密閉型洗浄装置
【課題】洗浄液の漏洩ロスや大気の吸引を可及的に低減して、より環境に優しく、安全で経済性を向上する。
【解決手段】洗浄液を用いて被洗浄物の洗浄を密閉可能な容器１中で行う密閉型洗浄装置において、前記容器１に設けられ前記被処理物を出し入れする搬入出口７と、前記搬入出口７に設けられる蓋１８と、前記搬入出口７の周囲に沿って配置される気密部材と、前記蓋１８を開閉する蓋開閉手段と、前記蓋１８が閉状態のとき、前記気密部材を介して前記蓋１８を前記搬入出口７の周囲に所定圧力で押圧することにより前記容器１を密閉状態とし、前記押圧を解除することにより前記容器１を非密閉状態とする蓋押圧手段と、前記密閉状態の容器１内の圧力変動を吸収するアキュムレータ８と、を有することを特徴とする。
【解決手段】洗浄液を用いて被洗浄物の洗浄を密閉可能な容器１中で行う密閉型洗浄装置において、前記容器１に設けられ前記被処理物を出し入れする搬入出口７と、前記搬入出口７に設けられる蓋１８と、前記搬入出口７の周囲に沿って配置される気密部材と、前記蓋１８を開閉する蓋開閉手段と、前記蓋１８が閉状態のとき、前記気密部材を介して前記蓋１８を前記搬入出口７の周囲に所定圧力で押圧することにより前記容器１を密閉状態とし、前記押圧を解除することにより前記容器１を非密閉状態とする蓋押圧手段と、前記密閉状態の容器１内の圧力変動を吸収するアキュムレータ８と、を有することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は密閉型洗浄装置に係り、特に一つの密閉可能な容器中で被洗浄物（ワーク）の液体洗浄、蒸気洗浄、乾燥を行うことが好適なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の密閉型洗浄装置として、例えば、容器中で被洗浄物を洗浄液により一次洗浄した後、容器から洗浄液を抜き取りその代わりに洗浄用蒸気を導入することで二次洗浄を行う洗浄装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３２８０５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、洗浄準備時には、容器の蓋を閉めて容器内の洗浄液を加温する際、容器内の上部空間のガス圧力が上昇する。この圧力の上昇したガスが、洗浄物を洗浄装置に投入するために容器の蓋を開閉する際、容器の外に放出されてしまう。
また、一次洗浄時には、容器内の洗浄液より低い温度の洗浄物を洗浄装置に投入する際、容器内の圧力が下降して容器内の洗浄液のガスに、大気中の水分や塵等が吸引されてしまう。
さらに、二次洗浄時には、容器内の洗浄液の蒸気圧の上昇を抑える為に、容器上部に冷却装置を設置しているが、冷却によるガス圧力の制御では容器の密閉を維持できる限界を超えることが多くなる。容器内のガス圧力が限界を超えると容器の蓋の隙間から洗浄液が漏洩する。
上述したように、洗浄液が容器より放出されたり漏洩したりすると洗浄液により外部環境が汚染されるため好ましくない。また漏洩による洗浄液の消費量が増大するため経済的でない。特に、洗浄液として比較的安価なものでなく、高価で洗浄効果の優れたものを用いると、僅かな洗浄液の漏洩によっても大きな損失を蒙ることになる。又、大気中の水分や塵等が容器内の洗浄液に吸引されてしまうと、洗浄力が落ちることになる。
【０００５】
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、洗浄液の漏洩ロスや大気の吸引を可及的に低減して、より環境に優しく、安全で経済性の高い密閉型洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、洗浄液を用いて被洗浄物の洗浄を密閉可能な容器中で行う密閉型洗浄装置において、前記容器に設けられ前記被処理物を出し入れする搬入出口と、前記搬入出口に設けられる蓋と、前記搬入出口の周囲に沿って配置される気密部材と、前記蓋を開閉する蓋開閉手段と、前記蓋が閉状態のとき、前記気密部材を介して前記蓋を前記搬入出口の周囲に所定圧力で押圧することにより前記容器を密閉状態とし、前記押圧を解除することにより前記容器を非密閉状態とする蓋押圧手段と、前記密閉状態の容器内の圧力変動を吸収するアキュムレータと、を有することを特徴とする密閉型洗浄装置が提供される。
【０００７】
この場合、前記密閉可能な容器は、貯留した洗浄液に被洗浄物を浸漬して洗浄する液体洗浄槽と、該液体洗浄槽の上方に配置され前記被洗浄物を前記洗浄液の蒸気で洗浄する蒸
気洗浄槽と、該蒸気洗浄槽の上方に配置され前記蒸気を冷却して凝縮させることにより雰囲気を乾燥させて前記被洗浄物を乾燥させる乾燥槽と、前記蒸気洗浄槽に蒸気を供給する蒸気発生槽とを有することが好ましい。
【０００８】
また、前記搬入出口が前記容器の上部に設けられていることが好ましい。
【０００９】
また、前記搬入出口が前記容器の側部に設けられていることが好ましい。
【００１０】
また、前記洗浄液から水を分離し、この水を分離した洗浄液を前記液体洗浄槽に戻す水分離器を備えることが好ましい。
【００１１】
また、前記容器に対して気密に設けられ、前記容器の内と外との間で被処理物を移送する移送手段を備えることが好ましい。
【００１２】
また、前記液体洗浄槽が複数設けられていることが好ましい。
【００１３】
また、前記洗浄液が臭素系洗浄液であることが好ましい。
【００１４】
また、前記被洗浄物を収容するバスケットを備え、前記被洗浄物は前記バスケット毎移送され、かつ洗浄されるように構成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、洗浄液の漏洩ロスや大気の吸引を可及的に低減して、より環境に優しく、安全で経済性の高い密閉型洗浄装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る一槽式の密閉型洗浄装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る二槽式の密閉型洗浄装置の蓋の開閉手段を示す説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）はｂ−ｂ矢視断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る二槽式の密閉型洗浄装置の概略構成を示す正面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る二槽式の密閉型洗浄装置の蓋の作動手段を示す説明図であって、（ａ）は密閉容器の平面図、（ｂ）は密閉容器の断面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る一槽式の密閉型洗浄装置の概略構成を示す図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、添付図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
＜第１の実施の形態＞
図１及び図２を用いて第１の実施の形態の密閉型洗浄装置及び蓋の作動手段を説明する。密閉型洗浄装置は、密閉可能な容器（以下、単に密閉容器という）と、蒸気発生槽と、水分離器と、移送手段と、アキュムレータと、蓋と、蓋開閉手段と、蓋押圧手段とを備える。
まず、図１を用いて密閉容器１、蒸気発生槽２、水分離器１０、移送手段２１、及びアキュムレータ８について説明する。
【００１９】
（密閉可能な容器）
密閉可能な容器１は、洗浄液２ａを用いて被洗浄物の洗浄を行う。被洗浄物は、そのま
ま密閉容器１に収容されることもあるが、通常はバスケット１２に収容され、バスケット１２毎移送され、かつ洗浄される。
【００２０】
密閉容器１は、上部が開口し底部が有底の筒体状に形成されている。密閉容器１は、下方に液体洗浄槽３を有する。液体洗浄槽３は、貯留した洗浄液２ａに被洗浄物を浸漬して液体洗浄する。液体洗浄槽３の上方に蒸気洗浄槽５が配置されている。蒸気洗浄槽５は、前記被洗浄物に洗浄用蒸気を吹き付けて被洗浄物を洗浄する。洗浄用蒸気には洗浄液２ａからなる蒸気が用いられる。蒸気洗浄槽５の上方に乾燥槽６が配置されている。乾燥槽６は、前記洗浄用蒸気を冷却して凝縮させ、乾燥槽６内の雰囲気を乾燥させることにより前記被洗浄物を乾燥させる。上記乾燥槽６は、密閉容器１の上部空間を構成する。
