外周体の周期構造体加工方法と外周体の周期構造体加工装置
【課題】外周体に特化して周期構造（微細周期性溝やディンプル溝）の規則性形状を狂わせることなく高精度に整列加工できるようにした外周体の周期構造加工方法とその装置を提供する。
【解決手段】直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体４１内に導き、第一回転筒体内に配置したλ／２板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、第一回転筒体に対して軸芯Ｏ２を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体４９内に配置された集光レンズＲ３と反射ミラーＭとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、反射ミラーの外周囲にチャック手段７で把持された外周体Ｗの外周面Ｗ１を対面させてフェムト秒レーザを照射させ、反射ミラーを備えた第二回転筒体の回転１回転に対してλ／２板を備えた第一回転筒体を１／２回転させ、外周体の外周面に周期性溝を同一方向に整列加工する。
【解決手段】直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体４１内に導き、第一回転筒体内に配置したλ／２板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、第一回転筒体に対して軸芯Ｏ２を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体４９内に配置された集光レンズＲ３と反射ミラーＭとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、反射ミラーの外周囲にチャック手段７で把持された外周体Ｗの外周面Ｗ１を対面させてフェムト秒レーザを照射させ、反射ミラーを備えた第二回転筒体の回転１回転に対してλ／２板を備えた第一回転筒体を１／２回転させ、外周体の外周面に周期性溝を同一方向に整列加工する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フェムト秒レーザ加工機で丸棒体または円筒体または多角体または球体の外周面に周期構造体（ナノ単位の微細周期性溝やディンプル）を加工する加工方法とその装置に係り、特に、外周面（例えば、エンジンにおけるクランクシャフト外周面、ベアリング内輪の外周等）に対する周期構造体の規則性形状を狂わせることなく合理的に整列加工できるようにしたものに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、地球温暖化防止策の最も重要課題として大気汚染の低減を図ることが掲げられている。特に、大気汚染を起している主原因が自動車から出る排気ガスにあることが知られており、国際的な協定が結ばれる中で自動車メーカは競って低公害車を開発している。その行き着くところは、ハイブリッド車、電気自動車、燃料電池車等の開発と実用化による世界的普及が期待されている。このような状況の中で、自動車の燃費改善対策とエンジンの性能・耐久性の向上対策として、エンジンにおけるクランクシャフトの摩擦低減、ベアリングの回転摩擦低減、ギアの噛合い摩擦の低減等の摩擦抵抗を極限まで減らすことが望まれている。上記エンジンの摺動部（摩擦面）又は回転部（転がり面）の表面の摩擦抵抗を極限まで減らす加工方法には、刃具の機械的な外力により表面に微細な凹凸筋の溝加工を施すものと、フェムト秒レーザ加工機でナノ周期構造体（連続した微細周期性溝、不連続のディンプルの窪み）を施す加工技術が注目を集め旺盛に開発されている。また、上記ナノ周期構造体が正しく生成されているか・否か・を判定する観測装置も開発されている。
【０００３】
上記フェムト秒レーザ加工機において、周期構造体（例えば微細周期性溝）を加工する加工方法は、固体材料表面に、低フルーエンスの超短パルスレーザ（フェムト秒レーザ）を偏光制御して照射することで、照射したレーザの波長より小さいサイズの微細構造を形成する。そして、超短パルスレーザを直線偏光させて固体材料表面に照射することで、偏光方向とは直交する方向に沿って細長い微細構造を形成でき、また、円偏光させて照射することで微細構造体が形成される。こうした微細構造のサイズは、照射するレーザの波長と正の相関関係があり、波長を選択することで微細構造のサイズを制御するものが提供されている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００４】
また、フェムト秒レーザがレーザ駆動部から入射されたとき、レーザを複数の光束に分離する回折格子３と、回折格子３によって分離された光束を互いに干渉させるための凸レンズ４，５と、光束が互いに交差し干渉する干渉領域と凸レンズ５との間に配設された円柱レンズ６と、レーザによって加工するため、加工用基材７を干渉領域に配設することができるＸＹＺステージ８を備え、円柱レンズ６が、干渉領域を扁平な領域に整形するとともにエネルギ密度を集中し、加工用基材７と該干渉領域の物質レーザ相互作用によって微細加工することができるものが提供されている（例えば、特許文献２を参照。）。
【０００５】
更に、互いに干渉したフェムト秒レーザ・パルスを、基材に照射することにより、最小平均寸法５〜２００ｎｍを有する周期微細構造を基材中に作成するフェムト秒レーザの照射による一次元及び／または二次元周期微細構造の作成方法であり、特に近赤外領域の発振波長で、０．１ＴＷ／ｃｍ２以上の高密度エネルギーを有し、互いに干渉した２つのフェムト秒レーザ・パルスをシリカガラスに照射することにより、シリカガラス中に、平均幅５〜５０ｎｍを有する周期溝を作成するフェムト秒レーザの照射による一次元周期微細構造の作成方法が提供されている（例えば、特許文献３を参照。）。
【０００６】
また、更には、溶接ヘッドの旋回駆動機構に、ロータリエンコーダからなる位置センサを取り付け、他方、各層毎の溶接工程におけるアークスタートおよびアークエンドの位置をあらかじめラップすることがないように設定できる位置決めユニットを設け、この位置決めユニットに前記位置センサを接続し、位置決めユニットには、前記各層毎の溶接工程を順に制御するシーケンスコントローラを接続し、前記位置センサからの検出信号に基いて位置決めユニットおよびシーケンスコントローラを介して多層溶接により継手溶接を行うようにしたものが提供されている（例えば、特許文献４を参照。）。
【０００７】
そして、本発明の目的により近い技術として、金属対象表面の摩擦抵抗を現状以上に低減することを可能としたものが提供されている。この金属摺動面表面処理装置によると、金属対象物の摺動面にフェムト秒レーザを照射して微細周期構造を形成し、これにより当該摺動面の摩擦抵抗を低減させる構成となっているので、その性質上、加工サイズの均一性が大きく制御性も高いことから、金属対象物の摺動面の摩擦抵抗を現状以上に低減することが可能になる。また、どのような大きさ、形状、材質の金属対象物であってもその摺動面の摩擦抵抗を低減させることが可能であることから、摺動面を有する機械部品の性能を向上させる上で大きなメリットがある。（例えば、特許文献５を参照。）。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−２１１４００号公報
【特許文献２】特開２００３−３３４６８３号公報
【特許文献３】特開２００３−５７４２２号公報
【特許文献４】特開平６−３２０２７０号公報
【特許文献５】特開２００４−３６００１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記各公知例において、フェムト秒レーザによる周期構造体（例えば微細周期性溝）の加工方法は、一次元の平面板の表面にフェムト秒レーザを照射して上記微細周期性溝を生成させる技術内容であるから、三次元形状をしているシリンダ内壁面やベアリングの内輪・外輪の摺動面に対する上記微細周期性溝を生成させることはできない。また、他の公知例（特開平６−３２０２７０）は、鉄筋の継手溶接を多層溶接により自動溶接する方法であって、各層毎の溶接アークのスタート位置およびエンド位置がラップすることがないように制御するものであり、溶接ヘッドを旋回駆動機構により円柱状ワークの周り、即ち、外周を旋回移動させるものであるから、本願発明のように比較的細い軸径からなる外筒面に微細周期性溝を加工する省スペースを要求される加工ヘッドには、直ちに適用できないという問題点がある。
【００１０】
そして、上記フェムト秒レーザ発振器の出力が高くなれば加工点での集光スポット径を大きくすることができ、ナノ単位の微細周期性溝を一度に広範囲に加工できる。しかし、上記微細周期性溝に替えて、ディンプル加工など一点を集中的に加工しようとすれば、通常の加工方法では機械軸や光学系がその都度加工したい位置に集光点が届くように移動する必要がある。この方法では、加工時間が長くなって加工を短縮させることが困難になる。更に、金属摺動面表面処理装置では、平面状の金属板の表面に微細周期構造を成形させるに止まっている。これがために、外周体となるクランクシャフトの軸部、丸棒やカム、ベアリングの外周面のような三次元曲面に周期構造体を成形させることが出来ない。
【００１１】
本発明の課題は、上記従来のフェムト秒レーザにより周期構造体を加工する加工方法やその装置、更には金属摺動面表面処理装置が持つ問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、特に、三次元曲面を持つ丸棒体または円筒体または多角体または球体の外周面に特化し、これに周期構造体（ナノ単位の微細周期性溝やディンプル）の規則性形状（溝の同一方向性）を狂わせることなく高精度・高効率に整列加工できるようにした加工方法とその装置を提供するものである。より具体的には、丸棒状の外周面となるクランクシャフトや内筒体となるベアリング内輪の外周面のような三次元曲面に微細な周期構造体（ナノ単位の微細周期性溝やディンプル）を成形させる方法と装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の請求項１の外周体の周期構造体加工方法は、フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体内に導き、第一回転筒体内に配置されたλ／２板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、上記第一回転筒体に対して軸芯を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体内に配置された集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外周体の外周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記反射ミラーを備えた上記第二回転筒体の回転１回転に対して上記λ／２板を備えた上記第一回転筒体を１／２回転させ、上記両筒体の回転に同期させながら上記外周体を上記反射ミラーの外周囲に自転停止状態で公転させて上記外周体の外周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項２の外周体の周期構造体加工方法は、請求項１記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体が把持されたチャック手段をＺ軸駆動手段により外周体の軸芯方向に連続移動または間欠移動させ、上記フェムト秒レーザを上記外周体の外周面に所定幅だけ照射することを特徴とするものである。
【００１４】
請求項３の外周体の周期構造体加工方法は、請求項１または２記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記反射ミラーに向かうフェムト秒レーザを第二回転筒体内であって集光レンズの前側に配置されたディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーに入射させることにより、上記外周体の外周面にディンプルまたは混合の周期構造体を形成することを特徴とするものである。
【００１５】
請求項４の外周体の周期構造体加工方法は、請求項１または２または３記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である。
【００１６】
請求項５の外周体の周期構造体加工装置は、フェムト秒レーザ発振器と、上記フェムト秒レーザ発振器からの直線偏光のフェムト秒レーザを導入する回転可能な第一回転筒体と、上記第一回転筒体内に配置され上記フェムト秒レーザの偏光方向を変化させるλ／２板と、上記第一回転筒体に回転軸芯を合わせて配置される第二回転筒体と、上記第二回転筒体内に配置されフェムト秒レーザを集光させる集光レンズと、上記第二回転筒体筒の先端に配置されフェムト秒レーザを外径方向に屈折させる反射ミラーと、上記第二回転筒体の回転１回転に対して上記第一回転筒体を１／２回転させる回転駆動手段と、外周体を所定位置に把持するチャック手段と、上記チャック手段に設けられ外周体を上記反射ミラーの周りに公転駆動するＹ軸駆動手段及びＸ軸駆動手段と、を具備したことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項６の外周体の周期構造体加工装置は、請求項５記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記チャック手段を軸芯方向に進退させるＺ軸駆動手段を具備したことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項７の外周体の周期構造体加工装置は、請求項５または６記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記第二回転筒体内であって集光レンズの前側にディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを配置したことを特徴とするものである。
【００１９】
請求項８の外周体の周期構造体加工装置は、請求項５または６または７記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である。
【００２０】
請求項９の外周体の周期構造体加工方法は、フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを筒体内へ導き、筒体内の集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外筒体の外周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記外周体を回転させてこの外周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とするものである。
【００２１】
請求項１０の外周体の周期構造体加工方法は、請求項９記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体が把持されたチャック手段をＺ軸駆動手段により上記外周体の軸芯方向に連続移動または間欠移動させ、上記フェムト秒レーザを上記外周体の外周面に所定幅だけ照射させることを特徴とするものである。
【００２２】
請求項１１の外周体の周期構造体加工方法は、請求項９または１０記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記反射ミラーに向かうフェムト秒レーザを筒体内であって集光レンズの前側に配置されたディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーに入射させることにより、上記外周体の外周面にディンプルまたは混合の周期構造体を形成することを特徴とするものである。
【００２３】
請求項１２の外周体の周期構造体加工方法は、請求項９または１０または１１記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体であることを特徴とするものである。
【００２４】
請求項１３の外周体の周期構造体加工方法は、請求項４または１２記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体が球体であって、上記球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントを、球体の頂点から次第に旋回径を大きくするスパイラル状の加工軌跡としたことを特徴とする。
【００２５】
請求項１４の外周体の周期構造体加工方法は、請求項４または１２記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体が球体であって、上記球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントを、球体の片側縁から始まり他側縁へと１ピック送りしつつ球体の外径方向に往復移動させる往復移動軌跡としたことを特徴とするものである。
【００２６】
請求項１５の外周体の周期構造体加工装置は、フェムト秒レーザ発振器と、上記フェムト秒レーザ発振器からの直線偏光のフェムト秒レーザを導入する筒体と、上記筒体内に配置され直線偏光のフェムト秒レーザを集光させる集光レンズと、上記筒体先端側に配置されフェムト秒レーザを外径方向に屈折させる反射ミラーと、上記外周体を所定位置に把持するチャック手段と、上記チャック手段に設けられ外周体を回転駆動させるワーク回転駆動部と、を具備したことを特徴とするものである。
