感光性ペースト組成物およびパターン形成方法
【課題】低コストで、抵抗値が低く、高精細な電極等のパターンを形成することができる感光性ペースト組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】感光性ペースト組成物を（Ａ）フレーク状アルミ粉末、（Ｂ）ガラス粉末、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）多官能(メタ)アクリレート、（Ｅ）光重合開始剤、（Ｆ）光吸収剤および（Ｇ）溶剤を含有させて構成する。（Ａ）フレーク状アルミ粉末は、５０重量％粒子径を２〜７μｍ且つ平均厚さを０．０５〜１μｍの範囲とし、アスペクト比を２〜１４０とする。（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％以上１重量％未満の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲にあるようにする。
【解決手段】感光性ペースト組成物を（Ａ）フレーク状アルミ粉末、（Ｂ）ガラス粉末、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）多官能(メタ)アクリレート、（Ｅ）光重合開始剤、（Ｆ）光吸収剤および（Ｇ）溶剤を含有させて構成する。（Ａ）フレーク状アルミ粉末は、５０重量％粒子径を２〜７μｍ且つ平均厚さを０．０５〜１μｍの範囲とし、アスペクト比を２〜１４０とする。（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％以上１重量％未満の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲にあるようにする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性ペースト組成物およびパターン形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は、高品位のテレビジョン（ＴＶ)用途などへの展開が図られ、大型化とともに高画質化が進められている。ＦＰＤの中で、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に比べて高速での表示が可能であり、高画質化に向けて有望なＦＰＤ技術として注目されている。
【０００３】
図３は、従来の交流型のＰＤＰの構造を模式的に説明する断面図である。
【０００４】
図３に示すＰＤＰ１００において、１０１および１０２は対向配置されたガラス基板、１０３および１１１は隔壁である。ガラス基板１０１、ガラス基板１０２、背面隔壁１０３および前面隔壁１１１によって、セル１２０が区画形成されている。１０４および１１４は、ガラス基板１０１に固定された透明電極である。１０５および１１５は、透明電極１０４と透明電極１１４の抵抗を下げる目的で、透明電極１０４と透明電極１１４の上に形成されたバス電極である。１０６は、ガラス基板１０２に固定されたアドレス電極である。１０７は、セル１２０内に保持された蛍光物質である。１０８は、透明電極１０４とバス電極１０５を被覆するよう、ガラス基板１０１の表面に形成された誘電体層である。１０９は、アドレス電極１０６を被覆するよう、ガラス基板１０２の表面に形成された誘電体層である。１１０は、例えば酸化マグネシウムよりなる保護層である。
【０００５】
セル１２０内には、ネオン（Ｎｅ）やキセノン（Ｘｅ）などを含む放電ガスが封入されている。そこで、透明電極１０４と透明電極１１４の間に電圧を印加すると、セル１２０内部で放電が起こり、紫外線が発生する。この紫外線は、セル１２０内部の蛍光物質１０７を励起し、蛍光物質を発光させる。このとき、ＰＤＰ１００の有する多数のセルのうち、どのセルを発光させるかのアドレス機能は、アドレス電極１０６が担う。
【０００６】
上述の構成を有するＰＤＰにおいても、高品位のＴＶ用途への適用のため、パネルの大型化と高精細化が進められている。そのため、ＰＤＰの分野においては、電極などのパターン精度の要求が厳しく、パターン加工技術の向上が求められている。
【０００７】
ＰＤＰの分野では、電極などのパターン加工において、従来、スクリーン印刷法が用いられてきた。しかし、現在では、高精細化に好適なフォトリソグラフィー法によるパターン形成技術が検討されている。例えば、上述のアドレス電極を製造する場合において、感光性銀ペースト組成物を用いたフォトリソグラフィー法が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
感光性銀ペースト組成物は、導電性粉末に貴金属である銀を含有する。したがって、感光性銀ペースト組成物は高価であり、パターン形成工程の高コスト化を招いている。また、感光性銀ペースト組成物は、高温多湿の環境下でマイグレーションを起こしやすく、銀表面において硫化が発生するという問題を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−０７００７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、以上の知見に基づいてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、低コストで、抵抗値が低く、高精細な電極等のパターンを形成することができる感光性ペースト組成物を提供することにある。
【００１１】
また、本発明の目的は、上述の感光性ペーストを用い、低コストで、抵抗値が低く、高精細な電極等のパターンを形成することができるパターン形成方法を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の第１の態様は、
（Ａ） フレーク状アルミ粉末
（Ｂ） ガラス粉末
（Ｃ） アルカリ可溶性樹脂
（Ｄ） 多官能(メタ)アクリレート
（Ｅ） 光重合開始剤
（Ｆ） 光吸収剤
（Ｇ） 溶剤
を含有する感光性ペースト組成物であって、
（Ａ）フレーク状アルミ粉末は、５０重量％粒子径が２μｍ〜７μｍ、且つ、平均厚さが０．０５μｍ〜１μｍの範囲にあって、アスペクト比が２〜１４０であり、
（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％以上１重量％未満の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲にあることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明の第１の態様において、（Ａ）フレーク状アルミ粉末のアスペクト比は、４〜２０であることが好ましい。
【００１５】
本発明の第１の態様において、（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％〜０．５重量％の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が４００ｎｍ〜４２０ｎｍの範囲にあることが好ましい。
【００１６】
本発明の第１の態様において、（Ｆ）光吸収剤は、クルクミンまたはクルクミン誘導体であることが好ましい。
【００１７】
本発明の第１の態様において、（Ｂ）ガラス粉末は、５０重量％粒子径が０．２μｍ〜４μｍであり、且つ、軟化点が３５０℃〜７００℃であることが好ましい。
【００１８】
本発明の第１の態様において、（Ｂ）ガラス粉末は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して５重量％〜５０重量％の量で含まれることが好ましい。
【００１９】
本発明の第１の態様において、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂と（Ｄ）多官能(メタ)アクリレートの合計の含有量は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して１００重量％〜１５０重量％であることが好ましい。
【００２０】
本発明の第１の態様において、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂と（Ｄ）多官能(メタ)アクリレートの合計の含有量は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して１２０重量％〜１４０重量％であることがさらに好ましい。
【００２１】
本発明の第２の態様は、本発明の第１の態様の感光性ペースト組成物を用いることを特徴とするパターン形成方法に関する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の第１の態様によれば、低コストで、抵抗値が低く、高精細な電極等のパターンを形成することができる感光性ペースト組成物が提供される。
【００２３】
本発明の第２の態様によれば、低コストで、抵抗値が低く、高精細な電極等のパターンを形成できるパターン形成方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施の形態のＰＤＰの構造を模式的に説明する断面図である。
【図２】光吸収剤の吸収極大波長とＬＷＲ（μｍ）との関係を示したグラフである。
【図３】従来の交流型のＰＤＰの構造を模式的に説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明者は、鋭意検討した結果、感光性ペースト組成物の導電性粉末として、従来の銀に代え、アルミニウム（Ａｌ）粉末を使用することが好適であることを見出した。アルミニウム粉末は、銀に比べて低コストでの入手が可能な材料である。
【００２６】
アルミニウム粉末に関しては、例えば、形状の異なる２種類のアルミニウム粉末がある。そのうち１種は球状アルミニウム粉末であり、もう１種はフレーク状アルミニウム粉末である。
球状アルミニウム粉末については、主に粉末同士が点接触でしか接触しないのに対し、フレーク状アルミニウム粉末では、主に粉末同士が面接触となる。ここで、面接触が生じやすいフレーク状アルミニウム粉末の方が、良導電性を示し、抵抗値特性に優れる。
したがって、感光性ペースト組成物では、フレーク状のアルミニウム粉末の使用が好ましい。
【００２７】
また、さらなる検討の結果、感光性ペースト組成物は、導電性粉末としてアルミニウム粉末を用いるとともに、光吸収剤を含有することによって、微細なパターン形成が可能になることを見出した。
【００２８】
以下では、本実施の形態の感光性ペースト組成物と、この感光性ペーストを用いたパターン形成方法について説明する。尚、本明細書では、感光性ペースト組成物を用いて形成される露光前の層を「感光性ペースト層」とも言う。
【００２９】
〔感光性ペースト組成物〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、以下に説明する、アルミニウム粉末（Ａ）、ガラス粉末（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）、光重合開始剤（Ｅ）、光吸収剤（Ｆ）および溶剤（Ｇ）を含有する。
【００３０】
＜アルミニウム粉末（Ａ）＞
アルミニウム粉末（Ａ）としては、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）が用いられる。また、アルミニウム粉末（Ａ）として、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）とともに、球状アルミニウム粉末（Ａ２）を用いてもよい。
【００３１】
≪フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）≫
フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）は、５０重量％粒子径（以下「Ｄ５０」とも言う。）が２．０μｍ〜７．０μｍの範囲であることが好ましい。そして、平均厚さは、０．０５μｍ〜１．０μｍの範囲にあることが好ましく、０．１μｍ〜０．９μｍの範囲にあることがより好ましく、０．１μｍ〜０．８μｍの範囲にあることがさらに好ましい。
【００３２】
Ｄ５０または平均厚さが上述の好ましい範囲を上回るフレーク状アルミニウム粉末を用いると、高精細なパターンを形成することが困難になることがある。また、Ｄ５０または平均厚さが上記範囲を下回るフレーク状アルミニウム粉末を用いると、粉末同士が、膜中で面接触傾向ではなく点接触傾向になる。そのため、感光性ペースト組成物は、低抵抗のパターンを形成することが困難になることがある。
【００３３】
尚、本発明において、５０重量％粒子径（Ｄ５０）は、レーザ回折法により、後述する実施例での測定条件下で測定される値である。また、平均厚さは、ＳＥＭ（ｓｃａｎｎｉｎｇ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型電子顕微鏡）観察により、後述する実施例での測定条件下で測定される値である。
【００３４】
また、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）のアスペクト比（フレーク状アルミニウム粉末の最大粒径を、平均厚さで除して算出された値）は、２〜１４０の範囲にあることが好ましく、４〜２０の範囲にあることがより好ましい。フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）のアスペクト比が２より小さいと抵抗値が悪化し、または１４０より大きいと、光の透過率が著しく損なわれ高精細なパターンを形成することが困難になることがある。
【００３５】
フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）は、上述の好ましい範囲のＤ５０および平均厚さを有するものであれば、特に組成は限定されない。フレーク状アルミニウム粉末としては、例えば、上述の好ましい範囲内のＤ５０および平均厚さを有する、純アルミニウム、アルミニウム合金またはアルミニウム化合物（但し、酸化アルミニウムを除く。以下同じ。）のフレーク状粉末を用いることができる。
【００３６】
また、貴金属コートおよび貴金属メッキの何れか一方または双方の処理がなされた、上記の好ましい範囲のＤ５０および平均厚さを有するフレーク状アルミニウム粉末を用いることができる。さらに、脂肪酸により包接された、上記の好ましい範囲のＤ５０および平均厚さを有するフレーク状アルミニウム粉末を用いることができる。
【００３７】
例えば、ＦＰＤの配線を構成する電極を形成する場合には、例として挙げた上述のフレーク状アルミニウム粉末が好適に用いられる。そして、特に、ＪＩＳ Ｋ ５９０６に記載の方法にしたがって測定されるリーフィング価が小さい（またはリーフィング価がない）、ノンリーフィング型のフレーク状粉末を好適に用いることができる。
また、例として挙げた上述のフレーク状アルミニウム粉末は、１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００３８】
上述のフレーク状アルミニウム粉末の貴金属コートおよび貴金属メッキに用いられる貴金属としては、例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、および、これらの合金を挙げることができる。これらの貴金属は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。また、フレーク状アルミニウム粉末の貴金属コートおよび貴金属メッキは、従来公知の方法にしたがって行うことができる。
【００３９】
上述のフレーク状アルミにニウムを包接する脂肪酸としては、例えば、酪酸、吉草酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ぺラルゴン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、ペンタデシル酸、パルミチン酸、パルミトイル酸、マルガリン酸、オレイン酸、バクセン酸、リノール酸、リノレン酸、ノナデカン酸、アラキジン酸、アラキドン酸、ベヘン酸、リグノセレン酸、ネルボン酸、セロチン酸、モンタン酸またはメリシン酸を用いることができる。
【００４０】
これらの脂肪酸の中では、オレイン酸は効率的にフレーク状アルミニウム粉末を包接および／または修飾することができる。オレイン酸などの脂肪酸を用いて、フレーク状アルミニウム粉末を包接および／または修飾することで、ノンリーフィング型のフレーク状粉末を容易に得ることができる。そして、このようなノンリーフィング型のフレーク状アルミニウム粉末を用いることで、感光性ペースト層中にフレーク状アルミニウム粉末をより均一に分散することができる。このため、このようにして得られる感光性ペースト層は露光光を表面反射することが少ない。すなわち、透過率が向上し、良好にパターン形成をすることができる。
【００４１】
≪球状アルミニウム粉末（Ａ２）≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）とともに、球状アルミニウム粉末（Ａ２）を用いることができる。球状アルミニウム粉末（Ａ２）は、５０重量％粒子径（Ｄ５０）が１．０μｍ〜２０．０μｍの範囲にあることが好ましい。そして、１．５μｍ〜１８．０μｍの範囲にあることがより好ましく、２．０μｍ〜１５．０μｍの範囲にあることがさらに好ましい。尚、本発明において球状アルミニウ粉末（Ａ２）の球状とは、フレーク状（または、燐片状とも称される。）以外の形状を意味し、特に球形状に限定はされるものではない。
【００４２】
Ｄ５０が上記した範囲を上回る球状アルミニウム粉末を用いると、高精細なパターンを形成することが困難になることがある。また、Ｄ５０が上記範囲を下回る球状アルミニウム粉末を用いると、歩留りが悪く、低コストでのパターン形成が困難になることがある。
【００４３】
球状アルミニウム粉末（Ａ２）としては、上述の好ましい範囲のＤ５０を有する球状アルミニウム粉末であれば、特に組成は限定されない。球状アルミニウム粉末としては、例えば、純アルミニウム、アルミニウム合金およびアルミニウム化合物の球状粉末を用いることができる。
【００４４】
また、貴金属コートおよび貴金属メッキの何れか一方または双方の処理がなされた、上述の好ましい範囲のＤ５０を有する球状粉末を用いることができる。例えば、ＦＰＤの配線を構成する電極を形成する場合には、例示した上述の球状アルミニウム粉末が好適に用いられるが、特に純アルミニウムの球状アルミニウム粉末が好適に用いられる。
また、例として挙げた上述の球状粉末は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００４５】
上述の球状アルミニウム粉末の貴金属コートおよび貴金属メッキに用いられる貴金属としては、例えば、金、銀、白金、これらの合金を挙げることができる。これらの貴金属は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００４６】
≪アルミニウム粉末の含有量≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、アルミニウム粉末（Ａ）の含有量は、組成物全体に対して、１０重量％〜６０重量％の範囲にあることが好ましい。そして、１５重量％〜５０重量％の範囲にあることがより好ましく、２０重量％〜４０重量％の範囲にあることがさらに好ましい。アルミニウム粉末（Ａ）の含有量をこのような範囲とすることで、導電性に優れたパターンを形成することができる。
【００４７】
尚、アルミニウム粉末（Ａ）の含有量とは、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）のみを用いる場合には、その固形分換算での含有量を意味する。また、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）と球状アルミニウム粉末（Ａ２）とを用いる場合には、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）と球状アルミニウム粉末（Ａ２）との固形分換算での含有量の合計｛（Ａ１）＋（Ａ２）｝を意味する。
【００４８】
上述のように、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）は、球状アルミニウム粉末（Ａ２）とともに併用されてもよい。その場合、球状アルミニウム粉末（Ａ２）に対するフレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）の固形分換算での重量比｛（Ａ１）／（Ａ２）｝は、好ましくは（１００／０）〜（５０／５０）、より好ましくは（１００／０）〜（６０／４０）、さらに好ましくは（１００／０）〜（７０／３０）の範囲にある。固形分換算での重量比｛（Ａ１）／（Ａ２）｝を上述の範囲とすることで、導電性に優れたパターンを形成することができる。
【００４９】
本実施の形態の感光性ペースト組成物では、アルミニウム粉末（Ａ）とともに、他の金属粉末を用いることができる。他の金属粉末としては、例えば、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、スズ（Ｓｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）、亜鉛（Ｚｎ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）の粉末およびこれらの化合物（但し、ガラス粉末（Ｂ）を除く。）の粉末を挙げることができる。他の金属粉末は、感光性ペーストに含まれるアルミニウム粉末（Ａ）１００重量部に対して、２５重量部以内で用いることが好ましい。
【００５０】
＜ガラス粉末（Ｂ）＞
本実施の形態で用いられるガラス粉末（Ｂ）は、感光性ペースト組成物を用いて形成されるパターンの用途、例えば、ＦＰＤの部材や電子部品の部材などに応じて適宜選択することができる。
【００５１】
ガラス粉末（Ｂ）の好適な具体例としては、以下の例を挙げることができる。これらの中では、環境に配慮した無鉛ガラスが特に好ましい。
１．酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素の混合物（ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２）
２．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素の混合物（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系）
３．酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウムの混合物
（ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系）
４．酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素の混合物
（ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系）
５．酸化ビスマス、酸化ホウ素、酸化ケイ素の混合物
（Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系）
６．酸化亜鉛、酸化リン、酸化ケイ素の混合物（ＺｎＯ−Ｐ２Ｏ５−ＳｉＯ２系）
７．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化カリウムの混合物（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｋ２Ｏ系）
８．酸化リン、酸化ホウ素、酸化アルミニウムの混合物
（Ｐ２Ｏ５−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３系）
９．酸化亜鉛、酸化リン、酸化ケイ素、酸化アルミニウムの混合物
（ＺｎＯ−Ｐ２Ｏ５−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系）
１０．酸化亜鉛、酸化リン、酸化チタンの混合物（ＺｎＯ−Ｐ２Ｏ５−ＴｉＯ２系）
１１．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カリウムの混合物
（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｋ２Ｏ系）
１２．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カリウム、酸化カルシウムの混合物
（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｋ２Ｏ−ＣａＯ系）
１３．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化アルミ
ニウムの混合物（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｋ２Ｏ−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３系）
１４．酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウムの混合物
（Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系）
１５．酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化ナトリウムの混合物
（Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｎａ２Ｏ系）
【００５２】
ガラス粉末（Ｂ）は、アルミニウムの標準電極電位よりも低い標準電極電位を有する金属の酸化物（以下「特定金属酸化物」ともいう。）を５重量％〜５０重量％含有することが好ましく、特に２０重量％〜５０重量％含有することが好ましい。
【００５３】
特定金属酸化物の含有量が上述の範囲にあるガラス粉末（Ｂ）を用いることにより、電極パターンの抵抗値を低くすることができる。また、基板との密着性に優れた電極パターンを得ることができる。これは、アルミニウム粉末（Ａ）の表面に酸化によるアルミナ（融点：２０２０℃）の形成が抑えられ、硬化パターンを焼成する際にアルミニウム粉末（Ａ）同士の結着が促進されるためであると考えられる。
【００５４】
尚、標準電極電位とは、ある電気化学反応について、標準状態（反応に関与する全ての化学種の活量が１。）且つ平衡状態となっているときの電極電位である。その値は、標準水素電極と測定対象の電極とを組み合わせて作製した電池の標準状態における起電力を測定することにより得られる。したがって、上述の特定金属酸化物は、リチウム（Ｌｉ）、ルビジウム（Ｒｂ）、カリウム（Ｋ）、バリウム（Ｂａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、カルシウム（Ｃａ）、ナトリウム（Ｎａ）、マグネシウム（Ｍｇ）およびベリリウム（Ｂｅ）からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属の酸化物であることが好ましい。具体的には、特定金属酸化物としてＮａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｌｉ２Ｏ、ＢａＯおよびＣａＯなどが挙げられる。
【００５５】