【００２１】
密閉容器１は、さらに液体洗浄槽３の側方に蒸気発生槽２を有する。蒸気発生槽２は、蒸気洗浄のための洗浄用蒸気を生成して前記蒸気洗浄槽５に供給する。
【００２２】
また、密閉容器１の上部の乾燥槽６内には冷却コイル４が設けられていて、乾燥ゾーンＺ１を構成している。また、密閉容器１内の底部の洗浄槽３内は液体洗浄ゾーンＺ３を構成しており、密閉容器１内の乾燥槽６と洗浄槽３との中間の蒸気洗浄槽５は蒸気洗浄ゾーンＺ２を構成している。
【００２３】
液体洗浄ゾーンＺ３には、液体洗浄槽３が設けられている。液体洗浄槽３には、被洗浄物を洗浄するために低沸点洗浄液が貯留されている。本実施の形態では、環境基準に適合するため、臭素系洗浄液（例えば、アブゾール（登録商標））、塩素系洗浄液又はふっ素系洗浄液等の低沸点洗浄液が貯留されている。特にアブゾールは、速い乾燥性、低いＧＷＰ（温暖化係数）、高いＫＢ値（油脂洗浄力）が得られるので、洗浄液として好ましい。
【００２４】
また、効率的な洗浄のため、液体洗浄槽３の底部側に超音波振動子３９が設置されている。超音波振動子３９を振動させて洗浄液を攪拌すると、洗浄効率が飛躍的に向上するので洗浄時間を大幅に短縮することができる。
【００２５】
また、密閉容器１の側壁下部に、洗浄液を回収するための溢流口８ａが設けられている。溢流口８ａは、洗浄液の回収、洗浄液の蒸気を密閉容器１内に導入させるための配管（以下、洗浄用蒸気導入管という）２ｃを介して蒸気発生槽２内と連通している。
【００２６】
（蒸気発生槽）
蒸気発生槽２は、前記蒸気洗浄槽５に蒸気を供給する。蒸気発生槽２には、液体洗浄槽３と同じ洗浄液が貯留され、洗浄液を加熱して洗浄用蒸気を生成するためヒータが設けられている。この実施の形態では、ヒータとして加熱コイル２ｂが設けられるが、抵抗加熱式のヒータを設けてもよい。加熱コイル２ｂは、冷凍機３０の冷凍サイクル（図示せず）に凝縮器として接続されている。冷却コイル４も冷凍サイクルの冷凍機３０に蒸発器として接続されている。冷凍サイクルに加熱コイル２ｂと冷却コイル４とを接続すると、冷凍機の効率よい運用が可能となる。
冷却コイル４は密閉容器１の側壁上部の内面に沿わせて設けられており、冷却コイル４の下方に凝縮液受け４３が設置される。
【００２７】
（水分離器）
水分離器１０は、洗浄液から水を分離し、この水を分離した洗浄液を前記液体洗浄槽３に戻す。凝縮液受け４３は、配管１０ｈを介して水分離器１０の導入口部１０ｅに接続される。水分離器１０は、本体である密閉槽１０ａと、密閉槽１０ａ内に上下方向に蛇行する流路１０ｂを形成することにより、比重差によって洗浄液と水分とに分離する複数のバッフル板１０ｃとから構成されている。水分離器１０の凝縮液（洗浄液）の排出口部１０
ｆは、排出管１０ｊを介して下流側の液体洗浄槽３に接続されている。
【００２８】
（移送手段）
移送手段２１は、密閉容器１の内と外との間で被処理物を移送する。移送手段２１は、バスケット１２を支持するアーム２１ｂと、アーム２１ｂを移動させる駆動手段２１ｃ、及びアーム２１ｂの先端に取り付けられた図示しないフォークとから主に構成される。フォークは密閉容器１内に収容されている。フォークを除いた各部は密閉容器１に気密に連接された移送手段収容部２１ｅ内に収容されている。移送手段２１のアーム２１ｂの昇降ストロークは、各ゾーンＺ１〜Ｚ３にフォークを移動させて配置させることができるよう、各ゾーンＺ１〜Ｚ３の位置に基づいて決定されている。なお、移送手段収容部２１ｅもこのようなストロークに対応するように形成されている。
移送手段収容部２１ｅには弁２１ａを介して空気抜き配管２１ｄが接続され、移送手段収容部２１ｅの空気を抜いて移送手段収容部２１ｅ内を密閉容器１と同じ雰囲気にするようになっている。
【００２９】
（アキュムレータ）
アキュムレータ８は、ガス給排管８４により密閉容器１と連通されている。アキュムレータ８は、密閉容器１に溜まるガスを密閉容器１の内外に出し入れすることにより、密閉容器１内の圧力変動を吸収するようになっている。ガスは大気や洗浄液が気化したガスである。アキュムレータ８は、浮き屋根式貯蔵タンクで構成され、下容器８２と蓋容器８１とを備える。下容器８２は、上部が開口し、下部に前記ガスと反応しない水などの不活性液体８５を貯める。蓋容器８１は、この下容器８２の開口を覆う。蓋容器８１は所定の重量を持ち、下容器８２の開口に嵌め込まれて不活性液体８５上に浮いている。入口配管８９が下方から下容器８２を通って蓋容器８１の内部上方まで達するように挿入されている。前記ガス給排管８４は入口配管８９に連通しており、蓋容器８１内に導かれて、蓋容器８１内にガス８６が溜まるようになっている。蓋容器８１内の空間に溜まるガス圧及び不活性液体８５が与える浮力と、蓋容器８１の重力とがバランスしてちょうど蓋容器８１が不活性液体８５上に浮上支持される。密閉容器１内の圧力の変動に応じて、蓋容器８１内に溜まるガス量が変化して、蓋容器８１が上下動して、密閉容器１内を一定の圧力に保持する。不活性液体８５は、バルブ８７を介してドレンパイプ８８より抜き取る。
アキュムレータ８により、密閉容器１内の圧力変動が吸収されると、密閉容器１内の内圧の変動や上昇が防止され、蒸気ラインＬの変動が防止されるので、蓋１８と搬入出口７との密閉性をさらに向上させることができる。
【００３０】
次に、図２を用いて蓋１８、蓋開閉手段４０、蓋押圧手段５０について説明する。
【００３１】
（蓋）
密閉容器１の上部開口１ａは、天板６１によって覆われている。その天板６１に被洗浄物を搬入出するための搬入出口７が設けられる。搬入出口７は、密閉容器１の上部に設けられる。図示例では、搬入出口７は乾燥槽６の上部に設けられる。搬入出口７の開口面は垂直方向を向いている。搬入出口７には蓋１８が開閉自在に設けられる。蓋１８は、例えば、アクチュエータにより開閉自在なゲート弁から構成することも、ヒンジにより回転自在なハッチ式とすることもできる。ここではゲート弁が採用されている。蓋１８をゲート弁で構成した場合は短時間での開閉が可能となるので、密閉容器１の密閉性を向上させることができる。また、装置全高を低くすることができる。
【００３２】
蓋１８には、搬入出口７を閉じたときに、蓋１８と接する搬入出口７の周囲に沿って気密部材１８ａが設けられる。気密部材としては、例えば、ゴム等の弾性材料で形成されたＯリングが好ましいが、その他のシールでもよい。蓋１８には、密閉容器１内を観察するための覗き窓１８ｂが設けられる。覗き窓１８ｂは、蓋１８の中央部に設けた窓孔１８ｃ
と、前記窓孔１８ｃに気密に固着された耐圧ガラス１８ｄとで構成される。また、蓋１８には、覗き窓１８ｂの外周に取手１８ｅが取り付けられている。この取手１８ｅは手動で蓋１８をスライド開閉するために設けられている。
【００３３】
（蓋開閉手段）
蓋開閉手段４０は、蓋１８を水平方向にスライドして開閉する。蓋開閉手段４０は、筐体６０の天板６１上に互いに平行に水平方向に設けられた２本のガイドレール４１、４１と、蓋１８に取り付けられ、ガイドレール４１、４１に係合してスライドするスライダ４２、４２とから構成される。蓋１８はガイドレール４１、４１に沿ってスムーズに水平移動するようになる。蓋１８は蓋開閉手段４０を用いて手動で開閉することも、自動で開閉することも可能である。手動で開閉する場合には、取手１８ｅをもって蓋１８をスライドさせる。自動で開閉する場合には、蓋１８に水平方向に伸縮する蓋開閉用のエアシリンダ４５を取り付け、この蓋開閉用のエアシリンダ４５の伸縮により蓋１８を自動で開閉させる。
【００３４】
（蓋押圧手段）