【００２７】
請求項１６の外周体の周期構造体加工装置は、請求項１５記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記チャック手段を外周体の軸芯方向に進退させるＺ軸駆動手段を具備したことを特徴とするものである。
【００２８】
請求項１７の外周体の周期構造体加工装置は、請求項１５または１６記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記筒体内であって集光レンズの前側にディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを配置したことを特徴とするものである。
【００２９】
請求項１８の外周体の周期構造体加工装置は、請求項１５または１６または１７記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体であることを特徴とするものである。
【００３０】
本発明の外周体の周期構造体加工方法とその装置は上記構成要件からなり、以下のように作用する。
第１に、請求項１〜８において、外周体の三次元曲面にナノ単位の周期構造体を加工する方法と装置は、フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザは、第一回転筒体内に導かれ、これに備えた第一回転筒体内の光学偏光素子となるλ／２板で上記フェムト秒レーザが直線偏光され、更に、上記第一回転筒体に回転可能とした第二回転筒体内の集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進むフェムト秒レーザとなる。これで、フェムト秒レーザは、上記反射ミラーの外周にチャック手段で把持された外周体に照射される。ここで、上記第一回転筒体を上記第二回転筒体の１／２の回転量で両筒体を回転駆動手段により回転駆動させ、上記外周体を上記反射ミラーの外周囲に自転停止状態で公転させると、上記外周体の外周面に微細周期性溝（例えば、溝幅＝数百ｎｍ）が同一方向に整列加工される。
更に、上記加工において、外周体を把持するチャック手段をＺ軸駆動手段により第二回転筒体の軸芯方向へ連続移動または間欠移動させることにより、上記フェムト秒レーザが外周体に所定幅だけ照射される。これで、外周体（丸棒体または円筒体または多角体等の加工対象物の意味）には、微細周期性溝が同一方向に所定幅だけ整列加工されることになる。また、その加工方法も簡単な加工装置で実行される。
【００３１】
第２に、特に、請求項３と７において、上記第１の周期構造体を加工する方法と装置において、反射ミラーよりも光源側にディンプル用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを介在させることで、フェムト秒レーザの直線偏光を複数のスポット状に補正して集光させることができるから、微細周期性溝に替えてディンプル（例えば、穴径＝数十μｍ）または両溝が混合した周期構造体が任意寸法の加工幅に多数加工される。また、その加工も簡単な加工装置で実行される。更には、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体等の加工対象物とすることができるから、これらの各外周面に、所望の周期構造体を加工することができる。
【００３２】
第３に、請求項９〜１８において、外周体の三次元曲面にナノ単位の周期構造体を加工する方法と装置は、フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザは、固定された筒体内へ導かれ、この筒体内に備えた集光レンズで集光されつつ先端部の反射ミラーにより外径方向に進むフェムト秒レーザとなる。そして、上記フェムト秒レーザは、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外周体に向けて照射される。ここで、上記チャック手段で把持した外周体を反射ミラーの外周囲の所定位置で自転（回転）させると、反射ミラーから外周体に照射される直線偏光の向きが変化せず、外周体に微細周期性溝（例えば、溝幅＝数百ｎｍ）が同一方向に整列加工される。
更に、上記加工において、外周体をチャック手段で把持し、このチャック手段をＺ軸駆動手段により軸芯方向へ連続移動または間欠移動させると、上記フェムト秒レーザが外周体に所定幅だけ照射される。これで、外周体には、微細周期性溝が同一方向に所定幅だけ整列加工されることになる。また、その加工方法も簡単な加工装置で実行される。
更に、球体の加工において、球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントの移動は、球体を、球体の片側縁から始まり他側縁へと１ピック送りしつつ球体の外径方向に往復移動させたり、球体の頂部から外周に向けて渦巻き状に円周径を広げる旋回移動させることにより、球体が加工される。尚、レーザ加工ヘッドを移動させても良い。
【００３３】
第４に、特に、請求項１１と１７において、上記周期構造体を加工する方法と装置は、反射ミラーよりも光源側にディンプル用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを介在させることで、フェムト秒レーザの直線偏光を複数のスポット状に補正して集光させることができるから、微細周期性溝に替えてディンプル（例えば、穴径＝数十μｍ）または両溝が混合した周期構造体が任意寸法の加工幅に多数加工される。また、その加工も簡単な加工装置で実行される。更には、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体等の加工対象物とすることができるから、これらの各外周面に、所望の周期構造体を加工することができる。
【００３４】
かくして、上記外周体には、微細周期性溝またはディンプル及びこれらを混合した周期構造体が効率良く加工させられる。これにより、上記外周体が、例えば、クランクシャフトの軸であれば、この軸に周期構造体が形成される。この周期構造体を施したエンジンにおけるクランクシャフトとピストンコンロッドとの接触面には、多数の凹溝に潤滑油が溜まってクランクシャフトとピストンコンロッド間の摩擦抵抗を極限まで減らすことが可能になり、自動車の燃費改善が最大限に図られる。勿論、その他の各種機器・部品の外周体に対する加工が行なえる。
【発明の効果】
【００３５】
請求項１〜８によると、第一回転筒体と第二回転筒体とが回転駆動手段により回転軸線を軸芯にして１回転されるに際して、上記λ／２板を、上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させることで、上記フェムト秒レーザを各種の外周体に対する外面に照射回転して微細周期性溝が同一方向に整列加工できる。しかして、エンジンにおける摩擦抵抗をはじめとして、ベアリングの回転摩擦抵抗を極限まで減らすことができる。
【００３６】
更に、λ／２板と反射ミラーとの間に配置したディンプル用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーにより，フェムト秒レーザの直線偏光を集光させられるから、各種の周期構造体を外周体に効率良く加工でき、多数の溝に潤滑油が溜まってエンジンにおける摩擦抵抗を極限まで効率良く減らすことができる。
【００３７】
請求項９〜１８によると、筒体を固定しλ／２板を使用することなく、チャック手段を備え、これを回転させるワーク回転駆動部とＺ軸駆動手段の進退移動だけの制御で良いから、極めて簡単な装置と加工方法となり、外周体のような三次元曲面に各種形状の周期構造体を加工することができる。特に、球体に対する加工も円滑に実施できる。その他の効果は、上記第１の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置と同様な効果が期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明による外周体の周期構造加工方法とその装置について、図示の第１の実施の形態により説明する。図１は外周体に対する周期構造体の加工装置の全体構成図、図２は反射ミラー部の概要断面図、図３と図４はレーザ加工ヘッドの断面図と要部拡大図、図５はλ／２板の拡大写真図、図６はλ／２板と反射ミラーとの作用図、図７は微細周期性溝を加工するレーザ加工ヘッドの構成図、図８はディンプルを加工するレーザ加工ヘッドの構成図、図９はホモジナイザーの構成図、図１０は進退駆動手段による移動方法と加工軌跡の説明図、図１１は微細周期性溝の拡大写真図、図１２はディンプルの拡大写真図である。
【００３９】
図１〜図３により、本発明の第１の実施の形態（位相板を備えた形態）の外周体の周期構造体加工装置１００の概要を説明する。その構成は、直線偏光のフェムト秒レーザＬＯを発振するフェムト秒レーザ発振器１０と、加工装置の中枢部となるレーザ加工ヘッド２０と、外周体のワークを把持するとともに三次元方向（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸の三方向）に移動させるワーク制御テーブル３と、からなる。尚、外周体とは、外周をレーザ加工する丸棒体または円筒体または多角体等の加工対象物を意味する。まず、上記フェムト秒レーザ発振器１０とレーザ加工ヘッド２０とは、防振台１の基盤２上に水平姿勢の横向きに搭載されている。上記フェムト秒レーザ発振器１０は、公知なものであるから詳細構成を省略して概要説明すれば、発振源となるレーザ発振部１０Ａとこの発振を調整するファイバーレーザ発振器１０Ｂとパルスストレッチャー１０ＣとＴｉ：ｓａｐｐｈｉｒｅ再生増幅器１０Ｄとパルスコンプレッサー１０Ｅとレーザパワー減衰器１０Ｆと励起用パルスグリーンレーザ１０Ｇと電源制御部１０Ｈと筐体温度安定化用冷却装置１０Ｉとにより構成されている。上記レーザ加工ヘッド２０は、その入力側にフェムト秒レーザＬＯを受け入れ任意に出力遮断（出力制御）する電磁式のシャッターＳＴを装備したレーザ出力部２０Ａが繋がれている。また、上記レーザ加工ヘッド２０の出力側には、外筒４９Ａと内筒４９Ｂとを備え、外周体（例えば、エンジンにおけるクランクシャフト外周面、ベアリング内輪の外周面等）Ｗを外側から被せている。
【００４０】
上記外周体Ｗは、上記レーザ加工ヘッド２０に対して別設したワーク制御テーブル３上のチャック手段７に把持されている。上記ワーク制御テーブル３は、チャック手段７に着脱自在に把持された外周体ＷをＸ軸方向（図示の前後方向）に移動させるＸ軸駆動手段３０と、これに搭載されて外周体ＷをＺ軸方向（図示の左右方向）に移動させるＺ軸駆動手段９と、このＺ軸駆動手段９上のコラム９Ａに搭載されてＹ軸方向（図示の上下方向）に移動させるＹ軸駆動手段５と、この前面壁に搭載したワーク回転駆動部５Ａと、この前部に配置したチャック手段７とからなる。しかして、上記外周体Ｗは、上記レーザ出力部２０Ａの軸芯（回転中心）Ｏ１に対してその軸芯（回転中心）Ｏ２を一致させるべく、Ｙ軸駆動手段５と、これを左右Ｘ軸の方向に移動させるＸ軸駆動手段３０との合成された微動送りで位置合わせが行われる。また、上記レーザ出力部２０Ａに対する外周体Ｗの挿入深さ位置ＺＡは、上記Ｘ軸駆動手段３０に搭載されたＺ軸駆動手段９を前後方向となる−Ｚ軸方向（図示の左側方向）又は＋Ｚ軸方向（図示の右側方向）へ微動させて行う。更に、上記外周体Ｗを、上記レーザ加工ヘッド２０の先端における内筒４９Ｂの外周でフェムト秒レーザＬＯの照射を受けながら回転ＲＯさせるには、Ｙ軸駆動手段５上のワーク回転駆動部５Ａでチャック手段７を回転制御モータＭＭにより回転駆動させて行われる。上記上下のＹ軸と左右のＸ軸と前後のＺ軸の各駆動は、ガイドレール部材Ｇ１, Ｇ２, Ｇ３とＹ軸送りのモータＭ１及びＺ軸送りのモータＭ２，Ｘ軸送りのモータＭ３により行われる。
【００４１】
また、上記外周体の周期構造体加工装置１００には、上記各モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３，ＭＭやシャッターＳＴ及び後記する回転駆動手段ＳＤの駆動モータＭＯ等を駆動制御する制御手段２００を備えている。この制御手段２００の概要構成と機能につてい説明する。まず、周期構造体加工装置１００の全体を総括的にコンピュータ管理するとともに装置全体の運転制御を支配する中央制御部ＣＰＵと、この中央制御部ＣＰＵからの指令で各モータＭＯ，Ｍ１, Ｍ２，Ｍ３，ＭＭやＳＴの駆動制御をプログラム及び運転させるＰＣ制御機能を備えたＮＣ制御部ＮＣと、ＮＣ制御部ＮＣからの指令を受けて各モータＭＯ，Ｍ１, Ｍ２，Ｍ３，ＭＭやＳＴを駆動する駆動部ＤＤとからなる。これらの機能を備えた上記制御手段２００の制御のもとに、各ユニット３，５，９，１０，２０，３０，Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，ＭＭやＳＴの駆動部ＤＤを作動させる。これで、上記光学偏光素子となるλ／２板Ｐが設けられた第一回転筒体４１を、反射ミラーＭが設けられた第二回転筒体４９に対して１／２の回転量で回転駆動させる回転駆動手段ＳＤ（詳細は後記する）が駆動モータＭＯで駆動される。これで、フェムト秒レーザＬＯの直線偏光の偏光方向の向きを変えることなく外周体Ｗの内周面Ｗ１に照射して周期性溝ＫＭが同一方向に整列加工される。更に、上記外周体Ｗは、これを把持具７で支持するＹ軸駆動手段５を乗せたＺ軸駆動手段９により第二回転筒体４９の軸芯方向Ｏ１に外周体Ｗの軸芯方向Ｏ２を移動させることで、上記フェムト秒レーザＬＯを外周体の外周面に所定幅だけ照射させ、微細周期性溝が所定幅だけ整列加工される。更には、Ｙ軸駆動手段５や第一回転筒体４１及び第二回転筒体４９とを、一定の関係の基に回転させることも可能であるし、Ｚ軸駆動手段９の進退制御と絡めての三次元形状の外周体の外周面に倣う制御運転が可能である。
【００４２】
続いて、上記レーザ加工ヘッド２０について、図３と図４でその中枢部となる第一回転筒体４１を第二回転筒体４９の１／２の回転量で両筒体を回転駆動させる回転駆動手段ＳＤと、両筒体内に設けた光学系を説明する。先ず、上記防振台１の基盤２上には、上記レーザ加工ヘッド２０を水平姿勢に支持する支持体４０がその回転軸芯Ｏ１を水平方向にして、座板４０ＡをボルトＢにより固着されている。上記支持体４０内の後端側（図示の右端）には、短身で回転自在な第一回転筒体４１が軸受手段を介して支持されており、この第一回転筒体４１のレーザ光源側が軸受手段を介した連絡筒４２によりレーザ出力部２０Ａに繋がれている。上記連絡筒４２には、光学系となる平凹レンズＲ１を備え、上記第一回転筒体４１の筒内先端には、平凸レンズＲ２・光学偏光素子となるλ／２板Ｐが取り付けられている。更に、上記支持体４０内の先端側（図示の左端）には、第二回転筒体４９が軸受手段を介して支持されており、第一回転筒体４１と第二回転筒体４９とは、回転駆動手段ＳＤにより回転される。即ち、第一回転筒体４１の外周にプーリー４３を備え、これが駆動モータＭＯの回転軸４７に取り付けたプーリー４４（プーリー４３の１／４の歯数）と確動ベルトＫＢ１で繋がれている。尚、上記駆動モータＭＯは、支持体４０から突設したフランジ４６に保持され、回転軸４７が上記支持体４０に取り付けた軸受体４８に回転自在に支持されている。上記支持体４０内の先端側（外周体Ｗ側）には、短身で回転自在な第二回転筒体４９が軸受手段を介して支持されている。上記第二回転筒体４９の外周にプーリー５０を備え、これが駆動モータＭＯの回転軸４７に取り付けたプーリー５１（プーリー５０の１／２の歯数）と確動ベルトＫＢ２で繋がれている。これにより、第二回転筒体４９は第一回転筒体４１の１／２の回転量で両筒体が回転駆動される。上記第二回転筒体４９の筒内の後端側には、光学系のアイリスＡ２・三連スライド式のホモジナイザーＨ（エネルギー効率を改善する周期性溝用ホモジナイザーＨ１とディンプル加工用ホモジナイザーＨ２と両者の混合加工用ホモジナイザーＨ３の三種類に切替え選択される）・平凸レンズＲ３が順次に配置されている。また、上記第二回転筒体４９の先端部には、外筒４９Ａとこの軸芯Ｏ１方向にスライドする内筒４９Ｂとが連設され、この内筒４９Ｂの先端には、反射ミラーＭがフェムト秒レーザＬＯを外径方向へ屈折するようにダイアル取付具Ｄにより角度調節可能に配置されている。しかして、上記反射ミラーＭは、外周体Ｗの外周面に向けた外径方向にフェムト秒レーザＬＯを直線偏光として照射される。尚、外筒４９Ａに対してスライドする内筒４９Ｂは、反射ミラーＭに対するフェムト秒レーザＬＯの焦点距離を調節させる機能を持たせている。
【００４３】
