説明

感光性樹脂組成物、カラーフィルターの保護膜および感光性樹脂粘着剤

【課題】高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を有する感光性樹脂組成物、カラーフィルターの保護膜および感光性樹脂粘着剤の提供。
【解決手段】(A)エポキシ基によりアクリロイルオキシ基を導入したオレフィン単位及び、カルボン酸基を有するグラフトアクリル系アルカリ可溶性樹脂粘着剤と(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と(C)光重合性開始剤と(D)有機酸無水物と(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と(F)有機溶液とを含む感光性樹脂組成物。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、感光性樹脂組成物、カラーフィルターの保護膜および感光性樹脂粘着剤に関し、特に、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を有する感光性樹脂組成物、カラーフィルターの保護膜および感光性樹脂粘着剤(Adhesive)に関する。
【背景技術】
【0002】
一般的に言って、液晶ディスプレイパネルのカラーフィルターの製作方法は、先ずガラス基板上に多数個のブラックマトリックス(black matrix)を形成してから、隣接するブラックマトリックス間に順番に赤、緑、青のカラー層を画素(pixel)として形成して、光線が画素を通過する時に、色彩(カラー)を出現させる。
【0003】
また、カラーフィルターの製作が完了した後、次に透明電極を形成してブラックマトリックスおよびカラー層を被覆する。通常、カラーフィルターと透明電極との間に更に保護膜(overcoating layer)を形成してカラーフィルターの表面を平坦にし、透明電極の製造を助けるとともに、カラーフィルターが後工程の影響を受けないようにする。一般的に言って、上記した保護膜は、高い透光度、付着性、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性を備えなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】米国特許第6582862号明細書
【特許文献2】米国特許第7097959号明細書
【特許文献3】国際公開第2006/129924号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
幾つかの文献中、カラーフィルターの保護膜の関連技術が提案されており、例えば、US 6582862とUS 7097959とWO 2006/129924などの特許文献がそうである。これらの文献中、カラーフィルターの保護膜が、アルカリ可溶性樹脂接合剤(allkali dissolvable resin binder)と光重合化合物(photopolymerization compound)と光重合性開始剤(photopolymerization initiator)と溶剤とを含むネガティブ型フォトレジスト組成物(negative photoresist composition)であることが開示されている。しかし、これらの文献中に提出された組成物の耐アルカリ性、耐酸性、耐熱変色性などの特性は、いずれも比較的劣っている。
【0006】
従って、カラーフィルターの保護膜に使用される組成物の研究開発、その特性の向上が産業界発展の重大な課題の1つとなっている。
【0007】
そこで、この発明の目的は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を有する感光性樹脂組成物を提供することにある。
【0008】
この発明の別な目的は、カラーフィルターを有効に保護できるカラーフィルターの保護膜を提供することにある。
【0009】
この発明の更に別な目的は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を有する感光性樹脂粘着剤を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
この発明は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤と(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と(C)光重合性開始剤と(D)有機酸無水物と(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と(F)有機溶液とを含む感光性樹脂組成物を提供する。(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤は、構造式(1)で表される重合物であり、
【化1】

そのうち、x = 1〜10モルパーセント、y = 29〜59モルパーセント、a + b =40〜60モルパーセント、a = 5〜40モルパーセント、b = 5〜25モルパーセント、Rがベンジル基、フェニル基、CNまたはC(O)OR2であり、そのうち、R2がC1〜C15の直鎖または環状アルキル基、フェニル基、ベンジル基またはアリル基であり、R1がHまたはC1〜C4のアルキル基である。
【0011】
この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、上記(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の重量平均分子量が例えば3000〜300000の間の範囲である。
【0012】
この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、上記(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の固形分含有量が例えば10〜50%の間の範囲である。
【0013】
この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、上記(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の酸価が例えば10〜400mgKOH/gの間の範囲である。
【0014】
この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物の含有量が例えば1〜250重量部の間の範囲である。
【0015】
