【課題】設備コストおよびエネルギーコストの面で優れた、むらなく浸漬処理を施すことが可能な線材コイルの浸漬処理装置を提供する。
【解決手段】線材コイル２をつり下げるためのフック１と処理液４で満たされた処理槽３とで構成される線材コイルの浸漬処理装置であって、フック１が、線材コイル２をフック１から分離させる一つ以上の分離用部材５を有し、フック１を処理槽３内に下降させることにより線材コイル２を処理液４に浸漬する線材コイルの浸漬処理装置。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面にシミやムラ等を形成させずに、ワーク表面の処理液をきれいに洗い落とす。
【解決手段】ワーク１の表面を処理する処理液が蓄えられる処理槽１０と、表面に処理液が付いているワーク１を洗浄する洗浄液が蓄えられる洗浄槽２０と、ワーク１を吊り下げ、処理槽１０の上方と洗浄槽２０の上方との間で移動すると共に、上下方向に移動するクレーン３５を有している移動機構３０と、クレーン３５に設けられ、クレーン３５から吊り下げられているワーク１に対して、洗浄液を噴射するノズル５１と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】酸液による酸洗工程の後の水洗工程において、酸液の除去の完了を簡単に、かつ、精度良く判断することが可能な多結晶シリコンの洗浄装置を提供する。
【解決手段】酸液に対して耐食性を有する合成樹脂で構成され、塊状の多結晶シリコンを収容するバスケットと、酸液による酸洗工程後の多結晶シリコンを前記バスケットに収容したままの状態で純水中に浸漬させるための水洗槽と、純水を前記水洗槽から排出する純水排出手段と、前記水洗槽に新たな純水を供給する純水供給手段と、前記水洗槽内に貯留された純水の電気伝導度を測定する電気伝導度測定手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高価なＨＦＥ溶剤液を用いて蒸気洗浄を行いながら、廉価な蒸気洗浄作業を可能にする。即ち、高価なＨＦＥ溶剤液を用いて蒸気洗浄を行いながら、ＨＦＥ溶剤液の消耗を小さなものとし、ＨＦＥ溶剤液を繰り返し使用し、結果的にはＨＦＥ溶剤液を用いた廉価な蒸気洗浄作業を可能とするものである。本発明は環境性能とともに洗浄性能に優れた高価なＨＦＥ溶剤液を用いながら廉価な蒸気洗浄を可能にする事が出来るものである。
【解決手段】ＨＦＥ溶剤液２の上面を、ＨＦＥ溶剤液２よりも比重が小さいとともに沸点が高い液体にて形成した表面被覆液４により被覆し、この表面被覆液４の上面にＨＦＥ溶剤液２を加熱して発生した洗浄蒸気を供給し、この洗浄蒸気を被洗浄物５に凝縮液化して被洗浄物５の蒸気洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物から剥離して洗浄水の液面に浮遊した油分を効果的に除去することができる洗浄装置及び洗浄方法を得る。
【解決手段】ガラスリング１８の内周面１８Ａと接触する洗浄水Ｗの液面の縁部Ｅが、液面の一般部Ｇに比べて鉛直方向で高くなっている。このため、洗浄槽１２に供給された洗浄水Ｗによって溢れ出た洗浄水Ｗ及び洗浄水Ｗの液面に浮遊した油分Ａは、回収筒３４に流れ込む。このように、液面に浮遊する油分Ａが効果的に、回収筒３４に流れ込んで回収される。 （もっと読む）

【課題】従来よりコンパクト化することが可能な浸漬装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の電着処理装置１０は、ワークＷに電着被膜を形成するための表面の電着塗料を貯留した円形の電着処理槽１１と、電着処理槽１１内の電着塗料を一方向に旋回させる起流ポンプ１５と、ワークＷを吊り下げて、電着塗料に浸した状態に保持するワーク治具２０と、電着塗料中の異物を取り除くためのフィルタ１６とを備えている。電着処理槽１１を円形にしたことで電着処理装置１０が従来よりもコンパクト化され、設置の自由度が向上する。 （もっと読む）

【課題】移動の際に洗浄液が飛散しにくく設置スペースが狭いノズル洗浄装置、および当該ノズル洗浄装置を備える電子部品実装機を提供することを課題とする。