蓋押圧手段５０は、閉状態の蓋１８を搬入出口７の周囲に所定圧力で押圧することにより密閉容器１を密閉状態とし、その押圧力を解除することにより密閉容器１を非密閉状態とする。所定圧力は、例えば０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａである。蓋押圧手段５０は、エアシリンダやネジ、クランプで構成することができる。図示例では、蓋押圧手段５０をエアシリンダ５１ａで構成している。エアシリンダ５１ａは、蓋１８の周辺部を押さえ付けるために、蓋１８の外周に複数設けられる。エアシリンダ５１ａは、例えば、蓋１８の四隅に１個ずつ計４個設けられる。エアシリンダ５１ａは、そのシリンダ５１ｂを蓋１８の外周の天板６１に取り付けて、そのロッド５１ｃが蓋１８の四隅を押圧できるようにする。ロッド５１ｃの先端にはクッションゴムを設けるのが好ましい。
【００３５】
エアシリンダ５１ａは、蓋１８が搬入出口７を閉じているとき作動させる。エアシリンダ５１ａを蓋の主面に対して垂直方向に下降させることにより、気密部材１８ａを介して蓋１８を搬入出口７に押圧して、密閉容器１を密閉状態とする。エアシリンダ５１ａを上昇させることにより、蓋１８に加わる搬入出口７への押圧力を解除して、密閉容器１を非密閉状態とする。
【００３６】
なお、図２に示すように、前述した移送手段２１を収容する移送手段収容部２１ｅは、搬入出口７の側部の天板６１に密閉容器１と気密になるように取り付けられる。
【００３７】
（制御部）
図１に示す制御部９は、密閉容器１、蒸気発生槽２、水分離器１０、アキュムレータ８、移送手段２１、及び冷凍機３０、エアシリンダなどの制御系を制御するようになっている。
【００３８】
上述した密閉容器１、蒸気発生槽２、水分離器１０、アキュムレータ８、移送手段２１、制御部９、冷凍機３０、及び移送手段収容部２１ｅなどは筐体６０内に収納されている。このようにして密閉型基板洗浄装置が構成されている。
【００３９】
次に、上述のように構成された密閉型洗浄装置を用いて行う洗浄工程について説明する。尚、以下の説明において、密閉型洗浄装置を構成する各部の動作は制御部９により制御される。
（洗浄工程）
まず、準備工程として、冷凍機３０が作動され、冷却コイル４が冷却され、ヒータとしての加熱コイル２ｂが加熱される。すると、密閉容器１の乾燥槽６内雰囲気、及び、密閉
容器１の乾燥槽６の側壁が冷却され、密閉容器１の乾燥槽６内に、冷却・凝縮により、被洗浄物の乾燥を行うための乾燥ゾーン（冷却ゾーン）Ｚ１が形成される。
【００４０】
また、蒸気発生槽２に設けた加熱コイル２ｂの加熱により、蒸気発生槽２内に洗浄液の蒸気が生成され、洗浄用蒸気供給管２ｃを介して密閉容器１内に導入される。乾燥ゾーンＺ１は冷却コイル４により冷却されるので、乾燥ゾーンＺ１下と液体洗浄ゾーンＺ３との間に充満する洗浄用蒸気により蒸気洗浄ゾーンＺ２が形成され、結果として、乾燥ゾーンＺ１と冷却ゾーンとの間に蒸気ラインＬが形成される。蒸気ラインＬが形成されると、乾燥ゾーンＺ１での冷却、凝縮が安定し、密閉容器１の密閉性が安定する。なお、洗浄用蒸気の温度は、蒸気発生槽２から洗浄蒸気が連続的に供給されることで洗浄液の沸点に保持される。
【００４１】
蒸気ラインＬが形成されると、蓋開閉手段４０を用いて搬入出口７の蓋１８を自動で開く。開いた蓋１８から被洗浄物がバスケット１２に入れられた状態で、移送手段２１により液体洗浄槽３中に挿入される。蓋開閉手段４０を用いて搬入出口７の蓋１８を自動で閉じる。さらに蓋押圧手段５０を用いて蓋１８を搬入出口７の周囲に押し付けて蓋１８を密着させる。このように密閉容器１を密閉した後、被洗浄物の一次洗浄が行われる。液体洗浄槽３の洗浄液は、超音波振動子３９により攪拌されるので、短時間で一次洗浄を終了させることができる。
【００４２】
一次洗浄が終了すると、移送手段２１により被洗浄物はバスケット１２毎、蒸気洗浄ゾーンＺ２中に引き上げられ、ここで、蒸気洗浄、すなわち、二次洗浄が行われる。二次洗浄の後は、移送手段２１により乾燥ゾーンＺ１中に引き上げられ、乾燥が行われる。乾燥ゾーンＺ１中では、被被洗浄物の表面に付着している洗浄液等の液分は、バスケット１２や被洗浄物に蓄積されている蓄熱によって蒸発し、蒸発した洗浄液や水分は、乾燥ゾーンＺ１中に拡散し、冷却コイル４の表面、乾燥槽６内の側壁内面で凝縮液となって凝縮液受け４３ｄに捕集される。
【００４３】
乾燥の終了後は、蓋押圧手段５０を用いて蓋１８の搬入出口７への押圧力を解除して蓋１８を非密着状態にする。そのうえで、蓋開閉手段４０を用いて蓋１８をスライド方向に移動して搬入出口７を自動で開く。被洗浄物はバスケット１２毎、搬入出口７から外部へと搬出される。
【００４４】
凝縮液は、凝縮液受け４３の排出口部１０ｉから排出管１０ｈを通じて水分離器１０の流路１０ｂに導入される。水分離器１０の流路１０ｂは、バッフル板１０ｃにより上下方向に蛇行しており、水分は、洗浄液よりも比重が軽いため、比重差により、流路１０ｂの上流部、すなわち、水分の滞留部に滞留する。下流側のバッフル板１０ｃを溢流した洗浄液は、液体洗浄槽３に還流される。また、流路１０ｂの上流部に滞留した水分は、水分の滞留部に連通する水分の排出管１０ｇから排出される。なお、水分の排出は、排出管１０ｇに設けられた弁３５の開閉によって行われる。
【００４５】
そして、本実施の形態に係る洗浄部では、このような被洗浄物の液体洗浄、蒸気洗浄、乾燥の繰り返しにより、上流側の液体洗浄槽３から洗浄液が溢流し、溢流した洗浄液が溢流口８ａ及び蒸気供給管を通じて蒸気発生槽２に回収される。このため回収した洗浄液は、再び、洗浄用蒸気として蒸気洗浄ゾーンＺ２へと供給され、洗浄用蒸気として繰り返し使用される。
【００４６】
ところで、上述した洗浄準備中、洗浄液が加温されたり、蓋が開閉されたりするため、密閉容器１内の乾燥槽６内のガス圧が変動することになる。また、上記一次洗浄中、水分離器１０から密閉容器１内への洗浄剤の液体が供給され、その供給量が変動するため、密
閉容器１内の乾燥槽６内のガス圧が絶えず変動することになる。また、上記二次浄中、蒸気発生槽２から密閉容器１内への蒸気供給が継続するため、密閉容器１内の蒸気量が変動し、冷却コイル４により蒸気の上昇を抑えている密閉容器１内の乾燥槽６では、その乾燥槽６内のガス圧が絶えず変動することになる。
【００４７】
密閉容器１内のガス圧が上がると、ガスの一部はガス給排管８４を介してアキュムレータ８に流れるため密閉容器１内のガス圧が下がる。アキュムレータ８に流れたガスはアキュムレータ８の蓋容器８１を押し上げて、蓋容器８１をバランスさせる。反対に、密閉容器１内のガス圧が下がると、バランスを取るため蓋容器８１が降下し、蓋容器８１内のガスがガス給排管８４を介して密閉容器１内に流れて、密閉容器１内のガス圧を上げる。これにより蒸気洗浄時、密閉容器１内の圧力は、密閉容器１内に供給される蒸発量に係わらず、常に一定に調整され、密閉容器１内のガス圧が過度に上昇することがなくなる。したがって、蓋押圧手段５０によって密閉容器の蓋１８を搬入出口７に押圧して密着させていても、密閉容器１の蓋１８の気密を破って、洗浄剤及びその蒸気が漏れることがなくなる。
また、密閉容器１内の圧力は常に一定に調整されるので、一次洗浄時において、洗浄物を洗浄装置に投入するとき、大気中の水分や塵等が容器内に吸引されてしまうこともなくなる。
【００４８】
このように、本実施形態に係る密閉型洗浄装置によれば、アキュムレータにより密閉容器内の圧力を安定化させると共に、蓋を搬入出口に密着させる蓋押圧手段を設けることによって、Ｏリング又はシールを多重に設けることなく、洗浄液の漏洩を有効に防止することができる。したがって、洗浄液の漏洩に起因する外部環境の汚染、消費量の増大を抑制できる。特に、洗浄液に臭素系洗浄液を用いた場合には、ＣＯ２削減効果が極めて高いので、外部環境の汚染をより有効に抑制できる。また、乾燥ゾーンＺ１により密閉性が保持され、高価な臭素系洗浄液が外部に漏出することがないので、経済的であり、環境に影響を及ぼすこともない。
【００４９】
また、本実施形態に係る密閉容器は、冷却コイル４により、洗浄液や水分を凝縮させ、凝縮液から水分を分離した液を液体洗浄槽３に戻し、液体洗浄槽３からの溢流液として蒸気発生槽２に戻すことにより、繰り返し利用する構成となっており、高価な洗浄液を使用しながらも低コストで被洗浄物を洗浄することができる。
【００５０】
