半導体製造工程管理システム
【課題】 フォト工程設備の稼働率の低下と作業者の工数増加を防止可能な半導体製造工程管理システムを提供する。
【解決手段】 ホストコンピュータ２とセルコンピュータ３ａと搬送管理コンピュータ４を備え、ホストコンピュータ２の制御情報生成手段１０が、記憶手段９に記憶されたロット情報データと装置情報データに基づいて、ロット選択を行い、当該ロットのロット情報データの処理条件データと、レチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合して、受入可能な装置の装置情報データを抽出し、最適な装置選択を行い、制御情報データを生成し、セルコンピュータ３ａに送信し、セルコンピュータ３ａのレチクルゴミ検査制御手段１４が、制御情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、フォト工程設備５ａへロットが搬入される前に、フォト工程設備５ａにレチクルゴミ検査の指示を行う。
【解決手段】 ホストコンピュータ２とセルコンピュータ３ａと搬送管理コンピュータ４を備え、ホストコンピュータ２の制御情報生成手段１０が、記憶手段９に記憶されたロット情報データと装置情報データに基づいて、ロット選択を行い、当該ロットのロット情報データの処理条件データと、レチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合して、受入可能な装置の装置情報データを抽出し、最適な装置選択を行い、制御情報データを生成し、セルコンピュータ３ａに送信し、セルコンピュータ３ａのレチクルゴミ検査制御手段１４が、制御情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、フォト工程設備５ａへロットが搬入される前に、フォト工程設備５ａにレチクルゴミ検査の指示を行う。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化膜の形成、薄膜の堆積、フォトリソグラフィー、エッチング、不純物ドーピング等の工程を管理する半導体製造工程管理システムに関し、更に詳しくは、レチクル管理とレチクルを使用するフォト工程の業務改善を可能にした半導体製造工程管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体製造工程管理システムでは、フォト工程設備へのロット供給制御は、先ず、ロット選択を行い、フォト工程設備に搬入後にレチクル収納情報及び使用限界を管理し、レチクルの配膳を最適化していた。フォト工程設備へのロットとレチクルの供給を適切に制御するための従来例として、下記の特許文献１、及び、特許文献２等に開示がある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１３６２９５号公報
【特許文献２】特開２００５−２０９７８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の半導体製造工程管理システムでは、フォト工程設備へのロット供給制御は、先ず、ロット選択を行い、フォト工程設備に搬入後にレチクル収納情報及び使用限界を管理し、レチクルの配膳を最適化していたため、ロット搬入前にレチクル状態データをチェックできないため、露光不可能なロットがフォト工程設備に搬入される可能性があったため、無駄な搬送と待ち時間によりフォト工程設備の稼働率が低下する虞や、作業者の工数が増加するという問題があった。これに対し、上述した従来例では、単にレチクルの配膳を最適化した方法に過ぎず、ロットの仕掛制御において半導体製造工程管理システムによるレチクル現在位置データとレチクル状態データの管理とフォト工程設備にレチクルゴミ検査指示を行うための技術は開示されていない。
【０００５】
本発明は、半導体製造工程管理システムのフォト工程設備における上記問題点に鑑みて考案されたものであり、その目的は、フォト工程設備の稼働率の低下と作業者の工数増加を防止可能な半導体製造工程管理システムを提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、半導体製造工程の全体を管理するホストコンピュータと、フォト工程を含む複数の製造工程を処理する各工程設備を個別に管理する１または複数のセルコンピュータと、前記各工程設備間において被製造物の搬送を行う搬送装置を管理する搬送管理コンピュータと、を備えてなる半導体製造管理システムであって、前記ホストコンピュータが、複数のロット情報を管理するためのロット情報データと複数の装置情報を管理するための装置情報データと複数のレチクルのレチクル現在位置データとレチクル状態データを管理するためのレチクル情報データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記ロット情報データ及び前記装置情報データから、ロット供給を制御するためのロット選択または複数ロット同時処理するためのバッチ組選択を行い、選択したロットの前記ロット情報データの処理条件データと、前記レチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合して、受入可能な装置の前記装置情報データを抽出し、その中から最適な装置選択を行い、制御情報データと搬送情報データを生成する制御情報生成手段と、前記記憶手段に記憶された前記ロット情報データ、前記装置情報データ、及び、前記レチクル情報データを、前記フォト工程設備で発生した事象報告データに基づいて自動的に更新する更新手段と、を備え、前記セルコンピュータが、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データをディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記工程設備の内のフォト工程設備に対し前記処理条件データを指示し、前記フォト工程設備で発生した前記事象報告データを受信する通信手段と、前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの前記装置情報データを照合して、キャリアを搬入するポート情報データを生成するポート情報生成手段と、前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、前記フォト工程設備へロットが搬入される前に、前記通信手段を介して、前記フォト工程設備に前記レチクルゴミ検査データによる検査指示を行うレチクルゴミ検査制御手段と、を備え、前記フォト工程設備が、塗布装置、露光装置、現像装置、レチクルゴミ検査装置、レチクル収納棚、及び、これらの装置群を制御管理し、前記フォト工程設備で発生した事象を、前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告するインラインコントローラを備え、前記搬送管理コンピュータが、前記制御情報生成手段が生成した前記搬送情報データに基づき、前記フォト工程設備へのロットの搬送制御を実行することを第１の特徴とする。
【０００７】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第１の特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備に搬入予定のロットを処理可能なレチクルが搬入されると、前記インラインコントローラが、前記レチクルの搬入を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告し、前記ホストコンピュータが、受信した前記事象報告データに基づいて、前記更新手段により前記装置情報データと前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新し、前記制御情報生成手段により、当該フォト工程設備をロット受入可能な装置として抽出することを第２の特徴とする。
【０００８】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第１または第２の特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備において、前記インラインコントローラが、前記セルコンピュータの前記レチクルゴミ検査制御手段から前記検査指示を受け取ると、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行い、前記レチクルゴミ検査装置が、前記レチクルゴミ検査命令に従って、前記レチクル収納棚から検査対象のレチクルを搬送し、レチクルゴミ検査処理を行い、レチクルゴミ検査結果を前記インラインコントローラに報告し、前記インラインコントローラが、前記レチクルゴミ検査結果を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告することを第３の特徴とする。
【０００９】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第３の特徴に加えて、更に、前記レチクルゴミ検査結果が合格の場合、前記セルコンピュータが、前記制御情報データの前記処理条件データを前記ディスパッチ情報データとして前記通信手段を介して前記フォト工程設備の前記インラインコントローラに指示し、前記ホストコンピュータが、前記制御情報生成手段が生成した前記搬送情報データを、前記搬送管理コンピュータを介して、前記搬送装置に送信して、前記ロットの搬送指示を行い、前記搬送装置が、前記搬送指示に基づき、前記ロットを前記フォト工程設備に搬入することを第４の特徴とする。
【００１０】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第３または第４の特徴に加えて、更に、前記レチクルゴミ検査結果が不合格の場合、前記セルコンピュータが、前記ホストコンピュータにレチクルゴミ検査結果が不合格であったこと、及び、前記ディスパッチ情報データをキャンセルしたことを報告し、前記ホストコンピュータが、前記更新手段により、前記レチクル情報データの前記レチクル状態データを使用不可とし、前記ロット情報データと前記装置情報データを更新して、改めて前記制御情報生成手段により前記ロット選択または前記バッチ組選択を行うことを第５の特徴とする。
