孔、前記第２挿通孔、及び前記第３挿通孔は、
前記長手方向に沿って長孔状に形成されている
ことを特徴とする請求項４に記載のロボットハンド。
【請求項６】
前記フォークの短手方向に互いに離れて配置される一対の第２固定部材と、
前記一対の第２固定部材の間にそれぞれ配置され、前記フォークに載置された前記対象物の前記短手方向の移動を規制する一対の第２ガイド部材と、
を有し、
前記一対の第２ガイド部材の少なくとも一方は、
当該第２ガイド部材に近い方の前記第２固定部材に当接する第４当接面を備える
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のロボットハンド。
【請求項７】
ロボットアームと、当該ロボットアームに設けられたロボットハンドと、を備えたロボットであって、
前記ロボットハンドは、
対象物を載置可能な少なくとも１つのフォークと、
前記フォークの長手方向に互いに離れて配置される一対の第１固定部材と、
前記一対の第１固定部材の間にそれぞれ配置され、前記フォークに載置された前記対象物の前記長手方向の移動を規制する一対の第１ガイド部材と、
を有し、
前記一対の第１ガイド部材の少なくとも一方は、
前記フォークの長手方向位置が、複数の位置に選択的に設定可能に構成されている
ことを特徴とするロボット。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１３−５６３９０（Ｐ２０１３−５６３９０Ａ）
【公開日】平成２５年３月２８日（２０１３．３．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１９５８５９（Ｐ２０１１−１９５８５９）
【出願日】平成２３年９月８日（２０１１．９．８）
【出願人】（０００００６６２２）株式会社安川電機 (2,482)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月２８日（２０１３．３．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月８日（２０１１．９．８）
【出願人】（０００００６６２２）株式会社安川電機 (2,482)
【Ｆターム（参考）】
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