【解決手段】ノズル洗浄装置５は、洗浄液Ｌが貯留される洗浄槽６００を有しノズル８の被洗浄部８２を洗浄する洗浄部６０と、洗浄部６０の上方に配置され洗浄後の被洗浄部８２に気体Ｇを吹き付けることにより、被洗浄部８２を乾燥させる乾燥部６１と、洗浄部６０と乾燥部６１との間に配置され、洗浄部６０と乾燥部６１とを連通、遮断可能に仕切るシャッター６２０を有するシャッター部６２と、を有する装置本体６を備える。洗浄モードにおいてはシャッター６２０を開け被洗浄部８２を洗浄し、乾燥モードにおいてはシャッター６２０を閉じ被洗浄部８２を乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、洗浄液を節水してコストを低減すると共に、洗浄工程の省スペース化を図ることが可能な洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】外部から搬入された基板Ｗを略垂直姿勢で収容する洗浄槽５１Ａと、該洗浄槽５１Ａ内の基板Ｗに両面から洗浄液を噴射する洗浄液噴射部と、洗浄槽５１Ａから洗浄液を回収する洗浄液回収部とを備え、洗浄槽５１Ａは、基板Ｗに直交する断面における下部Ｋが上部Ｊよりも狭い幅で、かつ、中間部Ｔの幅が上から下に向かって狭くなっている。 （もっと読む）

【課題】溶剤蒸気の流出や引火の危険を減少し洗浄効率の良い迅速な洗浄作業を可能にする。複数の洗浄部を設けて同時に被洗浄物を挿入したり複数の洗浄部を順次移動しながら異なる洗浄作業を被洗浄物に加える。この復数の洗浄部を個々に密閉可能にするとともに被洗浄物の外部への出入口を一個とし、溶剤蒸気の外部への流出を極度に減少させる。
【解決手段】蓋体２にて密閉可能な出入口３を上端に設けた基準室１を設ける。この基準室１の外周に基準室１との連通および遮断を可能にした側室８、９を設ける。前記基準室１に被洗浄物７を出入する上下搬送機構５と、被洗浄物７を側室８、９内に搬入または基準室１に搬出可能とした水平搬送機構１１，１２とを設ける。この水平搬送機構１１、１２に接続し、側室８、９と基準室１との連通または遮断を可能とした遮断壁２６、２７とから成る被洗浄物の洗浄装置である。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液に溶解している気体の濃度を制御することで、被洗浄物へ洗浄効果を高めると同時に、気泡による被洗浄物へのダメージを最小限に抑えることができる超音波洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 超音波洗浄装置１は、洗浄液７００に対して超音波振動を照射する振動子２００と、超音波振動を照射された洗浄液７００を用いて被洗浄物８００を超音波洗浄処理する洗浄処理部１００と、振動子２００を超音波振動させるために、電気信号を振動子２００に付与する発振器３００と、洗浄液７００に気体４１０を溶解する気体溶解部４００と、洗浄液７００において超音波振動から音圧Ｐを測定する音圧測定部５６０と、洗浄液７００を脱気する脱気部５８０と、音圧測定部５６０によって測定された音圧Ｐを基に、脱気部５８０を制御して洗浄液７００に対する気体４１０の脱気量を制御する制御部６００とを有している。 （もっと読む）

【課題】部品実装機の吸着ノズルを能率良くクリーニングできるようにする。
【解決手段】部品実装機のホルダ着脱機構に着脱可能に取り付けられた交換用吸着ノズルホルダ１１を該部品実装機から取り外して該交換用吸着ノズルホルダ１１に収納された吸着ノズル１２を吸着ノズル用クリーニング装置２１でクリーニングするために、吸着ノズル用クリーニング装置２１のクリーニング槽２２内に、部品実装機のホルダ着脱機構と共通のクリーニング用ホルダ着脱機構２３を設け、部品実装機のホルダ着脱機構から取り外した交換用吸着ノズルホルダ１１を、クリーニング槽２２内のクリーニング用ホルダ着脱機構２３に取り付けて、該交換用吸着ノズルホルダ１１に収納された複数本の吸着ノズル１２を超音波洗浄等によりクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】汚れ物質の再付着を防止でき、洗浄能力に優れた、また洗浄液面近傍に浮上した汚れ物質を迅速、確実に除去可能な洗浄装置を得る。
