感光材現像処理方法及び導電膜付きフィルムの製造方法
【課題】銀汚れ、傷、膜剥がれなどを発生させることなく、幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像が得られる感光材現像処理方法及び導電膜付きフィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】現像処理槽１６内に配置される液中ターンバー２８Ａは、第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）となるように現像液を吐出するように設定する。また、第１円筒体３４の幅方向両端部に、第１円筒体３４の表面から突出する規制板４２を設ける。この規制板４２により感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制し、第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間隔を調整する。これにより、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔が幅方向においてほぼ均一となり、感光ウエブ１２が液中ターンバー２８Ａと非接触で方向転換される。
【解決手段】現像処理槽１６内に配置される液中ターンバー２８Ａは、第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）となるように現像液を吐出するように設定する。また、第１円筒体３４の幅方向両端部に、第１円筒体３４の表面から突出する規制板４２を設ける。この規制板４２により感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制し、第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間隔を調整する。これにより、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔が幅方向においてほぼ均一となり、感光ウエブ１２が液中ターンバー２８Ａと非接触で方向転換される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光済みの帯状感光材を現像液内で現像処理する感光材現像処理方法及び導電膜付きフィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
銀塩感光材料を露光して現像処理した後、表面抵抗低減処理を施した透光性導電膜としては、近年ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）の電磁波シールド膜が知られている。
【０００３】
ＰＤＰの電磁波シールド膜を銀塩感光材料で製造するには、該銀塩の現像銀の導電性を向上させるために、特許文献１に開示されるように銀塩乳剤のバインダー減量や銀塩乳剤塗膜の膨潤量を大きくすることが有効であるが、現像時に銀塩塗膜の強度が弱くなることと、現像時の銀溶出量が多くなり、通常のローラトランスポート型自動現像機では銀塩塗膜の膜剥がれや、還元銀がローラを介して膜面に付着し面状欠陥が生じやすい。
【０００４】
この対策として、特許文献２に開示されるように、搬送ガイドである方向転換部材の表面に設けられた複数の噴出孔から流体を噴出させ、方向転換部材とフィルムとの間に間隙をつくってフィルムの搬送を非接触で行う装置が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３３２４５９号公報
【０００６】
【特許文献２】特開平８−２４５０２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献２に記載される装置では、方向転換部材の表面に設けられた複数の噴出口から流体が噴出されるため、方向転換部材の幅方向に渡って流体が噴出する場所と噴出されない場所が生じる。
【０００８】
例えば、現像処理を行う場合に方向転換部材の幅方向に渡って現像液が一様に当たらないと、銀塩含有層表面の現像液の更新が異なり現像速度の差を生じ、結果として現像銀画像に筋状のムラが生じる可能性がある。
【０００９】
方向転換部材の幅方向に一様な現像液を噴出させるためには、方向転換部材の幅方向に渡って複数のスリットを設けることが良いが、スリット形状が噴出口の場合、方向転換部材の幅方向に渡って現像液の噴出量を一様にするのは困難であり、方向転換部材の幅方向でフィルムの浮上量に差が生じる可能性がある。結果として前述した現像速度の差を生じ、現像銀画像にムラを生じる可能性がある。
【００１０】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、銀汚れ、傷、膜剥がれなどを発生させることなく、幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像が得られる感光材現像処理方法及び導電膜付きフィルムの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理すると共に、前記現像液内で前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された感光材方向転換部材で前記帯状感光材を方向転換させる感光材現像処理方法であって、前記感光材方向転換部材の表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から、１ｍ当たりの前記現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎとなるように前記現像液を吐出し、前記帯状感光材を前記感光材方向転換部材から浮揚させて非接触で方向転換させることを特徴としている。
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理する。現像液内では、帯状感光材の搬送方向と交差する方向に感光材方向転換部材が配置されており、表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）となるように現像液を吐出する。複数のスリット状の吐出口から吐出される現像液により、帯状感光材が感光材方向転換部材の表面から幅方向にほぼ均一に浮揚し、帯状感光材が感光材方向転換部材の表面と非接触で方向転換される。このため、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触による帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれ（銀塩塗膜や現像銀画像の剥がれ）などの発生が抑制される。このため、支持フィルム上の幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像を得ることができる。
【００１３】
これに対して、感光材方向転換部材の１ｍ当たりの現像液の吐出量が、５０ｌ／ｍｉｎより小さいと、感光材方向転換部材の表面からの帯状感光材の浮揚が幅方向において不十分となる部分が生じ、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触により帯状感光材の銀汚れ、傷などが発生する可能性がある。また、感光材方向転換部材の１ｍ当たりの現像液の吐出量が、２００ｌ／ｍｉｎより大きいと、現像液の吐出流が大きいため、膜剥がれなどが発生する可能性がある。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理すると共に、前記現像液内で前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された感光材方向転換部材で前記帯状感光材を方向転換させる感光材現像処理方法であって、前記感光材方向転換部材の表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から前記現像液を吐出し、前記帯状感光材を前記感光材方向転換部材から浮揚させて非接触で方向転換させると共に、前記感光材方向転換部材の幅方向両端部に設けた規制板で前記帯状感光材の幅方向両端から排出される前記現像液の排出量を規制し、前記帯状感光材と前記感光材方向転換部材との間隔を調整することを特徴としている。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理する。現像液内では、帯状感光材の搬送方向と交差する方向に感光材方向転換部材が配置されており、表面の長手方向に形成された複数のスリット状の吐出口から現像液を吐出する。吐出口からの現像液の吐出により、帯状感光材が感光材方向転換部材の表面から浮揚して非接触で方向転換される。その際、感光材方向転換部材の幅方向両端部に設けた規制板で帯状感光材の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制し、帯状感光材と感光材方向転換部材との間隔を調整することにより、帯状感光材と感光材方向転換部材との間隔が幅方向にほぼ均一となる。このため、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触による帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれなどの発生が抑制される。このため、支持フィルム上の幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像を得ることができる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の感光材現像処理方法において、前記吐出口の開口率を０．６〜２％に設定して前記吐出口から吐出される前記現像液の量を調整することを特徴としている。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、吐出口の開口率を０．６〜２％に設定することで、複数のスリット状の吐出口から排出される現像液の量が適切に調整され、帯状感光材と感光材方向転換部材との間隔がより一層均一となる。このため、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触による帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれなどの発生が抑制される。これに対して、吐出口の開口率が０．６％より小さいと、複数の吐出口から排出される現像液の量が不十分となり、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触により帯状感光材の銀汚れ、傷などが発生する可能性がある。また、吐出口の開口率が２％より大きいと、現像液の吐出流が大きくなり、膜剥がれなどが発生する可能性がある。
【００１８】
請求項４に記載の発明に係る導電膜付きフィルムの製造方法は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法を用いて前記帯状感光材を現像処理して金属銀部を形成する工程と、前記金属銀部の上にめっきして導電膜を形成する工程と、を有することを特徴としている。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法を用いて前記帯状感光材を現像処理して金属銀部を形成する工程と、前記金属銀部の上にめっきして導電膜を形成する工程と、を施すことにより、導電膜付きフィルムが製造される。その際、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触による帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれなどの発生が抑制されることにより、帯状感光材に幅方向においてムラの無いほぼ均一な金属銀部が形成され、金属銀部の上にめっきすることによりムラの無いほぼ均一な導電膜付きフィルムを得ることができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法において、前記感光材方向転換部材が、前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置され、表面に長手方向に沿って前記現像液を吐出する複数のスリット状の吐出口を備えた第１筒状体と、前記第１筒状体の内部に配置され、前記現像液を噴出する噴出口を備えた第２筒状体と、を有することを特徴としている。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、現像液内に配置された感光材方向転換部材が、帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された第１筒状体と、第１筒状体の内部に配置された第２筒状体とを有しており、第１筒状体には、表面に長手方向に沿って複数のスリット状の吐出口が形成され、第２筒状体には噴出口が形成されている。そして、第２筒状体の噴出口から第１筒状体の内部に現像液が噴出され、さらに第１筒状体の内部の現像液が複数のスリット状の吐出口から第１筒状体と帯状感光材との間に吐出されることにより、帯状感光材が第１筒状体の表面から浮揚し、帯状感光材が第１筒状体の表面と非接触で方向転換される。このため、帯状感光材と第１筒状体の表面との接触が抑制され、帯状感光材の銀汚れ、傷、膜剥がれ（銀塩塗膜や現像銀画像の剥がれ）などの発生が抑制される。また、第１筒状体のスリット状の吐出口からの現像液の吐出が長手方向に連続であることにより、帯状感光材の幅方向において現像ムラの発生が抑制される。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の感光材現像処理方法において、前記帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側の前記吐出口の間隔が、前記帯状感光材の搬送方向中間部の前記吐出口の間隔よりも小さいことを特徴としている。
【００２３】
請求項６に記載の発明によれば、帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側の吐出口の間隔が、帯状感光材の搬送方向中間部の吐出口の間隔よりも小さいので、帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側では、帯状感光材の搬送方向中間部に比べて間隔が小さい吐出口から現像液が吐出される。第１筒状体の吐出口から吐出された現像液は、帯状感光材の幅方向両端と帯状感光材の搬送方向上流側の入口と搬送方向下流側の出口の４方向から排出されるが、帯状感光材の搬送方向上流側の入口と搬送方向下流側の出口では、帯状感光材と感光材方向転換部材とが接触しやすい傾向がある。本発明では、帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側では、帯状感光材の搬送方向中間部に比べて間隔が小さい吐出口から現像液が吐出されるので、帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側で十分な現像液が吐出され、帯状感光材と第１筒状体との接触が抑制される。このため、帯状感光材の銀汚れ、傷、膜剥がれなどの発生がより一層抑制される。
【００２４】
請求項７に記載の発明は、請求項５又は請求項６に記載の感光材現像処理方法において、前記第１筒状体の長手方向両端部に設けられ、前記第１筒状体の表面から突出し、前記帯状感光材の幅方向両端から排出される前記現像液の排出量を規制する規制板を設けたことを特徴としている。