上記レーザ加工ヘッド２０において、光学系の全体構成の概要を説明する。まず、上記外周体Ｗの外周面Ｗ１に微細周期性溝ＫＭを加工する場合は、図３と図６と図７に示すように、フェムト秒レーザ発振器１０のレーザ出力部２０Ａからのフェムト秒レーザＬＯは、アイリスＡ１・シャッターＳＴ・平凹レンズＲ１を介して進み、更に、レーザ加工ヘッド２０の第一回転筒体４１内の平凸レンズＲ２とλ／２板ＰとアイリスＡ２を介して進み、更に、第二回転筒体４９内の周期性溝用ホモジナイザーＨ１から平凸レンズ（集光レンズ）Ｒ３を介して先端の反射ミラーＭに至る。上記周期性溝用ホモジナイザーにする理由は、上記フェムト秒レーザ光ＬＯのエネルギー波形は、図９（b ）に示す山形の二次曲線のもので両裾のエネルギーが利用されない。そこで、図９（c ）に示すように、その特性を改善する周期性溝用ホモジナイザーＨ１によりエネルギー分布を矩形に整形し、エネルギー効率を限り無く１００％にすることが可能だからである。従って、エネルギー効率を問題にしなければ、上記周期性溝用ホモジナイザーＨ１は省略することも可能である。続いて、反射ミラーＭで外径方向に曲げられたフェムト秒レーザＬＯは、外周体Ｗの周面Ｗ１に直線偏光の形（直径２mm前後）で照射される。即ち、フェムト秒レーザ光ＬＯによる微細周期性溝ＫＭの溝方向と加工面積は、フェムト秒レーザの偏光方向とフル−エンス（レーザ出力のエネルギー）に依存されるから、これらを制御しなければならない。従って、本発明の周期構造体加工装置１００のように、三次元形状の外周体Ｗの外周面Ｗ１を加工するに際して、フル−エンス（レーザ出力のエネルギー）が一定した状態では、フェムト秒レーザ光ＬＯの直線偏光の方向を反射ミラーＭの回転に伴って制御しなければならない。具体的には、上記第一回転筒体４１の光学経路上に入れた上記λ／２板Ｐを、第二回転筒体４９内の反射ミラーＭとの回転位置の調節により、フェムト秒レーザＬＯの直線偏光の方向が制御される。即ち、図６に示すように、反射ミラーＭの１回転（θh ）に対して、λ／２板Ｐを半回転θp
させることで外周体Ｗの外周面に一様な方向（図示では、外周体Ｗの軸芯方向にほぼ向けて整列させた方向）に微細周期性溝ＫＭが加工される。（図６と図７を参照）
【００４４】
上記λ／２板Ｐの追記説明をすれば、上記フェムト秒レーザＬＯは、光束に直交する方向の偏光成分（Ｓ成分とＰ成分）を持っている。この偏光成分に位相差（１／４波長と１／２波長分に変化）を与えるものが位相板である。位相差π／２（90°）を与えるものをλ/4板と言い、直線偏光を円偏光に、逆に円偏光を直線偏光に変換する。また、位相差π（180 °）を与えるものをλ／２板と言い、直線偏光の偏光方向のみを９０°方向の向きに変える。本発明では、λ／２板Ｐが使用される。このλ／２板Ｐは、例えば、図５の拡大写真に示すように、平面ガラス板Ｇの一部分に屈折率、厚さの等方性の透明薄膜Ｇ１を付けたもの、または透明薄膜の付いた部分と付かない部分とを透過する光の間に位相差ができるようにしたものである。従って、上記直線偏光のフェムト秒レーザＬＯが、λ／２板Ｐと反射ミラーＭを通過して外周体Ｗの外周面Ｗ１に照射される直線偏光との関係を図６で説明する。フェムト秒レーザ光ＬＯの偏光方向に対して、λ／２板Ｐを回転させることでこのλ／２板Ｐを通過するフェムト秒レーザ光ＬＯの偏光方向をその回転角量だけ変えられる。従って、反射ミラーＭを回転させて、外周体Ｗの外周面Ｗ１を加工するには、図６に示すように、反射ミラーＭの２回転（θh ）に対して、λ／２板Ｐを１回転（θp ）させることで外周面に一様な方向に整列された微細周期性溝ＫＭが加工される。
【００４５】
次に、上記外周体Ｗの外周面にＷ１にディンプルＤＰを加工する場合は、図３と図６と図８に示すように、フェムト秒レーザ発振器１０のレーザ出力部２０Ａからのフェムト秒レーザ光ＬＯは、アイリスＡ１・シャッターＳＴ・平凹レンズＲ１を介して進み、更にレーザ加工ヘッド２０の第一回転筒体４１内の平凸レンズＲ２とλ／２板Ｐ、アイリスＡ２・ディンプル加工用ホモジナイザーＨ２を介して進み、更に第二回転筒体４９内の平凸レンズ（集光レンズ）Ｒ３を介して先端の反射ミラーＭに至る。この後、反射ミラーＭで外径方向に曲げられたフェムト秒レーザ光ＬＯは、外周体Ｗの外周面Ｗ１に照射される。即ち、フェムト秒レーザＬＯによるディンプルＤＰは、外周体Ｗの外周面を加工するに際して、光学経路上の第二回転筒体４９内にディンプル加工用ホモジナイザーＨ２を入れたフェムト秒レーザＬＯにより、ディンプルＤＰが加工される。上記ディンプル加工用ホモジナイザーＨ２は、図９（ａ）に示すように、一種のホログラムであり、集光部のエネルギー分布を制御する。即ち、ディンプル加工用ホモジナイザーＨ２は、その表面に微細な凹凸があり、この凹凸を通過するフェムト秒レーザＬＯの光が回折し、多数のエネルギー分布（エネルギー密度の高い複数のスポットＳ１〜Ｓ６）を生じさせる。このエネルギー分布により、図８に示すようなディンプルＤＰが加工される。尚、微細周期性溝ＫＭとディンプルＤＰとを混合加工する混合加工用ホモジナイザーＨ３に切替えれば、図９（ｄ）に示すように、均一なエネルギー分布ＳＯとエネルギー密度の高い複数のスポットＳ１〜Ｓ６とが存在し、微細周期性溝ＫＭとディンプルＤＰとが混在した複合加工ができる。
【００４６】
しかして、再度、レーザ加工ヘッド２０の構成を簡潔に説明すれば、図７（ａ）に示すように、外周体Ｗの外周面に一様な方向に微細周期性溝ＫＭを整列加工するには、図７（ｂ）に示すレーザ加工ヘッド２０の光学系の構成とする。また、図８（ａ）に示すディンプルＤＰを一様な方向に整列加工するときは、図８（ｂ）に示すレーザ加工ヘッド２０の光学系の構成とする。尚、上記ディンプル加工用ホモジナイザーＨ２無しでの実施時は、フェムト秒レーザＬＯのエネルギー分布を一点に集中させ、１つづつのディンプルＤＰの加工も可能だが、加工能率が悪いので実用的とは言えない。
【００４７】
本発明の外周体の周期構造体加工方法とその装置は、上記構成要件からなり、以下のように作用する。
先ず、上記外周体Ｗの周期構造体加工方法は、レーザ加工ヘッド２０において、λ／２板ＰとホモジナイザーＨ１と反射ミラーＭとの作用を受けて外周体Ｗに向けてフェムト秒レーザＬＯを照射して微細周期性溝ＫＭが加工される。即ち、図２〜図４，図７に示すように、レーザ出力部２０Ａは、支持体４０に第一回転筒体４１と第二回転筒体４９とを備え、第一回転筒体４１のλ／２板Ｐにフェムト秒レーザ光ＬＯを通過させホモジナイザーＨ１でエネルギー分布が改善された制御可能な直線偏光となる。続いて、上記第二回転筒体４９の反射ミラーＭによりフェムト秒レーザＬＯが回転軸線Ｏ１の方向から外径方向の外周に向けて進み、外周体Ｗの外周面Ｗ１に向けて照射される。このとき、上記第一回転筒体４１と第二回転筒体４９とが回転駆動手段ＳＤにより回転θ３（θｐ，θｈ）される。即ち、図６の作用説明図に示すように、第二回転筒体４９が１回転θ３されるに際して、上記λ／２板Ｐを上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させるとともに、上記チャック手段に把持された外周体Ｗは、Ｙ軸駆動手段５及びＸ軸駆動手段３０で合成移動されることで、上記反射ミラーの外周囲の一定の半径位置に自転停止状態で公転θ２させる。これで、上記フェムト秒レーザＬＯは、上記外周体Ｗが上記反射ミラーの外周囲を公転するとき、その外周面Ｗ１の全周に照射してナノ周期構造の微細周期性溝ＫＭを同一方向に整列加工する。
【００４８】
また、上記加工において、外周体をチャック手段で支持するＹ軸駆動手段５を乗せたＺ軸駆動手段９を軸芯方向Ｏ２へ連続移動または間欠移動させると、上記フェムト秒レーザが外周体に所定幅だけ照射される。これで、外周体に、微細周期性溝が同一方向に所定幅だけ整列加工されることになる。その加工結果は、図７に示すものとなる。即ち、フェムト秒レーザＬＯは、円形状（２mm前後のビーム幅Ｌ）をなし、これを外周体Ｗの外周面Ｗ１に向けて照射するとともに、上記λ／２板Ｐを上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させることで、連続した周期性の微細周期性溝（２mm前後の加工幅Ｌ）ＫＭが同一方向に整列加工される。尚、上記作用において、外周体Ｗの軸芯Ｏ２方向への微細周期性溝ＫＭの加工幅は、該外周体Ｗを支持するチャック手段をＺ軸駆動手段９によりその＋Ｚ軸方向へ前進させた幅に一致する。
【００４９】
しかして、外周体Ｗの外周面Ｗ１には、図１０に示すように、Ｚ軸駆動手段９の２通りの移動方法とその加工軌跡Ｋ１，Ｋ２による加工が行なわれる。即ち、図１０（ａ）は、第二回転筒体４９の一回転θ３及び外周体Ｗの一公転θ２毎に、Ｚ軸駆動手段９を所定量毎の１ピック送りを繰り返した間欠移動の加工軌跡Ｋ１により、外周面Ｗ１に対して周期構造体を所定幅に加工するものである。また、図１０（ｂ）は、第二回転筒体４９の一回転θ３及び外周体Ｗの一公転θ２毎に、Ｚ軸駆動手段９を所定量の１ピック送りをネジ棒送りのように連続移動したスパイラル状の加工軌跡Ｋ２で加工するものである。これにより、外周面Ｗ１に対して周期構造体を所定幅に加工される。しかして、任意寸法の加工幅にナノ周期構造の微細周期性溝ＫＭやディンプルＤＰが加工される。尚、上記微細周期性溝ＫＭの加工幅Ｌは、フェムト秒レーザ光ＬＯの出力に比例的に広くなる。図１１に微細周期性溝ＫＭの拡大した顕微鏡写真を示している。
【００５０】
続いて、上記外周体の周期構造体加工方法とその装置１００は、図２，図３，図８に示すように、λ／２板Ｐと反射ミラーＭとの間にホモジナイザーＨ２を配置した実施例とすることができる。この時のフェムト秒レーザ光ＬＯのエネルギー断面は、図８に示すように、エネルギー密度の高いスポットＳ１〜Ｓ６が数点見られる。ここで、上記と同様に、第二回転筒体４９が１回転θ３されるに際して、上記λ／２板Ｐを上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させるとともに、上記外周体を上記反射ミラーの外周囲の一定の半径位置に自転停止状態で公転θ２させると、上記フェムト秒レーザＬＯを外周体の外周面の全周に照射回転して周期構造体のディンプルＤＰが同一方向に整列加工される。更に、上記加工において、外周体を支持するチャック手段７とこれを回転させるワーク回転駆動部５ＡとこのＹ軸駆動手段５とを乗せたＺ軸駆動手段９が軸芯方向Ｏ２へ連続移動または間欠移動されると、上記フェムト秒レーザが外周体に所定幅だけ照射される。これで、外周体に、ディンプルＤＰが同一方向に所定幅だけ整列加工されることになる。その加工結果は、図８に示すものとなる。
【００５１】
これにより、上記微細周期性溝ＫＭ以外のディンプルＤＰが外周体Ｗに効率良く加工される。上記外周体Ｗの軸芯方向へのディンプルＤＰの加工幅は、該外周体Ｗを把持チャック手段をワーク回転駆動部５Ａによる回転状態において、Ｚ軸駆動手段９を＋Ｚ軸方向へ前進させた幅に一致する。しかして、外周体Ｗの外周面Ｗ１には、任意寸法の加工幅にディンプルＤＰが並べられて間欠移動又はネジ送りのようにスパイラル状に加工される。図１０に、進退テーブル９の二つの移動方法と加工軌跡加工方法を説明する。図１２にディンプルＤＰの一つを拡大した顕微鏡写真を示している。
【００５２】
従って、上記外周体Ｗが、例えば、クランクシャフトであれば、軸状の軸の外周面に微細周期性溝ＭＫ（２mm前後の加工幅Ｌ、一本の溝幅は数百ｎｍ）やディンプルＤＰが別個に加工される。更には、両者の混合加工用のホモジナイザーＨ３に切替えれば、図９（ｄ）に示すように、均一なエネルギー分布ＳＯとエネルギー密度の高い複数のスポットＳ１〜Ｓ６とが存在し、微細周期性溝ＫＭとディンプルＤＰとが混在した形態に複合的に加工される。上記微細周期性溝ＭＫやディンプルＤＰを、外周体Ｗの一つの形態であるクランクシャフトに加工すれば、ピストロッドとの接触面積の低減及び多数の凹溝に潤滑油が溜まってエンジンにおける摩擦抵抗を極限まで減らすことが可能になり、自動車の燃費改善が最大限に図られる。
【００５３】
以上、本発明の第１の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置によれば、下記のような効果が発揮される。即ち、第一回転筒体と第二回転筒体とが回転駆動手段により一回転されるに際して、上記λ／２板ＰとホモジナイザーＨを上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させることで、上記フェムト秒レーザＬＯを各種の外周体Ｗに対する外面に照射回転して周期構造体（微細周期性溝ＫＭ）が同一方向に整列加工できる。しかして、外周体となるエンジンにおけるクランクシャフト等の軸摩擦抵抗をはじめとして、ベアリングの回転摩擦抵抗を極限まで減らすことができる。
【００５４】
更に、λ／２板と反射ミラーとの間に配置したホモジナイザーＨ２や混合加工用ホモジナイザーＨ３によりフェムト秒レーザの直線偏光を集光させることができるから、周期構造のディンプルＤＰや混合加工を外周体Ｗに効率良く加工でき、多数の溝に潤滑油が溜まってエンジンにおける摩擦抵抗を極限まで効率良く減らすことができる。
【００５５】
続いて、図１３〜図１６により、本発明の第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００´を説明する。この周期構造体加工方法と装置１００´は、筒体４９と反射ミラーＭ側を固定し、外周体Ｗを回転させて、上記λ／２板Ｐを省略したものである。その全体構成は、フェムト秒レーザ発振器１０と、上記フェムト秒レーザ発振器１０から発射される直線偏光のフェムト秒レーザＬＯを導入するレーザ加工ヘッド２０を備える。上記レーザ加工ヘッド２０には、これに導入されたフェムト秒レーザをホモジナイザーＨ（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３の一つ）を介して集光レンズＲ３で集光させ先端部の反射ミラーＭで外径方向に進ませる筒体４９を備え、上記反射ミラーで外径方向に向けたフェムト秒レーザを上記反射ミラーの外周囲にチャック手段に把持された外周体Ｗに照射する機能を有する。更に、上記レーザ加工ヘッド２０における上記反射ミラーの外周囲にチャック手段７に着脱自在に把持した外周体Ｗを配置し、その位置制御を行うワーク制御テーブル３を備える。
上記ワーク制御テーブル３は、上記第１の実施の形態と同一であるが、再度説明をする。即ち、上記ワーク制御テーブル３は、外周体Ｗをチャック手段７で把持または解放しＸ軸方向（図示の前後方向）に移動させるＸ軸駆動手段３０と、これに搭載されて外周体ＷをＺ軸方向（図示の左右方向）に移動させるＺ軸駆動手段９と、このＺ軸駆動手段９上のコラム９Ａに搭載されてＹ軸方向（図示の上下方向）に移動させるＹ軸駆動手段５と、この前壁面に配置され上記チャック手段７を回転するワーク回転駆動部５Ａとからなる。しかして、上記外周体Ｗは、上記レーザ出力部２０Ａの軸芯（回転中心）Ｏ１に対してその軸芯（回転中心）Ｏ２を一致させるべく、Ｙ軸駆動手段５と、これを左右Ｘ軸の方向に移動させるＸ軸駆動手段３０との合成された微動送りで位置合わせが行われる。また、上記レーザ出力部２０Ａに対する外周体Ｗの挿入深さ位置ＺＡは、上記Ｘ軸駆動手段３０に搭載されたＺ軸駆動手段９を前後方向となる−Ｚ軸方向（図示の左側方向）又は＋Ｚ軸方向（図示の右側方向）へ微動させて行う。更に、上記外周体Ｗを、上記レーザ加工ヘッド２０の先端における内筒４９Ｂの外周でフェムト秒レーザＬＯの照射を受けながら回転ＲＯさせるには、ワーク回転駆動部５Ａ内の回転制御モータＭＭによりチャック手段７を回転駆動させて行われる。上記上下のＹ軸と左右のＸ軸と前後のＺ軸の各駆動は、ガイドレール部材Ｇ１, Ｇ２, Ｇ３とＹ軸送りのモータＭ１及びＺ軸送りのモータＭ２，Ｘ軸送りのモータＭ３により行われる。上記ワーク制御テーブル３やその他のユニット１０，２０，等は、上記制御手段２００により制御される。尚、その他の部材の詳細構成は、上記第１の実施の形態の周期構造体加工装置１００と、同一符号を付して説明を省略する。
【００５６】
本発明の第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工装置１００´は、上記構成からなり、以下のように外周体の周期構造体加工方法が実施される。即ち、筒体４９を回転させず、λ／２板を使用することなく、外周体のような三次元曲面にナノ周期構造体を成形させる方法と装置においては、フェムト秒レーザ発振器１０から発射されるフェムト秒レーザＬＯは、レーザ加工ヘッド２０へ導かれ、この筒体４９に導入されるフェムト秒レーザは、ホモジナイザーＨ１を介して集光レンズＲ３で集光されつつ先端部の反射ミラーＭで外径方向に進むフェムト秒レーザとなる。上記反射ミラーの外周囲にワーク回転駆動部５Ａで支持された外周体Ｗの外周面Ｗ１に向けて照射される。この状態で外周体Ｗをワーク回転駆動部５Ａによるチャック手段７で回転させれば、連続した周期性の微細周期性溝ＫＭが同一方向に整列加工される。ここで、上記外周体をワーク回転駆動部５Ａにより回転θ１させつつＺ軸駆動手段９で軸芯方向Ｏ２へ移動させると、フェムト秒レーザが外周体Ｗの外周面Ｗ１に所定幅照射される。この結果、外周体Ｗ１には、微細周期性溝ＭＫが同一方向に所定幅だけ整列加工され、簡単な加工装置で実行される。即ち、図１０（ａ）に示すように、ワーク回転駆動部５Ａによる外周体Ｗの一回転θ１毎に、Ｚ軸駆動手段９を所定量毎の１ピック送りを繰り返した間欠移動により、外周面Ｗ１に対して周期構造体が所定幅に加工される。また、図１０（ｂ）のように、ワーク回転駆動部５Ａの一回転θ１毎に、Ｚ軸駆動手段９を所定量の１ピック送りをネジ棒送りのように連続移動すればスパイラル状に加工される。これにより、外周面Ｗ１に対して周期構造体が所定幅に加工される。しかして、任意寸法の加工幅にナノ周期構造の微細周期性溝ＫＭが加工される。尚、上記微細周期性溝ＫＭは、図１１に微細周期性溝ＫＭの拡大した顕微鏡写真を示している。
【００５７】
また、上記ナノ周期構造体を成形させる方法と装置１００´においては、筒体４９内のホモジナイザーＨ１を、別のディンプル加工用ホモジナイザーＨ２に切替えれば、外周体Ｗの外周面Ｗ１には、任意寸法の加工幅にナノ周期構造のディンプルＤＰが加工させられる。更に、別の混合加工用ホモジナイザーＨ３に切替えれば、外周体Ｗの外周面Ｗ１には、任意寸法の加工幅に微細周期性溝ＭＫとディンプルＤＰとの混合加工が行なわれる。
【００５８】
