切削装置、切削装置を用いた切削方法、および部品の製造方法
【課題】板材を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする技術において、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づける。
【解決手段】回転式の刃具を用い、板材を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削装置が、刃具を回転させるモータに供給される電流値を検出する検出回路と、刃具による複数段の各段の厚さ方向の切り込みの深さである切り込み量を制御する制御装置とを備え、制御装置は、複数段の各段のカット時に検出回路が検出した電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における刃具への加工負荷相当値を特定し、特定した各段の加工負荷相当値間の乖離量に基づいて、各段のカット時における刃具への加工負荷を均一に近づけるよう、各段の切り込み量を補正する。
【解決手段】回転式の刃具を用い、板材を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削装置が、刃具を回転させるモータに供給される電流値を検出する検出回路と、刃具による複数段の各段の厚さ方向の切り込みの深さである切り込み量を制御する制御装置とを備え、制御装置は、複数段の各段のカット時に検出回路が検出した電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における刃具への加工負荷相当値を特定し、特定した各段の加工負荷相当値間の乖離量に基づいて、各段のカット時における刃具への加工負荷を均一に近づけるよう、各段の切り込み量を補正する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置、切削装置を用いた切削方法、および部品の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウエハ等の板材をダイシングソー等の切削装置でカットする際、材料の材質や厚さによっては、刃具（例えばブレード）への加工負荷が大きくなり過ぎて、刃具を破損したり、その寿命を著しく短くするために一度にカットすることが困難となる場合がある。この対策として、加工負荷を下げるために厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットすることが行われている。
【０００３】
また、複数段カット時の各段の加工負荷がアンバランスになると、ブレードの切削性が早く低下するばかりか、加工品質の悪化やブレード破損のリスクが高くなる。そのため、各段の負荷を均一にして、最大加工負荷をできる限り低く抑えることが望ましい。
従来は、各段の斬り込みの深さを均一にするのが一般的である。
【０００４】
例えば、０．４ｍｍ厚のＳｉＣウエハを２段階に分けてカットしようとしたとき、一般的な考えではウエハ厚の半分（０．２ｍｍ）ずつ２段階でカットして負荷の均一化を測ろうとする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３４５２８７号公報
【特許文献２】特開２００６−５９９１４号公報
【特許文献３】特開２００６−２８６６９４号公報
【特許文献４】特開２００８−１３０９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、各段の切り込みの深さを均一にしただけでは、各段の負荷が必ずしも均一にはならない。例えば、上記の０．４ｍｍ厚のＳｉＣウエハの場合、実際のフルカットではウエハを保持するテープにまで切込みを入れる必要があり、２段目カット時には、このテープへの切込み負荷が加わることになる。また、ウエハの表面・裏面には、Ａｕ、Ａｌ等複数のメタル付きのものがあり、これらの有無や膜厚等の組合せにより加工負荷は大きく変動する。これら種々の要因により、各段の切り込みの深さを均一にしただけでは、各段カット時の実際の加工負荷を均一化することは容易でない。
【０００７】
本発明は上記点に鑑み、板材を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする技術において、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットできる切削装置であって、前記刃具（１５）を回転させるモータに供給される電流値または電力値を検出する検出回路（２２）と、前記刃具（１５）による前記複数段の各段の厚さ方向の切り込みの深さである切り込み量を制御する制御装置（２３）と、を備え、前記制御装置（２３）は、前記複数段の各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した前記各段間の加工負荷相当値の乖離量（Ｇ）に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の切り込み量を補正することを特徴とする切削装置である。
【０００９】
このように、各段のカット時に検出された電流値または電力値といった、刃具（１５）への加工負荷を反映する量に基づいて、各段の切り込み量を補正することで、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることができる。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、前記制御装置（２３）は、前記複数段に加え、前記板材（Ｗ１）をカット時に保持するための基材（Ｗ２）をカットすると共に板材（Ｗ１）をカットしない追加段のカットを実行することを特徴とする請求項１に記載の切削装置である。
【００１１】
一般に、板材（Ｗ１）のカット時には、板材（Ｗ１）を保持する基材（Ｗ２）の一部もカットすることになるが、基材（Ｗ２）への切り込み量が大きいこと、基材（Ｗ２）の材質の硬さや、基材（Ｗ２）がカット時に溶融し前期刃具（１５）の目詰まりを誘発し切削製を低下させることなどの影響で、基材（Ｗ２）の加工負荷が占める割合が大きくなり、各段の加工負荷を均一にしようとすると、最終段の切り込み量が非常に小さくなってしまう可能性がある。しかし、上記のように、基材（Ｗ２）をカットすると共に板材（Ｗ１）をカットしない追加段のカットを実行することで、この段以外の複数段の加工負荷の均一化においても、切り込み量が非常にアンバランスになってしまう可能性を低減できる。
【００１２】
また、請求項３に記載の発明は、前記制御装置（２３）は、前記基材（Ｗ２）のみをカットしたときに前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記基材（Ｗ２）のみのカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した加工負荷相当値が閾値より大きいことに基づいて、前記追加段のカットを実行し、特定した加工負荷相当値が閾値より小さいことに基づいて、前記追加段のカットを実行せず、前記複数段の最後の段で前記板材（Ｗ１）および前記基材（Ｗ２）をカットすることを特徴とする請求項２に記載の切削装置である。このようにすることで、基材（Ｗ２）のカット時の加工負荷に応じて、追加段のカットの実行、非実行を調整することができる。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、前記制御装置（２３）は、前記各段の加工負荷相当値として、前記各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値の最大値を採用することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の切削装置である。このようにすることで、最大加工負荷を基にしたフィードバック制御となるため、過負荷による刃具破損のリスクを低減できる。
【００１４】
また、請求項５に記載の発明は、前記制御装置（２３）は、前記各段の加工負荷相当値として、前記各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値の平均値を採用することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の切削装置である。
【００１５】
このようにすることで、１つの段における加工負荷のバラツキを平均して補正するため、補正精度が向上し、少ないフィードバック回数で加工負荷を十分均一化することができる。
【００１６】
また、請求項６に記載の発明は、回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削方法であって、前記複数段の各段のカット時に前記刃具（１５）を回転させるモータに供給された電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の切り込み量を補正することを特徴とする切削方法である。
【００１７】
このように、各段のカット時に検出された電流値または電力値という、刃具（１５）への加工負荷を反映する量に基づいて、各段の切り込み量を補正することで、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることができる。
【００１８】
また、請求項７に記載の発明は、板材（Ｗ１）から部品を製造する製造方法であって、請求項６に記載の切削方法によって前記板材をカットする行程を含むことを特徴とする製造方法である。
【００１９】
また、請求項８に記載の発明は、回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削装置であって、前記刃具（１５）を回転させるモータに供給される電流値または電力値を検出する検出回路（２２）と、前記刃具（１５）による前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）に対する前記板材（Ｗ１）の相対的な送り速度を制御する制御装置（２３）と、を備え、前記制御装置（２３）は、前記複数段の各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した前記各段間の加工負荷相当値の乖離量（Ｇ）に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の送り速度を補正することを特徴とする切削装置である。
【００２０】
このように、各段のカット時に検出された電流値または電力値という、刃具（１５）への加工負荷を反映する量に基づいて、各段の送り速度を補正することで、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることができる。
【００２１】
また、請求項９に記載の発明は、回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削方法であって、前記複数段の各段のカット時に前記刃具（１５）を回転させるモータに供給された電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の送り速度を補正することを特徴とする切削方法。
【００２２】
また、請求項１０に記載の発明は、板材（Ｗ１）から部品を製造する製造方法であって、請求項９に記載の切削方法によって前記板材をカットする行程を含むことを特徴とする製造方法である。
【００２３】
なお、上記および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載される当該用語を例示する具体物等との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態に係る切削装置１の外観を示す斜視図である。
【図２】切削装置１の制御のための構成を示す図である。
【図３】被切削物Ｗ１、Ｗ２の構造およびカットの様子を示す図である。
【図４】被切削物Ｗの切断ラインを示す図である。
【図５】被切削物Ｗのカットラインを示す図である。
【図６】制御装置が実行するカット処理のフローチャートである。
【図７】２段階でカットする場合の切り込み量Ｆ、Ｓを例示する図である。
【図８】３段階でカットする場合の切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｔを例示する図である。
【図９】２段階でカットした場合の１カットライン分の検出電流値３１の推移例である。
【図１０】３段階でカットした場合の１カットライン分の検出電流値３１の推移例である。
【図１１】切り込み量の補正前後の検出電流値の波形を例示する図である。
【図１２】切り込み量の補正前後の検出電流値の波形を例示する図である。
【図１３】検出電流値の波形を例示する図である。
【図１４】自生発刃４１発生時の検出電流値の波形を例示する図である。
【図１５】自生発刃４２、４３発生時の検出電流値の波形を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の一実施形態について説明する。図１に、本実施形態に係る切削装置１の外観を示す。切削装置１は、切削対象の被切削物Ｗを複数段でカットする装置であり、ベース１１、可動ステージ１２、チャックテーブル１３、ブレード駆動部１４、ブレード１５等を有している。
【００２６】
ベース１１の中央部に形成された台１１ａには、台１１ａに沿ってＸ方向に移動可能な可動ステージ１２が取り付けられている。この可動ステージ１２のＸ方向の位置は、ベース１１内部の図示しないテーブル駆動機構によって制御される。
【００２７】
可動ステージ１２には、被切削物Ｗを保持するためのチャックテーブル１３が取り付けられている。このチャックテーブル１３は、ベース１１内部の図示しないチャック回転機構に駆動されて、Ｚ方向を軸として回転可能となっている。
【００２８】
可動ステージ１２のＸ方向への移動、および、チャックテーブル１３のＺ方向を軸とする回転により、チャックテーブル１３上の被切削物Ｗの位置および姿勢を制御することができる。なお、チャックテーブル１３と被切削物Ｗとの間には、被切削物Ｗ（具体的には板材Ｗ１が貼り付けられたテープＷ２）を保持するテープ保持フレーム１６が配置されている。
【００２９】
ブレード１５を保持するとともに回転させるためのブレード駆動部１４は、Ｙ方向を軸としてブレード１５を回転させるためのエアスピンドルモータ（図示せず）および当該エアスピンドルモータを収容するケーシングを有しており、台１１ａに対して垂直に立っている横壁１１ｂから突出している。そして、ブレード１５は、ベース１１内部の図示しないブレード位置調整機構に駆動されて、Ｙ方向およびＺ方向に移動可能となっている。