【００２５】
請求項７に記載の発明によれば、第１筒状体の長手方向両端部に、第１筒状体の表面から突出する規制板が設けられており、帯状感光材の幅方向両端の第１筒状体との隙間から排出される現像液の排出量を規制することで、帯状感光材と第１筒状体との間隔を調整することができる。このため、第１筒状体の表面と帯状感光材との接触がより一層抑制され、帯状感光材の銀汚れ、傷、膜剥がれなどの発生が抑制されると共に、帯状感光材の幅方向における現像ムラの発生が抑制される。
【００２６】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の感光材現像処理方法において、前記第１筒状体の表面からの前記規制板の高さは、前記第１筒状体の表面と前記帯状感光材との間隔より高いことを特徴としている。
【００２７】
請求項８に記載の発明によれば、第１筒状体の表面からの規制板の高さは、第１筒状体と帯状感光材との間隔より高いので、帯状感光材の幅方向両端から排出される現像液の排出量がより一層規制され、帯状感光材と第１筒状体との間隔をより効果的に調整することができる。
【００２８】
請求項９に記載の発明は、請求項５から請求項８までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法において、前記吐出口が、前記第１筒状体の裏面側で狭く、前記第１筒状体の表面側で広くなるテーパ状に形成されていることを特徴としている。
【００２９】
請求項９に記載の発明によれば、吐出口が、第１筒状体の裏面側で狭く、第１筒状体の表面側で広くなるテーパ状に形成されているので、吐出口から吐出される現像液の流圧が高くなることが抑制され、帯状感光材の膜剥がれなどの発生が抑制される。
【００３０】
請求項１０に記載の発明は、請求項５に記載の感光材現像処理方法において、前記第２筒状体が、長手方向の一端に前記現像液を導入する導入部を備え、前記噴出口が長手方向に形成された複数の噴出孔であり、長手方向の他端側に設けられた前記噴出孔が、長手方向の一端側に設けられた前記噴出孔よりも小さいことを特徴としている。
【００３１】
請求項１０に記載の発明によれば、第２筒状体の長手方向の一端に設けられた導入部に現像液が導入され、第２筒状体の長手方向に形成された複数の噴出孔から現像液が噴出される。そのとき、第２筒状体の長手方向の他端側に設けられた噴出孔が、長手方向の一端側に設けられた噴出孔よりも小さいので、他端側の噴出孔と一端側の噴出孔から噴出される現像液量の差が小さくなり、第１筒状体の複数のスリット状の吐出口から吐出される現像液が幅方向においてほぼ均一となる。例えば、第２筒状体の長手方向の一端から現像液を導入すると、第２筒状体の複数の噴出孔を長手方向の一端側から他端側で同径にした場合、または第２筒状体を第１筒状体への導入口にのみ配置した場合には、第１筒状体の他端側は静圧が大きく、他端側の吐出口からの現像液吐出量が大きくなり、一端側（導入側）の吐出口からの現像液吐出量が小さくなる傾向がある。本発明では、長手方向の他端側に設けられた噴出孔が、長手方向の一端側（導入側）に設けられた噴出孔よりも小さいので、他端側の噴出孔と一端側の噴出孔から噴出される現像液量の差が小さく、その結果、第１筒状体の複数の吐出口から吐出される現像液が幅方向においてほぼ均一となる。
【００３２】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の感光材現像処理方法において、前記第２筒状体の長手方向の前記他端側から前記一端側に向かうに従って、前記噴出孔が徐々に大きくなるように形成されていることを特徴としている。
【００３３】
請求項１１に記載の発明によれば、第２筒状体の長手方向の他端側から一端側に向かうに従って、噴出孔が徐々に大きくなるように形成されているので、複数の噴出孔から噴出される現像液量の差がより一層小さくなる。そのため、第１筒状体の複数の吐出口から吐出される現像液が幅方向においてより一層均一となる。
【００３４】
請求項１２に記載の発明は、請求項５又は請求項６に記載の感光材現像処理方法において、前記第１筒状体は、前記噴出口と対向する部分に前記吐出口を設けないことを特徴としている。
【００３５】
請求項１２に記載の発明によれば、第１筒状体は、噴出口と対向する部分に前記吐出口を設けないので、第２筒状体の噴出口から噴出された現像液が第１筒状体の内壁に当たって動圧が抑制されると共に、内壁の両側に流れた現像液が第１筒状体の吐出口から吐出される。これにより、第２筒状体の噴出口から噴出された現像液が第１筒状体の吐出口から直接吐出されるショートパスなどが抑制される。
【発明の効果】
【００３６】
以上説明したように、本発明によれば、帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生を抑制することができると共に、膜剥がれなどの発生を抑制することができる。このため、支持フィルム上の幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像（金属銀部）を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。
【００３８】
図１には、本発明に係る感光材現像処理方法が適用される現像処理装置が示されている。この現像処理装置は、露光が施された帯状感光材としての感光ウエブの現像・定着・洗浄を行う装置である。図１に示されるように、現像処理装置１０には、帯状の支持フィルム上に銀塩含有層を有する感光ウエブ１２が、銀塩含有層を上にして巻き出し軸１４にローラ状に巻かれている。この感光ウエブ１２は、図示しない露光装置により所望の細線状のパターン露光が施されたものである。
【００３９】
巻き出し軸１４から送り出された感光ウエブ１２の搬送方向下流側には、現像液が貯留された現像処理槽１６と、定着液が貯留された定着槽１８と、純水（洗浄液）が貯留された水洗槽２０と、が配設されている。水洗槽２０より感光ウエブ１２の搬送方向下流側には、感光ウエブ１２の両面を乾燥させる温風発生装置２２Ａ、２２Ｂが配設され、さらに感光ウエブ１２の搬送方向下流側には、感光ウエブ１２を巻き取る巻き取り軸２４が配設されている。
【００４０】
巻き出し軸１４から送り出された感光ウエブ１２は、現像処理槽１６の上部に配置された支持ロール２６を経て現像処理槽１６に搬送される。現像処理槽１６内には、感光材方向転換部材としての液中ターンバー２８が配置されており、液中ターンバー２８で感光ウエブ１２は銀塩含有層が非接触となるように支持され、方向転換される。感光ウエブ１２の搬送方向下流側の現像処理槽１６の出口には、感光ウエブ１２の両面に対向するようにエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂが配設されており、現像処理槽１６内を搬送された感光ウエブ１２は、現像処理槽１６の出口でエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂから吹き出されるエアーにより現像液が掻き落とされ、現像処理槽１６の上部と定着槽１８の上部に配置された２本の支持ロール２６を経て次の定着槽１８に導入される。
【００４１】
以下、上記の現像処理槽１６と同様に、感光ウエブ１２は、定着槽１８内の液中ターンバー２８Ｂで銀塩含有層が非接触の状態で方向転換され、定着槽１８の出口で感光ウエブ１２の両面に対向して配置されたエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂで定着液が掻き落とされ、２本の支持ロール２６を経て次の水洗槽２０に導入される。さらに感光ウエブ１２は、水洗槽２０内の液中ターンバー２８Ｃで銀塩含有層が非接触の状態で方向転換され、水洗槽２０の出口で感光ウエブ１２の両面に配置されたエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂで純水が掻き落とされ、水洗槽２０の上部に配置された支持ロール２６を経て温風発生装置２２Ａ、２２Ｂに搬送される。そして、温風発生装置２２Ａ、２２Ｂから発生する温風により感光ウエブ１２の両面が乾燥され、感光ウエブ１２は支持ロール２６を経て巻き取り軸２４で巻き取られる。図示していないがこの一連の現像処理装置１０は感光ウエブ１２を一定のテンションで搬送できるように巻き出し軸１４にはトルク調整機構をもつ。
【００４２】
このような現像処理装置１０では、複数の支持ロール２６と液中ターンバー２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃによって、感光ウエブ１２が現像処理槽１６、定着槽１８、水洗槽２０内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われ、さらに感光ウエブ１２を乾燥させることで、細線メッシュ状の現像銀画像（金属銀部）が形成された感光ウエブ１２（導電性材料）が得られる。現像処理装置１０により処理されて得られた感光ウエブ１２は、透光性電磁波シールド膜に好適に使用できる。例えば、現像処理装置１０により感光ウエブ１２を処理して発現された細線メッシュ状の現像銀画像（金属銀部）に、めっき処理（例えば、Ｃｕめっきなど）によって導電膜を形成することで、透光性電磁波シールド膜（導電膜付きフィルム）を製造することができる。
【００４３】
ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる現像処理技術を適用することができる。現像液、定着液、洗浄液もこれらに準じて適宜適用することができる。例えば、現像液としては、特に限定しないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、例えば、富士フイルム社製のＣＮ−１６、ＣＲ−５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ−３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社製のＣ−４１、Ｅ−６、ＲＡ−４、Ｄ−１９、Ｄ−７２などの現像液、又はそのキットに含まれる現像液、また、Ｄ−８５などのリス現像液を用いることができる。なお、定着処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる。
【００４４】
また、現像処理装置１０の現像処理槽１６、定着槽１８、水洗槽２０の各処理槽からの各処理液の持ち出し及び持ち込みは、補充量の増大、次の処理槽での溶解物理現像の促進、処理液の劣化等が生じて好ましくない。また、各処理槽から次の処理槽へのクロスオーバー部における処理液の液ダレは処理むら、乾燥ムラの原因となり、歩留まりを悪化させる。本実施形態の現像処理装置１０では、現像処理槽１６、定着槽１８、水洗槽２０の各処理槽の出口に感光ウエブ１２の両面に対向してエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂを配置したので、感光ウエブ１２の表裏に付着した処理液を取り除くことができる。
【００４５】
エアーナイフ３０Ａ、３０Ｂの配置はできるだけ各処理槽の処理液表面を感光ウエブ１２が出た直後が好ましいが、エアーの圧力で処理液表面が撹乱され飛散するので、飛散しない距離を開けると共に、感光ウエブ１２の流入部、流出部を除いて各処理槽全体に蓋３１を設けることが好ましい。
【００４６】
また、感光ウエブ１２の現像銀画像を有する面はウエット状態で軟膜のため、エアーナイフ３０Ａ、３０Ｂに供給するエアー量を少なくするが、特に現像処理槽１６からの現像液の持ち出しは定着槽１８での液疲労、溶解物理現像を生じやすく、これを回避するために現像処理槽１６の後に停止浴槽を設けることが好ましい。
【００４７】
図２には、現像処理槽１６内に配置された液中ターンバー２８Ａの長手方向に沿った断面図が示されており、図３には、液中ターンバー２８Ａの分解斜視図が示されている。また、図４には、液中ターンバー２８Ａの側面図及び長手方向と直交する方向における断面図等が示されている。なお、定着槽１８内に配置された液中ターンバー２８Ｂ、水洗槽２０内に配置された液中ターンバー２８Ｃは、吐出する液が現像液に代えて定着液又は純水である点で異なり、その他は同じであるので、ここでは液中ターンバー２８Ａを例として説明する。
【００４８】
図２に示されるように、液中ターンバー２８Ａは、現像処理槽１６に貯留される現像液３２内に、感光ウエブ１２の搬送方向とほぼ直交する方向に配置されている。図２〜図４に示されるように、液中ターンバー２８Ａは、外側に配置された第１円筒体３４と、この第１円筒体３４の内部に配置された第２円筒体３８と、を備えている。第１円筒体３４は、表面に長手方向に沿って現像液を吐出する複数のスリット状の吐出口３６を備えている。第２円筒体３８は、表面に現像液を噴出する複数の噴出口４０を備えている。第１円筒体３４は、両端部が環状体３５で塞がれており、環状体３５の中心の開口部に第２円筒体３８が挿入されている。
【００４９】
第１円筒体３４は、感光ウエブ１２の搬送方向上流側の入口Ａ付近と搬送方向下流側の出口Ｂ付近における吐出口３６の間隔（周方向の間隔）よりも、感光ウエブ１２の搬送方向中間部Ｃにおける吐出口３６の間隔が大きく形成されており、感光ウエブ１２の搬送方向中間部Ｃから搬送方向上流側の入口Ａ付近と搬送方向下流側の出口Ｂ付近に向かって、吐出口３６の間隔が徐々に小さくなるように形成されている。また、第１円筒体３４には、感光ウエブ１２が搬送時に対向しない部分（図３及び図４（Ｂ）中の上部）に吐出口３６を有しない壁部３４Ａが設けられている。第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から現像液が吐出されることで、感光ウエブ１２が第１円筒体３４の表面から浮揚し、非接触で方向転換されるようになっている。
【００５０】
その際、感光ウエブ１２の搬送方向中間部Ｃから搬送方向上流側の入口Ａ付近と搬送方向下流側の出口Ｂ付近に向かって、吐出口３６の間隔が徐々に小さくなるように形成されているので、入口Ａ付近と出口Ｂ付近では、搬送方向中間部Ｃに比べて間隔が小さい吐出口３６から現像液が吐出される。第１円筒体３４の吐出口３６から吐出された現像液は、感光ウエブ１２の幅方向両端と入口Ａと出口Ｂの４方向から排出されるが、一般的に、感光ウエブ１２の入口Ａ付近と出口Ｂ付近では感光ウエブ１２と第１円筒体３４とが接触しやすい傾向がある。本実施形態では、感光ウエブ１２の入口Ａ付近と出口Ｂ付近では、搬送方向中間部Ｃに比べて間隔が小さい吐出口３６から現像液が吐出されるので、感光ウエブ１２の入口Ａ付近と出口Ｂ付近で十分な現像液が吐出され、帯状感光材と第１筒状体とが接触することが抑制される。
【００５１】
第１円筒体３４の長手方向両端部には、第１円筒体３４の表面から半径方向に突出し、感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制するフランジ状の規制板４２が設けられている。この規制板４２は、感光ウエブ１２の幅方向両端よりも外側、すなわち、感光ウエブ１２の幅方向長さよりも広い間隔で配置されている。本実施形態では、感光ウエブ１２の両端縁から約１０ｍｍ離れた位置に設けられている。規制板４２により感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制することで、第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間隔を調整するようになっている。規制板４２の半径方向の高さは、吐出口３６からの現像液の吐出により感光ウエブ１２が浮揚したときに、第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間隔より高くなるように設定されている。