本発明の第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００´によれば、下記のような効果が発揮される。即ち、筒体４９を回転させず、λ／２板を使用することなく、ワーク回転駆動部５Ａによる外周体Ｗの回転とＺ軸駆動手段９による進退移動だけの制御で良く、極めて簡単な装置と加工方法により、外周体のような三次元曲面に各種形状の周期構造体を加工することができる。その他の効果は、上記第１の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００と同様な効果が期待できる。
【００５９】
ところで、上記第１及び第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００，１００´は、その外周体Ｗの対象ワークを丸棒体（クランクシャフトやローラーベアリングのローラー）及びリング体であるベアリングの内輪( 円筒体) 等に限定されない。ここで、更なる具体的な部品となる多角体（ロータリーエンジンのローターやカムシャフトのカム等）、球体（ボールベアリングのボール等）について、その加工例を、図１７〜図２０により説明する。
【００６０】
先ず、多角体（ロータリーエンジンのローターやカム等）Ｗ２の加工例を、図１７と図１８に示す。図１７は、上記第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００´によるもので、筒体４９を固定してフェムト秒レーザＬＯが一定方向に向けて発射される。即ち、ワーク回転駆動部５Ａのチャック手段７に支持された多角体Ｗ２の外周面に一定の照射距離ｒ1 のもとに照射される。上記多角体Ｗ２は、このワーク回転駆動部５Ａによるチャック手段７の回転θ１とＸ軸駆動手段３０とＹ軸駆動手段５とによる合成移動で、０°〜３６０°までの一回転θ１で外周面を加工するとともに、Ｚ軸駆動手段９によるＺ軸方向への連続移動したスパイラル状の加工軌跡Ｋ２（勿論、間欠移動の加工軌跡Ｋ１でも良い）で、多角体Ｗ２の全幅が加工される。
【００６１】
続く、図１８は、上記第１の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００によるもので、フェムト秒レーザＬＯを回転θ３させながら発射し、この先端のワーク回転駆動部５Ａのチャック手段７に把持された多角体Ｗ２の外周面に一定の照射距離ｒ1 のもとに照射される。即ち、多角体Ｗ２はワーク回転駆動部５Ａの固定で回転が止められ、Ｘ軸駆動手段３０とＹ軸駆動手段５とによる合成移動で、０°〜３６０°までの一回転θ１で外周面を加工するとともに、Ｚ軸駆動手段９によるＺ軸方向への連続移動したスパイラル状の加工軌跡Ｋ２（勿論、間欠移動の加工軌跡Ｋ１でも良い）で、多角体Ｗ２の全幅が加工される。
【００６２】
続く、図１９は、上記第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００´によるもので、筒体４９を固定してフェムト秒レーザＬＯを一定方向に発射し、この先端のワーク回転駆動部５Ａのチャック手段７に把持された球体（ベアリングのボールやその他）Ｗ３の外周面に一定した照射距離ｒ1 のもとに照射される。即ち、球体Ｗ３をワーク回転駆動部５Ａによるチャック手段７の回転θ１とＸ軸駆動手段３０とＹ軸駆動手段５とによる合成移動（円移動）で、０°〜３６０°の一回転を繰り返して外周面を加工する。即ち、その外径を次第に大きくしながらＺ軸駆動手段９によるＺ軸方向への連続移動したスパイラル状の加工軌跡（次第にその半径ｒ３を大きくする）Ｋ３（勿論、間欠移動の加工軌跡Ｋ４でも良い）で、球体Ｗ３の上半分幅が加工される。尚、下半分幅を加工するには、球体Ｗ３の上下を入れ替えて加工される。勿論、球体Ｗ３を転がしながら全面を加工させても良い。
更に、図２０は、図１９の球体Ｗ３の加工において、上記球体に対するフェムト秒レーザＬＯの照射ポイントＰＯを、球体の片側縁ｅ１から始まり他側縁ｅ２へと１ピック送りしつつ球体の外径方向に往復移動させるべく、球体またはレーザ加工ヘッドを往復移動軌跡Ｋ５で移動させるこにより加工される。その制御は、球体Ｗ３を移動させる時は、ワーク回転駆動部５Ａに備えるチャック手段７をＸ軸駆動手段３０とＹ軸駆動手段５とによる合成移動で実施される。尚、上記フェムト秒レーザＬＯの焦点深度を長く・深く採ることにより、反射ミラーから球体表面までの照射距離ｒ１が変化しても、正確な周期構造体が加工される。また、球体を固定し、レーザ加工ヘッド２０を移動させても良い。尚、図２１に加工された球体の写真を示す。加工面から光屈折による虹が確認できる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明の外周体の周期構造体体加工方法とその装置は、外周体の各種の加工例で説明した。その具体例は、自動車の燃費改善対策として、エンジンにおけるクランクシャフトやカム、ベアリングの外輪に対する加工を施すことで、摩擦低減がなされるもので説明した。しかし、上記ワークに限定されず、その他の回転機器や摺動機器の回転・摺動摩擦抵抗を極限まで減らすために加工を施すことが可能である。更に、本発明の方法とその装置において、発明の要旨内での各部の設計変更や構成部材の変更・置換も自由に行え得るものである。具体的には、上記各実施の形態では、横型の周期構造体加工装置１００，１００´として説明したが、フェムト秒レーザ発振器１０を上部に配置して下向きにレーザを発射し、この下部に配置したワークを加工する縦型の周期構造体加工装置としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示し、外周体の周期構造体加工装置の全体構成図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示し、反射ミラー部の概要断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示し、レーザ加工ヘッドの詳細な断面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示し、レーザ加工ヘッドの駆動系の側面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態を示し、λ／２板の拡大写真図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態を示し、λ／２板の作用図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態を示し、微細周期性溝を加工するレーザ加工ヘッドの構成図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態を示し、ディンプルを加工するレーザ加工ヘッドの構成図である。
【図９】本発明の第１の実施の形態を示し、ホモジナイザーの構成図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態を示し、Ｚ軸駆動手段の移動方法と加工軌跡の説明図である。
【図１１】微細周期性溝の拡大写真図である。
【図１２】ディンプルの拡大写真図である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態を示し、外周体の周期構造体加工装置の全体構成図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態を示し、レーザ加工ヘッドの詳細な断面図である。
【図１５】本発明の第２の実施の形態を示し、微細周期性溝を加工するレーザ加工ヘッドの構成図である。
【図１６】本発明の第２の実施の形態を示し、ディンプルを加工するレーザ加工ヘッドの構成図である。
【図１７】具体的ワークの実施形態を示し、多角体の加工例の斜視図である。
【図１８】具体的ワークの実施形態を示し、多角体の加工例の斜視図である。
【図１９】具体的ワークの実施形態を示し、球体の加工例の斜視図である。
【図２０】具体的ワークの実施形態を示し、球体の加工例の斜視図である。
【図２１】球体の拡大写真図である。
【符号の説明】
【００６５】
１ 防振台
２ 基盤
３ ワーク制御テーブル
５ Ｙ軸駆動手段
５Ａ ワーク回転駆動部
７ 把持具
９ Ｚ軸駆動手段
９Ａ 垂直台
１０ フェムト秒レーザ発振器
１０Ａ レーザ発生部
１０Ｂ ファイバーレーザ発振器
１０Ｃ パルスストレッチャー
１０Ｄ Ｔｉ：ｓａｐｐｈｉｒｅ再生増幅器
１０Ｅ パルスコンプレッサー
１０Ｆ レーザパワー減衰器
１０Ｇ 励起用パルスグリーンレーザ
１０Ｈ 電源制御部
１０Ｉ 筐体温度安定化用冷却装置
２０ レーザ加工ヘッド
２０Ａ レーザ出力部
３０ Ｘ軸駆動手段
４０ 支持体
４１ 第一回転筒体
４２ 連絡筒
４３ プーリー
４４ プーリー
４５ 保持体
４６ フランジ
４７ 回転軸
４８ 軸受体
４９Ａ 外筒
４９Ｂ 内筒
４９ 第二回転筒体（筒体）
５０ プーリー
５１ プーリー
Ａ１，Ａ２ アイリス
ＣＰＵ 中央制御部
ＤＤ 駆動部
ＤＰ ディンプル
ｅ１ 片側縁
ｅ２ 他側縁
ＮＣ ＮＣ制御部
ＭＫ 微細周期性溝
ＬＯ フェムト秒レーザ
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３ ガイドレール部材
ＫＢ１，ＫＢ２ 確動ベルト
Ｋ１〜Ｋ５ 加工軌跡
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３ モータ
ＭＭ 回転制御モータ
ＭＯ 駆動モータ
Ｍ 反射ミラー
Ｈ ホモジナイザー
Ｈ１ 微細周期性溝用のホモジナイザー
Ｈ２ ディンプル用のホモジナイザー
Ｈ３ 混合加工用のホモジナイザー
Ｏ１，Ｏ２ 軸芯（回転中心）
Ｐ λ／２板
ＰＯ 照射ポイント
ＲＯ 回転
Ｒ１ 平凹レンズ
Ｒ２，Ｒ３ 平凸レンズ（集光レンズ）
ｒ１ 照射距離
ＳＴ シャッター
ＳＤ 回転駆動手段
ＳＯ 均一なエネルギー分布
Ｓ１〜Ｓ６ スポット
Ｗ 外周体
Ｗ１ 外周面
Ｗ２ 多角体
Ｗ３ 球体
θh 反射ミラーの回転
θp 位相板の回転
θ１ 多角体の回転
θ２ 多角体の公転
θ３ フェムト秒レーザの旋回動
ＺＡ 挿入深さ位置
−Ｚ、＋Ｚ Ｚ軸方向
１００ 周期構造体加工装置
１００´ 周期構造体加工装置
２００ 制御手段
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フェムト秒レーザ加工機で丸棒体または円筒体または多角体または球体の外周面に周期構造体（ナノ単位の微細周期性溝やディンプル）を加工する加工方法とその装置に係り、特に、外周面（例えば、エンジンにおけるクランクシャフト外周面、ベアリング内輪の外周等）に対する周期構造体の規則性形状を狂わせることなく合理的に整列加工できるようにしたものに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、地球温暖化防止策の最も重要課題として大気汚染の低減を図ることが掲げられている。特に、大気汚染を起している主原因が自動車から出る排気ガスにあることが知られており、国際的な協定が結ばれる中で自動車メーカは競って低公害車を開発している。その行き着くところは、ハイブリッド車、電気自動車、燃料電池車等の開発と実用化による世界的普及が期待されている。このような状況の中で、自動車の燃費改善対策とエンジンの性能・耐久性の向上対策として、エンジンにおけるクランクシャフトの摩擦低減、ベアリングの回転摩擦低減、ギアの噛合い摩擦の低減等の摩擦抵抗を極限まで減らすことが望まれている。上記エンジンの摺動部（摩擦面）又は回転部（転がり面）の表面の摩擦抵抗を極限まで減らす加工方法には、刃具の機械的な外力により表面に微細な凹凸筋の溝加工を施すものと、フェムト秒レーザ加工機でナノ周期構造体（連続した微細周期性溝、不連続のディンプルの窪み）を施す加工技術が注目を集め旺盛に開発されている。また、上記ナノ周期構造体が正しく生成されているか・否か・を判定する観測装置も開発されている。
【０００３】
上記フェムト秒レーザ加工機において、周期構造体（例えば微細周期性溝）を加工する加工方法は、固体材料表面に、低フルーエンスの超短パルスレーザ（フェムト秒レーザ）を偏光制御して照射することで、照射したレーザの波長より小さいサイズの微細構造を形成する。そして、超短パルスレーザを直線偏光させて固体材料表面に照射することで、偏光方向とは直交する方向に沿って細長い微細構造を形成でき、また、円偏光させて照射することで微細構造体が形成される。こうした微細構造のサイズは、照射するレーザの波長と正の相関関係があり、波長を選択することで微細構造のサイズを制御するものが提供されている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００４】
また、フェムト秒レーザがレーザ駆動部から入射されたとき、レーザを複数の光束に分離する回折格子３と、回折格子３によって分離された光束を互いに干渉させるための凸レンズ４，５と、光束が互いに交差し干渉する干渉領域と凸レンズ５との間に配設された円柱レンズ６と、レーザによって加工するため、加工用基材７を干渉領域に配設することができるＸＹＺステージ８を備え、円柱レンズ６が、干渉領域を扁平な領域に整形するとともにエネルギ密度を集中し、加工用基材７と該干渉領域の物質レーザ相互作用によって微細加工することができるものが提供されている（例えば、特許文献２を参照。）。
【０００５】
更に、互いに干渉したフェムト秒レーザ・パルスを、基材に照射することにより、最小平均寸法５〜２００ｎｍを有する周期微細構造を基材中に作成するフェムト秒レーザの照射による一次元及び／または二次元周期微細構造の作成方法であり、特に近赤外領域の発振波長で、０．１ＴＷ／ｃｍ２以上の高密度エネルギーを有し、互いに干渉した２つのフェムト秒レーザ・パルスをシリカガラスに照射することにより、シリカガラス中に、平均幅５〜５０ｎｍを有する周期溝を作成するフェムト秒レーザの照射による一次元周期微細構造の作成方法が提供されている（例えば、特許文献３を参照。）。
【０００６】
また、更には、溶接ヘッドの旋回駆動機構に、ロータリエンコーダからなる位置センサを取り付け、他方、各層毎の溶接工程におけるアークスタートおよびアークエンドの位置をあらかじめラップすることがないように設定できる位置決めユニットを設け、この位置決めユニットに前記位置センサを接続し、位置決めユニットには、前記各層毎の溶接工程を順に制御するシーケンスコントローラを接続し、前記位置センサからの検出信号に基いて位置決めユニットおよびシーケンスコントローラを介して多層溶接により継手溶接を行うようにしたものが提供されている（例えば、特許文献４を参照。）。
【０００７】
そして、本発明の目的により近い技術として、金属対象表面の摩擦抵抗を現状以上に低減することを可能としたものが提供されている。この金属摺動面表面処理装置によると、金属対象物の摺動面にフェムト秒レーザを照射して微細周期構造を形成し、これにより当該摺動面の摩擦抵抗を低減させる構成となっているので、その性質上、加工サイズの均一性が大きく制御性も高いことから、金属対象物の摺動面の摩擦抵抗を現状以上に低減することが可能になる。また、どのような大きさ、形状、材質の金属対象物であってもその摺動面の摩擦抵抗を低減させることが可能であることから、摺動面を有する機械部品の性能を向上させる上で大きなメリットがある。（例えば、特許文献５を参照。）。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−２１１４００号公報
【特許文献２】特開２００３−３３４６８３号公報
【特許文献３】特開２００３−５７４２２号公報
【特許文献４】特開平６−３２０２７０号公報
【特許文献５】特開２００４−３６００１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記各公知例において、フェムト秒レーザによる周期構造体（例えば微細周期性溝）の加工方法は、一次元の平面板の表面にフェムト秒レーザを照射して上記微細周期性溝を生成させる技術内容であるから、三次元形状をしているシリンダ内壁面やベアリングの内輪・外輪の摺動面に対する上記微細周期性溝を生成させることはできない。また、他の公知例（特開平６−３２０２７０）は、鉄筋の継手溶接を多層溶接により自動溶接する方法であって、各層毎の溶接アークのスタート位置およびエンド位置がラップすることがないように制御するものであり、溶接ヘッドを旋回駆動機構により円柱状ワークの周り、即ち、外周を旋回移動させるものであるから、本願発明のように比較的細い軸径からなる外筒面に微細周期性溝を加工する省スペースを要求される加工ヘッドには、直ちに適用できないという問題点がある。
【００１０】
そして、上記フェムト秒レーザ発振器の出力が高くなれば加工点での集光スポット径を大きくすることができ、ナノ単位の微細周期性溝を一度に広範囲に加工できる。しかし、上記微細周期性溝に替えて、ディンプル加工など一点を集中的に加工しようとすれば、通常の加工方法では機械軸や光学系がその都度加工したい位置に集光点が届くように移動する必要がある。この方法では、加工時間が長くなって加工を短縮させることが困難になる。更に、金属摺動面表面処理装置では、平面状の金属板の表面に微細周期構造を成形させるに止まっている。これがために、外周体となるクランクシャフトの軸部、丸棒やカム、ベアリングの外周面のような三次元曲面に周期構造体を成形させることが出来ない。
【００１１】