ガラス粉末（Ｂ）の平均粒子径は、感光性ペースト組成物を用いて形成されるパターンの形状を考慮して適宜選択される。ガラス粉末（Ｂ）のＤ５０は、０．２μｍ〜５．０μｍの範囲にあることが好ましく、０．２μｍ〜４．０μｍの範囲にあることがより好ましく、０．５μｍ〜３．８μｍの範囲にあることがさらに好ましい。また、ガラス粉末（Ｂ）の１０重量％粒子径（Ｄ１０）は、０．０５μｍ〜０．５μｍの範囲にあることが好ましく、９０重量％粒子径（Ｄ９０）は、１０μｍ〜２０μｍの範囲にあることが好ましい。ガラス粉末（Ｂ）の平均粒子径（Ｄ５０、Ｄ１０、Ｄ９０）を上述の範囲とすることにより、露光工程において、露光光が感光性ペースト層の底部まで十分に到達して、高精細なパターンを形成することができる。
【００５６】
尚、本実施の形態において、５０重量％粒子径（Ｄ５０）、１０重量％粒子径（Ｄ１０）および９０重量％粒子径（Ｄ９０）は、レーザ回折法により、後述する実施例で示す測定条件下で測定される値である。
【００５７】
ガラス粉末（Ｂ）は、例えば、ＦＰＤの配線を構成する電極を形成する場合には、軟化点が３５０℃〜７００℃の範囲にあるガラス粉末（以下、「ガラス粉末（Ｂ１）」ともいう。）を用いることが好ましい。特に、ガラス粉末（Ｂ１)の中で、軟化点が４００℃〜６２０℃の範囲にあるガラス粉末を用いることが好ましい。
【００５８】
軟化点が３５０℃より低いガラス粉末を用いた場合、感光性ペースト層を露光・現像して形成されるパターンを焼成する工程において不具合が生じることがある。具体的には、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）などの有機物が完全に分解・除去されない段階で、ガラス粉末が溶融してしまうため、電極中に有機物の一部が残留することがある。その結果、形成される電極が着色して、光透過率が低下することがある。一方、軟化点が７００℃より高いガラス粉末を用いた場合、感光性ペースト層を露光・現像して形成されるパターンを焼成する工程において、非常に高温の温度条件が必要となるため、ガラス基板に歪みなどが発生することがある。
【００５９】
尚、本実施の形態において、ガラス粉末（Ｂ）の軟化点は、ＤＳＣ測定により、後述する実施例で示す測定条件下で測定される値である。
【００６０】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、ガラス粉末（Ｂ）の含有量は、感光性ペースト組成物の含有するフレーク状アルミニウム粉末１００重量％に対して５重量％〜５０重量％の範囲にあることが好ましい。
【００６１】
特に、ガラス粉末（Ｂ）の少なくとも一部がガラス粉末（Ｂ１）であることが好ましい。ガラス粉末（Ｂ１）を含有することにより、ＦＰＤの配線を構成する電極などの部材を形成する場合に好適となる。
【００６２】
＜アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）＞
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）は、アルカリ可溶性であれば特に限定されない。尚、本実施の形態において、「アルカリ可溶性」とは、目的とする現像処理が可能な程度に、アルカリ性の現像液に溶解する性質を言う。
【００６３】
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）としては、以下のアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）と（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）との共重合体が好ましい。この共重合の際に用いられる有機溶剤としては、特別に限定されるものではないが、後述の感光性ペースト組成物のための有機溶剤として例示されたものを用いることができる。
【００６４】
≪アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）≫
アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）としては、アルカリ可溶性官能基と不飽和結合とを有するモノマーを用いることができる。
【００６５】
アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）として使用可能なものは、例えば、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイ皮酸、コハク酸モノ（２−（メタ）アクリロイルオキシエチル）、２−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、２−アクリロイルオキシエチルハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルヘキサヒドロハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルテトラヒドロハイドロゲンフタレートおよびω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートなどのカルボキシル基含有モノマー類、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピルおよび（α−ヒドロキシメチル）アクリレートなどの水酸基含有モノマー類、ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレンおよびｐ−ヒドロキシスチレンなどのフェノール性水酸基含有モノマー類などである。
【００６６】
これらのアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００６７】
また、これらのアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）の中では、（メタ）アクリル酸、２−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、２−アクリロイルオキシエチルハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルヘキサヒドロハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルテトラヒドロハイドロゲンフタレートまたは（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルが好ましい。
【００６８】
アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）を共重合することにより、樹脂にアルカリ可溶性を付与することができる。アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）由来の構成単位の含有量は、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の全構成単位中、５重量％〜９０重量％の範囲とすることが好ましく、１０重量％〜８０重量％の範囲とすることがより好ましく、１５重量％〜７０重量％の範囲とすることがさらに好ましい。
【００６９】
≪（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）≫
（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）としては、アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）と共重合可能な（メタ）アクリル酸誘導体であれば特に限定されない。
【００７０】
使用可能な（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボロニル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートなどの、上記したアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）以外の（メタ）アクリレート類を挙げることができる。
【００７１】
これらのモノマー（Ｃ２）は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００７２】
本実施の形態では、（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）の代わりに、または、（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）とともに、例えば、スチレン、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレートなどから得られるポリマーの一方の鎖末端に、（メタ）アクリロイル基、アリル基およびビニル基などの重合性不飽和基を有するマクロモノマーを用いてもよい。
【００７３】
≪ラジカル重合開始剤≫
上述のアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）と（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）との共重合の際、ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。ラジカル重合開始剤としては、ビニル単量体の重合に用いられるラジカル重合開始剤を用いることができる。
【００７４】
ラジカル重合開始剤としては、例えば、２，２'−アゾビスイソブチロニトリル、２，２'−アゾビス（２−メチルブチルニトリル）、２，２'−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、１，１'−アゾビス（１−シクロヘキサンカルボニトリル）、ジメチル−２，２'−アゾビスイソブチレートおよび４，４'−アゾビス（４−シアノバレリック酸）などのアゾ化合物、ｔ−ブチルパーオキシビバレート、ｔ−ブチルパーオキシ２−エチルヘキサノエートおよびクミルパーオキシ２−エチルヘキサノエートなどのパーオキシエステル類の有機過酸化物などを挙げることができる。
【００７５】
ラジカル重合開始剤は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００７６】
ラジカル重合開始剤の使用量は、上述の共重合に使用する全モノマー１００重量部に対して、０．１重量部〜１０重量部程度とすることが好ましい。
【００７７】
≪連鎖移動剤≫
上述のアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）と（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）との共重合の際には、連鎖移動剤を用いてもよい。連鎖移動剤としては、例えば、α−メチルスチレンダイマー、ｔ−ドデシルメルカプタン、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオン酸）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）、１，４−ビス（３−メルカプトブチリルオキシ）ブタンなどを挙げることができる。
【００７８】
連鎖移動剤は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００７９】
連鎖移動剤の使用量は、上述の共重合に使用する全モノマー１００重量部に対して、０．１重量部〜１０重量部程度とすることが好ましい。
【００８０】
≪アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の物性≫
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」ともいう。）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算値で、５０００〜１０００００が好ましく、１００００〜８００００がより好ましい。Ｍｗは、上述のモノマーの共重合割合、連鎖移動剤の含有、重合温度などの条件を適宜選択することにより制御することができる。Ｍｗが１０００００より大きいと、現像後の膜荒れが発生しやすくなる。また、Ｍｗが５０００より小さいと、未露光部の現像液に対する溶解性が低下し、パターンのライン密着性が低下する場合がある。
【００８１】
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、０℃〜１２０℃の範囲が好ましく、１０℃〜１００℃の範囲がより好ましい。ガラス転移温度が０℃より低くなると、塗膜にタックを生じやすく、ハンドリングがし難い傾向にある。また、ガラス転移温度が１２０℃より高くなると、感光性ペースト層とガラス基板などの支持体との密着性が悪くなることがある。その場合、後述する転写フィルムを用いる場合には、感光性ペースト層を転写できないことがある。尚、ガラス転移温度は、アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）および（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）の量を変更することによって、適宜調節することができる。
【００８２】
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の酸価は、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲が好ましく、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲がより好ましい。酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇより低くなると、未露光部をアルカリ現像液で速やかに除去することが難しくなり、高精細なパターンを形成することが困難になることがある。また、酸価が２００ｍｇＫＯＨ／ｇより大きくなると、露光光によって硬化した部分もアルカリ現像液に浸食されやすくなり、やはり、高精細なパターンを形成することが困難になることがある。
【００８３】
＜多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、感光性成分が含まれる。感光性成分は、一般に光不溶化型の成分と光可溶化型の成分とに分類される。
【００８４】
光不溶化型の成分としては、（ｉ）分子内に不飽和基などを１つ以上有する感光性モノマーまたはオリゴマー、（ｉｉ）芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物および有機ハロゲン化合物などの感光性化合物、（ｉｉｉ）ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物などのいわゆるジアゾ樹脂、と称されるものなどがある。
【００８５】
光可溶化型の成分としては、（ｉｖ）ジアゾ化合物と無機酸や有機酸との錯体、（ｖ）キノンジアゾ類、（ｖｉ）キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結合させたもの（例えば、フェノール樹脂のナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルフォン酸エステル。）などがある。
【００８６】
本実施の形態の感光性ペーストでは、上述した全ての成分を用いることができる。そして、上述のフレーク状アルミニウム（Ａ１）などの無機粒子と混合して簡便に使用できることから、上記（ｉ）感光性モノマーまたはオリゴマーに分類される、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）を用いることが特に好ましい。
【００８７】
多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）としては、例えば、アリル化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、２，５−ヘキサンジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−デカンジオールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、グリセロールジ（メタ）アクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートおよびトリグリセロールジ（メタ）アクリレートなどのジ（メタ）アクリレート類、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＰＯ（プロピレンオキサイド）変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＥＯ（エチレンオキサイド）変性トリ（メタ）アクリレート、ベンジルメルカプタントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどの３官能以上の（メタ）アクリレート類などを挙げることができる。
【００８８】
また、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）として、上述の化合物中の芳香族環に結合した水素原子のうち、１〜５個が塩素原子または臭素原子に置換されたモノマーを挙げることもできる。
【００８９】
これらの多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００９０】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）の含有量は、感光性樹脂成分全体に対して、１０重量％以上とすることが好ましい。こうすることで、露光光に対する感度を良好なものとすることができる。尚、感光性樹脂成分とは、感光性ペースト組成物から無機粒子を除いた部分、すなわち、感光性機能を有する有機成分全体を言う。すなわち、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）、光重合開始剤（Ｅ）および光吸収剤（Ｆ）などが含まれる。また、無機粒子には、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）および球状アルミニウム粉末（Ａ２）などのアルミニウム粉末（Ａ）やガラス粉末（Ｂ）などが含まれる。
また、上記多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）の含有量は、１５重量％〜６０重量％の範囲とすることがより好ましい。多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）の含有量が６０重量％より多くなると、感光性ペースト焼成後に形成される部材（例えば、ディスプレイパネル用部材）の形状が劣化することがある。
【００９１】
本発明の目的を損なわない範囲で、本実施の形態の感光性ペーストでは、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）とともに、スチレン、ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、塩素化スチレン、臭素化スチレン、α−メチルスチレン、塩素化α−メチルスチレン、臭素化α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルスチレン、カルボシキメチルスチレン、ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルカルバゾール、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、１−ビニル−２−ピロリドンなどを用いてもよい。
【００９２】
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、５重量％〜９０重量％の感光性樹脂成分と９５重量％〜１０重量％の無機粒子とからなることが好ましい。
【００９３】
そして、本実施の形態の感光性ペースト組成物は、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）と多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）とを、合計で１００重量％〜１５０重量％となる量で含有することが好ましく、１２０重量％〜１４０重量％となる量で含有することがさらに好ましい。かかる比率とすることにより、高精細のパターン形成が可能となる。
【００９４】
＜光重合開始剤（Ｅ）＞
光重合開始剤（Ｅ）としては、公知の光重合開始剤を用いることができる。また、露光感度を向上させるために、光重合開始剤（Ｅ）とともに、後述する増感剤を用いることもできる。
【００９５】
光重合開始剤（Ｅ）としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４，４’−ビス（ジメチルアミン）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニル−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、１−クロロ−４−プロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、２−アミルアントラキノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、４−アジドベンザルアセトフェノン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）シクロヘキサノン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘキサノン、カンファーキノン、２−フェニル−１，２−ブタジオン−２−（ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１，３−ジフェニル−プロパントリオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−３−エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシム、ミヒラーケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタノン−１、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オンおよび２，２'−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オンなどのカルボニル化合物を挙げることができる。
【００９６】
また、光重合開始剤（Ｅ）として、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニルフォスフィンオキサイドおよびビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドなどのアシルフォスフィンオキサイド系化合物を挙げることもできる。
【００９７】
また、光重合開始剤（Ｅ）として、ベンジルジメチルケタノール、ベンジルメトキシエチルアセタール、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、Ｎ−フェニルチオアクリドン、４，４−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンゾチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスルホンまたは過酸化ベンゾインを挙げることもできる。
【００９８】
また、光重合開始剤（Ｅ）として、エオシンやメチレンブルーなどの光還元性の色素と、アスコルビン酸やトリエタノールアミンなどの還元剤との組み合せを挙げることもできる。
【００９９】
これらの光重合開始剤（Ｅ）は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１００】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、光重合開始剤（Ｅ）の含有量は、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）１００重量部に対して、１重量部〜５０重量部の範囲にあることが好ましく、２重量部〜４０重量部の範囲にあることがより好ましい。光重合開始剤（Ｅ）の含有量が、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）１００重量部に対して、５０重量部より多いと、感光性ペースト焼成後に形成される部材（例えば、ディスプレイパネル用部材）の形状が劣化することがある。
【０１０１】
≪増感剤≫
本実施の形態においては、露光感度を向上させるために、光重合開始剤（Ｅ）とともに後述する増感剤を用いることもできる。
【０１０２】
増感剤としては、例えば、２−メチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、１−クロロ−４−プロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，３−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロペンタノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）シクロヘキサノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）−４−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）−ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）カルコン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）カルコン、ｐ−ジメチルアミノシンナミリデンインダノン、ｐ−ジメチルアミノベンジリデンインダノン、２−（ｐ−ジメチルアミノフェニルビニレン）−イソナフトチアゾール、１，３−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）アセトン、１，３−カルボニル−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）アセトン、３，３−カルボニル−ビス（７−ジエチルアミノクマリン）、Ｎ−フェニル−Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ−フェニルエタノールアミン、Ｎ−トリルジエタノールアミン、Ｎ−フェニルエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、３−フェニル−５−ベンゾイルチオテトラゾールまたは１−フェニル−５−エトキシカルボニルチオテトラゾールなどを挙げることができる。
【０１０３】
これらの増感剤は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１０４】
尚、増感剤の中には、光重合開始剤としても用いられるものもあり、光重合開始剤との組み合せにより、増感剤であるか光重合開始剤であるかが決定される。
【０１０５】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、増感剤の含有量は、上述の無機粒子１００重量部に対して、０．０１重量部〜１５重量部の範囲にあることが好ましく、０．０５重量部〜１０重量部の範囲にあることがより好ましい。