【００５２】
第１円筒体３４の吐出口３６から噴出した現像液は感光ウエブ１２の幅方向両端と感光ウエブ１２の搬送方向における入口Ａと出口Ｂの４方向から排出される。このため、感光ウエブ１２の幅方向両端からの現像液の排出は、感光ウエブ１２の幅方向中央部と幅方向両端での現像液の滞留時間に差が生じやすく、銀塩含有層表面の現像液の更新に差が生じ、その結果、銀塩の現像進行に差が生じて幅方向に現像銀画像のムラが生じやすくなる傾向がある。本実施形態では、規制板４２を配置して感光ウエブ１２の幅方向両端からの現像液の排出を規制することで、第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間の間圧が上昇し、感光ウエブ１２の幅方向中央部と幅方向端部の現像液の滞留時間の差を小さくすることができる。
【００５３】
第１円筒体３４の吐出口３６は、図４（Ｃ）に示されるように、第１円筒体３４の内側で狭く、第１円筒体３４の外側で広くなるようにテーパ状に形成されている。これにより、吐出口３６から吐出される現像液の流圧が高くなることが抑制され、感光ウエブ１２の膜剥がれの発生を抑制することができる。なお、吐出口３６は、本実施形態のようにテーパ状に形成せずに、第１円筒体３４の内側と外側とで略同一幅としてもよい。
【００５４】
第１円筒体３４の吐出口３６の開口率は、小さい方が現像液の吐出量が少なく、第１円筒体３４と感光ウエブ１２間の圧力を維持して感光ウエブ１２を浮揚させるのに有利であるため、吐出口３６のスリット巾は０．３〜０．５ｍｍ（内側の狭い部分の巾）が好ましく、開口率は０．６〜２％が好ましい。また、開口率は０．８〜１％がより好ましい。ここで、開口率は、吐出口３６のスリット巾をＬ（ｍｍ）とし、第１円筒体３４の直径をＤ（ｍｍ）としたとき、
【００５５】
開口率（％）＝Ｌ×スリット本数／πＤ
【００５６】
で求められる。吐出口３６の開口率を０．６〜２％に設定することで、複数の吐出口３６から排出される現像液の量を適切に調整することができる。なお、スリット形状の場合、一般的に幅方向に渡って液の噴出流量に分布（偏り）が出やすいと言われているが、吐出口３６のスリット巾は０．３〜０．５ｍｍのように狭くすることで、円筒体内部の流量分布をなくして幅方向に均一な浮上を得るようできる。
【００５７】
感光ウエブ１２の搬送方向上流側の入口Ａと搬送方向下流側の出口Ｂには、第１円筒体３４の表面と所定の間隔をおいてガイドローラ４４が配設されている。第１円筒体３４の長手方向両端部には、支持部材４６が配設されており、支持部材４６にガイドローラ４４の軸部４４Ａが回転可能に支持されている。このガイドローラ４４によって感光ウエブ１２が搬送方向に案内され、入口Ａ付近と出口Ｂ付近で感光ウエブ１２が第１円筒体３４に接触することが抑制される。
【００５８】
なお、第１円筒体３４は、本実施形態では中空円筒体であるが、楕円もしくは半円筒でもよい。
【００５９】
第２円筒体３８は、第１円筒体３４の内部に全幅に渡って挿入されている。第２円筒体３８の長手方向の一端３８Ａには、現像液を導入する管状導入部４８が接続されており、長手方向の他端３８Ｂは蓋部３８Ｃで塞がれている。第２円筒体３８の一端３８Ａの管状導入部４８よりも中央部側には、第２円筒体３８の周囲に環状の取付板７０が設けられており、ビス７２によって取付板７０が第１円筒体３４に取付けられている。第２円筒体３８には、長手方向に沿って複数の円形の噴出口４０が設けられている。複数の噴出口４０は、長手方向の他端３８Ｂ側の口径が小さく、他端３８Ｂ側から長手方向の一端３８Ａ側に向かうに従って口径が徐々に大きくなるように形成されている。また、複数の噴出口４０は、中心がほぼ等間隔となるように配置されている。噴出口４０の口径の合計は第２円筒体３８の内径に等しく、口径の決定は圧力損失計算と実験により決定した。本実施形態では、図５に示されるように、噴出口４０の中心間の間隔は約４５ｍｍであり、第２円筒体３８の内径は約２５ｍｍであり、また、第２円筒体３８の幅方向長さは約８００ｍｍに設定されている。また、第２円筒体３８の長手方向の一端３８Ａ側の最も導入側に近い噴出口４０Ａの口径は約６．８ｍｍに設定され、第２円筒体３８の長手方向の他端３８Ｂ側の最も端末側に近い噴出口４０Ｂの口径は約５．４ｍｍに設定されている。
【００６０】
この第２円筒体３８では、複数の噴出口４０の口径を長手方向の他端３８Ｂ側から一端３８Ａ側に向かうに従って徐々に大きくなるように形成すると共に、噴出口４０の中心をほぼ等間隔に配置することにより、第１円筒体３４の複数の吐出口３６から吐出される現像液が幅方向においてほぼ均一となる。第２円筒体３８の複数の噴出口の口径を長手方向の一端３８Ａ側から他端３８Ｂ側まで同径にした場合、または第２円筒体３８を第１円筒体３４への導入口にのみ配置した場合には、第１円筒体の他端３８Ｂ側（端末側）は静圧が大きく、吐出口３６からの現像液吐出量が大きくなり、現像液の一端３８Ａ側（導入側）は現像液吐出量が小さくなる。
【００６１】
また、図４（Ｂ)に示されるように、複数の噴出口４０は、第１円筒体３４の吐出口３６を有しない壁部３４Ａと対向する位置（図３及び図４（Ｂ）中の上部）に設けられている。複数の噴出口４０を第１円筒体３４の壁部３４Ａと対向する位置に設けることで、複数の噴出口４０から噴出された現像液が第１円筒体３４の壁部３４Ａに当たって動圧が抑制されると共に、壁部３４Ａの両側に流れた現像液が第１円筒体３４の吐出口３６から吐出される。これにより、複数の噴出口４０から噴出された現像液が第１円筒体３４の吐出口３６から直接吐出されるショートパスなどが抑制される。
【００６２】
図２に示されるように、現像処理槽１６の上部には、現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂが設けられており、現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂにそれぞれ接続される配管５２は１本の配管５３となり、配管５３には、ポンプ５４、自動定流量弁（流量調整弁）５６、流量計５８、プレート式熱交換器６０が設けられている。また、配管５３の下流側端部は管状導入部４８に接続されている。ここで自動定流量弁５６は圧力変動による流量変動をなくす目的で設置され、流量計５８は流量を管理する目的で設置され、プレート式熱交換器６０は槽内温度ほぼ一定に保つために設置されている。
【００６３】
また、現像処理槽１６とは別に補充用の現像液を貯留する補充タンク６２が設けられており、補充タンク６２には配管６４が接続され、配管６４にポンプ６６が設けられている。配管６４の下流側は２本の配管６５に分岐され、現像処理槽１６の上部の現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂの近くに導かれている。感光ウエブ１２の現像処理においては、感光ウエブ１２の現像処理量に従って現像液の補充が重要である。本実施形態では、液中ターンバー２８Ａへの現像液の供給は現像処理槽１６内の現像液３２を循環して行うが、この循環経路上に現像液を補充することで、現像処理槽１６内の現像液３２の濃度をほぼ均一に維持することができる。また、補充する現像液を循環経路上の現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂ付近に滴下することで、乱流流れの配管５２、５３内で混合され、液中ターンバー２８Ａ内部の第２円筒体３８に幅方向にほぼ均一に供給される。さらに、第１円筒体３４の複数の吐出口３６から現像液が吐出された後は、感光ウエブ１２の入口Ａ、出口Ｂ方向、及び感光ウエブ１２の幅方向両端から排出され、現像処理槽１６内の流動及び拡散で均一化される。
【００６４】
このような液中ターンバー２８Ａでは、第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）となるように現像液を吐出するように設定している。また、１ｍ当たりの現像液の吐出量は、７０〜１５０ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）がより好ましく、８０〜１００ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）がさらに好ましい。
【００６５】
また、感光ウエブ１２を搬送するときの張力は、３Ｎ／ｍ以上、１５０Ｎ／ｍ以下とすることが好ましい。張力を３Ｎ／ｍ未満にすると、支持ロール２６が回転しなくなり、フィルムに傷がついてしまった。また１５０Ｎ／ｍを超えると、感光ウエブ１２に皺が発生して液中ターンバー表面にフィルムが接触して現像銀画像に傷をつける問題があった。
【００６６】
また、現像処理装置１０における現像液の温度は、感光ウエブ１２の銀塩含有層の膜強度、現像処理速度によるが、１６℃〜４０℃の範囲が好ましく、２０℃〜３６℃の範囲がより好ましい。
【００６７】
次に、本実施形態の現像処理方法が適用される液中ターンバー２８Ａの作用について説明する。
【００６８】
液中ターンバー２８Ａへの現像液３２の供給は、現像処理槽１６の上部に設けられた現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂから配管５２、５３を経由してポンプ５４に送られ、自動定流量弁５６、流量計５８、プレート式熱交換器６０を経由して管状導入部４８から第２円筒体３８に導かれる。第２円筒体３８では、複数の噴出口４０の口径が長手方向の他端３８Ｂ側から一端３８Ａ側に向かうに従って徐々に大きくなるように形成されており、複数の噴出口４０から現像液が第１円筒体３４の内部に幅方向にほぼ均一に噴出される。その際、図４（Ｂ）に示されるように、第２円筒体３８の複数の噴出口４０から現像液が第１円筒体３４の内部の壁部３４Ａの方向（矢印方向）に噴出され、さらに第１円筒体３４の壁部３４Ａの両側に流れた現像液が第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６からポンプ５４の圧送によって第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間に吐出される。複数の吐出口３６から吐出された現像液は、感光ウエブ１２のガイドローラ４４付近の入口Ａと出口Ｂ、及び第１円筒体３４の幅方向両端側の感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される。複数の吐出口３６から吐出される現像液により、感光ウエブ１２が第１円筒体３４から浮揚し、第１円筒体３４と非接触で搬送されて方向転換される。
【００６９】
また、補充タンク６２から補充される現像液（補充液）は、配管６４を経てポンプ６６に送られ、配管６５を経由して現像処理槽１６の現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂの近くに滴下される。滴下された現像液（補充液）は循環経路中の配管５２、５３内の乱流によって完全混合され、第２円筒体３８の複数の噴出口４０から第１円筒体３４の内部に幅方向にほぼ均一に噴出される。
【００７０】
このような液中ターンバー２８Ａでは、第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎとなるように現像液を吐出するように設定することにより、液中ターンバー２８Ａ（第１円筒体３４）の表面から感光ウエブ１２が幅方向にほぼ均一に浮揚し、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａの表面とが所定の間隔で維持される。このため、液中ターンバー２８Ａの表面と感光ウエブ１２との接触による感光ウエブ１２の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれ（銀塩塗膜や現像銀画像の剥がれ）などの発生が抑制される。このため、感光ウエブ１２の幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像（金属銀部）を得ることができる。
【００７１】
これに対して、液中ターンバー２８Ａの１ｍ当たりの現像液の吐出量が、５０ｌ／ｍｉｎより小さいと、液中ターンバー２８Ａの表面からの感光ウエブ１２の浮揚が不十分となり、液中ターンバー２８Ａの表面と感光ウエブ１２との接触により感光ウエブ１２の銀汚れ、傷などが発生する可能性がある。また液中ターンバー２８Ａの１ｍ当たりの現像液の吐出量が、２００ｌ／ｍｉｎより大きいと、現像液の吐出流が大きくなり、膜剥がれなどが発生する可能性がある。なお、膜剥がれは感光ウエブ１２の種類によって発生の頻度が異なるが、例えば、硬膜処理されていない感光ウエブ（無硬膜感光ウエブ）のときに発生し易い。本発明では、上述した構成の液中ターンバーを使用して現像液の吐出量を調整することで硬膜処理されていない感光ウエブに対しても効率的に現像処理を行うことができる。なお、本発明では、銀塩感光層に硬膜剤が添加されてゼラチン膜質が強化されたものが硬膜処理されたものであり、硬膜剤が添加されていないものが硬膜処理されていないものである。
【００７２】
また、液中ターンバー２８Ａの両端側の感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制板４２によって規制することで、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔を調整する。これにより、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔が幅方向にほぼ均一となり、液中ターンバー２８Ａの表面と感光ウエブ１２との接触による感光ウエブ１２の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が小さくても感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔が一定に保持される。
【００７３】
また、第１円筒体３４の吐出口３６の開口率を０．６〜２％に設定することで、複数の吐出口３６から排出される現像液の量が適切に調整され、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔がほぼ均一となる。このため、感光ウエブ１２の銀汚れ、傷、膜剥がれなどの発生が抑制される。これに対して、吐出口３６の開口率が０．６％より小さいと、吐出口３６から排出される現像液の量が不十分となり、液中ターンバー２８Ａの表面と感光ウエブ１２との接触により感光ウエブ１２の銀汚れ、傷などが発生する可能性がある。また、吐出口３６の開口率が２％より大きいと、現像液の吐出流を大きくする必要があるため、膜剥がれなどが発生する可能性がある。
【００７４】
本発明の現像処理装置１０により現像処理されて得られた感光ウエブ１２は透光性電磁波シールド膜に好適に使用することができ、感光ウエブ１２の現像銀画像（金属銀部）にめっき処理して導電膜を形成することで、ムラの無いほぼ均一な透光性電磁波シールド膜（導電膜付きフィルム）を得ることができる。
【００７５】
次に、感光ウエブ１２について説明する。感光ウエブ１２は、例えば、光透過性支持体（支持フィルム）上に銀塩（例えばハロゲン化銀）が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺幅広フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。保護層の厚みは０．０２〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは０．１〜１０μｍであり、さらに好ましくは０．３〜３μｍである。
