振動板及び振動波駆動装置
【課題】引き回し電極を設けるための特殊な装置を不要とし、製造工程及び製造コストの低減を図ることを可能とした振動板及び振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】振動板１の一方の短辺側に機械加工により切り欠き部３を形成し、振動板１の短辺側の下面に圧電素子２を接着する。圧電素子２における振動板１との接着面に電極６を形成し、振動板１の切り欠き部３を介して露出させる。圧電素子２における振動板１との接着面とは反対側の面に電極７と取り出し電極８を形成しておく。振動板１の切り欠き部３から露出した圧電素子２の電極６上から圧電素子２の端面及び振動板１の端面を経由し、圧電素子２の電極７と同じ面上にある取り出し電極８まで、導電ペーストにより引き回し電極５を配設する。
【解決手段】振動板１の一方の短辺側に機械加工により切り欠き部３を形成し、振動板１の短辺側の下面に圧電素子２を接着する。圧電素子２における振動板１との接着面に電極６を形成し、振動板１の切り欠き部３を介して露出させる。圧電素子２における振動板１との接着面とは反対側の面に電極７と取り出し電極８を形成しておく。振動板１の切り欠き部３から露出した圧電素子２の電極６上から圧電素子２の端面及び振動板１の端面を経由し、圧電素子２の電極７と同じ面上にある取り出し電極８まで、導電ペーストにより引き回し電極５を配設する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気−機械エネルギ変換素子が貼り付けられる振動板に関し、特に電気−機械エネルギ変換素子の電極に導通可能な電極が配設される振動板及び振動波駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気エネルギ（電圧）を機械エネルギ（振動）に変換する電気−機械エネルギ変換素子には、積層型の圧電素子と単板型の圧電素子があり、様々な分野で利用されている。単板型の圧電素子は、圧電セラミックスの板厚方向に対向する両面に電極を形成し、対向する電極間で分極することで圧電性を持たせる。圧電効果を利用して、圧電素子に外部応力や振動変位を与えたり、圧電素子の電極間に電気信号を発生させたり、外部から圧電素子の電極間に電圧を与え圧電素子に機械振動を起こさせたりする。
【０００３】
通常、圧電素子を利用して機械振動を発生する例としては、圧電ブザーや超音波モータに組み込まれる振動板（ステータ）などがある。圧電ブザーや超音波モータでは、圧電素子の振動を振動板に伝達するために、圧電素子を振動板に貼り付けて使用する。圧電素子に外部電源と導通を図るためのリード線や電気基板を接続するには、以下のようにしている。即ち、圧電素子の両面の対向する電極にそれぞれリード線を接続するのではなく、圧電素子の一方の電極の形成された面側に２本のリード線を接続するようにしている。この例を図９に示す。
【０００４】
図９は、従来例に係る圧電ブザーを示す斜視図である。
【０００５】
図９において、圧電ブザー１２０は、両面に電極を形成した圧電素子１２１を金属板である振動板１２３に貼り付けたものである。圧電素子１２１の一方の面に形成された電極１２２と振動板１２３に対して、半田１２４により２本のリード線１２５を接続している。
【０００６】
しかしながら、このような圧電素子における一方の面側に２本のリード線を接続することで外部電源と導通を図るには、振動板は金属などの導体である必要があった。そこで、図１０に示すような圧電素子が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
図１０は、従来例（特許文献１）に係る圧電素子を示す図であり、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、下面図、（ｃ）は、（ｂ）の矢視Ａ−Ａ線に沿う断面図である。
【０００８】
図１０において、圧電素子１３０は、圧電セラミックス１３１の両面に対向する電極１３２、１３３を形成したものである。一方の電極１３２と他方の電極１３３を一方の面（電極１３３のある面）側に配置するために、以下の構成としている。一方の電極１３２の一部から圧電セラミックス１３１の端面を経由して他方の電極１３３の側まで導通を可能とする引き回し電極１３４を設けている。
【特許文献１】特開２００１−２９８３４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記特許文献１記載の引き回し電極を設けた圧電素子においては、振動板が絶縁体である場合でも簡単に圧電素子の一方の電極のある面側にリード線や基板を接続することができる。しかしながら、このような圧電素子を製造するには、引き回し電極を設けるための特殊な装置が必要となる。更に、圧電素子の製造工程が増加すると共に製造コストが上昇するという問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、引き回し電極を設けるための特殊な装置を不要とし、製造工程及び製造コストの低減を図ることを可能とした振動板及び振動波駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の目的を達成するために、本発明の振動板は、絶縁体から構成され、両面に電極を有する電気−機械エネルギ変換素子が接着される振動板であって、前記電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極が形成されると共に前記振動板に接着された面に対応して形成された切り欠き部と、前記切り欠き部を介して、前記電気−機械エネルギ変換素子の前記一方の電極から前記電気−機械エネルギ変換素子の他方の電極が形成された面まで配設された引き回し電極と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
上述の目的を達成するために、本発明の振動板は、絶縁体から構成され、両面に電極を有する電気−機械エネルギ変換素子が接着される振動板であって、前記電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極が形成されると共に前記振動板に接着された面に対応して形成された面取り部と、前記面取り部を介して、前記電気−機械エネルギ変換素子の前記一方の電極から前記電気−機械エネルギ変換素子の他方の電極が形成された面まで配設された引き回し電極と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、振動板に形成した切り欠き部又は面取り部を介して、電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極から他方の電極が形成された面まで引き回し電極を配設する。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１５】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。図２は、振動板と引き回し電極の関係を示す図であり、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、右側面図、（ｃ）は、下面図である。