この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(C)光重合性開始剤の含有量が例えば0.1〜100重量部の間の範囲である。
【0016】
この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(D)有機酸無水物の含有量が例えば0.1〜100重量部の間の範囲である。
【0017】
この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物の含有量が例えば0.1〜100重量部の間の範囲である。
【0018】
この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(F)有機溶液の含有量が例えば10〜2500重量部の間の範囲である。
【0019】
この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、上記感光性樹脂組成物の粘度が1〜200cpsの間の範囲である。
【0020】
この発明は、また、上記感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜を提出する。
【0021】
この発明は、さらに、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤を含む感光樹脂粘着剤を提出する。
【作用】
【0022】
上記に基づいて、この発明の感光性樹脂組成物は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を備えるので、この発明の感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜は、有効にカラーフィルターを保護することができ、素子の機能効果を向上させる。
【発明の効果】
【0023】
つまり、この発明のアルカリ可溶性樹脂粘着剤は、高い比率の官能基aと官能基bとを合成することに成功し、より優れた耐熱性および耐アルカリ性を獲得することができるため、この発明の感光性樹脂組成物は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を備え、かつ、この発明の感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜は、有効にカラーフィルターを保護することができる。また、この発明のアルカリ可溶性樹脂粘着剤を備える感光樹脂粘着剤もまた同様に高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を備える。
【発明を実施するための形態】
【0024】
以下、この発明を実施するための形態を化学構造式に基づいて説明する。
【0025】
この発明は、感光性樹脂組成物を提出する。この感光樹脂組成物は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を備えるため、この感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜は、有効にカラーフィルターを保護することができる。
【0026】
この発明は、また、下記の(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤を含む感光樹脂粘着剤を提出する。
【0027】
この発明の感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤と(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と(C)光重合性開始剤と(D)有機酸無水物と(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と(F)有機溶液とを含む。また、粘着剤中またはフォトレジスト調製時に、いずれも好ましくは生物に対する安全性が高いプロロピレングリコールメチルエーテルアセテート(propylene glycol methyl ether acetate = PGMEA)、3-メトキシブチルアセテート(3-methoxy butyl asetate = MBA)、3-エトキシエチルプロピオネート(3-ethoxy ethyl propinate = EEPA)などの溶剤を使用する。
【0028】
(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤:
(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤は、構造式(1)で表わされる重合物とPGMEA、MBA、EEPAなどの溶剤により組成された溶液であり、
【化1】

そのうち、x = 1〜10モルパーセント、y = 29〜59モルパーセント、a + b =40〜60モルパーセント、a = 5〜40モルパーセント、b = 5〜25モルパーセント、Rがベンジル基、フェニル基、CNまたはC(O)OR2であり、そのうち、R2がC1〜C15の直鎖または環状アルキル基、フェニル基、ベンジル基またはアリル基であり、R1がHまたはC1〜C4のアルキル基である。(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の重量平均分子量は、例えば3000〜300000の間の範囲であり;固形分含有量は、例えば10〜50%であり;酸価は、例えば10〜400mgKOH/gの間の範囲である。
【0029】
(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づき、(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合の含有量は、例えば1〜250重量部の間の範囲であり、好ましくは20〜60重量部の間の範囲である。
【0030】