【００３０】
ブレード１５は、被切削物Ｗをカットするための回転式の刃具である。ブレード駆動部１４のＹ方向およびＺ方向への移動により、被切削物Ｗに対するブレード１５の位置および被切削物Ｗの切り込み量（厚さ方向の切り込み深さ）を調整することができる。
【００３１】
このように、テーブル駆動機構、チャック回転機構、ブレード位置調整機構を制御することにより、ブレード１５に対する被切削物Ｗの相対位置を制御することができる。
【００３２】
図２に、切削装置１の制御のための構成を示す。切削装置１は、ベース１１内に、電力供給回路２１、電流値検出回路２２、制御装置２３、アクチュエータ群２４（上述のテーブル駆動機構、チャック回転機構、エアスピンドルモータ、ブレード位置調整機構等を含む）を有している。
【００３３】
電力供給回路２１は、エアスピンドルモータに回転用の電力を供給する回路であり、その作動は、制御装置２３によって制御される。電流値検出回路２２は、電力供給回路２１からエアスピンドルモータに供給される電流値を検出し、検出結果の検出電流値を制御装置２３に出力する回路である。
【００３４】
制御装置２３は、電流値検出回路２２から出力された検出電流値等に基づいて、電力供給回路２１、アクチュエータ群２４を制御する装置である。具体的には、電流値検出回路２２から出力される検出電流値に基づいてブレード１５への加工負荷に相当する量を検出する補正検出手段２３ａとしての機能を有すると共に、検出された加工負荷相当量に応じて、ブレード１５の複数段のカット間の加工負荷を均一に近づけるため、アクチュエータ群２４を制御して、各段の切り込み量（厚さ方向の切り込みの深さ）を変化させる補正制御手段２３ｂとしての機能を有している。
【００３５】
このような制御装置２３としては、例えば、ＣＰＵ、記憶媒体を備え、ＣＰＵが不揮発性記憶媒体に記録されたプログラムを実行する周知のマイクロコンピュータを採用する。以下、ＣＰＵが実行する処理を、制御装置２３が実行する処理として説明する。
【００３６】
なお、被切削物Ｗは、ＳｉＣ（炭化ケイ素）等の難切削材を主成分とする板材Ｗ１（被加工物）と、チャックテーブル１３と板材Ｗ１の間に介在して板材Ｗ１を保持するテープＷ２から成る。より具体的には、板材Ｗ１は、図３に示すように、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ａｕ等から成る２層の表面電極Ｗ１１、Ｗ１２と、ＳｉＣ層Ｗ１３と、Ｔｉ、Ｎｉ、Ａｕ等から成る２層の裏面電極Ｗ１４、Ｗ１５とが、この順に積層されて構成されており、層Ｗ１５とチャックテーブル１３の間にテープＷ２が介在する。
【００３７】
ここで、上記のような構成の切削装置１による被切削物Ｗのカットの作動について説明する。図４に示すように、被切削物Ｗには、図５紙面中横方向に複数本（例えば１１本）のカットラインでカットすると共に、縦方向に複数本（例えば１１本）のカットラインでカットするようになっている。以下、横方向のカットラインを第１チャンネルと呼び、縦方向のカットラインを第２チャンネルと呼ぶ。
【００３８】
この切削装置１は、被切削物Ｗを、各カットラインにおいて被切削物Ｗ１、Ｗ２の厚さ方向（Ｚ方向）に１段でカットする（フルカット）用途で用いられるのが基本である。しかし、本実施形態では、１段でカットした場合に加工負荷が高く、そのままカットすると加工品質面やブレード破損リスクがある場合においては、加工負荷を分割低減するため、ブレード破損リスクの少ない負荷領域では１段カットをし、負荷が一定以上になると、または、作業者が任意に複数段カットをすると選択した場合において、各カットラインで被切削物Ｗ１、Ｗ２の厚さ方向（Ｚ方向）に複数段（たとえば２段または３段）に分けて段階的に切断する。
【００３９】
例えば、２段階で切断する場合、まず図５（ａ）に示すように、１段目のカットにおいて、ブレード１５で、板材Ｗ１の上部（例えば、層Ｗ１１、１２の全体および層１３の一部）をカットラインに沿ってカットし、その後、２段目のカットにおいて、図５（ｂ）に示すように、同じカットラインに沿って、板材Ｗ１の下部（例えば、層Ｗ１３の一部および層Ｗ１４、１５の全体）およびテープＷ２の上部をブレード１５でカットする。
【００４０】
１段目のカットの切り込み量Ｆ（すなわち、厚さ方向の切り込みの深さ。以下同じ。）と２段目のカットの切り込み量Ｓは、本実施形態においては、フィードバック制御によって逐次補正するようになっている。
【００４１】
１個の被切削物Ｗに対して、カットラインと段をどのような順番でカットするかについては、種々の方法を採用できる。例えば、１つのカットラインの１段目と２段目（およびあれば３段目）を連続でカットした上で、次のカットラインの１段目と２段目（およびあれば３段目）を連続でカットする手順を繰り返す方法（以下、ライン毎カット手順という）を採用して、第１チャンネルおよび第２チャンネルをカットしてもよい。
【００４２】
あるいは、第１チャンネルのすべてのカットラインについてまず１段目のみをカットし、次に第１チャンネルのすべてのカットラインについて２段目のみをカットし、次に３段目があれば第１チャンネルのすべてのカットラインについて３段目のみをカットし、第１チャンネルのすべてのカットラインのすべての段のカットが終わった後、第２チャンネルのすべてのカットラインについてまず１段目のみをカットし、次に第２チャンネルのすべてのカットラインについて２段目のみをカットし、次に３段目があれば第２チャンネルのすべてのカットラインについて３段目のみをカットするという方法（以下、チャンネル毎カット手順という）を採用してもよい。また、上記では第１のチャンネルをカットした後に第２のチャンネルをカットする手順を説明したが、第２のチャンネルをカットした後に第１のチャンネルをカットする方法を採用してもよい。
【００４３】
以下では、ライン毎カット手順を例に挙げて説明する。図６に、制御装置２３がプログラムを実行することで実現するカット処理のフローチャートを示す。このカット処理では、各段の切り込み量をフィードバック制御で補正することで、１段目のカット時のブレードへの加工負荷と、２段目のカット時のブレードへの加工負荷とを均一に近づける。
【００４４】
具体的には、切込み量の補正は、１カットラインの各段をカットする毎に切り込み量の補正を実施し、次のカットラインのカット時に補正後の切り込み量を適用するＬモードと、１チャンネル分の全カットラインの全段をカットした後に切り込み量の補正を実施し、次のチャンネルのカット時に補正後の切り込み量を適用するｃｈモードとを、ユーザが任意に選択し設定できる。この切込量補正モード（Ｌモード、ｃｈモード）の選択は、切削装置１に設けられた操作部（図示せず）をユーザが操作することで入力し、制御装置２３は、その入力結果を記憶媒体に保持する。
【００４５】
なお、制御装置２３は、カットラインを２段階でカットするときの１段目、２段目の切り込み量Ｆ、Ｓ、および、カットラインを３段階でカットするときの１段目、２段目、３段目の切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｒの値を、記憶媒体に記憶するようになっている。
【００４６】
これら切り込み量Ｆ、Ｓ、Ｐ、Ｑ、Ｒの初期値（切削装置１の最初の使用開始時または切り込み量リセット時の値）は、どのようになっていてもよいが、例えば、板材Ｗ１の厚さｈおよびテープＷ２の切り込み量Ｔをあらかじめ決めておき、切り込み量Ｆ、Ｓの初期値をいずれも（ｈ＋Ｔ）／２とし（図７参照）、切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｒの初期値をそれぞれｈ／２、ｈ／２、Ｔとしてもよい（図８参照）。
【００４７】
以下、図６の処理に従って、切削装置１の作動について説明する。まず制御装置２３は、ステップ１０５で、切込量補正モードの設定がＬモードであるかｃｈモードであるかを判定し、Ｌモードであると判定した場合、ステップ１１０に進む。
【００４８】
ステップ１１０では、被切削物Ｗの１ライン目（１番目のカットライン）のカットの処理を実行する。具体的には、電力供給回路２１を制御することで電力供給回路２１からブレード駆動部１４のエアスピンドルモータに電力を供給させ、それによりブレード１５を回転させる。そして、アクチュエータ群２４のテーブル駆動機構、チャック回転機構、ブレード位置調整機構等を制御して、１段目から順に各段のカットを行う。１ライン目のカットの段数は、あらかじめ２段に決められていても３段に決められていてもよい。
【００４９】
各段のカット時において、テーブル駆動機構、チャック回転機構、ブレード位置調整機構をどのように制御してブレード１５の位置を制御するかについては、周知であるので詳細な説明は省略する。
【００５０】
簡単に説明すれば、あるカットラインをカットするために、チャック回転機構およびブレード位置調整機構を制御することでブレード１５の位置を当該カットラインに合わせ、当該カットラインの各段のカット時において、現在の段目の切り込み量として、記憶媒体に記録されている当該段の切り込み量（２段ならＦおよびＳ、３段ならＰ、ＱおよびＲ）が実現するよう、ブレード位置調整機構を制御してブレード１５の高さ（Ｚ方向の位置）を調整し、その高さを保持したまま、テーブル駆動機構を制御して現在のカットラインに沿って、被切削物ＷをＸ方向に送る。なお、チャネルの切り替えが必要な時には、チャック回転機構を制御して、切り込み対象のカットラインがＸ方向に平行になるよう、チャックテーブル１３を回転させる。なお、本実施形態では、カット時は、被切削物Ｗ、チャネル、ライン、段目によらず、被切削物ＷのＸ方向への送り速度およびブレード１５の回転数は一定とする。
【００５１】
なお、各段のカット時には、電流値検出回路２２から検出電流値が常時出力されているが、制御装置２３は、この検出電流値の推移を時系列に沿って（例えば所定のサンプリングレートで）記憶媒体に記録する。
【００５２】
図９に、２段階でカットした場合の１カットライン分の検出電流値３１の推移を例示する。図中、縦方向が電流値を示し、横方向が時間を表す。この図では、時刻ｔ１からｔ２までが１段目のカットの際の検出電流値であり、時刻ｔ２からｔ３までが２段目のカットの際の検出電流値である。
【００５３】
なお、２段目のカットの検出電流値は、一度、値Ｃ２だけ上昇し、更にその後Ｅ２まで上昇し、更にその後Ｃ２まで減少し、その後最低値（ブレード１５の空転時の検出電流値）に減少するようになっている。電流値がＣ２となっている時間帯は、ブレード１５がテープＷ２のみをカットしている時間帯である。図２、図３に示したように、テープＷ２は、板材Ｗ１よりも広い範囲に配置されているので、１カットラインで見ると、カットの開始時付近および終了時付近には、余剰カット部にてテープＷ２のみがカットされる時間帯が存在する。
【００５４】
図１０に、３段階でカットした場合の１カットライン分の検出電流値３２の推移を例示する。図中、縦方向が電流値を示し、横方向が時間を表す。この図では、時刻ｔ４からｔ５までが１段目のカットの際の検出電流値であり、時刻ｔ５からｔ６までが２段目のカットの際の検出電流値であり、時刻ｔ６からｔ７までが３段目のカットの際の検出電流値である。
【００５５】
１ライン目のカットが終了すると、続いてステップ１１５に進み、ステップ１１０で記録した検出電流値の推移に基づいて、当該１ライン目の各段のカット時における代表電流値を特定する。より具体的には、２段階でカットした場合、１段目の代表電流値Ｄ２、２段目の代表電流値Ｅ２を特定し、３段階でカットした場合、１段目の代表電流値Ｄ３、２段目の代表電流値Ｅ３、３段目の代表電流値Ｃ３を検出する。
【００５６】
例えば、各段目のカット時の検出電流値の最大値を当該段目の代表電流値としてもよい。なお、ステップ１１０で２段階でカットしている場合は、２段目のカット時においてテープＷ２のみがカットされる時間帯における代表電流値Ｃ２（例えば最大値）を特定する。制御装置２３は、２段階の２段目のカット時において、テープＷ２のみがカットされる時間帯と、板材Ｗ１も含めてカットされる時間帯とを、以下のようにして区別することができる。
【００５７】
図９に示すように、板材Ｗ１も含めてカットされる時間帯αの前後に、テープＷ２のみがカットされる時間帯β１、β２があるが、時間帯β１の前後は検出電流値が急上昇し、時間帯β２の前後は検出電流値が急降下する。そこで、２段目カット時において、最初に検出電流値の時間微分の絶対値が第１所定基準値より大きくなり、その後第２所定基準値（第１所定基準値より小さい）より小さくなったことに基づいて、時間帯β１が始まったと判定し、次にに検出電流値の時間微分の絶対値が第１所定基準値より大きくなり、その後第２所定基準値より小さくなったことに基づいて、時間帯β１が終了したと判定する。そして、３番目に検出電流値の時間微分の絶対値が第１所定基準値より大きくなり、その後第２所定基準値より小さくなったことに基づいて、時間帯β２が始まったと判定し、次にに検出電流値の時間微分の絶対値が第１所定基準値より大きくなり、その後第２所定基準値より小さくなったことに基づいて、時間帯β２が終了したと判定する。
【００５８】
なお、時間帯β１のみを対象として代表電流値Ｃ２を算出してもよいし、時間帯β２のみを対象として代表電流値Ｃ２を算出してもよいし、時間帯β１、β２の両方を対象として代表電流値Ｃ２を算出してもよい。
【００５９】
続いてステップ１２０では、ステップ１１５で特定した１段目の代表電流値（Ｄ２またはＤ３）と２段目の代表電流値（Ｅ２またはＥ３）との差の絶対値Ｇ（｜Ｄ２―Ｅ２｜または｜Ｄ３―Ｅ３｜）が、所定の基準値（本例では具体的には０．１アンペア）以上であるか否かを判定し、値Ｇが当該基準値以上であれば、切り込み量（Ｆ、ＳまたはＰ、Ｑ）の補正のためにステップ１２５に進む。値Ｇが当該基準値以上でなければ、各段の負荷均一化が図れているとみなし、切り込み量の補正は行わず、次のラインカットに移行するため、ステップ１８０に進む。
【００６０】
一般に、カット時のブレード１５への加工負荷が大きくなると、ブレード１５を回転させるエアスピンドルモータへ供給する電流値も大きくなる。したがって、代表電流値Ｄ、Ｅは、カット時のブレード１５への加工負荷相当値である。したがって、代表電流値Ｄ、Ｅの乖離量を表す値Ｇが大きい程、１段目と２段目の加工負荷のアンバランス度合いが大きいことになる。本実施形態では、このことを利用して、値Ｇが基準値と同じかまたは基準値より大きいときには切り込み量を補正し、値Ｇが基準値より小さいときには切り込み量を補正しない。