【００１６】
図１及び図２において、振動板１は、板状の絶縁体として形成されている。振動板１の一方の短辺側には、機械加工により振動板の上から見た形状が半円形の切り欠き部３が形成されている。振動板１における切り欠き部３が形成された短辺側の下面には、圧電素子２が接着剤により貼り付けられている。圧電素子２は、両面に電極を有する。圧電素子２における振動板１との接着面には、電極６が形成されており、振動板１の切り欠き部３を介して露出している。圧電素子２における振動板１との接着面とは反対側の面には、大きい領域の電極７と、小さい領域の取り出し電極８が形成されている。
【００１７】
更に、振動板１の切り欠き部３を介して、圧電素子２における電極６が形成された面から反対側の面にかけて、引き回し電極５が配設されている。即ち、引き回し電極５は、振動板１の切り欠き部３から露出した圧電素子２の電極６上から圧電素子２の端面及び振動板１の端面を経由して、圧電素子２の電極７と同じ面上にある取り出し電極８まで配設されている。この場合、刷毛を使用して導電ペーストを上記経路に引き回すことで、引き回し電極５として形成している。
【００１８】
更に、振動板１に接着されている圧電素子２の電極７と取り出し電極８には、不図示の外部電源に接続されたフレキシブル基板９が貼り付けられる。これにより、圧電素子２の両面に形成された板厚方向に対向する電極６と電極７に対して、一方の面（電極７が形成されている面）側から導通を取ることができる。従って、電極６と電極７に外部電源から電圧を印加することができる。
【００１９】
上記構成において、外部電源に接続されたフレキシブル基板９を介して圧電素子２に交流電圧を印加すると、圧電素子２の圧電効果に伴う振動が振動板１に伝わる。圧電素子２に印加する交流電圧の周波数を変えることで、様々な振動モードの振動を振動板１に発生させることができる。その結果、振動板１の表面に接する物体を、振動板１１に発生させた振動によって移動させることが可能となる。
【００２０】
振動板１は、本実施の形態ではセラミックスから形成されている。圧電素子２は、予め圧電セラミックスの両面に銀電極用の導電ペーストを印刷し、設定された温度及び時間（例えば約６５０℃の温度で１０分）で焼き付けて分極したものである。振動板１と圧電素子２の接着は、エポキシ系の接着剤を使用し加圧しながら、設定された温度及び時間（例えば６０℃〜１２０℃で１〜２時間）をかけて熱硬化させることで行う。
【００２１】
その後、熱硬化性の接着剤を含有した銀粉末からなる導電ペーストを、振動板１の切り欠き部３を介して圧電素子２の電極６側から取り出し電極８側まで塗布し、設定された温度及び時間（例えば約１２０℃で１時間）をかけて硬化させる。これにより、引き回し電極５を形成する。
【００２２】
本実施の形態では、振動板１の寸法は、縦４０ｍｍ、横３０ｍｍ、厚さ０.３ｍｍである。また、振動板１の切り欠き部３は、半径１.５ｍｍの半円状である。また、圧電素子２の寸法は、縦３０ｍｍ、横７mm、厚さ０.２ｍｍである。
【００２３】
振動板１の切り欠き部３は、ダイヤモンド砥石で機械加工（研削加工）することで形成している。切り欠き部３の形状は、機械加工を考えると半円状が望ましいが、レーザ加工などで三角形や四角形など任意の形状に形成することも可能である。更に、切り欠き部３は、振動板１の外周縁の任意の位置に複数設けることが可能である。例えば、振動板１の両方の短辺に切り欠き部を形成すると共に、両方の短辺の下面（或いは上下両面）に圧電素子を接着する構成としてもよい。
【００２４】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板１に機械加工により切り欠き部３を形成する。更に、振動板１の切り欠き部３を介して、圧電素子２における振動板１との接着面側の電極６からこれと対向する反対側の面の取り出し電極８まで、引き回し電極５を配設する。
【００２５】
このような構成の振動板１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００２６】
［第２の実施の形態］
図３は、本発明の第２の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。図４は、振動板と引き回し電極の関係を示す図であり、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、右側面図、（ｃ）は、下面図である。
【００２７】
図３及び図４において、振動板１１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板１１の４つの角部のうち１つの角部には、機械加工により面取り部１４が形成されている。振動板１１における面取り部１４が形成された短辺側の下面には、圧電素子２が接着剤により貼り付けられている。圧電素子２における振動板１１との接着面には、電極６が形成されており、振動板１１の面取り部１４の前面側で露出している。圧電素子２における振動板１１との接着面とは反対側の面には、電極７と取り出し電極８が形成されている。
【００２８】
更に、振動板１１の面取り部１４を介して、圧電素子２における電極６が形成された面から反対側の面にかけて、引き回し電極１５が配設されている。即ち、引き回し電極１５は、振動板１１の面取り部１４の前面側に露出した圧電素子２の電極６上から圧電素子２の端面を経由して、圧電素子２の電極７と同じ面上にある取り出し電極８まで配設されている。この場合、刷毛を使用して導電ペーストを上記経路に引き回すことで、引き回し電極１５として形成している。
【００２９】
更に、振動板１に接着されている圧電素子２の電極７と取り出し電極８には、不図示の外部電源に接続されたフレキシブル基板９が貼り付けられる。これにより、圧電素子２の両面に形成された板厚方向に対向する電極６と電極７に対して、一方の面（電極７が形成されている面）側から導通を取ることができる。従って、電極６と電極７に外部電源から電圧を印加することができる。
【００３０】
上記構成において、第１の実施の形態と同様に、外部電源に接続されたフレキシブル基板９を介して圧電素子２に交流電圧を印加すると、圧電素子２の圧電効果に伴う振動が振動板１１に伝わる。圧電素子２に印加する交流電圧の周波数を変えることで、様々な振動モードの振動を振動板１１に発生させることができる。その結果、振動板１１に接する物体を、振動板１１に発生させた振動によって移動させることが可能となる。
【００３１】
振動板１１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板１１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００３２】