(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物は、少なくとも1個のエチレン性不飽和基を含むエチレン性不飽和化合物である。(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物は、例えば、エチレングリコールジメチアクリレート(ethylene glycol di(meth)acrylate)、2〜14個のエチレンオキシド基(ethyleneoxide group)を有するポリエチレングリコールジメチアクリレート(polyethylene glycol di(meth)acrylate)、トリメチロールプロパンジメチアクリレート(trimethylol propane di(meth)acrylate)、トリメチロールプロパントリメチアクリレート(trimethylol propane tri(meth)acrylate)、ペンタエリスリトールトリメチアクリレート(pentaerythritol tri(meth)acryrlate)、ペンタエリスリトールテトラメチアクリレート(pentaerythritol tetra(meth)acryrlate)、2〜14個のプロピレンオキシド基(propyleneoxide group)を有するプロピレングリコールジメチアクリレート(propyleneglycol di(meth)acrylate)、ジペンタエリストールペンタメチアクリレート(dipentaerythritol penta(meth)acrylate)、ジペンタエリストールヘキサメチアクリレート(dipentaerythritol hexa(meth)acrylate = DPHA)、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルアクリックアシド添加剤(trimethylolpropanetrigylcidylether acrylic acid additives)、ビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリックアシド添加剤(bisphenol A diglycidylether acrylic acid additives)、フタラートジエステルのβ-ヒドロキシエチル(メチ)アクリレート(β-hydroxyethyl(meth)acrylate of phthalate diesters)、トルエンジイソサイアネイト添加剤のβ-ヒドロキシエチル(メチ)アクリレート(β-hydroxyethyl(meth)acrylate of toluene diisocyanate additives)またはエチレン性不飽和結合(ethylenically unsaturated bond)を有する重合性化合物(polymeric compound)であり、そのうち、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物は、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート(ditrimethylol propanetetraacrylate)、トリ(2-アクリロキシエチル)イソシアヌレート(tris(2-acryloxyethyl)isocyanurate)、エトキシ基を含むペンタエリスリトールテトラアクリレート(ethoxylated pentaerylthritoltetraacrylate)(EO 4 mol)、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(pentaerylthritoltetraacrylate)(EO 35 mol)、エトキシ基を含むトリメチロールプロパントリアクリレート(ethoxylated trimethlolpropanetriacrylate)(EO 9 mol)、エトキシ基を含むトリメチロールプロパンテトラアクリレート(EO 3 mol)、プロポキシル基を含むペンタエリスリトールテトラアクリレート(propoxylated pentaerylthritoltetraacrylate)(EO 4 mol)、ノナエチレングリコールジアクリレート(nonaethylene glycol diacrylate)、ジペンタエリスリトールアクリレート変性カプロラクトン(di pentaerylthritoltetraacrylate-modified caprolactone)およびトリメチロールプロパンプロポキシレイトトリアクリレート(trimethylolpropanepropoxylate triacrylate)よりなるグループから選択されたものであり、そのうち、好ましくは、ジペンタエリストールヘキメチサアクリレート(dipentaerythritol hexa(meth)acrylate = DPHA)である。
【0031】
(C)光重合性開始剤:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づき、(C)光重合性開始剤の含有量は、例えば0.1〜100重量部の間の範囲であり、好ましくは0.5〜10重量部の間の範囲である。
【0032】
(C)光重合性開始剤は、例えば、酸化ホスフィン(phosphine oxide)系化合物、カルボニル(carbonyl)系化合物、アミノカルボニル(aminocarbonyl)系化合物、トリアジン(triazine)系化合物あるいはオキシム系化合物であり、かつ共光重合性開始剤(co-photoinitiator)と組み合わせて使用できるものである。共光重合性開始剤は、アミン(amine)系化合物、アルコキシアントラセン(alloxyanthracene)系化合物またはチオキサントン(thioxanthone)系化合物である。
【0033】
酸化ホスフィン系化合物は、例えば、アリルホスフィン酸化物(arylphosphine oxide)、アシルホスフィン酸化物(acylphosphine oxide)、ビスアシルホスフィン酸化物(bis acylphosphine oxide)、2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニルホスフィン酸化物(2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide = TPO)、2,6-ジエチルベンゾイル-ジフェニルホスフィン酸化物(2,6-diethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide)、2,6-ジメトキシトリメチルベンゾイル-ジフェニルホスフィン酸化物(2,6-dimethoxybenzoyl-diphenylphosphine oxide )、2,6-ジクロロベンゾイルジフェニルホスフィン酸化物(2,6-dichloro-diphenylphosphine oxide)、2,3,5,6-テトラメチルベンゾイルジフェニルホスフィン酸化物(2,3,5,6-tetramethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide)、ベンゾイルジ(2,6-ジメチルフェニル)ホスホネイト(benzoyldi(2,6-dimethylphenyl)phosphonate)、2,4,6-トリメチルベンゾイルエトキシフェニルホスフィン酸化物(2,4,6- trimethylbenzoylethoxyphenylphosphine oxide)、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィン(bis(2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine)(I-819)またはビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルペンチルホスフィン酸化物(bis(2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide))である。