また、本実施の形態に係る密閉型洗浄装置は、冷却により、凝縮液とするので、蓋１８を開いたときに洗浄用蒸気が外部漏出することもない。逆に、大気中の水分や塵埃などが吸引されることもない。よって、密閉性が高く、環境破壊の虞のない環境基準に適合したシステムとなる。
【００５１】
なお、本実施の形態では、気密部材にＯリングを用いたが、これに限定されない。例えば、Ｏリング以外のパッキン、またはガスケットでもよい。
また、本実施の形態では、蓋押圧手段にエアシリンダを用いたが、これに限定されない。例えば、液体シリンダ、またはネジやクランプでもよい。また、本実施の形態では、アキュムレータに浮屋根式タンクを用いたが、これに限定されず、気密容器のガス圧変動を吸収するものであればいずれでもよい。また、本実施の形態では、洗浄液にアブゾールなどの臭素系洗浄液を用いたが、これに限定されない。例えば、低沸点洗浄液である塩素系洗浄液、フッ素系洗浄液などでもよい。
また、本実施の形態では、洗浄部が一槽式の場合の密閉型洗浄装置について説明したが、二槽式またはそれ以上の数の洗浄槽を有する多槽式でもよい。また、本実施の形態では、搬入出口が密閉型洗浄装置の上部（天井部）に形成されている場合について説明したが、側部に形成されていてもよい。
【００５２】
＜第２の実施の形態＞
図３は第２の実施の形態に係る密閉型洗浄装置の概略構成を示す正面図である。本実施の形態に係る密閉型洗浄装置は、基本的には図１に示す第１の実施の形態の構成と同じであるので、同一箇所は同一符号を付して説明を省略する。本実施の形態が図１と異なる点は、洗浄部が一槽式ではなく二槽式となっている点である。
【００５３】
すなわち、液体洗浄ゾーンＺ３には、２つの液体洗浄槽３、３が設けられている。液体洗浄槽３は、密閉容器１内の底部内に垂直に設けられた隔壁３ａによって区画されており、それぞれに被洗浄物を洗浄するために低沸点洗浄液が貯留されている。また、液体洗浄槽３，３間の隔壁３ａには溢流堰１ｃが設けられる。溢流口８ａは、側壁下部の溢流堰１ｃから見て下流側の液体洗浄槽３に設けられている。
【００５４】
二槽式の密閉容器１は横幅が一槽式のものよりも大きいので、図４に示すように、蓋１８も大きくなる。このため、蓋開閉手段としてのエアシリンダは１本から２本へ、蓋押圧手段としてのエアシリンダは４本から８本へ増加させて大型化に対応している。また、図には顕れていないが、アキュムレータ８も密閉状態の容器内の圧力変動を吸収できるように大型化ないし複数化している。なお、移送手段２１は、昇降移動（白抜き矢印で示す縦方向）だけでなく、水平移動（白抜き矢印で示す横方向）できるようになっている。その他の構成は同様であるため説明を省略する。
【００５５】
移送手段２１を作動させることにより、密閉容器１内でバスケット１２に収納された被洗浄物は、密閉容器１内で連続的に２回洗浄される。
【００５６】
このように二槽式の密閉型洗浄装置であっても、蓋開閉手段及び蓋押圧手段を大型化に対応させているので、一槽の場合と同様に、洗浄液の漏洩ロスを可及的に低減して、より環境に優しく、安全で経済性の高い洗浄を行うことができる。
【００５７】
＜第３の実施の形態＞
図５は第３の実施の形態に係る密閉型洗浄装置の外観構成図を示す。この密閉型洗浄装置の内部構成は、基本的には図１に示す第１の実施の形態の構成と同じである。本実施の形態が図１と異なる点は搬入出口７が、密閉容器１の上部ではなく、側部に設けられている点である。
【００５８】
すなわち、この実施の形態では、密閉容器１の垂直な側部、この側部と接する筐体６０の垂直な側壁６０ａ、及び側壁６０ａを覆う垂直に設けられた天板６１の３部材に共通の重なる開口が設けられる。この開口を密閉容器１の搬入出口７としている。この搬入出口７は、開口面が水平方向を向いている。この搬入出口７に蓋１８が主面を垂直にして設けられる。蓋１８は上下に昇降し、水平方向に押圧されるように蓋開閉手段４０及び蓋押圧手段５０が天板６１に取り付けられる。
【００５９】
蓋開閉手段４０及び蓋押圧手段５０の構成は、基本的には図２に示す第１の実施の形態と同じ構成である。本実施の形態が、第１の実施の形態と異なる点は、蓋開閉手段４０及び蓋押圧手段５０の取付け姿勢が水平ではなく垂直になっている点である。
蓋開閉手段４０は、垂直方向に配設した一対のガイドレール４１、４１と、蓋１８に取り付けられ、ガイドレール４１、４１にスライド自在にはめ込まれたスライダ４２、４２と、蓋１８を昇降させるエアシリンダ４５とから構成される。蓋押圧手段５０は、ガイドレール４１、４１内に配設されて見えないが、複数のエアシリンダ５１ａで構成される。エアシリンダ５ａは、蓋１８が閉状態のとき、気密部材を介して蓋１８を搬入出口７の周囲に所定圧力で水平方向に押圧することにより密閉容器１を密閉状態とし、押圧を解除す
ることにより密閉容器１を非密閉状態とする。
なお、蓋１８の下端から水平方向に突き出した被洗浄物ないしバスケットを載置するテーブル６５が設けられている。このテーブルは折り畳み自在に設けられ、折り畳み時は筐体６０の側壁６０ａと平行になる。
【００６０】
このような側部開閉式の密閉型洗浄装置によれば、密閉容器の側部に搬入出口を設けることによって、蓋開閉手段及び蓋押圧手段を密閉容器の側部に設けることができるようになるため、密閉容器の上部に移送手段に加えて蓋開閉手段及び蓋押圧手段を設ける場合に比べて、密閉容器の開口を塞ぐ天板部の簡素化を図ることができる。また、搬入出口が密閉容器の側部に設けられていると、上部に設けられている場合に比べて、搬入出口の位置が床から低くなるため、被洗浄物ないしバスケットの密閉容器に対する搬入出も容易になる。さらに、蓋開閉手段及び蓋押圧手段の取り付け位置も低くなるため、これらのメンテナンスも容易になる。
【符号の説明】
【００６１】
１ 密閉容器
３ 液体洗浄槽
５ 蒸気洗浄槽
６ 乾燥槽
７ 搬入出口
８ アキュムレータ
１０ 水分離器
１２ バスケット
１８ 蓋
２１ 移送手段
６１ 天板
Ｚ１ 乾燥ゾーン
Ｚ２ 液体洗浄ゾーン
Ｚ３ 蒸気洗浄ゾーン
【技術分野】
【０００１】
本発明は密閉型洗浄装置に係り、特に一つの密閉可能な容器中で被洗浄物（ワーク）の液体洗浄、蒸気洗浄、乾燥を行うことが好適なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の密閉型洗浄装置として、例えば、容器中で被洗浄物を洗浄液により一次洗浄した後、容器から洗浄液を抜き取りその代わりに洗浄用蒸気を導入することで二次洗浄を行う洗浄装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３２８０５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、洗浄準備時には、容器の蓋を閉めて容器内の洗浄液を加温する際、容器内の上部空間のガス圧力が上昇する。この圧力の上昇したガスが、洗浄物を洗浄装置に投入するために容器の蓋を開閉する際、容器の外に放出されてしまう。
また、一次洗浄時には、容器内の洗浄液より低い温度の洗浄物を洗浄装置に投入する際、容器内の圧力が下降して容器内の洗浄液のガスに、大気中の水分や塵等が吸引されてしまう。
さらに、二次洗浄時には、容器内の洗浄液の蒸気圧の上昇を抑える為に、容器上部に冷却装置を設置しているが、冷却によるガス圧力の制御では容器の密閉を維持できる限界を超えることが多くなる。容器内のガス圧力が限界を超えると容器の蓋の隙間から洗浄液が漏洩する。
上述したように、洗浄液が容器より放出されたり漏洩したりすると洗浄液により外部環境が汚染されるため好ましくない。また漏洩による洗浄液の消費量が増大するため経済的でない。特に、洗浄液として比較的安価なものでなく、高価で洗浄効果の優れたものを用いると、僅かな洗浄液の漏洩によっても大きな損失を蒙ることになる。又、大気中の水分や塵等が容器内の洗浄液に吸引されてしまうと、洗浄力が落ちることになる。
【０００５】