振動板１１における面取り部１４が形成された角部の形状は、２ｍｍ×２ｍｍの直角三角形である。ここで、振動板１１の材料となるセラミックスは硬くて脆く割れ易い。そのため、上記第１の実施の形態のように振動板１に切り欠き部３を加工する場合と比較し、振動板１１に面取り部１４を加工する場合の方が無理な応力もかからず短時間で加工しやすい利点がある。但し、面取り部１４を形成可能な箇所は振動板１１の４個所の角部しかないため、切り欠き部３のように任意の位置に任意の個数設けることができないという側面がある。
【００３３】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板１１に機械加工により面取り部１４を形成する。更に、振動板１１の面取り部１４を介して、圧電素子２における振動板１１との接着面側の電極６からこれと対向する反対側の面の取り出し電極８まで、引き回し電極１５を配設する。
【００３４】
このような構成の振動板１１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００３５】
［第３の実施の形態］
図５は、本発明の第３の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【００３６】
図５において、振動板２１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板２１の４つの角部のうち１つの角部には、機械加工により面取り部２４が形成されている。振動板２１における面取り部２４が形成された短辺側の上下両面には、圧電素子２がそれぞれ接着剤により貼り付けられている。
【００３７】
更に、振動板２１の面取り部２４を介して、上下対向する２つの圧電素子２の間に引き回し電極２５が配設されている。即ち、引き回し電極２５は、上側の圧電素子２及び下側の圧電素子２における振動板２１との接着面側の電極にそれぞれ導通され、下側の圧電素子２における振動板２１との接着面とは反対側の面に形成された電極（不図示）まで配設されている。
【００３８】
振動板２１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板２１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。また、振動板２１における面取り部２４が形成された角部の形状は、基本的に上記第２の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００３９】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板２１に機械加工により面取り部２４を形成する。更に、振動板２１の面取り部２４を介して、上側及び下側の圧電素子２における振動板２１との接着面側の電極にそれぞれ導通し、下側の圧電素子２における振動板２１との接着面とは反対側の面の電極まで、引き回し電極２５を配設する。
【００４０】
このような構成の振動板２１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００４１】
［第４の実施の形態］
図６は、本発明の第４の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【００４２】
図６において、振動板３１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板３１の４つの角部のうち２つの角部には、機械加工により面取り部３４がそれぞれ形成されている。振動板３１における面取り部３４が形成された両方の短辺側の下面には、圧電素子２がそれぞれ接着剤により貼り付けられている。
【００４３】
更に、振動板３１の２箇所の面取り部３４を介して、圧電素子２における振動板３１との接着側の面から反対側の面にかけて、引き回し電極３５がそれぞれ配設されている。即ち、２つの引き回し電極３５は、それぞれ、振動板３１の面取り部３４の前面側に露出した圧電素子２の電極上から圧電素子２の端面を経由して、圧電素子２の裏面側の電極まで配設されている。
【００４４】
振動板３１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板３１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。また、振動板３１における面取り部３４が形成された角部の形状は、基本的に上記第２の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００４５】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板３１に機械加工により２箇所の面取り部３４を形成する。更に、振動板３１の２箇所の面取り部３４を介して、圧電素子２における振動板３１との接着面側の電極に導通し、圧電素子２における振動板３１との接着面とは反対側の面の電極まで、２つの引き回し電極３５を配設する。
【００４６】
このような構成の振動板３１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００４７】
［第５の実施の形態］
図７は、本発明の第５の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【００４８】
図７において、振動板４１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板４１の４つの角部のうち２つの角部には、機械加工により面取り部４４がそれぞれ形成されている。振動板４１における面取り部４４が形成された両方の短辺側の上下両面には、圧電素子２がそれぞれ接着剤により貼り付けられている。
【００４９】
更に、振動板４１の２箇所の面取り部２４を介して、それぞれ、上下対向する２つの圧電素子２の間に引き回し電極４５が配設されている。即ち、２つの引き回し電極４５は、上側の圧電素子２及び下側の圧電素子２における振動板４１との接着面側の電極にそれぞれ導通され、下側の圧電素子２における振動板４１との接着面とは反対側の面に形成された電極まで配設されている。
【００５０】
振動板４１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板４１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。また、振動板４１における面取り部４４が形成された角部の形状は、基本的に上記第２の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００５１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板４１に機械加工により２箇所の面取り部４４を形成する。更に、振動板４１の２箇所の面取り部４４を介して、上側及び下側の圧電素子２における振動板４１との接着面側の電極にそれぞれ導通し、下側の圧電素子２における振動板４１との接着面とは反対側の面の電極まで、引き回し電極４５を配設する。