本発明の課題は、上記従来のフェムト秒レーザにより周期構造体を加工する加工方法やその装置、更には金属摺動面表面処理装置が持つ問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、特に、三次元曲面を持つ丸棒体または円筒体または多角体または球体の外周面に特化し、これに周期構造体（ナノ単位の微細周期性溝やディンプル）の規則性形状（溝の同一方向性）を狂わせることなく高精度・高効率に整列加工できるようにした加工方法とその装置を提供するものである。より具体的には、丸棒状の外周面となるクランクシャフトや内筒体となるベアリング内輪の外周面のような三次元曲面に微細な周期構造体（ナノ単位の微細周期性溝やディンプル）を成形させる方法と装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の請求項１の外周体の周期構造体加工方法は、フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体内に導き、第一回転筒体内に配置されたλ／２板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、上記第一回転筒体に対して軸芯を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体内に配置された集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外周体の外周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記反射ミラーを備えた上記第二回転筒体の回転１回転に対して上記λ／２板を備えた上記第一回転筒体を１／２回転させ、上記両筒体の回転に同期させながら上記外周体を上記反射ミラーの外周囲に自転停止状態で公転させて上記外周体の外周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項２の外周体の周期構造体加工方法は、請求項１記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体が把持されたチャック手段をＺ軸駆動手段により外周体の軸芯方向に連続移動または間欠移動させ、上記フェムト秒レーザを上記外周体の外周面に所定幅だけ照射することを特徴とするものである。
【００１４】
請求項３の外周体の周期構造体加工方法は、請求項１または２記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記反射ミラーに向かうフェムト秒レーザを第二回転筒体内であって集光レンズの前側に配置されたディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーに入射させることにより、上記外周体の外周面にディンプルまたは混合の周期構造体を形成することを特徴とするものである。
【００１５】
請求項４の外周体の周期構造体加工方法は、請求項１または２または３記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である。
【００１６】
請求項５の外周体の周期構造体加工装置は、フェムト秒レーザ発振器と、上記フェムト秒レーザ発振器からの直線偏光のフェムト秒レーザを導入する回転可能な第一回転筒体と、上記第一回転筒体内に配置され上記フェムト秒レーザの偏光方向を変化させるλ／２板と、上記第一回転筒体に回転軸芯を合わせて配置される第二回転筒体と、上記第二回転筒体内に配置されフェムト秒レーザを集光させる集光レンズと、上記第二回転筒体筒の先端に配置されフェムト秒レーザを外径方向に屈折させる反射ミラーと、上記第二回転筒体の回転１回転に対して上記第一回転筒体を１／２回転させる回転駆動手段と、外周体を所定位置に把持するチャック手段と、上記チャック手段に設けられ外周体を上記反射ミラーの周りに公転駆動するＹ軸駆動手段及びＸ軸駆動手段と、を具備したことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項６の外周体の周期構造体加工装置は、請求項５記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記チャック手段を軸芯方向に進退させるＺ軸駆動手段を具備したことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項７の外周体の周期構造体加工装置は、請求項５または６記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記第二回転筒体内であって集光レンズの前側にディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを配置したことを特徴とするものである。
【００１９】
請求項８の外周体の周期構造体加工装置は、請求項５または６または７記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である。
【００２０】
請求項９の外周体の周期構造体加工方法は、フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを筒体内へ導き、筒体内の集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外筒体の外周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記外周体を回転させてこの外周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とするものである。
【００２１】
請求項１０の外周体の周期構造体加工方法は、請求項９記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体が把持されたチャック手段をＺ軸駆動手段により上記外周体の軸芯方向に連続移動または間欠移動させ、上記フェムト秒レーザを上記外周体の外周面に所定幅だけ照射させることを特徴とするものである。
【００２２】
請求項１１の外周体の周期構造体加工方法は、請求項９または１０記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記反射ミラーに向かうフェムト秒レーザを筒体内であって集光レンズの前側に配置されたディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーに入射させることにより、上記外周体の外周面にディンプルまたは混合の周期構造体を形成することを特徴とするものである。
【００２３】
請求項１２の外周体の周期構造体加工方法は、請求項９または１０または１１記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体であることを特徴とするものである。
【００２４】
請求項１３の外周体の周期構造体加工方法は、請求項４または１２記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体が球体であって、上記球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントを、球体の頂点から次第に旋回径を大きくするスパイラル状の加工軌跡としたことを特徴とする。
【００２５】
請求項１４の外周体の周期構造体加工方法は、請求項４または１２記載の外周体の周期構造体加工方法において、上記外周体が球体であって、上記球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントを、球体の片側縁から始まり他側縁へと１ピック送りしつつ球体の外径方向に往復移動させる往復移動軌跡としたことを特徴とするものである。
【００２６】
請求項１５の外周体の周期構造体加工装置は、フェムト秒レーザ発振器と、上記フェムト秒レーザ発振器からの直線偏光のフェムト秒レーザを導入する筒体と、上記筒体内に配置され直線偏光のフェムト秒レーザを集光させる集光レンズと、上記筒体先端側に配置されフェムト秒レーザを外径方向に屈折させる反射ミラーと、上記外周体を所定位置に把持するチャック手段と、上記チャック手段に設けられ外周体を回転駆動させるワーク回転駆動部と、を具備したことを特徴とするものである。
【００２７】
請求項１６の外周体の周期構造体加工装置は、請求項１５記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記チャック手段を外周体の軸芯方向に進退させるＺ軸駆動手段を具備したことを特徴とするものである。
【００２８】
請求項１７の外周体の周期構造体加工装置は、請求項１５または１６記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記筒体内であって集光レンズの前側にディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを配置したことを特徴とするものである。
【００２９】
請求項１８の外周体の周期構造体加工装置は、請求項１５または１６または１７記載の外周体の周期構造体加工装置において、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体であることを特徴とするものである。
【００３０】
本発明の外周体の周期構造体加工方法とその装置は上記構成要件からなり、以下のように作用する。
第１に、請求項１〜８において、外周体の三次元曲面にナノ単位の周期構造体を加工する方法と装置は、フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザは、第一回転筒体内に導かれ、これに備えた第一回転筒体内の光学偏光素子となるλ／２板で上記フェムト秒レーザが直線偏光され、更に、上記第一回転筒体に回転可能とした第二回転筒体内の集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進むフェムト秒レーザとなる。これで、フェムト秒レーザは、上記反射ミラーの外周にチャック手段で把持された外周体に照射される。ここで、上記第一回転筒体を上記第二回転筒体の１／２の回転量で両筒体を回転駆動手段により回転駆動させ、上記外周体を上記反射ミラーの外周囲に自転停止状態で公転させると、上記外周体の外周面に微細周期性溝（例えば、溝幅＝数百ｎｍ）が同一方向に整列加工される。
更に、上記加工において、外周体を把持するチャック手段をＺ軸駆動手段により第二回転筒体の軸芯方向へ連続移動または間欠移動させることにより、上記フェムト秒レーザが外周体に所定幅だけ照射される。これで、外周体（丸棒体または円筒体または多角体等の加工対象物の意味）には、微細周期性溝が同一方向に所定幅だけ整列加工されることになる。また、その加工方法も簡単な加工装置で実行される。
【００３１】
第２に、特に、請求項３と７において、上記第１の周期構造体を加工する方法と装置において、反射ミラーよりも光源側にディンプル用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを介在させることで、フェムト秒レーザの直線偏光を複数のスポット状に補正して集光させることができるから、微細周期性溝に替えてディンプル（例えば、穴径＝数十μｍ）または両溝が混合した周期構造体が任意寸法の加工幅に多数加工される。また、その加工も簡単な加工装置で実行される。更には、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体等の加工対象物とすることができるから、これらの各外周面に、所望の周期構造体を加工することができる。
【００３２】
第３に、請求項９〜１８において、外周体の三次元曲面にナノ単位の周期構造体を加工する方法と装置は、フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザは、固定された筒体内へ導かれ、この筒体内に備えた集光レンズで集光されつつ先端部の反射ミラーにより外径方向に進むフェムト秒レーザとなる。そして、上記フェムト秒レーザは、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外周体に向けて照射される。ここで、上記チャック手段で把持した外周体を反射ミラーの外周囲の所定位置で自転（回転）させると、反射ミラーから外周体に照射される直線偏光の向きが変化せず、外周体に微細周期性溝（例えば、溝幅＝数百ｎｍ）が同一方向に整列加工される。
更に、上記加工において、外周体をチャック手段で把持し、このチャック手段をＺ軸駆動手段により軸芯方向へ連続移動または間欠移動させると、上記フェムト秒レーザが外周体に所定幅だけ照射される。これで、外周体には、微細周期性溝が同一方向に所定幅だけ整列加工されることになる。また、その加工方法も簡単な加工装置で実行される。
更に、球体の加工において、球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントの移動は、球体を、球体の片側縁から始まり他側縁へと１ピック送りしつつ球体の外径方向に往復移動させたり、球体の頂部から外周に向けて渦巻き状に円周径を広げる旋回移動させることにより、球体が加工される。尚、レーザ加工ヘッドを移動させても良い。
【００３３】
第４に、特に、請求項１１と１７において、上記周期構造体を加工する方法と装置は、反射ミラーよりも光源側にディンプル用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを介在させることで、フェムト秒レーザの直線偏光を複数のスポット状に補正して集光させることができるから、微細周期性溝に替えてディンプル（例えば、穴径＝数十μｍ）または両溝が混合した周期構造体が任意寸法の加工幅に多数加工される。また、その加工も簡単な加工装置で実行される。更には、上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体等の加工対象物とすることができるから、これらの各外周面に、所望の周期構造体を加工することができる。
【００３４】
かくして、上記外周体には、微細周期性溝またはディンプル及びこれらを混合した周期構造体が効率良く加工させられる。これにより、上記外周体が、例えば、クランクシャフトの軸であれば、この軸に周期構造体が形成される。この周期構造体を施したエンジンにおけるクランクシャフトとピストンコンロッドとの接触面には、多数の凹溝に潤滑油が溜まってクランクシャフトとピストンコンロッド間の摩擦抵抗を極限まで減らすことが可能になり、自動車の燃費改善が最大限に図られる。勿論、その他の各種機器・部品の外周体に対する加工が行なえる。
【発明の効果】
【００３５】
請求項１〜８によると、第一回転筒体と第二回転筒体とが回転駆動手段により回転軸線を軸芯にして１回転されるに際して、上記λ／２板を、上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させることで、上記フェムト秒レーザを各種の外周体に対する外面に照射回転して微細周期性溝が同一方向に整列加工できる。しかして、エンジンにおける摩擦抵抗をはじめとして、ベアリングの回転摩擦抵抗を極限まで減らすことができる。
【００３６】
更に、λ／２板と反射ミラーとの間に配置したディンプル用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーにより，フェムト秒レーザの直線偏光を集光させられるから、各種の周期構造体を外周体に効率良く加工でき、多数の溝に潤滑油が溜まってエンジンにおける摩擦抵抗を極限まで効率良く減らすことができる。
【００３７】
請求項９〜１８によると、筒体を固定しλ／２板を使用することなく、チャック手段を備え、これを回転させるワーク回転駆動部とＺ軸駆動手段の進退移動だけの制御で良いから、極めて簡単な装置と加工方法となり、外周体のような三次元曲面に各種形状の周期構造体を加工することができる。特に、球体に対する加工も円滑に実施できる。その他の効果は、上記第１の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置と同様な効果が期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明による外周体の周期構造加工方法とその装置について、図示の第１の実施の形態により説明する。図１は外周体に対する周期構造体の加工装置の全体構成図、図２は反射ミラー部の概要断面図、図３と図４はレーザ加工ヘッドの断面図と要部拡大図、図５はλ／２板の拡大写真図、図６はλ／２板と反射ミラーとの作用図、図７は微細周期性溝を加工するレーザ加工ヘッドの構成図、図８はディンプルを加工するレーザ加工ヘッドの構成図、図９はホモジナイザーの構成図、図１０は進退駆動手段による移動方法と加工軌跡の説明図、図１１は微細周期性溝の拡大写真図、図１２はディンプルの拡大写真図である。
【００３９】
図１〜図３により、本発明の第１の実施の形態（位相板を備えた形態）の外周体の周期構造体加工装置１００の概要を説明する。その構成は、直線偏光のフェムト秒レーザＬＯを発振するフェムト秒レーザ発振器１０と、加工装置の中枢部となるレーザ加工ヘッド２０と、外周体のワークを把持するとともに三次元方向（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸の三方向）に移動させるワーク制御テーブル３と、からなる。尚、外周体とは、外周をレーザ加工する丸棒体または円筒体または多角体等の加工対象物を意味する。まず、上記フェムト秒レーザ発振器１０とレーザ加工ヘッド２０とは、防振台１の基盤２上に水平姿勢の横向きに搭載されている。上記フェムト秒レーザ発振器１０は、公知なものであるから詳細構成を省略して概要説明すれば、発振源となるレーザ発振部１０Ａとこの発振を調整するファイバーレーザ発振器１０Ｂとパルスストレッチャー１０ＣとＴｉ：ｓａｐｐｈｉｒｅ再生増幅器１０Ｄとパルスコンプレッサー１０Ｅとレーザパワー減衰器１０Ｆと励起用パルスグリーンレーザ１０Ｇと電源制御部１０Ｈと筐体温度安定化用冷却装置１０Ｉとにより構成されている。上記レーザ加工ヘッド２０は、その入力側にフェムト秒レーザＬＯを受け入れ任意に出力遮断（出力制御）する電磁式のシャッターＳＴを装備したレーザ出力部２０Ａが繋がれている。また、上記レーザ加工ヘッド２０の出力側には、外筒４９Ａと内筒４９Ｂとを備え、外周体（例えば、エンジンにおけるクランクシャフト外周面、ベアリング内輪の外周面等）Ｗを外側から被せている。