【００６１】
ステップ１８０では、次のカットラインのカット処理を実行する。具体的には、ステップ１１０と同様にブレード１５を回転させ、アクチュエータ群２４を制御して、当該カットラインの１段目から順に各段のカットを行う。カットの段数は、変更の処理がない限り、前回のカットラインのカット時と同じにするが、変更があった場合は、その変更結果に従う。また、ステップ１１０と同様、各段のカット時には、電流値検出回路２２からの検出電流値の推移を時系列に沿って記憶媒体に記録する。
【００６２】
ステップ１８０で当該カットラインのカットが終了すると、続いてステップ１１５に戻り、直前のステップ１８０で記録した検出電流値の推移に基づいて、既に説明した通りの方法で、当該カットラインの各段のカット時における代表電流値（Ｄ２、Ｅ２またはＤ３、Ｅ３、Ｃ３。加工負荷相当値に相当する）を特定する。また、直前のステップ１８０で２段階でカットしている場合は、テープＷ２のみがカットされる時間帯における代表電流値Ｃ２（例えば最大値）を特定する。
【００６３】
このように、値Ｇが基準値を超えない間は、切り込み量が補正されずにステップ１１５、１２０、１８０の処理が繰り返され、繰り返しの回数分だけカットラインに沿って被切削物Ｗがカットされていく。
【００６４】
ステップ１２０で値Ｇが基準値以上であると判定された場合に実行されるステップ１２５では、テープ切込負荷除外補正モードの設定が、オンであるか、オフであるか、オートであるか、を特定する。テープ切込負荷除外補正モードは、カットの段数を追加（例えば３段に）して、３段目（追加段）でテープＷ２のみを切ることで、２段目のカットにおいてテープＷ２の切り込みによる負荷を除外するモードであり、ユーザがオン、オフ、オートを任意に選択し設定できる。このテープ切込負荷除外補正モードの選択は、切削装置１に設けられた操作部（図示せず）をユーザが操作することで入力し、制御装置２３は、その入力結果を記憶媒体に保持する。
【００６５】
まず、テープ切込負荷除外補正モードがオフに設定されている場合について説明する。この場合、ステップ１３０に進み、カットの段数を２に設定する。続いてステップ１３５では、第１切り込み補正判定を行う。具体的には、直前のステップ１１５で特定した１段目カット時の代表電流値（Ｄ２またはＤ３。図６中ではＤと記載する。）と２段目カット時の代表電流値（Ｅ２またはＥ３。図６中ではＥと記載する。）とを比較し、１段目の代表電流値が２段目の代表電流値以上の場合、ステップ１４０に進み、１段目の代表電流値が２段目の代表電流値より小さい場合、ステップ１４５に進む。
【００６６】
ステップ１４０では、現在の１段目の切り込み量Ｆから正の所定量Ｘ（図７参照）を減算した結果を新たな１段目の切り込み量Ｆとして記憶媒体に記録し、また、現在の２段目の切り込み量Ｓに当該所定量Ｘを加算した結果を新たな２段目の切り込み量Ｓとして記憶媒体に記録する。つまり、１段目の切り込み量Ｆを減少させ、その減少分だけ、２段目の切り込み量Ｓを増大させることで、全体の切り込み量Ｆ＋Ｓ＝ｈ＋Ｔは変化させず、１段目と２段目の加工負荷を均一化に近づける。なお、所定量Ｘは、板材Ｗ１の板厚ｈの５％〜２０％の範囲内（例えば１０％）としてもよい。
【００６７】
ステップ１４５では、現在の１段目の切り込み量Ｆに上記正の所定量Ｘ（図７参照）を加算した結果を新たな１段目の切り込み量Ｆとして記憶媒体に記録し、また、現在の２段目の切り込み量Ｓから当該所定量Ｘを減算した結果を新たな２段目の切り込み量Ｓとして記憶媒体に記録する。つまり、１段目の切り込み量Ｆを増大させ、その増大分だけ、２段目の切り込み量Ｓを減少させることで、全体の切り込み量Ｆ＋Ｓ＝ｈ＋Ｔは変化させず、１段目と２段目の加工負荷を均一化に近づける。ステップ１４０、１４５に続いては、ステップ１８０に進む。
【００６８】
これにより、ステップ１８０では、前回も今回もカット段数が２段の場合、補正後の切り込み量Ｆ、Ｓで１段目、２段目の切り込みを行うので、図１１に示すように、あるカットライン（Ｎライン目）についての１段目（時刻ｔ１〜ｔ２）と２段目（時刻ｔ２〜ｔ３）の代表電流値の差Ｇ１よりも、補正実施後の次のカットライン（Ｎ+１ライン目）についての１段目（時刻ｔ４〜ｔ５）と２段目（時刻ｔ５〜ｔ６）の代表電流値の差Ｇ２の方が、小さくなる。また、前回も今回もカット段数が３段の場合、補正後の切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｔで１段目、２段目、３段目の切り込みを行うので、図１２に示すように、あるカットライン（Ｎライン目）についての１段目と２段目の代表電流値の差Ｇ３よりも、補正実施後の次のカットライン（Ｎ+１ライン目）についての１段目と２段目の代表電流値の差Ｇ４の方が、小さくなる。このような補正をカットライン毎に繰り返すことで、１段目と２段目の加工負荷のアンバランスが問題にならない程度まで低減される。
【００６９】
なお、カットの段数が３段から２段に変化した直後のステップ１４０、１４５では、１段目、２段目の切り込み量Ｆ、Ｓとして、初期値を採用し、この初期値を、現在の切り込み量Ｆ、Ｓとして記憶媒体に記憶するようになっていてもよい。あるいは、テープ切込負荷除外補正モードがオフの場合は、ステップ１１０でも２段でカットするようになっていれば、ユーザがテープ切込負荷除外補正モードを切り替える操作を行わない限り、カットの段数の切り替わりは発生しない。
【００７０】
次に、テープ切込負荷除外補正モードがオンに設定されている場合について説明する。２段階でカットする場合、テープＷ２への切り込み量Ｔが大きいこと、テープＷ２の材質が比較的硬いこと等の影響で、テープＷ２の加工負荷（図９の値Ｃに相当する）が占める割合が大きくなった場合、１段目の加工負荷（値Ｄ２に相当する）と２段目の加工負荷（値Ｅ２に相当する）を均一にしようとすると、板材Ｗ１のカット分割比（Ｆ：Ｓ−Ｔ）がアンバランスになってしまう（１より大きく乖離する）ので、そのようなことを防止するため、テープ切込み負荷除外補正によって、テープＷ２のみカットする追加段を有するカットを実施する。
【００７１】
具体的には、テープ切込負荷除外補正モードがオンに設定されている場合、ステップ１２５からステップ１５０に進み、カットの段数を３に設定する。続いてステップ１５５では、第２切り込み補正判定を行う。
【００７２】
具体的には、前回のカットの段数が３段であった場合、直前のステップ１１５で特定した１段目カット時の代表電流値Ｄ３と２段目カット時の代表電流値Ｅ３とを比較し、１段目の代表電流値Ｄ３が２段目の代表電流値Ｅ３より小さい場合、ステップ１６５に進み、代表電流値Ｄが代表電流値Ｅより大きい場合、ステップ１６５に進む。
【００７３】
また、前回のカットの段数が２段であった場合、直前のステップ１１５で特定した２段目カット時の代表電流値Ｅ２から、２段目におけるテープＷ２のみカット時の代表電流値Ｃ２を減算した値Ｅ２−Ｃ２を算出する。そして、１段目カット時の代表電流値Ｄ２と、上記減算値Ｅ２−Ｃ２とを比較し、前者Ｄ２が後者Ｅ２−Ｃ２より小さい場合、ステップ１６５に進み、前者Ｄ２が後者Ｅ２−Ｃ２より大きい場合、ステップ１６０に進む。
【００７４】
ステップ１６０では、前回のカットの段数が３段であった場合、現在の１段目の切り込み量Ｐから上記正の所定量Ｘ（図８参照）を減算した結果を新たな１段目の切り込み量Ｐとして記憶媒体に記録し、また、現在の２段目の切り込み量Ｑに当該所定量Ｘを加算した結果を新たな２段目の切り込み量Ｑとして記憶媒体に記録する。つまり、１段目の切り込み量Ｐを減少させ、その減少分だけ、２段目の切り込み量Ｑを増大させることで、１段目と２段目の切り込み量の和Ｐ＋Ｑ＝ｈは変化させず、１段目と２段目の加工負荷を均一化に近づける。なお、３段目の切り込み量Ｒはあらかじめ定められた固定値Ｔとする。また、ステップ１６０で前回のカットの段数が２段であった場合も、２段階カット用の１段目の切り込み量Ｆを３段階カット用の１段目の切り込み量Ｐに代入し、２段階カット用の２段目の切り込み量Ｓから上記固定値Ｔ（テープＷ２の切り込み量）を減算した値を３段階カット用の２段目の切り込み量Ｑに代入した後、上記の処理を行う。
【００７５】
ステップ１６５では、現在の１段目の切り込み量Ｐに上記正の所定量Ｘ（図８参照）
を加算した結果を新たな１段目の切り込み量Ｐとして記憶媒体に記録し、また、現在の２段目の切り込み量Ｑから当該所定量Ｘを減算した結果を新たな２段目の切り込み量Ｑとして記憶媒体に記録する。つまり、１段目の切り込み量Ｐを増加させ、その増加分だけ、２段目の切り込み量Ｑを減少させることで、１段目と２段目の切り込み量の和Ｐ＋Ｑ＝ｈは変化させず、１段目と２段目の加工負荷を均一化に近づける。なお、３段目の切り込み量Ｒはあらかじめ定められた固定値Ｔとする。なお、ステップ１６５で前回のカットの段数が２段であった場合も、２段階カット用の１段目の切り込み量Ｆを３段階カット用の１段目の切り込み量Ｐに代入し、２段階カット用の２段目の切り込み量Ｓから上記固定値Ｔ（テープＷ２の切り込み量）を減算した値を３段階カット用の２段目の切り込み量Ｑに代入した後、上記の処理を行う。
【００７６】
これにより、ステップ１８０では、補正後の切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｒ（＝Ｔ）で１段目、２段目、３段目の切り込みを行うので、あるカットラインについての１段目と２段目の代表電流値の差Ｇ１よりも、次のカットラインについての１段目と２段目の代表電流値の差Ｇ２の方が、小さくなる。このような補正をカットライン毎に繰り返すことで、１段目と２段目の加工負荷のアンバランスが問題にならない程度まで低減される。また同様に、２段目の加工負荷からテープＷ２の加工負荷が除外されるので、１段目と２段目の加工負荷を均一化しても、１段目と２段目の切り込み量がアンバランスになり過ぎるということはない。
【００７７】
また、２段目の加工負荷からテープＷ２の加工負荷を除外することで、全体の加工負荷からテープ切込み分の負荷が除外されたことにより、１段目および２段目の加工負荷を共に低くすることができる。これにより、ブレード加工負荷限界まで余裕ができるので、その分１段目および２段目のカット時の送り速度を上げることができる。また、３段目のカット時（テープＷ２のみカット時）は、加工品質に影響を及ぼすことが少ないため、ここだけより送り速度を早くすることで、カット段数が増えたことによる時間的デメリットを最小限に止められる。このように、テープＷ２のみカットする３段目を設けることで、切削条件設定にゆとりができる上、加工速度を上げることもできる。
【００７８】
なお、カットの段数が２段から３段に変化した直後のステップ１４０、１４５では、１段目、２段目の切り込み量Ｐ、Ｑとして、初期値を採用し、この初期値を、現在の切り込み量Ｐ、Ｑとして記憶媒体に記憶するようになっていてもよい。あるいは、テープ切込負荷除外補正モードがオフの場合は、ステップ１１０でも３段でカットするようになっていれば、ユーザがテープ切込負荷除外補正モードを切り替える操作を行わない限り、カットの段数の切り替わりは発生しない。
【００７９】
次に、テープ切込負荷除外補正モードがオートに設定されている場合について説明する。テープ切込負荷除外補正モードがオートの場合は、ステップ１２５からステップ１７０に進み、ステップ１７０では、直前のステップ１１５で検出した値Ｃ（テープＷ２のカット時の加工負荷相当値）が所定の閾値を超えているか否かを判定する。この所定の閾値は、あらかじめ定められた固定値であってもよいし、前回の２段目のカット時の代表電流値Ｅに所定の係数（例えば０．５）を乗算した値であってもよい。
【００８０】
超えていれば、テープＷ２のカット時の加工負荷が高いとみなして、テープ切込負荷除外補正モードがオンの場合と同じ処理を行うため、ステップ１５０に進む。超えていなければ、テープＷ２のカット時の加工負荷が高くないとみなして、テープ切込負荷除外補正モードがオフの場合と同じ処理を行うため、ステップ１３０に進む。このようにすることで、テープＷ２のカット時の加工負荷に応じて、自動的にカットの段数を調整することができる。
【００８１】
ここで、ステップ１０５でｃｈモードであると判定した場合について説明する。この場合も、Ｌモードの場合のステップ１１０〜１８０と同様の作動を行う。ただし、ステップ１１０、１８０では、１カットラインのみならず、１チャンネル分のカットラインすべてをカットする点が異なる。
【００８２】
以上説明した通り、切削装置１は、複数段（２段）の各段のカット時に電流値検出回路２２が検出した電流値に基づいて、当該複数段の各段のカット時におけるブレード１５への加工負荷相当値を特定し、特定した当該各段の加工負荷相当値間の乖離量Ｇに基づいて、各段のカット時における刃具１５への加工負荷を均一に近づけるよう、各段（１段目、２段目）の切り込み量を補正する。
【００８３】
このように、各段のカット時に検出された電流値または電力値という、ブレード１５への加工負荷を反映する量に基づいて、各段の切り込み量を補正することで、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることができる。
【００８４】
また、当該複数段（２段）に加え、追加段（３段目）のカット（板材Ｗ１をカット時に保持するためのテープＷ２をカットすると共に板材Ｗ１をカットしないようなカット）を実行する。
【００８５】
一般に、板材Ｗ１のカット時には、板材Ｗ１を保持する基材Ｗ２の一部もカットすることになるが、基材Ｗ２への切り込み量が大きいこと、基材Ｗ２の材質が比較的硬いこと等の影響で、基材Ｗ２の加工負荷が占める割合が大きくなり、各段の加工負荷を均一にしようとすると、最終段の切り込み量が非常に小さくなってしまう可能性がある。しかし、上記のように、基材Ｗ２をカットすると共に板材Ｗ１をカットしない段を実行することで、この段以外の複数段の加工負荷の均一化においても、切り込み量が非常にアンバランスになってしまう可能性を低減できる。
【００８６】
また、テープＷ２のみをカットしたときに電流値検出回路２２が検出した電流値に基づいて、テープＷ２のみのカット時におけるブレード１５への加工負荷相当値を特定し、特定した加工負荷相当値が閾値より大きいことに基づいて、追加段を実行し、特定した加工負荷相当値が閾値より小さいことに基づいて、追加段のカットを実行せず、複数段の最後の段（２段目）で板材Ｗ１およびテープＷ２をカットする。このようにすることで、基材（Ｗ２）のカット時の加工負荷に応じて、追加段の実行、非実行を調整することができる。
【００８７】