【００７６】
これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用されるハロゲン化銀乳剤層（銀塩含有層）や保護層を適宜適用することができる。
【００７７】
特に、感光ウエブ１２（感光材料）としては、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）が好ましく、白黒銀塩写真フィルム（白黒銀塩感光材料）が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。
【００７８】
一方、光透過性支持体としては、単層のプラスチックフィルムや、これを２層以上組み合わせた多層フィルムを適用することができる。プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡなどのポリオレフィン類；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂；その他、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などを用いることができる。
【００７９】
これらの中でも、透明性、耐熱性、取り扱いやすさ及び価格の点から、支持体としてのプラスチックフィルムは、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）に通常適用されるポリエチレンテレフタレートフィルムやセルロールトリアセテートフィルム、また、その他、ポリイミドフィルムであることが好ましい。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムであることが最も好ましい。
【００８０】
また、ディスプレイ用の電磁波遮蔽材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は７０〜１００％が好ましく、さらに好ましくは８５〜１００％であり、特に好ましくは９０〜１００％である。
【００８１】
感光ウエブ１２の幅は、例えば、５０ｃｍ以上とし、厚みは５０〜２００μｍとすることがよい。
【実施例】
【００８２】
以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明する。本発明はこれら実施例に限定されるものではない。得られた現像銀画像フィルムについては下記の方法により評価した。
【００８３】
〔評価方法〕
〈現像銀ムラ〉
銀量分析器にて幅方向の現像銀のばらつきを現像処理前の銀塩含有層の銀量ばらつきと比較した。
【００８４】
〈フィルム表面性状〉
透過光、反射光での目視検査及び、１０倍ルーペ、光学顕微鏡５０倍にて膜剥がれ、傷汚れがないかを判断した。
【００８５】
〔製造例１〕
（銀塩含有感光材料塗布試料の作製）
塩化銀７０モル％、沃化銀０．０８モル％を含む平均粒子径０．２２μｍ、変動係数９％ヨウ塩臭化銀乳剤を用いて調製した乳剤層塗布液を６５ｃｍ幅のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）上にＡｇ７．８ｇ／ｍ２、ゼラチン０．９４ｇ／ｍ２になるように塗布し、その後乾燥させたものを塗布試料とした。
【００８６】
（露光）
次いで、乾燥させた塗布膜に、ライン／スペース＝５μｍ／１９５μｍの現像銀を与えうる格子状のフォトマスクライン／スペース＝５μｍ／１９５μｍ（ピッチ２００μｍ）のスペースが格子状であるフォトマスクを介して高圧水銀ランプを光源とした平行光を用いて露光した。
【００８７】
〔実施例１〕
図１に示した現像処理装置１０を用い、製造例１で得られた露光済みフィルム（感光ウエブ１２）の現像処理を行った。この現像処理装置１０は、第１槽目が現像処理槽１６であり、幅０．９ｍ×長さ０．２５ｍ×高さ０．５ｍの現像処理槽１６に約１００リットルの現像液が貯留され、温度は２０℃に保たれる。第２槽目は定着槽１８であり、幅０．９ｍ×長さ０．２５ｍ×高さ１ｍの定着槽１８に約２００リットルの定着液が貯留され、温度は２０℃に保たれている。第３槽目は水洗槽２０であり、幅０．９ｍ×長さ０．２５ｍ×高さ１ｍの槽に約２００リットルの純水が貯留されており、温度は２０℃に保たれ、毎分２リットルの純水が供給され、水洗槽２０からオーバーフローされる。
【００８８】
現像処理槽１６、定着槽１８、水洗槽２０の各処理槽には、図２に示す液中ターンバー２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ（以後、２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃを区別する必要がない場合はＡ、Ｂ、Ｃを省略する）が設置されており、液中ターンバー２８は、複数の吐出口３６から処理液を幅方向にほぼ均一に吐出すると共に、処理槽内の処理液がほぼ均一になるように処理液が循環されている。また、現像処理槽１６内の液中ターンバー２８Ａでは、第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎとなるように現像液を吐出するように設定した。また、液中ターンバー２８Ａの両端部では規制板４２によってフィルム（感光ウエブ１２）の両端から排出される現像液量を規制し、また、吐出口３６の開口率は０．６〜２％に設定した。
【００８９】
図１に示した現像処理装置１０でフィルム（感光ウエブ１２）を１．０ｍ／ｍｉｎの速度で搬送した。現像処理槽１６での滞留時間は液中６０秒であり、定着槽１８、水洗槽２０での滞留時間はそれぞれ液中２分であり、該各処理槽出口で処理液がエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂで掻き落され、さらに温風発生装置２２Ａ、２２Ｂから５０℃の温風を送って乾燥させて所望の現像銀画像フィルムを得た。この現像処理を行ったフィルムＡ−１の評価結果を表１と図６に示す。また、現像処理を行う前のフィルム（フィルムＡ）のＡｇ量ばらつきを図８に示す。
【００９０】
〔比較例１〕
図１に示した現像処理装置１０を使用し、図２に示した液中ターンバー２８内部の第２円筒体３８を設けずに液中ターンバー２８の一端側（片方）から処理液を導入し、実施例１の条件でフィルム（感光ウエブ１２）を現像処理して得たフィルムＡ−２の結果を表１と図７に示す。
【００９１】
〔比較例２〕
次に図１に示した現像処理装置１０を使用し、図３に示した液中ターンバー２８に配置した第１円筒体３４に代えて、図９に示す第１円筒体１００を設けた。第１円筒体１００は、表面に複数の矩形状の吐出孔１０２を千鳥模様に配列したものである。その他の液中ターンバー２８の構成は同じであり、実施例１の条件でフィルム（感光ウエブ１２）を現像処理して得たフィルムＡ−３の結果を表１に示す。
【００９２】
【表１】
【００９３】
表１、図６に示すように、本発明の現像処理装置１０により得られた現像銀画像フィルムは、表面に傷、汚れ、ムラがなく幅方向現像銀量ばらつきもほぼ均一であることが判った。表１、図７に示すように、比較例１では液中ターンバー２８への処理液を一端側（片方）から供給したが、液中ターンバー２８からの処理液の吐出量が処理液供給側よりもその反対側が多く、フィルムの浮揚が幅方向の左右で異なったためフィルム表面に擦れた跡が観察され、銀量分布も左右のバランスが悪くなった。また、表１に示すように、比較例２では第１円筒体１００を用いたが、フィルムの全幅に渡って等間隔の濃淡筋が観察された。
【００９４】
〔実施例２〜実施例６〕
次に、無硬膜フィルムＢと、硬膜剤をゼラチン当たり１％添加してゼラチン膜を強くしたフィルムＣとを用い、図１に示した現像処理装置１０を用いて第１円筒体３４からの現像液の吐出流量を変化させて現像処理を行った。
【００９５】
表２に示されるように、使用するフィルムの種類と、現像液の吐出流量については、実施例２〜実施例６、比較例３及び比較例４のように条件を変えて評価を行った。
ここで、無硬膜フィルムＢは、製造例１に示すフィルムでゼラチン硬膜していないフィルムである（表２中のフィルムＮｏ Ｂ−１〜Ｂ−６）。また、フィルムＣは、製造例１に示すフィルムでゼラチン硬膜として硬膜剤をゼラチン当たり１％添加してＰＥＴ上に塗布して乾燥させた試料である（表２中のフィルムＮｏ Ｃ−１）。
【００９６】
【表２】
【００９７】
フィルム性状を評価した結果を表２に示す。比較例３に示されるように、吐出流量４０Ｌ／ｍｉｎ・ｍでは、第１円筒体３４とフィルムＢ−１の隙間が狭くなり第１円筒体３４にフィルムＢ−１が接触することがあり、現像液が塗布膜の剥がれで濁るのが観察されるとともに、乾燥されて出てきたフィルムＢ−１はキズがあり画像が無い部分もあった。
【００９８】
また、実施例２〜実施例５に示されるように、吐出流量５０Ｌ／ｍｉｎ・ｍ〜２００Ｌ／ｍｉｎ・ｍの範囲では、第１円筒体３４とフィルムＢ−２〜Ｂ−５の隙間は幅方向にほぼ一定に確保されて安定に搬送された。乾燥されてでてきたフィルムＢ−２〜Ｂ−５にはスジ、キズがなく良好であった。
【００９９】
また、比較例４に示されるように、吐出流量２５０Ｌ／ｍｉｎ・ｍでは、第１円筒体３４とフィルムＢ−６の隙間は確保されて安定に搬送されたが、噴流でフィルムＢ−６上の塗膜が剥がされ、現像液が濁るのが観察された。さらに、乾燥後のフィルムＢ−６には膜剥がれの後があり、画像にムラがあった。
【０１００】
次に、実施例６に示されるように、吐出流量２００Ｌ／ｍｉｎ・ｍで硬膜剤で塗膜を強くしたフィルムＣ−１を用いて現像処理をしたところ、現像液の濁りもなく乾燥後のフィルムＣ−１も良好であった。
【０１０１】
なお、本実施形態では、光透過性電磁波遮蔽材料を製造する装置及び製造方法について説明したが、これに限られず、例えば、その他工業品などの微細な導電性金属部からなる細線状パターンを有する光透過性導電性材料の製造装置及び製造方法としても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の一実施形態における感光材現像処理方法が適用された現像処理装置を示す概略構成図である。
【図２】図１に示す現像処理装置で用いられる液中ターンバーの長手方向に沿って切断した状態で示す構成図である。
【図３】図１に示す現像処理装置で用いられる液中ターンバーを示す分解斜視図である。
【図４】図１に示す現像処理装置で用いられる液中ターンバーを示す側面図、液中ターンバーの長手方向と直交する方向に切断した状態で示す構成図、吐出口の部分拡大図である。
【図５】液中ターンバーに用いられる第２円筒体の長手方向に沿って切断した状態で示す構成図である。
【図６】実施例１のフィルムの現像処理後の幅方向のＡｇ量ばらつきを示すグラフである。
【図７】比較例１のフィルムの現像処理後の幅方向のＡｇ量ばらつきを示すグラフである。
【図８】現像処理前のフィルムの幅方向のＡｇ量ばらつきを示すグラフである。
【図９】比較例２の液中ターンバーに用いられる第１円筒体を示す側面図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１０ 現像処理装置
１２ 感光ウエブ（帯状感光材）
１６ 現像処理槽
１８ 定着槽
２０ 水洗槽
２６ 支持ロール
２８Ａ 液中ターンバー（感光材方向転換部材）
２８Ｂ 液中ターンバー（感光材方向転換部材）
２８Ｃ 液中ターンバー（感光材方向転換部材）
３２ 現像液
３４ 第１円筒体
３６ 吐出口
３８ 第２円筒体
３８Ａ 一端
３８Ｂ 他端
４０ 噴出口
４２ 規制板
４４ ガイドローラ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光済みの帯状感光材を現像液内で現像処理する感光材現像処理方法及び導電膜付きフィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
銀塩感光材料を露光して現像処理した後、表面抵抗低減処理を施した透光性導電膜としては、近年ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）の電磁波シールド膜が知られている。
【０００３】
ＰＤＰの電磁波シールド膜を銀塩感光材料で製造するには、該銀塩の現像銀の導電性を向上させるために、特許文献１に開示されるように銀塩乳剤のバインダー減量や銀塩乳剤塗膜の膨潤量を大きくすることが有効であるが、現像時に銀塩塗膜の強度が弱くなることと、現像時の銀溶出量が多くなり、通常のローラトランスポート型自動現像機では銀塩塗膜の膜剥がれや、還元銀がローラを介して膜面に付着し面状欠陥が生じやすい。
【０００４】
この対策として、特許文献２に開示されるように、搬送ガイドである方向転換部材の表面に設けられた複数の噴出孔から流体を噴出させ、方向転換部材とフィルムとの間に間隙をつくってフィルムの搬送を非接触で行う装置が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３３２４５９号公報
【０００６】
【特許文献２】特開平８−２４５０２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献２に記載される装置では、方向転換部材の表面に設けられた複数の噴出口から流体が噴出されるため、方向転換部材の幅方向に渡って流体が噴出する場所と噴出されない場所が生じる。
【０００８】
例えば、現像処理を行う場合に方向転換部材の幅方向に渡って現像液が一様に当たらないと、銀塩含有層表面の現像液の更新が異なり現像速度の差を生じ、結果として現像銀画像に筋状のムラが生じる可能性がある。
【０００９】
方向転換部材の幅方向に一様な現像液を噴出させるためには、方向転換部材の幅方向に渡って複数のスリットを設けることが良いが、スリット形状が噴出口の場合、方向転換部材の幅方向に渡って現像液の噴出量を一様にするのは困難であり、方向転換部材の幅方向でフィルムの浮上量に差が生じる可能性がある。結果として前述した現像速度の差を生じ、現像銀画像にムラを生じる可能性がある。
【００１０】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、銀汚れ、傷、膜剥がれなどを発生させることなく、幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像が得られる感光材現像処理方法及び導電膜付きフィルムの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理すると共に、前記現像液内で前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された感光材方向転換部材で前記帯状感光材を方向転換させる感光材現像処理方法であって、前記感光材方向転換部材の表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から、１ｍ当たりの前記現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎとなるように前記現像液を吐出し、前記帯状感光材を前記感光材方向転換部材から浮揚させて非接触で方向転換させることを特徴としている。