【解決手段】搬送アーム５に保持された被洗浄物６が洗浄槽１０中の洗浄液４中に浸漬され、汚れ物質である油脂が離脱され洗浄液４の液面近傍に浮上する。この浮上した汚れ物質をスクレーパー２を矢印Ａ方向に動かすことにより手前側に掻き寄せ、しかる後、被洗浄物６を保持した搬送アーム５を矢印Ｂ方向に移動させ汚れ物質が掻き寄せられて綺麗になった洗浄液４の液面部分において被洗浄物６を引き上げる。綺麗な液面部分において被洗浄物６を引き上げるので、汚れ物質の再付着を防止でき、洗浄能力に優れる。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の上部からの洗浄液の漏れを抑制あるいは防止する。
【解決手段】略垂直姿勢の基板Ｗを上方から洗浄槽１内に収容し、略水平方向に延在する管状部材２ａ1〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６から基板Ｗの両面に洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置であって、前記管状部材２ａ1〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６の端部側に形成される通気路に遮蔽板Ｄ３，Ｄ６を配設する。 （もっと読む）

【課題】凸版印刷などの印刷装置に用いられる刷版を作業性よく簡単に洗浄することができる刷版の洗浄装置及び洗浄方法を提供すること。
【解決手段】容器２の上方に刷版５を吊り下げるための吊り下げ保持部３を設け、刷版５の側部に設けられた被係止部６を吊り下げ保持部３の空間Ｔ内に挿入して吊り下げる。そして昇降手段によって刷版５を吊り下げ保持部３とともに下降させ、洗浄液Ｗに浸漬させることによって刷版５に付着したインキを溶出して除去する。その後、昇降手段により洗浄液Ｗから刷版５を取り出したならば、第２のモータＭ２を駆動して、フレーム４１をナット４３及びスライダ４４を介して水平方向に往復移動させる。このとき、ノズル４２から洗浄水を刷版５の印刷表面に向かって噴射させながらフレーム４１を往復移動させる。これにより、刷版５に残存するインキを除去する。 （もっと読む）

【課題】金属製ノズルを、より簡易に強力洗浄でき得るノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】ノズル洗浄装置は、液体検体を検査または分析する検査分析装置に設けられた金属製ノズル２０を洗浄するべく、当該検査分析装置に搭載される。ノズル洗浄装置は、液体の吸引吐出に用いられる金属製ノズル２０を備えたノズルユニット１２と、洗浄実行時に過酸化水素水溶液が貯留される処理槽１６と、洗浄実行時に、金属製ノズル２０を処理槽１６内に進入させて過酸化水素水溶液に浸すべく、金属製ノズル２０を前記処理槽に対して相対移動させる移動機構と、処理槽１６内に進入した金属製ノズル２０の内部に位置する線状電極４０と、線状電極４０を介して過酸化水素水溶液に正電圧を、金属製ノズル２０に負電圧を印加する定電圧電源７０と、を備える。そして、電圧印加時に生じる水酸化ラジカルにより金属製ノズル２０を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】小型化および低価格化することが可能な複数の洗浄槽を有する超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明による超音波洗浄装置１は、洗浄液を貯留し、被処理体Ｗが浸漬可能な複数の洗浄槽１０と、各洗浄槽２０に設けられた振動子３０と、各振動子３０に超音波振動を生じさせる単一の超音波発振器４１とを備えている。この超音波発振器４１と各洗浄槽１０の振動子３０との間に、この超音波発振器４１に接続される振動子３０を切り替える出力切替器５０が介在されている。また、超音波発振器４１および出力切替器５０を制御する制御器４６が設けられている。この制御器４６は、一の洗浄槽１０の振動子３０に超音波振動を生じさせるタイミングと、他の洗浄槽１０の振動子３０に超音波振動を生じさせるタイミングが重ならないように超音波発振器４１および出力切替器５０を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板の処理を良好に行うことができる基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを格納した記憶媒体を提供すること。