なお、上記実施形態において、制御装置２３が、ステップ１１５を実行することで補正検出手段２３ａの一例として機能し、ステップ１２５〜１８０を実行することで補正制御手段２３ｂの一例として機能する。また、このような板材Ｗ１のカットの工程は、カットされた板材Ｗ１からできる複数の部品（例えば集積回路等の半導体部品）の製造工程に含まれる。
【００８８】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の範囲は、上記実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の各発明特定事項の機能を実現し得る種々の形態を包含するものである。例えば、以下のような形態も許容される。
【００８９】
（１）上記実施形態においては、図６のステップ１１５において、各段における代表電流値Ｄ、Ｅとして、ブレード１５への加工負荷相当値として、各段目のカット時の検出電流値の最大値を採用している。
【００９０】
実際のカットにおいては、ブレード１５の劣化等の要因により、図１３に示すように、１ラインの各段のカット中の切り始め（ｔａ、ｔｃ）から切り終わり（ｔｂ、ｔｄ）までに、それぞれ電流検出値がＨ１、Ｈ２だけ増加したり、逆に、図１４、図１５に示すように、カット中にブレードの自生発刃４１〜４３等によりブレードの切削力が回復し、途中から電流値が減少することがある。この場合、代表電流値は、上記実施形態のように、それぞれの変動範囲内での最大値としてもよいが、各変動範囲Ｈ１、Ｈ２内の平均値を採用してもよい。どちらを採用するかは、あらかじめユーザが切削装置１の操作部を用いて選択できるようになっていてもよい。
【００９１】
最大値を採用するメリットとしては、カット対象のカットラインの最大加工負荷を基にしたフィードバック制御となるため、過負荷によるブレード１５破損のリスクを低減できるというものがある。一方、平均値を採用するメリットとしては、変動範囲Ｈ１、Ｈ２の内でのバラツキを平均して補正するため、補正精度が向上し、少ないフィードバック回数で加工負荷を十分均一化することができるというものがある。
【００９２】
この変動範囲Ｈ１、Ｈ２のバラツキは、被切削物Ｗの材質、ブレードの種類、カット条件により異なる。したがって、ユーザが任意に最大値採用と平均値採用とを選択設定できることで、補正精度重視、ブレード破損リスク回避、ブレード長寿命化など、目的に適した補正制御が可能となる。また予め設定した条件をカット結果によりユーザが最大値採用と平均値採用との間で途中切り替えできることで、更に最適補正が可能となる。
【００９３】
（２）また、上記実施形態では、ステップ１１５で特定する各段の加工負荷相当値として、各段のカット時における検出電流値の代表値（代表電流値）を採用しているが、各段の加工負荷相当値としては、検出電流値の代表値ではなく、電流値検出回路２２からエアスピンドルモータに印加される検出電圧値の代表値でもよいし、電流値検出回路２２からエアスピンドルモータに供給される検出電力値の代表値でもよい。つまり、ステップ１１５で特定する各段の加工負荷相当値は、電流値検出回路２２からエアスピンドルモータへの電力供給に関する電気的量であればよい。
【００９４】
（３）また、ブレード１５を回転させるモータは、エアスピンドルモータに限らず、どのようなモータでもよい。
【００９５】
（４）また、上記実施形態では、制御装置２３が各段の加工負荷相当値に基づいて自動で切り込み量をフィードバック補正するようになっているが、このようなフィードバックの手順に人の判断が介在していてもよい。例えば、制御装置２３（あるいはデータロガー）が各段の加工時の検出電流値をユーザに表示し、ユーザは、この表示された検出電流値に基づいて各段の切り込み量の補正量を決定し、その決定したユーザ補正量を制御装置２３に入力することで、制御装置２３が当該補正量を実現するようになっていてもよい。
【００９６】
（５）上記実施形態では、切り込み量の補正に用いる所定量Ｘは固定値となっているが、所定量Ｘは可変でもよい。例えば、時間の経過と共に徐々に大きくしていってもよい。これは、ブレード１５の摩耗が進むにつれ、加工負荷が高くなるからである。また例えば、値Ｇが小さくなるほど所定量Ｘが小さくなるようになっていてもよい。
【００９７】
（６）上記実施形態においては、カットの段数が２段の場合は、２段目のカット時の検出電流値から、テープＷ２のみのカット時の代表電流値Ｃを特定するようになっている。この代表電流値Ｃは、１カットライン中の被切削物Ｗの両サイドの余剰カット部でテープのみをカットしているタイミングにおける負荷を用いて特定するが、余剰カット長が短いなどの理由により、テープＷ２のカット時における検出電流値が板材Ｗ１のカット時の検出電流値に埋もれてしまい明確な差が検出できない場合は、予めウエハ貼付け部外周のテープのみの部分をカットしその検出値をＣ値としてもよい。
【００９８】
（７）また、上記実施形態では、１個の被切削物Ｗの或る（１つまたは複数の）カットラインにおける各段の加工負荷相当値に基づいて、各段の切り込み量を補正し、補正後の切り込み量を同じ被切削物Ｗの他のカットラインのカットに反映している。
【００９９】
（８）しかし、同種の製品を大量製造する場合には、必ずしもこのようになっておらずともよく、例えば、１個の被切削物Ｗの或る（１つまたは複数の）カットラインにおける各段の加工負荷相当値に基づいて、各段の切り込み量を補正し、補正後の切り込み量を同種の他の被切削物Ｗのカットラインのカットに反映するようになっていてもよい。同種の被切削物Ｗの場合、厚さ方向の構造はほぼ同じであるので、ある被切削物Ｗのカットに他の被切削物Ｗのカット結果を用いた補正量を適用しても、各段の加工負荷を均一に近づけることができる。
【０１００】
（９）被切削物Ｗがウエハ等である場合、上記実施形態のステップ１２０で、値Ｇが基準値より小さいと一旦判定した後に、パス間の負荷の不均衡が再発生するのは、ほとんどの場合偶々（何らかの突発的な異常）であると考えられる。特に、各段のカット時の代表電流値を、当該段のカット時に検出した最大電流値とした場合、瞬間、突発的なノイジーな値が、代表電流値として検出されやすい。そこで、ステップ１２０で値Ｇが基準値より小さいと一旦判定した後は、ステップ１２０で値Ｇが基準値以上であると２回連続で判定した場合に限り、ステップ１２５に進み、それ以外の場合は、ステップ１８０に進むようになっていてもよい。
【０１０１】
（１０）また、上記実施形態では、板材Ｗ１を複数段でカットする際の各段（１段目、２段目）のカットにおいて、各段のカット時の加工負荷相当値に基づいて、各段の切り込み量を補正するようになっているが、各段の切り込み量に代えて、各段の送り速度（板材Ｗ１のブレード１５に対するカットラインに沿った相対的な送り速度）を補正するようになっていてもよい。具体的には、上記実施形態の「切り込み量」を、「板材Ｗ１のブレード１５に対するカットラインに沿った相対的な送り速度」に置き換えた作動を行えばよい。この際、加工負荷の高い段の負荷を軽減するために送り速度を低減し、加工負荷の低い段の送り速度を増加させることで、全体の加工時間を一定に保つことができる。なお、この場合、正の所定量Ｘは、負の補正量Ｙに置き換える。この負の補正量Ｙは、例えば、現在の送り速度の正負を反転し、反転した値に０．１を乗算した値とするようになっていてもよい。またこの場合、各段の切り込み量は補正せず一定とするようにしてもよい。
【０１０２】
このように、板材Ｗ１のブレード１５に対するカットラインに沿った相対的な送り速度を制御して各段のカット時の加工負荷を均一に近づけることも可能であるが、これに対し、各段の切り込み量を制御して各段のカット時の加工負荷を均一に近づける方法は、カットにかかる時間の変動が少なくなる（加工時間の安定性）という点で有利である。
【０１０３】
（１１）また、上記実施形態では、各段のカット時に電流値検出回路２２によって検出された検出電流値に基づいて、各段の加工負荷相当値を特定するようになっているが、電流値検出回路２２を、電力値検出回路（電力供給回路２１からエアスピンドルモータに供給される電力値を検出し、検出結果の検出電力値を制御装置２３に出力する回路）に置き換え、制御装置２３は、この検出電流値に基づいて、各段の加工負荷相当値を特定するようになっていてもよい。この際、制御装置２３は、上記実施形態において、「電流」を「電力」に置き換えた作動を行えばよい。
【０１０４】
（１２）また、制御装置２３が自動的に切り込み量を補正する場合においても、電流値検出回路２２が出力する検出電流値をユーザに表示するようになっていてもよい。
【０１０５】
（１３）上記実施形態では、板材Ｗ１に関しては常に１カットラインを２段階でカットするようになっているが、板材Ｗ１を３段階以上でカットするようになっていてもよい。その場合は、当該３段階以上の各段階で加工負荷が均一化するよう、各段階の加工負荷相当値に基づいて当該段階の切り込み量を補正するようになっていてもよい。
【０１０６】
（１４）上記実施形態では、３段階でカットを実施する場合、２段目の切り込みＱ（図８参照）の深さ方向テープＷ２側の端部位置は、板材Ｗ１とテープＷ２の境界となる場合もあるが、必ずしも板材Ｗ１とテープＷ２の境界とならなくともよい。具体的には、上記端部位置は、テープＷ２内に少し切り込んだ位置としてもよい。これは、２段目の切り込みＱの上記端部位置を境界付近にすると、板材Ｗ１がぎりぎり切り離されるかどうかの瀬戸際のカットとなり、チッピングなどの裏面側の加工品質悪化要因となるためである。
【０１０７】
このようにした場合、２段階の２段目でテープＷ２のみをカットする場合と、３段階の３段目でテープＷ２のみをカットする場合を比べると、前者ではテープＷ２の上端からカットするのに対し、後者では、前者ではテープＷ２の上端が一部カットされている点が異なる。
【０１０８】
（１５）また、上記実施形態のテープＷ２は、シートに置き換えてもよい。つまり、テープＷ２は、板材Ｗ１を保持するために粘着剤が付着したシート状の基材であれば、どのようなものでもよい。
【０１０９】
（１６）また、上記の実施形態において、制御装置２３がプログラムを実行することで実現している各機能は、それらの機能を有するハードウェア（例えば回路構成をプログラムすることが可能なＦＰＧＡ）を用いて実現するようになっていてもよい。
【符号の説明】
【０１１０】
１ 切削装置
１１ ベース
１２ 可動ステージ
１３ チャックテーブル
１４ ブレード駆動部
１５ ブレード
１６ テープ保持フレーム
２１ 電力供給回路
２２ 電流値検出回路
２３ 制御装置
２３ａ 補正検出手段
２３ｂ 補正制御手段
２４ アクチュエータ群
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置、切削装置を用いた切削方法、および部品の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウエハ等の板材をダイシングソー等の切削装置でカットする際、材料の材質や厚さによっては、刃具（例えばブレード）への加工負荷が大きくなり過ぎて、刃具を破損したり、その寿命を著しく短くするために一度にカットすることが困難となる場合がある。この対策として、加工負荷を下げるために厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットすることが行われている。
【０００３】
また、複数段カット時の各段の加工負荷がアンバランスになると、ブレードの切削性が早く低下するばかりか、加工品質の悪化やブレード破損のリスクが高くなる。そのため、各段の負荷を均一にして、最大加工負荷をできる限り低く抑えることが望ましい。
従来は、各段の斬り込みの深さを均一にするのが一般的である。
【０００４】
例えば、０．４ｍｍ厚のＳｉＣウエハを２段階に分けてカットしようとしたとき、一般的な考えではウエハ厚の半分（０．２ｍｍ）ずつ２段階でカットして負荷の均一化を測ろうとする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３４５２８７号公報
【特許文献２】特開２００６−５９９１４号公報
【特許文献３】特開２００６−２８６６９４号公報
【特許文献４】特開２００８−１３０９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、各段の切り込みの深さを均一にしただけでは、各段の負荷が必ずしも均一にはならない。例えば、上記の０．４ｍｍ厚のＳｉＣウエハの場合、実際のフルカットではウエハを保持するテープにまで切込みを入れる必要があり、２段目カット時には、このテープへの切込み負荷が加わることになる。また、ウエハの表面・裏面には、Ａｕ、Ａｌ等複数のメタル付きのものがあり、これらの有無や膜厚等の組合せにより加工負荷は大きく変動する。これら種々の要因により、各段の切り込みの深さを均一にしただけでは、各段カット時の実際の加工負荷を均一化することは容易でない。
【０００７】
本発明は上記点に鑑み、板材を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする技術において、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットできる切削装置であって、前記刃具（１５）を回転させるモータに供給される電流値または電力値を検出する検出回路（２２）と、前記刃具（１５）による前記複数段の各段の厚さ方向の切り込みの深さである切り込み量を制御する制御装置（２３）と、を備え、前記制御装置（２３）は、前記複数段の各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した前記各段間の加工負荷相当値の乖離量（Ｇ）に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の切り込み量を補正することを特徴とする切削装置である。
【０００９】
このように、各段のカット時に検出された電流値または電力値といった、刃具（１５）への加工負荷を反映する量に基づいて、各段の切り込み量を補正することで、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることができる。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、前記制御装置（２３）は、前記複数段に加え、前記板材（Ｗ１）をカット時に保持するための基材（Ｗ２）をカットすると共に板材（Ｗ１）をカットしない追加段のカットを実行することを特徴とする請求項１に記載の切削装置である。
【００１１】