【００４０】
上記外周体Ｗは、上記レーザ加工ヘッド２０に対して別設したワーク制御テーブル３上のチャック手段７に把持されている。上記ワーク制御テーブル３は、チャック手段７に着脱自在に把持された外周体ＷをＸ軸方向（図示の前後方向）に移動させるＸ軸駆動手段３０と、これに搭載されて外周体ＷをＺ軸方向（図示の左右方向）に移動させるＺ軸駆動手段９と、このＺ軸駆動手段９上のコラム９Ａに搭載されてＹ軸方向（図示の上下方向）に移動させるＹ軸駆動手段５と、この前面壁に搭載したワーク回転駆動部５Ａと、この前部に配置したチャック手段７とからなる。しかして、上記外周体Ｗは、上記レーザ出力部２０Ａの軸芯（回転中心）Ｏ１に対してその軸芯（回転中心）Ｏ２を一致させるべく、Ｙ軸駆動手段５と、これを左右Ｘ軸の方向に移動させるＸ軸駆動手段３０との合成された微動送りで位置合わせが行われる。また、上記レーザ出力部２０Ａに対する外周体Ｗの挿入深さ位置ＺＡは、上記Ｘ軸駆動手段３０に搭載されたＺ軸駆動手段９を前後方向となる−Ｚ軸方向（図示の左側方向）又は＋Ｚ軸方向（図示の右側方向）へ微動させて行う。更に、上記外周体Ｗを、上記レーザ加工ヘッド２０の先端における内筒４９Ｂの外周でフェムト秒レーザＬＯの照射を受けながら回転ＲＯさせるには、Ｙ軸駆動手段５上のワーク回転駆動部５Ａでチャック手段７を回転制御モータＭＭにより回転駆動させて行われる。上記上下のＹ軸と左右のＸ軸と前後のＺ軸の各駆動は、ガイドレール部材Ｇ１, Ｇ２, Ｇ３とＹ軸送りのモータＭ１及びＺ軸送りのモータＭ２，Ｘ軸送りのモータＭ３により行われる。
【００４１】
また、上記外周体の周期構造体加工装置１００には、上記各モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３，ＭＭやシャッターＳＴ及び後記する回転駆動手段ＳＤの駆動モータＭＯ等を駆動制御する制御手段２００を備えている。この制御手段２００の概要構成と機能につてい説明する。まず、周期構造体加工装置１００の全体を総括的にコンピュータ管理するとともに装置全体の運転制御を支配する中央制御部ＣＰＵと、この中央制御部ＣＰＵからの指令で各モータＭＯ，Ｍ１, Ｍ２，Ｍ３，ＭＭやＳＴの駆動制御をプログラム及び運転させるＰＣ制御機能を備えたＮＣ制御部ＮＣと、ＮＣ制御部ＮＣからの指令を受けて各モータＭＯ，Ｍ１, Ｍ２，Ｍ３，ＭＭやＳＴを駆動する駆動部ＤＤとからなる。これらの機能を備えた上記制御手段２００の制御のもとに、各ユニット３，５，９，１０，２０，３０，Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，ＭＭやＳＴの駆動部ＤＤを作動させる。これで、上記光学偏光素子となるλ／２板Ｐが設けられた第一回転筒体４１を、反射ミラーＭが設けられた第二回転筒体４９に対して１／２の回転量で回転駆動させる回転駆動手段ＳＤ（詳細は後記する）が駆動モータＭＯで駆動される。これで、フェムト秒レーザＬＯの直線偏光の偏光方向の向きを変えることなく外周体Ｗの内周面Ｗ１に照射して周期性溝ＫＭが同一方向に整列加工される。更に、上記外周体Ｗは、これを把持具７で支持するＹ軸駆動手段５を乗せたＺ軸駆動手段９により第二回転筒体４９の軸芯方向Ｏ１に外周体Ｗの軸芯方向Ｏ２を移動させることで、上記フェムト秒レーザＬＯを外周体の外周面に所定幅だけ照射させ、微細周期性溝が所定幅だけ整列加工される。更には、Ｙ軸駆動手段５や第一回転筒体４１及び第二回転筒体４９とを、一定の関係の基に回転させることも可能であるし、Ｚ軸駆動手段９の進退制御と絡めての三次元形状の外周体の外周面に倣う制御運転が可能である。
【００４２】
続いて、上記レーザ加工ヘッド２０について、図３と図４でその中枢部となる第一回転筒体４１を第二回転筒体４９の１／２の回転量で両筒体を回転駆動させる回転駆動手段ＳＤと、両筒体内に設けた光学系を説明する。先ず、上記防振台１の基盤２上には、上記レーザ加工ヘッド２０を水平姿勢に支持する支持体４０がその回転軸芯Ｏ１を水平方向にして、座板４０ＡをボルトＢにより固着されている。上記支持体４０内の後端側（図示の右端）には、短身で回転自在な第一回転筒体４１が軸受手段を介して支持されており、この第一回転筒体４１のレーザ光源側が軸受手段を介した連絡筒４２によりレーザ出力部２０Ａに繋がれている。上記連絡筒４２には、光学系となる平凹レンズＲ１を備え、上記第一回転筒体４１の筒内先端には、平凸レンズＲ２・光学偏光素子となるλ／２板Ｐが取り付けられている。更に、上記支持体４０内の先端側（図示の左端）には、第二回転筒体４９が軸受手段を介して支持されており、第一回転筒体４１と第二回転筒体４９とは、回転駆動手段ＳＤにより回転される。即ち、第一回転筒体４１の外周にプーリー４３を備え、これが駆動モータＭＯの回転軸４７に取り付けたプーリー４４（プーリー４３の１／４の歯数）と確動ベルトＫＢ１で繋がれている。尚、上記駆動モータＭＯは、支持体４０から突設したフランジ４６に保持され、回転軸４７が上記支持体４０に取り付けた軸受体４８に回転自在に支持されている。上記支持体４０内の先端側（外周体Ｗ側）には、短身で回転自在な第二回転筒体４９が軸受手段を介して支持されている。上記第二回転筒体４９の外周にプーリー５０を備え、これが駆動モータＭＯの回転軸４７に取り付けたプーリー５１（プーリー５０の１／２の歯数）と確動ベルトＫＢ２で繋がれている。これにより、第二回転筒体４９は第一回転筒体４１の１／２の回転量で両筒体が回転駆動される。上記第二回転筒体４９の筒内の後端側には、光学系のアイリスＡ２・三連スライド式のホモジナイザーＨ（エネルギー効率を改善する周期性溝用ホモジナイザーＨ１とディンプル加工用ホモジナイザーＨ２と両者の混合加工用ホモジナイザーＨ３の三種類に切替え選択される）・平凸レンズＲ３が順次に配置されている。また、上記第二回転筒体４９の先端部には、外筒４９Ａとこの軸芯Ｏ１方向にスライドする内筒４９Ｂとが連設され、この内筒４９Ｂの先端には、反射ミラーＭがフェムト秒レーザＬＯを外径方向へ屈折するようにダイアル取付具Ｄにより角度調節可能に配置されている。しかして、上記反射ミラーＭは、外周体Ｗの外周面に向けた外径方向にフェムト秒レーザＬＯを直線偏光として照射される。尚、外筒４９Ａに対してスライドする内筒４９Ｂは、反射ミラーＭに対するフェムト秒レーザＬＯの焦点距離を調節させる機能を持たせている。
【００４３】
上記レーザ加工ヘッド２０において、光学系の全体構成の概要を説明する。まず、上記外周体Ｗの外周面Ｗ１に微細周期性溝ＫＭを加工する場合は、図３と図６と図７に示すように、フェムト秒レーザ発振器１０のレーザ出力部２０Ａからのフェムト秒レーザＬＯは、アイリスＡ１・シャッターＳＴ・平凹レンズＲ１を介して進み、更に、レーザ加工ヘッド２０の第一回転筒体４１内の平凸レンズＲ２とλ／２板ＰとアイリスＡ２を介して進み、更に、第二回転筒体４９内の周期性溝用ホモジナイザーＨ１から平凸レンズ（集光レンズ）Ｒ３を介して先端の反射ミラーＭに至る。上記周期性溝用ホモジナイザーにする理由は、上記フェムト秒レーザ光ＬＯのエネルギー波形は、図９（b ）に示す山形の二次曲線のもので両裾のエネルギーが利用されない。そこで、図９（c ）に示すように、その特性を改善する周期性溝用ホモジナイザーＨ１によりエネルギー分布を矩形に整形し、エネルギー効率を限り無く１００％にすることが可能だからである。従って、エネルギー効率を問題にしなければ、上記周期性溝用ホモジナイザーＨ１は省略することも可能である。続いて、反射ミラーＭで外径方向に曲げられたフェムト秒レーザＬＯは、外周体Ｗの周面Ｗ１に直線偏光の形（直径２mm前後）で照射される。即ち、フェムト秒レーザ光ＬＯによる微細周期性溝ＫＭの溝方向と加工面積は、フェムト秒レーザの偏光方向とフル−エンス（レーザ出力のエネルギー）に依存されるから、これらを制御しなければならない。従って、本発明の周期構造体加工装置１００のように、三次元形状の外周体Ｗの外周面Ｗ１を加工するに際して、フル−エンス（レーザ出力のエネルギー）が一定した状態では、フェムト秒レーザ光ＬＯの直線偏光の方向を反射ミラーＭの回転に伴って制御しなければならない。具体的には、上記第一回転筒体４１の光学経路上に入れた上記λ／２板Ｐを、第二回転筒体４９内の反射ミラーＭとの回転位置の調節により、フェムト秒レーザＬＯの直線偏光の方向が制御される。即ち、図６に示すように、反射ミラーＭの１回転（θh ）に対して、λ／２板Ｐを半回転θp
させることで外周体Ｗの外周面に一様な方向（図示では、外周体Ｗの軸芯方向にほぼ向けて整列させた方向）に微細周期性溝ＫＭが加工される。（図６と図７を参照）
【００４４】
上記λ／２板Ｐの追記説明をすれば、上記フェムト秒レーザＬＯは、光束に直交する方向の偏光成分（Ｓ成分とＰ成分）を持っている。この偏光成分に位相差（１／４波長と１／２波長分に変化）を与えるものが位相板である。位相差π／２（90°）を与えるものをλ/4板と言い、直線偏光を円偏光に、逆に円偏光を直線偏光に変換する。また、位相差π（180 °）を与えるものをλ／２板と言い、直線偏光の偏光方向のみを９０°方向の向きに変える。本発明では、λ／２板Ｐが使用される。このλ／２板Ｐは、例えば、図５の拡大写真に示すように、平面ガラス板Ｇの一部分に屈折率、厚さの等方性の透明薄膜Ｇ１を付けたもの、または透明薄膜の付いた部分と付かない部分とを透過する光の間に位相差ができるようにしたものである。従って、上記直線偏光のフェムト秒レーザＬＯが、λ／２板Ｐと反射ミラーＭを通過して外周体Ｗの外周面Ｗ１に照射される直線偏光との関係を図６で説明する。フェムト秒レーザ光ＬＯの偏光方向に対して、λ／２板Ｐを回転させることでこのλ／２板Ｐを通過するフェムト秒レーザ光ＬＯの偏光方向をその回転角量だけ変えられる。従って、反射ミラーＭを回転させて、外周体Ｗの外周面Ｗ１を加工するには、図６に示すように、反射ミラーＭの２回転（θh ）に対して、λ／２板Ｐを１回転（θp ）させることで外周面に一様な方向に整列された微細周期性溝ＫＭが加工される。
【００４５】
次に、上記外周体Ｗの外周面にＷ１にディンプルＤＰを加工する場合は、図３と図６と図８に示すように、フェムト秒レーザ発振器１０のレーザ出力部２０Ａからのフェムト秒レーザ光ＬＯは、アイリスＡ１・シャッターＳＴ・平凹レンズＲ１を介して進み、更にレーザ加工ヘッド２０の第一回転筒体４１内の平凸レンズＲ２とλ／２板Ｐ、アイリスＡ２・ディンプル加工用ホモジナイザーＨ２を介して進み、更に第二回転筒体４９内の平凸レンズ（集光レンズ）Ｒ３を介して先端の反射ミラーＭに至る。この後、反射ミラーＭで外径方向に曲げられたフェムト秒レーザ光ＬＯは、外周体Ｗの外周面Ｗ１に照射される。即ち、フェムト秒レーザＬＯによるディンプルＤＰは、外周体Ｗの外周面を加工するに際して、光学経路上の第二回転筒体４９内にディンプル加工用ホモジナイザーＨ２を入れたフェムト秒レーザＬＯにより、ディンプルＤＰが加工される。上記ディンプル加工用ホモジナイザーＨ２は、図９（ａ）に示すように、一種のホログラムであり、集光部のエネルギー分布を制御する。即ち、ディンプル加工用ホモジナイザーＨ２は、その表面に微細な凹凸があり、この凹凸を通過するフェムト秒レーザＬＯの光が回折し、多数のエネルギー分布（エネルギー密度の高い複数のスポットＳ１〜Ｓ６）を生じさせる。このエネルギー分布により、図８に示すようなディンプルＤＰが加工される。尚、微細周期性溝ＫＭとディンプルＤＰとを混合加工する混合加工用ホモジナイザーＨ３に切替えれば、図９（ｄ）に示すように、均一なエネルギー分布ＳＯとエネルギー密度の高い複数のスポットＳ１〜Ｓ６とが存在し、微細周期性溝ＫＭとディンプルＤＰとが混在した複合加工ができる。
【００４６】
しかして、再度、レーザ加工ヘッド２０の構成を簡潔に説明すれば、図７（ａ）に示すように、外周体Ｗの外周面に一様な方向に微細周期性溝ＫＭを整列加工するには、図７（ｂ）に示すレーザ加工ヘッド２０の光学系の構成とする。また、図８（ａ）に示すディンプルＤＰを一様な方向に整列加工するときは、図８（ｂ）に示すレーザ加工ヘッド２０の光学系の構成とする。尚、上記ディンプル加工用ホモジナイザーＨ２無しでの実施時は、フェムト秒レーザＬＯのエネルギー分布を一点に集中させ、１つづつのディンプルＤＰの加工も可能だが、加工能率が悪いので実用的とは言えない。
【００４７】
本発明の外周体の周期構造体加工方法とその装置は、上記構成要件からなり、以下のように作用する。
先ず、上記外周体Ｗの周期構造体加工方法は、レーザ加工ヘッド２０において、λ／２板ＰとホモジナイザーＨ１と反射ミラーＭとの作用を受けて外周体Ｗに向けてフェムト秒レーザＬＯを照射して微細周期性溝ＫＭが加工される。即ち、図２〜図４，図７に示すように、レーザ出力部２０Ａは、支持体４０に第一回転筒体４１と第二回転筒体４９とを備え、第一回転筒体４１のλ／２板Ｐにフェムト秒レーザ光ＬＯを通過させホモジナイザーＨ１でエネルギー分布が改善された制御可能な直線偏光となる。続いて、上記第二回転筒体４９の反射ミラーＭによりフェムト秒レーザＬＯが回転軸線Ｏ１の方向から外径方向の外周に向けて進み、外周体Ｗの外周面Ｗ１に向けて照射される。このとき、上記第一回転筒体４１と第二回転筒体４９とが回転駆動手段ＳＤにより回転θ３（θｐ，θｈ）される。即ち、図６の作用説明図に示すように、第二回転筒体４９が１回転θ３されるに際して、上記λ／２板Ｐを上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させるとともに、上記チャック手段に把持された外周体Ｗは、Ｙ軸駆動手段５及びＸ軸駆動手段３０で合成移動されることで、上記反射ミラーの外周囲の一定の半径位置に自転停止状態で公転θ２させる。これで、上記フェムト秒レーザＬＯは、上記外周体Ｗが上記反射ミラーの外周囲を公転するとき、その外周面Ｗ１の全周に照射してナノ周期構造の微細周期性溝ＫＭを同一方向に整列加工する。
【００４８】
また、上記加工において、外周体をチャック手段で支持するＹ軸駆動手段５を乗せたＺ軸駆動手段９を軸芯方向Ｏ２へ連続移動または間欠移動させると、上記フェムト秒レーザが外周体に所定幅だけ照射される。これで、外周体に、微細周期性溝が同一方向に所定幅だけ整列加工されることになる。その加工結果は、図７に示すものとなる。即ち、フェムト秒レーザＬＯは、円形状（２mm前後のビーム幅Ｌ）をなし、これを外周体Ｗの外周面Ｗ１に向けて照射するとともに、上記λ／２板Ｐを上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させることで、連続した周期性の微細周期性溝（２mm前後の加工幅Ｌ）ＫＭが同一方向に整列加工される。尚、上記作用において、外周体Ｗの軸芯Ｏ２方向への微細周期性溝ＫＭの加工幅は、該外周体Ｗを支持するチャック手段をＺ軸駆動手段９によりその＋Ｚ軸方向へ前進させた幅に一致する。
【００４９】
しかして、外周体Ｗの外周面Ｗ１には、図１０に示すように、Ｚ軸駆動手段９の２通りの移動方法とその加工軌跡Ｋ１，Ｋ２による加工が行なわれる。即ち、図１０（ａ）は、第二回転筒体４９の一回転θ３及び外周体Ｗの一公転θ２毎に、Ｚ軸駆動手段９を所定量毎の１ピック送りを繰り返した間欠移動の加工軌跡Ｋ１により、外周面Ｗ１に対して周期構造体を所定幅に加工するものである。また、図１０（ｂ）は、第二回転筒体４９の一回転θ３及び外周体Ｗの一公転θ２毎に、Ｚ軸駆動手段９を所定量の１ピック送りをネジ棒送りのように連続移動したスパイラル状の加工軌跡Ｋ２で加工するものである。これにより、外周面Ｗ１に対して周期構造体を所定幅に加工される。しかして、任意寸法の加工幅にナノ周期構造の微細周期性溝ＫＭやディンプルＤＰが加工される。尚、上記微細周期性溝ＫＭの加工幅Ｌは、フェムト秒レーザ光ＬＯの出力に比例的に広くなる。図１１に微細周期性溝ＫＭの拡大した顕微鏡写真を示している。
【００５０】
続いて、上記外周体の周期構造体加工方法とその装置１００は、図２，図３，図８に示すように、λ／２板Ｐと反射ミラーＭとの間にホモジナイザーＨ２を配置した実施例とすることができる。この時のフェムト秒レーザ光ＬＯのエネルギー断面は、図８に示すように、エネルギー密度の高いスポットＳ１〜Ｓ６が数点見られる。ここで、上記と同様に、第二回転筒体４９が１回転θ３されるに際して、上記λ／２板Ｐを上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させるとともに、上記外周体を上記反射ミラーの外周囲の一定の半径位置に自転停止状態で公転θ２させると、上記フェムト秒レーザＬＯを外周体の外周面の全周に照射回転して周期構造体のディンプルＤＰが同一方向に整列加工される。更に、上記加工において、外周体を支持するチャック手段７とこれを回転させるワーク回転駆動部５ＡとこのＹ軸駆動手段５とを乗せたＺ軸駆動手段９が軸芯方向Ｏ２へ連続移動または間欠移動されると、上記フェムト秒レーザが外周体に所定幅だけ照射される。これで、外周体に、ディンプルＤＰが同一方向に所定幅だけ整列加工されることになる。その加工結果は、図８に示すものとなる。