【００１１】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第３乃至第５の何れかの特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備の前記インラインコントローラが、前記セルコンピュータの前記レチクルゴミ検査制御手段から前記検査指示を受け取ると、レチクル検査指示に関する周期管理に基づいて検査周期に達しているか否かを判定し、検査周期に達していれば、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行い、検査周期に達していなければ、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行わずに、前記レチクルゴミ検査結果を合格とし、前記レチクルゴミ検査結果を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告することを第６の特徴とする。
【００１２】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記何れかの特徴に加えて、更に、前記インラインコントローラが、作業者が前記フォト工程設備の前記インラインコントローラの操作端末からオンライン操作を行うと、前記セルコンピュータの通信手段を介して、オンライン状態になったことを前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、前記ホストコンピュータが、前記更新手段により、前記装置情報データの通信状態データをオンライン状態に更新することを第７の特徴とする。
【００１３】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記何れかの特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備の前記インラインコントローラが、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記レチクル収納棚に存在するレチクルを前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、前記ホストコンピュータが、前記更新手段により、前記装置情報データと前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新することを第８の特徴とする。
【００１４】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記何れかの特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備の前記インラインコントローラが、前記レチクル収納棚に対してレチクルの搬入或いは搬出が行われると、前記レチクル収納棚のレチクル収納情報を更新して、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記レチクル収納情報を前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、前記ホストコンピュータが、前記更新手段により、前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新することを第９の特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
上記何れかの特徴の半導体製造工程管理システムによれば、半導体製造工程管理システムがフォト工程設備と前記通信手段を介してデータの送受信可能に接続しており、レチクル現在位置データとレチクル状態データを自動的に管理することが可能であり、前記セルコンピュータのレチクルゴミ検査制御手段が、前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、前記フォト工程設備へロットが搬入される前に、前記通信手段を介して、前記フォト工程設備に前記レチクルゴミ検査データによる検査指示を行うように構成されているので、当該検査結果に基づいて前記フォト工程設備へのロット搬入の可否を判断でき、露光不可能なロットがフォト工程設備に搬入されるのを排除でき、無駄な搬送と待ち時間によりフォト工程設備の稼働率が低下する問題や、作業者の工数が増加する問題を解消できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明に係る半導体製造工程管理システムの一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１７】
図１に、本発明の一実施形態に係る半導体製造工程管理システム１のシステム構成例を示す。図１に示すように、半導体製造工程管理システム１は、ホストコンピュータ２と、１または複数のセルコンピュータ３と、搬送管理コンピュータ４を備えて構成される。ここで、ホストコンピュータ２は、半導体製造工程の全体の管理を行い、セルコンピュータ３は、複数の製造工程を処理する各工程設備５を個別に管理し、搬送管理コンピュータ４は、各工程設備５間において被製造物の搬送を行う搬送装置６を管理する。また、工程設備５には、フォト工程を処理するフォト工程設備５ａが含まれる。
【００１８】
ホストコンピュータ２、各セルコンピュータ３、搬送管理コンピュータ４、各工程設備５、搬送装置６、及び、レチクル保管庫７は、データ通信用のネットワーク８に夫々接続している。これにより、ホストコンピュータ２と各セルコンピュータ３間、各セルコンピュータ３と各工程設備５間、ホストコンピュータ２と搬送管理コンピュータ４間、搬送管理コンピュータと搬送装置６間が、夫々、相互にオンラインでデータ通信可能である。特に、１または複数のセルコンピュータ３の内のフォト工程設備５ａを管理するセルコンピュータ３ａ、フォト工程設備５ａ及びレチクル保管庫７は、相互にオンラインでデータ通信可能である。
【００１９】
ホストコンピュータ２は、記憶手段９と制御情報生成手段１０と更新手段１１を備える。記憶手段９は、複数のロット情報を管理するためのロット情報データと複数の装置情報を管理するための装置情報データと複数のレチクルのレチクル現在位置データとレチクル状態データを管理するためのレチクル情報データを記憶する。制御情報生成手段１０は、記憶手段９に記憶されたロット情報データ及び装置情報データから、ロット供給を制御するためのロット選択または複数ロット同時処理するためのバッチ組選択を行い、選択したロットのロット情報データの処理条件データと、レチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合して、受入可能な装置の装置情報データを抽出し、その中から最適な装置選択を行い、制御情報データと搬送情報データを生成する。更新手段１１は、記憶手段９に記憶されたロット情報データ、装置情報データ、及び、レチクル情報データを、各セルコンピュータ３及び搬送管理コンピュータ４からの事象報告データ、例えば、フォト工程設備で発生した事象報告データ等、に基づいて自動的に更新する。
【００２０】
セルコンピュータ３ａは、通信手段１２とポート情報生成手段１３とレチクルゴミ検査制御手段１４を備える。通信手段１２は、制御情報生成手段１０が生成した制御情報データをディスパッチ情報データとしてホストコンピュータ２から受信し、フォト工程設備５ａに対し処理条件データを指示し、フォト工程設備５ａで発生した事象報告データを受信する。ポート情報生成手段１３は、通信手段１２を介して、制御情報生成手段１０が生成した制御情報データをディスパッチ情報データとしてホストコンピュータ２から受信し、ディスパッチ情報データの装置情報データを照合して、キャリアを搬入するポートを選択するためのポート情報データを生成する。レチクルゴミ検査制御手段１４は、通信手段１２を介して、制御情報生成手段１０が生成した制御情報データをディスパッチ情報データとしてホストコンピュータ２から受信し、ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、フォト工程設備５ａへロットが搬入される前に、通信手段１２を介して、フォト工程設備５ａにレチクルゴミ検査データによる検査指示を行う。
【００２１】
尚、セルコンピュータ３ａ以外のセルコンピュータ３も、同様に通信手段１２を備え、複数の工程設備５とネットワーク８を介してオンライン接続しており、ホストコンピュータ２の制御情報生成手段１０から指示されたディスパッチ情報データのロット情報データ、装置情報データから処理条件データを生成し、各工程設備５の装置用コンピュータ（インラインコントローラ）に処理条件を指示可能な構成となっている。また、各工程設備５の装置用コンピュータは、セルコンピュータ３からの処理情報に基づく処理を、各工程設備５の装置に指示し、その処理結果としての事象報告データを、セルコンピュータ３の通信手段１２を介してホストコンピュータ２に報告可能な構成となっている。
【００２２】
搬送管理コンピュータ４は、制御情報生成手段１０が生成した搬送情報データに基づき、搬送装置６に対して各工程設備５へのロットの搬送制御を実行する。
【００２３】
図２に、半導体製造工程管理システム１とフォト工程設備５ａとの関連、及び、フォト工程設備５ａの構成例を示す。図２に示すように、本実施形態では、フォト工程設備５ａは、塗布装置１５、露光装置１６、現像装置１７、レチクルゴミ検査装置１８、レチクル収納棚１９、インラインコントローラ２０、及び、ロットの格納及び搬送に用いるキャリアが搬入搬出される複数のポート２１を備える。従って、レチクルを収納する設備としては、フォト工程設備５ａ内のレチクル収納棚１９と、フォト工程設備５ａ外のレチクル保管庫７がある。
【００２４】
インラインコントローラ２０は、フォト工程設備５ａ内の各装置１５〜１９を制御管理し、フォト工程設備５ａで発生した事象を、事象報告データとして、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、ホストコンピュータ２に送信する。