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理する。現像液内では、帯状感光材の搬送方向と交差する方向に感光材方向転換部材が配置されており、表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）となるように現像液を吐出する。複数のスリット状の吐出口から吐出される現像液により、帯状感光材が感光材方向転換部材の表面から幅方向にほぼ均一に浮揚し、帯状感光材が感光材方向転換部材の表面と非接触で方向転換される。このため、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触による帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれ（銀塩塗膜や現像銀画像の剥がれ）などの発生が抑制される。このため、支持フィルム上の幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像を得ることができる。
【００１３】
これに対して、感光材方向転換部材の１ｍ当たりの現像液の吐出量が、５０ｌ／ｍｉｎより小さいと、感光材方向転換部材の表面からの帯状感光材の浮揚が幅方向において不十分となる部分が生じ、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触により帯状感光材の銀汚れ、傷などが発生する可能性がある。また、感光材方向転換部材の１ｍ当たりの現像液の吐出量が、２００ｌ／ｍｉｎより大きいと、現像液の吐出流が大きいため、膜剥がれなどが発生する可能性がある。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理すると共に、前記現像液内で前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された感光材方向転換部材で前記帯状感光材を方向転換させる感光材現像処理方法であって、前記感光材方向転換部材の表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から前記現像液を吐出し、前記帯状感光材を前記感光材方向転換部材から浮揚させて非接触で方向転換させると共に、前記感光材方向転換部材の幅方向両端部に設けた規制板で前記帯状感光材の幅方向両端から排出される前記現像液の排出量を規制し、前記帯状感光材と前記感光材方向転換部材との間隔を調整することを特徴としている。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理する。現像液内では、帯状感光材の搬送方向と交差する方向に感光材方向転換部材が配置されており、表面の長手方向に形成された複数のスリット状の吐出口から現像液を吐出する。吐出口からの現像液の吐出により、帯状感光材が感光材方向転換部材の表面から浮揚して非接触で方向転換される。その際、感光材方向転換部材の幅方向両端部に設けた規制板で帯状感光材の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制し、帯状感光材と感光材方向転換部材との間隔を調整することにより、帯状感光材と感光材方向転換部材との間隔が幅方向にほぼ均一となる。このため、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触による帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれなどの発生が抑制される。このため、支持フィルム上の幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像を得ることができる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の感光材現像処理方法において、前記吐出口の開口率を０．６〜２％に設定して前記吐出口から吐出される前記現像液の量を調整することを特徴としている。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、吐出口の開口率を０．６〜２％に設定することで、複数のスリット状の吐出口から排出される現像液の量が適切に調整され、帯状感光材と感光材方向転換部材との間隔がより一層均一となる。このため、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触による帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれなどの発生が抑制される。これに対して、吐出口の開口率が０．６％より小さいと、複数の吐出口から排出される現像液の量が不十分となり、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触により帯状感光材の銀汚れ、傷などが発生する可能性がある。また、吐出口の開口率が２％より大きいと、現像液の吐出流が大きくなり、膜剥がれなどが発生する可能性がある。
【００１８】
請求項４に記載の発明に係る導電膜付きフィルムの製造方法は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法を用いて前記帯状感光材を現像処理して金属銀部を形成する工程と、前記金属銀部の上にめっきして導電膜を形成する工程と、を有することを特徴としている。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法を用いて前記帯状感光材を現像処理して金属銀部を形成する工程と、前記金属銀部の上にめっきして導電膜を形成する工程と、を施すことにより、導電膜付きフィルムが製造される。その際、感光材方向転換部材の表面と帯状感光材との接触による帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれなどの発生が抑制されることにより、帯状感光材に幅方向においてムラの無いほぼ均一な金属銀部が形成され、金属銀部の上にめっきすることによりムラの無いほぼ均一な導電膜付きフィルムを得ることができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法において、前記感光材方向転換部材が、前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置され、表面に長手方向に沿って前記現像液を吐出する複数のスリット状の吐出口を備えた第１筒状体と、前記第１筒状体の内部に配置され、前記現像液を噴出する噴出口を備えた第２筒状体と、を有することを特徴としている。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、現像液内に配置された感光材方向転換部材が、帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された第１筒状体と、第１筒状体の内部に配置された第２筒状体とを有しており、第１筒状体には、表面に長手方向に沿って複数のスリット状の吐出口が形成され、第２筒状体には噴出口が形成されている。そして、第２筒状体の噴出口から第１筒状体の内部に現像液が噴出され、さらに第１筒状体の内部の現像液が複数のスリット状の吐出口から第１筒状体と帯状感光材との間に吐出されることにより、帯状感光材が第１筒状体の表面から浮揚し、帯状感光材が第１筒状体の表面と非接触で方向転換される。このため、帯状感光材と第１筒状体の表面との接触が抑制され、帯状感光材の銀汚れ、傷、膜剥がれ（銀塩塗膜や現像銀画像の剥がれ）などの発生が抑制される。また、第１筒状体のスリット状の吐出口からの現像液の吐出が長手方向に連続であることにより、帯状感光材の幅方向において現像ムラの発生が抑制される。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の感光材現像処理方法において、前記帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側の前記吐出口の間隔が、前記帯状感光材の搬送方向中間部の前記吐出口の間隔よりも小さいことを特徴としている。
【００２３】
請求項６に記載の発明によれば、帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側の吐出口の間隔が、帯状感光材の搬送方向中間部の吐出口の間隔よりも小さいので、帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側では、帯状感光材の搬送方向中間部に比べて間隔が小さい吐出口から現像液が吐出される。第１筒状体の吐出口から吐出された現像液は、帯状感光材の幅方向両端と帯状感光材の搬送方向上流側の入口と搬送方向下流側の出口の４方向から排出されるが、帯状感光材の搬送方向上流側の入口と搬送方向下流側の出口では、帯状感光材と感光材方向転換部材とが接触しやすい傾向がある。本発明では、帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側では、帯状感光材の搬送方向中間部に比べて間隔が小さい吐出口から現像液が吐出されるので、帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側で十分な現像液が吐出され、帯状感光材と第１筒状体との接触が抑制される。このため、帯状感光材の銀汚れ、傷、膜剥がれなどの発生がより一層抑制される。
【００２４】
請求項７に記載の発明は、請求項５又は請求項６に記載の感光材現像処理方法において、前記第１筒状体の長手方向両端部に設けられ、前記第１筒状体の表面から突出し、前記帯状感光材の幅方向両端から排出される前記現像液の排出量を規制する規制板を設けたことを特徴としている。
【００２５】
請求項７に記載の発明によれば、第１筒状体の長手方向両端部に、第１筒状体の表面から突出する規制板が設けられており、帯状感光材の幅方向両端の第１筒状体との隙間から排出される現像液の排出量を規制することで、帯状感光材と第１筒状体との間隔を調整することができる。このため、第１筒状体の表面と帯状感光材との接触がより一層抑制され、帯状感光材の銀汚れ、傷、膜剥がれなどの発生が抑制されると共に、帯状感光材の幅方向における現像ムラの発生が抑制される。
【００２６】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の感光材現像処理方法において、前記第１筒状体の表面からの前記規制板の高さは、前記第１筒状体の表面と前記帯状感光材との間隔より高いことを特徴としている。
【００２７】
請求項８に記載の発明によれば、第１筒状体の表面からの規制板の高さは、第１筒状体と帯状感光材との間隔より高いので、帯状感光材の幅方向両端から排出される現像液の排出量がより一層規制され、帯状感光材と第１筒状体との間隔をより効果的に調整することができる。
【００２８】
請求項９に記載の発明は、請求項５から請求項８までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法において、前記吐出口が、前記第１筒状体の裏面側で狭く、前記第１筒状体の表面側で広くなるテーパ状に形成されていることを特徴としている。
【００２９】
請求項９に記載の発明によれば、吐出口が、第１筒状体の裏面側で狭く、第１筒状体の表面側で広くなるテーパ状に形成されているので、吐出口から吐出される現像液の流圧が高くなることが抑制され、帯状感光材の膜剥がれなどの発生が抑制される。
【００３０】
請求項１０に記載の発明は、請求項５に記載の感光材現像処理方法において、前記第２筒状体が、長手方向の一端に前記現像液を導入する導入部を備え、前記噴出口が長手方向に形成された複数の噴出孔であり、長手方向の他端側に設けられた前記噴出孔が、長手方向の一端側に設けられた前記噴出孔よりも小さいことを特徴としている。
【００３１】
請求項１０に記載の発明によれば、第２筒状体の長手方向の一端に設けられた導入部に現像液が導入され、第２筒状体の長手方向に形成された複数の噴出孔から現像液が噴出される。そのとき、第２筒状体の長手方向の他端側に設けられた噴出孔が、長手方向の一端側に設けられた噴出孔よりも小さいので、他端側の噴出孔と一端側の噴出孔から噴出される現像液量の差が小さくなり、第１筒状体の複数のスリット状の吐出口から吐出される現像液が幅方向においてほぼ均一となる。例えば、第２筒状体の長手方向の一端から現像液を導入すると、第２筒状体の複数の噴出孔を長手方向の一端側から他端側で同径にした場合、または第２筒状体を第１筒状体への導入口にのみ配置した場合には、第１筒状体の他端側は静圧が大きく、他端側の吐出口からの現像液吐出量が大きくなり、一端側（導入側）の吐出口からの現像液吐出量が小さくなる傾向がある。本発明では、長手方向の他端側に設けられた噴出孔が、長手方向の一端側（導入側）に設けられた噴出孔よりも小さいので、他端側の噴出孔と一端側の噴出孔から噴出される現像液量の差が小さく、その結果、第１筒状体の複数の吐出口から吐出される現像液が幅方向においてほぼ均一となる。
【００３２】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の感光材現像処理方法において、前記第２筒状体の長手方向の前記他端側から前記一端側に向かうに従って、前記噴出孔が徐々に大きくなるように形成されていることを特徴としている。
【００３３】
請求項１１に記載の発明によれば、第２筒状体の長手方向の他端側から一端側に向かうに従って、噴出孔が徐々に大きくなるように形成されているので、複数の噴出孔から噴出される現像液量の差がより一層小さくなる。そのため、第１筒状体の複数の吐出口から吐出される現像液が幅方向においてより一層均一となる。
【００３４】
請求項１２に記載の発明は、請求項５又は請求項６に記載の感光材現像処理方法において、前記第１筒状体は、前記噴出口と対向する部分に前記吐出口を設けないことを特徴としている。
【００３５】
請求項１２に記載の発明によれば、第１筒状体は、噴出口と対向する部分に前記吐出口を設けないので、第２筒状体の噴出口から噴出された現像液が第１筒状体の内壁に当たって動圧が抑制されると共に、内壁の両側に流れた現像液が第１筒状体の吐出口から吐出される。これにより、第２筒状体の噴出口から噴出された現像液が第１筒状体の吐出口から直接吐出されるショートパスなどが抑制される。
【発明の効果】
【００３６】
以上説明したように、本発明によれば、帯状感光材の銀汚れ、傷などの発生を抑制することができると共に、膜剥がれなどの発生を抑制することができる。このため、支持フィルム上の幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像（金属銀部）を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。
【００３８】
図１には、本発明に係る感光材現像処理方法が適用される現像処理装置が示されている。この現像処理装置は、露光が施された帯状感光材としての感光ウエブの現像・定着・洗浄を行う装置である。図１に示されるように、現像処理装置１０には、帯状の支持フィルム上に銀塩含有層を有する感光ウエブ１２が、銀塩含有層を上にして巻き出し軸１４にローラ状に巻かれている。この感光ウエブ１２は、図示しない露光装置により所望の細線状のパターン露光が施されたものである。
【００３９】
巻き出し軸１４から送り出された感光ウエブ１２の搬送方向下流側には、現像液が貯留された現像処理槽１６と、定着液が貯留された定着槽１８と、純水（洗浄液）が貯留された水洗槽２０と、が配設されている。水洗槽２０より感光ウエブ１２の搬送方向下流側には、感光ウエブ１２の両面を乾燥させる温風発生装置２２Ａ、２２Ｂが配設され、さらに感光ウエブ１２の搬送方向下流側には、感光ウエブ１２を巻き取る巻き取り軸２４が配設されている。
