【課題】雰囲気が置換される空間の体積を減少させることができ、基板のエッチング量を面内全域で低減できる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、内部空間Ｓ１を有するチャンバー２と、チャンバー２内で基板Ｗを保持して回転軸線Ａ１まわりに回転させるスピンチャック３と、チャンバー２内で基板Ｗの上面に対向する遮断板４と、遮断板４と基板Ｗとの間に不活性ガスを供給するガス供給機構５と、基板Ｗに対して傾いた方向に処理液を吐出することにより、基板Ｗの上面中央部に斜めに処理液を供給する処理液ノズル２９と、処理液ノズル２９に供給される処理液から酸素を脱気する脱気手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】洗浄用流体が塗装ガン及びロボットアーム等に飛び散ることなく、洗浄することができる塗装ガンの洗浄技術を提供することを課題とする。
【解決手段】閉塞手段５１は、環状の弾性部材であり、開口部４８に設けられ開口部４８の中心に向かって延びる閉塞本体部５２と、この閉塞本体部５２の中央に設けられ塗装ガン２０が挿入できる塗装ガン挿入口５３と、閉塞本体部５２の下面５４に設けられ塗装ガン挿入口５３から洗浄容器４１の壁４２に向かって下方に傾斜する傾斜面５５と、閉塞本体部５２の上面５６に設けられ湾曲溝状にえぐられている湾曲溝５７と、閉塞本体部５２の外径側に設けられ段を為すこどとで開口部４８に嵌る取付部５８と、からなる。
【効果】洗浄用流体が塗装ガン及びロボットアーム等に飛び散ることなく、塗装ガンを洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】蒸気タービンやガスタービン本体あるいはガスタービン圧縮機のロータを分解せずに洗浄することにより、ロータの表面に付着した錆スケール、動翼にできた孔食や微小き裂内の錆、腐食性物質を取り除く。
【解決手段】タービンロータ１、３０の超音波洗浄方法において、ロータ植込部２ａに動翼３を植設した状態のタービンロータ１、３０を洗浄槽４Ａ，４Ｂ内で一部または全体を洗浄溶液５に浸け、タービンロータ１、３０を回転駆動モータ１０により連続回転駆動または間欠回転駆動させ、洗浄槽４Ａ、４Ｂ内の超音波振動子装置６に外部に設置した超音波発信器９から電力を供給して超音波振動させ、洗浄溶液にキャビテーションを発生させる。 （もっと読む）

【課題】液処理の工程に応じて基板の上方における気流の状態を最適化可能な液処理装置、および液処理方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗを液処理する液処理装置１において、基板Ｗを水平に支持し、回転可能な支持部材１０と、支持部材１０の外周部１３との間に環状間隙ＧＰを形成する間隙形成部材２０と、基板Ｗに上方から処理液を供給する液供給部材３０と、環状間隙ＧＰを取り囲み、環状間隙ＧＰを介して、回転する基板Ｗから振り切られる処理液を回収するカップ４０と、間隙形成部材２０を昇降させる昇降機構１２２とを有する。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の減圧と復圧とを繰り返す洗浄装置において、復圧時にもパッキンによる気密が破壊されないようにする。
【解決手段】洗浄装置１は、洗浄槽２内を減圧する減圧手段９と、洗浄槽本体３へのドア４のロック機構１８を備える。洗浄槽本体３の開口部を閉じるようドア４を配置した状態で、洗浄槽２内の気体を減圧手段９によって外部へ吸引排出して、その吸引力でドア４を洗浄槽本体３の側へ引きつけて、復圧時にもパッキン１４による気密を保つようパッキン１４を圧縮した状態で、ロック機構１８により洗浄槽本体３にドア４をロックする。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の減圧沸騰および突沸の有無を切り替えることのできる洗浄装置を提供する。
【解決手段】減圧手段５により洗浄槽３内を減圧後、液相給気弁１８を開いて、洗浄槽３の内外の差圧により被洗浄物２よりも下方から洗浄槽３内の水溶液中に外気を導入する。減圧手段５による洗浄槽３内の減圧は、洗浄槽３内の水溶液が所定温度未満の場合には、水溶液を沸騰させるが、洗浄槽３内の水溶液が所定温度以上の場合には、水溶液を沸騰させない範囲の減圧に止める。水溶液を沸騰させた場合、その後の水溶液中への外気導入により、その気泡を核として、水溶液を突沸させる。 （もっと読む）