【００２５】
次に、フォト工程の内の露光処理されるロットがフォト工程設備５ａに搬入されるまでのホストコンピュータ２、セルコンピュータ３ａ、搬送管理コンピュータ４、フォト工程設備５ａ等において実行される各処理について、図３を参照して説明する。
【００２６】
先ず、作業者がフォト工程設備５ａのインラインコントローラ２０の操作端末からネットワーク８にオンライン接続するオンライン操作を行うと、インラインコントローラ２０は、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、オンライン状態になったことを事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃１）。ホストコンピュータ２は、更新手段１１により、報告された事象報告データに基づいて、記憶手段９に記憶された装置情報データの通信状態データをオンライン状態に更新する（ステップ＃２）。
【００２７】
引き続き、インラインコントローラ２０は、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、レチクル収納棚１９に収納されているレチクル在庫を事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃３）。ホストコンピュータ２は、更新手段１１により、報告された事象報告データに基づいて、記憶手段９に記憶された装置情報データとレチクル情報データのレチクル現在位置データを更新する（ステップ＃４）。
【００２８】
更に、レチクル保管庫７からレチクル収納棚１９へのレチクルの搬入、或いは、レチクル収納棚１９からレチクル保管庫７へのレチクルの搬出が行われた場合は、インラインコントローラ２０は、レチクル収納棚１９のレチクル収納情報を更新して、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、更新されたレチクル収納情報を事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃５／＃７）。ホストコンピュータ２は、更新手段１１により、報告された事象報告データに基づいて、記憶手段９に記憶された装置情報データとレチクル情報データのレチクル現在位置データを更新する（ステップ＃６／＃８）。ここで、レチクル収納棚１９へ搬入するレチクルは、インラインコントローラ２０の操作端末から作業者の操作により、レチクル保管庫７に保管されているレチクル名がオンラインで読み出され、製造ロットを処理可能なレチクルの中から、使用限度及びレチクル状態と、当該フォト工程設備５ａが装置選択されることを考慮して選択される。また、レチクル収納棚１９から搬出するレチクルは、レチクル収納棚１９に収納されているレチクルの中から、インラインコントローラ２０の操作端末から作業者の操作により選択される。
【００２９】
上記要領で、記憶手段９に記憶された装置情報データとレチクル情報データのレチクル現在位置データが更新されると、ホストコンピュータ２の制御情報生成手段１０が、図４に例示する製造工程の処理フローを示すテーブルに従って、記憶手段９に記憶されたロット情報データと装置情報データから、ロット供給を制御するためのロット選択または複数ロット同時処理するためのバッチ組選択を行い、選択したロットのロット情報データの処理条件データと、前記テーブルで指示されるレチクルのレチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合し、受入可能な装置の装置情報データを抽出して、その中から最適な装置選択を行い、制御情報データを生成し、生成した制御情報データをセルコンピュータ３ａにディスパッチ情報データとして指示する（ステップ＃９）。具体的には、フォト工程設備５ａをロット受入可能な装置として抽出する場合には、当該フォト工程設備５ａのレチクル収納棚１９に搬入予定のロットを処理可能なレチクルが収納されていることを、制御情報生成手段１０が、記憶手段９に記憶されたレチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データによって確認する。
【００３０】
セルコンピュータ３ａは、ホストコンピュータ２から通信手段１２を介して、制御情報生成手段１０が生成した制御情報データをディスパッチ情報データとして受信すると、レチクルゴミ検査制御手段１４が、ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、選択された装置であるフォト工程設備５ａへロットが搬入される前に、通信手段１２を介して、フォト工程設備５ａにレチクルゴミ検査データによる検査指示を行う（ステップ＃１０）。
【００３１】
フォト工程設備５ａのインラインコントローラ２０は、通信手段１２を介して、セルコンピュータ３ａのレチクルゴミ検査制御手段１４から検査指示を受け取ると、レチクル検査指示に関する周期管理に基づいて検査周期に達しているか否かを判定する（ステップ＃１１）。インラインコントローラ２０は、検査周期に達している場合は、レチクルゴミ検査装置１８にレチクルゴミ検査命令を行い（ステップ＃１２）、検査周期に達していなければ、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行わずに、前記レチクルゴミ検査結果を合格とする（ステップ＃１３）。
【００３２】
レチクルゴミ検査装置１８が、インラインコントローラ２０からレチクルゴミ検査命令を受け取ると、レチクルゴミ検査命令に従って、レチクル収納棚１９から検査対象のレチクルを搬送し、レチクルゴミ検査処理を開始し、インラインコントローラ２０に対して、レチクルゴミ検査処理の開始を報告する（ステップ＃１４）。レチクルゴミ検査装置１８は、レチクルゴミ検査処理が終了すると、レチクルゴミ検査結果をインラインコントローラ２０に報告する（ステップ＃１５）。
【００３３】
インラインコントローラ２０は、ステップ＃１３及びステップ＃１５のレチクルゴミ検査結果を事象報告データとして、セルコンピュータ３ａに報告し、セルコンピュータ３ａは、当該事象報告データをホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃１６）。レチクルゴミ検査結果が合格の場合、セルコンピュータ３ａは、レチクルゴミ検査結果が合格である旨の事象報告データをホストコンピュータ２に報告し（ステップ＃１７）、ステップ＃９においてホストコンピュータ２からディスパッチ情報データとして指示された制御情報データの処理条件データをディスパッチ情報データとして通信手段１２を介してフォト工程設備５ａのインラインコントローラ２０に指示する（ステップ＃１８）。更に、セルコンピュータ３ａのポート情報生成手段１３は、上記制御情報データの装置情報データを照合して、キャリアを搬入するポートを選択するためのポート情報データを生成し、通信手段１２を介して、インラインコントローラ２０に送信する（ステップ＃１９）。ホストコンピュータ２は、ステップ＃９において生成した制御情報データを搬送情報データとして、フォト工程設備５ａへのロットの搬送を搬送管理コンピュータ４に指示する（ステップ＃２０）。搬送管理コンピュータ４は、制御情報生成手段１０が生成した搬送情報データに基づき、搬送装置６に対して、フォト工程設備５ａへのロットの搬送を指示する。搬送装置６は、搬送指示に基づき、フォト工程設備５ａのポート情報データで選択されるポートへ、露光処理の対象となるロットを格納したキャリアを搬入する（ステップ＃２１）。これにより、フォト工程設備５ａの露光装置１６において、露光処理が可能となる。
【００３４】
一方、レチクルゴミ検査結果が不合格の場合、セルコンピュータ３ａは、ステップ＃９においてホストコンピュータ２からディスパッチ情報データとして指示された制御情報データを破棄し（ステップ＃２２）、レチクルゴミ検査結果が不合格である旨、及び、ディスパッチ情報データをキャンセルした旨の事象報告データをホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃２３）。ホストコンピュータ２は、ステップ＃９において制御情報生成手段１０が生成した制御情報データを破棄し、一旦、ロット供給をキャンセルするとともに、記憶手段９に記憶されたレチクル情報データの該当するレチクルのレチクル状態データを使用不可とし、記憶手段９に記憶されたロット情報データと装置情報データを更新する（ステップ＃２４）。この結果、処理ステップがステップ＃９に戻ることで、ホストコンピュータ２の制御情報生成手段１０が、ステップ＃９の処理を繰り返して、改めてロット選択またはバッチ組選択、及び、受入可能な別のフォト工程設備の選択を行うことができる。これにより、選択されたロットまたはバッチ組は、別のフォト工程設備へ供給可能となる。尚、レチクルゴミ検査で不合格となったレチクルは、フォト工程設備５ａから搬出されて、洗浄処理等が行われる（ステップ＃２５）。
【００３５】
上述のように、図３に示す処理手順によれば、レチクルゴミ検査制御手段１４がフォト工程設備５ａに対し、ロット供給前にレチクルゴミ検査指示を行うことで、レチクルゴミ検査結果に応じたロット制御が可能になり、フォト工程設備５ａの稼働率が向上する。
【００３６】
ところで、図３に示す処理手順のステップ＃９では、制御情報データを生成した上で、生成した制御情報データをセルコンピュータ３ａにディスパッチ情報データとして指示したが、当該ディスパッチ情報データのセルコンピュータ３ａへの指示は、ステップ＃１７において、セルコンピュータ３ａからレチクルゴミ検査結果が合格である旨の事象報告データを受け取ってから、セルコンピュータ３ａにディスパッチ情報データとして指示しても良い。
【００３７】