【0034】
カルボニル系化合物、アミノカルボニル系化合物、トリアジン(triazine)系化合物、オキシム系化合物など系列化合物は、例えば、アセトフェノン(acetophenone)、ベンゾフェノン(benzophenone)、ビフェニルケトン(bihenylketone)、1-ヒドロキシ-1-シクロヘキサン(1-hydoroxy-1-benzoylcyclohexane(I-184))、ベンゾルジメチルケタール2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-ケトン(benzoyldimethylketal2,2-dimethoxy-1,2-diethane-1-one(I-651))、1-ベンジル-1-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリン-ベンゾイル)プロパン(1-benzyl-1-dimethylamino-1-(4-morpholine-benzoyl)propane(I-136)、2-モルフォリン-2-(4-メチルメルカプト)ベンゾルイプロパン(2-morpholyl-2-(4-methylmercapto)benzoylpropane(I-907))、エチルアントラキノン(ethylantraquinone)、4-ベンゾイル-4-メチルジフェニルスルフィド(4-benzoyl-4-methyldiphenylsulfide)、ベンゾインブチルエーテル(benzoinbuthylether)、2-ヒドロキシ-2-ベンゾルイプロパン(2- hydoroxybenzoylpropane)、2-ヒドロキシ-2-(4-イソプロピル)ベンゾルプロパン(2- hydoroxy-2-(isopropropyl) benzoylpropane)、4-ブチルベンゾイルトリクロロメタン(4-butylbenzoyltrichloromethane)、4-フェノキシベンゾイルジクロロメタン(4-phenoxybenzoyldichloromethane)、ベンゾイルメチル蟻酸エステル(benzoylmethylformate)、1,7-ビス(9-アクリジニル)ヘプタン(1,7-bis(9-acridinyl)heptane)、9-n-ブチル-3,6-ビス(2-モルフォリン-イソブチロイル)カルバゾール)(9-n-butyl-3,6-bis(2-morpholine-isobutyloyl)carbzole)、10-ブチル-2-クロロアクリドン(10-butyl-2-chloroacydone)、2-[2-(4-メトキシ-フェニル)-ビニル]-4,6-ビス-トリクロロメチル-[1,3,5]トリアジン(2-[2-(4-methoxy-phenyl)-vinyl] -4,6-bis-trichloromethyl-[1,3,5]triazine)、2-(4-メトキシ-ナフタレン-1-基)]-4,6-ビス-トリクロロメチル-[1,3,5]トリアジン(2-(4-methoxy-naphtahlene-1-yl)-4,6-bis-trichloromethyl-[1,3,5]triazine)、2-ベンゾ[1,3]ジオキソール-5-基-4,6-ビス-トリクロロメチル-[1,3,5]トリアジン(2-benzo[1,3]dioxole-5-yl-4,6-bis-trichloromethyl-[1,3,5]triazine)、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン(2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine)、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン(2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine)または2-ナフチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン(2-naphthyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine)である。
【0035】
アミノ系化合物は、例えば、トリエタノラミン(triethanolamine)、メチルジエタノラミン(methyldiethanolamine)、トリイソプロピルアミン(triisopropylamine)、4-ジメチルアミノメチルベンゾアート(4-dimethylaminomethyl benzoate)、4-ジメチルアミノエチルベンゾアート(4-dimethylaminoethyl benzoate)、4-ジメチルアミノイソアミルベンゾアート(4-dimethylaminoisoamyl benzoate)、2-メチルアミノエチルベンゾアート(2-methylaminoethyl benzoate)、4-ジメチルアミノ-2-エチルヘキシルベンゾアート(4-dimethylamino-2-ethylhexyl benzoate)、N,N-メチルパラトルイジン(N,N-methylparatoluidine)、4,4'-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(4,4'-bis(dimetylamino)benzophenone)、4,4'-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(4,4'-bis(dietylamino)benzophenone)または4,4'-ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン(4,4'-bis(ethylmethylamino)benzophenone)である。
【0036】