【課題】充填する除菌液の量を減らしてコスト削減を図るとともに、設置スペースに合わせて向きを自在に変えて設置することができるまな板除菌用袋を提供する。
【解決手段】パルプを材料に用いて作られてまな板２を包む不織布製シート３と、このシート３で包まれた状態でまな板２を収納すべく合成樹脂材料からなる袋本体４とからなり、袋本体４の出し入れ用開口部１３を閉じて袋本体４の密封状態を保持するジッパー１４を備え、前記シート３で包まれたまな板２を袋本体４の中で除菌液に浸した状態を保持するようにした。 （もっと読む）

【課題】溶剤蒸気の流出や引火の危険を減少し洗浄効率の良い迅速な洗浄作業を可能にする。複数の洗浄部を設けて同時に被洗浄物を挿入したり複数の洗浄部を順次移動しながら異なる洗浄作業を被洗浄物に加える。この復数の洗浄部を個々に密閉可能にするとともに被洗浄物の外部への出入口を一個とし、溶剤蒸気の外部への流出を極度に減少させる。
【解決手段】蓋体２にて密閉可能な出入口３を上端に設けた基準室１を設ける。この基準室１の外周に基準室１との連通および遮断を可能にした側室８、９を設ける。前記基準室１に被洗浄物７を出入する上下搬送機構５と、被洗浄物７を側室８、９内に搬入または基準室１に搬出可能とした水平搬送機構１１，１２とを設ける。この水平搬送機構１１、１２に接続し、側室８、９と基準室１との連通または遮断を可能とした遮断壁２６、２７とから成る被洗浄物の洗浄装置である。 （もっと読む）

【課題】処理対象基板を良好に迅速に基板処理溶液で処理することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、溶液保持容器１３０に収容されている基板処理溶液ＴＬに処理対象基板ＰＢが浸漬される。このような溶液保持容器１３０に溶液供給機構１４１が基板処理溶液ＴＬを上方から下方に落下させて順次供給する。このように上方から下方に落下する基板処理溶液ＴＬを溶液乱流機構１４２が処理対象基板ＰＢの一面の基板処理領域ＴＳに圧送する。このため、処理対象基板ＰＢの一面の基板処理領域ＴＳは基板処理溶液ＴＬが単純に上方から下方へ落下するだけではなく、乱流となって圧送されることになる。 （もっと読む）

【課題】貯留した水溶液を確実に突沸させ、その突沸により被洗浄物を効果的に洗浄する洗浄装置を提供する。
【解決手段】加温手段４により洗浄槽３内の水溶液を第一設定温度まで加温後、設定条件を満たすまで減圧手段５により洗浄槽３内を減圧して水溶液を沸騰させ、この沸騰中に、減圧手段５の作動を継続したまま液相給気弁１８を開いて、洗浄槽３の内外の差圧により被洗浄物２よりも下方から洗浄槽３内の液中に外気を導入して、洗浄槽３内の水溶液を突沸させる。前記設定条件は、洗浄槽３内の水溶液が第二設定温度となるか、洗浄槽３内が第二設定圧力となるまでであり、且つ、第二設定温度は６０℃以下、第二設定圧力は２０ｋＰａ以下に設定される。 （もっと読む）