【００５２】
このような構成の振動板４１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００５３】
［第６の実施の形態］
図８は、本発明の第６の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【００５４】
図８において、振動板５１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板５１の４つの角部には、機械加工により面取り部５４がそれぞれ形成されている。振動板５１における面取り部５４が形成された両方の短辺側の下面には、上述した圧電素子２の長さが半分の形状の圧電素子５２−１〜５２−４が接着剤によりそれぞれ貼り付けられている。圧電素子５２−１と圧電素子５２−２は、接着剤により接着され、圧電素子５２−３と圧電素子５２−４は、接着剤により接着されている。
【００５５】
更に、振動板５１の４箇所の面取り部５４を介して、それぞれ、圧電素子２における振動板５１との接着側の面から反対側の面にかけて、引き回し電極５５が配設されている。即ち、４つの引き回し電極５５は、それぞれ、振動板５１の面取り部５４の前面側に露出した圧電素子５２−１〜５２−４の電極上から圧電素子５２−１〜５２−４の端面を経由して、圧電素子５２−１〜５２−４の裏面側の電極まで配設されている。
【００５６】
振動板５１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板５１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。また、振動板５１における面取り部５４が形成された角部の形状は、基本的に上記第２の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００５７】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板５１に機械加工により４箇所の面取り部５４を形成する。更に、振動板５１の４箇所の面取り部５４を介して、圧電素子における振動板５１との接着面側の電極にそれぞれ導通し、圧電素子における振動板５１との接着面とは反対側の面の電極まで、引き回し電極５５を配設する。
【００５８】
このような構成の振動板５１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００５９】
［他の実施の形態］
上記第１乃至第６の実施の形態では、振動板を形成する材料としてセラミックスを用いたが、これに限定されるものではない。振動板を形成する材料としては、絶縁体であればよく、例えばガラスなどを用いてもよい。振動板としては振動の減衰の少ない材料が好ましく、特にガラスは振動の減衰が少なく適している。
【００６０】
上記第１乃至第６の実施の形態では、圧電素子の辺や角部を振動板の辺や角部と一致させる構成としたが、これに限定されるものではない。圧電素子の辺や角部は、圧電素子に振動板との接着面があれば、振動板の辺や角部と一致させる必要はなく振動板からはみ出していても、振動板の辺の内側に接着してあっても構わない。
【００６１】
上記第１乃至第６の実施の形態では、圧電素子を振動板の短辺に沿って貼り付ける構成としたが、これに限定されるものではない。圧電素子を振動板の長辺に沿って貼り付ける構成としてもよい。
【００６２】
上記第１乃至第６の実施の形態では、圧電素子を接着した振動板について説明したが、振動板のみの適用に限定されるものではない。振動板を備えると共に該振動板上の物体を移動させる振動波駆動装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図２】図１の振動板と引き回し電極の関係を示す図であり、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、右側面図、（ｃ）は、下面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図４】図３の振動板と引き回し電極の関係を示す図であり、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、右側面図、（ｃ）は、下面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図７】本発明の第５の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図８】本発明の第６の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図９】従来例に係る圧電ブザーを示す斜視図である。
【図１０】従来例に係る圧電素子を示す図であり、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、下面図、（ｃ）は、（ｂ）の矢視Ａ−Ａ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１、１１、２１、３１、４１、５１ 振動板
２、５２−１〜５２−４ 圧電素子（電気−機械エネルギ変換素子）
３ 切り欠き部
４、１４、２４、３４、４４、５４ 面取り部
５、１５、２５、３５、４５、５５ 引き回し電極
６ 電極（一方の電極）
７ 電極（他方の電極）
８ 取り出し電極（他方の電極）
９ フレキシブル基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気−機械エネルギ変換素子が貼り付けられる振動板に関し、特に電気−機械エネルギ変換素子の電極に導通可能な電極が配設される振動板及び振動波駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気エネルギ（電圧）を機械エネルギ（振動）に変換する電気−機械エネルギ変換素子には、積層型の圧電素子と単板型の圧電素子があり、様々な分野で利用されている。単板型の圧電素子は、圧電セラミックスの板厚方向に対向する両面に電極を形成し、対向する電極間で分極することで圧電性を持たせる。圧電効果を利用して、圧電素子に外部応力や振動変位を与えたり、圧電素子の電極間に電気信号を発生させたり、外部から圧電素子の電極間に電圧を与え圧電素子に機械振動を起こさせたりする。
【０００３】