アルコキシアントラセン系化合物は、例えば、9,10-ジメトキシアントラセン(9,10-dimethoxyanthracene)、9,10-ジエトキシアントラセン(9,10-diethoxyanthracene)、2-エチル-9,10-ジメトキシアントラセン(2-ethyl-9,10- dimethoxyanthracene)または2-エチル-9,10-ジメトキシアントラセン(2-ethyl-9,10- diethoxyanthracene)である。
【0037】
チオキサントン系化合物は、例えば、2-イソプロピルチオキサントン(2-isoproplythioxanthone)、4-イソプロピルチオキサントン(4-isoproplythioxanthone = IPTX)、2,4-ジエチルチオキサントン(2,4-diethyl isoproplythioxanthone = DETX)、2,4-トリクロロチオキサントン(2,4-trichlorothioxanthone)または1-クロロ-4-プロキシチオキサントン(1-chloro- proplythioxanthone)である。
【0038】
(D)有機酸無水物:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(D)有機酸無水物の含有量は、例えば0.1〜100重量部の間の範囲である。
【0039】
(D)有機酸無水物は、例えば、マレイン酸無水物(maleic anhydride =MA)、イタコン酸無水物(itaconic anhydride)、テトラヒドロフタル酸無水物(tetrahydrophtalic anhydride)、シトラコン酸無水物(citaraconic anhydride)またはメサコン酸無水物(mesaconic anhydride)であり、そのうち、好ましくはマレイン酸無水物である。上記した有機酸無水物は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。
【0040】
(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物の含有量は、例えば0.1〜100重量部の間の範囲であり、好ましくは、2〜10重量部の間の範囲である。
【0041】
(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物は、例えば、ビスフェノールA型エポキシ(bisphenol A type epoxy)樹脂化合物、ビスフェノールS型エポキシ(bisphenol S type epoxy)樹脂化合物、フルオレン-9-ビスフェノールジグリシジルエーテル(fluorene-9-bisphenol diglycidyl Ether =FBDE)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(bisphenol A type epoxy resin)(例えば:油化シェルエポキシ(Shell Epoxy)社製、商品名Epikote 824,1001,1002,1004など)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のアルコール性ヒドロキシル(alcoholic hydroxyl)とエピクロヒドリン(epichlorohydrin)とが反応して得られたエポキシ樹脂(例えば:日本化薬社製、商品名NER-1302、エポキシ当量323、軟化点76℃)、ビスフェノールF型樹脂(bisphenol F type epoxy resin)(例えば:油化シェルエポキシ社製、商品名Epikote807,4001,4002,4004など)、ビスフェノールF型樹脂のアルコール性ヒドロキシル(alcoholic hydroxyl)とエピクロヒドリン(epichlorohydrin)とが反応して得られたエポキシ樹脂(例えば:日本化薬社製、商品名NER-7406、エポキシ当量350、軟化点66℃)、ビフェニルグリシジルエーテル(biphenyl glycidly ether)(例えば:油化シェルエポキシ社製、商品名Epikote YX4000)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(phenol novolac type epoxy resin)(例えば:日本化薬社製、商品名EPPN-201;油化シェルエポキシ社製、商品Epikote 152,154,157S65,157S70;ダウケミカル社製、商品名DEN-438)、クレゾールビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(cresol novolac type epoxy resin)(例えば:日本化薬社製、商品名EOCN-102S,1020,104S)、トリグリシジルイソシアヌレート(triglycidyl isocyanulate)(例えば:日産化学社製、商品名TEPIC)、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂(triphenol methane type epoxy resin)(例えば:日本化薬社製、商品名EPPN-501,502,503)、フルオレン型エポキシ樹脂(fluorene type epoxy resin)(例えば:新日鐵化学社製、商品名ESF-300)、脂環式エポキシ樹脂(例えば:ダイセル(Daicel)化学工業社製、商品名Celloxide 2021P,EHPE)、エポキシ化ポリブタジエン(epxidized polybutadiene)(例えば:Daicel化学工業社製、商品名Eplead PB3600)であり、そのうち、好ましくは、フルオレン-9-ビスフェノールジグリシジルエーテルである。上記した分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。
【0042】
(F)有機溶液:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(F)有機溶液の含有量は、例えば10〜2500重量部の間の範囲であり、好ましくは、80〜250重量部の間の範囲である。
【0043】
(F)有機溶液は、例えば、PGMEA、 MBAまたはEEPAである。上記した有機溶液は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。
【0044】
また、カラーフィルターの保護膜として、この発明の感光性樹脂組成物は、主要に(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤と(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と(C)光重合性開始剤と(D)有機酸無水物と(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物とを主成分とする。もちろん、実際の必要に応じて、必要時には、以下の各種添加物を加えることができる。