【００５１】
これにより、上記微細周期性溝ＫＭ以外のディンプルＤＰが外周体Ｗに効率良く加工される。上記外周体Ｗの軸芯方向へのディンプルＤＰの加工幅は、該外周体Ｗを把持チャック手段をワーク回転駆動部５Ａによる回転状態において、Ｚ軸駆動手段９を＋Ｚ軸方向へ前進させた幅に一致する。しかして、外周体Ｗの外周面Ｗ１には、任意寸法の加工幅にディンプルＤＰが並べられて間欠移動又はネジ送りのようにスパイラル状に加工される。図１０に、進退テーブル９の二つの移動方法と加工軌跡加工方法を説明する。図１２にディンプルＤＰの一つを拡大した顕微鏡写真を示している。
【００５２】
従って、上記外周体Ｗが、例えば、クランクシャフトであれば、軸状の軸の外周面に微細周期性溝ＭＫ（２mm前後の加工幅Ｌ、一本の溝幅は数百ｎｍ）やディンプルＤＰが別個に加工される。更には、両者の混合加工用のホモジナイザーＨ３に切替えれば、図９（ｄ）に示すように、均一なエネルギー分布ＳＯとエネルギー密度の高い複数のスポットＳ１〜Ｓ６とが存在し、微細周期性溝ＫＭとディンプルＤＰとが混在した形態に複合的に加工される。上記微細周期性溝ＭＫやディンプルＤＰを、外周体Ｗの一つの形態であるクランクシャフトに加工すれば、ピストロッドとの接触面積の低減及び多数の凹溝に潤滑油が溜まってエンジンにおける摩擦抵抗を極限まで減らすことが可能になり、自動車の燃費改善が最大限に図られる。
【００５３】
以上、本発明の第１の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置によれば、下記のような効果が発揮される。即ち、第一回転筒体と第二回転筒体とが回転駆動手段により一回転されるに際して、上記λ／２板ＰとホモジナイザーＨを上記反射ミラーの１／２の回転量で両筒体を回転させることで、上記フェムト秒レーザＬＯを各種の外周体Ｗに対する外面に照射回転して周期構造体（微細周期性溝ＫＭ）が同一方向に整列加工できる。しかして、外周体となるエンジンにおけるクランクシャフト等の軸摩擦抵抗をはじめとして、ベアリングの回転摩擦抵抗を極限まで減らすことができる。
【００５４】
更に、λ／２板と反射ミラーとの間に配置したホモジナイザーＨ２や混合加工用ホモジナイザーＨ３によりフェムト秒レーザの直線偏光を集光させることができるから、周期構造のディンプルＤＰや混合加工を外周体Ｗに効率良く加工でき、多数の溝に潤滑油が溜まってエンジンにおける摩擦抵抗を極限まで効率良く減らすことができる。
【００５５】
続いて、図１３〜図１６により、本発明の第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００´を説明する。この周期構造体加工方法と装置１００´は、筒体４９と反射ミラーＭ側を固定し、外周体Ｗを回転させて、上記λ／２板Ｐを省略したものである。その全体構成は、フェムト秒レーザ発振器１０と、上記フェムト秒レーザ発振器１０から発射される直線偏光のフェムト秒レーザＬＯを導入するレーザ加工ヘッド２０を備える。上記レーザ加工ヘッド２０には、これに導入されたフェムト秒レーザをホモジナイザーＨ（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３の一つ）を介して集光レンズＲ３で集光させ先端部の反射ミラーＭで外径方向に進ませる筒体４９を備え、上記反射ミラーで外径方向に向けたフェムト秒レーザを上記反射ミラーの外周囲にチャック手段に把持された外周体Ｗに照射する機能を有する。更に、上記レーザ加工ヘッド２０における上記反射ミラーの外周囲にチャック手段７に着脱自在に把持した外周体Ｗを配置し、その位置制御を行うワーク制御テーブル３を備える。
上記ワーク制御テーブル３は、上記第１の実施の形態と同一であるが、再度説明をする。即ち、上記ワーク制御テーブル３は、外周体Ｗをチャック手段７で把持または解放しＸ軸方向（図示の前後方向）に移動させるＸ軸駆動手段３０と、これに搭載されて外周体ＷをＺ軸方向（図示の左右方向）に移動させるＺ軸駆動手段９と、このＺ軸駆動手段９上のコラム９Ａに搭載されてＹ軸方向（図示の上下方向）に移動させるＹ軸駆動手段５と、この前壁面に配置され上記チャック手段７を回転するワーク回転駆動部５Ａとからなる。しかして、上記外周体Ｗは、上記レーザ出力部２０Ａの軸芯（回転中心）Ｏ１に対してその軸芯（回転中心）Ｏ２を一致させるべく、Ｙ軸駆動手段５と、これを左右Ｘ軸の方向に移動させるＸ軸駆動手段３０との合成された微動送りで位置合わせが行われる。また、上記レーザ出力部２０Ａに対する外周体Ｗの挿入深さ位置ＺＡは、上記Ｘ軸駆動手段３０に搭載されたＺ軸駆動手段９を前後方向となる−Ｚ軸方向（図示の左側方向）又は＋Ｚ軸方向（図示の右側方向）へ微動させて行う。更に、上記外周体Ｗを、上記レーザ加工ヘッド２０の先端における内筒４９Ｂの外周でフェムト秒レーザＬＯの照射を受けながら回転ＲＯさせるには、ワーク回転駆動部５Ａ内の回転制御モータＭＭによりチャック手段７を回転駆動させて行われる。上記上下のＹ軸と左右のＸ軸と前後のＺ軸の各駆動は、ガイドレール部材Ｇ１, Ｇ２, Ｇ３とＹ軸送りのモータＭ１及びＺ軸送りのモータＭ２，Ｘ軸送りのモータＭ３により行われる。上記ワーク制御テーブル３やその他のユニット１０，２０，等は、上記制御手段２００により制御される。尚、その他の部材の詳細構成は、上記第１の実施の形態の周期構造体加工装置１００と、同一符号を付して説明を省略する。
【００５６】
本発明の第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工装置１００´は、上記構成からなり、以下のように外周体の周期構造体加工方法が実施される。即ち、筒体４９を回転させず、λ／２板を使用することなく、外周体のような三次元曲面にナノ周期構造体を成形させる方法と装置においては、フェムト秒レーザ発振器１０から発射されるフェムト秒レーザＬＯは、レーザ加工ヘッド２０へ導かれ、この筒体４９に導入されるフェムト秒レーザは、ホモジナイザーＨ１を介して集光レンズＲ３で集光されつつ先端部の反射ミラーＭで外径方向に進むフェムト秒レーザとなる。上記反射ミラーの外周囲にワーク回転駆動部５Ａで支持された外周体Ｗの外周面Ｗ１に向けて照射される。この状態で外周体Ｗをワーク回転駆動部５Ａによるチャック手段７で回転させれば、連続した周期性の微細周期性溝ＫＭが同一方向に整列加工される。ここで、上記外周体をワーク回転駆動部５Ａにより回転θ１させつつＺ軸駆動手段９で軸芯方向Ｏ２へ移動させると、フェムト秒レーザが外周体Ｗの外周面Ｗ１に所定幅照射される。この結果、外周体Ｗ１には、微細周期性溝ＭＫが同一方向に所定幅だけ整列加工され、簡単な加工装置で実行される。即ち、図１０（ａ）に示すように、ワーク回転駆動部５Ａによる外周体Ｗの一回転θ１毎に、Ｚ軸駆動手段９を所定量毎の１ピック送りを繰り返した間欠移動により、外周面Ｗ１に対して周期構造体が所定幅に加工される。また、図１０（ｂ）のように、ワーク回転駆動部５Ａの一回転θ１毎に、Ｚ軸駆動手段９を所定量の１ピック送りをネジ棒送りのように連続移動すればスパイラル状に加工される。これにより、外周面Ｗ１に対して周期構造体が所定幅に加工される。しかして、任意寸法の加工幅にナノ周期構造の微細周期性溝ＫＭが加工される。尚、上記微細周期性溝ＫＭは、図１１に微細周期性溝ＫＭの拡大した顕微鏡写真を示している。
【００５７】
また、上記ナノ周期構造体を成形させる方法と装置１００´においては、筒体４９内のホモジナイザーＨ１を、別のディンプル加工用ホモジナイザーＨ２に切替えれば、外周体Ｗの外周面Ｗ１には、任意寸法の加工幅にナノ周期構造のディンプルＤＰが加工させられる。更に、別の混合加工用ホモジナイザーＨ３に切替えれば、外周体Ｗの外周面Ｗ１には、任意寸法の加工幅に微細周期性溝ＭＫとディンプルＤＰとの混合加工が行なわれる。
【００５８】
本発明の第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００´によれば、下記のような効果が発揮される。即ち、筒体４９を回転させず、λ／２板を使用することなく、ワーク回転駆動部５Ａによる外周体Ｗの回転とＺ軸駆動手段９による進退移動だけの制御で良く、極めて簡単な装置と加工方法により、外周体のような三次元曲面に各種形状の周期構造体を加工することができる。その他の効果は、上記第１の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００と同様な効果が期待できる。
【００５９】
ところで、上記第１及び第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００，１００´は、その外周体Ｗの対象ワークを丸棒体（クランクシャフトやローラーベアリングのローラー）及びリング体であるベアリングの内輪( 円筒体) 等に限定されない。ここで、更なる具体的な部品となる多角体（ロータリーエンジンのローターやカムシャフトのカム等）、球体（ボールベアリングのボール等）について、その加工例を、図１７〜図２０により説明する。
【００６０】
先ず、多角体（ロータリーエンジンのローターやカム等）Ｗ２の加工例を、図１７と図１８に示す。図１７は、上記第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００´によるもので、筒体４９を固定してフェムト秒レーザＬＯが一定方向に向けて発射される。即ち、ワーク回転駆動部５Ａのチャック手段７に支持された多角体Ｗ２の外周面に一定の照射距離ｒ1 のもとに照射される。上記多角体Ｗ２は、このワーク回転駆動部５Ａによるチャック手段７の回転θ１とＸ軸駆動手段３０とＹ軸駆動手段５とによる合成移動で、０°〜３６０°までの一回転θ１で外周面を加工するとともに、Ｚ軸駆動手段９によるＺ軸方向への連続移動したスパイラル状の加工軌跡Ｋ２（勿論、間欠移動の加工軌跡Ｋ１でも良い）で、多角体Ｗ２の全幅が加工される。
【００６１】
続く、図１８は、上記第１の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００によるもので、フェムト秒レーザＬＯを回転θ３させながら発射し、この先端のワーク回転駆動部５Ａのチャック手段７に把持された多角体Ｗ２の外周面に一定の照射距離ｒ1 のもとに照射される。即ち、多角体Ｗ２はワーク回転駆動部５Ａの固定で回転が止められ、Ｘ軸駆動手段３０とＹ軸駆動手段５とによる合成移動で、０°〜３６０°までの一回転θ１で外周面を加工するとともに、Ｚ軸駆動手段９によるＺ軸方向への連続移動したスパイラル状の加工軌跡Ｋ２（勿論、間欠移動の加工軌跡Ｋ１でも良い）で、多角体Ｗ２の全幅が加工される。
【００６２】
続く、図１９は、上記第２の実施の形態となる外周体の周期構造体加工方法とその装置１００´によるもので、筒体４９を固定してフェムト秒レーザＬＯを一定方向に発射し、この先端のワーク回転駆動部５Ａのチャック手段７に把持された球体（ベアリングのボールやその他）Ｗ３の外周面に一定した照射距離ｒ1 のもとに照射される。即ち、球体Ｗ３をワーク回転駆動部５Ａによるチャック手段７の回転θ１とＸ軸駆動手段３０とＹ軸駆動手段５とによる合成移動（円移動）で、０°〜３６０°の一回転を繰り返して外周面を加工する。即ち、その外径を次第に大きくしながらＺ軸駆動手段９によるＺ軸方向への連続移動したスパイラル状の加工軌跡（次第にその半径ｒ３を大きくする）Ｋ３（勿論、間欠移動の加工軌跡Ｋ４でも良い）で、球体Ｗ３の上半分幅が加工される。尚、下半分幅を加工するには、球体Ｗ３の上下を入れ替えて加工される。勿論、球体Ｗ３を転がしながら全面を加工させても良い。
更に、図２０は、図１９の球体Ｗ３の加工において、上記球体に対するフェムト秒レーザＬＯの照射ポイントＰＯを、球体の片側縁ｅ１から始まり他側縁ｅ２へと１ピック送りしつつ球体の外径方向に往復移動させるべく、球体またはレーザ加工ヘッドを往復移動軌跡Ｋ５で移動させるこにより加工される。その制御は、球体Ｗ３を移動させる時は、ワーク回転駆動部５Ａに備えるチャック手段７をＸ軸駆動手段３０とＹ軸駆動手段５とによる合成移動で実施される。尚、上記フェムト秒レーザＬＯの焦点深度を長く・深く採ることにより、反射ミラーから球体表面までの照射距離ｒ１が変化しても、正確な周期構造体が加工される。また、球体を固定し、レーザ加工ヘッド２０を移動させても良い。尚、図２１に加工された球体の写真を示す。加工面から光屈折による虹が確認できる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明の外周体の周期構造体体加工方法とその装置は、外周体の各種の加工例で説明した。その具体例は、自動車の燃費改善対策として、エンジンにおけるクランクシャフトやカム、ベアリングの外輪に対する加工を施すことで、摩擦低減がなされるもので説明した。しかし、上記ワークに限定されず、その他の回転機器や摺動機器の回転・摺動摩擦抵抗を極限まで減らすために加工を施すことが可能である。更に、本発明の方法とその装置において、発明の要旨内での各部の設計変更や構成部材の変更・置換も自由に行え得るものである。具体的には、上記各実施の形態では、横型の周期構造体加工装置１００，１００´として説明したが、フェムト秒レーザ発振器１０を上部に配置して下向きにレーザを発射し、この下部に配置したワークを加工する縦型の周期構造体加工装置としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示し、外周体の周期構造体加工装置の全体構成図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示し、反射ミラー部の概要断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示し、レーザ加工ヘッドの詳細な断面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示し、レーザ加工ヘッドの駆動系の側面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態を示し、λ／２板の拡大写真図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態を示し、λ／２板の作用図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態を示し、微細周期性溝を加工するレーザ加工ヘッドの構成図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態を示し、ディンプルを加工するレーザ加工ヘッドの構成図である。
【図９】本発明の第１の実施の形態を示し、ホモジナイザーの構成図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態を示し、Ｚ軸駆動手段の移動方法と加工軌跡の説明図である。
【図１１】微細周期性溝の拡大写真図である。
【図１２】ディンプルの拡大写真図である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態を示し、外周体の周期構造体加工装置の全体構成図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態を示し、レーザ加工ヘッドの詳細な断面図である。
【図１５】本発明の第２の実施の形態を示し、微細周期性溝を加工するレーザ加工ヘッドの構成図である。
【図１６】本発明の第２の実施の形態を示し、ディンプルを加工するレーザ加工ヘッドの構成図である。
【図１７】具体的ワークの実施形態を示し、多角体の加工例の斜視図である。
【図１８】具体的ワークの実施形態を示し、多角体の加工例の斜視図である。
【図１９】具体的ワークの実施形態を示し、球体の加工例の斜視図である。
【図２０】具体的ワークの実施形態を示し、球体の加工例の斜視図である。
【図２１】球体の拡大写真図である。
【符号の説明】
【００６５】
１ 防振台
２ 基盤
３ ワーク制御テーブル
５ Ｙ軸駆動手段
５Ａ ワーク回転駆動部
７ 把持具
９ Ｚ軸駆動手段
９Ａ 垂直台
１０ フェムト秒レーザ発振器
１０Ａ レーザ発生部
１０Ｂ ファイバーレーザ発振器
１０Ｃ パルスストレッチャー
１０Ｄ Ｔｉ：ｓａｐｐｈｉｒｅ再生増幅器
１０Ｅ パルスコンプレッサー
１０Ｆ レーザパワー減衰器
１０Ｇ 励起用パルスグリーンレーザ
１０Ｈ 電源制御部
１０Ｉ 筐体温度安定化用冷却装置
２０ レーザ加工ヘッド
２０Ａ レーザ出力部
３０ Ｘ軸駆動手段
４０ 支持体
４１ 第一回転筒体
４２ 連絡筒
４３ プーリー
４４ プーリー
４５ 保持体
４６ フランジ
４７ 回転軸
４８ 軸受体
４９Ａ 外筒
４９Ｂ 内筒
４９ 第二回転筒体（筒体）
５０ プーリー
５１ プーリー
Ａ１，Ａ２ アイリス
ＣＰＵ 中央制御部
ＤＤ 駆動部
ＤＰ ディンプル
ｅ１ 片側縁
ｅ２ 他側縁
ＮＣ ＮＣ制御部
ＭＫ 微細周期性溝
ＬＯ フェムト秒レーザ
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３ ガイドレール部材
ＫＢ１，ＫＢ２ 確動ベルト
Ｋ１〜Ｋ５ 加工軌跡
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３ モータ
ＭＭ 回転制御モータ
ＭＯ 駆動モータ
Ｍ 反射ミラー
Ｈ ホモジナイザー
Ｈ１ 微細周期性溝用のホモジナイザー
Ｈ２ ディンプル用のホモジナイザー
Ｈ３ 混合加工用のホモジナイザー
Ｏ１，Ｏ２ 軸芯（回転中心）
Ｐ λ／２板
ＰＯ 照射ポイント
ＲＯ 回転
Ｒ１ 平凹レンズ
Ｒ２，Ｒ３ 平凸レンズ（集光レンズ）