【課題】 洗浄ノズルの本数が少なくても十分な洗浄効果が得られ、しかも液中洗浄と気中洗浄とが行える洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄装置１は、被洗浄物１０を保持し、回転駆動装置により水平面内で回転可能な基台３と、当該基台３と当該被洗浄物１０とを上方から囲む大きさを有し、昇降駆動装置により昇降可能なカップ４と、当該カップ４の側面に固定された洗浄ノズル５とを備え、基台３の回転速度とカップ４の昇降速度のうち少なくともいずれか一方が調整可能である。 （もっと読む）

【課題】瞬間的な洗浄後に直ちに蒸発する高温高圧のスチーム特性を利用し、フラックスによって汚染されたフラックスツールやアタッチツールなどのフラックスによる汚染物を、瞬間的に早く、かつ正確に洗浄することによって、洗浄時間はもとより、乾燥時間及びクーリング時間を画期的に短縮させるフラックス洗浄装置を提供する。
【解決手段】本体と、前記本体に設置され、フラックスが付着した対象物が搭載される搭載台と、前記本体に設置され、前記フラックスが付着した対象物に残留するフラックスなどの異物を除去するために、前記搭載台に搭載されたフラックスが付着した対象物に向かってスチームを噴射する少なくとも一つのスチーム噴射ノズルと、前記本体に設置され、前記スチーム噴射ノズルにスチームを供給するスチーム供給装置とを有してなる。 （もっと読む）

【課題】ノズルを移動しながら基板を処理することができ、かつ、密閉チャンバの内部空間の狭空間化を図ることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】密閉チャンバ２は、密閉された内部空間を区画する隔壁９を有している。密閉チャンバの内部空間でウエハＷが保持される。密閉チャンバ２には、移動ノズルとしての形態を有する処理液ノズル４が設けられている。処理液ノズル４を支持するノズルアーム１５は、隔壁９に形成された通過孔１４を介して密閉チャンバ２の内外に跨って延びている。このノズルアーム１５は、密閉チャンバ２外に配置された直線駆動機構３６によって駆動されるようになっている。隔壁９とノズルアーム１５の外表面との間は、第３シール構造によってシールされるようになっている。 （もっと読む）

【課題】簡便で低コストな信頼性の高いｐＨ計洗浄装置およびｐＨ計の洗浄方法を提供する。
【解決手段】廃液処理設備から分岐したｐＨ測定槽に付設されたｐＨ計の洗浄装置であって、ｐＨ計洗浄槽と、該ｐＨ計洗浄槽の底部に洗浄液を取り出す開閉式底蓋と、洗浄液を回収する洗浄液回収槽と、該洗浄液回収槽の底部にはｐＨ計挿通口と、洗浄液を排出するドレン口と、ドレン口に接続したドレンパイプとを設けたことを特徴とするｐＨ計洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに侵入した数μｍの研削屑も良好に除去することができ、かつ、チャックテーブル上に保持された被加工物の表面を良好に洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧エアー及び液体で構成される２流体洗浄水８２０ａを高圧噴射する構成とすることにより、数μｍほどの屑も洗浄できるようにして、ブラシ等を不要とする。また、飛散防止チャンバー８３と、飛散防止チャンバー８３においてチャックテーブル２の上面２ａ又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上で飛散するミスト８２０ｂを外部へ排出する排出手段８４とを備え、洗浄時は、飛散防止チャンバー８３の側壁８３０の下端がチャックテーブル２の上面２ａ又は上面２ａに保持された被加工物Ｗの表面Ｗａと所定の隙間Ｃ１をもち、チャックテーブル２の上面２ａ上又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上に形成された洗浄水層８７により隙間Ｃ１が封止されるようにすることにより、ミストが飛散しないようにする。 （もっと読む）