一般に、板材（Ｗ１）のカット時には、板材（Ｗ１）を保持する基材（Ｗ２）の一部もカットすることになるが、基材（Ｗ２）への切り込み量が大きいこと、基材（Ｗ２）の材質の硬さや、基材（Ｗ２）がカット時に溶融し前期刃具（１５）の目詰まりを誘発し切削製を低下させることなどの影響で、基材（Ｗ２）の加工負荷が占める割合が大きくなり、各段の加工負荷を均一にしようとすると、最終段の切り込み量が非常に小さくなってしまう可能性がある。しかし、上記のように、基材（Ｗ２）をカットすると共に板材（Ｗ１）をカットしない追加段のカットを実行することで、この段以外の複数段の加工負荷の均一化においても、切り込み量が非常にアンバランスになってしまう可能性を低減できる。
【００１２】
また、請求項３に記載の発明は、前記制御装置（２３）は、前記基材（Ｗ２）のみをカットしたときに前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記基材（Ｗ２）のみのカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した加工負荷相当値が閾値より大きいことに基づいて、前記追加段のカットを実行し、特定した加工負荷相当値が閾値より小さいことに基づいて、前記追加段のカットを実行せず、前記複数段の最後の段で前記板材（Ｗ１）および前記基材（Ｗ２）をカットすることを特徴とする請求項２に記載の切削装置である。このようにすることで、基材（Ｗ２）のカット時の加工負荷に応じて、追加段のカットの実行、非実行を調整することができる。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、前記制御装置（２３）は、前記各段の加工負荷相当値として、前記各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値の最大値を採用することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の切削装置である。このようにすることで、最大加工負荷を基にしたフィードバック制御となるため、過負荷による刃具破損のリスクを低減できる。
【００１４】
また、請求項５に記載の発明は、前記制御装置（２３）は、前記各段の加工負荷相当値として、前記各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値の平均値を採用することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の切削装置である。
【００１５】
このようにすることで、１つの段における加工負荷のバラツキを平均して補正するため、補正精度が向上し、少ないフィードバック回数で加工負荷を十分均一化することができる。
【００１６】
また、請求項６に記載の発明は、回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削方法であって、前記複数段の各段のカット時に前記刃具（１５）を回転させるモータに供給された電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の切り込み量を補正することを特徴とする切削方法である。
【００１７】
このように、各段のカット時に検出された電流値または電力値という、刃具（１５）への加工負荷を反映する量に基づいて、各段の切り込み量を補正することで、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることができる。
【００１８】
また、請求項７に記載の発明は、板材（Ｗ１）から部品を製造する製造方法であって、請求項６に記載の切削方法によって前記板材をカットする行程を含むことを特徴とする製造方法である。
【００１９】
また、請求項８に記載の発明は、回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削装置であって、前記刃具（１５）を回転させるモータに供給される電流値または電力値を検出する検出回路（２２）と、前記刃具（１５）による前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）に対する前記板材（Ｗ１）の相対的な送り速度を制御する制御装置（２３）と、を備え、前記制御装置（２３）は、前記複数段の各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した前記各段間の加工負荷相当値の乖離量（Ｇ）に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の送り速度を補正することを特徴とする切削装置である。
【００２０】
このように、各段のカット時に検出された電流値または電力値という、刃具（１５）への加工負荷を反映する量に基づいて、各段の送り速度を補正することで、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることができる。
【００２１】
また、請求項９に記載の発明は、回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削方法であって、前記複数段の各段のカット時に前記刃具（１５）を回転させるモータに供給された電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の送り速度を補正することを特徴とする切削方法。
【００２２】
また、請求項１０に記載の発明は、板材（Ｗ１）から部品を製造する製造方法であって、請求項９に記載の切削方法によって前記板材をカットする行程を含むことを特徴とする製造方法である。
【００２３】
なお、上記および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載される当該用語を例示する具体物等との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態に係る切削装置１の外観を示す斜視図である。
【図２】切削装置１の制御のための構成を示す図である。
【図３】被切削物Ｗ１、Ｗ２の構造およびカットの様子を示す図である。
【図４】被切削物Ｗの切断ラインを示す図である。
【図５】被切削物Ｗのカットラインを示す図である。
【図６】制御装置が実行するカット処理のフローチャートである。
【図７】２段階でカットする場合の切り込み量Ｆ、Ｓを例示する図である。
【図８】３段階でカットする場合の切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｔを例示する図である。
【図９】２段階でカットした場合の１カットライン分の検出電流値３１の推移例である。
【図１０】３段階でカットした場合の１カットライン分の検出電流値３１の推移例である。
【図１１】切り込み量の補正前後の検出電流値の波形を例示する図である。
【図１２】切り込み量の補正前後の検出電流値の波形を例示する図である。
【図１３】検出電流値の波形を例示する図である。
【図１４】自生発刃４１発生時の検出電流値の波形を例示する図である。
【図１５】自生発刃４２、４３発生時の検出電流値の波形を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の一実施形態について説明する。図１に、本実施形態に係る切削装置１の外観を示す。切削装置１は、切削対象の被切削物Ｗを複数段でカットする装置であり、ベース１１、可動ステージ１２、チャックテーブル１３、ブレード駆動部１４、ブレード１５等を有している。
【００２６】
ベース１１の中央部に形成された台１１ａには、台１１ａに沿ってＸ方向に移動可能な可動ステージ１２が取り付けられている。この可動ステージ１２のＸ方向の位置は、ベース１１内部の図示しないテーブル駆動機構によって制御される。
【００２７】
可動ステージ１２には、被切削物Ｗを保持するためのチャックテーブル１３が取り付けられている。このチャックテーブル１３は、ベース１１内部の図示しないチャック回転機構に駆動されて、Ｚ方向を軸として回転可能となっている。
【００２８】
可動ステージ１２のＸ方向への移動、および、チャックテーブル１３のＺ方向を軸とする回転により、チャックテーブル１３上の被切削物Ｗの位置および姿勢を制御することができる。なお、チャックテーブル１３と被切削物Ｗとの間には、被切削物Ｗ（具体的には板材Ｗ１が貼り付けられたテープＷ２）を保持するテープ保持フレーム１６が配置されている。
【００２９】
ブレード１５を保持するとともに回転させるためのブレード駆動部１４は、Ｙ方向を軸としてブレード１５を回転させるためのエアスピンドルモータ（図示せず）および当該エアスピンドルモータを収容するケーシングを有しており、台１１ａに対して垂直に立っている横壁１１ｂから突出している。そして、ブレード１５は、ベース１１内部の図示しないブレード位置調整機構に駆動されて、Ｙ方向およびＺ方向に移動可能となっている。
【００３０】
ブレード１５は、被切削物Ｗをカットするための回転式の刃具である。ブレード駆動部１４のＹ方向およびＺ方向への移動により、被切削物Ｗに対するブレード１５の位置および被切削物Ｗの切り込み量（厚さ方向の切り込み深さ）を調整することができる。
【００３１】
このように、テーブル駆動機構、チャック回転機構、ブレード位置調整機構を制御することにより、ブレード１５に対する被切削物Ｗの相対位置を制御することができる。
【００３２】
図２に、切削装置１の制御のための構成を示す。切削装置１は、ベース１１内に、電力供給回路２１、電流値検出回路２２、制御装置２３、アクチュエータ群２４（上述のテーブル駆動機構、チャック回転機構、エアスピンドルモータ、ブレード位置調整機構等を含む）を有している。
【００３３】
電力供給回路２１は、エアスピンドルモータに回転用の電力を供給する回路であり、その作動は、制御装置２３によって制御される。電流値検出回路２２は、電力供給回路２１からエアスピンドルモータに供給される電流値を検出し、検出結果の検出電流値を制御装置２３に出力する回路である。
【００３４】
制御装置２３は、電流値検出回路２２から出力された検出電流値等に基づいて、電力供給回路２１、アクチュエータ群２４を制御する装置である。具体的には、電流値検出回路２２から出力される検出電流値に基づいてブレード１５への加工負荷に相当する量を検出する補正検出手段２３ａとしての機能を有すると共に、検出された加工負荷相当量に応じて、ブレード１５の複数段のカット間の加工負荷を均一に近づけるため、アクチュエータ群２４を制御して、各段の切り込み量（厚さ方向の切り込みの深さ）を変化させる補正制御手段２３ｂとしての機能を有している。
【００３５】
このような制御装置２３としては、例えば、ＣＰＵ、記憶媒体を備え、ＣＰＵが不揮発性記憶媒体に記録されたプログラムを実行する周知のマイクロコンピュータを採用する。以下、ＣＰＵが実行する処理を、制御装置２３が実行する処理として説明する。
【００３６】
なお、被切削物Ｗは、ＳｉＣ（炭化ケイ素）等の難切削材を主成分とする板材Ｗ１（被加工物）と、チャックテーブル１３と板材Ｗ１の間に介在して板材Ｗ１を保持するテープＷ２から成る。より具体的には、板材Ｗ１は、図３に示すように、Ｔｉ、Ａｌ、Ｎｉ、Ａｕ等から成る２層の表面電極Ｗ１１、Ｗ１２と、ＳｉＣ層Ｗ１３と、Ｔｉ、Ｎｉ、Ａｕ等から成る２層の裏面電極Ｗ１４、Ｗ１５とが、この順に積層されて構成されており、層Ｗ１５とチャックテーブル１３の間にテープＷ２が介在する。
【００３７】
ここで、上記のような構成の切削装置１による被切削物Ｗのカットの作動について説明する。図４に示すように、被切削物Ｗには、図５紙面中横方向に複数本（例えば１１本）のカットラインでカットすると共に、縦方向に複数本（例えば１１本）のカットラインでカットするようになっている。以下、横方向のカットラインを第１チャンネルと呼び、縦方向のカットラインを第２チャンネルと呼ぶ。
【００３８】
この切削装置１は、被切削物Ｗを、各カットラインにおいて被切削物Ｗ１、Ｗ２の厚さ方向（Ｚ方向）に１段でカットする（フルカット）用途で用いられるのが基本である。しかし、本実施形態では、１段でカットした場合に加工負荷が高く、そのままカットすると加工品質面やブレード破損リスクがある場合においては、加工負荷を分割低減するため、ブレード破損リスクの少ない負荷領域では１段カットをし、負荷が一定以上になると、または、作業者が任意に複数段カットをすると選択した場合において、各カットラインで被切削物Ｗ１、Ｗ２の厚さ方向（Ｚ方向）に複数段（たとえば２段または３段）に分けて段階的に切断する。
【００３９】
例えば、２段階で切断する場合、まず図５（ａ）に示すように、１段目のカットにおいて、ブレード１５で、板材Ｗ１の上部（例えば、層Ｗ１１、１２の全体および層１３の一部）をカットラインに沿ってカットし、その後、２段目のカットにおいて、図５（ｂ）に示すように、同じカットラインに沿って、板材Ｗ１の下部（例えば、層Ｗ１３の一部および層Ｗ１４、１５の全体）およびテープＷ２の上部をブレード１５でカットする。
【００４０】
１段目のカットの切り込み量Ｆ（すなわち、厚さ方向の切り込みの深さ。以下同じ。）と２段目のカットの切り込み量Ｓは、本実施形態においては、フィードバック制御によって逐次補正するようになっている。
【００４１】
１個の被切削物Ｗに対して、カットラインと段をどのような順番でカットするかについては、種々の方法を採用できる。例えば、１つのカットラインの１段目と２段目（およびあれば３段目）を連続でカットした上で、次のカットラインの１段目と２段目（およびあれば３段目）を連続でカットする手順を繰り返す方法（以下、ライン毎カット手順という）を採用して、第１チャンネルおよび第２チャンネルをカットしてもよい。
【００４２】
あるいは、第１チャンネルのすべてのカットラインについてまず１段目のみをカットし、次に第１チャンネルのすべてのカットラインについて２段目のみをカットし、次に３段目があれば第１チャンネルのすべてのカットラインについて３段目のみをカットし、第１チャンネルのすべてのカットラインのすべての段のカットが終わった後、第２チャンネルのすべてのカットラインについてまず１段目のみをカットし、次に第２チャンネルのすべてのカットラインについて２段目のみをカットし、次に３段目があれば第２チャンネルのすべてのカットラインについて３段目のみをカットするという方法（以下、チャンネル毎カット手順という）を採用してもよい。また、上記では第１のチャンネルをカットした後に第２のチャンネルをカットする手順を説明したが、第２のチャンネルをカットした後に第１のチャンネルをカットする方法を採用してもよい。