更に、ステップ＃５または＃７において、オンライン操作によって、レチクル収納棚１９とレチクル保管庫７の間でレチクルの搬入または搬出が行われた場合に、インラインコントローラ２０が、更新されたレチクル収納情報を事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告するようにしたが、これに代えて、或いは、追加して、レチクル保管庫７に設けられたインラインコントローラは、レチクル保管庫７のレチクル収納情報を更新して、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、更新されたレチクル収納情報を事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告するようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、半導体製造工程管理システムに利用可能であり、特に、レチクル管理とレチクルを使用するフォト工程の業務改善に有効である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係る半導体製造工程管理システムのシステム構成例を示すブロック図
【図２】図１に半導体製造工程管理システムとフォト工程設備との関連、及び、フォト工程設備のシステム構成例を示すブロック図
【図３】本発明に係る半導体製造工程管理システムによるフォト工程において露光処理されるロットがフォト工程設備に搬入されるまでの処理手順を示すフローチャート
【図４】製造工程の処理フローを示すテーブルの一例を示す図
【符号の説明】
【００４０】
１： 半導体製造工程管理システム
２： ホストコンピュータ
３、３ａ： セルコンピュータ
４： 搬送管理コンピュータ
５： 工程設備
５ａ： フォト工程設備
６： 搬送装置
７： レチクル保管庫
８： ネットワーク
９： 記憶手段
１０： 制御情報生成手段
１１： 更新手段
１２： 通信手段
１３： ポート情報生成手段
１４： レチクルゴミ検査制御手段
１５： 塗布装置
１６： 露光装置
１７： 現像装置
１８： レチクルゴミ検査装置
１９： レチクル収納棚
２０： インラインコントローラ
２１： ポート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化膜の形成、薄膜の堆積、フォトリソグラフィー、エッチング、不純物ドーピング等の工程を管理する半導体製造工程管理システムに関し、更に詳しくは、レチクル管理とレチクルを使用するフォト工程の業務改善を可能にした半導体製造工程管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体製造工程管理システムでは、フォト工程設備へのロット供給制御は、先ず、ロット選択を行い、フォト工程設備に搬入後にレチクル収納情報及び使用限界を管理し、レチクルの配膳を最適化していた。フォト工程設備へのロットとレチクルの供給を適切に制御するための従来例として、下記の特許文献１、及び、特許文献２等に開示がある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１３６２９５号公報
【特許文献２】特開２００５−２０９７８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の半導体製造工程管理システムでは、フォト工程設備へのロット供給制御は、先ず、ロット選択を行い、フォト工程設備に搬入後にレチクル収納情報及び使用限界を管理し、レチクルの配膳を最適化していたため、ロット搬入前にレチクル状態データをチェックできないため、露光不可能なロットがフォト工程設備に搬入される可能性があったため、無駄な搬送と待ち時間によりフォト工程設備の稼働率が低下する虞や、作業者の工数が増加するという問題があった。これに対し、上述した従来例では、単にレチクルの配膳を最適化した方法に過ぎず、ロットの仕掛制御において半導体製造工程管理システムによるレチクル現在位置データとレチクル状態データの管理とフォト工程設備にレチクルゴミ検査指示を行うための技術は開示されていない。
【０００５】
本発明は、半導体製造工程管理システムのフォト工程設備における上記問題点に鑑みて考案されたものであり、その目的は、フォト工程設備の稼働率の低下と作業者の工数増加を防止可能な半導体製造工程管理システムを提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、半導体製造工程の全体を管理するホストコンピュータと、フォト工程を含む複数の製造工程を処理する各工程設備を個別に管理する１または複数のセルコンピュータと、前記各工程設備間において被製造物の搬送を行う搬送装置を管理する搬送管理コンピュータと、を備えてなる半導体製造管理システムであって、前記ホストコンピュータが、複数のロット情報を管理するためのロット情報データと複数の装置情報を管理するための装置情報データと複数のレチクルのレチクル現在位置データとレチクル状態データを管理するためのレチクル情報データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記ロット情報データ及び前記装置情報データから、ロット供給を制御するためのロット選択または複数ロット同時処理するためのバッチ組選択を行い、選択したロットの前記ロット情報データの処理条件データと、前記レチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合して、受入可能な装置の前記装置情報データを抽出し、その中から最適な装置選択を行い、制御情報データと搬送情報データを生成する制御情報生成手段と、前記記憶手段に記憶された前記ロット情報データ、前記装置情報データ、及び、前記レチクル情報データを、前記フォト工程設備で発生した事象報告データに基づいて自動的に更新する更新手段と、を備え、前記セルコンピュータが、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データをディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記工程設備の内のフォト工程設備に対し前記処理条件データを指示し、前記フォト工程設備で発生した前記事象報告データを受信する通信手段と、前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの前記装置情報データを照合して、キャリアを搬入するポート情報データを生成するポート情報生成手段と、前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、前記フォト工程設備へロットが搬入される前に、前記通信手段を介して、前記フォト工程設備に前記レチクルゴミ検査データによる検査指示を行うレチクルゴミ検査制御手段と、を備え、前記フォト工程設備が、塗布装置、露光装置、現像装置、レチクルゴミ検査装置、レチクル収納棚、及び、これらの装置群を制御管理し、前記フォト工程設備で発生した事象を、前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告するインラインコントローラを備え、前記搬送管理コンピュータが、前記制御情報生成手段が生成した前記搬送情報データに基づき、前記フォト工程設備へのロットの搬送制御を実行することを第１の特徴とする。
【０００７】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第１の特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備に搬入予定のロットを処理可能なレチクルが搬入されると、前記インラインコントローラが、前記レチクルの搬入を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告し、前記ホストコンピュータが、受信した前記事象報告データに基づいて、前記更新手段により前記装置情報データと前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新し、前記制御情報生成手段により、当該フォト工程設備をロット受入可能な装置として抽出することを第２の特徴とする。
【０００８】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第１または第２の特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備において、前記インラインコントローラが、前記セルコンピュータの前記レチクルゴミ検査制御手段から前記検査指示を受け取ると、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行い、前記レチクルゴミ検査装置が、前記レチクルゴミ検査命令に従って、前記レチクル収納棚から検査対象のレチクルを搬送し、レチクルゴミ検査処理を行い、レチクルゴミ検査結果を前記インラインコントローラに報告し、前記インラインコントローラが、前記レチクルゴミ検査結果を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告することを第３の特徴とする。
【０００９】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第３の特徴に加えて、更に、前記レチクルゴミ検査結果が合格の場合、前記セルコンピュータが、前記制御情報データの前記処理条件データを前記ディスパッチ情報データとして前記通信手段を介して前記フォト工程設備の前記インラインコントローラに指示し、前記ホストコンピュータが、前記制御情報生成手段が生成した前記搬送情報データを、前記搬送管理コンピュータを介して、前記搬送装置に送信して、前記ロットの搬送指示を行い、前記搬送装置が、前記搬送指示に基づき、前記ロットを前記フォト工程設備に搬入することを第４の特徴とする。
【００１０】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第３または第４の特徴に加えて、更に、前記レチクルゴミ検査結果が不合格の場合、前記セルコンピュータが、前記ホストコンピュータにレチクルゴミ検査結果が不合格であったこと、及び、前記ディスパッチ情報データをキャンセルしたことを報告し、前記ホストコンピュータが、前記更新手段により、前記レチクル情報データの前記レチクル状態データを使用不可とし、前記ロット情報データと前記装置情報データを更新して、改めて前記制御情報生成手段により前記ロット選択または前記バッチ組選択を行うことを第５の特徴とする。