【0045】
実施形態中、結合剤(coupling agent)を更に加えて、感光性樹脂組成物およびカラーフィルター間の付着性を増大させ、感光性樹脂組成物および透明電極間の付着性を増大させることができる。感光性樹脂組成物100重量部に基づいて、結合剤の使用量は、0.01〜30重量部の範囲であり、好ましくは、0.5〜3重量部の範囲である。結合剤は、例えば、エポキシ基を含む又はアミノ基を含むシリコン化合物であり、例えば、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン(β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethy trimethoxysilane)、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン(β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethy triethoxysilane)、γ-グリシドオキシプロピルトリメトキシシラン(γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane = GTS)、γ-グリシドオキシプロピルメチルジメトキシシラン(γ-glycidoxypropyl methyldimethoxysilane)、γ-グリシドオキシプロピルジメトキシ(エトキシ)シラン(γ- glycidoxypropyl dimethoxy(ethoxy)silane)、γ-グリシドオキシプロピルジメトキシ(メトキシ)シラン(γ- glycidoxypropyl dimethoxy(methoxy)silane)、γ-グリシドオキシプロピルジメチル(エトキシ)シラン(γ- glycidoxypropyl dimethly(ethoxy)silane)、3,4-エポキシブチルトリメトキシシラン(3,4-epoxybutyltrimethoxysilane)、3,4-エポキシブチルトリエトキシシラン(3,4-epoxybutyltriethoxysilane)、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルジメトキシメチルシラン(N-(2-amonoethyl)-3-aminopropyldimethoxymethylsilane)、(3-アミノプロピル)トリメトキシシラン((3-aminopropyl)trimethoxysilane)、(3-アミノプロピル)トリメエキシシラン((3-aminopropyl)triethoxysilane)、(N,N-ジエチル-3-アミノプロピル)トリメトキシシラン((N,N-diethyl-3- aminopropyl) trimethoxysilane)またはN-β(アミノエチル)γ-アミノプロピルトリメエキシシラン(N-β(aminopropyl) γ-trimethoxysilane)である。上記した結合剤は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。
【0046】
実施形態中、更に界面活性剤(surfactant)を加えることができる。感光性樹脂組成物100重量部に基づき、界面活性剤の含有量は、例えば0.01-30重量部間の範囲であり、好ましくは、0.5-3重量部間の範囲である。界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル(polyoxyethylene alkyl ethers)(例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル(polyoxyethylene lauryl ether)である)、ポリオキシエチレンステアリルエーテル(polyoxyethylene stearyl ether)、ポリオキシエチレンオレイルエーテル(polyoxyethylene oleyl ether)、ポリオキシエチレンアリールエーテル(polyoxyethylene aryl ethers)(例えば、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル(polyoxyethylene octyl phenyl ether)である)、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル(polyoxyethylene noyl phenyl ether)、ポリエチレングリコールジアルキルエーテル(poly ethylene glycol dialkyl ethers)(例えば、ポリオキシエチレグリコールジラウレート(polyoxyethylene glycol dilaurate))、ポリオキシエチレグリコールジステアレート(polyoxyethylene glycol distearate)、オルガノシロキサンポリマー(例えば、KP341(信越化学工業株式会社により製造)または(メチ)アクリック酸重合体((meth)acriylic acid polymer)(例えば、Polyflow No.75,90,95(光栄社油脂化学工業株式会社により製造))、Megafac F171,F172,F173,F475(大日本化学&インク株式会社=現在のDIC株式会社により製造)、Florand FC430,TC431(住友3M株式会社により製造)、Asahi Gard G710,Serflon S382, SC-101,SC-102, SC-103, SC-104, SC-105,SC-1068(旭硝子株式会社により製造)である。上記した界面活性剤は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。
【0047】
実施形態中、更に、その他の添加剤、例えば、消泡剤(deformer)、レベリング剤(leveling agent)、熱重合抑制剤(thrmal polymerizatin agent)などを加えることができる。
【0048】
この発明の感光性樹脂組成物の製作は、主要に上記した(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤と(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と(C)光重合性開始剤と(D)有機酸無水物と(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と(F)有機溶液とを攪拌器中で均一に混合して、粘度が1〜200cpsの間の範囲、好ましくは3〜25 cpsの間の範囲の溶液状態にする。