通常、圧電素子を利用して機械振動を発生する例としては、圧電ブザーや超音波モータに組み込まれる振動板（ステータ）などがある。圧電ブザーや超音波モータでは、圧電素子の振動を振動板に伝達するために、圧電素子を振動板に貼り付けて使用する。圧電素子に外部電源と導通を図るためのリード線や電気基板を接続するには、以下のようにしている。即ち、圧電素子の両面の対向する電極にそれぞれリード線を接続するのではなく、圧電素子の一方の電極の形成された面側に２本のリード線を接続するようにしている。この例を図９に示す。
【０００４】
図９は、従来例に係る圧電ブザーを示す斜視図である。
【０００５】
図９において、圧電ブザー１２０は、両面に電極を形成した圧電素子１２１を金属板である振動板１２３に貼り付けたものである。圧電素子１２１の一方の面に形成された電極１２２と振動板１２３に対して、半田１２４により２本のリード線１２５を接続している。
【０００６】
しかしながら、このような圧電素子における一方の面側に２本のリード線を接続することで外部電源と導通を図るには、振動板は金属などの導体である必要があった。そこで、図１０に示すような圧電素子が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
図１０は、従来例（特許文献１）に係る圧電素子を示す図であり、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、下面図、（ｃ）は、（ｂ）の矢視Ａ−Ａ線に沿う断面図である。
【０００８】
図１０において、圧電素子１３０は、圧電セラミックス１３１の両面に対向する電極１３２、１３３を形成したものである。一方の電極１３２と他方の電極１３３を一方の面（電極１３３のある面）側に配置するために、以下の構成としている。一方の電極１３２の一部から圧電セラミックス１３１の端面を経由して他方の電極１３３の側まで導通を可能とする引き回し電極１３４を設けている。
【特許文献１】特開２００１−２９８３４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記特許文献１記載の引き回し電極を設けた圧電素子においては、振動板が絶縁体である場合でも簡単に圧電素子の一方の電極のある面側にリード線や基板を接続することができる。しかしながら、このような圧電素子を製造するには、引き回し電極を設けるための特殊な装置が必要となる。更に、圧電素子の製造工程が増加すると共に製造コストが上昇するという問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、引き回し電極を設けるための特殊な装置を不要とし、製造工程及び製造コストの低減を図ることを可能とした振動板及び振動波駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の目的を達成するために、本発明の振動板は、絶縁体から構成され、両面に電極を有する電気−機械エネルギ変換素子が接着される振動板であって、前記電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極が形成されると共に前記振動板に接着された面に対応して形成された切り欠き部と、前記切り欠き部を介して、前記電気−機械エネルギ変換素子の前記一方の電極から前記電気−機械エネルギ変換素子の他方の電極が形成された面まで配設された引き回し電極と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
上述の目的を達成するために、本発明の振動板は、絶縁体から構成され、両面に電極を有する電気−機械エネルギ変換素子が接着される振動板であって、前記電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極が形成されると共に前記振動板に接着された面に対応して形成された面取り部と、前記面取り部を介して、前記電気−機械エネルギ変換素子の前記一方の電極から前記電気−機械エネルギ変換素子の他方の電極が形成された面まで配設された引き回し電極と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、振動板に形成した切り欠き部又は面取り部を介して、電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極から他方の電極が形成された面まで引き回し電極を配設する。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１５】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。図２は、振動板と引き回し電極の関係を示す図であり、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、右側面図、（ｃ）は、下面図である。
【００１６】
図１及び図２において、振動板１は、板状の絶縁体として形成されている。振動板１の一方の短辺側には、機械加工により振動板の上から見た形状が半円形の切り欠き部３が形成されている。振動板１における切り欠き部３が形成された短辺側の下面には、圧電素子２が接着剤により貼り付けられている。圧電素子２は、両面に電極を有する。圧電素子２における振動板１との接着面には、電極６が形成されており、振動板１の切り欠き部３を介して露出している。圧電素子２における振動板１との接着面とは反対側の面には、大きい領域の電極７と、小さい領域の取り出し電極８が形成されている。
【００１７】
更に、振動板１の切り欠き部３を介して、圧電素子２における電極６が形成された面から反対側の面にかけて、引き回し電極５が配設されている。即ち、引き回し電極５は、振動板１の切り欠き部３から露出した圧電素子２の電極６上から圧電素子２の端面及び振動板１の端面を経由して、圧電素子２の電極７と同じ面上にある取り出し電極８まで配設されている。この場合、刷毛を使用して導電ペーストを上記経路に引き回すことで、引き回し電極５として形成している。
【００１８】
更に、振動板１に接着されている圧電素子２の電極７と取り出し電極８には、不図示の外部電源に接続されたフレキシブル基板９が貼り付けられる。これにより、圧電素子２の両面に形成された板厚方向に対向する電極６と電極７に対して、一方の面（電極７が形成されている面）側から導通を取ることができる。従って、電極６と電極７に外部電源から電圧を印加することができる。
【００１９】
上記構成において、外部電源に接続されたフレキシブル基板９を介して圧電素子２に交流電圧を印加すると、圧電素子２の圧電効果に伴う振動が振動板１に伝わる。圧電素子２に印加する交流電圧の周波数を変えることで、様々な振動モードの振動を振動板１に発生させることができる。その結果、振動板１の表面に接する物体を、振動板１１に発生させた振動によって移動させることが可能となる。
【００２０】
振動板１は、本実施の形態ではセラミックスから形成されている。圧電素子２は、予め圧電セラミックスの両面に銀電極用の導電ペーストを印刷し、設定された温度及び時間（例えば約６５０℃の温度で１０分）で焼き付けて分極したものである。振動板１と圧電素子２の接着は、エポキシ系の接着剤を使用し加圧しながら、設定された温度及び時間（例えば６０℃〜１２０℃で１〜２時間）をかけて熱硬化させることで行う。