【０１０６】
増感剤の含有量が、上述の無機粒子１００重量部に対して、０．０１重量部より少ないと、光感度を向上させる効果が発揮されないことがある。増感剤の含有量が上述の無機粒子１００重量部に対して、１５重量部より多いと、未露光部の残存率が大きくなり過ぎラインパターンを得られないことがある。
【０１０７】
＜光吸収剤（Ｆ）＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、光吸収剤（Ｆ）を含有する。感光性ペースト組成物は、紫外線や可視光などに対する光吸収効果の高い化合物を含有することにより、高アスペクト比で、高精細で、高密着性のパターンを形成することができる。光吸収剤（Ｆ）としては、有機系光吸収剤または無機系光吸収剤を用いることができる。有機系光吸収剤としては、例えば、有機系の染料などを用いることができる。無機系光吸収剤としては、例えば、無機系顔料を用いることができる。
【０１０８】
光吸収剤（Ｆ）としては、３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長範囲で高い光吸収係数を有するものが好ましく用いられる。そして、光吸収剤（Ｆ）は、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長範囲にあるものがより好ましく、４００ｎｍ〜４２０ｎｍの波長範囲にあるものがさらに好ましい。
【０１０９】
有機系光吸収剤としては、例えば、クルクミン系光吸収剤、アゾ系光吸収剤、アミノケトン系光吸収剤、キサンテン系光吸収剤、キノリン系光吸収剤、アミノケトン系光吸収剤、アントラキノン系光吸収剤、ベンゾフェノン系光吸収剤、ジフェニルシアノアクリレート系光吸収剤、トリアジン系光吸収剤またはｐ−アミノ安息香酸系光吸収剤を挙げることができる。
【０１１０】
無機系光吸収剤としては、例えば、無機系顔料である、酸化亜鉛、酸化チタンまたは酸化セリウムなどを挙げることができる。
【０１１１】
本実施の形態の光吸収剤（Ｆ）としては、クルクミン系光吸収剤が特に好ましく用いられる。クルクミン系光吸収剤により、吸収極大波長が４００ｎｍ〜４２０ｎｍの波長範囲にある光吸収剤を実現することが可能である。そして、本実施の形態の感光性ペースト組成物は、クルクミン系光吸収剤を含有することにより、精細度の非常に高いパターン形成を可能とする。
【０１１２】
また、本実施の形態の感光性ペースト組成物を用い、ＦＰＤの配線を構成する電極を形成する場合には、信頼性の観点から、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化セリウムなどの無機系光吸収剤を含有することが好ましい。
【０１１３】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、光吸収剤（Ｆ）の含有量は、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して０．１重量％より多く、１重量％より少ない量であることが好ましい。特に、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して０．１重量％より多く、０．５重量％以下の量であることが好ましい。
【０１１４】
光吸収剤（Ｆ）の含有量が、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して０．１重量％以下であると、光吸収剤の含有効果が小さく、高精細なパターン形成を可能とする効果が得られないことがある。
また、光吸収剤（Ｆ）の含有量が、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して１重量％以上であると、光吸収剤の含有効果が大きく光硬化の妨げとなり、高精細なパターン形成を可能とする効果が得られないことがある。
【０１１５】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、光吸収剤としてクルクミン系光吸収剤を使用する場合、光吸収剤（Ｆ）の含有量は、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して０．１重量％より多く、０．５重量％以下であることが特に好ましい。クルクミン系光吸収剤が、上記範囲で含有されることにより、非常に高精細なパターン形成が可能となる。
【０１１６】
＜溶剤（Ｇ）＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、その粘度調整を目的として溶剤（Ｇ）を含有する。溶剤（Ｇ）としては有機溶媒を用いることができる。
【０１１７】
使用可能な有機溶媒としては、例えば、ターピネオール、ジヒドロターピネオール、ジヒドロターピネニルアセテート、リモネン、カルベオール、カルビニルアセテート、シトロネロール、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノフェニルエーテル、ジプロピレングリコールn-プロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メトキシプロピルアセテート、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチロラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸またはクロロ安息香酸などを挙げることができる。
【０１１８】
これらの有機溶媒は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１１９】
溶剤は、感光性ペースト組成物全体に対して、好ましくは１５重量％〜４０重量％の範囲となる量で添加することができる。
【０１２０】
＜添加剤＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、さらに、重合禁止剤、酸化防止剤、密着助剤、溶解促進剤などの添加剤を添加することができる。また、必要な場合には、増感助剤、可塑剤、増粘剤、分散剤、無機粒子およびアルカリ可溶性樹脂の沈降防止剤、並びに、レベリング剤などの添加剤を添加してもよい。
【０１２１】
≪重合禁止剤≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、保存時の熱安定性を向上させるために、重合禁止剤を添加することができる。重合禁止剤としては、例えば、ヒドロキノン、ヒドロキノンのモノエステル化物、Ｎ−ニトロソジフェニルアミン、フェノチアジン、ｐ−ｔ−ブチルカテコール、Ｎ−フェニルナフチルアミン、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−メチルフェノール、クロラニールまたはピロガロールなどを挙げることができる。
【０１２２】
重合禁止剤は、感光性ペースト組成物全体に対して、０．００１重量％〜１重量％の範囲となる量で添加することが好ましい。
【０１２３】
≪酸化防止剤≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、保存時におけるアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の酸化を防ぐために、酸化防止剤を添加することができる。酸化防止剤としては、例えば、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ブチル化ヒドロキシアニソール、２，６−ジ−ｔ−４−エチルフェノール、２，２−メチレン−ビス−（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２−メチレン−ビス−（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、４，４−ビス−（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス−（２−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロキシ−ｔ−ブチルフェニル）ブタン、ビス［３，３−ビス−（４−ヒドロキシ−３−ｔ−ブチルフェニル）ブチリックアシッド］グリコールエステル、ジラウリルチオジプロピオナートまたはトリフェニルホスファイトなどを挙げることができる。
【０１２４】
酸化防止剤は、感光性ペースト組成物全体に対して、０．００１重量％〜１重量％の範囲となる量で添加することが好ましい。
【０１２５】
≪密着助剤≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、感光性ペースト層とガラス基板などの支持体との密着性を向上させるために、密着助剤を添加することができる。密着助剤としては、シラン化合物が好適に用いられる。
【０１２６】
使用可能なシラン化合物としては、例えば、ｎ−プロピルジメチルメトキシシラン、ｎ−ブチルジメチルメトキシシラン、ｎ−デシルジメチルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルメトキシシラン、ｎ−イコサンジメチルメトキシシラン、ｎ−プロピルジエチルメトキシシラン、ｎ−ブチルジエチルメトキシシラン、ｎ−デシルジエチルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジエチルメトキシシラン、ｎ−イコサンジエチルメトキシシラン、ｎ−ブチルジプロピルメトキシシラン、ｎ−デシルジプロピルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジプロピルメトキシシランまたはｎ−イコサンジプロピルメトキシシランなどを挙げることができる。
【０１２７】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルジメチルエトキシシラン、ｎ−ブチルジメチルエトキシシラン、ｎ−デシルジメチルエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルエトキシシラン、ｎ−イコサンジメチルエトキシシラン、ｎ−プロピルジエチルエトキシシラン、ｎ−ブチルジエチルエトキシシラン、ｎ−デシルジエチルエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジエチルエトキシシラン、ｎ−イコサンジエチルエトキシシラン、ｎ−ブチルジプロピルエトキシシラン、ｎ−デシルジプロピルエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジプロピルエトキシシランまたはｎ−イコサンジプロピルエトキシシランなどを挙げることもできる。
【０１２８】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルジメチルプロポキシシラン、ｎ−ブチルジメチルプロポキシシラン、ｎ−デシルジメチルプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルプロポキシシラン、ｎ−イコサンジメチルプロポキシシラン、ｎ−プロピルジエチルプロポキシシラン、ｎ−ブチルジエチルプロポキシシラン、ｎ−デシルジエチルプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジエチルプロポキシシラン、ｎ−イコサンジエチルプロポキシシラン、ｎ−ブチルジプロピルプロポキシシラン、ｎ−デシルジプロピルプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジプロピルプロポキシシランまたはｎ−イコサンジプロピルプロポキシシランなどを挙げることもできる。
【０１２９】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルメチルジメトキシシラン、ｎ−ブチルメチルジメトキシシラン、ｎ−デシルメチルジメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルメチルジメトキシシラン、ｎ−イコサンメチルジメトキシシラン、ｎ−プロピルエチルジメトキシシラン、ｎ−ブチルエチルジメトキシシラン、ｎ−デシルエチルジメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジメトキシシラン、ｎ−イコサンエチルジメトキシシラン、ｎ−ブチルプロピルジメトキシシラン、ｎ−デシルプロピルジメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルプロピルジメトキシシランまたはｎ−イコサンプロピルジメトキシシランなどを挙げることもできる。
【０１３０】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルメチルジエトキシシラン、ｎ−ブチルメチルジエトキシシラン、ｎ−デシルメチルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルメチルジエトキシシラン、ｎ−イコサンメチルジエトキシシラン、ｎ−プロピルエチルジエトキシシラン、ｎ−ブチルエチルジエトキシシラン、ｎ−デシルエチルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジエトキシシラン、ｎ−イコサンエチルジエトキシシラン、ｎ−ブチルプロピルジエトキシシラン、ｎ−デシルプロピルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルプロピルジエトキシシラン、ｎ−イコサンプロピルジエトキシシラン、ｎ−プロピルメチルジプロポキシシラン、ｎ−ブチルメチルジプロポキシシラン、ｎ−デシルメチルジプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルメチルジプロポキシシラン、ｎ−イコサンメチルジプロポキシシラン、ｎ−プロピルエチルジプロポキシシラン、ｎ−ブチルエチルジプロポキシシラン、ｎ−デシルエチルジプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジプロポキシシラン、ｎ−イコサンエチルジプロポキシシラン、ｎ−ブチルプロピルジプロポキシシラン、ｎ−デシルプロピルジプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルプロピルジプロポキシシランまたはｎ−イコサンプロピルジプロポキシシランなどを挙げることもできる。
【０１３１】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−ブチルトリメトキシシラン、ｎ−デシルトリメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリメトキシシラン、ｎ−イコサントリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、ｎ−ブチルトリエトキシシラン、ｎ−デシルトリエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリエトキシシラン、ｎ−イコサントリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリプロポキシシラン、ｎ−ブチルトリプロポキシシラン、ｎ−デシルトリプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリプロポキシシラン、ｎ−イコサントリプロポキシシラン、ビニルトリメトキシシランまたはビニルトリエトキシシランなどを挙げることもできる。
【０１３２】
さらに、シラン化合物として、Ｎ−（２−アミノエチル）３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（１，３−ジメチルブチリデン）−３−（トリエトキシシリル）−１−プロパンアミンまたはＮ，Ｎ'−ビス−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］エチレンジアミンなどを挙げることもできる。
【０１３３】
これらのシラン化合物は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１３４】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、密着助剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）１００重量部に対して、０．０５重量部〜１５重量部の範囲にあることが好ましく、０．１重量部〜１０重量部の範囲にあることがより好ましい。
【０１３５】
≪溶解促進剤≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、後述する現像液への充分な溶解性を発現させる目的で、溶解促進剤を添加することができる。溶解促進剤としては、界面活性剤が好ましく用いられる。このような界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤または脂肪酸などを挙げることができる。
【０１３６】
フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、ＢＭ ＣＨＩＭＩＥ社製「ＢＭ−１０００」、「ＢＭ−１１００」；大日本インキ化学工業（株）製「メガファックＦ１４２Ｄ」、「同Ｆ１７２」、「同Ｆ１７３」、「同Ｆ１８３」；住友スリーエム（株）製「フロラードＦＣ−１３５」、「同ＦＣ−１７０Ｃ」、「同ＦＣ−４３０」、「同ＦＣ−４３１」；旭硝子（株）製「サーフロンＳ−１１２」、「同Ｓ−１１３」、「同Ｓ−１３１」、「同Ｓ−１４１」、「同Ｓ−１４５」、「同Ｓ−３８２」、「同ＳＣ−１０１」、「同ＳＣ−１０２」、「同ＳＣ−１０３」、「同ＳＣ−１０４」、「同ＳＣ−１０５」、「同ＳＣ−１０６」を挙げることができる。
【０１３７】
シリコーン系界面活性剤の市販品としては、例えば、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製「ＳＨ−２８ＰＡ」、「ＳＨ−１９０」、「ＳＨ−１９３」、「ＳＺ−６０３２」、「ＳＦ−８４２８」、「ＤＣ−５７」、「ＤＣ−１９０」；信越化学工業（株）製「ＫＰ３４１」；新秋田化成（株）製「エフトップＥＦ３０１」、「同ＥＦ３０３」、「同ＥＦ３５２」を挙げることができる。
【０１３８】
ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンジスチレン化フェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類などのポリオキシアルキレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキルエステル類を挙げることができる。
【０１３９】
ノニオン系界面活性剤の市販品としては、例えば、花王（株）製「エマルゲンＡ−６０」、「Ａ−９０」、「Ａ−５５０」、「Ｂ−６６」、「ＰＰ−９９」；共栄社化学（株）製「（メタ）アクリル酸系共重合体ポリフローＮｏ．５７」、「同Ｎｏ．９０」を挙げることができる。
【０１４０】
脂肪酸としては、例えば、酪酸、吉草酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ぺラルゴン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、ペンタデシル酸、パルミチン酸、パルミトイル酸、マルガリン酸、ステアリン酸、オレイン酸、バクセン酸、リノール酸、リノレン酸、ノナデカン酸、アラキジン酸、アラキドン酸、ベヘン酸、リグノセレン酸、ネルボン酸、セロチン酸、モンタン酸、メリシン酸を挙げることができる。
【０１４１】
これらの界面活性剤の中では、現像時に未露光部の除去が容易であることから、ノニオン系界面活性剤が好ましく、ポリオキシアルキレンアリールエーテル類がより好ましい。そして、このポリオキシアルキレンアリールエーテル類の中では、下記式（１）で表される化合物が特に好ましい。
【０１４２】
【化１】
【０１４３】
上記式（１）中、Ｒ１は炭素数１〜５のアルキル基であり、好ましくはメチル基である。ｐは１〜５の整数である。ｓは１〜５の整数であり、好ましくは２である。ｔは１〜１００の整数であり、好ましくは１０〜２０の整数である。
【０１４４】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、溶解促進剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）１００重量部に対して、０．００１重量部〜２０重量部の範囲にあることが好ましく、０．０１重量部〜１５重量部の範囲にあることがより好ましく、０．１重量部〜１０重量部の範囲にあることが特に好ましい。溶解促進剤の含有量が上述の好ましい範囲内にあると、後述する現像液への溶解性に優れた感光性ペースト組成物が得られる。
【０１４５】
＜感光性ペースト組成物の調製＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）などのアルミニウム粉末（Ａ）、ガラス粉末（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）、光重合開始剤（Ｅ）、光吸収剤（Ｆ）および溶剤（Ｇ）と、必要に応じて用いられる球状アルミニウム粉末（Ａ２）および添加剤とを所定の組成比となるように調合した後、３本ロールや混練機で均質に混合分散して調製される。
【０１４６】
本実施の形態の感光性ペースト組成物の粘度は、上述の無機粒子、増粘剤、有機溶媒、可塑剤および沈殿防止剤などの添加量によって適宜調整することができる。そして、感光性ペースト組成物の粘度は、１００ｃｐｓ（センチ・ポイズ）〜５０００００ｃｐｓの範囲にあることが好ましい。
【０１４７】
本実施の形態の感光性ペースト組成物の光透過特性は、後述する感光性ペースト形成工程で基板上に形成された感光性ペースト層において、膜厚５μｍで波長３６５ｎｍの光に対する透過率が０．１％以上となることが好ましい。膜厚５μｍで波長３６５ｎｍの光に対する透過率が０．１％未満となる場合、フォトリソグラフィー法によるパターン形成は困難となることがある。
【０１４８】
〔パターン形成方法〕
本実施の形態のパターン形成方法は、上述の本実施の形態の感光性ペースト組成物からなる感光性ペースト層を基板上に形成する工程（感光性ペースト層形成工程）、この感光性ペースト層を露光処理してパターンの潜像を形成する工程（露光工程）、パターンの潜像が形成された感光性ペースト層を現像処理してパターンを形成する工程（現像工程）、およびこのパターンを焼成処理する工程（焼成工程）を含むことを特徴とする。
【０１４９】
＜感光性ペースト層形成工程＞
感光性ペースト層の形成工程では、本実施の形態の感光性ペースト組成物からなる感光性ペースト層を基板上に形成する。感光性ペースト層の形成方法としては、例えば、形成方法（ｉ）として、感光性ペースト組成物を基板上に塗布して塗膜を形成し、その塗膜を乾燥させることによって基板上に形成する方法を挙げることができる。他に、形成方法（ｉｉ）として、感光性ペースト組成物を支持フィルム上に塗布して塗膜を形成し、次いで、その塗膜を乾燥させて得られる感光性ペースト層を有する転写フィルムを用いて、基板上にその感光性ペースト層を転写する方法などを挙げることができる。
【０１５０】
上記の形成方法（ｉ）で示した、感光性ペースト組成物を基板上に塗布する方法は、膜厚が大きく（例えば、２０μｍ以上）、且つ、均一性に優れた塗膜を効率よく形成することができる方法であれば特に限定されない。例えば、ナイフコータによる塗布方法、ロールコータによる塗布方法、ドクターブレードによる塗布方法、カーテンコータによる塗布方法、ダイコータによる塗布方法、ワイヤーコータによる塗布方法またはスクリーン印刷装置によるスクリーン印刷法などを挙げることができる。
【０１５１】
上述の形成方法（ｉ）において、塗膜の乾燥条件は、乾燥後における溶剤の残存割合が５重量％以内となるように適宜調整すればよい。例えば、乾燥温度が５０℃〜１５０℃、乾燥時間が０．５分〜６０分程度の条件を選択することができる。
【０１５２】
このようにして形成された感光性ペースト層の膜厚は、３μｍ〜３００μｍの範囲にあることが好ましく、５μｍ〜２００μｍの範囲にあることがより好ましい。尚、感光性ペースト組成物の塗布をｎ回（ここで、ｎは２以上の整数を示す。）繰り返すことで、ｎ層の感光性ペースト層を有する積層体を形成してもよい。
【０１５３】
上述の形成方法（ｉｉ）における、感光性ペースト層を有する転写フィルムを用いた転写工程の一例を以下に示す。
【０１５４】
基板と感光性ペースト層とが接するように、基板と転写フィルムとを重ね合わせ、転写フィルムを加熱ローラなどにより熱圧着した後、感光性ペースト層から支持フィルムを剥離除去する。こうすることにより、基板上に感光性ペースト層が転写されて密着した状態になる。
【０１５５】
上述の支持フィルムは、耐熱性および耐溶剤性を有するとともに、可撓性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。支持フィルムを形成する樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリフロロエチレンなどの含フッ素樹脂、ナイロンまたはセルロースなどを挙げることができる。
【０１５６】
転写条件は、例えば、加熱ローラの表面温度が１０℃〜２００℃、加熱ローラによるロール圧が０．５ｋｇ／ｃｍ２〜１０ｋｇ／ｃｍ２、加熱ローラの移動速度が０．１ｍ／分〜１０ｍ／分とすることができる。また、使用する基板は予熱されていてもよく、その場合の予熱温度は、例えば４０℃〜１４０℃であることが好ましい。
【０１５７】
本実施の形態の感光性ペースト組成物を用いたパターン形成に使用可能な基板としては、例えば、ガラス、セラミック、シリコーン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族アミド、ポリアミドイミドおよびポリイミドなどの絶縁性材料からなる板状部材を挙げることができる。これらの中では、特に、高い耐熱性を有するガラス基板を用いることが好ましい。また、ガラス基板は、ＰＤＰなどのＦＰＤの構成材として使用されており、こうした観点からもガラス基板を用いることが好ましい。
【０１５８】
＜露光工程＞
露光工程では、上述の感光性ペースト層形成工程により基板上に感光性ペースト層を形成した後、露光装置を用いて露光を行う。具体的には、感光性ペースト層に、露光用マスクを介して、紫外線などの露光光を選択的に照射して、基板上の感光性ペースト層にパターンの潜像を形成する。
【０１５９】
露光は、通常のフォトリソグラフィー法において行われるように、フォトマスクを用いてマスク露光する方法を採用することができる。フォトマスクの露光パターンは、目的によって異なるが、例えば、１０μｍ〜５００μｍ幅のストライプまたは格子とすることができる。
【０１６０】
また、フォトマスクを用いずに、赤色や青色の可視光レーザ光またはＡｒイオンレーザなどで直接描画する方法を用いることも可能である。
【０１６１】
露光装置としては、平行光露光機、散乱光露光機、ステッパー露光機またはプロキシミティ露光機などを用いることができる。大面積の露光を行う場合は、ガラス基板などの基板上に感光性ペースト層を形成した後に、搬送しながら露光を行うことによって、小さな露光面積の露光機で、大きな面積を露光することができる。
【０１６２】