【００４３】
以下では、ライン毎カット手順を例に挙げて説明する。図６に、制御装置２３がプログラムを実行することで実現するカット処理のフローチャートを示す。このカット処理では、各段の切り込み量をフィードバック制御で補正することで、１段目のカット時のブレードへの加工負荷と、２段目のカット時のブレードへの加工負荷とを均一に近づける。
【００４４】
具体的には、切込み量の補正は、１カットラインの各段をカットする毎に切り込み量の補正を実施し、次のカットラインのカット時に補正後の切り込み量を適用するＬモードと、１チャンネル分の全カットラインの全段をカットした後に切り込み量の補正を実施し、次のチャンネルのカット時に補正後の切り込み量を適用するｃｈモードとを、ユーザが任意に選択し設定できる。この切込量補正モード（Ｌモード、ｃｈモード）の選択は、切削装置１に設けられた操作部（図示せず）をユーザが操作することで入力し、制御装置２３は、その入力結果を記憶媒体に保持する。
【００４５】
なお、制御装置２３は、カットラインを２段階でカットするときの１段目、２段目の切り込み量Ｆ、Ｓ、および、カットラインを３段階でカットするときの１段目、２段目、３段目の切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｒの値を、記憶媒体に記憶するようになっている。
【００４６】
これら切り込み量Ｆ、Ｓ、Ｐ、Ｑ、Ｒの初期値（切削装置１の最初の使用開始時または切り込み量リセット時の値）は、どのようになっていてもよいが、例えば、板材Ｗ１の厚さｈおよびテープＷ２の切り込み量Ｔをあらかじめ決めておき、切り込み量Ｆ、Ｓの初期値をいずれも（ｈ＋Ｔ）／２とし（図７参照）、切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｒの初期値をそれぞれｈ／２、ｈ／２、Ｔとしてもよい（図８参照）。
【００４７】
以下、図６の処理に従って、切削装置１の作動について説明する。まず制御装置２３は、ステップ１０５で、切込量補正モードの設定がＬモードであるかｃｈモードであるかを判定し、Ｌモードであると判定した場合、ステップ１１０に進む。
【００４８】
ステップ１１０では、被切削物Ｗの１ライン目（１番目のカットライン）のカットの処理を実行する。具体的には、電力供給回路２１を制御することで電力供給回路２１からブレード駆動部１４のエアスピンドルモータに電力を供給させ、それによりブレード１５を回転させる。そして、アクチュエータ群２４のテーブル駆動機構、チャック回転機構、ブレード位置調整機構等を制御して、１段目から順に各段のカットを行う。１ライン目のカットの段数は、あらかじめ２段に決められていても３段に決められていてもよい。
【００４９】
各段のカット時において、テーブル駆動機構、チャック回転機構、ブレード位置調整機構をどのように制御してブレード１５の位置を制御するかについては、周知であるので詳細な説明は省略する。
【００５０】
簡単に説明すれば、あるカットラインをカットするために、チャック回転機構およびブレード位置調整機構を制御することでブレード１５の位置を当該カットラインに合わせ、当該カットラインの各段のカット時において、現在の段目の切り込み量として、記憶媒体に記録されている当該段の切り込み量（２段ならＦおよびＳ、３段ならＰ、ＱおよびＲ）が実現するよう、ブレード位置調整機構を制御してブレード１５の高さ（Ｚ方向の位置）を調整し、その高さを保持したまま、テーブル駆動機構を制御して現在のカットラインに沿って、被切削物ＷをＸ方向に送る。なお、チャネルの切り替えが必要な時には、チャック回転機構を制御して、切り込み対象のカットラインがＸ方向に平行になるよう、チャックテーブル１３を回転させる。なお、本実施形態では、カット時は、被切削物Ｗ、チャネル、ライン、段目によらず、被切削物ＷのＸ方向への送り速度およびブレード１５の回転数は一定とする。
【００５１】
なお、各段のカット時には、電流値検出回路２２から検出電流値が常時出力されているが、制御装置２３は、この検出電流値の推移を時系列に沿って（例えば所定のサンプリングレートで）記憶媒体に記録する。
【００５２】
図９に、２段階でカットした場合の１カットライン分の検出電流値３１の推移を例示する。図中、縦方向が電流値を示し、横方向が時間を表す。この図では、時刻ｔ１からｔ２までが１段目のカットの際の検出電流値であり、時刻ｔ２からｔ３までが２段目のカットの際の検出電流値である。
【００５３】
なお、２段目のカットの検出電流値は、一度、値Ｃ２だけ上昇し、更にその後Ｅ２まで上昇し、更にその後Ｃ２まで減少し、その後最低値（ブレード１５の空転時の検出電流値）に減少するようになっている。電流値がＣ２となっている時間帯は、ブレード１５がテープＷ２のみをカットしている時間帯である。図２、図３に示したように、テープＷ２は、板材Ｗ１よりも広い範囲に配置されているので、１カットラインで見ると、カットの開始時付近および終了時付近には、余剰カット部にてテープＷ２のみがカットされる時間帯が存在する。
【００５４】
図１０に、３段階でカットした場合の１カットライン分の検出電流値３２の推移を例示する。図中、縦方向が電流値を示し、横方向が時間を表す。この図では、時刻ｔ４からｔ５までが１段目のカットの際の検出電流値であり、時刻ｔ５からｔ６までが２段目のカットの際の検出電流値であり、時刻ｔ６からｔ７までが３段目のカットの際の検出電流値である。
【００５５】
１ライン目のカットが終了すると、続いてステップ１１５に進み、ステップ１１０で記録した検出電流値の推移に基づいて、当該１ライン目の各段のカット時における代表電流値を特定する。より具体的には、２段階でカットした場合、１段目の代表電流値Ｄ２、２段目の代表電流値Ｅ２を特定し、３段階でカットした場合、１段目の代表電流値Ｄ３、２段目の代表電流値Ｅ３、３段目の代表電流値Ｃ３を検出する。
【００５６】
例えば、各段目のカット時の検出電流値の最大値を当該段目の代表電流値としてもよい。なお、ステップ１１０で２段階でカットしている場合は、２段目のカット時においてテープＷ２のみがカットされる時間帯における代表電流値Ｃ２（例えば最大値）を特定する。制御装置２３は、２段階の２段目のカット時において、テープＷ２のみがカットされる時間帯と、板材Ｗ１も含めてカットされる時間帯とを、以下のようにして区別することができる。
【００５７】
図９に示すように、板材Ｗ１も含めてカットされる時間帯αの前後に、テープＷ２のみがカットされる時間帯β１、β２があるが、時間帯β１の前後は検出電流値が急上昇し、時間帯β２の前後は検出電流値が急降下する。そこで、２段目カット時において、最初に検出電流値の時間微分の絶対値が第１所定基準値より大きくなり、その後第２所定基準値（第１所定基準値より小さい）より小さくなったことに基づいて、時間帯β１が始まったと判定し、次にに検出電流値の時間微分の絶対値が第１所定基準値より大きくなり、その後第２所定基準値より小さくなったことに基づいて、時間帯β１が終了したと判定する。そして、３番目に検出電流値の時間微分の絶対値が第１所定基準値より大きくなり、その後第２所定基準値より小さくなったことに基づいて、時間帯β２が始まったと判定し、次にに検出電流値の時間微分の絶対値が第１所定基準値より大きくなり、その後第２所定基準値より小さくなったことに基づいて、時間帯β２が終了したと判定する。
【００５８】
なお、時間帯β１のみを対象として代表電流値Ｃ２を算出してもよいし、時間帯β２のみを対象として代表電流値Ｃ２を算出してもよいし、時間帯β１、β２の両方を対象として代表電流値Ｃ２を算出してもよい。
【００５９】
続いてステップ１２０では、ステップ１１５で特定した１段目の代表電流値（Ｄ２またはＤ３）と２段目の代表電流値（Ｅ２またはＥ３）との差の絶対値Ｇ（｜Ｄ２―Ｅ２｜または｜Ｄ３―Ｅ３｜）が、所定の基準値（本例では具体的には０．１アンペア）以上であるか否かを判定し、値Ｇが当該基準値以上であれば、切り込み量（Ｆ、ＳまたはＰ、Ｑ）の補正のためにステップ１２５に進む。値Ｇが当該基準値以上でなければ、各段の負荷均一化が図れているとみなし、切り込み量の補正は行わず、次のラインカットに移行するため、ステップ１８０に進む。
【００６０】
一般に、カット時のブレード１５への加工負荷が大きくなると、ブレード１５を回転させるエアスピンドルモータへ供給する電流値も大きくなる。したがって、代表電流値Ｄ、Ｅは、カット時のブレード１５への加工負荷相当値である。したがって、代表電流値Ｄ、Ｅの乖離量を表す値Ｇが大きい程、１段目と２段目の加工負荷のアンバランス度合いが大きいことになる。本実施形態では、このことを利用して、値Ｇが基準値と同じかまたは基準値より大きいときには切り込み量を補正し、値Ｇが基準値より小さいときには切り込み量を補正しない。
【００６１】
ステップ１８０では、次のカットラインのカット処理を実行する。具体的には、ステップ１１０と同様にブレード１５を回転させ、アクチュエータ群２４を制御して、当該カットラインの１段目から順に各段のカットを行う。カットの段数は、変更の処理がない限り、前回のカットラインのカット時と同じにするが、変更があった場合は、その変更結果に従う。また、ステップ１１０と同様、各段のカット時には、電流値検出回路２２からの検出電流値の推移を時系列に沿って記憶媒体に記録する。
【００６２】
ステップ１８０で当該カットラインのカットが終了すると、続いてステップ１１５に戻り、直前のステップ１８０で記録した検出電流値の推移に基づいて、既に説明した通りの方法で、当該カットラインの各段のカット時における代表電流値（Ｄ２、Ｅ２またはＤ３、Ｅ３、Ｃ３。加工負荷相当値に相当する）を特定する。また、直前のステップ１８０で２段階でカットしている場合は、テープＷ２のみがカットされる時間帯における代表電流値Ｃ２（例えば最大値）を特定する。
【００６３】
このように、値Ｇが基準値を超えない間は、切り込み量が補正されずにステップ１１５、１２０、１８０の処理が繰り返され、繰り返しの回数分だけカットラインに沿って被切削物Ｗがカットされていく。
【００６４】
ステップ１２０で値Ｇが基準値以上であると判定された場合に実行されるステップ１２５では、テープ切込負荷除外補正モードの設定が、オンであるか、オフであるか、オートであるか、を特定する。テープ切込負荷除外補正モードは、カットの段数を追加（例えば３段に）して、３段目（追加段）でテープＷ２のみを切ることで、２段目のカットにおいてテープＷ２の切り込みによる負荷を除外するモードであり、ユーザがオン、オフ、オートを任意に選択し設定できる。このテープ切込負荷除外補正モードの選択は、切削装置１に設けられた操作部（図示せず）をユーザが操作することで入力し、制御装置２３は、その入力結果を記憶媒体に保持する。
【００６５】
まず、テープ切込負荷除外補正モードがオフに設定されている場合について説明する。この場合、ステップ１３０に進み、カットの段数を２に設定する。続いてステップ１３５では、第１切り込み補正判定を行う。具体的には、直前のステップ１１５で特定した１段目カット時の代表電流値（Ｄ２またはＤ３。図６中ではＤと記載する。）と２段目カット時の代表電流値（Ｅ２またはＥ３。図６中ではＥと記載する。）とを比較し、１段目の代表電流値が２段目の代表電流値以上の場合、ステップ１４０に進み、１段目の代表電流値が２段目の代表電流値より小さい場合、ステップ１４５に進む。
【００６６】
ステップ１４０では、現在の１段目の切り込み量Ｆから正の所定量Ｘ（図７参照）を減算した結果を新たな１段目の切り込み量Ｆとして記憶媒体に記録し、また、現在の２段目の切り込み量Ｓに当該所定量Ｘを加算した結果を新たな２段目の切り込み量Ｓとして記憶媒体に記録する。つまり、１段目の切り込み量Ｆを減少させ、その減少分だけ、２段目の切り込み量Ｓを増大させることで、全体の切り込み量Ｆ＋Ｓ＝ｈ＋Ｔは変化させず、１段目と２段目の加工負荷を均一化に近づける。なお、所定量Ｘは、板材Ｗ１の板厚ｈの５％〜２０％の範囲内（例えば１０％）としてもよい。
【００６７】
ステップ１４５では、現在の１段目の切り込み量Ｆに上記正の所定量Ｘ（図７参照）を加算した結果を新たな１段目の切り込み量Ｆとして記憶媒体に記録し、また、現在の２段目の切り込み量Ｓから当該所定量Ｘを減算した結果を新たな２段目の切り込み量Ｓとして記憶媒体に記録する。つまり、１段目の切り込み量Ｆを増大させ、その増大分だけ、２段目の切り込み量Ｓを減少させることで、全体の切り込み量Ｆ＋Ｓ＝ｈ＋Ｔは変化させず、１段目と２段目の加工負荷を均一化に近づける。ステップ１４０、１４５に続いては、ステップ１８０に進む。
【００６８】
これにより、ステップ１８０では、前回も今回もカット段数が２段の場合、補正後の切り込み量Ｆ、Ｓで１段目、２段目の切り込みを行うので、図１１に示すように、あるカットライン（Ｎライン目）についての１段目（時刻ｔ１〜ｔ２）と２段目（時刻ｔ２〜ｔ３）の代表電流値の差Ｇ１よりも、補正実施後の次のカットライン（Ｎ+１ライン目）についての１段目（時刻ｔ４〜ｔ５）と２段目（時刻ｔ５〜ｔ６）の代表電流値の差Ｇ２の方が、小さくなる。また、前回も今回もカット段数が３段の場合、補正後の切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｔで１段目、２段目、３段目の切り込みを行うので、図１２に示すように、あるカットライン（Ｎライン目）についての１段目と２段目の代表電流値の差Ｇ３よりも、補正実施後の次のカットライン（Ｎ+１ライン目）についての１段目と２段目の代表電流値の差Ｇ４の方が、小さくなる。このような補正をカットライン毎に繰り返すことで、１段目と２段目の加工負荷のアンバランスが問題にならない程度まで低減される。
【００６９】
なお、カットの段数が３段から２段に変化した直後のステップ１４０、１４５では、１段目、２段目の切り込み量Ｆ、Ｓとして、初期値を採用し、この初期値を、現在の切り込み量Ｆ、Ｓとして記憶媒体に記憶するようになっていてもよい。あるいは、テープ切込負荷除外補正モードがオフの場合は、ステップ１１０でも２段でカットするようになっていれば、ユーザがテープ切込負荷除外補正モードを切り替える操作を行わない限り、カットの段数の切り替わりは発生しない。
【００７０】
次に、テープ切込負荷除外補正モードがオンに設定されている場合について説明する。２段階でカットする場合、テープＷ２への切り込み量Ｔが大きいこと、テープＷ２の材質が比較的硬いこと等の影響で、テープＷ２の加工負荷（図９の値Ｃに相当する）が占める割合が大きくなった場合、１段目の加工負荷（値Ｄ２に相当する）と２段目の加工負荷（値Ｅ２に相当する）を均一にしようとすると、板材Ｗ１のカット分割比（Ｆ：Ｓ−Ｔ）がアンバランスになってしまう（１より大きく乖離する）ので、そのようなことを防止するため、テープ切込み負荷除外補正によって、テープＷ２のみカットする追加段を有するカットを実施する。