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、洗浄液の漏洩ロスや大気の吸引を可及的に低減して、より環境に優しく、安全で経済性の高い密閉型洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、洗浄液を用いて被洗浄物の洗浄を密閉可能な容器中で行う密閉型洗浄装置において、前記容器に設けられ前記被処理物を出し入れする搬入出口と、前記搬入出口に設けられる蓋と、前記搬入出口の周囲に沿って配置される気密部材と、前記蓋を開閉する蓋開閉手段と、前記蓋が閉状態のとき、前記気密部材を介して前記蓋を前記搬入出口の周囲に所定圧力で押圧することにより前記容器を密閉状態とし、前記押圧を解除することにより前記容器を非密閉状態とする蓋押圧手段と、前記密閉状態の容器内の圧力変動を吸収するアキュムレータと、を有することを特徴とする密閉型洗浄装置が提供される。
【０００７】
この場合、前記密閉可能な容器は、貯留した洗浄液に被洗浄物を浸漬して洗浄する液体洗浄槽と、該液体洗浄槽の上方に配置され前記被洗浄物を前記洗浄液の蒸気で洗浄する蒸
気洗浄槽と、該蒸気洗浄槽の上方に配置され前記蒸気を冷却して凝縮させることにより雰囲気を乾燥させて前記被洗浄物を乾燥させる乾燥槽と、前記蒸気洗浄槽に蒸気を供給する蒸気発生槽とを有することが好ましい。
【０００８】
また、前記搬入出口が前記容器の上部に設けられていることが好ましい。
【０００９】
また、前記搬入出口が前記容器の側部に設けられていることが好ましい。
【００１０】
また、前記洗浄液から水を分離し、この水を分離した洗浄液を前記液体洗浄槽に戻す水分離器を備えることが好ましい。
【００１１】
また、前記容器に対して気密に設けられ、前記容器の内と外との間で被処理物を移送する移送手段を備えることが好ましい。
【００１２】
また、前記液体洗浄槽が複数設けられていることが好ましい。
【００１３】
また、前記洗浄液が臭素系洗浄液であることが好ましい。
【００１４】
また、前記被洗浄物を収容するバスケットを備え、前記被洗浄物は前記バスケット毎移送され、かつ洗浄されるように構成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、洗浄液の漏洩ロスや大気の吸引を可及的に低減して、より環境に優しく、安全で経済性の高い密閉型洗浄装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る一槽式の密閉型洗浄装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る二槽式の密閉型洗浄装置の蓋の開閉手段を示す説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）はｂ−ｂ矢視断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る二槽式の密閉型洗浄装置の概略構成を示す正面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る二槽式の密閉型洗浄装置の蓋の作動手段を示す説明図であって、（ａ）は密閉容器の平面図、（ｂ）は密閉容器の断面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る一槽式の密閉型洗浄装置の概略構成を示す図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、添付図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
＜第１の実施の形態＞
図１及び図２を用いて第１の実施の形態の密閉型洗浄装置及び蓋の作動手段を説明する。密閉型洗浄装置は、密閉可能な容器（以下、単に密閉容器という）と、蒸気発生槽と、水分離器と、移送手段と、アキュムレータと、蓋と、蓋開閉手段と、蓋押圧手段とを備える。
まず、図１を用いて密閉容器１、蒸気発生槽２、水分離器１０、移送手段２１、及びアキュムレータ８について説明する。
【００１９】
（密閉可能な容器）
密閉可能な容器１は、洗浄液２ａを用いて被洗浄物の洗浄を行う。被洗浄物は、そのま
ま密閉容器１に収容されることもあるが、通常はバスケット１２に収容され、バスケット１２毎移送され、かつ洗浄される。
【００２０】
密閉容器１は、上部が開口し底部が有底の筒体状に形成されている。密閉容器１は、下方に液体洗浄槽３を有する。液体洗浄槽３は、貯留した洗浄液２ａに被洗浄物を浸漬して液体洗浄する。液体洗浄槽３の上方に蒸気洗浄槽５が配置されている。蒸気洗浄槽５は、前記被洗浄物に洗浄用蒸気を吹き付けて被洗浄物を洗浄する。洗浄用蒸気には洗浄液２ａからなる蒸気が用いられる。蒸気洗浄槽５の上方に乾燥槽６が配置されている。乾燥槽６は、前記洗浄用蒸気を冷却して凝縮させ、乾燥槽６内の雰囲気を乾燥させることにより前記被洗浄物を乾燥させる。上記乾燥槽６は、密閉容器１の上部空間を構成する。
【００２１】
密閉容器１は、さらに液体洗浄槽３の側方に蒸気発生槽２を有する。蒸気発生槽２は、蒸気洗浄のための洗浄用蒸気を生成して前記蒸気洗浄槽５に供給する。
【００２２】
また、密閉容器１の上部の乾燥槽６内には冷却コイル４が設けられていて、乾燥ゾーンＺ１を構成している。また、密閉容器１内の底部の洗浄槽３内は液体洗浄ゾーンＺ３を構成しており、密閉容器１内の乾燥槽６と洗浄槽３との中間の蒸気洗浄槽５は蒸気洗浄ゾーンＺ２を構成している。
【００２３】
液体洗浄ゾーンＺ３には、液体洗浄槽３が設けられている。液体洗浄槽３には、被洗浄物を洗浄するために低沸点洗浄液が貯留されている。本実施の形態では、環境基準に適合するため、臭素系洗浄液（例えば、アブゾール（登録商標））、塩素系洗浄液又はふっ素系洗浄液等の低沸点洗浄液が貯留されている。特にアブゾールは、速い乾燥性、低いＧＷＰ（温暖化係数）、高いＫＢ値（油脂洗浄力）が得られるので、洗浄液として好ましい。
【００２４】
また、効率的な洗浄のため、液体洗浄槽３の底部側に超音波振動子３９が設置されている。超音波振動子３９を振動させて洗浄液を攪拌すると、洗浄効率が飛躍的に向上するので洗浄時間を大幅に短縮することができる。
【００２５】
また、密閉容器１の側壁下部に、洗浄液を回収するための溢流口８ａが設けられている。溢流口８ａは、洗浄液の回収、洗浄液の蒸気を密閉容器１内に導入させるための配管（以下、洗浄用蒸気導入管という）２ｃを介して蒸気発生槽２内と連通している。
【００２６】
（蒸気発生槽）
蒸気発生槽２は、前記蒸気洗浄槽５に蒸気を供給する。蒸気発生槽２には、液体洗浄槽３と同じ洗浄液が貯留され、洗浄液を加熱して洗浄用蒸気を生成するためヒータが設けられている。この実施の形態では、ヒータとして加熱コイル２ｂが設けられるが、抵抗加熱式のヒータを設けてもよい。加熱コイル２ｂは、冷凍機３０の冷凍サイクル（図示せず）に凝縮器として接続されている。冷却コイル４も冷凍サイクルの冷凍機３０に蒸発器として接続されている。冷凍サイクルに加熱コイル２ｂと冷却コイル４とを接続すると、冷凍機の効率よい運用が可能となる。
冷却コイル４は密閉容器１の側壁上部の内面に沿わせて設けられており、冷却コイル４の下方に凝縮液受け４３が設置される。
【００２７】
（水分離器）
水分離器１０は、洗浄液から水を分離し、この水を分離した洗浄液を前記液体洗浄槽３に戻す。凝縮液受け４３は、配管１０ｈを介して水分離器１０の導入口部１０ｅに接続される。水分離器１０は、本体である密閉槽１０ａと、密閉槽１０ａ内に上下方向に蛇行する流路１０ｂを形成することにより、比重差によって洗浄液と水分とに分離する複数のバッフル板１０ｃとから構成されている。水分離器１０の凝縮液（洗浄液）の排出口部１０
ｆは、排出管１０ｊを介して下流側の液体洗浄槽３に接続されている。
【００２８】
（移送手段）
移送手段２１は、密閉容器１の内と外との間で被処理物を移送する。移送手段２１は、バスケット１２を支持するアーム２１ｂと、アーム２１ｂを移動させる駆動手段２１ｃ、及びアーム２１ｂの先端に取り付けられた図示しないフォークとから主に構成される。フォークは密閉容器１内に収容されている。フォークを除いた各部は密閉容器１に気密に連接された移送手段収容部２１ｅ内に収容されている。移送手段２１のアーム２１ｂの昇降ストロークは、各ゾーンＺ１〜Ｚ３にフォークを移動させて配置させることができるよう、各ゾーンＺ１〜Ｚ３の位置に基づいて決定されている。なお、移送手段収容部２１ｅもこのようなストロークに対応するように形成されている。