露光光としては、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、Ｘ線またはレーザ光などを挙げることができる。これらの中では、紫外線が好ましい。紫外線の光源としては、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯またはハロゲンランプなどを挙げることができる。これら光源の中では、超高圧水銀灯が好適である。
【０１６３】
露光条件は、塗布厚みによって異なる。例えば、１ｍＷ／ｃｍ２〜１００ｍＷ／ｃｍ２出力の超高圧水銀灯を用いて、０．０５分間〜１分間の露光を行うことができる。この場合、波長フィルタを用い、露光光の波長領域を選択することによって、光の散乱を抑制してパターン形成性を向上させることができる。具体的には、ｉ線（波長３６５ｎｍ）の光をカットするフィルタ、または、ｉ線およびｈ線（波長４０５ｎｍ）の光をカットするフィルタを用いて、パターン形成性を向上させることができる。
【０１６４】
＜現像工程＞
現像工程では、上述の露光工程での露光の後、露光部と非露光部との現像液に対する溶解度差を利用して、感光性ペースト層を現像してパターンを形成する。現像方法としては、例えば、浸漬法、揺動法、シャワー法、スプレー法、パドル法およびブラシ法などの中から、感光性ペースト層の種類に応じて適宜選択することができる。現像処理条件についても、現像方法を選択の上、例えば、現像液の種類・組成・濃度、現像時間、現像温度などに関し、感光性ペースト層の種類に応じて適宜選択し、設定することができる。
【０１６５】
現像工程で用いられる現像液としては、感光性ペースト層中の有機成分を溶解可能な有機溶媒または水が使用できる。また、有機溶媒にその溶解力が失われない範囲で水を添加して用いてもよい。感光性ペースト層中にカルボキシル基などの酸性基を持つ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像することができる。
【０１６６】
感光性ペースト層には、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）やガラス粉末（Ｂ）などの無機粒子が含まれている。このような無機粒子は、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）により均一に分散されているため、このアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を現像液で溶解して洗浄することにより、無機粒子も同時に除去される。
【０１６７】
上述の現像に使用可能なアルカリ水溶液としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸水素二カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、ケイ酸リチウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸水素リチウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ホウ酸リチウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア水溶液、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン、ジエタノールアミンまたはトリエタノールアミンなどを挙げることができる。
【０１６８】
アルカリ水溶液のアルカリ濃度は、０．０１重量％〜１０重量％の範囲であることが好ましく、０．１重量％〜５重量％の範囲であることがより好ましい。アルカリ濃度が低すぎると可溶部（未露光部）が除去されないことがある。一方、アルカリ濃度が高すぎると、パターンを剥離させ、あるいは非可溶部（露光部）を腐食する恐れがある。
【０１６９】
現像工程における現像時の現像温度は、２０℃〜５０℃の範囲とすることが工程管理上好ましい。
【０１７０】
上述のアルカリ水溶液には、ノニオン系界面活性剤や有機溶媒などの添加剤を含有させることができる。尚、アルカリ現像液による現像処理がなされた後は、水洗処理が施されることが好ましい。
【０１７１】
＜焼成工程＞
焼成工程では、現像工程により形成されたパターンに含まれる有機物質を焼失させるために、焼成炉にて、そのパターンを焼成処理する。
【０１７２】
焼成雰囲気は、感光性ペースト組成物や基板の種類によって異なるが、空気、オゾン、窒素または水素などの雰囲気を適宜選択することができ、その雰囲気の中で焼成することがきる。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉またはベルト式の連続型焼成炉などを用いることができる。
【０１７３】
焼成処理の条件は、パターン中の有機物質が焼失されることが必要であるため、焼成温度を３００℃〜１０００℃とし、焼成時間を１０分間〜９０分間程度とすることが好ましい。例えば、ガラス基板上にパターンを形成する場合は、ガラスの耐熱性を考慮して、焼成温度を３５０℃〜６００℃、焼成時間を１０分〜６０分程度とすることが好ましい。
【０１７４】
＜加熱工程＞
上述の感光性ペースト層形成、露光、現像および焼成の各工程中に、乾燥または予備反応の目的で、加熱温度５０℃〜３００℃の加熱工程を導入してもよい。
【０１７５】
〔ＦＰＤ用部材などの製造〕
上述の各工程を含む本実施の形態のパターン形成方法を用いることにより、ディスプレイパネル（ＦＰＤなど）の配線を構成する部材（電極など）、電子部品の高度実装材料の部材（回路パターンなど）および太陽電池の部材（配線パターンなど）を形成することができる。特に、本実施の形態のパターン形成方法を用いることにより、高精細なパターンの形成されたＰＤＰなどのＦＰＤを製造することができる。
【０１７６】
図１は、本実施の形態のＰＤＰの構造を模式的に説明する断面図である。本実施の形態のＰＤＰ５０は、本実施の形態の感光性ペースト組成物を用いてパターニングされたアドレス電極６を有する。
【０１７７】
図１に示す本実施の形態のＰＤＰ５０において、１および２は対向配置されたガラス基板、３および１１は隔壁である。ガラス基板１、ガラス基板２、背面隔壁３および前面隔壁１１によりセル２０が区画形成されている。４および１４は、ガラス基板１に固定された透明電極である。５および１５は、透明電極４と透明電極１４の抵抗を下げる目的で、透明電極４と透明電極１４の上に形成されたバス電極である。６は、ガラス基板２に固定されたアドレス電極である。７は、セル２０内に保持された蛍光物質である。８は、透明電極４とバス電極５を被覆するよう、ガラス基板１の表面に形成された誘電体層である。９は、アドレス電極６を被覆するよう、ガラス基板２の表面に形成された誘電体層である。１０は、例えば、酸化マグネシウムよりなる保護層である。
【０１７８】
セル２０内には、ネオン（Ｎｅ)やキセノン（Ｘｅ)などを含む放電ガスが封入されている。透明電極４と透明電極１４の間に電圧を印加すると、セル２０の内部で放電が起こり、紫外線が発生する。この紫外線は、セル２０内部の蛍光物質７を励起し、蛍光物質７を発光させる。このとき、ＰＤＰ５０の有する多数のセルの内で、どのセルを発光させるかのアドレス機能は、アドレス電極６が担う。このアドレス電極６は、本実施の形態の感光性ペースト組成物を用い、本実施の形態のパターン形成方法により形成されたものである。アドレス電極６は、低抵抗であり、後述する直線性に優れる。
【実施例】
【０１７９】
以下、実施例に基づいて本発明の実施形態をより具体的に説明する。しかし、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。尚、実施例および比較例における「部」および「％」は、特に断りのない限り、それぞれ「重量部」および「重量％」を示す。
【０１８０】
まず、本実施の形態の感光性ペースト組成物の成分、感光性ペースト組成物およびこれを用いて形成されるパターンに関して、物性の測定方法および評価方法を説明する。
【０１８１】
〔粒度分布（５０重量％粒子径（Ｄ５０））の測定〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるアルミニウム粉末およびガラス粉末の５０重量％粒子径（Ｄ５０）は、回折式粒度分布測定装置（島津製作所（株）製「ＳＡＬＤ−２０００Ｊ」）により測定した。
【０１８２】
〔粉末の平均厚さの測定〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるアルミニウム粉末の平均厚さは、電子顕微鏡装置（ＳＥＭ）（日立テクノロジー(株)製「Ｓ−４３００」）により１００個のアルミニウム粉末を用い実測した平均値である。
【０１８３】
〔フレーク状粉末のアスペクト比の算出〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるフレーク状粉末のアスペクト比は、フレーク状アルミニウム粉末の最大粒径値を、平均厚さ値で除して算出される値とする。フレーク状アルミニウム粉末の最大粒径は、上述の回折式粒度分布測定装置（島津製作所（株）製「ＳＡＬＤ−２０００Ｊ」）により測定した。平均厚さは、上述の電子顕微鏡装置（ＳＥＭ）（日立テクノロジー(株)製「Ｓ−４３００」）により実測した。
【０１８４】
〔軟化点〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるガラス粉末の軟化点は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）（ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ製「２９１０、モジュレイテッドＤＳＣ」）により測定した。
【０１８５】
〔重量平均分子量（Ｍｗ）および重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるアルカリ可溶性樹脂のＭｗおよびＭｗ／Ｍｎは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）（東ソー（株）製「ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ」）により測定したポリスチレン換算の値である。尚、ＧＰＣ測定は、ＧＰＣカラムとして東ソー（株）製「ＴＳＫｇｕａｒｄｃｏｌｕｍｎ ＳｕｐｅｒＨＺＭ−Ｍ」を使用し、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）溶媒を用いて、測定温度４０℃の条件で行った。
【０１８６】
〔体積抵抗率〕
後述する実施例および比較例で得られた感光性ペースト組成物を、ガラス基板上に塗布して塗膜を形成した。この塗膜を焼成することにより、ガラス基板上に膜厚５μｍの焼成膜を形成した。次に、ＮＰＳ社製の「Ｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙ Ｐｒｏｃｃｅｓｓｏｒ ＭｏｄｅｌΣ−５」を用いて、焼成膜の体積抵抗率（μΩ・ｃｍ）を測定した。そして、下記の基準で評価した。
○：体積抵抗率が１００μΩ・ｃｍより小さいもの。
△：体積抵抗率が１００μΩ・ｃｍ〜１５０μΩ・ｃｍの範囲のもの。
×：体積抵抗率が１５０μΩ・ｃｍ以上のもの。
【０１８７】
〔ライン密着性〕
後述する実施例および比較例で得られた感光性ペースト組成物を用いて形成されるパターンのライン密着性を、下記の基準によって評価した。
○：Ｌ／Ｓ＝（５０μｍ〜９０μｍ）／１００μｍのパターニングが可能なもの。
△：Ｌ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍのパターニングが可能なもの（Ｌ／Ｓ＝９０μｍ／１００μｍのパターニングは不可）。
×：Ｌ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍのパターニングができないもの。
パターニングの可否判断は、長さ１０ｍｍの上記ライン２０本中に一箇所でもライン断線が発生したものをＮＧとした。なおライン断線が発生した場合は、ライン断線箇所を避けて直線性の評価を行った。
【０１８８】
〔直線性〕
後述する実施例および比較例で得られた感光性ペースト組成物を用いて、基板上にＬ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍの電極パターンを形成した。このパターン形成基板を用い、（株）日立ハイテクノロジーズ製のＯｆｆｌｉｎｅ ＣＤ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｓｏｆｔｗａｒｅを使用して、ＬＷＲ（Ｌｉｎｅ Ｗｉｄｔｈ Ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ：線幅ラフネス）（μｍ）を測定した。ＬＷＲ（μｍ）は、形成パターンのライン幅のばらつきを示す指標となる。その値が小さいほどパターンにおけるラインのばらつきは少なく、形成パターンが優れた直線性を有することを示す。本発明では、後述する比較例１のＬＷＲ＝１４.３（μｍ）と比してＬＷＲ＝１３（μｍ）以下であれば、形成パターンの直線性向上に効果があると判断した。
尚、形成されたライン幅のばらつきが顕著となると、細線パターンでの断線や狭スペースでのショートの可能性が高くなるため、配線形成材料として問題となると考えられる。
【０１８９】
以下、本実施形態の感光性ペースト組成物の調製およびその感光性ペースト組成物を用いたパターン形成について、実施例を用いて説明する。
【０１９０】
以下の実施例および比較例において導電性粉末として用いたアルミニウム粉末Ａ−１〜Ａ−９と、比較例において用いた銀粉末Ａ−１０を、表１−１および表１−２に示す。
【０１９１】
実施例および比較例において用いたガラス粉末（Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系）を、ガラス粉末Ｂ−１として表２に示す。
実施例および比較例において用いた光吸収剤を、光吸収剤Ｆ−１〜Ｆ−７として表３−１および表３−２に示す。
【０１９２】
実施例および比較例において、感光性樹脂成分として用いた感光性樹脂成分（１）〜（６）とその組成を、表４に示す。
【０１９３】
【表１】
【０１９４】
【表２】
【０１９５】
【表３】
【０１９６】
【表４】
【０１９７】
〔アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の合成〕
〔合成例１〕アクリル樹脂（Ｃ−１）の合成
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）としてアクリル樹脂（Ｃ−１）を、以下の方法にしたがって合成した。
【０１９８】
ｎ−ブチルメタクリレート４５部、２−エチルヘキシルメタクリレート３０部、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル１５部、メタクリル酸１０部、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）１．０部、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオン酸）（堺化学工業（株）製）２部、ジヒドロターピネオール１５０部を攪拌機付きオートクレーブに仕込み、窒素雰囲気下において、これらが均一になるまで攪拌した。
【０１９９】
次いで、上述のモノマーを８０℃で４時間重合させ、さらに１００℃で１時間重合させた後、室温まで冷却して、アクリル樹脂（Ｃ−１）の３９．５重量％溶液を得た。このアクリル樹脂（Ｃ−１）の重合率は９８％であり、重量平均分子量は２００００（Ｍｗ／Ｍｎ １．８）であった。
【０２００】
［実施例１］
表１−１に示すアルミニウム粉末Ａ―１（２０ｇ）、表２に示すガラス粉末Ｂ−１（１０ｇ）、表３に示す光吸収剤Ｆ−１（０．０２ｇ）、および、表４に示す感光性樹脂成分（１）（４９ｇ）を混練機で混練して、感光性ペースト組成物（以下、単に「感光性ペースト」ともいう。）を調製した。この感光性ペーストを用いて、上述の測定方法にしたがって体積抵抗率を測定し、評価した。結果を表５に示す。
【０２０１】
次に、３２５メッシュのスクリーンを用いて、得られた感光性ペーストをガラス基板（１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×１．８ｍｍ）上に、１００ｍｍ角の大きさでベタに印刷した。次いで、８０℃で２０分間保持して乾燥し、感光性ペースト層を形成した。尚、感光性ペースト層の膜厚は、１０μｍ±１μｍの範囲にあった。
【０２０２】
次に、ネガ型クロムマスク（パターン幅５０〜１００μｍ、パターン間隔１００μｍ）を用いて、２５ｍＷ／ｃｍ２出力の超高圧水銀灯により、感光性ペースト層を上面から光露光した。露光量は３００ｍＪ／ｃｍ２であった。
【０２０３】
次に、露光後の感光性ペースト層に、２３℃に保持した０．５％炭酸ナトリウム水溶液をシャワーで６０秒間かけ、感光性ペースト層を現像した。次いで、シャワースプレーを用いて水洗浄し、未露光部を除去して、ガラス基板上に格子状の硬化パターンを形成した。
【０２０４】
次に、得られた硬化パターンを５８０℃で３０分間焼成して、格子状の電極パターンを形成した。焼成後の電極パターンの膜厚は、５μｍ±１μｍの範囲にあった。次いで、上述の評価方法にしたがい、この電極パターンにおけるライン密着性を評価した。また、この電極パターンにおける直線性の評価として、ＬＷＲ（μｍ）を測定した。結果を表５に示す。
【０２０５】
［実施例２〜実施例２０］
実施例１において、表４および表５に示す組成の感光性ペースト組成物を調製したこと以外は実施例１と同様にして、ガラス基板上に感光性ペースト層、硬化パターンおよび電極パターンを順次形成した。
【０２０６】
また、感光性ペーストを用いて、上述の測定方法にしたがい、体積抵抗率を測定した。次いで、上述の評価方法にしたがい、電極パターンのライン密着性と直線性（ＬＷＲ）を評価した。結果を表５に示す。尚、実施例２〜実施例２０の何れにおいても、焼成後の電極パターンの膜厚は、５μｍ±１μｍの範囲にあった。
【０２０７】
［比較例１〜比較例１９］
実施例１において、表４および表６に示す組成の感光性ペースト組成物を調製したこと以外は実施例１と同様にして、ガラス基板上に感光性ペースト層、硬化パターンおよび電極パターンを順次形成した。
【０２０８】
尚、比較例１、比較例１５および比較例１７では、調製された感光性ペースト組成物に光吸収剤は含有されていない。また、比較例１７、比較例１８および比較例１９では、導電性粉末として、アルミニウム粉末ではなく、銀粉末を用いている。これら何れの比較例においても、感光性ペースト組成物の調製は問題なく行うことができた。
【０２０９】
感光性ペーストを用いて、上述の測定方法にしたがい、体積抵抗率を測定した。また、上述の評価方法にしたがい、電極パターンのライン密着性と直線性（ＬＷＲ）を評価した。結果を表６に示す。尚、比較例１〜比較例１９の何れにおいても、焼成後の電極パターンの膜厚は、５μｍ±１μｍの範囲にあった。
【０２１０】
【表５】
【０２１１】
【表６】
【０２１２】
表５および表６にまとめた評価結果から、次のことが分かった。
【０２１３】
比較例１７、比較例１８および比較例１９では、導電性粉末として、銀粉末を用いて感光性ペーストが調製されている。これらの評価結果の比較から、導電性粉末に銀粉末を用い、光吸収剤を含有させた場合、光硬化不足のため形成される電極パターンの抵抗特性とライン密着性と直線性は悪化することが分かった。
【０２１４】
比較例１５での評価結果から、導電性粉末に球状アルミニウム粉末を用いた場合、電極パターンの抵抗特性はフレーク状に比べ劣ることを確認した。
【０２１５】
光吸収剤を含有する感光性ペーストでは、使用するフレーク状アルミニウム粉末において、より好ましい形状があることが分かった。すなわち、Ｄ５０が２μｍ〜７μｍの範囲にあり、平均厚さが０．０５μｍ〜１μｍの範囲にあり、アスペクト比が２〜１４０の範囲にある場合、形成される電極パターンの直線性などの特性は、より良好となることが分かった。
【０２１６】
特に、アスペクト比が４〜２０の範囲にあるフレーク状アルミニウム粉末を用いた実施例１９（アスペクト比＝４．３）、実施例２（アスペクト比＝８．４）および実施例１６（アスペクト比＝１８．３）では、形成される電極パターンが、特に良好な直線性を示すことが分かった。
【０２１７】
次に、光吸収剤の含有量について、以下のことが分かった。
【０２１８】
光吸収剤にクルクミン系の１，７−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−ヘプタ−１，６−ジエン−３，５−ジオン（Ｆ−１）を使用し、含有量を種々変えた例としては、以下の比較例２（ＬＷＲ＝１４．６μｍ）、比較例３（ＬＷＲ＝１４．２μｍ）、実施例１（ＬＷＲ＝９．６μｍ）、実施例２（ＬＷＲ＝８．６μｍ）、実施例３（ＬＷＲ＝９．３μｍ）、実施例４（ＬＷＲ＝１２．３μｍ）、実施例５（ＬＷＲ＝１２．９μｍ）、比較例４（ＬＷＲ＝１９．３μｍ）および比較例１（ＬＷＲ＝１４．３μｍ）などがある。
【０２１９】
これらの評価結果から、フレーク状アルミニウム粉末を含む感光性ペーストに光吸収剤を含有させることにより、形成される電極パターンの直線性が向上することが分かった。一方、光吸収剤の含有量を多くしすぎると、逆に硬化不足により電極パターンの直線性を悪化させることも分かった。
【０２２０】
具体的には、光吸収剤の含有量は、フレーク状アルミニウム粉末１００重量部に対して０．１重量部以上であって、１重量部より少ない量で含有させることが好ましいことが分かった。特に、光吸収剤の含有量は、フレーク状アルミニウム粉末１００重量部に対して０．１重量部以上であって、０．５重量部以下の量で含有させることが好ましいことが分かった。
【０２２１】
表５に示す評価結果から、このような光吸収剤による電極パターンの直線性向上は、他の光吸収剤、例えば、クルクミン（Ｆ−２）、ジメトキシクルクミン（Ｆ−３）、タートラジン（Ｆ−４）およびファストライトイエロー３Ｇ（Ｆ−５）でも見出せることが分かった。
【０２２２】
また、光吸収剤の光吸収特性については、以下のことが分かった。
【０２２３】
実施例１２および実施例１０は、アゾ系光吸収剤Ｆ−５およびＦ−４を使用し、実施例２、実施例６および実施例８は、クルクミン系光吸収剤Ｆ−１、Ｆ−２およびＦ−３を使用し、比較例７および比較例８は、ベシル系光吸収剤Ｆ−６およびＦ−７を使用する。
【０２２４】
これらの評価結果から、光吸収剤の吸収極大波長（ｎｍ）と電極パターンの直線性（ＬＷＲ）には相関があることが分かった。そして、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲内にある光吸収剤の使用がより好ましいことが分かった。
【０２２５】
図２は、光吸収剤の吸収極大波長とＬＷＲ（μｍ）との関係を示したグラフである。
【０２２６】
図２に示すように、光吸収剤において、４００ｎｍ〜４２０ｎｍに吸収波長極大を有する場合、その光吸収剤を含む感光性ペーストから形成される電極パターンは、格段に良好な直線性（低いＬＷＲ値 )を示すことが分かった。
そして、こうした吸収波長極大を有する光吸収剤として、１，７−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−ヘプタ−１，６−ジエン−３，５−ジオン（Ｆ−１）、クルクミン（Ｆ−２）およびジメトキシクルクミン（Ｆ−３）などのクルクミン系の光吸収剤が特に好ましいことが分かった。
【０２２７】
次に、感光性樹脂成分の組成については、以下のことが分かった。
【０２２８】
感光性ペーストの感光性樹脂成分に含まれるアクリル樹脂（Ｃ−１）と多官能（メタ）アクリレートとの合計の量（ここでは、樹脂合計量と称する。）に着目し、その感光性ペーストに含まれるフレーク状アルミニウム粉末の含有量と比較した。
【０２２９】
フレーク状アルミニウム粉末１００重量部に対して、その樹脂合計量は、実施例２では１２０重量部、実施例３では１４０重量部、実施例１４では１０５重量部、実施例１５では１５０重量部である。そして、同様に、比較例９では１７０重量部、比較例１０では８５重量部である。
【０２３０】
これらの評価結果の比較から、フレーク状アルミニウム粉末１００重量部に対して合計量が１００重量部〜１５０重量部の感光性ペーストから形成される電極パターンは直線性が優れ、特に、樹脂合計量が１２０重量部〜１４０重量部の感光性ペーストから形成される電極パターンは直線性が非常に良好であることが分かった。
【０２３１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【０２３２】
５０、１００ プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
１、２、１０１、１０２ ガラス基板
３、１０３ 背面隔壁
４、１４、１０４、１１４ 透明電極
５、１５、１０５、１１５ バス電極
６、１０６ アドレス電極
７、１０７ 蛍光物質
８、９、１０８、１０９ 誘電体層
１０、１１０ 保護層
１１、１１１ 前面隔壁
２０、１２０ セル
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性ペースト組成物およびパターン形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は、高品位のテレビジョン（ＴＶ)用途などへの展開が図られ、大型化とともに高画質化が進められている。ＦＰＤの中で、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に比べて高速での表示が可能であり、高画質化に向けて有望なＦＰＤ技術として注目されている。
【０００３】
図３は、従来の交流型のＰＤＰの構造を模式的に説明する断面図である。
【０００４】
図３に示すＰＤＰ１００において、１０１および１０２は対向配置されたガラス基板、１０３および１１１は隔壁である。ガラス基板１０１、ガラス基板１０２、背面隔壁１０３および前面隔壁１１１によって、セル１２０が区画形成されている。１０４および１１４は、ガラス基板１０１に固定された透明電極である。１０５および１１５は、透明電極１０４と透明電極１１４の抵抗を下げる目的で、透明電極１０４と透明電極１１４の上に形成されたバス電極である。１０６は、ガラス基板１０２に固定されたアドレス電極である。１０７は、セル１２０内に保持された蛍光物質である。１０８は、透明電極１０４とバス電極１０５を被覆するよう、ガラス基板１０１の表面に形成された誘電体層である。１０９は、アドレス電極１０６を被覆するよう、ガラス基板１０２の表面に形成された誘電体層である。１１０は、例えば酸化マグネシウムよりなる保護層である。
【０００５】
セル１２０内には、ネオン（Ｎｅ）やキセノン（Ｘｅ）などを含む放電ガスが封入されている。そこで、透明電極１０４と透明電極１１４の間に電圧を印加すると、セル１２０内部で放電が起こり、紫外線が発生する。この紫外線は、セル１２０内部の蛍光物質１０７を励起し、蛍光物質を発光させる。このとき、ＰＤＰ１００の有する多数のセルのうち、どのセルを発光させるかのアドレス機能は、アドレス電極１０６が担う。
【０００６】
上述の構成を有するＰＤＰにおいても、高品位のＴＶ用途への適用のため、パネルの大型化と高精細化が進められている。そのため、ＰＤＰの分野においては、電極などのパターン精度の要求が厳しく、パターン加工技術の向上が求められている。
【０００７】
ＰＤＰの分野では、電極などのパターン加工において、従来、スクリーン印刷法が用いられてきた。しかし、現在では、高精細化に好適なフォトリソグラフィー法によるパターン形成技術が検討されている。例えば、上述のアドレス電極を製造する場合において、感光性銀ペースト組成物を用いたフォトリソグラフィー法が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