【００４０】
巻き出し軸１４から送り出された感光ウエブ１２は、現像処理槽１６の上部に配置された支持ロール２６を経て現像処理槽１６に搬送される。現像処理槽１６内には、感光材方向転換部材としての液中ターンバー２８が配置されており、液中ターンバー２８で感光ウエブ１２は銀塩含有層が非接触となるように支持され、方向転換される。感光ウエブ１２の搬送方向下流側の現像処理槽１６の出口には、感光ウエブ１２の両面に対向するようにエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂが配設されており、現像処理槽１６内を搬送された感光ウエブ１２は、現像処理槽１６の出口でエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂから吹き出されるエアーにより現像液が掻き落とされ、現像処理槽１６の上部と定着槽１８の上部に配置された２本の支持ロール２６を経て次の定着槽１８に導入される。
【００４１】
以下、上記の現像処理槽１６と同様に、感光ウエブ１２は、定着槽１８内の液中ターンバー２８Ｂで銀塩含有層が非接触の状態で方向転換され、定着槽１８の出口で感光ウエブ１２の両面に対向して配置されたエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂで定着液が掻き落とされ、２本の支持ロール２６を経て次の水洗槽２０に導入される。さらに感光ウエブ１２は、水洗槽２０内の液中ターンバー２８Ｃで銀塩含有層が非接触の状態で方向転換され、水洗槽２０の出口で感光ウエブ１２の両面に配置されたエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂで純水が掻き落とされ、水洗槽２０の上部に配置された支持ロール２６を経て温風発生装置２２Ａ、２２Ｂに搬送される。そして、温風発生装置２２Ａ、２２Ｂから発生する温風により感光ウエブ１２の両面が乾燥され、感光ウエブ１２は支持ロール２６を経て巻き取り軸２４で巻き取られる。図示していないがこの一連の現像処理装置１０は感光ウエブ１２を一定のテンションで搬送できるように巻き出し軸１４にはトルク調整機構をもつ。
【００４２】
このような現像処理装置１０では、複数の支持ロール２６と液中ターンバー２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃによって、感光ウエブ１２が現像処理槽１６、定着槽１８、水洗槽２０内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われ、さらに感光ウエブ１２を乾燥させることで、細線メッシュ状の現像銀画像（金属銀部）が形成された感光ウエブ１２（導電性材料）が得られる。現像処理装置１０により処理されて得られた感光ウエブ１２は、透光性電磁波シールド膜に好適に使用できる。例えば、現像処理装置１０により感光ウエブ１２を処理して発現された細線メッシュ状の現像銀画像（金属銀部）に、めっき処理（例えば、Ｃｕめっきなど）によって導電膜を形成することで、透光性電磁波シールド膜（導電膜付きフィルム）を製造することができる。
【００４３】
ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる現像処理技術を適用することができる。現像液、定着液、洗浄液もこれらに準じて適宜適用することができる。例えば、現像液としては、特に限定しないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、例えば、富士フイルム社製のＣＮ−１６、ＣＲ−５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ−３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社製のＣ−４１、Ｅ−６、ＲＡ−４、Ｄ−１９、Ｄ−７２などの現像液、又はそのキットに含まれる現像液、また、Ｄ−８５などのリス現像液を用いることができる。なお、定着処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる。
【００４４】
また、現像処理装置１０の現像処理槽１６、定着槽１８、水洗槽２０の各処理槽からの各処理液の持ち出し及び持ち込みは、補充量の増大、次の処理槽での溶解物理現像の促進、処理液の劣化等が生じて好ましくない。また、各処理槽から次の処理槽へのクロスオーバー部における処理液の液ダレは処理むら、乾燥ムラの原因となり、歩留まりを悪化させる。本実施形態の現像処理装置１０では、現像処理槽１６、定着槽１８、水洗槽２０の各処理槽の出口に感光ウエブ１２の両面に対向してエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂを配置したので、感光ウエブ１２の表裏に付着した処理液を取り除くことができる。
【００４５】
エアーナイフ３０Ａ、３０Ｂの配置はできるだけ各処理槽の処理液表面を感光ウエブ１２が出た直後が好ましいが、エアーの圧力で処理液表面が撹乱され飛散するので、飛散しない距離を開けると共に、感光ウエブ１２の流入部、流出部を除いて各処理槽全体に蓋３１を設けることが好ましい。
【００４６】
また、感光ウエブ１２の現像銀画像を有する面はウエット状態で軟膜のため、エアーナイフ３０Ａ、３０Ｂに供給するエアー量を少なくするが、特に現像処理槽１６からの現像液の持ち出しは定着槽１８での液疲労、溶解物理現像を生じやすく、これを回避するために現像処理槽１６の後に停止浴槽を設けることが好ましい。
【００４７】
図２には、現像処理槽１６内に配置された液中ターンバー２８Ａの長手方向に沿った断面図が示されており、図３には、液中ターンバー２８Ａの分解斜視図が示されている。また、図４には、液中ターンバー２８Ａの側面図及び長手方向と直交する方向における断面図等が示されている。なお、定着槽１８内に配置された液中ターンバー２８Ｂ、水洗槽２０内に配置された液中ターンバー２８Ｃは、吐出する液が現像液に代えて定着液又は純水である点で異なり、その他は同じであるので、ここでは液中ターンバー２８Ａを例として説明する。
【００４８】
図２に示されるように、液中ターンバー２８Ａは、現像処理槽１６に貯留される現像液３２内に、感光ウエブ１２の搬送方向とほぼ直交する方向に配置されている。図２〜図４に示されるように、液中ターンバー２８Ａは、外側に配置された第１円筒体３４と、この第１円筒体３４の内部に配置された第２円筒体３８と、を備えている。第１円筒体３４は、表面に長手方向に沿って現像液を吐出する複数のスリット状の吐出口３６を備えている。第２円筒体３８は、表面に現像液を噴出する複数の噴出口４０を備えている。第１円筒体３４は、両端部が環状体３５で塞がれており、環状体３５の中心の開口部に第２円筒体３８が挿入されている。
【００４９】
第１円筒体３４は、感光ウエブ１２の搬送方向上流側の入口Ａ付近と搬送方向下流側の出口Ｂ付近における吐出口３６の間隔（周方向の間隔）よりも、感光ウエブ１２の搬送方向中間部Ｃにおける吐出口３６の間隔が大きく形成されており、感光ウエブ１２の搬送方向中間部Ｃから搬送方向上流側の入口Ａ付近と搬送方向下流側の出口Ｂ付近に向かって、吐出口３６の間隔が徐々に小さくなるように形成されている。また、第１円筒体３４には、感光ウエブ１２が搬送時に対向しない部分（図３及び図４（Ｂ）中の上部）に吐出口３６を有しない壁部３４Ａが設けられている。第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から現像液が吐出されることで、感光ウエブ１２が第１円筒体３４の表面から浮揚し、非接触で方向転換されるようになっている。
【００５０】
その際、感光ウエブ１２の搬送方向中間部Ｃから搬送方向上流側の入口Ａ付近と搬送方向下流側の出口Ｂ付近に向かって、吐出口３６の間隔が徐々に小さくなるように形成されているので、入口Ａ付近と出口Ｂ付近では、搬送方向中間部Ｃに比べて間隔が小さい吐出口３６から現像液が吐出される。第１円筒体３４の吐出口３６から吐出された現像液は、感光ウエブ１２の幅方向両端と入口Ａと出口Ｂの４方向から排出されるが、一般的に、感光ウエブ１２の入口Ａ付近と出口Ｂ付近では感光ウエブ１２と第１円筒体３４とが接触しやすい傾向がある。本実施形態では、感光ウエブ１２の入口Ａ付近と出口Ｂ付近では、搬送方向中間部Ｃに比べて間隔が小さい吐出口３６から現像液が吐出されるので、感光ウエブ１２の入口Ａ付近と出口Ｂ付近で十分な現像液が吐出され、帯状感光材と第１筒状体とが接触することが抑制される。
【００５１】
第１円筒体３４の長手方向両端部には、第１円筒体３４の表面から半径方向に突出し、感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制するフランジ状の規制板４２が設けられている。この規制板４２は、感光ウエブ１２の幅方向両端よりも外側、すなわち、感光ウエブ１２の幅方向長さよりも広い間隔で配置されている。本実施形態では、感光ウエブ１２の両端縁から約１０ｍｍ離れた位置に設けられている。規制板４２により感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制することで、第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間隔を調整するようになっている。規制板４２の半径方向の高さは、吐出口３６からの現像液の吐出により感光ウエブ１２が浮揚したときに、第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間隔より高くなるように設定されている。
【００５２】
第１円筒体３４の吐出口３６から噴出した現像液は感光ウエブ１２の幅方向両端と感光ウエブ１２の搬送方向における入口Ａと出口Ｂの４方向から排出される。このため、感光ウエブ１２の幅方向両端からの現像液の排出は、感光ウエブ１２の幅方向中央部と幅方向両端での現像液の滞留時間に差が生じやすく、銀塩含有層表面の現像液の更新に差が生じ、その結果、銀塩の現像進行に差が生じて幅方向に現像銀画像のムラが生じやすくなる傾向がある。本実施形態では、規制板４２を配置して感光ウエブ１２の幅方向両端からの現像液の排出を規制することで、第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間の間圧が上昇し、感光ウエブ１２の幅方向中央部と幅方向端部の現像液の滞留時間の差を小さくすることができる。
【００５３】
第１円筒体３４の吐出口３６は、図４（Ｃ）に示されるように、第１円筒体３４の内側で狭く、第１円筒体３４の外側で広くなるようにテーパ状に形成されている。これにより、吐出口３６から吐出される現像液の流圧が高くなることが抑制され、感光ウエブ１２の膜剥がれの発生を抑制することができる。なお、吐出口３６は、本実施形態のようにテーパ状に形成せずに、第１円筒体３４の内側と外側とで略同一幅としてもよい。
【００５４】
第１円筒体３４の吐出口３６の開口率は、小さい方が現像液の吐出量が少なく、第１円筒体３４と感光ウエブ１２間の圧力を維持して感光ウエブ１２を浮揚させるのに有利であるため、吐出口３６のスリット巾は０．３〜０．５ｍｍ（内側の狭い部分の巾）が好ましく、開口率は０．６〜２％が好ましい。また、開口率は０．８〜１％がより好ましい。ここで、開口率は、吐出口３６のスリット巾をＬ（ｍｍ）とし、第１円筒体３４の直径をＤ（ｍｍ）としたとき、
【００５５】
開口率（％）＝Ｌ×スリット本数／πＤ
【００５６】
で求められる。吐出口３６の開口率を０．６〜２％に設定することで、複数の吐出口３６から排出される現像液の量を適切に調整することができる。なお、スリット形状の場合、一般的に幅方向に渡って液の噴出流量に分布（偏り）が出やすいと言われているが、吐出口３６のスリット巾は０．３〜０．５ｍｍのように狭くすることで、円筒体内部の流量分布をなくして幅方向に均一な浮上を得るようできる。
【００５７】
感光ウエブ１２の搬送方向上流側の入口Ａと搬送方向下流側の出口Ｂには、第１円筒体３４の表面と所定の間隔をおいてガイドローラ４４が配設されている。第１円筒体３４の長手方向両端部には、支持部材４６が配設されており、支持部材４６にガイドローラ４４の軸部４４Ａが回転可能に支持されている。このガイドローラ４４によって感光ウエブ１２が搬送方向に案内され、入口Ａ付近と出口Ｂ付近で感光ウエブ１２が第１円筒体３４に接触することが抑制される。
【００５８】
なお、第１円筒体３４は、本実施形態では中空円筒体であるが、楕円もしくは半円筒でもよい。
【００５９】
第２円筒体３８は、第１円筒体３４の内部に全幅に渡って挿入されている。第２円筒体３８の長手方向の一端３８Ａには、現像液を導入する管状導入部４８が接続されており、長手方向の他端３８Ｂは蓋部３８Ｃで塞がれている。第２円筒体３８の一端３８Ａの管状導入部４８よりも中央部側には、第２円筒体３８の周囲に環状の取付板７０が設けられており、ビス７２によって取付板７０が第１円筒体３４に取付けられている。第２円筒体３８には、長手方向に沿って複数の円形の噴出口４０が設けられている。複数の噴出口４０は、長手方向の他端３８Ｂ側の口径が小さく、他端３８Ｂ側から長手方向の一端３８Ａ側に向かうに従って口径が徐々に大きくなるように形成されている。また、複数の噴出口４０は、中心がほぼ等間隔となるように配置されている。噴出口４０の口径の合計は第２円筒体３８の内径に等しく、口径の決定は圧力損失計算と実験により決定した。本実施形態では、図５に示されるように、噴出口４０の中心間の間隔は約４５ｍｍであり、第２円筒体３８の内径は約２５ｍｍであり、また、第２円筒体３８の幅方向長さは約８００ｍｍに設定されている。また、第２円筒体３８の長手方向の一端３８Ａ側の最も導入側に近い噴出口４０Ａの口径は約６．８ｍｍに設定され、第２円筒体３８の長手方向の他端３８Ｂ側の最も端末側に近い噴出口４０Ｂの口径は約５．４ｍｍに設定されている。
【００６０】
この第２円筒体３８では、複数の噴出口４０の口径を長手方向の他端３８Ｂ側から一端３８Ａ側に向かうに従って徐々に大きくなるように形成すると共に、噴出口４０の中心をほぼ等間隔に配置することにより、第１円筒体３４の複数の吐出口３６から吐出される現像液が幅方向においてほぼ均一となる。第２円筒体３８の複数の噴出口の口径を長手方向の一端３８Ａ側から他端３８Ｂ側まで同径にした場合、または第２円筒体３８を第１円筒体３４への導入口にのみ配置した場合には、第１円筒体の他端３８Ｂ側（端末側）は静圧が大きく、吐出口３６からの現像液吐出量が大きくなり、現像液の一端３８Ａ側（導入側）は現像液吐出量が小さくなる。
【００６１】
また、図４（Ｂ)に示されるように、複数の噴出口４０は、第１円筒体３４の吐出口３６を有しない壁部３４Ａと対向する位置（図３及び図４（Ｂ）中の上部）に設けられている。複数の噴出口４０を第１円筒体３４の壁部３４Ａと対向する位置に設けることで、複数の噴出口４０から噴出された現像液が第１円筒体３４の壁部３４Ａに当たって動圧が抑制されると共に、壁部３４Ａの両側に流れた現像液が第１円筒体３４の吐出口３６から吐出される。これにより、複数の噴出口４０から噴出された現像液が第１円筒体３４の吐出口３６から直接吐出されるショートパスなどが抑制される。
【００６２】