【００１１】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記第３乃至第５の何れかの特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備の前記インラインコントローラが、前記セルコンピュータの前記レチクルゴミ検査制御手段から前記検査指示を受け取ると、レチクル検査指示に関する周期管理に基づいて検査周期に達しているか否かを判定し、検査周期に達していれば、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行い、検査周期に達していなければ、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行わずに、前記レチクルゴミ検査結果を合格とし、前記レチクルゴミ検査結果を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告することを第６の特徴とする。
【００１２】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記何れかの特徴に加えて、更に、前記インラインコントローラが、作業者が前記フォト工程設備の前記インラインコントローラの操作端末からオンライン操作を行うと、前記セルコンピュータの通信手段を介して、オンライン状態になったことを前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、前記ホストコンピュータが、前記更新手段により、前記装置情報データの通信状態データをオンライン状態に更新することを第７の特徴とする。
【００１３】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記何れかの特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備の前記インラインコントローラが、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記レチクル収納棚に存在するレチクルを前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、前記ホストコンピュータが、前記更新手段により、前記装置情報データと前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新することを第８の特徴とする。
【００１４】
上記目的を達成するための半導体製造工程管理システムは、上記何れかの特徴に加えて、更に、前記フォト工程設備の前記インラインコントローラが、前記レチクル収納棚に対してレチクルの搬入或いは搬出が行われると、前記レチクル収納棚のレチクル収納情報を更新して、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記レチクル収納情報を前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、前記ホストコンピュータが、前記更新手段により、前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新することを第９の特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
上記何れかの特徴の半導体製造工程管理システムによれば、半導体製造工程管理システムがフォト工程設備と前記通信手段を介してデータの送受信可能に接続しており、レチクル現在位置データとレチクル状態データを自動的に管理することが可能であり、前記セルコンピュータのレチクルゴミ検査制御手段が、前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、前記フォト工程設備へロットが搬入される前に、前記通信手段を介して、前記フォト工程設備に前記レチクルゴミ検査データによる検査指示を行うように構成されているので、当該検査結果に基づいて前記フォト工程設備へのロット搬入の可否を判断でき、露光不可能なロットがフォト工程設備に搬入されるのを排除でき、無駄な搬送と待ち時間によりフォト工程設備の稼働率が低下する問題や、作業者の工数が増加する問題を解消できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明に係る半導体製造工程管理システムの一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１７】
図１に、本発明の一実施形態に係る半導体製造工程管理システム１のシステム構成例を示す。図１に示すように、半導体製造工程管理システム１は、ホストコンピュータ２と、１または複数のセルコンピュータ３と、搬送管理コンピュータ４を備えて構成される。ここで、ホストコンピュータ２は、半導体製造工程の全体の管理を行い、セルコンピュータ３は、複数の製造工程を処理する各工程設備５を個別に管理し、搬送管理コンピュータ４は、各工程設備５間において被製造物の搬送を行う搬送装置６を管理する。また、工程設備５には、フォト工程を処理するフォト工程設備５ａが含まれる。
【００１８】
ホストコンピュータ２、各セルコンピュータ３、搬送管理コンピュータ４、各工程設備５、搬送装置６、及び、レチクル保管庫７は、データ通信用のネットワーク８に夫々接続している。これにより、ホストコンピュータ２と各セルコンピュータ３間、各セルコンピュータ３と各工程設備５間、ホストコンピュータ２と搬送管理コンピュータ４間、搬送管理コンピュータと搬送装置６間が、夫々、相互にオンラインでデータ通信可能である。特に、１または複数のセルコンピュータ３の内のフォト工程設備５ａを管理するセルコンピュータ３ａ、フォト工程設備５ａ及びレチクル保管庫７は、相互にオンラインでデータ通信可能である。
【００１９】
ホストコンピュータ２は、記憶手段９と制御情報生成手段１０と更新手段１１を備える。記憶手段９は、複数のロット情報を管理するためのロット情報データと複数の装置情報を管理するための装置情報データと複数のレチクルのレチクル現在位置データとレチクル状態データを管理するためのレチクル情報データを記憶する。制御情報生成手段１０は、記憶手段９に記憶されたロット情報データ及び装置情報データから、ロット供給を制御するためのロット選択または複数ロット同時処理するためのバッチ組選択を行い、選択したロットのロット情報データの処理条件データと、レチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合して、受入可能な装置の装置情報データを抽出し、その中から最適な装置選択を行い、制御情報データと搬送情報データを生成する。更新手段１１は、記憶手段９に記憶されたロット情報データ、装置情報データ、及び、レチクル情報データを、各セルコンピュータ３及び搬送管理コンピュータ４からの事象報告データ、例えば、フォト工程設備で発生した事象報告データ等、に基づいて自動的に更新する。
【００２０】
セルコンピュータ３ａは、通信手段１２とポート情報生成手段１３とレチクルゴミ検査制御手段１４を備える。通信手段１２は、制御情報生成手段１０が生成した制御情報データをディスパッチ情報データとしてホストコンピュータ２から受信し、フォト工程設備５ａに対し処理条件データを指示し、フォト工程設備５ａで発生した事象報告データを受信する。ポート情報生成手段１３は、通信手段１２を介して、制御情報生成手段１０が生成した制御情報データをディスパッチ情報データとしてホストコンピュータ２から受信し、ディスパッチ情報データの装置情報データを照合して、キャリアを搬入するポートを選択するためのポート情報データを生成する。レチクルゴミ検査制御手段１４は、通信手段１２を介して、制御情報生成手段１０が生成した制御情報データをディスパッチ情報データとしてホストコンピュータ２から受信し、ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、フォト工程設備５ａへロットが搬入される前に、通信手段１２を介して、フォト工程設備５ａにレチクルゴミ検査データによる検査指示を行う。
【００２１】
尚、セルコンピュータ３ａ以外のセルコンピュータ３も、同様に通信手段１２を備え、複数の工程設備５とネットワーク８を介してオンライン接続しており、ホストコンピュータ２の制御情報生成手段１０から指示されたディスパッチ情報データのロット情報データ、装置情報データから処理条件データを生成し、各工程設備５の装置用コンピュータ（インラインコントローラ）に処理条件を指示可能な構成となっている。また、各工程設備５の装置用コンピュータは、セルコンピュータ３からの処理情報に基づく処理を、各工程設備５の装置に指示し、その処理結果としての事象報告データを、セルコンピュータ３の通信手段１２を介してホストコンピュータ２に報告可能な構成となっている。
【００２２】
搬送管理コンピュータ４は、制御情報生成手段１０が生成した搬送情報データに基づき、搬送装置６に対して各工程設備５へのロットの搬送制御を実行する。
【００２３】
図２に、半導体製造工程管理システム１とフォト工程設備５ａとの関連、及び、フォト工程設備５ａの構成例を示す。図２に示すように、本実施形態では、フォト工程設備５ａは、塗布装置１５、露光装置１６、現像装置１７、レチクルゴミ検査装置１８、レチクル収納棚１９、インラインコントローラ２０、及び、ロットの格納及び搬送に用いるキャリアが搬入搬出される複数のポート２１を備える。従って、レチクルを収納する設備としては、フォト工程設備５ａ内のレチクル収納棚１９と、フォト工程設備５ａ外のレチクル保管庫７がある。
【００２４】
インラインコントローラ２０は、フォト工程設備５ａ内の各装置１５〜１９を制御管理し、フォト工程設備５ａで発生した事象を、事象報告データとして、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、ホストコンピュータ２に送信する。