移送手段収容部２１ｅには弁２１ａを介して空気抜き配管２１ｄが接続され、移送手段収容部２１ｅの空気を抜いて移送手段収容部２１ｅ内を密閉容器１と同じ雰囲気にするようになっている。
【００２９】
（アキュムレータ）
アキュムレータ８は、ガス給排管８４により密閉容器１と連通されている。アキュムレータ８は、密閉容器１に溜まるガスを密閉容器１の内外に出し入れすることにより、密閉容器１内の圧力変動を吸収するようになっている。ガスは大気や洗浄液が気化したガスである。アキュムレータ８は、浮き屋根式貯蔵タンクで構成され、下容器８２と蓋容器８１とを備える。下容器８２は、上部が開口し、下部に前記ガスと反応しない水などの不活性液体８５を貯める。蓋容器８１は、この下容器８２の開口を覆う。蓋容器８１は所定の重量を持ち、下容器８２の開口に嵌め込まれて不活性液体８５上に浮いている。入口配管８９が下方から下容器８２を通って蓋容器８１の内部上方まで達するように挿入されている。前記ガス給排管８４は入口配管８９に連通しており、蓋容器８１内に導かれて、蓋容器８１内にガス８６が溜まるようになっている。蓋容器８１内の空間に溜まるガス圧及び不活性液体８５が与える浮力と、蓋容器８１の重力とがバランスしてちょうど蓋容器８１が不活性液体８５上に浮上支持される。密閉容器１内の圧力の変動に応じて、蓋容器８１内に溜まるガス量が変化して、蓋容器８１が上下動して、密閉容器１内を一定の圧力に保持する。不活性液体８５は、バルブ８７を介してドレンパイプ８８より抜き取る。
アキュムレータ８により、密閉容器１内の圧力変動が吸収されると、密閉容器１内の内圧の変動や上昇が防止され、蒸気ラインＬの変動が防止されるので、蓋１８と搬入出口７との密閉性をさらに向上させることができる。
【００３０】
次に、図２を用いて蓋１８、蓋開閉手段４０、蓋押圧手段５０について説明する。
【００３１】
（蓋）
密閉容器１の上部開口１ａは、天板６１によって覆われている。その天板６１に被洗浄物を搬入出するための搬入出口７が設けられる。搬入出口７は、密閉容器１の上部に設けられる。図示例では、搬入出口７は乾燥槽６の上部に設けられる。搬入出口７の開口面は垂直方向を向いている。搬入出口７には蓋１８が開閉自在に設けられる。蓋１８は、例えば、アクチュエータにより開閉自在なゲート弁から構成することも、ヒンジにより回転自在なハッチ式とすることもできる。ここではゲート弁が採用されている。蓋１８をゲート弁で構成した場合は短時間での開閉が可能となるので、密閉容器１の密閉性を向上させることができる。また、装置全高を低くすることができる。
【００３２】
蓋１８には、搬入出口７を閉じたときに、蓋１８と接する搬入出口７の周囲に沿って気密部材１８ａが設けられる。気密部材としては、例えば、ゴム等の弾性材料で形成されたＯリングが好ましいが、その他のシールでもよい。蓋１８には、密閉容器１内を観察するための覗き窓１８ｂが設けられる。覗き窓１８ｂは、蓋１８の中央部に設けた窓孔１８ｃ
と、前記窓孔１８ｃに気密に固着された耐圧ガラス１８ｄとで構成される。また、蓋１８には、覗き窓１８ｂの外周に取手１８ｅが取り付けられている。この取手１８ｅは手動で蓋１８をスライド開閉するために設けられている。
【００３３】
（蓋開閉手段）
蓋開閉手段４０は、蓋１８を水平方向にスライドして開閉する。蓋開閉手段４０は、筐体６０の天板６１上に互いに平行に水平方向に設けられた２本のガイドレール４１、４１と、蓋１８に取り付けられ、ガイドレール４１、４１に係合してスライドするスライダ４２、４２とから構成される。蓋１８はガイドレール４１、４１に沿ってスムーズに水平移動するようになる。蓋１８は蓋開閉手段４０を用いて手動で開閉することも、自動で開閉することも可能である。手動で開閉する場合には、取手１８ｅをもって蓋１８をスライドさせる。自動で開閉する場合には、蓋１８に水平方向に伸縮する蓋開閉用のエアシリンダ４５を取り付け、この蓋開閉用のエアシリンダ４５の伸縮により蓋１８を自動で開閉させる。
【００３４】
（蓋押圧手段）
蓋押圧手段５０は、閉状態の蓋１８を搬入出口７の周囲に所定圧力で押圧することにより密閉容器１を密閉状態とし、その押圧力を解除することにより密閉容器１を非密閉状態とする。所定圧力は、例えば０．３ＭＰａ〜０．６ＭＰａである。蓋押圧手段５０は、エアシリンダやネジ、クランプで構成することができる。図示例では、蓋押圧手段５０をエアシリンダ５１ａで構成している。エアシリンダ５１ａは、蓋１８の周辺部を押さえ付けるために、蓋１８の外周に複数設けられる。エアシリンダ５１ａは、例えば、蓋１８の四隅に１個ずつ計４個設けられる。エアシリンダ５１ａは、そのシリンダ５１ｂを蓋１８の外周の天板６１に取り付けて、そのロッド５１ｃが蓋１８の四隅を押圧できるようにする。ロッド５１ｃの先端にはクッションゴムを設けるのが好ましい。
【００３５】
エアシリンダ５１ａは、蓋１８が搬入出口７を閉じているとき作動させる。エアシリンダ５１ａを蓋の主面に対して垂直方向に下降させることにより、気密部材１８ａを介して蓋１８を搬入出口７に押圧して、密閉容器１を密閉状態とする。エアシリンダ５１ａを上昇させることにより、蓋１８に加わる搬入出口７への押圧力を解除して、密閉容器１を非密閉状態とする。
【００３６】
なお、図２に示すように、前述した移送手段２１を収容する移送手段収容部２１ｅは、搬入出口７の側部の天板６１に密閉容器１と気密になるように取り付けられる。
【００３７】
（制御部）
図１に示す制御部９は、密閉容器１、蒸気発生槽２、水分離器１０、アキュムレータ８、移送手段２１、及び冷凍機３０、エアシリンダなどの制御系を制御するようになっている。
【００３８】
上述した密閉容器１、蒸気発生槽２、水分離器１０、アキュムレータ８、移送手段２１、制御部９、冷凍機３０、及び移送手段収容部２１ｅなどは筐体６０内に収納されている。このようにして密閉型基板洗浄装置が構成されている。
【００３９】
次に、上述のように構成された密閉型洗浄装置を用いて行う洗浄工程について説明する。尚、以下の説明において、密閉型洗浄装置を構成する各部の動作は制御部９により制御される。
（洗浄工程）
まず、準備工程として、冷凍機３０が作動され、冷却コイル４が冷却され、ヒータとしての加熱コイル２ｂが加熱される。すると、密閉容器１の乾燥槽６内雰囲気、及び、密閉
容器１の乾燥槽６の側壁が冷却され、密閉容器１の乾燥槽６内に、冷却・凝縮により、被洗浄物の乾燥を行うための乾燥ゾーン（冷却ゾーン）Ｚ１が形成される。
【００４０】
また、蒸気発生槽２に設けた加熱コイル２ｂの加熱により、蒸気発生槽２内に洗浄液の蒸気が生成され、洗浄用蒸気供給管２ｃを介して密閉容器１内に導入される。乾燥ゾーンＺ１は冷却コイル４により冷却されるので、乾燥ゾーンＺ１下と液体洗浄ゾーンＺ３との間に充満する洗浄用蒸気により蒸気洗浄ゾーンＺ２が形成され、結果として、乾燥ゾーンＺ１と冷却ゾーンとの間に蒸気ラインＬが形成される。蒸気ラインＬが形成されると、乾燥ゾーンＺ１での冷却、凝縮が安定し、密閉容器１の密閉性が安定する。なお、洗浄用蒸気の温度は、蒸気発生槽２から洗浄蒸気が連続的に供給されることで洗浄液の沸点に保持される。
【００４１】
蒸気ラインＬが形成されると、蓋開閉手段４０を用いて搬入出口７の蓋１８を自動で開く。開いた蓋１８から被洗浄物がバスケット１２に入れられた状態で、移送手段２１により液体洗浄槽３中に挿入される。蓋開閉手段４０を用いて搬入出口７の蓋１８を自動で閉じる。さらに蓋押圧手段５０を用いて蓋１８を搬入出口７の周囲に押し付けて蓋１８を密着させる。このように密閉容器１を密閉した後、被洗浄物の一次洗浄が行われる。液体洗浄槽３の洗浄液は、超音波振動子３９により攪拌されるので、短時間で一次洗浄を終了させることができる。
【００４２】
一次洗浄が終了すると、移送手段２１により被洗浄物はバスケット１２毎、蒸気洗浄ゾーンＺ２中に引き上げられ、ここで、蒸気洗浄、すなわち、二次洗浄が行われる。二次洗浄の後は、移送手段２１により乾燥ゾーンＺ１中に引き上げられ、乾燥が行われる。乾燥ゾーンＺ１中では、被被洗浄物の表面に付着している洗浄液等の液分は、バスケット１２や被洗浄物に蓄積されている蓄熱によって蒸発し、蒸発した洗浄液や水分は、乾燥ゾーンＺ１中に拡散し、冷却コイル４の表面、乾燥槽６内の側壁内面で凝縮液となって凝縮液受け４３ｄに捕集される。