感光性銀ペースト組成物は、導電性粉末に貴金属である銀を含有する。したがって、感光性銀ペースト組成物は高価であり、パターン形成工程の高コスト化を招いている。また、感光性銀ペースト組成物は、高温多湿の環境下でマイグレーションを起こしやすく、銀表面において硫化が発生するという問題を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−０７００７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、以上の知見に基づいてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、低コストで、抵抗値が低く、高精細な電極等のパターンを形成することができる感光性ペースト組成物を提供することにある。
【００１１】
また、本発明の目的は、上述の感光性ペーストを用い、低コストで、抵抗値が低く、高精細な電極等のパターンを形成することができるパターン形成方法を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の第１の態様は、
（Ａ） フレーク状アルミ粉末
（Ｂ） ガラス粉末
（Ｃ） アルカリ可溶性樹脂
（Ｄ） 多官能(メタ)アクリレート
（Ｅ） 光重合開始剤
（Ｆ） 光吸収剤
（Ｇ） 溶剤
を含有する感光性ペースト組成物であって、
（Ａ）フレーク状アルミ粉末は、５０重量％粒子径が２μｍ〜７μｍ、且つ、平均厚さが０．０５μｍ〜１μｍの範囲にあって、アスペクト比が２〜１４０であり、
（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％以上１重量％未満の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲にあることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明の第１の態様において、（Ａ）フレーク状アルミ粉末のアスペクト比は、４〜２０であることが好ましい。
【００１５】
本発明の第１の態様において、（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％〜０．５重量％の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が４００ｎｍ〜４２０ｎｍの範囲にあることが好ましい。
【００１６】
本発明の第１の態様において、（Ｆ）光吸収剤は、クルクミンまたはクルクミン誘導体であることが好ましい。
【００１７】
本発明の第１の態様において、（Ｂ）ガラス粉末は、５０重量％粒子径が０．２μｍ〜４μｍであり、且つ、軟化点が３５０℃〜７００℃であることが好ましい。
【００１８】
本発明の第１の態様において、（Ｂ）ガラス粉末は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して５重量％〜５０重量％の量で含まれることが好ましい。
【００１９】
本発明の第１の態様において、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂と（Ｄ）多官能(メタ)アクリレートの合計の含有量は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して１００重量％〜１５０重量％であることが好ましい。
【００２０】
本発明の第１の態様において、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂と（Ｄ）多官能(メタ)アクリレートの合計の含有量は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して１２０重量％〜１４０重量％であることがさらに好ましい。
【００２１】
本発明の第２の態様は、本発明の第１の態様の感光性ペースト組成物を用いることを特徴とするパターン形成方法に関する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の第１の態様によれば、低コストで、抵抗値が低く、高精細な電極等のパターンを形成することができる感光性ペースト組成物が提供される。
【００２３】
本発明の第２の態様によれば、低コストで、抵抗値が低く、高精細な電極等のパターンを形成できるパターン形成方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施の形態のＰＤＰの構造を模式的に説明する断面図である。
【図２】光吸収剤の吸収極大波長とＬＷＲ（μｍ）との関係を示したグラフである。
【図３】従来の交流型のＰＤＰの構造を模式的に説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明者は、鋭意検討した結果、感光性ペースト組成物の導電性粉末として、従来の銀に代え、アルミニウム（Ａｌ）粉末を使用することが好適であることを見出した。アルミニウム粉末は、銀に比べて低コストでの入手が可能な材料である。
【００２６】
アルミニウム粉末に関しては、例えば、形状の異なる２種類のアルミニウム粉末がある。そのうち１種は球状アルミニウム粉末であり、もう１種はフレーク状アルミニウム粉末である。
球状アルミニウム粉末については、主に粉末同士が点接触でしか接触しないのに対し、フレーク状アルミニウム粉末では、主に粉末同士が面接触となる。ここで、面接触が生じやすいフレーク状アルミニウム粉末の方が、良導電性を示し、抵抗値特性に優れる。
したがって、感光性ペースト組成物では、フレーク状のアルミニウム粉末の使用が好ましい。
【００２７】
また、さらなる検討の結果、感光性ペースト組成物は、導電性粉末としてアルミニウム粉末を用いるとともに、光吸収剤を含有することによって、微細なパターン形成が可能になることを見出した。
【００２８】
以下では、本実施の形態の感光性ペースト組成物と、この感光性ペーストを用いたパターン形成方法について説明する。尚、本明細書では、感光性ペースト組成物を用いて形成される露光前の層を「感光性ペースト層」とも言う。
【００２９】
〔感光性ペースト組成物〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、以下に説明する、アルミニウム粉末（Ａ）、ガラス粉末（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）、光重合開始剤（Ｅ）、光吸収剤（Ｆ）および溶剤（Ｇ）を含有する。
【００３０】
＜アルミニウム粉末（Ａ）＞
アルミニウム粉末（Ａ）としては、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）が用いられる。また、アルミニウム粉末（Ａ）として、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）とともに、球状アルミニウム粉末（Ａ２）を用いてもよい。
【００３１】
≪フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）≫
フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）は、５０重量％粒子径（以下「Ｄ５０」とも言う。）が２．０μｍ〜７．０μｍの範囲であることが好ましい。そして、平均厚さは、０．０５μｍ〜１．０μｍの範囲にあることが好ましく、０．１μｍ〜０．９μｍの範囲にあることがより好ましく、０．１μｍ〜０．８μｍの範囲にあることがさらに好ましい。
【００３２】
Ｄ５０または平均厚さが上述の好ましい範囲を上回るフレーク状アルミニウム粉末を用いると、高精細なパターンを形成することが困難になることがある。また、Ｄ５０または平均厚さが上記範囲を下回るフレーク状アルミニウム粉末を用いると、粉末同士が、膜中で面接触傾向ではなく点接触傾向になる。そのため、感光性ペースト組成物は、低抵抗のパターンを形成することが困難になることがある。
【００３３】
尚、本発明において、５０重量％粒子径（Ｄ５０）は、レーザ回折法により、後述する実施例での測定条件下で測定される値である。また、平均厚さは、ＳＥＭ（ｓｃａｎｎｉｎｇ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型電子顕微鏡）観察により、後述する実施例での測定条件下で測定される値である。
【００３４】
また、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）のアスペクト比（フレーク状アルミニウム粉末の最大粒径を、平均厚さで除して算出された値）は、２〜１４０の範囲にあることが好ましく、４〜２０の範囲にあることがより好ましい。フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）のアスペクト比が２より小さいと抵抗値が悪化し、または１４０より大きいと、光の透過率が著しく損なわれ高精細なパターンを形成することが困難になることがある。
【００３５】
フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）は、上述の好ましい範囲のＤ５０および平均厚さを有するものであれば、特に組成は限定されない。フレーク状アルミニウム粉末としては、例えば、上述の好ましい範囲内のＤ５０および平均厚さを有する、純アルミニウム、アルミニウム合金またはアルミニウム化合物（但し、酸化アルミニウムを除く。以下同じ。）のフレーク状粉末を用いることができる。
【００３６】
また、貴金属コートおよび貴金属メッキの何れか一方または双方の処理がなされた、上記の好ましい範囲のＤ５０および平均厚さを有するフレーク状アルミニウム粉末を用いることができる。さらに、脂肪酸により包接された、上記の好ましい範囲のＤ５０および平均厚さを有するフレーク状アルミニウム粉末を用いることができる。
【００３７】
例えば、ＦＰＤの配線を構成する電極を形成する場合には、例として挙げた上述のフレーク状アルミニウム粉末が好適に用いられる。そして、特に、ＪＩＳ Ｋ ５９０６に記載の方法にしたがって測定されるリーフィング価が小さい（またはリーフィング価がない）、ノンリーフィング型のフレーク状粉末を好適に用いることができる。
また、例として挙げた上述のフレーク状アルミニウム粉末は、１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００３８】
上述のフレーク状アルミニウム粉末の貴金属コートおよび貴金属メッキに用いられる貴金属としては、例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、および、これらの合金を挙げることができる。これらの貴金属は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。また、フレーク状アルミニウム粉末の貴金属コートおよび貴金属メッキは、従来公知の方法にしたがって行うことができる。
【００３９】
上述のフレーク状アルミにニウムを包接する脂肪酸としては、例えば、酪酸、吉草酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ぺラルゴン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、ペンタデシル酸、パルミチン酸、パルミトイル酸、マルガリン酸、オレイン酸、バクセン酸、リノール酸、リノレン酸、ノナデカン酸、アラキジン酸、アラキドン酸、ベヘン酸、リグノセレン酸、ネルボン酸、セロチン酸、モンタン酸またはメリシン酸を用いることができる。
【００４０】
これらの脂肪酸の中では、オレイン酸は効率的にフレーク状アルミニウム粉末を包接および／または修飾することができる。オレイン酸などの脂肪酸を用いて、フレーク状アルミニウム粉末を包接および／または修飾することで、ノンリーフィング型のフレーク状粉末を容易に得ることができる。そして、このようなノンリーフィング型のフレーク状アルミニウム粉末を用いることで、感光性ペースト層中にフレーク状アルミニウム粉末をより均一に分散することができる。このため、このようにして得られる感光性ペースト層は露光光を表面反射することが少ない。すなわち、透過率が向上し、良好にパターン形成をすることができる。
【００４１】
≪球状アルミニウム粉末（Ａ２）≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）とともに、球状アルミニウム粉末（Ａ２）を用いることができる。球状アルミニウム粉末（Ａ２）は、５０重量％粒子径（Ｄ５０）が１．０μｍ〜２０．０μｍの範囲にあることが好ましい。そして、１．５μｍ〜１８．０μｍの範囲にあることがより好ましく、２．０μｍ〜１５．０μｍの範囲にあることがさらに好ましい。尚、本発明において球状アルミニウ粉末（Ａ２）の球状とは、フレーク状（または、燐片状とも称される。）以外の形状を意味し、特に球形状に限定はされるものではない。
【００４２】
Ｄ５０が上記した範囲を上回る球状アルミニウム粉末を用いると、高精細なパターンを形成することが困難になることがある。また、Ｄ５０が上記範囲を下回る球状アルミニウム粉末を用いると、歩留りが悪く、低コストでのパターン形成が困難になることがある。
【００４３】
球状アルミニウム粉末（Ａ２）としては、上述の好ましい範囲のＤ５０を有する球状アルミニウム粉末であれば、特に組成は限定されない。球状アルミニウム粉末としては、例えば、純アルミニウム、アルミニウム合金およびアルミニウム化合物の球状粉末を用いることができる。
【００４４】
また、貴金属コートおよび貴金属メッキの何れか一方または双方の処理がなされた、上述の好ましい範囲のＤ５０を有する球状粉末を用いることができる。例えば、ＦＰＤの配線を構成する電極を形成する場合には、例示した上述の球状アルミニウム粉末が好適に用いられるが、特に純アルミニウムの球状アルミニウム粉末が好適に用いられる。
また、例として挙げた上述の球状粉末は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００４５】
上述の球状アルミニウム粉末の貴金属コートおよび貴金属メッキに用いられる貴金属としては、例えば、金、銀、白金、これらの合金を挙げることができる。これらの貴金属は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００４６】
≪アルミニウム粉末の含有量≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、アルミニウム粉末（Ａ）の含有量は、組成物全体に対して、１０重量％〜６０重量％の範囲にあることが好ましい。そして、１５重量％〜５０重量％の範囲にあることがより好ましく、２０重量％〜４０重量％の範囲にあることがさらに好ましい。アルミニウム粉末（Ａ）の含有量をこのような範囲とすることで、導電性に優れたパターンを形成することができる。
【００４７】
尚、アルミニウム粉末（Ａ）の含有量とは、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）のみを用いる場合には、その固形分換算での含有量を意味する。また、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）と球状アルミニウム粉末（Ａ２）とを用いる場合には、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）と球状アルミニウム粉末（Ａ２）との固形分換算での含有量の合計｛（Ａ１）＋（Ａ２）｝を意味する。
【００４８】
上述のように、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）は、球状アルミニウム粉末（Ａ２）とともに併用されてもよい。その場合、球状アルミニウム粉末（Ａ２）に対するフレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）の固形分換算での重量比｛（Ａ１）／（Ａ２）｝は、好ましくは（１００／０）〜（５０／５０）、より好ましくは（１００／０）〜（６０／４０）、さらに好ましくは（１００／０）〜（７０／３０）の範囲にある。固形分換算での重量比｛（Ａ１）／（Ａ２）｝を上述の範囲とすることで、導電性に優れたパターンを形成することができる。
【００４９】
本実施の形態の感光性ペースト組成物では、アルミニウム粉末（Ａ）とともに、他の金属粉末を用いることができる。他の金属粉末としては、例えば、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、スズ（Ｓｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）、亜鉛（Ｚｎ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）の粉末およびこれらの化合物（但し、ガラス粉末（Ｂ）を除く。）の粉末を挙げることができる。他の金属粉末は、感光性ペーストに含まれるアルミニウム粉末（Ａ）１００重量部に対して、２５重量部以内で用いることが好ましい。
【００５０】
＜ガラス粉末（Ｂ）＞
本実施の形態で用いられるガラス粉末（Ｂ）は、感光性ペースト組成物を用いて形成されるパターンの用途、例えば、ＦＰＤの部材や電子部品の部材などに応じて適宜選択することができる。
【００５１】
ガラス粉末（Ｂ）の好適な具体例としては、以下の例を挙げることができる。これらの中では、環境に配慮した無鉛ガラスが特に好ましい。
１．酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素の混合物（ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２）
２．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素の混合物（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系）
３．酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウムの混合物
（ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系）
４．酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素の混合物
（ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系）
５．酸化ビスマス、酸化ホウ素、酸化ケイ素の混合物
（Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系）
６．酸化亜鉛、酸化リン、酸化ケイ素の混合物（ＺｎＯ−Ｐ２Ｏ５−ＳｉＯ２系）
７．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化カリウムの混合物（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｋ２Ｏ系）
８．酸化リン、酸化ホウ素、酸化アルミニウムの混合物
（Ｐ２Ｏ５−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３系）
９．酸化亜鉛、酸化リン、酸化ケイ素、酸化アルミニウムの混合物
（ＺｎＯ−Ｐ２Ｏ５−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系）
１０．酸化亜鉛、酸化リン、酸化チタンの混合物（ＺｎＯ−Ｐ２Ｏ５−ＴｉＯ２系）
１１．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カリウムの混合物
（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｋ２Ｏ系）
１２．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カリウム、酸化カルシウムの混合物
（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｋ２Ｏ−ＣａＯ系）
１３．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化アルミ
ニウムの混合物（ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｋ２Ｏ−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３系）
１４．酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウムの混合物
（Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系）
１５．酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化ナトリウムの混合物
（Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｎａ２Ｏ系）
【００５２】
ガラス粉末（Ｂ）は、アルミニウムの標準電極電位よりも低い標準電極電位を有する金属の酸化物（以下「特定金属酸化物」ともいう。）を５重量％〜５０重量％含有することが好ましく、特に２０重量％〜５０重量％含有することが好ましい。
【００５３】
特定金属酸化物の含有量が上述の範囲にあるガラス粉末（Ｂ）を用いることにより、電極パターンの抵抗値を低くすることができる。また、基板との密着性に優れた電極パターンを得ることができる。これは、アルミニウム粉末（Ａ）の表面に酸化によるアルミナ（融点：２０２０℃）の形成が抑えられ、硬化パターンを焼成する際にアルミニウム粉末（Ａ）同士の結着が促進されるためであると考えられる。
【００５４】
尚、標準電極電位とは、ある電気化学反応について、標準状態（反応に関与する全ての化学種の活量が１。）且つ平衡状態となっているときの電極電位である。その値は、標準水素電極と測定対象の電極とを組み合わせて作製した電池の標準状態における起電力を測定することにより得られる。したがって、上述の特定金属酸化物は、リチウム（Ｌｉ）、ルビジウム（Ｒｂ）、カリウム（Ｋ）、バリウム（Ｂａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、カルシウム（Ｃａ）、ナトリウム（Ｎａ）、マグネシウム（Ｍｇ）およびベリリウム（Ｂｅ）からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属の酸化物であることが好ましい。具体的には、特定金属酸化物としてＮａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｌｉ２Ｏ、ＢａＯおよびＣａＯなどが挙げられる。
【００５５】
ガラス粉末（Ｂ）の平均粒子径は、感光性ペースト組成物を用いて形成されるパターンの形状を考慮して適宜選択される。ガラス粉末（Ｂ）のＤ５０は、０．２μｍ〜５．０μｍの範囲にあることが好ましく、０．２μｍ〜４．０μｍの範囲にあることがより好ましく、０．５μｍ〜３．８μｍの範囲にあることがさらに好ましい。また、ガラス粉末（Ｂ）の１０重量％粒子径（Ｄ１０）は、０．０５μｍ〜０．５μｍの範囲にあることが好ましく、９０重量％粒子径（Ｄ９０）は、１０μｍ〜２０μｍの範囲にあることが好ましい。ガラス粉末（Ｂ）の平均粒子径（Ｄ５０、Ｄ１０、Ｄ９０）を上述の範囲とすることにより、露光工程において、露光光が感光性ペースト層の底部まで十分に到達して、高精細なパターンを形成することができる。
【００５６】
尚、本実施の形態において、５０重量％粒子径（Ｄ５０）、１０重量％粒子径（Ｄ１０）および９０重量％粒子径（Ｄ９０）は、レーザ回折法により、後述する実施例で示す測定条件下で測定される値である。
【００５７】
ガラス粉末（Ｂ）は、例えば、ＦＰＤの配線を構成する電極を形成する場合には、軟化点が３５０℃〜７００℃の範囲にあるガラス粉末（以下、「ガラス粉末（Ｂ１）」ともいう。）を用いることが好ましい。特に、ガラス粉末（Ｂ１)の中で、軟化点が４００℃〜６２０℃の範囲にあるガラス粉末を用いることが好ましい。
【００５８】
軟化点が３５０℃より低いガラス粉末を用いた場合、感光性ペースト層を露光・現像して形成されるパターンを焼成する工程において不具合が生じることがある。具体的には、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）などの有機物が完全に分解・除去されない段階で、ガラス粉末が溶融してしまうため、電極中に有機物の一部が残留することがある。その結果、形成される電極が着色して、光透過率が低下することがある。一方、軟化点が７００℃より高いガラス粉末を用いた場合、感光性ペースト層を露光・現像して形成されるパターンを焼成する工程において、非常に高温の温度条件が必要となるため、ガラス基板に歪みなどが発生することがある。
【００５９】
尚、本実施の形態において、ガラス粉末（Ｂ）の軟化点は、ＤＳＣ測定により、後述する実施例で示す測定条件下で測定される値である。
【００６０】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、ガラス粉末（Ｂ）の含有量は、感光性ペースト組成物の含有するフレーク状アルミニウム粉末１００重量％に対して５重量％〜５０重量％の範囲にあることが好ましい。
【００６１】
特に、ガラス粉末（Ｂ）の少なくとも一部がガラス粉末（Ｂ１）であることが好ましい。ガラス粉末（Ｂ１）を含有することにより、ＦＰＤの配線を構成する電極などの部材を形成する場合に好適となる。
【００６２】
＜アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）＞
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）は、アルカリ可溶性であれば特に限定されない。尚、本実施の形態において、「アルカリ可溶性」とは、目的とする現像処理が可能な程度に、アルカリ性の現像液に溶解する性質を言う。
【００６３】
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）としては、以下のアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）と（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）との共重合体が好ましい。この共重合の際に用いられる有機溶剤としては、特別に限定されるものではないが、後述の感光性ペースト組成物のための有機溶剤として例示されたものを用いることができる。
【００６４】
≪アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）≫
アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）としては、アルカリ可溶性官能基と不飽和結合とを有するモノマーを用いることができる。
【００６５】
アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）として使用可能なものは、例えば、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイ皮酸、コハク酸モノ（２−（メタ）アクリロイルオキシエチル）、２−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、２−アクリロイルオキシエチルハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルヘキサヒドロハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルテトラヒドロハイドロゲンフタレートおよびω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートなどのカルボキシル基含有モノマー類、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピルおよび（α−ヒドロキシメチル）アクリレートなどの水酸基含有モノマー類、ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレンおよびｐ−ヒドロキシスチレンなどのフェノール性水酸基含有モノマー類などである。
【００６６】
これらのアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００６７】
また、これらのアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）の中では、（メタ）アクリル酸、２−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、２−アクリロイルオキシエチルハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルヘキサヒドロハイドロゲンフタレート、２−アクリロイルオキシプロピルテトラヒドロハイドロゲンフタレートまたは（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルが好ましい。
【００６８】
アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）を共重合することにより、樹脂にアルカリ可溶性を付与することができる。アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）由来の構成単位の含有量は、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の全構成単位中、５重量％〜９０重量％の範囲とすることが好ましく、１０重量％〜８０重量％の範囲とすることがより好ましく、１５重量％〜７０重量％の範囲とすることがさらに好ましい。
【００６９】
≪（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）≫
（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）としては、アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）と共重合可能な（メタ）アクリル酸誘導体であれば特に限定されない。
【００７０】
使用可能な（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボロニル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートなどの、上記したアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）以外の（メタ）アクリレート類を挙げることができる。
【００７１】
これらのモノマー（Ｃ２）は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００７２】
本実施の形態では、（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）の代わりに、または、（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）とともに、例えば、スチレン、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレートなどから得られるポリマーの一方の鎖末端に、（メタ）アクリロイル基、アリル基およびビニル基などの重合性不飽和基を有するマクロモノマーを用いてもよい。
【００７３】
≪ラジカル重合開始剤≫
上述のアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）と（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）との共重合の際、ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。ラジカル重合開始剤としては、ビニル単量体の重合に用いられるラジカル重合開始剤を用いることができる。
【００７４】
ラジカル重合開始剤としては、例えば、２，２'−アゾビスイソブチロニトリル、２，２'−アゾビス（２−メチルブチルニトリル）、２，２'−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、１，１'−アゾビス（１−シクロヘキサンカルボニトリル）、ジメチル−２，２'−アゾビスイソブチレートおよび４，４'−アゾビス（４−シアノバレリック酸）などのアゾ化合物、ｔ−ブチルパーオキシビバレート、ｔ−ブチルパーオキシ２−エチルヘキサノエートおよびクミルパーオキシ２−エチルヘキサノエートなどのパーオキシエステル類の有機過酸化物などを挙げることができる。
【００７５】
ラジカル重合開始剤は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００７６】
ラジカル重合開始剤の使用量は、上述の共重合に使用する全モノマー１００重量部に対して、０．１重量部〜１０重量部程度とすることが好ましい。
【００７７】
≪連鎖移動剤≫
上述のアルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）と（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）との共重合の際には、連鎖移動剤を用いてもよい。連鎖移動剤としては、例えば、α−メチルスチレンダイマー、ｔ−ドデシルメルカプタン、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオン酸）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）、１，４−ビス（３−メルカプトブチリルオキシ）ブタンなどを挙げることができる。
【００７８】
連鎖移動剤は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００７９】
連鎖移動剤の使用量は、上述の共重合に使用する全モノマー１００重量部に対して、０．１重量部〜１０重量部程度とすることが好ましい。
【００８０】
≪アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の物性≫
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」ともいう。）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算値で、５０００〜１０００００が好ましく、１００００〜８００００がより好ましい。Ｍｗは、上述のモノマーの共重合割合、連鎖移動剤の含有、重合温度などの条件を適宜選択することにより制御することができる。Ｍｗが１０００００より大きいと、現像後の膜荒れが発生しやすくなる。また、Ｍｗが５０００より小さいと、未露光部の現像液に対する溶解性が低下し、パターンのライン密着性が低下する場合がある。
【００８１】
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、０℃〜１２０℃の範囲が好ましく、１０℃〜１００℃の範囲がより好ましい。ガラス転移温度が０℃より低くなると、塗膜にタックを生じやすく、ハンドリングがし難い傾向にある。また、ガラス転移温度が１２０℃より高くなると、感光性ペースト層とガラス基板などの支持体との密着性が悪くなることがある。その場合、後述する転写フィルムを用いる場合には、感光性ペースト層を転写できないことがある。尚、ガラス転移温度は、アルカリ可溶性官能基含有モノマー（Ｃ１）および（メタ）アクリル酸誘導体（Ｃ２）の量を変更することによって、適宜調節することができる。
【００８２】
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の酸価は、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲が好ましく、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲がより好ましい。酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇより低くなると、未露光部をアルカリ現像液で速やかに除去することが難しくなり、高精細なパターンを形成することが困難になることがある。また、酸価が２００ｍｇＫＯＨ／ｇより大きくなると、露光光によって硬化した部分もアルカリ現像液に浸食されやすくなり、やはり、高精細なパターンを形成することが困難になることがある。
【００８３】
＜多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、感光性成分が含まれる。感光性成分は、一般に光不溶化型の成分と光可溶化型の成分とに分類される。
【００８４】
光不溶化型の成分としては、（ｉ）分子内に不飽和基などを１つ以上有する感光性モノマーまたはオリゴマー、（ｉｉ）芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物および有機ハロゲン化合物などの感光性化合物、（ｉｉｉ）ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物などのいわゆるジアゾ樹脂、と称されるものなどがある。
【００８５】
光可溶化型の成分としては、（ｉｖ）ジアゾ化合物と無機酸や有機酸との錯体、（ｖ）キノンジアゾ類、（ｖｉ）キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結合させたもの（例えば、フェノール樹脂のナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルフォン酸エステル。）などがある。
【００８６】
本実施の形態の感光性ペーストでは、上述した全ての成分を用いることができる。そして、上述のフレーク状アルミニウム（Ａ１）などの無機粒子と混合して簡便に使用できることから、上記（ｉ）感光性モノマーまたはオリゴマーに分類される、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）を用いることが特に好ましい。
【００８７】
多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）としては、例えば、アリル化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、２，５−ヘキサンジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−デカンジオールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、グリセロールジ（メタ）アクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートおよびトリグリセロールジ（メタ）アクリレートなどのジ（メタ）アクリレート類、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＰＯ（プロピレンオキサイド）変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＥＯ（エチレンオキサイド）変性トリ（メタ）アクリレート、ベンジルメルカプタントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどの３官能以上の（メタ）アクリレート類などを挙げることができる。
【００８８】
また、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）として、上述の化合物中の芳香族環に結合した水素原子のうち、１〜５個が塩素原子または臭素原子に置換されたモノマーを挙げることもできる。
【００８９】
これらの多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００９０】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）の含有量は、感光性樹脂成分全体に対して、１０重量％以上とすることが好ましい。こうすることで、露光光に対する感度を良好なものとすることができる。尚、感光性樹脂成分とは、感光性ペースト組成物から無機粒子を除いた部分、すなわち、感光性機能を有する有機成分全体を言う。すなわち、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）、光重合開始剤（Ｅ）および光吸収剤（Ｆ）などが含まれる。また、無機粒子には、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）および球状アルミニウム粉末（Ａ２）などのアルミニウム粉末（Ａ）やガラス粉末（Ｂ）などが含まれる。
また、上記多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）の含有量は、１５重量％〜６０重量％の範囲とすることがより好ましい。多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）の含有量が６０重量％より多くなると、感光性ペースト焼成後に形成される部材（例えば、ディスプレイパネル用部材）の形状が劣化することがある。
【００９１】
本発明の目的を損なわない範囲で、本実施の形態の感光性ペーストでは、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）とともに、スチレン、ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、塩素化スチレン、臭素化スチレン、α−メチルスチレン、塩素化α−メチルスチレン、臭素化α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルスチレン、カルボシキメチルスチレン、ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルカルバゾール、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、１−ビニル−２−ピロリドンなどを用いてもよい。
【００９２】
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、５重量％〜９０重量％の感光性樹脂成分と９５重量％〜１０重量％の無機粒子とからなることが好ましい。
【００９３】
そして、本実施の形態の感光性ペースト組成物は、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）と多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）とを、合計で１００重量％〜１５０重量％となる量で含有することが好ましく、１２０重量％〜１４０重量％となる量で含有することがさらに好ましい。かかる比率とすることにより、高精細のパターン形成が可能となる。
【００９４】
＜光重合開始剤（Ｅ）＞
光重合開始剤（Ｅ）としては、公知の光重合開始剤を用いることができる。また、露光感度を向上させるために、光重合開始剤（Ｅ）とともに、後述する増感剤を用いることもできる。
【００９５】
光重合開始剤（Ｅ）としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４，４’−ビス（ジメチルアミン）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニル−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、１−クロロ−４−プロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、２−アミルアントラキノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、４−アジドベンザルアセトフェノン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）シクロヘキサノン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘキサノン、カンファーキノン、２−フェニル−１，２−ブタジオン−２−（ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１，３−ジフェニル−プロパントリオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−３−エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシム、ミヒラーケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタノン−１、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オンおよび２，２'−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オンなどのカルボニル化合物を挙げることができる。
【００９６】
また、光重合開始剤（Ｅ）として、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニルフォスフィンオキサイドおよびビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドなどのアシルフォスフィンオキサイド系化合物を挙げることもできる。
【００９７】
また、光重合開始剤（Ｅ）として、ベンジルジメチルケタノール、ベンジルメトキシエチルアセタール、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、Ｎ−フェニルチオアクリドン、４，４−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンゾチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスルホンまたは過酸化ベンゾインを挙げることもできる。
【００９８】
また、光重合開始剤（Ｅ）として、エオシンやメチレンブルーなどの光還元性の色素と、アスコルビン酸やトリエタノールアミンなどの還元剤との組み合せを挙げることもできる。
【００９９】
これらの光重合開始剤（Ｅ）は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１００】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、光重合開始剤（Ｅ）の含有量は、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）１００重量部に対して、１重量部〜５０重量部の範囲にあることが好ましく、２重量部〜４０重量部の範囲にあることがより好ましい。光重合開始剤（Ｅ）の含有量が、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）１００重量部に対して、５０重量部より多いと、感光性ペースト焼成後に形成される部材（例えば、ディスプレイパネル用部材）の形状が劣化することがある。
【０１０１】
≪増感剤≫
本実施の形態においては、露光感度を向上させるために、光重合開始剤（Ｅ）とともに後述する増感剤を用いることもできる。
【０１０２】
増感剤としては、例えば、２−メチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、１−クロロ−４−プロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，３−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロペンタノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）シクロヘキサノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）−４−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）−ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）カルコン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）カルコン、ｐ−ジメチルアミノシンナミリデンインダノン、ｐ−ジメチルアミノベンジリデンインダノン、２−（ｐ−ジメチルアミノフェニルビニレン）−イソナフトチアゾール、１，３−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）アセトン、１，３−カルボニル−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）アセトン、３，３−カルボニル−ビス（７−ジエチルアミノクマリン）、Ｎ−フェニル−Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ−フェニルエタノールアミン、Ｎ−トリルジエタノールアミン、Ｎ−フェニルエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、３−フェニル−５−ベンゾイルチオテトラゾールまたは１−フェニル−５−エトキシカルボニルチオテトラゾールなどを挙げることができる。
【０１０３】
これらの増感剤は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１０４】
尚、増感剤の中には、光重合開始剤としても用いられるものもあり、光重合開始剤との組み合せにより、増感剤であるか光重合開始剤であるかが決定される。
【０１０５】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、増感剤の含有量は、上述の無機粒子１００重量部に対して、０．０１重量部〜１５重量部の範囲にあることが好ましく、０．０５重量部〜１０重量部の範囲にあることがより好ましい。
【０１０６】
増感剤の含有量が、上述の無機粒子１００重量部に対して、０．０１重量部より少ないと、光感度を向上させる効果が発揮されないことがある。増感剤の含有量が上述の無機粒子１００重量部に対して、１５重量部より多いと、未露光部の残存率が大きくなり過ぎラインパターンを得られないことがある。
【０１０７】
＜光吸収剤（Ｆ）＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、光吸収剤（Ｆ）を含有する。感光性ペースト組成物は、紫外線や可視光などに対する光吸収効果の高い化合物を含有することにより、高アスペクト比で、高精細で、高密着性のパターンを形成することができる。光吸収剤（Ｆ）としては、有機系光吸収剤または無機系光吸収剤を用いることができる。有機系光吸収剤としては、例えば、有機系の染料などを用いることができる。無機系光吸収剤としては、例えば、無機系顔料を用いることができる。
【０１０８】
光吸収剤（Ｆ）としては、３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長範囲で高い光吸収係数を有するものが好ましく用いられる。そして、光吸収剤（Ｆ）は、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長範囲にあるものがより好ましく、４００ｎｍ〜４２０ｎｍの波長範囲にあるものがさらに好ましい。
【０１０９】
有機系光吸収剤としては、例えば、クルクミン系光吸収剤、アゾ系光吸収剤、アミノケトン系光吸収剤、キサンテン系光吸収剤、キノリン系光吸収剤、アミノケトン系光吸収剤、アントラキノン系光吸収剤、ベンゾフェノン系光吸収剤、ジフェニルシアノアクリレート系光吸収剤、トリアジン系光吸収剤またはｐ−アミノ安息香酸系光吸収剤を挙げることができる。
【０１１０】
無機系光吸収剤としては、例えば、無機系顔料である、酸化亜鉛、酸化チタンまたは酸化セリウムなどを挙げることができる。
【０１１１】
本実施の形態の光吸収剤（Ｆ）としては、クルクミン系光吸収剤が特に好ましく用いられる。クルクミン系光吸収剤により、吸収極大波長が４００ｎｍ〜４２０ｎｍの波長範囲にある光吸収剤を実現することが可能である。そして、本実施の形態の感光性ペースト組成物は、クルクミン系光吸収剤を含有することにより、精細度の非常に高いパターン形成を可能とする。
【０１１２】
また、本実施の形態の感光性ペースト組成物を用い、ＦＰＤの配線を構成する電極を形成する場合には、信頼性の観点から、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化セリウムなどの無機系光吸収剤を含有することが好ましい。
【０１１３】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、光吸収剤（Ｆ）の含有量は、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して０．１重量％より多く、１重量％より少ない量であることが好ましい。特に、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して０．１重量％より多く、０．５重量％以下の量であることが好ましい。
【０１１４】
光吸収剤（Ｆ）の含有量が、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して０．１重量％以下であると、光吸収剤の含有効果が小さく、高精細なパターン形成を可能とする効果が得られないことがある。
また、光吸収剤（Ｆ）の含有量が、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して１重量％以上であると、光吸収剤の含有効果が大きく光硬化の妨げとなり、高精細なパターン形成を可能とする効果が得られないことがある。
【０１１５】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、光吸収剤としてクルクミン系光吸収剤を使用する場合、光吸収剤（Ｆ）の含有量は、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）１００重量％に対して０．１重量％より多く、０．５重量％以下であることが特に好ましい。クルクミン系光吸収剤が、上記範囲で含有されることにより、非常に高精細なパターン形成が可能となる。
【０１１６】
＜溶剤（Ｇ）＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、その粘度調整を目的として溶剤（Ｇ）を含有する。溶剤（Ｇ）としては有機溶媒を用いることができる。
【０１１７】