【0049】
この発明の感光性樹脂組成物は、回転塗布、流延塗布、流延-回転塗布などの方式により基板上に塗布することができる。塗布後に80℃で2分間プレベーク(prebake)し、溶液を除去する。そして、全面露光200mJ/cmする。現像を経て、230℃で20分間ポストベークし、1〜1.5μmの感光性樹脂層を形成して、カラーフィルターの保護膜とする。上記した基板は、例えば、液晶表示装置に使われる無塩ガラス、ソーダ石灰ガラス、硬質ガラス(パイレックス(登録商標)ガラス)、石英ガラスまたは固体撮像装置に使われる光電変換装置基板(例えばシリコン基板)などである。
【0050】
この発明の構造式(1)は、下記の(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の構造式(2A)の合成例を例対照として説明するが、これに限定するものではない。そのうち、官能基a対照には官能基hが含まれ、官能基b対照には官能基Iが含まれ、官能基x対照には官能基cが含まれ、官能基y対照にはd,e,f,gが含まれる。
【0051】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の構造式(2A)の合成例
【化2】

そのうち、c=1モルパーセント;d=19モルパーセント;e=3モルパーセント;f=2モルパーセント;g=30モルパーセント;h=15モルパーセント;I=30モルパーセント;h+1=45モルパーセント、40〜60モルパーセントの範囲内である。
【0052】
この合成例の詳細な合成ステップを以下に説明する:
【0053】
フラスコ中に9gの2,2'-アゾビスイソブチロニトリド(2,2'-azobisisobutyronitride = AIBN)と630gのPGMEA溶液と10gの連鎖移動剤(α-メチルスチレン二量体(α-methyl styrene dimer))とを入れるとともに、攪拌溶解する。そして、50.2gのジシクロペンタメタクリレイト(dicyclopentanylmethacrylate)と46.4gのメタクリック酸(methacrylic acid)と4.5gのアリルメタクレイト(allylmethacrylate)と1.6gのメタシクロニトリド(methacyclonitride)と37.5gのスチレン(styrene)と2.9gの2,2-ジメチル-1,3-プロピレングリコールジアクリレート(2,2-dimetyl-1,3-propylene glycoldiacrylate)とを加え、かつ窒素ガスを通気させるとともに、攪拌し80℃に加熱して2.5時間反応させる。次に、0.3gのAIBNを10gのPGMEA中に溶解させ、10分間だけ反応フラスコに滴下して12時間反応を継続する。その後、窒素ガスを止め、51.2gのグリシデルメタクリレート(glycidyi methacrylate)と2.5gの触媒(1-メチルイミダゾール(1-methlimidazole)と0.15gの抑制剤(4-メトキシフェノール(4-methoxyphenole))とを加えるとともに、空気中で攪拌して19時間反応させる。得られた産物の樹脂溶液は、固形分含有量が27.2wt%;粘度が110cps/25℃;酸価が57.3mgKOH/g;重量平均分子量が111867である。
【0054】
<実施例1>
10重量部の下記構造式(2A)を有する(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤を使用
【化2】

そのうち、c=1モルパーセント;d=19モルパーセント;e=3モルパーセント;f=2モルパーセント;g=30モルパーセント;h=15モルパーセント;I=30モルパーセントである。2.7重量部のDPHAと0.5重量部のFBDEと0.25重量部のMAと0.2重量部のI-907と0.5重量部のIPTXと0.02重量部の密着剤GPSと4重量部の溶剤PGMEAをともに溶解混合させ、調製してカラーフィルター用の感光性樹脂組成物(表1)を得た。この感光性樹脂組成物を以下の各種測定評価方式を利用して評価し、得られた結果を表2に示す。
【0055】
<比較例1>
10重量部の下記構造式(2R)を有する(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤を使用
【化3】

そのうち、c=1.4モルパーセント;d=23.5モルパーセント;e=3.8モルパーセント;f=2.6モルパーセント;g=38.7モルパーセント;h=15モルパーセントである。2.7重量部のDPHAと0.5重量部のFBDEと0.25重量部のMAと0.2重量部のI-907と0.5重量部のIPTXと0.020.5重量部の密着剤GPSと4重量部の溶剤TGMEAをともに攪拌溶解混合し、調製してカラーフィルター用の感光性樹脂組成物(表1)を得た。
【0056】
この感光性樹脂組成物を以下の各種測定評価方式を利用して評価し、得られた結果を表2に示す。
【0057】
【表1】

【0058】
評価方式:
1.耐熱性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を250℃で60分オーブン処理するとともに、profilter Tencor α-step500で処理前後の膜圧変化を計測した。
○:膜圧変化<6%
X:膜圧変化≧6%
【0059】
2.耐アルカリ性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を25℃±2℃で10%のNaOH中に3時間浸けるとともに、profilter Tencor α-step500で処理前後の膜圧変化を計測した。
○:膜圧変化<1%
X:膜圧変化≧3%
【0060】
3.耐酸性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を25℃±2℃で10%のHCl中に3時間浸けるとともに、profilter Tencor α-step500で処理前後の膜圧変化を計測した。
○:膜圧変化<1%
X:膜圧変化≧3%
【0061】
4.耐溶剤性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を25℃±2℃でNMP中に3時間浸けるとともに、profilter Tencor α-step500で処理前後の膜圧変化を計測した。
○:膜圧変化<1%
X:膜圧変化≧3%
【0062】
5.透光度
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を380-800nm波長の光で透光率を測定した。