【００２１】
その後、熱硬化性の接着剤を含有した銀粉末からなる導電ペーストを、振動板１の切り欠き部３を介して圧電素子２の電極６側から取り出し電極８側まで塗布し、設定された温度及び時間（例えば約１２０℃で１時間）をかけて硬化させる。これにより、引き回し電極５を形成する。
【００２２】
本実施の形態では、振動板１の寸法は、縦４０ｍｍ、横３０ｍｍ、厚さ０.３ｍｍである。また、振動板１の切り欠き部３は、半径１.５ｍｍの半円状である。また、圧電素子２の寸法は、縦３０ｍｍ、横７mm、厚さ０.２ｍｍである。
【００２３】
振動板１の切り欠き部３は、ダイヤモンド砥石で機械加工（研削加工）することで形成している。切り欠き部３の形状は、機械加工を考えると半円状が望ましいが、レーザ加工などで三角形や四角形など任意の形状に形成することも可能である。更に、切り欠き部３は、振動板１の外周縁の任意の位置に複数設けることが可能である。例えば、振動板１の両方の短辺に切り欠き部を形成すると共に、両方の短辺の下面（或いは上下両面）に圧電素子を接着する構成としてもよい。
【００２４】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板１に機械加工により切り欠き部３を形成する。更に、振動板１の切り欠き部３を介して、圧電素子２における振動板１との接着面側の電極６からこれと対向する反対側の面の取り出し電極８まで、引き回し電極５を配設する。
【００２５】
このような構成の振動板１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００２６】
［第２の実施の形態］
図３は、本発明の第２の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。図４は、振動板と引き回し電極の関係を示す図であり、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、右側面図、（ｃ）は、下面図である。
【００２７】
図３及び図４において、振動板１１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板１１の４つの角部のうち１つの角部には、機械加工により面取り部１４が形成されている。振動板１１における面取り部１４が形成された短辺側の下面には、圧電素子２が接着剤により貼り付けられている。圧電素子２における振動板１１との接着面には、電極６が形成されており、振動板１１の面取り部１４の前面側で露出している。圧電素子２における振動板１１との接着面とは反対側の面には、電極７と取り出し電極８が形成されている。
【００２８】
更に、振動板１１の面取り部１４を介して、圧電素子２における電極６が形成された面から反対側の面にかけて、引き回し電極１５が配設されている。即ち、引き回し電極１５は、振動板１１の面取り部１４の前面側に露出した圧電素子２の電極６上から圧電素子２の端面を経由して、圧電素子２の電極７と同じ面上にある取り出し電極８まで配設されている。この場合、刷毛を使用して導電ペーストを上記経路に引き回すことで、引き回し電極１５として形成している。
【００２９】
更に、振動板１に接着されている圧電素子２の電極７と取り出し電極８には、不図示の外部電源に接続されたフレキシブル基板９が貼り付けられる。これにより、圧電素子２の両面に形成された板厚方向に対向する電極６と電極７に対して、一方の面（電極７が形成されている面）側から導通を取ることができる。従って、電極６と電極７に外部電源から電圧を印加することができる。
【００３０】
上記構成において、第１の実施の形態と同様に、外部電源に接続されたフレキシブル基板９を介して圧電素子２に交流電圧を印加すると、圧電素子２の圧電効果に伴う振動が振動板１１に伝わる。圧電素子２に印加する交流電圧の周波数を変えることで、様々な振動モードの振動を振動板１１に発生させることができる。その結果、振動板１１に接する物体を、振動板１１に発生させた振動によって移動させることが可能となる。
【００３１】
振動板１１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板１１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００３２】
振動板１１における面取り部１４が形成された角部の形状は、２ｍｍ×２ｍｍの直角三角形である。ここで、振動板１１の材料となるセラミックスは硬くて脆く割れ易い。そのため、上記第１の実施の形態のように振動板１に切り欠き部３を加工する場合と比較し、振動板１１に面取り部１４を加工する場合の方が無理な応力もかからず短時間で加工しやすい利点がある。但し、面取り部１４を形成可能な箇所は振動板１１の４個所の角部しかないため、切り欠き部３のように任意の位置に任意の個数設けることができないという側面がある。
【００３３】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板１１に機械加工により面取り部１４を形成する。更に、振動板１１の面取り部１４を介して、圧電素子２における振動板１１との接着面側の電極６からこれと対向する反対側の面の取り出し電極８まで、引き回し電極１５を配設する。
【００３４】
このような構成の振動板１１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００３５】
［第３の実施の形態］
図５は、本発明の第３の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【００３６】
図５において、振動板２１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板２１の４つの角部のうち１つの角部には、機械加工により面取り部２４が形成されている。振動板２１における面取り部２４が形成された短辺側の上下両面には、圧電素子２がそれぞれ接着剤により貼り付けられている。
【００３７】
更に、振動板２１の面取り部２４を介して、上下対向する２つの圧電素子２の間に引き回し電極２５が配設されている。即ち、引き回し電極２５は、上側の圧電素子２及び下側の圧電素子２における振動板２１との接着面側の電極にそれぞれ導通され、下側の圧電素子２における振動板２１との接着面とは反対側の面に形成された電極（不図示）まで配設されている。
【００３８】