図２に示されるように、現像処理槽１６の上部には、現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂが設けられており、現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂにそれぞれ接続される配管５２は１本の配管５３となり、配管５３には、ポンプ５４、自動定流量弁（流量調整弁）５６、流量計５８、プレート式熱交換器６０が設けられている。また、配管５３の下流側端部は管状導入部４８に接続されている。ここで自動定流量弁５６は圧力変動による流量変動をなくす目的で設置され、流量計５８は流量を管理する目的で設置され、プレート式熱交換器６０は槽内温度ほぼ一定に保つために設置されている。
【００６３】
また、現像処理槽１６とは別に補充用の現像液を貯留する補充タンク６２が設けられており、補充タンク６２には配管６４が接続され、配管６４にポンプ６６が設けられている。配管６４の下流側は２本の配管６５に分岐され、現像処理槽１６の上部の現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂの近くに導かれている。感光ウエブ１２の現像処理においては、感光ウエブ１２の現像処理量に従って現像液の補充が重要である。本実施形態では、液中ターンバー２８Ａへの現像液の供給は現像処理槽１６内の現像液３２を循環して行うが、この循環経路上に現像液を補充することで、現像処理槽１６内の現像液３２の濃度をほぼ均一に維持することができる。また、補充する現像液を循環経路上の現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂ付近に滴下することで、乱流流れの配管５２、５３内で混合され、液中ターンバー２８Ａ内部の第２円筒体３８に幅方向にほぼ均一に供給される。さらに、第１円筒体３４の複数の吐出口３６から現像液が吐出された後は、感光ウエブ１２の入口Ａ、出口Ｂ方向、及び感光ウエブ１２の幅方向両端から排出され、現像処理槽１６内の流動及び拡散で均一化される。
【００６４】
このような液中ターンバー２８Ａでは、第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）となるように現像液を吐出するように設定している。また、１ｍ当たりの現像液の吐出量は、７０〜１５０ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）がより好ましく、８０〜１００ｌ／ｍｉｎ（リットル／分）がさらに好ましい。
【００６５】
また、感光ウエブ１２を搬送するときの張力は、３Ｎ／ｍ以上、１５０Ｎ／ｍ以下とすることが好ましい。張力を３Ｎ／ｍ未満にすると、支持ロール２６が回転しなくなり、フィルムに傷がついてしまった。また１５０Ｎ／ｍを超えると、感光ウエブ１２に皺が発生して液中ターンバー表面にフィルムが接触して現像銀画像に傷をつける問題があった。
【００６６】
また、現像処理装置１０における現像液の温度は、感光ウエブ１２の銀塩含有層の膜強度、現像処理速度によるが、１６℃〜４０℃の範囲が好ましく、２０℃〜３６℃の範囲がより好ましい。
【００６７】
次に、本実施形態の現像処理方法が適用される液中ターンバー２８Ａの作用について説明する。
【００６８】
液中ターンバー２８Ａへの現像液３２の供給は、現像処理槽１６の上部に設けられた現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂから配管５２、５３を経由してポンプ５４に送られ、自動定流量弁５６、流量計５８、プレート式熱交換器６０を経由して管状導入部４８から第２円筒体３８に導かれる。第２円筒体３８では、複数の噴出口４０の口径が長手方向の他端３８Ｂ側から一端３８Ａ側に向かうに従って徐々に大きくなるように形成されており、複数の噴出口４０から現像液が第１円筒体３４の内部に幅方向にほぼ均一に噴出される。その際、図４（Ｂ）に示されるように、第２円筒体３８の複数の噴出口４０から現像液が第１円筒体３４の内部の壁部３４Ａの方向（矢印方向）に噴出され、さらに第１円筒体３４の壁部３４Ａの両側に流れた現像液が第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６からポンプ５４の圧送によって第１円筒体３４と感光ウエブ１２との間に吐出される。複数の吐出口３６から吐出された現像液は、感光ウエブ１２のガイドローラ４４付近の入口Ａと出口Ｂ、及び第１円筒体３４の幅方向両端側の感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される。複数の吐出口３６から吐出される現像液により、感光ウエブ１２が第１円筒体３４から浮揚し、第１円筒体３４と非接触で搬送されて方向転換される。
【００６９】
また、補充タンク６２から補充される現像液（補充液）は、配管６４を経てポンプ６６に送られ、配管６５を経由して現像処理槽１６の現像液吸い込み口５０Ａ、５０Ｂの近くに滴下される。滴下された現像液（補充液）は循環経路中の配管５２、５３内の乱流によって完全混合され、第２円筒体３８の複数の噴出口４０から第１円筒体３４の内部に幅方向にほぼ均一に噴出される。
【００７０】
このような液中ターンバー２８Ａでは、第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎとなるように現像液を吐出するように設定することにより、液中ターンバー２８Ａ（第１円筒体３４）の表面から感光ウエブ１２が幅方向にほぼ均一に浮揚し、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａの表面とが所定の間隔で維持される。このため、液中ターンバー２８Ａの表面と感光ウエブ１２との接触による感光ウエブ１２の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が大きいことによる膜剥がれ（銀塩塗膜や現像銀画像の剥がれ）などの発生が抑制される。このため、感光ウエブ１２の幅方向においてムラの無いほぼ均一な現像銀画像（金属銀部）を得ることができる。
【００７１】
これに対して、液中ターンバー２８Ａの１ｍ当たりの現像液の吐出量が、５０ｌ／ｍｉｎより小さいと、液中ターンバー２８Ａの表面からの感光ウエブ１２の浮揚が不十分となり、液中ターンバー２８Ａの表面と感光ウエブ１２との接触により感光ウエブ１２の銀汚れ、傷などが発生する可能性がある。また液中ターンバー２８Ａの１ｍ当たりの現像液の吐出量が、２００ｌ／ｍｉｎより大きいと、現像液の吐出流が大きくなり、膜剥がれなどが発生する可能性がある。なお、膜剥がれは感光ウエブ１２の種類によって発生の頻度が異なるが、例えば、硬膜処理されていない感光ウエブ（無硬膜感光ウエブ）のときに発生し易い。本発明では、上述した構成の液中ターンバーを使用して現像液の吐出量を調整することで硬膜処理されていない感光ウエブに対しても効率的に現像処理を行うことができる。なお、本発明では、銀塩感光層に硬膜剤が添加されてゼラチン膜質が強化されたものが硬膜処理されたものであり、硬膜剤が添加されていないものが硬膜処理されていないものである。
【００７２】
また、液中ターンバー２８Ａの両端側の感光ウエブ１２の幅方向両端から排出される現像液の排出量を規制板４２によって規制することで、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔を調整する。これにより、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔が幅方向にほぼ均一となり、液中ターンバー２８Ａの表面と感光ウエブ１２との接触による感光ウエブ１２の銀汚れ、傷などの発生が抑制されると共に、現像液の吐出流が小さくても感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔が一定に保持される。
【００７３】
また、第１円筒体３４の吐出口３６の開口率を０．６〜２％に設定することで、複数の吐出口３６から排出される現像液の量が適切に調整され、感光ウエブ１２と液中ターンバー２８Ａとの間隔がほぼ均一となる。このため、感光ウエブ１２の銀汚れ、傷、膜剥がれなどの発生が抑制される。これに対して、吐出口３６の開口率が０．６％より小さいと、吐出口３６から排出される現像液の量が不十分となり、液中ターンバー２８Ａの表面と感光ウエブ１２との接触により感光ウエブ１２の銀汚れ、傷などが発生する可能性がある。また、吐出口３６の開口率が２％より大きいと、現像液の吐出流を大きくする必要があるため、膜剥がれなどが発生する可能性がある。
【００７４】
本発明の現像処理装置１０により現像処理されて得られた感光ウエブ１２は透光性電磁波シールド膜に好適に使用することができ、感光ウエブ１２の現像銀画像（金属銀部）にめっき処理して導電膜を形成することで、ムラの無いほぼ均一な透光性電磁波シールド膜（導電膜付きフィルム）を得ることができる。
【００７５】
次に、感光ウエブ１２について説明する。感光ウエブ１２は、例えば、光透過性支持体（支持フィルム）上に銀塩（例えばハロゲン化銀）が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺幅広フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。保護層の厚みは０．０２〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは０．１〜１０μｍであり、さらに好ましくは０．３〜３μｍである。
【００７６】
これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用されるハロゲン化銀乳剤層（銀塩含有層）や保護層を適宜適用することができる。
【００７７】
特に、感光ウエブ１２（感光材料）としては、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）が好ましく、白黒銀塩写真フィルム（白黒銀塩感光材料）が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。
【００７８】
一方、光透過性支持体としては、単層のプラスチックフィルムや、これを２層以上組み合わせた多層フィルムを適用することができる。プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡなどのポリオレフィン類；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂；その他、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などを用いることができる。
【００７９】
これらの中でも、透明性、耐熱性、取り扱いやすさ及び価格の点から、支持体としてのプラスチックフィルムは、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）に通常適用されるポリエチレンテレフタレートフィルムやセルロールトリアセテートフィルム、また、その他、ポリイミドフィルムであることが好ましい。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムであることが最も好ましい。
【００８０】
また、ディスプレイ用の電磁波遮蔽材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は７０〜１００％が好ましく、さらに好ましくは８５〜１００％であり、特に好ましくは９０〜１００％である。
【００８１】
感光ウエブ１２の幅は、例えば、５０ｃｍ以上とし、厚みは５０〜２００μｍとすることがよい。
【実施例】
【００８２】
以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明する。本発明はこれら実施例に限定されるものではない。得られた現像銀画像フィルムについては下記の方法により評価した。
【００８３】
〔評価方法〕
〈現像銀ムラ〉
銀量分析器にて幅方向の現像銀のばらつきを現像処理前の銀塩含有層の銀量ばらつきと比較した。
【００８４】
〈フィルム表面性状〉
透過光、反射光での目視検査及び、１０倍ルーペ、光学顕微鏡５０倍にて膜剥がれ、傷汚れがないかを判断した。
【００８５】
〔製造例１〕
（銀塩含有感光材料塗布試料の作製）
塩化銀７０モル％、沃化銀０．０８モル％を含む平均粒子径０．２２μｍ、変動係数９％ヨウ塩臭化銀乳剤を用いて調製した乳剤層塗布液を６５ｃｍ幅のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）上にＡｇ７．８ｇ／ｍ２、ゼラチン０．９４ｇ／ｍ２になるように塗布し、その後乾燥させたものを塗布試料とした。
【００８６】
（露光）
次いで、乾燥させた塗布膜に、ライン／スペース＝５μｍ／１９５μｍの現像銀を与えうる格子状のフォトマスクライン／スペース＝５μｍ／１９５μｍ（ピッチ２００μｍ）のスペースが格子状であるフォトマスクを介して高圧水銀ランプを光源とした平行光を用いて露光した。
【００８７】
〔実施例１〕
図１に示した現像処理装置１０を用い、製造例１で得られた露光済みフィルム（感光ウエブ１２）の現像処理を行った。この現像処理装置１０は、第１槽目が現像処理槽１６であり、幅０．９ｍ×長さ０．２５ｍ×高さ０．５ｍの現像処理槽１６に約１００リットルの現像液が貯留され、温度は２０℃に保たれる。第２槽目は定着槽１８であり、幅０．９ｍ×長さ０．２５ｍ×高さ１ｍの定着槽１８に約２００リットルの定着液が貯留され、温度は２０℃に保たれている。第３槽目は水洗槽２０であり、幅０．９ｍ×長さ０．２５ｍ×高さ１ｍの槽に約２００リットルの純水が貯留されており、温度は２０℃に保たれ、毎分２リットルの純水が供給され、水洗槽２０からオーバーフローされる。
【００８８】
現像処理槽１６、定着槽１８、水洗槽２０の各処理槽には、図２に示す液中ターンバー２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ（以後、２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃを区別する必要がない場合はＡ、Ｂ、Ｃを省略する）が設置されており、液中ターンバー２８は、複数の吐出口３６から処理液を幅方向にほぼ均一に吐出すると共に、処理槽内の処理液がほぼ均一になるように処理液が循環されている。また、現像処理槽１６内の液中ターンバー２８Ａでは、第１円筒体３４の複数のスリット状の吐出口３６から、１ｍ当たりの現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎとなるように現像液を吐出するように設定した。また、液中ターンバー２８Ａの両端部では規制板４２によってフィルム（感光ウエブ１２）の両端から排出される現像液量を規制し、また、吐出口３６の開口率は０．６〜２％に設定した。
【００８９】
図１に示した現像処理装置１０でフィルム（感光ウエブ１２）を１．０ｍ／ｍｉｎの速度で搬送した。現像処理槽１６での滞留時間は液中６０秒であり、定着槽１８、水洗槽２０での滞留時間はそれぞれ液中２分であり、該各処理槽出口で処理液がエアーナイフ３０Ａ、３０Ｂで掻き落され、さらに温風発生装置２２Ａ、２２Ｂから５０℃の温風を送って乾燥させて所望の現像銀画像フィルムを得た。この現像処理を行ったフィルムＡ−１の評価結果を表１と図６に示す。また、現像処理を行う前のフィルム（フィルムＡ）のＡｇ量ばらつきを図８に示す。
【００９０】
〔比較例１〕
図１に示した現像処理装置１０を使用し、図２に示した液中ターンバー２８内部の第２円筒体３８を設けずに液中ターンバー２８の一端側（片方）から処理液を導入し、実施例１の条件でフィルム（感光ウエブ１２）を現像処理して得たフィルムＡ−２の結果を表１と図７に示す。
【００９１】
〔比較例２〕