ｒ１ 照射距離
ＳＴ シャッター
ＳＤ 回転駆動手段
ＳＯ 均一なエネルギー分布
Ｓ１〜Ｓ６ スポット
Ｗ 外周体
Ｗ１ 外周面
Ｗ２ 多角体
Ｗ３ 球体
θh 反射ミラーの回転
θp 位相板の回転
θ１ 多角体の回転
θ２ 多角体の公転
θ３ フェムト秒レーザの旋回動
ＺＡ 挿入深さ位置
−Ｚ、＋Ｚ Ｚ軸方向
１００ 周期構造体加工装置
１００´ 周期構造体加工装置
２００ 制御手段
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体内に導き、第一回転筒体内に配置されたλ／２板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、上記第一回転筒体に対して軸芯を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体内に配置された集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外周体の外周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記反射ミラーを備えた上記第二回転筒体の回転１回転に対して上記λ／２板を備えた上記第一回転筒体を１／２回転させ、上記両筒体の回転に同期させながら上記外周体を上記反射ミラーの外周囲に自転停止状態で公転させて上記外周体の外周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とする外周体の周期構造体加工方法。
【請求項２】
上記外周体が把持されたチャック手段をＺ軸駆動手段により外周体の軸芯方向に連続移動または間欠移動させ、上記フェムト秒レーザを上記外周体の外周面に所定幅だけ照射することを特徴とする請求項１記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項３】
上記反射ミラーに向かうフェムト秒レーザを第二回転筒体内であって集光レンズの前側に配置されたディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーに入射させることにより、上記外周体の外周面にディンプルまたは混合の周期構造体を形成することを特徴とする請求項１または２記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項４】
上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である請求項１または２または３記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項５】
フェムト秒レーザ発振器と、上記フェムト秒レーザ発振器からの直線偏光のフェムト秒レーザを導入する回転可能な第一回転筒体と、上記第一回転筒体内に配置され上記フェムト秒レーザの偏光方向を変化させるλ／２板と、上記第一回転筒体に回転軸芯を合わせて配置される第二回転筒体と、上記第二回転筒体内に配置されフェムト秒レーザを集光させる集光レンズと、上記第二回転筒体筒の先端に配置されフェムト秒レーザを外径方向に屈折させる反射ミラーと、上記第二回転筒体の回転１回転に対して上記第一回転筒体を１／２回転させる回転駆動手段と、外周体を所定位置に把持するチャック手段と、上記チャック手段に設けられ外周体を上記反射ミラーの周りに公転駆動するＹ軸駆動手段及びＸ軸駆動手段と、を具備したことを特徴とする外周体の周期構造体加工装置。
【請求項６】
上記チャック手段を軸芯方向に進退させるＺ軸駆動手段を具備したことを特徴とする請求項５記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項７】
上記第二回転筒体内であって集光レンズの前側にディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを配置したことを特徴とする請求項５または６記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項８】
上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である請求項５または６または７記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項９】
フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを筒体内へ導き、筒体内の集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外筒体の外周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記外周体を回転させてこの外周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とする外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１０】
上記外周体が把持されたチャック手段をＺ軸駆動手段により上記外周体の軸芯方向に連続移動または間欠移動させ、上記フェムト秒レーザを上記外周体の外周面に所定幅だけ照射させることを特徴とする請求項９記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１１】
上記反射ミラーに向かうフェムト秒レーザを筒体内であって集光レンズの前側に配置されたディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーに入射させることにより、上記外周体の外周面にディンプルまたは混合の周期構造体を形成することを特徴とする請求項９または１０記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１２】
上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である請求項９たは１０または１１記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１３】
上記外周体が球体であって、上記球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントを、球体の頂点から次第に旋回径を大きくするスパイラル状の加工軌跡としたことを特徴とする請求項４または１２記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１４】
上記外周体が球体であって、上記球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントを、球体の片側縁から始まり他側縁へと１ピック送りしつつ球体の外径方向に往復移動させる往復移動軌跡としたことを特徴とする請求項４または１２記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１５】
フェムト秒レーザ発振器と、上記フェムト秒レーザ発振器からの直線偏光のフェムト秒レーザを導入する筒体と、上記筒体内に配置され直線偏光のフェムト秒レーザを集光させる集光レンズと、上記筒体先端側に配置されフェムト秒レーザを外径方向に屈折させる反射ミラーと、上記外周体を所定位置に把持するチャック手段と、上記チャック手段に設けられ外周体を回転駆動させるワーク回転駆動部と、を具備したことを特徴とする外周体の周期構造体加工装置。
【請求項１６】
上記チャック手段を外周体の軸芯方向に進退させるＺ軸駆動手段を具備したことを特徴とする請求項１５記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項１７】
上記筒体内であって集光レンズの前側にディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを配置したことを特徴とする請求項１５または１６記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項１８】
上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である請求項１５または１６または１７記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項１】
フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体内に導き、第一回転筒体内に配置されたλ／２板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、上記第一回転筒体に対して軸芯を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体内に配置された集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外周体の外周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記反射ミラーを備えた上記第二回転筒体の回転１回転に対して上記λ／２板を備えた上記第一回転筒体を１／２回転させ、上記両筒体の回転に同期させながら上記外周体を上記反射ミラーの外周囲に自転停止状態で公転させて上記外周体の外周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とする外周体の周期構造体加工方法。
【請求項２】
上記外周体が把持されたチャック手段をＺ軸駆動手段により外周体の軸芯方向に連続移動または間欠移動させ、上記フェムト秒レーザを上記外周体の外周面に所定幅だけ照射することを特徴とする請求項１記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項３】
上記反射ミラーに向かうフェムト秒レーザを第二回転筒体内であって集光レンズの前側に配置されたディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーに入射させることにより、上記外周体の外周面にディンプルまたは混合の周期構造体を形成することを特徴とする請求項１または２記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項４】
上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である請求項１または２または３記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項５】
フェムト秒レーザ発振器と、上記フェムト秒レーザ発振器からの直線偏光のフェムト秒レーザを導入する回転可能な第一回転筒体と、上記第一回転筒体内に配置され上記フェムト秒レーザの偏光方向を変化させるλ／２板と、上記第一回転筒体に回転軸芯を合わせて配置される第二回転筒体と、上記第二回転筒体内に配置されフェムト秒レーザを集光させる集光レンズと、上記第二回転筒体筒の先端に配置されフェムト秒レーザを外径方向に屈折させる反射ミラーと、上記第二回転筒体の回転１回転に対して上記第一回転筒体を１／２回転させる回転駆動手段と、外周体を所定位置に把持するチャック手段と、上記チャック手段に設けられ外周体を上記反射ミラーの周りに公転駆動するＹ軸駆動手段及びＸ軸駆動手段と、を具備したことを特徴とする外周体の周期構造体加工装置。
【請求項６】
上記チャック手段を軸芯方向に進退させるＺ軸駆動手段を具備したことを特徴とする請求項５記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項７】
上記第二回転筒体内であって集光レンズの前側にディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを配置したことを特徴とする請求項５または６記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項８】
上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である請求項５または６または７記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項９】
フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを筒体内へ導き、筒体内の集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外筒体の外周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記外周体を回転させてこの外周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とする外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１０】
上記外周体が把持されたチャック手段をＺ軸駆動手段により上記外周体の軸芯方向に連続移動または間欠移動させ、上記フェムト秒レーザを上記外周体の外周面に所定幅だけ照射させることを特徴とする請求項９記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１１】
上記反射ミラーに向かうフェムト秒レーザを筒体内であって集光レンズの前側に配置されたディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーに入射させることにより、上記外周体の外周面にディンプルまたは混合の周期構造体を形成することを特徴とする請求項９または１０記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１２】
上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である請求項９たは１０または１１記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１３】
上記外周体が球体であって、上記球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントを、球体の頂点から次第に旋回径を大きくするスパイラル状の加工軌跡としたことを特徴とする請求項４または１２記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１４】
上記外周体が球体であって、上記球体に対するフェムト秒レーザの照射ポイントを、球体の片側縁から始まり他側縁へと１ピック送りしつつ球体の外径方向に往復移動させる往復移動軌跡としたことを特徴とする請求項４または１２記載の外周体の周期構造体加工方法。
【請求項１５】
フェムト秒レーザ発振器と、上記フェムト秒レーザ発振器からの直線偏光のフェムト秒レーザを導入する筒体と、上記筒体内に配置され直線偏光のフェムト秒レーザを集光させる集光レンズと、上記筒体先端側に配置されフェムト秒レーザを外径方向に屈折させる反射ミラーと、上記外周体を所定位置に把持するチャック手段と、上記チャック手段に設けられ外周体を回転駆動させるワーク回転駆動部と、を具備したことを特徴とする外周体の周期構造体加工装置。
【請求項１６】
上記チャック手段を外周体の軸芯方向に進退させるＺ軸駆動手段を具備したことを特徴とする請求項１５記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項１７】
上記筒体内であって集光レンズの前側にディンプル加工用ホモジナイザーまたは混合加工用ホモジナイザーを配置したことを特徴とする請求項１５または１６記載の外周体の周期構造体加工装置。
【請求項１８】
上記外周体は、丸棒体または円筒体または多角体または球体である請求項１５または１６または１７記載の外周体の周期構造体加工装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図１１】
【図１２】
【図２１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図１１】
【図１２】
【図２１】
【公開番号】特開２００８−２００６９９（Ｐ２００８−２００６９９Ａ）
【公開日】平成２０年９月４日（２００８．９．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３７９６４（Ｐ２００７−３７９６４）
【出願日】平成１９年２月１９日（２００７．２．１９）
【出願人】（０００１２１２０２）エンシュウ株式会社 (25)
【出願人】（５０４１７６９１１）国立大学法人大阪大学 (1,536)
【出願人】（５９１１１４８０３）財団法人レーザー技術総合研究所 (36)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年９月４日（２００８．９．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年２月１９日（２００７．２．１９）
【出願人】（０００１２１２０２）エンシュウ株式会社 (25)
【出願人】（５０４１７６９１１）国立大学法人大阪大学 (1,536)
【出願人】（５９１１１４８０３）財団法人レーザー技術総合研究所 (36)
【Ｆターム（参考）】
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