【００４３】
乾燥の終了後は、蓋押圧手段５０を用いて蓋１８の搬入出口７への押圧力を解除して蓋１８を非密着状態にする。そのうえで、蓋開閉手段４０を用いて蓋１８をスライド方向に移動して搬入出口７を自動で開く。被洗浄物はバスケット１２毎、搬入出口７から外部へと搬出される。
【００４４】
凝縮液は、凝縮液受け４３の排出口部１０ｉから排出管１０ｈを通じて水分離器１０の流路１０ｂに導入される。水分離器１０の流路１０ｂは、バッフル板１０ｃにより上下方向に蛇行しており、水分は、洗浄液よりも比重が軽いため、比重差により、流路１０ｂの上流部、すなわち、水分の滞留部に滞留する。下流側のバッフル板１０ｃを溢流した洗浄液は、液体洗浄槽３に還流される。また、流路１０ｂの上流部に滞留した水分は、水分の滞留部に連通する水分の排出管１０ｇから排出される。なお、水分の排出は、排出管１０ｇに設けられた弁３５の開閉によって行われる。
【００４５】
そして、本実施の形態に係る洗浄部では、このような被洗浄物の液体洗浄、蒸気洗浄、乾燥の繰り返しにより、上流側の液体洗浄槽３から洗浄液が溢流し、溢流した洗浄液が溢流口８ａ及び蒸気供給管を通じて蒸気発生槽２に回収される。このため回収した洗浄液は、再び、洗浄用蒸気として蒸気洗浄ゾーンＺ２へと供給され、洗浄用蒸気として繰り返し使用される。
【００４６】
ところで、上述した洗浄準備中、洗浄液が加温されたり、蓋が開閉されたりするため、密閉容器１内の乾燥槽６内のガス圧が変動することになる。また、上記一次洗浄中、水分離器１０から密閉容器１内への洗浄剤の液体が供給され、その供給量が変動するため、密
閉容器１内の乾燥槽６内のガス圧が絶えず変動することになる。また、上記二次浄中、蒸気発生槽２から密閉容器１内への蒸気供給が継続するため、密閉容器１内の蒸気量が変動し、冷却コイル４により蒸気の上昇を抑えている密閉容器１内の乾燥槽６では、その乾燥槽６内のガス圧が絶えず変動することになる。
【００４７】
密閉容器１内のガス圧が上がると、ガスの一部はガス給排管８４を介してアキュムレータ８に流れるため密閉容器１内のガス圧が下がる。アキュムレータ８に流れたガスはアキュムレータ８の蓋容器８１を押し上げて、蓋容器８１をバランスさせる。反対に、密閉容器１内のガス圧が下がると、バランスを取るため蓋容器８１が降下し、蓋容器８１内のガスがガス給排管８４を介して密閉容器１内に流れて、密閉容器１内のガス圧を上げる。これにより蒸気洗浄時、密閉容器１内の圧力は、密閉容器１内に供給される蒸発量に係わらず、常に一定に調整され、密閉容器１内のガス圧が過度に上昇することがなくなる。したがって、蓋押圧手段５０によって密閉容器の蓋１８を搬入出口７に押圧して密着させていても、密閉容器１の蓋１８の気密を破って、洗浄剤及びその蒸気が漏れることがなくなる。
また、密閉容器１内の圧力は常に一定に調整されるので、一次洗浄時において、洗浄物を洗浄装置に投入するとき、大気中の水分や塵等が容器内に吸引されてしまうこともなくなる。
【００４８】
このように、本実施形態に係る密閉型洗浄装置によれば、アキュムレータにより密閉容器内の圧力を安定化させると共に、蓋を搬入出口に密着させる蓋押圧手段を設けることによって、Ｏリング又はシールを多重に設けることなく、洗浄液の漏洩を有効に防止することができる。したがって、洗浄液の漏洩に起因する外部環境の汚染、消費量の増大を抑制できる。特に、洗浄液に臭素系洗浄液を用いた場合には、ＣＯ２削減効果が極めて高いので、外部環境の汚染をより有効に抑制できる。また、乾燥ゾーンＺ１により密閉性が保持され、高価な臭素系洗浄液が外部に漏出することがないので、経済的であり、環境に影響を及ぼすこともない。
【００４９】
また、本実施形態に係る密閉容器は、冷却コイル４により、洗浄液や水分を凝縮させ、凝縮液から水分を分離した液を液体洗浄槽３に戻し、液体洗浄槽３からの溢流液として蒸気発生槽２に戻すことにより、繰り返し利用する構成となっており、高価な洗浄液を使用しながらも低コストで被洗浄物を洗浄することができる。
【００５０】
また、本実施の形態に係る密閉型洗浄装置は、冷却により、凝縮液とするので、蓋１８を開いたときに洗浄用蒸気が外部漏出することもない。逆に、大気中の水分や塵埃などが吸引されることもない。よって、密閉性が高く、環境破壊の虞のない環境基準に適合したシステムとなる。
【００５１】
なお、本実施の形態では、気密部材にＯリングを用いたが、これに限定されない。例えば、Ｏリング以外のパッキン、またはガスケットでもよい。
また、本実施の形態では、蓋押圧手段にエアシリンダを用いたが、これに限定されない。例えば、液体シリンダ、またはネジやクランプでもよい。また、本実施の形態では、アキュムレータに浮屋根式タンクを用いたが、これに限定されず、気密容器のガス圧変動を吸収するものであればいずれでもよい。また、本実施の形態では、洗浄液にアブゾールなどの臭素系洗浄液を用いたが、これに限定されない。例えば、低沸点洗浄液である塩素系洗浄液、フッ素系洗浄液などでもよい。
また、本実施の形態では、洗浄部が一槽式の場合の密閉型洗浄装置について説明したが、二槽式またはそれ以上の数の洗浄槽を有する多槽式でもよい。また、本実施の形態では、搬入出口が密閉型洗浄装置の上部（天井部）に形成されている場合について説明したが、側部に形成されていてもよい。
【００５２】
＜第２の実施の形態＞
図３は第２の実施の形態に係る密閉型洗浄装置の概略構成を示す正面図である。本実施の形態に係る密閉型洗浄装置は、基本的には図１に示す第１の実施の形態の構成と同じであるので、同一箇所は同一符号を付して説明を省略する。本実施の形態が図１と異なる点は、洗浄部が一槽式ではなく二槽式となっている点である。
【００５３】
すなわち、液体洗浄ゾーンＺ３には、２つの液体洗浄槽３、３が設けられている。液体洗浄槽３は、密閉容器１内の底部内に垂直に設けられた隔壁３ａによって区画されており、それぞれに被洗浄物を洗浄するために低沸点洗浄液が貯留されている。また、液体洗浄槽３，３間の隔壁３ａには溢流堰１ｃが設けられる。溢流口８ａは、側壁下部の溢流堰１ｃから見て下流側の液体洗浄槽３に設けられている。
【００５４】
二槽式の密閉容器１は横幅が一槽式のものよりも大きいので、図４に示すように、蓋１８も大きくなる。このため、蓋開閉手段としてのエアシリンダは１本から２本へ、蓋押圧手段としてのエアシリンダは４本から８本へ増加させて大型化に対応している。また、図には顕れていないが、アキュムレータ８も密閉状態の容器内の圧力変動を吸収できるように大型化ないし複数化している。なお、移送手段２１は、昇降移動（白抜き矢印で示す縦方向）だけでなく、水平移動（白抜き矢印で示す横方向）できるようになっている。その他の構成は同様であるため説明を省略する。
【００５５】
移送手段２１を作動させることにより、密閉容器１内でバスケット１２に収納された被洗浄物は、密閉容器１内で連続的に２回洗浄される。
【００５６】
このように二槽式の密閉型洗浄装置であっても、蓋開閉手段及び蓋押圧手段を大型化に対応させているので、一槽の場合と同様に、洗浄液の漏洩ロスを可及的に低減して、より環境に優しく、安全で経済性の高い洗浄を行うことができる。
【００５７】
＜第３の実施の形態＞
図５は第３の実施の形態に係る密閉型洗浄装置の外観構成図を示す。この密閉型洗浄装置の内部構成は、基本的には図１に示す第１の実施の形態の構成と同じである。本実施の形態が図１と異なる点は搬入出口７が、密閉容器１の上部ではなく、側部に設けられている点である。
【００５８】
すなわち、この実施の形態では、密閉容器１の垂直な側部、この側部と接する筐体６０の垂直な側壁６０ａ、及び側壁６０ａを覆う垂直に設けられた天板６１の３部材に共通の重なる開口が設けられる。この開口を密閉容器１の搬入出口７としている。この搬入出口７は、開口面が水平方向を向いている。この搬入出口７に蓋１８が主面を垂直にして設けられる。蓋１８は上下に昇降し、水平方向に押圧されるように蓋開閉手段４０及び蓋押圧手段５０が天板６１に取り付けられる。
【００５９】