振動板２１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板２１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。また、振動板２１における面取り部２４が形成された角部の形状は、基本的に上記第２の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００３９】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板２１に機械加工により面取り部２４を形成する。更に、振動板２１の面取り部２４を介して、上側及び下側の圧電素子２における振動板２１との接着面側の電極にそれぞれ導通し、下側の圧電素子２における振動板２１との接着面とは反対側の面の電極まで、引き回し電極２５を配設する。
【００４０】
このような構成の振動板２１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００４１】
［第４の実施の形態］
図６は、本発明の第４の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【００４２】
図６において、振動板３１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板３１の４つの角部のうち２つの角部には、機械加工により面取り部３４がそれぞれ形成されている。振動板３１における面取り部３４が形成された両方の短辺側の下面には、圧電素子２がそれぞれ接着剤により貼り付けられている。
【００４３】
更に、振動板３１の２箇所の面取り部３４を介して、圧電素子２における振動板３１との接着側の面から反対側の面にかけて、引き回し電極３５がそれぞれ配設されている。即ち、２つの引き回し電極３５は、それぞれ、振動板３１の面取り部３４の前面側に露出した圧電素子２の電極上から圧電素子２の端面を経由して、圧電素子２の裏面側の電極まで配設されている。
【００４４】
振動板３１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板３１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。また、振動板３１における面取り部３４が形成された角部の形状は、基本的に上記第２の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００４５】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板３１に機械加工により２箇所の面取り部３４を形成する。更に、振動板３１の２箇所の面取り部３４を介して、圧電素子２における振動板３１との接着面側の電極に導通し、圧電素子２における振動板３１との接着面とは反対側の面の電極まで、２つの引き回し電極３５を配設する。
【００４６】
このような構成の振動板３１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００４７】
［第５の実施の形態］
図７は、本発明の第５の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【００４８】
図７において、振動板４１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板４１の４つの角部のうち２つの角部には、機械加工により面取り部４４がそれぞれ形成されている。振動板４１における面取り部４４が形成された両方の短辺側の上下両面には、圧電素子２がそれぞれ接着剤により貼り付けられている。
【００４９】
更に、振動板４１の２箇所の面取り部２４を介して、それぞれ、上下対向する２つの圧電素子２の間に引き回し電極４５が配設されている。即ち、２つの引き回し電極４５は、上側の圧電素子２及び下側の圧電素子２における振動板４１との接着面側の電極にそれぞれ導通され、下側の圧電素子２における振動板４１との接着面とは反対側の面に形成された電極まで配設されている。
【００５０】
振動板４１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板４１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。また、振動板４１における面取り部４４が形成された角部の形状は、基本的に上記第２の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００５１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板４１に機械加工により２箇所の面取り部４４を形成する。更に、振動板４１の２箇所の面取り部４４を介して、上側及び下側の圧電素子２における振動板４１との接着面側の電極にそれぞれ導通し、下側の圧電素子２における振動板４１との接着面とは反対側の面の電極まで、引き回し電極４５を配設する。
【００５２】
このような構成の振動板４１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００５３】
［第６の実施の形態］
図８は、本発明の第６の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【００５４】
図８において、振動板５１は、板状の絶縁体（本実施の形態ではセラミックス）として形成されている。振動板５１の４つの角部には、機械加工により面取り部５４がそれぞれ形成されている。振動板５１における面取り部５４が形成された両方の短辺側の下面には、上述した圧電素子２の長さが半分の形状の圧電素子５２−１〜５２−４が接着剤によりそれぞれ貼り付けられている。圧電素子５２−１と圧電素子５２−２は、接着剤により接着され、圧電素子５２−３と圧電素子５２−４は、接着剤により接着されている。
【００５５】
更に、振動板５１の４箇所の面取り部５４を介して、それぞれ、圧電素子２における振動板５１との接着側の面から反対側の面にかけて、引き回し電極５５が配設されている。即ち、４つの引き回し電極５５は、それぞれ、振動板５１の面取り部５４の前面側に露出した圧電素子５２−１〜５２−４の電極上から圧電素子５２−１〜５２−４の端面を経由して、圧電素子５２−１〜５２−４の裏面側の電極まで配設されている。
【００５６】
振動板５１及び圧電素子２の寸法（縦、横、厚さ）、振動板５１と圧電素子２の接着に用いる接着剤、導電ペーストなどは、基本的に上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。また、振動板５１における面取り部５４が形成された角部の形状は、基本的に上記第２の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００５７】
以上説明したように、本実施の形態によれば、絶縁体である振動板５１に機械加工により４箇所の面取り部５４を形成する。更に、振動板５１の４箇所の面取り部５４を介して、圧電素子における振動板５１との接着面側の電極にそれぞれ導通し、圧電素子における振動板５１との接着面とは反対側の面の電極まで、引き回し電極５５を配設する。
【００５８】