【解決手段】本発明では、基板(2)を処理液(23)で処理する処理槽(24)と、処理槽(24)に第１の薬液(21)を供給する第１薬液供給機構(25)と、第１の薬液(21)と反応して処理液(23)を生成する第２の薬液(22)を処理槽(24)に供給する第２薬液供給機構(26)と、処理槽(24)に接続した循環流路(45)を用いて処理液(23)を循環させる処理液循環機構(27)と、第１及び第２の薬液の処理槽への供給を制御する制御部とを備え、所定の循環流量で処理液を循環させて基板(2)を処理する基板処理装置(1)を用い、第２の薬液(22)の供給を開始するとともに第２の薬液(22)の供給開始に基づいて循環流量を変化させることにした。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の漏洩ロスや大気の吸引を可及的に低減して、より環境に優しく、安全で経済性を向上する。
【解決手段】洗浄液を用いて被洗浄物の洗浄を密閉可能な容器１中で行う密閉型洗浄装置において、前記容器１に設けられ前記被処理物を出し入れする搬入出口７と、前記搬入出口７に設けられる蓋１８と、前記搬入出口７の周囲に沿って配置される気密部材と、前記蓋１８を開閉する蓋開閉手段と、前記蓋１８が閉状態のとき、前記気密部材を介して前記蓋１８を前記搬入出口７の周囲に所定圧力で押圧することにより前記容器１を密閉状態とし、前記押圧を解除することにより前記容器１を非密閉状態とする蓋押圧手段と、前記密閉状態の容器１内の圧力変動を吸収するアキュムレータ８と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板から離脱した汚染物質による処理槽の汚染を防止することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】処理槽１０の下方に下部タンク４０を設けている。リフター５０によって基板Ｗを投入する前に、排液バルブ１５を開放して処理槽１０の底部から下部タンク４０に一旦全ての処理液を排出する。下部タンク４０から処理槽１０に処理液が再供給される過程において、全ての処理液が循環ライン２０に設けられたフィルタ２３を通過することとなるため、処理液に含まれている全ての汚染物質がフィルタ２３によって取り除かれる。このため、基板Ｗから処理液中に離脱した汚染物質が処理槽１０に付着して汚染するのを防止することができる。また、そのような汚染物質が基板Ｗに付着するのを防止することもできる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄体が、例えば、孔または溝等、複雑な形状の凹凸部を有した場合であっても、凹凸部に付着した異物を被洗浄体から除去することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄水１の中で、異物が付着した被洗浄体４に向かってマイクロバブル６を噴射して異物に吸着させ、異物を被洗浄体４から分離させ、マイクロバブル６が洗浄水１の水面に向かって浮上するのに伴って異物を浮上させて、被洗浄体４を洗浄する洗浄装置であって、洗浄水１を貯留する洗浄槽２と、マイクロバブル６を噴射するマイクロバブル噴射器３と、被洗浄体４を保持するハンド部５ｃを有しているととともに、被洗浄体４を移動させるロボットアーム５と備え、ロボットアーム５は、被洗浄体４を移動させて、被洗浄体４とマイクロバブル噴射器３との相対位置を変えながら、マイクロバブル６を被洗浄体４に衝突させる。 （もっと読む）