【課題】全ての部品を同一方向から簡単に組み付けることができる組立性の良い車両用灯具の洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄液が供給されるシリンダ２と、該シリンダ２内に摺動可能に嵌挿されたピストン３と、該ピストン３をシリンダ２内に引き込む方向に付勢する付勢手段と、洗浄液を車両用灯具に向けて噴射する噴射ノズルと、洗浄液の圧力が所定値以上になると開いて洗浄液を前記噴射ノズルに供給するチェックバルブ機構を備えた車両用灯具の洗浄装置において、前記ピストン３が貫通するカバー７によって前記シリンダ２の一端開口部を閉塞するとともに、前記付勢手段を前記カバー７と前記ピストン３の間に介装された圧縮バネ８で構成し、前記カバー７の前記シリンダ２への固定と前記チェックバルブ機構及び前記噴射ノズルの前記ピストン３への固定を同一方向からの凹凸係合によって行う。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流路の洗浄システム、及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】筐体１２内に供給された流体１４、１６に浸漬した状態で原料液から所望の生成物を生成するマイクロ流路３４が形成されたチップ３２と、前記流体に浸漬した経路上に介装され、一方が前記マイクロ流路３４側に接続され、他方が前記流体側及び前記原料液の流通側との間で相互に切替可能に接続された切替弁２８、３８と、前記筐体１２内を減圧して前記マイクロ流路３４に気泡を発生させる真空ポンプ５０と、前記マイクロ流路３４に超音波を照射して前記マイクロ流路３４内を洗浄しつつ前記気泡を前記マイクロ流路３４外に放出させる超音波振動子５２と、前記マイクロ流路５４の洗浄時に前記切替弁２８、３８の接続を前記流体側に切替制御するとともに前記超音波振動子５２及び前記真空ポンプ５０を稼動させる制御手段と、を有し、前記マイクロ流路３４の定置洗浄を可能とする。 （もっと読む）

【課題】雌型結合部材と雄型結合部材の互いに接触する部分を、塗料残りなく洗浄できる流体流路の接続装置を提供すること。
【解決手段】絶縁分離バルブ３２の分離機構１００は、雌型結合部材３２Ｕを所定の推力で駆動し、第１接続部５４と第２接続部６４とを接近させる主シリンダ１１１と、雌型結合部材３２Ｕを所定の推力で駆動し、第１接続部５４と第２接続部６４とを離隔させる洗浄位置用シリンダ１１３と、を備える。制御装置は、第１接続部５４および第２接続部６４を洗浄用流体で洗浄する際には、主シリンダ１１１で発生させる推力を、洗浄用流体の供給時に主シリンダ１１１で発生する推力に抗して第１接続部５４と第２接続部６４とを離隔させる方向に作用する力より大きく、かつ、洗浄位置用シリンダ１１３で発生する推力以下に制御し、シール部材６６が凹部５２に密接する範囲内で第１接続部５４と第２接続部６４とを離隔させる。 （もっと読む）

【課題】 高圧蒸気を微小領域に吹き付け、当該微小領域を拡大させることで被洗浄対象物の洗浄を行う洗浄装置を提供する。
【解決手段】 特定部に開口する槽形状の洗浄槽の開口部をエアカーテンにて閉鎖することとし、洗浄槽内に置かれた被洗浄物に対して高圧蒸気を吹き付けるノズルを、該エアカーテンを超えた洗浄槽内に配置することとする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成および制御で、洗浄液を激しく沸騰させて、被洗浄物を効果的に洗浄する。
【解決手段】洗浄槽３には、洗浄液が貯留され、その洗浄液に被洗浄物２が浸漬される。減圧手段５は、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して、洗浄槽３内を減圧する。加熱手段７は、洗浄槽３内の洗浄液を加熱する。給気手段６は、被洗浄物２よりも下方から洗浄槽３内の洗浄液中に気体を導入する。加熱手段７により洗浄液を設定温度まで加熱した後、減圧手段５により洗浄槽３内を減圧して洗浄液を沸騰させ、この沸騰中に給気手段６により洗浄液中に気体を導入する。これにより、洗浄液を激しく沸騰させて、被洗浄物２の洗浄効果を増すことができる。 （もっと読む）