次に図１に示した現像処理装置１０を使用し、図３に示した液中ターンバー２８に配置した第１円筒体３４に代えて、図９に示す第１円筒体１００を設けた。第１円筒体１００は、表面に複数の矩形状の吐出孔１０２を千鳥模様に配列したものである。その他の液中ターンバー２８の構成は同じであり、実施例１の条件でフィルム（感光ウエブ１２）を現像処理して得たフィルムＡ−３の結果を表１に示す。
【００９２】
【表１】
【００９３】
表１、図６に示すように、本発明の現像処理装置１０により得られた現像銀画像フィルムは、表面に傷、汚れ、ムラがなく幅方向現像銀量ばらつきもほぼ均一であることが判った。表１、図７に示すように、比較例１では液中ターンバー２８への処理液を一端側（片方）から供給したが、液中ターンバー２８からの処理液の吐出量が処理液供給側よりもその反対側が多く、フィルムの浮揚が幅方向の左右で異なったためフィルム表面に擦れた跡が観察され、銀量分布も左右のバランスが悪くなった。また、表１に示すように、比較例２では第１円筒体１００を用いたが、フィルムの全幅に渡って等間隔の濃淡筋が観察された。
【００９４】
〔実施例２〜実施例６〕
次に、無硬膜フィルムＢと、硬膜剤をゼラチン当たり１％添加してゼラチン膜を強くしたフィルムＣとを用い、図１に示した現像処理装置１０を用いて第１円筒体３４からの現像液の吐出流量を変化させて現像処理を行った。
【００９５】
表２に示されるように、使用するフィルムの種類と、現像液の吐出流量については、実施例２〜実施例６、比較例３及び比較例４のように条件を変えて評価を行った。
ここで、無硬膜フィルムＢは、製造例１に示すフィルムでゼラチン硬膜していないフィルムである（表２中のフィルムＮｏ Ｂ−１〜Ｂ−６）。また、フィルムＣは、製造例１に示すフィルムでゼラチン硬膜として硬膜剤をゼラチン当たり１％添加してＰＥＴ上に塗布して乾燥させた試料である（表２中のフィルムＮｏ Ｃ−１）。
【００９６】
【表２】
【００９７】
フィルム性状を評価した結果を表２に示す。比較例３に示されるように、吐出流量４０Ｌ／ｍｉｎ・ｍでは、第１円筒体３４とフィルムＢ−１の隙間が狭くなり第１円筒体３４にフィルムＢ−１が接触することがあり、現像液が塗布膜の剥がれで濁るのが観察されるとともに、乾燥されて出てきたフィルムＢ−１はキズがあり画像が無い部分もあった。
【００９８】
また、実施例２〜実施例５に示されるように、吐出流量５０Ｌ／ｍｉｎ・ｍ〜２００Ｌ／ｍｉｎ・ｍの範囲では、第１円筒体３４とフィルムＢ−２〜Ｂ−５の隙間は幅方向にほぼ一定に確保されて安定に搬送された。乾燥されてでてきたフィルムＢ−２〜Ｂ−５にはスジ、キズがなく良好であった。
【００９９】
また、比較例４に示されるように、吐出流量２５０Ｌ／ｍｉｎ・ｍでは、第１円筒体３４とフィルムＢ−６の隙間は確保されて安定に搬送されたが、噴流でフィルムＢ−６上の塗膜が剥がされ、現像液が濁るのが観察された。さらに、乾燥後のフィルムＢ−６には膜剥がれの後があり、画像にムラがあった。
【０１００】
次に、実施例６に示されるように、吐出流量２００Ｌ／ｍｉｎ・ｍで硬膜剤で塗膜を強くしたフィルムＣ−１を用いて現像処理をしたところ、現像液の濁りもなく乾燥後のフィルムＣ−１も良好であった。
【０１０１】
なお、本実施形態では、光透過性電磁波遮蔽材料を製造する装置及び製造方法について説明したが、これに限られず、例えば、その他工業品などの微細な導電性金属部からなる細線状パターンを有する光透過性導電性材料の製造装置及び製造方法としても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の一実施形態における感光材現像処理方法が適用された現像処理装置を示す概略構成図である。
【図２】図１に示す現像処理装置で用いられる液中ターンバーの長手方向に沿って切断した状態で示す構成図である。
【図３】図１に示す現像処理装置で用いられる液中ターンバーを示す分解斜視図である。
【図４】図１に示す現像処理装置で用いられる液中ターンバーを示す側面図、液中ターンバーの長手方向と直交する方向に切断した状態で示す構成図、吐出口の部分拡大図である。
【図５】液中ターンバーに用いられる第２円筒体の長手方向に沿って切断した状態で示す構成図である。
【図６】実施例１のフィルムの現像処理後の幅方向のＡｇ量ばらつきを示すグラフである。
【図７】比較例１のフィルムの現像処理後の幅方向のＡｇ量ばらつきを示すグラフである。
【図８】現像処理前のフィルムの幅方向のＡｇ量ばらつきを示すグラフである。
【図９】比較例２の液中ターンバーに用いられる第１円筒体を示す側面図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１０ 現像処理装置
１２ 感光ウエブ（帯状感光材）
１６ 現像処理槽
１８ 定着槽
２０ 水洗槽
２６ 支持ロール
２８Ａ 液中ターンバー（感光材方向転換部材）
２８Ｂ 液中ターンバー（感光材方向転換部材）
２８Ｃ 液中ターンバー（感光材方向転換部材）
３２ 現像液
３４ 第１円筒体
３６ 吐出口
３８ 第２円筒体
３８Ａ 一端
３８Ｂ 他端
４０ 噴出口
４２ 規制板
４４ ガイドローラ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理すると共に、前記現像液内で前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された感光材方向転換部材で前記帯状感光材を方向転換させる感光材現像処理方法であって、
前記感光材方向転換部材の表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から、１ｍ当たりの前記現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎとなるように前記現像液を吐出し、前記帯状感光材を前記感光材方向転換部材から浮揚させて非接触で方向転換させることを特徴とする感光材現像処理方法。
【請求項２】
支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理すると共に、前記現像液内で前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された感光材方向転換部材で前記帯状感光材を方向転換させる感光材現像処理方法であって、
前記感光材方向転換部材の表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から前記現像液を吐出し、前記帯状感光材を前記感光材方向転換部材から浮揚させて非接触で方向転換させると共に、
前記感光材方向転換部材の幅方向両端部に設けた規制板で前記帯状感光材の幅方向両端から排出される前記現像液の排出量を規制し、前記帯状感光材と前記感光材方向転換部材との間隔を調整することを特徴とする感光材現像処理方法。
【請求項３】
前記吐出口の開口率を０．６〜２％に設定して前記吐出口から吐出される前記現像液の量を調整することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の感光材現像処理方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法を用いて前記帯状感光材を現像処理して金属銀部を形成する工程と、
前記金属銀部の上にめっきして導電膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする導電膜付きフィルムの製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法において、
前記感光材方向転換部材が、
前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置され、表面に長手方向に沿って前記現像液を吐出する複数のスリット状の吐出口を備えた第１筒状体と、
前記第１筒状体の内部に配置され、前記現像液を噴出する噴出口を備えた第２筒状体と、
を有することを特徴とする感光材現像処理方法。
【請求項６】
前記帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側の前記吐出口の間隔が、前記帯状感光材の搬送方向中間部の前記吐出口の間隔よりも小さいことを特徴とする請求項５に記載の感光材現像処理方法。
【請求項７】
前記第１筒状体の長手方向両端部に設けられ、前記第１筒状体の表面から突出し、前記帯状感光材の幅方向両端から排出される前記現像液の排出量を規制する規制板を設けたことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の感光材現像処理方法。
【請求項８】
前記第１筒状体の表面からの前記規制板の高さは、前記第１筒状体の表面と前記帯状感光材との間隔より高いことを特徴とする請求項７に記載の感光材現像処理方法。
【請求項９】
前記吐出口が、前記第１筒状体の裏面側で狭く、前記第１筒状体の表面側で広くなるテーパ状に形成されていることを特徴とする請求項５から請求項８までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法。
【請求項１０】
前記第２筒状体が、長手方向の一端に前記現像液を導入する導入部を備え、
前記噴出口が長手方向に形成された複数の噴出孔であり、
長手方向の他端側に設けられた前記噴出孔が、長手方向の一端側に設けられた前記噴出孔よりも小さいことを特徴とする請求項５に記載の感光材現像処理方法。
【請求項１１】
前記第２筒状体の長手方向の前記他端側から前記一端側に向かうに従って、前記噴出孔が徐々に大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の感光材現像処理方法。
【請求項１２】
前記第１筒状体は、前記噴出口と対向する部分に前記吐出口を設けないことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の感光材現像処理方法。
【請求項１】
支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理すると共に、前記現像液内で前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された感光材方向転換部材で前記帯状感光材を方向転換させる感光材現像処理方法であって、
前記感光材方向転換部材の表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から、１ｍ当たりの前記現像液の吐出量が５０〜２００ｌ／ｍｉｎとなるように前記現像液を吐出し、前記帯状感光材を前記感光材方向転換部材から浮揚させて非接触で方向転換させることを特徴とする感光材現像処理方法。
【請求項２】
支持フィルム上に銀塩含有層を有する帯状感光材を現像液内に搬送して現像処理すると共に、前記現像液内で前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置された感光材方向転換部材で前記帯状感光材を方向転換させる感光材現像処理方法であって、
前記感光材方向転換部材の表面に長手方向に沿って形成された複数のスリット状の吐出口から前記現像液を吐出し、前記帯状感光材を前記感光材方向転換部材から浮揚させて非接触で方向転換させると共に、
前記感光材方向転換部材の幅方向両端部に設けた規制板で前記帯状感光材の幅方向両端から排出される前記現像液の排出量を規制し、前記帯状感光材と前記感光材方向転換部材との間隔を調整することを特徴とする感光材現像処理方法。
【請求項３】
前記吐出口の開口率を０．６〜２％に設定して前記吐出口から吐出される前記現像液の量を調整することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の感光材現像処理方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法を用いて前記帯状感光材を現像処理して金属銀部を形成する工程と、
前記金属銀部の上にめっきして導電膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする導電膜付きフィルムの製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法において、
前記感光材方向転換部材が、
前記帯状感光材の搬送方向と交差する方向に配置され、表面に長手方向に沿って前記現像液を吐出する複数のスリット状の吐出口を備えた第１筒状体と、
前記第１筒状体の内部に配置され、前記現像液を噴出する噴出口を備えた第２筒状体と、
を有することを特徴とする感光材現像処理方法。
【請求項６】
前記帯状感光材の搬送方向上流側と搬送方向下流側の前記吐出口の間隔が、前記帯状感光材の搬送方向中間部の前記吐出口の間隔よりも小さいことを特徴とする請求項５に記載の感光材現像処理方法。
【請求項７】
前記第１筒状体の長手方向両端部に設けられ、前記第１筒状体の表面から突出し、前記帯状感光材の幅方向両端から排出される前記現像液の排出量を規制する規制板を設けたことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の感光材現像処理方法。
【請求項８】
前記第１筒状体の表面からの前記規制板の高さは、前記第１筒状体の表面と前記帯状感光材との間隔より高いことを特徴とする請求項７に記載の感光材現像処理方法。
【請求項９】
前記吐出口が、前記第１筒状体の裏面側で狭く、前記第１筒状体の表面側で広くなるテーパ状に形成されていることを特徴とする請求項５から請求項８までのいずれか１項に記載の感光材現像処理方法。
【請求項１０】
前記第２筒状体が、長手方向の一端に前記現像液を導入する導入部を備え、
前記噴出口が長手方向に形成された複数の噴出孔であり、
長手方向の他端側に設けられた前記噴出孔が、長手方向の一端側に設けられた前記噴出孔よりも小さいことを特徴とする請求項５に記載の感光材現像処理方法。
【請求項１１】
前記第２筒状体の長手方向の前記他端側から前記一端側に向かうに従って、前記噴出孔が徐々に大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の感光材現像処理方法。
【請求項１２】
前記第１筒状体は、前記噴出口と対向する部分に前記吐出口を設けないことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の感光材現像処理方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図７】
【図８】
【図９】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図７】
【図８】
【図９】
【図６】
【公開番号】特開２００９−２７１４７６（Ｐ２００９−２７１４７６Ａ）
【公開日】平成２１年１１月１９日（２００９．１１．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１２７１０５（Ｐ２００８−１２７１０５）
【出願日】平成２０年５月１４日（２００８．５．１４）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１１月１９日（２００９．１１．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年５月１４日（２００８．５．１４）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
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