○:透光率>97%
X:透光率<97%
【0063】
6.耐熱変色性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を250℃で60分オーブン処理するとともに、380-800nm波長の光で透光率変化を測定した。
○:透光率変化5%以下
△:透光率変化5%〜10%
X:透光率変化10%以上
【0064】
7.付着性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層をクロスカット(cross-cut)し、かつ粘着テープ(adhesive tape)により膜層を剥離することで試験した。
○:残留したフォトレジスト膜が98%以上
X:残留したフォトレジスト膜が98%未満
【0065】
【表2】

【0066】
以上のごとく、この発明を実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
構造式(1)により表される重合物であり、

(そのうち、x = 1〜10モルパーセント、y = 29〜59モルパーセント、a + b =40〜60モルパーセント、a = 5〜40モルパーセント、b = 5〜25モルパーセント、Rがベンジル基、フェニル基、CNまたはC(O)OR2であり、そのうち、R2がC1〜C15の直鎖または環状アルキル基、フェニル基、ベンジル基またはアリル基であり、R1がHまたはC1〜C4のアルキル基である)
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤と;
(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と;
(C)光重合性開始剤と;
(D)有機酸無水物と;
(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と;
(F)有機溶液と
を含む感光性樹脂組成物。
【請求項2】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の重量平均分子量が、3000〜300000の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
【請求項3】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の固形分含有量が、10〜50%の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
【請求項4】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の酸価が、10〜400mgKOH/gの間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
【請求項5】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物の含有量が、1〜250重量部の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
【請求項6】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(C)光重合性開始剤の含有量が、0.1
〜100重量部の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
【請求項7】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(D)有機酸無水物の含有量が、0.1〜100重量部の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
【請求項8】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物の含有量が、0.1〜100重量部の間の範囲である請求項2記載の感光性樹脂組成物。
【請求項9】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(F)有機溶液の含有量が、10〜2500重量部の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
【請求項10】
前記感光性樹脂組成物の粘度が、1〜200cpsの間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
【請求項11】
請求項1から10の何れか1項に記載された感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜。
【請求項12】
構造式(1)により表される重合物であり、

(そのうち、x = 1〜10モルパーセント、y = 29〜59モルパーセント、a + b =40〜60モルパーセント、a = 5〜40モルパーセント、b = 5〜25モルパーセント、Rがベンジル基、フェニル基、CNまたはC(O)OR2であり、そのうち、R2がC1〜C15の直鎖または環状アルキル基、フェニル基、ベンジル基またはアリル基であり、R1がHまたはC1〜C4のアルキル基である)
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤と;
(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と;
(C)光重合性開始剤と;
(D)有機酸無水物と;
(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と;
(F)有機溶液と
を含む感光性樹脂粘着剤。
【請求項13】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の重量平均分子量が、3000〜300000の間の範囲である請求項12記載の感光性樹脂粘着剤。
【請求項14】
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の酸価が、10〜400mgKOH/gの間の範囲である請求項12記載の感光性樹脂粘着剤。

【公開番号】特開2011−154343(P2011−154343A)
【公開日】平成23年8月11日(2011.8.11)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−210867(P2010−210867)
【出願日】平成22年9月21日(2010.9.21)
【出願人】(508054404)達興材料股▲ふん▼有限公司 (8)
【Fターム(参考)】