【００７１】
具体的には、テープ切込負荷除外補正モードがオンに設定されている場合、ステップ１２５からステップ１５０に進み、カットの段数を３に設定する。続いてステップ１５５では、第２切り込み補正判定を行う。
【００７２】
具体的には、前回のカットの段数が３段であった場合、直前のステップ１１５で特定した１段目カット時の代表電流値Ｄ３と２段目カット時の代表電流値Ｅ３とを比較し、１段目の代表電流値Ｄ３が２段目の代表電流値Ｅ３より小さい場合、ステップ１６５に進み、代表電流値Ｄが代表電流値Ｅより大きい場合、ステップ１６５に進む。
【００７３】
また、前回のカットの段数が２段であった場合、直前のステップ１１５で特定した２段目カット時の代表電流値Ｅ２から、２段目におけるテープＷ２のみカット時の代表電流値Ｃ２を減算した値Ｅ２−Ｃ２を算出する。そして、１段目カット時の代表電流値Ｄ２と、上記減算値Ｅ２−Ｃ２とを比較し、前者Ｄ２が後者Ｅ２−Ｃ２より小さい場合、ステップ１６５に進み、前者Ｄ２が後者Ｅ２−Ｃ２より大きい場合、ステップ１６０に進む。
【００７４】
ステップ１６０では、前回のカットの段数が３段であった場合、現在の１段目の切り込み量Ｐから上記正の所定量Ｘ（図８参照）を減算した結果を新たな１段目の切り込み量Ｐとして記憶媒体に記録し、また、現在の２段目の切り込み量Ｑに当該所定量Ｘを加算した結果を新たな２段目の切り込み量Ｑとして記憶媒体に記録する。つまり、１段目の切り込み量Ｐを減少させ、その減少分だけ、２段目の切り込み量Ｑを増大させることで、１段目と２段目の切り込み量の和Ｐ＋Ｑ＝ｈは変化させず、１段目と２段目の加工負荷を均一化に近づける。なお、３段目の切り込み量Ｒはあらかじめ定められた固定値Ｔとする。また、ステップ１６０で前回のカットの段数が２段であった場合も、２段階カット用の１段目の切り込み量Ｆを３段階カット用の１段目の切り込み量Ｐに代入し、２段階カット用の２段目の切り込み量Ｓから上記固定値Ｔ（テープＷ２の切り込み量）を減算した値を３段階カット用の２段目の切り込み量Ｑに代入した後、上記の処理を行う。
【００７５】
ステップ１６５では、現在の１段目の切り込み量Ｐに上記正の所定量Ｘ（図８参照）
を加算した結果を新たな１段目の切り込み量Ｐとして記憶媒体に記録し、また、現在の２段目の切り込み量Ｑから当該所定量Ｘを減算した結果を新たな２段目の切り込み量Ｑとして記憶媒体に記録する。つまり、１段目の切り込み量Ｐを増加させ、その増加分だけ、２段目の切り込み量Ｑを減少させることで、１段目と２段目の切り込み量の和Ｐ＋Ｑ＝ｈは変化させず、１段目と２段目の加工負荷を均一化に近づける。なお、３段目の切り込み量Ｒはあらかじめ定められた固定値Ｔとする。なお、ステップ１６５で前回のカットの段数が２段であった場合も、２段階カット用の１段目の切り込み量Ｆを３段階カット用の１段目の切り込み量Ｐに代入し、２段階カット用の２段目の切り込み量Ｓから上記固定値Ｔ（テープＷ２の切り込み量）を減算した値を３段階カット用の２段目の切り込み量Ｑに代入した後、上記の処理を行う。
【００７６】
これにより、ステップ１８０では、補正後の切り込み量Ｐ、Ｑ、Ｒ（＝Ｔ）で１段目、２段目、３段目の切り込みを行うので、あるカットラインについての１段目と２段目の代表電流値の差Ｇ１よりも、次のカットラインについての１段目と２段目の代表電流値の差Ｇ２の方が、小さくなる。このような補正をカットライン毎に繰り返すことで、１段目と２段目の加工負荷のアンバランスが問題にならない程度まで低減される。また同様に、２段目の加工負荷からテープＷ２の加工負荷が除外されるので、１段目と２段目の加工負荷を均一化しても、１段目と２段目の切り込み量がアンバランスになり過ぎるということはない。
【００７７】
また、２段目の加工負荷からテープＷ２の加工負荷を除外することで、全体の加工負荷からテープ切込み分の負荷が除外されたことにより、１段目および２段目の加工負荷を共に低くすることができる。これにより、ブレード加工負荷限界まで余裕ができるので、その分１段目および２段目のカット時の送り速度を上げることができる。また、３段目のカット時（テープＷ２のみカット時）は、加工品質に影響を及ぼすことが少ないため、ここだけより送り速度を早くすることで、カット段数が増えたことによる時間的デメリットを最小限に止められる。このように、テープＷ２のみカットする３段目を設けることで、切削条件設定にゆとりができる上、加工速度を上げることもできる。
【００７８】
なお、カットの段数が２段から３段に変化した直後のステップ１４０、１４５では、１段目、２段目の切り込み量Ｐ、Ｑとして、初期値を採用し、この初期値を、現在の切り込み量Ｐ、Ｑとして記憶媒体に記憶するようになっていてもよい。あるいは、テープ切込負荷除外補正モードがオフの場合は、ステップ１１０でも３段でカットするようになっていれば、ユーザがテープ切込負荷除外補正モードを切り替える操作を行わない限り、カットの段数の切り替わりは発生しない。
【００７９】
次に、テープ切込負荷除外補正モードがオートに設定されている場合について説明する。テープ切込負荷除外補正モードがオートの場合は、ステップ１２５からステップ１７０に進み、ステップ１７０では、直前のステップ１１５で検出した値Ｃ（テープＷ２のカット時の加工負荷相当値）が所定の閾値を超えているか否かを判定する。この所定の閾値は、あらかじめ定められた固定値であってもよいし、前回の２段目のカット時の代表電流値Ｅに所定の係数（例えば０．５）を乗算した値であってもよい。
【００８０】
超えていれば、テープＷ２のカット時の加工負荷が高いとみなして、テープ切込負荷除外補正モードがオンの場合と同じ処理を行うため、ステップ１５０に進む。超えていなければ、テープＷ２のカット時の加工負荷が高くないとみなして、テープ切込負荷除外補正モードがオフの場合と同じ処理を行うため、ステップ１３０に進む。このようにすることで、テープＷ２のカット時の加工負荷に応じて、自動的にカットの段数を調整することができる。
【００８１】
ここで、ステップ１０５でｃｈモードであると判定した場合について説明する。この場合も、Ｌモードの場合のステップ１１０〜１８０と同様の作動を行う。ただし、ステップ１１０、１８０では、１カットラインのみならず、１チャンネル分のカットラインすべてをカットする点が異なる。
【００８２】
以上説明した通り、切削装置１は、複数段（２段）の各段のカット時に電流値検出回路２２が検出した電流値に基づいて、当該複数段の各段のカット時におけるブレード１５への加工負荷相当値を特定し、特定した当該各段の加工負荷相当値間の乖離量Ｇに基づいて、各段のカット時における刃具１５への加工負荷を均一に近づけるよう、各段（１段目、２段目）の切り込み量を補正する。
【００８３】
このように、各段のカット時に検出された電流値または電力値という、ブレード１５への加工負荷を反映する量に基づいて、各段の切り込み量を補正することで、各段カット時の加工負荷を従来よりも均一に近づけることができる。
【００８４】
また、当該複数段（２段）に加え、追加段（３段目）のカット（板材Ｗ１をカット時に保持するためのテープＷ２をカットすると共に板材Ｗ１をカットしないようなカット）を実行する。
【００８５】
一般に、板材Ｗ１のカット時には、板材Ｗ１を保持する基材Ｗ２の一部もカットすることになるが、基材Ｗ２への切り込み量が大きいこと、基材Ｗ２の材質が比較的硬いこと等の影響で、基材Ｗ２の加工負荷が占める割合が大きくなり、各段の加工負荷を均一にしようとすると、最終段の切り込み量が非常に小さくなってしまう可能性がある。しかし、上記のように、基材Ｗ２をカットすると共に板材Ｗ１をカットしない段を実行することで、この段以外の複数段の加工負荷の均一化においても、切り込み量が非常にアンバランスになってしまう可能性を低減できる。
【００８６】
また、テープＷ２のみをカットしたときに電流値検出回路２２が検出した電流値に基づいて、テープＷ２のみのカット時におけるブレード１５への加工負荷相当値を特定し、特定した加工負荷相当値が閾値より大きいことに基づいて、追加段を実行し、特定した加工負荷相当値が閾値より小さいことに基づいて、追加段のカットを実行せず、複数段の最後の段（２段目）で板材Ｗ１およびテープＷ２をカットする。このようにすることで、基材（Ｗ２）のカット時の加工負荷に応じて、追加段の実行、非実行を調整することができる。
【００８７】
なお、上記実施形態において、制御装置２３が、ステップ１１５を実行することで補正検出手段２３ａの一例として機能し、ステップ１２５〜１８０を実行することで補正制御手段２３ｂの一例として機能する。また、このような板材Ｗ１のカットの工程は、カットされた板材Ｗ１からできる複数の部品（例えば集積回路等の半導体部品）の製造工程に含まれる。
【００８８】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の範囲は、上記実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の各発明特定事項の機能を実現し得る種々の形態を包含するものである。例えば、以下のような形態も許容される。
【００８９】
（１）上記実施形態においては、図６のステップ１１５において、各段における代表電流値Ｄ、Ｅとして、ブレード１５への加工負荷相当値として、各段目のカット時の検出電流値の最大値を採用している。
【００９０】
実際のカットにおいては、ブレード１５の劣化等の要因により、図１３に示すように、１ラインの各段のカット中の切り始め（ｔａ、ｔｃ）から切り終わり（ｔｂ、ｔｄ）までに、それぞれ電流検出値がＨ１、Ｈ２だけ増加したり、逆に、図１４、図１５に示すように、カット中にブレードの自生発刃４１〜４３等によりブレードの切削力が回復し、途中から電流値が減少することがある。この場合、代表電流値は、上記実施形態のように、それぞれの変動範囲内での最大値としてもよいが、各変動範囲Ｈ１、Ｈ２内の平均値を採用してもよい。どちらを採用するかは、あらかじめユーザが切削装置１の操作部を用いて選択できるようになっていてもよい。
【００９１】
最大値を採用するメリットとしては、カット対象のカットラインの最大加工負荷を基にしたフィードバック制御となるため、過負荷によるブレード１５破損のリスクを低減できるというものがある。一方、平均値を採用するメリットとしては、変動範囲Ｈ１、Ｈ２の内でのバラツキを平均して補正するため、補正精度が向上し、少ないフィードバック回数で加工負荷を十分均一化することができるというものがある。
【００９２】
この変動範囲Ｈ１、Ｈ２のバラツキは、被切削物Ｗの材質、ブレードの種類、カット条件により異なる。したがって、ユーザが任意に最大値採用と平均値採用とを選択設定できることで、補正精度重視、ブレード破損リスク回避、ブレード長寿命化など、目的に適した補正制御が可能となる。また予め設定した条件をカット結果によりユーザが最大値採用と平均値採用との間で途中切り替えできることで、更に最適補正が可能となる。
【００９３】
（２）また、上記実施形態では、ステップ１１５で特定する各段の加工負荷相当値として、各段のカット時における検出電流値の代表値（代表電流値）を採用しているが、各段の加工負荷相当値としては、検出電流値の代表値ではなく、電流値検出回路２２からエアスピンドルモータに印加される検出電圧値の代表値でもよいし、電流値検出回路２２からエアスピンドルモータに供給される検出電力値の代表値でもよい。つまり、ステップ１１５で特定する各段の加工負荷相当値は、電流値検出回路２２からエアスピンドルモータへの電力供給に関する電気的量であればよい。
【００９４】
（３）また、ブレード１５を回転させるモータは、エアスピンドルモータに限らず、どのようなモータでもよい。
【００９５】
（４）また、上記実施形態では、制御装置２３が各段の加工負荷相当値に基づいて自動で切り込み量をフィードバック補正するようになっているが、このようなフィードバックの手順に人の判断が介在していてもよい。例えば、制御装置２３（あるいはデータロガー）が各段の加工時の検出電流値をユーザに表示し、ユーザは、この表示された検出電流値に基づいて各段の切り込み量の補正量を決定し、その決定したユーザ補正量を制御装置２３に入力することで、制御装置２３が当該補正量を実現するようになっていてもよい。
【００９６】
（５）上記実施形態では、切り込み量の補正に用いる所定量Ｘは固定値となっているが、所定量Ｘは可変でもよい。例えば、時間の経過と共に徐々に大きくしていってもよい。これは、ブレード１５の摩耗が進むにつれ、加工負荷が高くなるからである。また例えば、値Ｇが小さくなるほど所定量Ｘが小さくなるようになっていてもよい。
【００９７】
（６）上記実施形態においては、カットの段数が２段の場合は、２段目のカット時の検出電流値から、テープＷ２のみのカット時の代表電流値Ｃを特定するようになっている。この代表電流値Ｃは、１カットライン中の被切削物Ｗの両サイドの余剰カット部でテープのみをカットしているタイミングにおける負荷を用いて特定するが、余剰カット長が短いなどの理由により、テープＷ２のカット時における検出電流値が板材Ｗ１のカット時の検出電流値に埋もれてしまい明確な差が検出できない場合は、予めウエハ貼付け部外周のテープのみの部分をカットしその検出値をＣ値としてもよい。
【００９８】
（７）また、上記実施形態では、１個の被切削物Ｗの或る（１つまたは複数の）カットラインにおける各段の加工負荷相当値に基づいて、各段の切り込み量を補正し、補正後の切り込み量を同じ被切削物Ｗの他のカットラインのカットに反映している。
【００９９】
（８）しかし、同種の製品を大量製造する場合には、必ずしもこのようになっておらずともよく、例えば、１個の被切削物Ｗの或る（１つまたは複数の）カットラインにおける各段の加工負荷相当値に基づいて、各段の切り込み量を補正し、補正後の切り込み量を同種の他の被切削物Ｗのカットラインのカットに反映するようになっていてもよい。同種の被切削物Ｗの場合、厚さ方向の構造はほぼ同じであるので、ある被切削物Ｗのカットに他の被切削物Ｗのカット結果を用いた補正量を適用しても、各段の加工負荷を均一に近づけることができる。
【０１００】
（９）被切削物Ｗがウエハ等である場合、上記実施形態のステップ１２０で、値Ｇが基準値より小さいと一旦判定した後に、パス間の負荷の不均衡が再発生するのは、ほとんどの場合偶々（何らかの突発的な異常）であると考えられる。特に、各段のカット時の代表電流値を、当該段のカット時に検出した最大電流値とした場合、瞬間、突発的なノイジーな値が、代表電流値として検出されやすい。そこで、ステップ１２０で値Ｇが基準値より小さいと一旦判定した後は、ステップ１２０で値Ｇが基準値以上であると２回連続で判定した場合に限り、ステップ１２５に進み、それ以外の場合は、ステップ１８０に進むようになっていてもよい。