【００２５】
次に、フォト工程の内の露光処理されるロットがフォト工程設備５ａに搬入されるまでのホストコンピュータ２、セルコンピュータ３ａ、搬送管理コンピュータ４、フォト工程設備５ａ等において実行される各処理について、図３を参照して説明する。
【００２６】
先ず、作業者がフォト工程設備５ａのインラインコントローラ２０の操作端末からネットワーク８にオンライン接続するオンライン操作を行うと、インラインコントローラ２０は、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、オンライン状態になったことを事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃１）。ホストコンピュータ２は、更新手段１１により、報告された事象報告データに基づいて、記憶手段９に記憶された装置情報データの通信状態データをオンライン状態に更新する（ステップ＃２）。
【００２７】
引き続き、インラインコントローラ２０は、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、レチクル収納棚１９に収納されているレチクル在庫を事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃３）。ホストコンピュータ２は、更新手段１１により、報告された事象報告データに基づいて、記憶手段９に記憶された装置情報データとレチクル情報データのレチクル現在位置データを更新する（ステップ＃４）。
【００２８】
更に、レチクル保管庫７からレチクル収納棚１９へのレチクルの搬入、或いは、レチクル収納棚１９からレチクル保管庫７へのレチクルの搬出が行われた場合は、インラインコントローラ２０は、レチクル収納棚１９のレチクル収納情報を更新して、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、更新されたレチクル収納情報を事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃５／＃７）。ホストコンピュータ２は、更新手段１１により、報告された事象報告データに基づいて、記憶手段９に記憶された装置情報データとレチクル情報データのレチクル現在位置データを更新する（ステップ＃６／＃８）。ここで、レチクル収納棚１９へ搬入するレチクルは、インラインコントローラ２０の操作端末から作業者の操作により、レチクル保管庫７に保管されているレチクル名がオンラインで読み出され、製造ロットを処理可能なレチクルの中から、使用限度及びレチクル状態と、当該フォト工程設備５ａが装置選択されることを考慮して選択される。また、レチクル収納棚１９から搬出するレチクルは、レチクル収納棚１９に収納されているレチクルの中から、インラインコントローラ２０の操作端末から作業者の操作により選択される。
【００２９】
上記要領で、記憶手段９に記憶された装置情報データとレチクル情報データのレチクル現在位置データが更新されると、ホストコンピュータ２の制御情報生成手段１０が、図４に例示する製造工程の処理フローを示すテーブルに従って、記憶手段９に記憶されたロット情報データと装置情報データから、ロット供給を制御するためのロット選択または複数ロット同時処理するためのバッチ組選択を行い、選択したロットのロット情報データの処理条件データと、前記テーブルで指示されるレチクルのレチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合し、受入可能な装置の装置情報データを抽出して、その中から最適な装置選択を行い、制御情報データを生成し、生成した制御情報データをセルコンピュータ３ａにディスパッチ情報データとして指示する（ステップ＃９）。具体的には、フォト工程設備５ａをロット受入可能な装置として抽出する場合には、当該フォト工程設備５ａのレチクル収納棚１９に搬入予定のロットを処理可能なレチクルが収納されていることを、制御情報生成手段１０が、記憶手段９に記憶されたレチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データによって確認する。
【００３０】
セルコンピュータ３ａは、ホストコンピュータ２から通信手段１２を介して、制御情報生成手段１０が生成した制御情報データをディスパッチ情報データとして受信すると、レチクルゴミ検査制御手段１４が、ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、選択された装置であるフォト工程設備５ａへロットが搬入される前に、通信手段１２を介して、フォト工程設備５ａにレチクルゴミ検査データによる検査指示を行う（ステップ＃１０）。
【００３１】
フォト工程設備５ａのインラインコントローラ２０は、通信手段１２を介して、セルコンピュータ３ａのレチクルゴミ検査制御手段１４から検査指示を受け取ると、レチクル検査指示に関する周期管理に基づいて検査周期に達しているか否かを判定する（ステップ＃１１）。インラインコントローラ２０は、検査周期に達している場合は、レチクルゴミ検査装置１８にレチクルゴミ検査命令を行い（ステップ＃１２）、検査周期に達していなければ、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行わずに、前記レチクルゴミ検査結果を合格とする（ステップ＃１３）。
【００３２】
レチクルゴミ検査装置１８が、インラインコントローラ２０からレチクルゴミ検査命令を受け取ると、レチクルゴミ検査命令に従って、レチクル収納棚１９から検査対象のレチクルを搬送し、レチクルゴミ検査処理を開始し、インラインコントローラ２０に対して、レチクルゴミ検査処理の開始を報告する（ステップ＃１４）。レチクルゴミ検査装置１８は、レチクルゴミ検査処理が終了すると、レチクルゴミ検査結果をインラインコントローラ２０に報告する（ステップ＃１５）。
【００３３】
インラインコントローラ２０は、ステップ＃１３及びステップ＃１５のレチクルゴミ検査結果を事象報告データとして、セルコンピュータ３ａに報告し、セルコンピュータ３ａは、当該事象報告データをホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃１６）。レチクルゴミ検査結果が合格の場合、セルコンピュータ３ａは、レチクルゴミ検査結果が合格である旨の事象報告データをホストコンピュータ２に報告し（ステップ＃１７）、ステップ＃９においてホストコンピュータ２からディスパッチ情報データとして指示された制御情報データの処理条件データをディスパッチ情報データとして通信手段１２を介してフォト工程設備５ａのインラインコントローラ２０に指示する（ステップ＃１８）。更に、セルコンピュータ３ａのポート情報生成手段１３は、上記制御情報データの装置情報データを照合して、キャリアを搬入するポートを選択するためのポート情報データを生成し、通信手段１２を介して、インラインコントローラ２０に送信する（ステップ＃１９）。ホストコンピュータ２は、ステップ＃９において生成した制御情報データを搬送情報データとして、フォト工程設備５ａへのロットの搬送を搬送管理コンピュータ４に指示する（ステップ＃２０）。搬送管理コンピュータ４は、制御情報生成手段１０が生成した搬送情報データに基づき、搬送装置６に対して、フォト工程設備５ａへのロットの搬送を指示する。搬送装置６は、搬送指示に基づき、フォト工程設備５ａのポート情報データで選択されるポートへ、露光処理の対象となるロットを格納したキャリアを搬入する（ステップ＃２１）。これにより、フォト工程設備５ａの露光装置１６において、露光処理が可能となる。
【００３４】
一方、レチクルゴミ検査結果が不合格の場合、セルコンピュータ３ａは、ステップ＃９においてホストコンピュータ２からディスパッチ情報データとして指示された制御情報データを破棄し（ステップ＃２２）、レチクルゴミ検査結果が不合格である旨、及び、ディスパッチ情報データをキャンセルした旨の事象報告データをホストコンピュータ２に報告する（ステップ＃２３）。ホストコンピュータ２は、ステップ＃９において制御情報生成手段１０が生成した制御情報データを破棄し、一旦、ロット供給をキャンセルするとともに、記憶手段９に記憶されたレチクル情報データの該当するレチクルのレチクル状態データを使用不可とし、記憶手段９に記憶されたロット情報データと装置情報データを更新する（ステップ＃２４）。この結果、処理ステップがステップ＃９に戻ることで、ホストコンピュータ２の制御情報生成手段１０が、ステップ＃９の処理を繰り返して、改めてロット選択またはバッチ組選択、及び、受入可能な別のフォト工程設備の選択を行うことができる。これにより、選択されたロットまたはバッチ組は、別のフォト工程設備へ供給可能となる。尚、レチクルゴミ検査で不合格となったレチクルは、フォト工程設備５ａから搬出されて、洗浄処理等が行われる（ステップ＃２５）。
【００３５】
上述のように、図３に示す処理手順によれば、レチクルゴミ検査制御手段１４がフォト工程設備５ａに対し、ロット供給前にレチクルゴミ検査指示を行うことで、レチクルゴミ検査結果に応じたロット制御が可能になり、フォト工程設備５ａの稼働率が向上する。
【００３６】
ところで、図３に示す処理手順のステップ＃９では、制御情報データを生成した上で、生成した制御情報データをセルコンピュータ３ａにディスパッチ情報データとして指示したが、当該ディスパッチ情報データのセルコンピュータ３ａへの指示は、ステップ＃１７において、セルコンピュータ３ａからレチクルゴミ検査結果が合格である旨の事象報告データを受け取ってから、セルコンピュータ３ａにディスパッチ情報データとして指示しても良い。
【００３７】