使用可能な有機溶媒としては、例えば、ターピネオール、ジヒドロターピネオール、ジヒドロターピネニルアセテート、リモネン、カルベオール、カルビニルアセテート、シトロネロール、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノフェニルエーテル、ジプロピレングリコールn-プロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メトキシプロピルアセテート、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチロラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸またはクロロ安息香酸などを挙げることができる。
【０１１８】
これらの有機溶媒は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１１９】
溶剤は、感光性ペースト組成物全体に対して、好ましくは１５重量％〜４０重量％の範囲となる量で添加することができる。
【０１２０】
＜添加剤＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、さらに、重合禁止剤、酸化防止剤、密着助剤、溶解促進剤などの添加剤を添加することができる。また、必要な場合には、増感助剤、可塑剤、増粘剤、分散剤、無機粒子およびアルカリ可溶性樹脂の沈降防止剤、並びに、レベリング剤などの添加剤を添加してもよい。
【０１２１】
≪重合禁止剤≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、保存時の熱安定性を向上させるために、重合禁止剤を添加することができる。重合禁止剤としては、例えば、ヒドロキノン、ヒドロキノンのモノエステル化物、Ｎ−ニトロソジフェニルアミン、フェノチアジン、ｐ−ｔ−ブチルカテコール、Ｎ−フェニルナフチルアミン、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−メチルフェノール、クロラニールまたはピロガロールなどを挙げることができる。
【０１２２】
重合禁止剤は、感光性ペースト組成物全体に対して、０．００１重量％〜１重量％の範囲となる量で添加することが好ましい。
【０１２３】
≪酸化防止剤≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、保存時におけるアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の酸化を防ぐために、酸化防止剤を添加することができる。酸化防止剤としては、例えば、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ブチル化ヒドロキシアニソール、２，６−ジ−ｔ−４−エチルフェノール、２，２−メチレン−ビス−（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２−メチレン−ビス−（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、４，４−ビス−（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス−（２−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロキシ−ｔ−ブチルフェニル）ブタン、ビス［３，３−ビス−（４−ヒドロキシ−３−ｔ−ブチルフェニル）ブチリックアシッド］グリコールエステル、ジラウリルチオジプロピオナートまたはトリフェニルホスファイトなどを挙げることができる。
【０１２４】
酸化防止剤は、感光性ペースト組成物全体に対して、０．００１重量％〜１重量％の範囲となる量で添加することが好ましい。
【０１２５】
≪密着助剤≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、感光性ペースト層とガラス基板などの支持体との密着性を向上させるために、密着助剤を添加することができる。密着助剤としては、シラン化合物が好適に用いられる。
【０１２６】
使用可能なシラン化合物としては、例えば、ｎ−プロピルジメチルメトキシシラン、ｎ−ブチルジメチルメトキシシラン、ｎ−デシルジメチルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルメトキシシラン、ｎ−イコサンジメチルメトキシシラン、ｎ−プロピルジエチルメトキシシラン、ｎ−ブチルジエチルメトキシシラン、ｎ−デシルジエチルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジエチルメトキシシラン、ｎ−イコサンジエチルメトキシシラン、ｎ−ブチルジプロピルメトキシシラン、ｎ−デシルジプロピルメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジプロピルメトキシシランまたはｎ−イコサンジプロピルメトキシシランなどを挙げることができる。
【０１２７】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルジメチルエトキシシラン、ｎ−ブチルジメチルエトキシシラン、ｎ−デシルジメチルエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルエトキシシラン、ｎ−イコサンジメチルエトキシシラン、ｎ−プロピルジエチルエトキシシラン、ｎ−ブチルジエチルエトキシシラン、ｎ−デシルジエチルエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジエチルエトキシシラン、ｎ−イコサンジエチルエトキシシラン、ｎ−ブチルジプロピルエトキシシラン、ｎ−デシルジプロピルエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジプロピルエトキシシランまたはｎ−イコサンジプロピルエトキシシランなどを挙げることもできる。
【０１２８】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルジメチルプロポキシシラン、ｎ−ブチルジメチルプロポキシシラン、ｎ−デシルジメチルプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジメチルプロポキシシラン、ｎ−イコサンジメチルプロポキシシラン、ｎ−プロピルジエチルプロポキシシラン、ｎ−ブチルジエチルプロポキシシラン、ｎ−デシルジエチルプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジエチルプロポキシシラン、ｎ−イコサンジエチルプロポキシシラン、ｎ−ブチルジプロピルプロポキシシラン、ｎ−デシルジプロピルプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルジプロピルプロポキシシランまたはｎ−イコサンジプロピルプロポキシシランなどを挙げることもできる。
【０１２９】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルメチルジメトキシシラン、ｎ−ブチルメチルジメトキシシラン、ｎ−デシルメチルジメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルメチルジメトキシシラン、ｎ−イコサンメチルジメトキシシラン、ｎ−プロピルエチルジメトキシシラン、ｎ−ブチルエチルジメトキシシラン、ｎ−デシルエチルジメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジメトキシシラン、ｎ−イコサンエチルジメトキシシラン、ｎ−ブチルプロピルジメトキシシラン、ｎ−デシルプロピルジメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルプロピルジメトキシシランまたはｎ−イコサンプロピルジメトキシシランなどを挙げることもできる。
【０１３０】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルメチルジエトキシシラン、ｎ−ブチルメチルジエトキシシラン、ｎ−デシルメチルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルメチルジエトキシシラン、ｎ−イコサンメチルジエトキシシラン、ｎ−プロピルエチルジエトキシシラン、ｎ−ブチルエチルジエトキシシラン、ｎ−デシルエチルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジエトキシシラン、ｎ−イコサンエチルジエトキシシラン、ｎ−ブチルプロピルジエトキシシラン、ｎ−デシルプロピルジエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルプロピルジエトキシシラン、ｎ−イコサンプロピルジエトキシシラン、ｎ−プロピルメチルジプロポキシシラン、ｎ−ブチルメチルジプロポキシシラン、ｎ−デシルメチルジプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルメチルジプロポキシシラン、ｎ−イコサンメチルジプロポキシシラン、ｎ−プロピルエチルジプロポキシシラン、ｎ−ブチルエチルジプロポキシシラン、ｎ−デシルエチルジプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルエチルジプロポキシシラン、ｎ−イコサンエチルジプロポキシシラン、ｎ−ブチルプロピルジプロポキシシラン、ｎ−デシルプロピルジプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルプロピルジプロポキシシランまたはｎ−イコサンプロピルジプロポキシシランなどを挙げることもできる。
【０１３１】
また、シラン化合物として、ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−ブチルトリメトキシシラン、ｎ−デシルトリメトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリメトキシシラン、ｎ−イコサントリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、ｎ−ブチルトリエトキシシラン、ｎ−デシルトリエトキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリエトキシシラン、ｎ−イコサントリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリプロポキシシラン、ｎ−ブチルトリプロポキシシラン、ｎ−デシルトリプロポキシシラン、ｎ−ヘキサデシルトリプロポキシシラン、ｎ−イコサントリプロポキシシラン、ビニルトリメトキシシランまたはビニルトリエトキシシランなどを挙げることもできる。
【０１３２】
さらに、シラン化合物として、Ｎ−（２−アミノエチル）３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（１，３−ジメチルブチリデン）−３−（トリエトキシシリル）−１−プロパンアミンまたはＮ，Ｎ'−ビス−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］エチレンジアミンなどを挙げることもできる。
【０１３３】
これらのシラン化合物は、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１３４】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、密着助剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）１００重量部に対して、０．０５重量部〜１５重量部の範囲にあることが好ましく、０．１重量部〜１０重量部の範囲にあることがより好ましい。
【０１３５】
≪溶解促進剤≫
本実施の形態の感光性ペースト組成物には、後述する現像液への充分な溶解性を発現させる目的で、溶解促進剤を添加することができる。溶解促進剤としては、界面活性剤が好ましく用いられる。このような界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤または脂肪酸などを挙げることができる。
【０１３６】
フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、ＢＭ ＣＨＩＭＩＥ社製「ＢＭ−１０００」、「ＢＭ−１１００」；大日本インキ化学工業（株）製「メガファックＦ１４２Ｄ」、「同Ｆ１７２」、「同Ｆ１７３」、「同Ｆ１８３」；住友スリーエム（株）製「フロラードＦＣ−１３５」、「同ＦＣ−１７０Ｃ」、「同ＦＣ−４３０」、「同ＦＣ−４３１」；旭硝子（株）製「サーフロンＳ−１１２」、「同Ｓ−１１３」、「同Ｓ−１３１」、「同Ｓ−１４１」、「同Ｓ−１４５」、「同Ｓ−３８２」、「同ＳＣ−１０１」、「同ＳＣ−１０２」、「同ＳＣ−１０３」、「同ＳＣ−１０４」、「同ＳＣ−１０５」、「同ＳＣ−１０６」を挙げることができる。
【０１３７】
シリコーン系界面活性剤の市販品としては、例えば、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製「ＳＨ−２８ＰＡ」、「ＳＨ−１９０」、「ＳＨ−１９３」、「ＳＺ−６０３２」、「ＳＦ−８４２８」、「ＤＣ−５７」、「ＤＣ−１９０」；信越化学工業（株）製「ＫＰ３４１」；新秋田化成（株）製「エフトップＥＦ３０１」、「同ＥＦ３０３」、「同ＥＦ３５２」を挙げることができる。
【０１３８】
ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンジスチレン化フェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類などのポリオキシアルキレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキルエステル類を挙げることができる。
【０１３９】
ノニオン系界面活性剤の市販品としては、例えば、花王（株）製「エマルゲンＡ−６０」、「Ａ−９０」、「Ａ−５５０」、「Ｂ−６６」、「ＰＰ−９９」；共栄社化学（株）製「（メタ）アクリル酸系共重合体ポリフローＮｏ．５７」、「同Ｎｏ．９０」を挙げることができる。
【０１４０】
脂肪酸としては、例えば、酪酸、吉草酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ぺラルゴン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、ペンタデシル酸、パルミチン酸、パルミトイル酸、マルガリン酸、ステアリン酸、オレイン酸、バクセン酸、リノール酸、リノレン酸、ノナデカン酸、アラキジン酸、アラキドン酸、ベヘン酸、リグノセレン酸、ネルボン酸、セロチン酸、モンタン酸、メリシン酸を挙げることができる。
【０１４１】
これらの界面活性剤の中では、現像時に未露光部の除去が容易であることから、ノニオン系界面活性剤が好ましく、ポリオキシアルキレンアリールエーテル類がより好ましい。そして、このポリオキシアルキレンアリールエーテル類の中では、下記式（１）で表される化合物が特に好ましい。
【０１４２】
【化１】
【０１４３】
上記式（１）中、Ｒ１は炭素数１〜５のアルキル基であり、好ましくはメチル基である。ｐは１〜５の整数である。ｓは１〜５の整数であり、好ましくは２である。ｔは１〜１００の整数であり、好ましくは１０〜２０の整数である。
【０１４４】
本実施の形態の感光性ペースト組成物において、溶解促進剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）１００重量部に対して、０．００１重量部〜２０重量部の範囲にあることが好ましく、０．０１重量部〜１５重量部の範囲にあることがより好ましく、０．１重量部〜１０重量部の範囲にあることが特に好ましい。溶解促進剤の含有量が上述の好ましい範囲内にあると、後述する現像液への溶解性に優れた感光性ペースト組成物が得られる。
【０１４５】
＜感光性ペースト組成物の調製＞
本実施の形態の感光性ペースト組成物は、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）などのアルミニウム粉末（Ａ）、ガラス粉末（Ｂ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）、多官能（メタ）アクリレート（Ｄ）、光重合開始剤（Ｅ）、光吸収剤（Ｆ）および溶剤（Ｇ）と、必要に応じて用いられる球状アルミニウム粉末（Ａ２）および添加剤とを所定の組成比となるように調合した後、３本ロールや混練機で均質に混合分散して調製される。
【０１４６】
本実施の形態の感光性ペースト組成物の粘度は、上述の無機粒子、増粘剤、有機溶媒、可塑剤および沈殿防止剤などの添加量によって適宜調整することができる。そして、感光性ペースト組成物の粘度は、１００ｃｐｓ（センチ・ポイズ）〜５０００００ｃｐｓの範囲にあることが好ましい。
【０１４７】
本実施の形態の感光性ペースト組成物の光透過特性は、後述する感光性ペースト形成工程で基板上に形成された感光性ペースト層において、膜厚５μｍで波長３６５ｎｍの光に対する透過率が０．１％以上となることが好ましい。膜厚５μｍで波長３６５ｎｍの光に対する透過率が０．１％未満となる場合、フォトリソグラフィー法によるパターン形成は困難となることがある。
【０１４８】
〔パターン形成方法〕
本実施の形態のパターン形成方法は、上述の本実施の形態の感光性ペースト組成物からなる感光性ペースト層を基板上に形成する工程（感光性ペースト層形成工程）、この感光性ペースト層を露光処理してパターンの潜像を形成する工程（露光工程）、パターンの潜像が形成された感光性ペースト層を現像処理してパターンを形成する工程（現像工程）、およびこのパターンを焼成処理する工程（焼成工程）を含むことを特徴とする。
【０１４９】
＜感光性ペースト層形成工程＞
感光性ペースト層の形成工程では、本実施の形態の感光性ペースト組成物からなる感光性ペースト層を基板上に形成する。感光性ペースト層の形成方法としては、例えば、形成方法（ｉ）として、感光性ペースト組成物を基板上に塗布して塗膜を形成し、その塗膜を乾燥させることによって基板上に形成する方法を挙げることができる。他に、形成方法（ｉｉ）として、感光性ペースト組成物を支持フィルム上に塗布して塗膜を形成し、次いで、その塗膜を乾燥させて得られる感光性ペースト層を有する転写フィルムを用いて、基板上にその感光性ペースト層を転写する方法などを挙げることができる。
【０１５０】
上記の形成方法（ｉ）で示した、感光性ペースト組成物を基板上に塗布する方法は、膜厚が大きく（例えば、２０μｍ以上）、且つ、均一性に優れた塗膜を効率よく形成することができる方法であれば特に限定されない。例えば、ナイフコータによる塗布方法、ロールコータによる塗布方法、ドクターブレードによる塗布方法、カーテンコータによる塗布方法、ダイコータによる塗布方法、ワイヤーコータによる塗布方法またはスクリーン印刷装置によるスクリーン印刷法などを挙げることができる。
【０１５１】
上述の形成方法（ｉ）において、塗膜の乾燥条件は、乾燥後における溶剤の残存割合が５重量％以内となるように適宜調整すればよい。例えば、乾燥温度が５０℃〜１５０℃、乾燥時間が０．５分〜６０分程度の条件を選択することができる。
【０１５２】
このようにして形成された感光性ペースト層の膜厚は、３μｍ〜３００μｍの範囲にあることが好ましく、５μｍ〜２００μｍの範囲にあることがより好ましい。尚、感光性ペースト組成物の塗布をｎ回（ここで、ｎは２以上の整数を示す。）繰り返すことで、ｎ層の感光性ペースト層を有する積層体を形成してもよい。
【０１５３】
上述の形成方法（ｉｉ）における、感光性ペースト層を有する転写フィルムを用いた転写工程の一例を以下に示す。
【０１５４】
基板と感光性ペースト層とが接するように、基板と転写フィルムとを重ね合わせ、転写フィルムを加熱ローラなどにより熱圧着した後、感光性ペースト層から支持フィルムを剥離除去する。こうすることにより、基板上に感光性ペースト層が転写されて密着した状態になる。
【０１５５】
上述の支持フィルムは、耐熱性および耐溶剤性を有するとともに、可撓性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。支持フィルムを形成する樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリフロロエチレンなどの含フッ素樹脂、ナイロンまたはセルロースなどを挙げることができる。
【０１５６】
転写条件は、例えば、加熱ローラの表面温度が１０℃〜２００℃、加熱ローラによるロール圧が０．５ｋｇ／ｃｍ２〜１０ｋｇ／ｃｍ２、加熱ローラの移動速度が０．１ｍ／分〜１０ｍ／分とすることができる。また、使用する基板は予熱されていてもよく、その場合の予熱温度は、例えば４０℃〜１４０℃であることが好ましい。
【０１５７】
本実施の形態の感光性ペースト組成物を用いたパターン形成に使用可能な基板としては、例えば、ガラス、セラミック、シリコーン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族アミド、ポリアミドイミドおよびポリイミドなどの絶縁性材料からなる板状部材を挙げることができる。これらの中では、特に、高い耐熱性を有するガラス基板を用いることが好ましい。また、ガラス基板は、ＰＤＰなどのＦＰＤの構成材として使用されており、こうした観点からもガラス基板を用いることが好ましい。
【０１５８】
＜露光工程＞
露光工程では、上述の感光性ペースト層形成工程により基板上に感光性ペースト層を形成した後、露光装置を用いて露光を行う。具体的には、感光性ペースト層に、露光用マスクを介して、紫外線などの露光光を選択的に照射して、基板上の感光性ペースト層にパターンの潜像を形成する。
【０１５９】
露光は、通常のフォトリソグラフィー法において行われるように、フォトマスクを用いてマスク露光する方法を採用することができる。フォトマスクの露光パターンは、目的によって異なるが、例えば、１０μｍ〜５００μｍ幅のストライプまたは格子とすることができる。
【０１６０】
また、フォトマスクを用いずに、赤色や青色の可視光レーザ光またはＡｒイオンレーザなどで直接描画する方法を用いることも可能である。
【０１６１】
露光装置としては、平行光露光機、散乱光露光機、ステッパー露光機またはプロキシミティ露光機などを用いることができる。大面積の露光を行う場合は、ガラス基板などの基板上に感光性ペースト層を形成した後に、搬送しながら露光を行うことによって、小さな露光面積の露光機で、大きな面積を露光することができる。
【０１６２】
露光光としては、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、Ｘ線またはレーザ光などを挙げることができる。これらの中では、紫外線が好ましい。紫外線の光源としては、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯またはハロゲンランプなどを挙げることができる。これら光源の中では、超高圧水銀灯が好適である。
【０１６３】
露光条件は、塗布厚みによって異なる。例えば、１ｍＷ／ｃｍ２〜１００ｍＷ／ｃｍ２出力の超高圧水銀灯を用いて、０．０５分間〜１分間の露光を行うことができる。この場合、波長フィルタを用い、露光光の波長領域を選択することによって、光の散乱を抑制してパターン形成性を向上させることができる。具体的には、ｉ線（波長３６５ｎｍ）の光をカットするフィルタ、または、ｉ線およびｈ線（波長４０５ｎｍ）の光をカットするフィルタを用いて、パターン形成性を向上させることができる。
【０１６４】
＜現像工程＞
現像工程では、上述の露光工程での露光の後、露光部と非露光部との現像液に対する溶解度差を利用して、感光性ペースト層を現像してパターンを形成する。現像方法としては、例えば、浸漬法、揺動法、シャワー法、スプレー法、パドル法およびブラシ法などの中から、感光性ペースト層の種類に応じて適宜選択することができる。現像処理条件についても、現像方法を選択の上、例えば、現像液の種類・組成・濃度、現像時間、現像温度などに関し、感光性ペースト層の種類に応じて適宜選択し、設定することができる。
【０１６５】
現像工程で用いられる現像液としては、感光性ペースト層中の有機成分を溶解可能な有機溶媒または水が使用できる。また、有機溶媒にその溶解力が失われない範囲で水を添加して用いてもよい。感光性ペースト層中にカルボキシル基などの酸性基を持つ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像することができる。
【０１６６】
感光性ペースト層には、フレーク状アルミニウム粉末（Ａ１）やガラス粉末（Ｂ）などの無機粒子が含まれている。このような無機粒子は、アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）により均一に分散されているため、このアルカリ可溶性樹脂（Ｃ）を現像液で溶解して洗浄することにより、無機粒子も同時に除去される。
【０１６７】
上述の現像に使用可能なアルカリ水溶液としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸水素二カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、ケイ酸リチウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸水素リチウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ホウ酸リチウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア水溶液、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン、ジエタノールアミンまたはトリエタノールアミンなどを挙げることができる。
【０１６８】
アルカリ水溶液のアルカリ濃度は、０．０１重量％〜１０重量％の範囲であることが好ましく、０．１重量％〜５重量％の範囲であることがより好ましい。アルカリ濃度が低すぎると可溶部（未露光部）が除去されないことがある。一方、アルカリ濃度が高すぎると、パターンを剥離させ、あるいは非可溶部（露光部）を腐食する恐れがある。
【０１６９】
現像工程における現像時の現像温度は、２０℃〜５０℃の範囲とすることが工程管理上好ましい。
【０１７０】
上述のアルカリ水溶液には、ノニオン系界面活性剤や有機溶媒などの添加剤を含有させることができる。尚、アルカリ現像液による現像処理がなされた後は、水洗処理が施されることが好ましい。
【０１７１】
＜焼成工程＞
焼成工程では、現像工程により形成されたパターンに含まれる有機物質を焼失させるために、焼成炉にて、そのパターンを焼成処理する。
【０１７２】
焼成雰囲気は、感光性ペースト組成物や基板の種類によって異なるが、空気、オゾン、窒素または水素などの雰囲気を適宜選択することができ、その雰囲気の中で焼成することがきる。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉またはベルト式の連続型焼成炉などを用いることができる。
【０１７３】
焼成処理の条件は、パターン中の有機物質が焼失されることが必要であるため、焼成温度を３００℃〜１０００℃とし、焼成時間を１０分間〜９０分間程度とすることが好ましい。例えば、ガラス基板上にパターンを形成する場合は、ガラスの耐熱性を考慮して、焼成温度を３５０℃〜６００℃、焼成時間を１０分〜６０分程度とすることが好ましい。