【０１０１】
（１０）また、上記実施形態では、板材Ｗ１を複数段でカットする際の各段（１段目、２段目）のカットにおいて、各段のカット時の加工負荷相当値に基づいて、各段の切り込み量を補正するようになっているが、各段の切り込み量に代えて、各段の送り速度（板材Ｗ１のブレード１５に対するカットラインに沿った相対的な送り速度）を補正するようになっていてもよい。具体的には、上記実施形態の「切り込み量」を、「板材Ｗ１のブレード１５に対するカットラインに沿った相対的な送り速度」に置き換えた作動を行えばよい。この際、加工負荷の高い段の負荷を軽減するために送り速度を低減し、加工負荷の低い段の送り速度を増加させることで、全体の加工時間を一定に保つことができる。なお、この場合、正の所定量Ｘは、負の補正量Ｙに置き換える。この負の補正量Ｙは、例えば、現在の送り速度の正負を反転し、反転した値に０．１を乗算した値とするようになっていてもよい。またこの場合、各段の切り込み量は補正せず一定とするようにしてもよい。
【０１０２】
このように、板材Ｗ１のブレード１５に対するカットラインに沿った相対的な送り速度を制御して各段のカット時の加工負荷を均一に近づけることも可能であるが、これに対し、各段の切り込み量を制御して各段のカット時の加工負荷を均一に近づける方法は、カットにかかる時間の変動が少なくなる（加工時間の安定性）という点で有利である。
【０１０３】
（１１）また、上記実施形態では、各段のカット時に電流値検出回路２２によって検出された検出電流値に基づいて、各段の加工負荷相当値を特定するようになっているが、電流値検出回路２２を、電力値検出回路（電力供給回路２１からエアスピンドルモータに供給される電力値を検出し、検出結果の検出電力値を制御装置２３に出力する回路）に置き換え、制御装置２３は、この検出電流値に基づいて、各段の加工負荷相当値を特定するようになっていてもよい。この際、制御装置２３は、上記実施形態において、「電流」を「電力」に置き換えた作動を行えばよい。
【０１０４】
（１２）また、制御装置２３が自動的に切り込み量を補正する場合においても、電流値検出回路２２が出力する検出電流値をユーザに表示するようになっていてもよい。
【０１０５】
（１３）上記実施形態では、板材Ｗ１に関しては常に１カットラインを２段階でカットするようになっているが、板材Ｗ１を３段階以上でカットするようになっていてもよい。その場合は、当該３段階以上の各段階で加工負荷が均一化するよう、各段階の加工負荷相当値に基づいて当該段階の切り込み量を補正するようになっていてもよい。
【０１０６】
（１４）上記実施形態では、３段階でカットを実施する場合、２段目の切り込みＱ（図８参照）の深さ方向テープＷ２側の端部位置は、板材Ｗ１とテープＷ２の境界となる場合もあるが、必ずしも板材Ｗ１とテープＷ２の境界とならなくともよい。具体的には、上記端部位置は、テープＷ２内に少し切り込んだ位置としてもよい。これは、２段目の切り込みＱの上記端部位置を境界付近にすると、板材Ｗ１がぎりぎり切り離されるかどうかの瀬戸際のカットとなり、チッピングなどの裏面側の加工品質悪化要因となるためである。
【０１０７】
このようにした場合、２段階の２段目でテープＷ２のみをカットする場合と、３段階の３段目でテープＷ２のみをカットする場合を比べると、前者ではテープＷ２の上端からカットするのに対し、後者では、前者ではテープＷ２の上端が一部カットされている点が異なる。
【０１０８】
（１５）また、上記実施形態のテープＷ２は、シートに置き換えてもよい。つまり、テープＷ２は、板材Ｗ１を保持するために粘着剤が付着したシート状の基材であれば、どのようなものでもよい。
【０１０９】
（１６）また、上記の実施形態において、制御装置２３がプログラムを実行することで実現している各機能は、それらの機能を有するハードウェア（例えば回路構成をプログラムすることが可能なＦＰＧＡ）を用いて実現するようになっていてもよい。
【符号の説明】
【０１１０】
１ 切削装置
１１ ベース
１２ 可動ステージ
１３ チャックテーブル
１４ ブレード駆動部
１５ ブレード
１６ テープ保持フレーム
２１ 電力供給回路
２２ 電流値検出回路
２３ 制御装置
２３ａ 補正検出手段
２３ｂ 補正制御手段
２４ アクチュエータ群
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削装置であって、
前記刃具（１５）を回転させるモータに供給される電流値または電力値を検出する検出回路（２２）と、
前記刃具（１５）による前記複数段の各段の厚さ方向の切り込みの深さである切り込み量を制御する制御装置（２３）と、を備え、
前記制御装置（２３）は、前記複数段の各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した前記各段の加工負荷相当値間の乖離量（Ｇ）に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の切り込み量を補正することを特徴とする切削装置。
【請求項２】
前記制御装置（２３）は、前記複数段に加え、前記板材（Ｗ１）をカット時に保持するための基材（Ｗ２）をカットすると共に板材（Ｗ１）をカットしない追加段のカットを実行することを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
前記制御装置（２３）は、前記基材（Ｗ２）のみをカットしたときに前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記基材（Ｗ２）のみのカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した加工負荷相当値が閾値より大きいことに基づいて、前記追加段のカットを実行し、特定した加工負荷相当値が閾値より小さいことに基づいて、前記追加段のカットを実行せず、前記複数段の最後の段で前記板材（Ｗ１）および前記基材（Ｗ２）をカットすることを特徴とする請求項２に記載の切削装置。
【請求項４】
前記制御装置（２３）は、前記各段の加工負荷相当値として、前記各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値の最大値を採用することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の切削装置。
【請求項５】
前記制御装置（２３）は、前記各段の加工負荷相当値として、前記各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値の平均値を採用することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の切削装置。
【請求項６】
回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削方法であって、
前記複数段の各段のカット時に前記刃具（１５）を回転させるモータに供給された電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の切り込み量を補正することを特徴とする切削方法。
【請求項７】
板材（Ｗ１）から部品を製造する製造方法であって、
請求項６に記載の切削方法によって前記板材をカットする行程を含むことを特徴とする製造方法。
【請求項８】
回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削装置であって、
前記刃具（１５）を回転させるモータに供給される電流値または電力値を検出する検出回路（２２）と、
前記刃具（１５）による前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）に対する前記板材（Ｗ１）の相対的な送り速度を制御する制御装置（２３）と、を備え、
前記制御装置（２３）は、前記複数段の各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した前記各段の加工負荷相当値間の乖離量（Ｇ）に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の送り速度を補正することを特徴とする切削装置。
【請求項９】
回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削方法であって、
前記複数段の各段のカット時に前記刃具（１５）を回転させるモータに供給された電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の送り速度を補正することを特徴とする切削方法。
【請求項１０】
板材（Ｗ１）から部品を製造する製造方法であって、
請求項９に記載の切削方法によって前記板材をカットする行程を含むことを特徴とする製造方法。
【請求項１】
回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削装置であって、
前記刃具（１５）を回転させるモータに供給される電流値または電力値を検出する検出回路（２２）と、
前記刃具（１５）による前記複数段の各段の厚さ方向の切り込みの深さである切り込み量を制御する制御装置（２３）と、を備え、
前記制御装置（２３）は、前記複数段の各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した前記各段の加工負荷相当値間の乖離量（Ｇ）に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の切り込み量を補正することを特徴とする切削装置。
【請求項２】
前記制御装置（２３）は、前記複数段に加え、前記板材（Ｗ１）をカット時に保持するための基材（Ｗ２）をカットすると共に板材（Ｗ１）をカットしない追加段のカットを実行することを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
前記制御装置（２３）は、前記基材（Ｗ２）のみをカットしたときに前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記基材（Ｗ２）のみのカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した加工負荷相当値が閾値より大きいことに基づいて、前記追加段のカットを実行し、特定した加工負荷相当値が閾値より小さいことに基づいて、前記追加段のカットを実行せず、前記複数段の最後の段で前記板材（Ｗ１）および前記基材（Ｗ２）をカットすることを特徴とする請求項２に記載の切削装置。
【請求項４】
前記制御装置（２３）は、前記各段の加工負荷相当値として、前記各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値の最大値を採用することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の切削装置。
【請求項５】
前記制御装置（２３）は、前記各段の加工負荷相当値として、前記各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値の平均値を採用することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の切削装置。
【請求項６】
回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削方法であって、
前記複数段の各段のカット時に前記刃具（１５）を回転させるモータに供給された電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の切り込み量を補正することを特徴とする切削方法。
【請求項７】
板材（Ｗ１）から部品を製造する製造方法であって、
請求項６に記載の切削方法によって前記板材をカットする行程を含むことを特徴とする製造方法。
【請求項８】
回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削装置であって、
前記刃具（１５）を回転させるモータに供給される電流値または電力値を検出する検出回路（２２）と、
前記刃具（１５）による前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）に対する前記板材（Ｗ１）の相対的な送り速度を制御する制御装置（２３）と、を備え、
前記制御装置（２３）は、前記複数段の各段のカット時に前記検出回路（２２）が検出した前記電流値または電力値に基づいて、前記複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷相当値を特定し、特定した前記各段の加工負荷相当値間の乖離量（Ｇ）に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の送り速度を補正することを特徴とする切削装置。
【請求項９】
回転式の刃具（１５）を用い、板材（Ｗ１）を厚さ方向に複数段に分けて段階的にカットする切削方法であって、
前記複数段の各段のカット時に前記刃具（１５）を回転させるモータに供給された電流値または電力値に基づいて、複数段の各段のカット時における前記刃具（１５）への加工負荷を均一に近づけるよう、前記各段の送り速度を補正することを特徴とする切削方法。
【請求項１０】
板材（Ｗ１）から部品を製造する製造方法であって、
請求項９に記載の切削方法によって前記板材をカットする行程を含むことを特徴とする製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１２−２０６１９１（Ｐ２０１２−２０６１９１Ａ）
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−７２４９０（Ｐ２０１１−７２４９０）
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（０００００４２６０）株式会社デンソー (27,639)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（０００００４２６０）株式会社デンソー (27,639)
【Ｆターム（参考）】
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