更に、ステップ＃５または＃７において、オンライン操作によって、レチクル収納棚１９とレチクル保管庫７の間でレチクルの搬入または搬出が行われた場合に、インラインコントローラ２０が、更新されたレチクル収納情報を事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告するようにしたが、これに代えて、或いは、追加して、レチクル保管庫７に設けられたインラインコントローラは、レチクル保管庫７のレチクル収納情報を更新して、セルコンピュータ３ａの通信手段１２を介して、更新されたレチクル収納情報を事象報告データとしてホストコンピュータ２に報告するようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、半導体製造工程管理システムに利用可能であり、特に、レチクル管理とレチクルを使用するフォト工程の業務改善に有効である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係る半導体製造工程管理システムのシステム構成例を示すブロック図
【図２】図１に半導体製造工程管理システムとフォト工程設備との関連、及び、フォト工程設備のシステム構成例を示すブロック図
【図３】本発明に係る半導体製造工程管理システムによるフォト工程において露光処理されるロットがフォト工程設備に搬入されるまでの処理手順を示すフローチャート
【図４】製造工程の処理フローを示すテーブルの一例を示す図
【符号の説明】
【００４０】
１： 半導体製造工程管理システム
２： ホストコンピュータ
３、３ａ： セルコンピュータ
４： 搬送管理コンピュータ
５： 工程設備
５ａ： フォト工程設備
６： 搬送装置
７： レチクル保管庫
８： ネットワーク
９： 記憶手段
１０： 制御情報生成手段
１１： 更新手段
１２： 通信手段
１３： ポート情報生成手段
１４： レチクルゴミ検査制御手段
１５： 塗布装置
１６： 露光装置
１７： 現像装置
１８： レチクルゴミ検査装置
１９： レチクル収納棚
２０： インラインコントローラ
２１： ポート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工程の全体を管理するホストコンピュータと、フォト工程を含む複数の製造工程を処理する各工程設備を個別に管理する１または複数のセルコンピュータと、前記各工程設備間において被製造物の搬送を行う搬送装置を管理する搬送管理コンピュータと、を備えてなる半導体製造管理システムであって、
前記ホストコンピュータは、
複数のロット情報を管理するためのロット情報データと複数の装置情報を管理するための装置情報データと複数のレチクルのレチクル現在位置データとレチクル状態データを管理するためのレチクル情報データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記ロット情報データ及び前記装置情報データから、ロット供給を制御するためのロット選択または複数ロット同時処理するためのバッチ組選択を行い、選択したロットの前記ロット情報データの処理条件データと、前記レチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合して、受入可能な装置の前記装置情報データを抽出し、その中から最適な装置選択を行い、制御情報データと搬送情報データを生成する制御情報生成手段と、
前記記憶手段に記憶された前記ロット情報データ、前記装置情報データ、及び、前記レチクル情報データを、前記フォト工程設備で発生した事象報告データに基づいて自動的に更新する更新手段と、を備え、
前記セルコンピュータは、
前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データをディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記工程設備の内のフォト工程設備に対し前記処理条件データを指示し、前記フォト工程設備で発生した前記事象報告データを受信する通信手段と、
前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの前記装置情報データを照合して、キャリアを搬入するポート情報データを生成するポート情報生成手段と、
前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、前記フォト工程設備へロットが搬入される前に、前記通信手段を介して、前記フォト工程設備に前記レチクルゴミ検査データによる検査指示を行うレチクルゴミ検査制御手段と、を備え、
前記フォト工程設備は、塗布装置、露光装置、現像装置、レチクルゴミ検査装置、レチクル収納棚、及び、これらの装置群を制御管理し、前記フォト工程設備で発生した事象を、前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告するインラインコントローラを備え、
前記搬送管理コンピュータは、前記制御情報生成手段が生成した前記搬送情報データに基づき、前記フォト工程設備へのロットの搬送制御を実行する、
ことを特徴とする半導体製造工程管理システム。
【請求項２】
前記フォト工程設備に搬入予定のロットを処理可能なレチクルが搬入されると、前記インラインコントローラは、前記レチクルの搬入を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告し、
前記ホストコンピュータは、受信した前記事象報告データに基づいて、前記更新手段により前記装置情報データと前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新し、前記制御情報生成手段により、当該フォト工程設備をロット受入可能な装置として抽出することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項３】
前記フォト工程設備において、前記インラインコントローラは、前記セルコンピュータの前記レチクルゴミ検査制御手段から前記検査指示を受け取ると、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行い、前記レチクルゴミ検査装置は、前記レチクルゴミ検査命令に従って、前記レチクル収納棚から検査対象のレチクルを搬送し、レチクルゴミ検査処理を行い、レチクルゴミ検査結果を前記インラインコントローラに報告し、前記インラインコントローラは、前記レチクルゴミ検査結果を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告することを特徴とする請求項１または２に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項４】
前記レチクルゴミ検査結果が合格の場合、
前記セルコンピュータは、前記制御情報データの前記処理条件データを前記ディスパッチ情報データとして前記通信手段を介して前記フォト工程設備の前記インラインコントローラに指示し、
前記ホストコンピュータは、前記制御情報生成手段が生成した前記搬送情報データを、前記搬送管理コンピュータを介して、前記搬送装置に送信して、前記ロットの搬送指示を行い、
前記搬送装置は、前記搬送指示に基づき、前記ロットを前記フォト工程設備に搬入することを特徴とする請求項３に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項５】
前記レチクルゴミ検査結果が不合格の場合、
前記セルコンピュータは、前記ホストコンピュータにレチクルゴミ検査結果が不合格であったこと、及び、前記ディスパッチ情報データをキャンセルしたことを報告し、
前記ホストコンピュータは、前記更新手段により、前記レチクル情報データの前記レチクル状態データを使用不可とし、前記ロット情報データと前記装置情報データを更新して、改めて前記制御情報生成手段により前記ロット選択または前記バッチ組選択を行うことを特徴とする請求項３または４に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項６】
前記フォト工程設備の前記インラインコントローラは、前記セルコンピュータの前記レチクルゴミ検査制御手段から前記検査指示を受け取ると、レチクル検査指示に関する周期管理に基づいて検査周期に達しているか否かを判定し、検査周期に達していれば、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行い、検査周期に達していなければ、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行わずに、前記レチクルゴミ検査結果を合格とし、前記レチクルゴミ検査結果を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告することを特徴とする請求項３〜５の何れか１項に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項７】
前記インラインコントローラは、作業者が前記フォト工程設備の前記インラインコントローラの操作端末からオンライン操作を行うと、前記セルコンピュータの通信手段を介して、オンライン状態になったことを前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、
前記ホストコンピュータは、前記更新手段により、前記装置情報データの通信状態データをオンライン状態に更新することを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項８】
前記フォト工程設備の前記インラインコントローラは、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記レチクル収納棚に存在するレチクルを前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、
前記ホストコンピュータは、前記更新手段により、前記装置情報データと前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新することを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項９】
前記フォト工程設備の前記インラインコントローラは、前記レチクル収納棚に対してレチクルの搬入或いは搬出が行われると、前記レチクル収納棚のレチクル収納情報を更新して、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記レチクル収納情報を前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、