蓋開閉手段４０及び蓋押圧手段５０の構成は、基本的には図２に示す第１の実施の形態と同じ構成である。本実施の形態が、第１の実施の形態と異なる点は、蓋開閉手段４０及び蓋押圧手段５０の取付け姿勢が水平ではなく垂直になっている点である。
蓋開閉手段４０は、垂直方向に配設した一対のガイドレール４１、４１と、蓋１８に取り付けられ、ガイドレール４１、４１にスライド自在にはめ込まれたスライダ４２、４２と、蓋１８を昇降させるエアシリンダ４５とから構成される。蓋押圧手段５０は、ガイドレール４１、４１内に配設されて見えないが、複数のエアシリンダ５１ａで構成される。エアシリンダ５ａは、蓋１８が閉状態のとき、気密部材を介して蓋１８を搬入出口７の周囲に所定圧力で水平方向に押圧することにより密閉容器１を密閉状態とし、押圧を解除す
ることにより密閉容器１を非密閉状態とする。
なお、蓋１８の下端から水平方向に突き出した被洗浄物ないしバスケットを載置するテーブル６５が設けられている。このテーブルは折り畳み自在に設けられ、折り畳み時は筐体６０の側壁６０ａと平行になる。
【００６０】
このような側部開閉式の密閉型洗浄装置によれば、密閉容器の側部に搬入出口を設けることによって、蓋開閉手段及び蓋押圧手段を密閉容器の側部に設けることができるようになるため、密閉容器の上部に移送手段に加えて蓋開閉手段及び蓋押圧手段を設ける場合に比べて、密閉容器の開口を塞ぐ天板部の簡素化を図ることができる。また、搬入出口が密閉容器の側部に設けられていると、上部に設けられている場合に比べて、搬入出口の位置が床から低くなるため、被洗浄物ないしバスケットの密閉容器に対する搬入出も容易になる。さらに、蓋開閉手段及び蓋押圧手段の取り付け位置も低くなるため、これらのメンテナンスも容易になる。
【符号の説明】
【００６１】
１ 密閉容器
３ 液体洗浄槽
５ 蒸気洗浄槽
６ 乾燥槽
７ 搬入出口
８ アキュムレータ
１０ 水分離器
１２ バスケット
１８ 蓋
２１ 移送手段
６１ 天板
Ｚ１ 乾燥ゾーン
Ｚ２ 液体洗浄ゾーン
Ｚ３ 蒸気洗浄ゾーン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を用いて被洗浄物の洗浄を密閉可能な容器中で行う密閉型洗浄装置において、
前記容器に設けられ前記被処理物を出し入れする搬入出口と、
前記搬入出口に設けられる蓋と、
前記搬入出口の周囲に沿って配置される気密部材と、
前記蓋を開閉する蓋開閉手段と、
前記蓋が閉状態のとき、前記気密部材を介して前記蓋を前記搬入出口の周囲に所定圧力で押圧することにより前記容器を密閉状態とし、前記押圧を解除することにより前記容器を非密閉状態とする蓋押圧手段と、
前記密閉状態の容器内の圧力変動を吸収するアキュムレータと、
を有することを特徴とする密閉型洗浄装置。
【請求項２】
前記密閉可能な容器は、貯留した洗浄液に被洗浄物を浸漬して洗浄する液体洗浄槽と、該液体洗浄槽の上方に配置され前記被洗浄物を前記洗浄液の蒸気で洗浄する蒸気洗浄槽と、該蒸気洗浄槽の上方に配置され前記蒸気を冷却して凝縮させることにより雰囲気を乾燥させて前記被洗浄物を乾燥させる乾燥槽と、前記蒸気洗浄槽に蒸気を供給する蒸気発生槽とを有する請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項３】
前記搬入出口が前記容器の上部に設けられている請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項４】
前記搬入出口が前記容器の側部に設けられている請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄液から水を分離し、この水を分離した前記洗浄液を前記液体洗浄槽に戻す水分離器を備えた請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項６】
前記容器に対して気密に設けられ、
前記容器の内と外との間で被処理物を移送する移送手段を備えた請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項７】
前記液体洗浄槽が複数設けられている請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄液が臭素系洗浄液である請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項９】
前記被洗浄物を収容するバスケットを備え、前記被洗浄物は前記バスケット毎移送され、かつ洗浄される請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項１】
洗浄液を用いて被洗浄物の洗浄を密閉可能な容器中で行う密閉型洗浄装置において、
前記容器に設けられ前記被処理物を出し入れする搬入出口と、
前記搬入出口に設けられる蓋と、
前記搬入出口の周囲に沿って配置される気密部材と、
前記蓋を開閉する蓋開閉手段と、
前記蓋が閉状態のとき、前記気密部材を介して前記蓋を前記搬入出口の周囲に所定圧力で押圧することにより前記容器を密閉状態とし、前記押圧を解除することにより前記容器を非密閉状態とする蓋押圧手段と、
前記密閉状態の容器内の圧力変動を吸収するアキュムレータと、
を有することを特徴とする密閉型洗浄装置。
【請求項２】
前記密閉可能な容器は、貯留した洗浄液に被洗浄物を浸漬して洗浄する液体洗浄槽と、該液体洗浄槽の上方に配置され前記被洗浄物を前記洗浄液の蒸気で洗浄する蒸気洗浄槽と、該蒸気洗浄槽の上方に配置され前記蒸気を冷却して凝縮させることにより雰囲気を乾燥させて前記被洗浄物を乾燥させる乾燥槽と、前記蒸気洗浄槽に蒸気を供給する蒸気発生槽とを有する請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項３】
前記搬入出口が前記容器の上部に設けられている請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項４】
前記搬入出口が前記容器の側部に設けられている請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄液から水を分離し、この水を分離した前記洗浄液を前記液体洗浄槽に戻す水分離器を備えた請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項６】
前記容器に対して気密に設けられ、
前記容器の内と外との間で被処理物を移送する移送手段を備えた請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項７】
前記液体洗浄槽が複数設けられている請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄液が臭素系洗浄液である請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【請求項９】
前記被洗浄物を収容するバスケットを備え、前記被洗浄物は前記バスケット毎移送され、かつ洗浄される請求項１に記載の密閉型洗浄装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１０−２４０６０６（Ｐ２０１０−２４０６０６Ａ）
【公開日】平成２２年１０月２８日（２０１０．１０．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−９３８６３（Ｐ２００９−９３８６３）
【出願日】平成２１年４月８日（２００９．４．８）
【出願人】（３９００３４２３４）株式会社ワールド機工 (7)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１０月２８日（２０１０．１０．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年４月８日（２００９．４．８）
【出願人】（３９００３４２３４）株式会社ワールド機工 (7)
【Ｆターム（参考）】
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