【０１７４】
＜加熱工程＞
上述の感光性ペースト層形成、露光、現像および焼成の各工程中に、乾燥または予備反応の目的で、加熱温度５０℃〜３００℃の加熱工程を導入してもよい。
【０１７５】
〔ＦＰＤ用部材などの製造〕
上述の各工程を含む本実施の形態のパターン形成方法を用いることにより、ディスプレイパネル（ＦＰＤなど）の配線を構成する部材（電極など）、電子部品の高度実装材料の部材（回路パターンなど）および太陽電池の部材（配線パターンなど）を形成することができる。特に、本実施の形態のパターン形成方法を用いることにより、高精細なパターンの形成されたＰＤＰなどのＦＰＤを製造することができる。
【０１７６】
図１は、本実施の形態のＰＤＰの構造を模式的に説明する断面図である。本実施の形態のＰＤＰ５０は、本実施の形態の感光性ペースト組成物を用いてパターニングされたアドレス電極６を有する。
【０１７７】
図１に示す本実施の形態のＰＤＰ５０において、１および２は対向配置されたガラス基板、３および１１は隔壁である。ガラス基板１、ガラス基板２、背面隔壁３および前面隔壁１１によりセル２０が区画形成されている。４および１４は、ガラス基板１に固定された透明電極である。５および１５は、透明電極４と透明電極１４の抵抗を下げる目的で、透明電極４と透明電極１４の上に形成されたバス電極である。６は、ガラス基板２に固定されたアドレス電極である。７は、セル２０内に保持された蛍光物質である。８は、透明電極４とバス電極５を被覆するよう、ガラス基板１の表面に形成された誘電体層である。９は、アドレス電極６を被覆するよう、ガラス基板２の表面に形成された誘電体層である。１０は、例えば、酸化マグネシウムよりなる保護層である。
【０１７８】
セル２０内には、ネオン（Ｎｅ)やキセノン（Ｘｅ)などを含む放電ガスが封入されている。透明電極４と透明電極１４の間に電圧を印加すると、セル２０の内部で放電が起こり、紫外線が発生する。この紫外線は、セル２０内部の蛍光物質７を励起し、蛍光物質７を発光させる。このとき、ＰＤＰ５０の有する多数のセルの内で、どのセルを発光させるかのアドレス機能は、アドレス電極６が担う。このアドレス電極６は、本実施の形態の感光性ペースト組成物を用い、本実施の形態のパターン形成方法により形成されたものである。アドレス電極６は、低抵抗であり、後述する直線性に優れる。
【実施例】
【０１７９】
以下、実施例に基づいて本発明の実施形態をより具体的に説明する。しかし、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。尚、実施例および比較例における「部」および「％」は、特に断りのない限り、それぞれ「重量部」および「重量％」を示す。
【０１８０】
まず、本実施の形態の感光性ペースト組成物の成分、感光性ペースト組成物およびこれを用いて形成されるパターンに関して、物性の測定方法および評価方法を説明する。
【０１８１】
〔粒度分布（５０重量％粒子径（Ｄ５０））の測定〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるアルミニウム粉末およびガラス粉末の５０重量％粒子径（Ｄ５０）は、回折式粒度分布測定装置（島津製作所（株）製「ＳＡＬＤ−２０００Ｊ」）により測定した。
【０１８２】
〔粉末の平均厚さの測定〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるアルミニウム粉末の平均厚さは、電子顕微鏡装置（ＳＥＭ）（日立テクノロジー(株)製「Ｓ−４３００」）により１００個のアルミニウム粉末を用い実測した平均値である。
【０１８３】
〔フレーク状粉末のアスペクト比の算出〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるフレーク状粉末のアスペクト比は、フレーク状アルミニウム粉末の最大粒径値を、平均厚さ値で除して算出される値とする。フレーク状アルミニウム粉末の最大粒径は、上述の回折式粒度分布測定装置（島津製作所（株）製「ＳＡＬＤ−２０００Ｊ」）により測定した。平均厚さは、上述の電子顕微鏡装置（ＳＥＭ）（日立テクノロジー(株)製「Ｓ−４３００」）により実測した。
【０１８４】
〔軟化点〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるガラス粉末の軟化点は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）（ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ製「２９１０、モジュレイテッドＤＳＣ」）により測定した。
【０１８５】
〔重量平均分子量（Ｍｗ）および重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）〕
本実施の形態の感光性ペースト組成物に含有されるアルカリ可溶性樹脂のＭｗおよびＭｗ／Ｍｎは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）（東ソー（株）製「ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ」）により測定したポリスチレン換算の値である。尚、ＧＰＣ測定は、ＧＰＣカラムとして東ソー（株）製「ＴＳＫｇｕａｒｄｃｏｌｕｍｎ ＳｕｐｅｒＨＺＭ−Ｍ」を使用し、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）溶媒を用いて、測定温度４０℃の条件で行った。
【０１８６】
〔体積抵抗率〕
後述する実施例および比較例で得られた感光性ペースト組成物を、ガラス基板上に塗布して塗膜を形成した。この塗膜を焼成することにより、ガラス基板上に膜厚５μｍの焼成膜を形成した。次に、ＮＰＳ社製の「Ｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙ Ｐｒｏｃｃｅｓｓｏｒ ＭｏｄｅｌΣ−５」を用いて、焼成膜の体積抵抗率（μΩ・ｃｍ）を測定した。そして、下記の基準で評価した。
○：体積抵抗率が１００μΩ・ｃｍより小さいもの。
△：体積抵抗率が１００μΩ・ｃｍ〜１５０μΩ・ｃｍの範囲のもの。
×：体積抵抗率が１５０μΩ・ｃｍ以上のもの。
【０１８７】
〔ライン密着性〕
後述する実施例および比較例で得られた感光性ペースト組成物を用いて形成されるパターンのライン密着性を、下記の基準によって評価した。
○：Ｌ／Ｓ＝（５０μｍ〜９０μｍ）／１００μｍのパターニングが可能なもの。
△：Ｌ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍのパターニングが可能なもの（Ｌ／Ｓ＝９０μｍ／１００μｍのパターニングは不可）。
×：Ｌ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍのパターニングができないもの。
パターニングの可否判断は、長さ１０ｍｍの上記ライン２０本中に一箇所でもライン断線が発生したものをＮＧとした。なおライン断線が発生した場合は、ライン断線箇所を避けて直線性の評価を行った。
【０１８８】
〔直線性〕
後述する実施例および比較例で得られた感光性ペースト組成物を用いて、基板上にＬ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍの電極パターンを形成した。このパターン形成基板を用い、（株）日立ハイテクノロジーズ製のＯｆｆｌｉｎｅ ＣＤ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｓｏｆｔｗａｒｅを使用して、ＬＷＲ（Ｌｉｎｅ Ｗｉｄｔｈ Ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ：線幅ラフネス）（μｍ）を測定した。ＬＷＲ（μｍ）は、形成パターンのライン幅のばらつきを示す指標となる。その値が小さいほどパターンにおけるラインのばらつきは少なく、形成パターンが優れた直線性を有することを示す。本発明では、後述する比較例１のＬＷＲ＝１４.３（μｍ）と比してＬＷＲ＝１３（μｍ）以下であれば、形成パターンの直線性向上に効果があると判断した。
尚、形成されたライン幅のばらつきが顕著となると、細線パターンでの断線や狭スペースでのショートの可能性が高くなるため、配線形成材料として問題となると考えられる。
【０１８９】
以下、本実施形態の感光性ペースト組成物の調製およびその感光性ペースト組成物を用いたパターン形成について、実施例を用いて説明する。
【０１９０】
以下の実施例および比較例において導電性粉末として用いたアルミニウム粉末Ａ−１〜Ａ−９と、比較例において用いた銀粉末Ａ−１０を、表１−１および表１−２に示す。
【０１９１】
実施例および比較例において用いたガラス粉末（Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系）を、ガラス粉末Ｂ−１として表２に示す。
実施例および比較例において用いた光吸収剤を、光吸収剤Ｆ−１〜Ｆ−７として表３−１および表３−２に示す。
【０１９２】
実施例および比較例において、感光性樹脂成分として用いた感光性樹脂成分（１）〜（６）とその組成を、表４に示す。
【０１９３】
【表１】
【０１９４】
【表２】
【０１９５】
【表３】
【０１９６】
【表４】
【０１９７】
〔アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）の合成〕
〔合成例１〕アクリル樹脂（Ｃ−１）の合成
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ）としてアクリル樹脂（Ｃ−１）を、以下の方法にしたがって合成した。
【０１９８】
ｎ−ブチルメタクリレート４５部、２−エチルヘキシルメタクリレート３０部、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル１５部、メタクリル酸１０部、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）１．０部、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオン酸）（堺化学工業（株）製）２部、ジヒドロターピネオール１５０部を攪拌機付きオートクレーブに仕込み、窒素雰囲気下において、これらが均一になるまで攪拌した。
【０１９９】
次いで、上述のモノマーを８０℃で４時間重合させ、さらに１００℃で１時間重合させた後、室温まで冷却して、アクリル樹脂（Ｃ−１）の３９．５重量％溶液を得た。このアクリル樹脂（Ｃ−１）の重合率は９８％であり、重量平均分子量は２００００（Ｍｗ／Ｍｎ １．８）であった。
【０２００】
［実施例１］
表１−１に示すアルミニウム粉末Ａ―１（２０ｇ）、表２に示すガラス粉末Ｂ−１（１０ｇ）、表３に示す光吸収剤Ｆ−１（０．０２ｇ）、および、表４に示す感光性樹脂成分（１）（４９ｇ）を混練機で混練して、感光性ペースト組成物（以下、単に「感光性ペースト」ともいう。）を調製した。この感光性ペーストを用いて、上述の測定方法にしたがって体積抵抗率を測定し、評価した。結果を表５に示す。
【０２０１】
次に、３２５メッシュのスクリーンを用いて、得られた感光性ペーストをガラス基板（１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×１．８ｍｍ）上に、１００ｍｍ角の大きさでベタに印刷した。次いで、８０℃で２０分間保持して乾燥し、感光性ペースト層を形成した。尚、感光性ペースト層の膜厚は、１０μｍ±１μｍの範囲にあった。
【０２０２】
次に、ネガ型クロムマスク（パターン幅５０〜１００μｍ、パターン間隔１００μｍ）を用いて、２５ｍＷ／ｃｍ２出力の超高圧水銀灯により、感光性ペースト層を上面から光露光した。露光量は３００ｍＪ／ｃｍ２であった。
【０２０３】
次に、露光後の感光性ペースト層に、２３℃に保持した０．５％炭酸ナトリウム水溶液をシャワーで６０秒間かけ、感光性ペースト層を現像した。次いで、シャワースプレーを用いて水洗浄し、未露光部を除去して、ガラス基板上に格子状の硬化パターンを形成した。
【０２０４】
次に、得られた硬化パターンを５８０℃で３０分間焼成して、格子状の電極パターンを形成した。焼成後の電極パターンの膜厚は、５μｍ±１μｍの範囲にあった。次いで、上述の評価方法にしたがい、この電極パターンにおけるライン密着性を評価した。また、この電極パターンにおける直線性の評価として、ＬＷＲ（μｍ）を測定した。結果を表５に示す。
【０２０５】
［実施例２〜実施例２０］
実施例１において、表４および表５に示す組成の感光性ペースト組成物を調製したこと以外は実施例１と同様にして、ガラス基板上に感光性ペースト層、硬化パターンおよび電極パターンを順次形成した。
【０２０６】
また、感光性ペーストを用いて、上述の測定方法にしたがい、体積抵抗率を測定した。次いで、上述の評価方法にしたがい、電極パターンのライン密着性と直線性（ＬＷＲ）を評価した。結果を表５に示す。尚、実施例２〜実施例２０の何れにおいても、焼成後の電極パターンの膜厚は、５μｍ±１μｍの範囲にあった。
【０２０７】
［比較例１〜比較例１９］
実施例１において、表４および表６に示す組成の感光性ペースト組成物を調製したこと以外は実施例１と同様にして、ガラス基板上に感光性ペースト層、硬化パターンおよび電極パターンを順次形成した。
【０２０８】
尚、比較例１、比較例１５および比較例１７では、調製された感光性ペースト組成物に光吸収剤は含有されていない。また、比較例１７、比較例１８および比較例１９では、導電性粉末として、アルミニウム粉末ではなく、銀粉末を用いている。これら何れの比較例においても、感光性ペースト組成物の調製は問題なく行うことができた。
【０２０９】
感光性ペーストを用いて、上述の測定方法にしたがい、体積抵抗率を測定した。また、上述の評価方法にしたがい、電極パターンのライン密着性と直線性（ＬＷＲ）を評価した。結果を表６に示す。尚、比較例１〜比較例１９の何れにおいても、焼成後の電極パターンの膜厚は、５μｍ±１μｍの範囲にあった。
【０２１０】
【表５】
【０２１１】
【表６】
【０２１２】
表５および表６にまとめた評価結果から、次のことが分かった。
【０２１３】
比較例１７、比較例１８および比較例１９では、導電性粉末として、銀粉末を用いて感光性ペーストが調製されている。これらの評価結果の比較から、導電性粉末に銀粉末を用い、光吸収剤を含有させた場合、光硬化不足のため形成される電極パターンの抵抗特性とライン密着性と直線性は悪化することが分かった。
【０２１４】
比較例１５での評価結果から、導電性粉末に球状アルミニウム粉末を用いた場合、電極パターンの抵抗特性はフレーク状に比べ劣ることを確認した。
【０２１５】
光吸収剤を含有する感光性ペーストでは、使用するフレーク状アルミニウム粉末において、より好ましい形状があることが分かった。すなわち、Ｄ５０が２μｍ〜７μｍの範囲にあり、平均厚さが０．０５μｍ〜１μｍの範囲にあり、アスペクト比が２〜１４０の範囲にある場合、形成される電極パターンの直線性などの特性は、より良好となることが分かった。
【０２１６】
特に、アスペクト比が４〜２０の範囲にあるフレーク状アルミニウム粉末を用いた実施例１９（アスペクト比＝４．３）、実施例２（アスペクト比＝８．４）および実施例１６（アスペクト比＝１８．３）では、形成される電極パターンが、特に良好な直線性を示すことが分かった。
【０２１７】
次に、光吸収剤の含有量について、以下のことが分かった。
【０２１８】
光吸収剤にクルクミン系の１，７−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−ヘプタ−１，６−ジエン−３，５−ジオン（Ｆ−１）を使用し、含有量を種々変えた例としては、以下の比較例２（ＬＷＲ＝１４．６μｍ）、比較例３（ＬＷＲ＝１４．２μｍ）、実施例１（ＬＷＲ＝９．６μｍ）、実施例２（ＬＷＲ＝８．６μｍ）、実施例３（ＬＷＲ＝９．３μｍ）、実施例４（ＬＷＲ＝１２．３μｍ）、実施例５（ＬＷＲ＝１２．９μｍ）、比較例４（ＬＷＲ＝１９．３μｍ）および比較例１（ＬＷＲ＝１４．３μｍ）などがある。
【０２１９】
これらの評価結果から、フレーク状アルミニウム粉末を含む感光性ペーストに光吸収剤を含有させることにより、形成される電極パターンの直線性が向上することが分かった。一方、光吸収剤の含有量を多くしすぎると、逆に硬化不足により電極パターンの直線性を悪化させることも分かった。
【０２２０】
具体的には、光吸収剤の含有量は、フレーク状アルミニウム粉末１００重量部に対して０．１重量部以上であって、１重量部より少ない量で含有させることが好ましいことが分かった。特に、光吸収剤の含有量は、フレーク状アルミニウム粉末１００重量部に対して０．１重量部以上であって、０．５重量部以下の量で含有させることが好ましいことが分かった。
【０２２１】
表５に示す評価結果から、このような光吸収剤による電極パターンの直線性向上は、他の光吸収剤、例えば、クルクミン（Ｆ−２）、ジメトキシクルクミン（Ｆ−３）、タートラジン（Ｆ−４）およびファストライトイエロー３Ｇ（Ｆ−５）でも見出せることが分かった。
【０２２２】
また、光吸収剤の光吸収特性については、以下のことが分かった。
【０２２３】
実施例１２および実施例１０は、アゾ系光吸収剤Ｆ−５およびＦ−４を使用し、実施例２、実施例６および実施例８は、クルクミン系光吸収剤Ｆ−１、Ｆ−２およびＦ−３を使用し、比較例７および比較例８は、ベシル系光吸収剤Ｆ−６およびＦ−７を使用する。
【０２２４】
これらの評価結果から、光吸収剤の吸収極大波長（ｎｍ）と電極パターンの直線性（ＬＷＲ）には相関があることが分かった。そして、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲内にある光吸収剤の使用がより好ましいことが分かった。
【０２２５】
図２は、光吸収剤の吸収極大波長とＬＷＲ（μｍ）との関係を示したグラフである。
【０２２６】
図２に示すように、光吸収剤において、４００ｎｍ〜４２０ｎｍに吸収波長極大を有する場合、その光吸収剤を含む感光性ペーストから形成される電極パターンは、格段に良好な直線性（低いＬＷＲ値 )を示すことが分かった。
そして、こうした吸収波長極大を有する光吸収剤として、１，７−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−ヘプタ−１，６−ジエン−３，５−ジオン（Ｆ−１）、クルクミン（Ｆ−２）およびジメトキシクルクミン（Ｆ−３）などのクルクミン系の光吸収剤が特に好ましいことが分かった。
【０２２７】
次に、感光性樹脂成分の組成については、以下のことが分かった。
【０２２８】
感光性ペーストの感光性樹脂成分に含まれるアクリル樹脂（Ｃ−１）と多官能（メタ）アクリレートとの合計の量（ここでは、樹脂合計量と称する。）に着目し、その感光性ペーストに含まれるフレーク状アルミニウム粉末の含有量と比較した。
【０２２９】
フレーク状アルミニウム粉末１００重量部に対して、その樹脂合計量は、実施例２では１２０重量部、実施例３では１４０重量部、実施例１４では１０５重量部、実施例１５では１５０重量部である。そして、同様に、比較例９では１７０重量部、比較例１０では８５重量部である。
【０２３０】
これらの評価結果の比較から、フレーク状アルミニウム粉末１００重量部に対して合計量が１００重量部〜１５０重量部の感光性ペーストから形成される電極パターンは直線性が優れ、特に、樹脂合計量が１２０重量部〜１４０重量部の感光性ペーストから形成される電極パターンは直線性が非常に良好であることが分かった。
【０２３１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【０２３２】
５０、１００ プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
１、２、１０１、１０２ ガラス基板
３、１０３ 背面隔壁
４、１４、１０４、１１４ 透明電極
５、１５、１０５、１１５ バス電極
６、１０６ アドレス電極
７、１０７ 蛍光物質
８、９、１０８、１０９ 誘電体層
１０、１１０ 保護層
１１、１１１ 前面隔壁
２０、１２０ セル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）フレーク状アルミ粉末
（Ｂ）ガラス粉末
（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂
（Ｄ）多官能(メタ)アクリレート
（Ｅ）光重合開始剤
（Ｆ）光吸収剤および
（Ｇ）溶剤
を含有する感光性ペースト組成物であって、
（Ａ）フレーク状アルミ粉末は、５０重量％粒子径が２μｍ〜７μｍ、且つ、平均厚さが０．０５μｍ〜１μｍの範囲にあって、アスペクト比が２〜１４０であり、
（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％以上１重量％未満の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲にあることを特徴とする感光性ペースト組成物。
【請求項２】
（Ａ）フレーク状アルミ粉末のアスペクト比は、４〜２０であることを特徴とする請求項１に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項３】
（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％〜０．５重量％の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が４００ｎｍ〜４２０ｎｍの範囲にあることを特徴とする請求項１または２に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項４】
（Ｆ）光吸収剤は、クルクミンまたはクルクミン誘導体であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項５】
（Ｂ）ガラス粉末は、５０重量％粒子径が０．２μｍ〜４μｍであり、且つ、軟化点が３５０℃〜７００℃であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項６】
（Ｂ）ガラス粉末は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して５重量％〜５０重量％の量で含まれることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項７】
（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂と（Ｄ）多官能(メタ)アクリレートの合計の含有量は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して１００重量％〜１５０重量％であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項８】
（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂と（Ｄ）多官能(メタ)アクリレートの合計の含有量は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して１２０重量％〜１４０重量％であることを特徴とする請求項７に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物を用いることを特徴とするパターン形成方法。
【請求項１】
（Ａ）フレーク状アルミ粉末
（Ｂ）ガラス粉末
（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂
（Ｄ）多官能(メタ)アクリレート
（Ｅ）光重合開始剤
（Ｆ）光吸収剤および
（Ｇ）溶剤
を含有する感光性ペースト組成物であって、
（Ａ）フレーク状アルミ粉末は、５０重量％粒子径が２μｍ〜７μｍ、且つ、平均厚さが０．０５μｍ〜１μｍの範囲にあって、アスペクト比が２〜１４０であり、
（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％以上１重量％未満の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲にあることを特徴とする感光性ペースト組成物。
【請求項２】
（Ａ）フレーク状アルミ粉末のアスペクト比は、４〜２０であることを特徴とする請求項１に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項３】
（Ｆ）光吸収剤は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して０．１重量％〜０．５重量％の量で含まれ、且つ、吸収極大波長が４００ｎｍ〜４２０ｎｍの範囲にあることを特徴とする請求項１または２に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項４】
（Ｆ）光吸収剤は、クルクミンまたはクルクミン誘導体であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項５】
（Ｂ）ガラス粉末は、５０重量％粒子径が０．２μｍ〜４μｍであり、且つ、軟化点が３５０℃〜７００℃であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項６】
（Ｂ）ガラス粉末は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して５重量％〜５０重量％の量で含まれることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項７】
（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂と（Ｄ）多官能(メタ)アクリレートの合計の含有量は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して１００重量％〜１５０重量％であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項８】
（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂と（Ｄ）多官能(メタ)アクリレートの合計の含有量は、（Ａ）フレーク状アルミ粉末１００重量％に対して１２０重量％〜１４０重量％であることを特徴とする請求項７に記載の感光性ペースト組成物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の感光性ペースト組成物を用いることを特徴とするパターン形成方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１２−９３５８６（Ｐ２０１２−９３５８６Ａ）
【公開日】平成２４年５月１７日（２０１２．５．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２４１３７８（Ｐ２０１０−２４１３７８）
【出願日】平成２２年１０月２７日（２０１０．１０．２７）
【出願人】（０００００４１７８）ＪＳＲ株式会社 (3,320)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月１７日（２０１２．５．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１０月２７日（２０１０．１０．２７）
【出願人】（０００００４１７８）ＪＳＲ株式会社 (3,320)
【Ｆターム（参考）】
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