前記ホストコンピュータは、前記更新手段により、前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新することを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項１】
半導体製造工程の全体を管理するホストコンピュータと、フォト工程を含む複数の製造工程を処理する各工程設備を個別に管理する１または複数のセルコンピュータと、前記各工程設備間において被製造物の搬送を行う搬送装置を管理する搬送管理コンピュータと、を備えてなる半導体製造管理システムであって、
前記ホストコンピュータは、
複数のロット情報を管理するためのロット情報データと複数の装置情報を管理するための装置情報データと複数のレチクルのレチクル現在位置データとレチクル状態データを管理するためのレチクル情報データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記ロット情報データ及び前記装置情報データから、ロット供給を制御するためのロット選択または複数ロット同時処理するためのバッチ組選択を行い、選択したロットの前記ロット情報データの処理条件データと、前記レチクル情報データのレチクル現在位置データとレチクル状態データを照合して、受入可能な装置の前記装置情報データを抽出し、その中から最適な装置選択を行い、制御情報データと搬送情報データを生成する制御情報生成手段と、
前記記憶手段に記憶された前記ロット情報データ、前記装置情報データ、及び、前記レチクル情報データを、前記フォト工程設備で発生した事象報告データに基づいて自動的に更新する更新手段と、を備え、
前記セルコンピュータは、
前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データをディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記工程設備の内のフォト工程設備に対し前記処理条件データを指示し、前記フォト工程設備で発生した前記事象報告データを受信する通信手段と、
前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの前記装置情報データを照合して、キャリアを搬入するポート情報データを生成するポート情報生成手段と、
前記通信手段を介して、前記制御情報生成手段が生成した前記制御情報データを前記ディスパッチ情報データとして前記ホストコンピュータから受信し、前記ディスパッチ情報データの選択された装置名とレチクル名からレチクルゴミ検査指示データを生成し、前記フォト工程設備へロットが搬入される前に、前記通信手段を介して、前記フォト工程設備に前記レチクルゴミ検査データによる検査指示を行うレチクルゴミ検査制御手段と、を備え、
前記フォト工程設備は、塗布装置、露光装置、現像装置、レチクルゴミ検査装置、レチクル収納棚、及び、これらの装置群を制御管理し、前記フォト工程設備で発生した事象を、前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告するインラインコントローラを備え、
前記搬送管理コンピュータは、前記制御情報生成手段が生成した前記搬送情報データに基づき、前記フォト工程設備へのロットの搬送制御を実行する、
ことを特徴とする半導体製造工程管理システム。
【請求項２】
前記フォト工程設備に搬入予定のロットを処理可能なレチクルが搬入されると、前記インラインコントローラは、前記レチクルの搬入を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告し、
前記ホストコンピュータは、受信した前記事象報告データに基づいて、前記更新手段により前記装置情報データと前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新し、前記制御情報生成手段により、当該フォト工程設備をロット受入可能な装置として抽出することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項３】
前記フォト工程設備において、前記インラインコントローラは、前記セルコンピュータの前記レチクルゴミ検査制御手段から前記検査指示を受け取ると、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行い、前記レチクルゴミ検査装置は、前記レチクルゴミ検査命令に従って、前記レチクル収納棚から検査対象のレチクルを搬送し、レチクルゴミ検査処理を行い、レチクルゴミ検査結果を前記インラインコントローラに報告し、前記インラインコントローラは、前記レチクルゴミ検査結果を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告することを特徴とする請求項１または２に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項４】
前記レチクルゴミ検査結果が合格の場合、
前記セルコンピュータは、前記制御情報データの前記処理条件データを前記ディスパッチ情報データとして前記通信手段を介して前記フォト工程設備の前記インラインコントローラに指示し、
前記ホストコンピュータは、前記制御情報生成手段が生成した前記搬送情報データを、前記搬送管理コンピュータを介して、前記搬送装置に送信して、前記ロットの搬送指示を行い、
前記搬送装置は、前記搬送指示に基づき、前記ロットを前記フォト工程設備に搬入することを特徴とする請求項３に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項５】
前記レチクルゴミ検査結果が不合格の場合、
前記セルコンピュータは、前記ホストコンピュータにレチクルゴミ検査結果が不合格であったこと、及び、前記ディスパッチ情報データをキャンセルしたことを報告し、
前記ホストコンピュータは、前記更新手段により、前記レチクル情報データの前記レチクル状態データを使用不可とし、前記ロット情報データと前記装置情報データを更新して、改めて前記制御情報生成手段により前記ロット選択または前記バッチ組選択を行うことを特徴とする請求項３または４に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項６】
前記フォト工程設備の前記インラインコントローラは、前記セルコンピュータの前記レチクルゴミ検査制御手段から前記検査指示を受け取ると、レチクル検査指示に関する周期管理に基づいて検査周期に達しているか否かを判定し、検査周期に達していれば、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行い、検査周期に達していなければ、前記レチクルゴミ検査装置にレチクルゴミ検査命令を行わずに、前記レチクルゴミ検査結果を合格とし、前記レチクルゴミ検査結果を前記事象報告データとして、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記ホストコンピュータに報告することを特徴とする請求項３〜５の何れか１項に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項７】
前記インラインコントローラは、作業者が前記フォト工程設備の前記インラインコントローラの操作端末からオンライン操作を行うと、前記セルコンピュータの通信手段を介して、オンライン状態になったことを前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、
前記ホストコンピュータは、前記更新手段により、前記装置情報データの通信状態データをオンライン状態に更新することを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項８】
前記フォト工程設備の前記インラインコントローラは、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記レチクル収納棚に存在するレチクルを前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、
前記ホストコンピュータは、前記更新手段により、前記装置情報データと前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新することを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の半導体製造工程管理システム。
【請求項９】
前記フォト工程設備の前記インラインコントローラは、前記レチクル収納棚に対してレチクルの搬入或いは搬出が行われると、前記レチクル収納棚のレチクル収納情報を更新して、前記セルコンピュータの通信手段を介して、前記レチクル収納情報を前記事象報告データとして前記ホストコンピュータに報告し、
前記ホストコンピュータは、前記更新手段により、前記レチクル情報データの前記レチクル現在位置データを更新することを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の半導体製造工程管理システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１０−１０３５５（Ｐ２０１０−１０３５５Ａ）
【公開日】平成２２年１月１４日（２０１０．１．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１６７３６５（Ｐ２００８−１６７３６５）
【出願日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１月１４日（２０１０．１．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
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