このような構成の振動板５１を用いることで、従来どおりの圧電素子をそのまま使用することができる。これにより、引き回し電極を設けるための特殊な装置が不要となると共に、製造工程及び製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００５９】
［他の実施の形態］
上記第１乃至第６の実施の形態では、振動板を形成する材料としてセラミックスを用いたが、これに限定されるものではない。振動板を形成する材料としては、絶縁体であればよく、例えばガラスなどを用いてもよい。振動板としては振動の減衰の少ない材料が好ましく、特にガラスは振動の減衰が少なく適している。
【００６０】
上記第１乃至第６の実施の形態では、圧電素子の辺や角部を振動板の辺や角部と一致させる構成としたが、これに限定されるものではない。圧電素子の辺や角部は、圧電素子に振動板との接着面があれば、振動板の辺や角部と一致させる必要はなく振動板からはみ出していても、振動板の辺の内側に接着してあっても構わない。
【００６１】
上記第１乃至第６の実施の形態では、圧電素子を振動板の短辺に沿って貼り付ける構成としたが、これに限定されるものではない。圧電素子を振動板の長辺に沿って貼り付ける構成としてもよい。
【００６２】
上記第１乃至第６の実施の形態では、圧電素子を接着した振動板について説明したが、振動板のみの適用に限定されるものではない。振動板を備えると共に該振動板上の物体を移動させる振動波駆動装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図２】図１の振動板と引き回し電極の関係を示す図であり、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、右側面図、（ｃ）は、下面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図４】図３の振動板と引き回し電極の関係を示す図であり、（ａ）は、正面図、（ｂ）は、右側面図、（ｃ）は、下面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図７】本発明の第５の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図８】本発明の第６の実施の形態に係る圧電素子を接着した振動板の構成を示す斜視図である。
【図９】従来例に係る圧電ブザーを示す斜視図である。
【図１０】従来例に係る圧電素子を示す図であり、（ａ）は、上面図、（ｂ）は、下面図、（ｃ）は、（ｂ）の矢視Ａ−Ａ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１、１１、２１、３１、４１、５１ 振動板
２、５２−１〜５２−４ 圧電素子（電気−機械エネルギ変換素子）
３ 切り欠き部
４、１４、２４、３４、４４、５４ 面取り部
５、１５、２５、３５、４５、５５ 引き回し電極
６ 電極（一方の電極）
７ 電極（他方の電極）
８ 取り出し電極（他方の電極）
９ フレキシブル基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁体から構成され、両面に電極を有する電気−機械エネルギ変換素子が接着される振動板であって、
前記電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極が形成されると共に前記振動板に接着された面に対応して形成された切り欠き部と、
前記切り欠き部を介して、前記電気−機械エネルギ変換素子の前記一方の電極から前記電気−機械エネルギ変換素子の他方の電極が形成された面まで配設された引き回し電極と、
を備えることを特徴とする振動板。
【請求項２】
絶縁体から構成され、両面に電極を有する電気−機械エネルギ変換素子が接着される振動板であって、
前記電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極が形成されると共に前記振動板に接着された面に対応して形成された面取り部と、
前記面取り部を介して、前記電気−機械エネルギ変換素子の前記一方の電極から前記電気−機械エネルギ変換素子の他方の電極が形成された面まで配設された引き回し電極と、
を備えることを特徴とする振動板。
【請求項３】
前記切り欠き部は、前記振動板の外周部に少なくとも１つ形成されることを特徴とする請求項１記載の振動板。
【請求項４】
前記面取り部は、前記振動板の少なくとも１つの角部に形成されることを特徴とする請求項２記載の振動板。
【請求項５】
前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記振動板の１つの辺に沿って前記振動板の片面に接着される圧電素子であることを特徴とする請求項１又は２記載の振動板。
【請求項６】
前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記振動板の１つの辺に沿って前記振動板の両面に接着される圧電素子であることを特徴とする請求項１又は２記載の振動板。
【請求項７】
前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記振動板の対向する両側の辺に沿って前記振動板の片面に接着される圧電素子であることを特徴とする請求項１又は２記載の振動板。
【請求項８】
前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記振動板の対向する両側の辺に沿って前記振動板の両面に接着される圧電素子であることを特徴とする請求項１又は２記載の振動板。
【請求項９】
前記振動板は、セラミックス、ガラスを含む群から選択されることを特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の振動板。
【請求項１０】
前記請求項１乃至９の何れかに記載の振動板を備え、前記振動板に接する物体を移動させることを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項１】
絶縁体から構成され、両面に電極を有する電気−機械エネルギ変換素子が接着される振動板であって、
前記電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極が形成されると共に前記振動板に接着された面に対応して形成された切り欠き部と、
前記切り欠き部を介して、前記電気−機械エネルギ変換素子の前記一方の電極から前記電気−機械エネルギ変換素子の他方の電極が形成された面まで配設された引き回し電極と、
を備えることを特徴とする振動板。
【請求項２】
絶縁体から構成され、両面に電極を有する電気−機械エネルギ変換素子が接着される振動板であって、
前記電気−機械エネルギ変換素子の一方の電極が形成されると共に前記振動板に接着された面に対応して形成された面取り部と、
前記面取り部を介して、前記電気−機械エネルギ変換素子の前記一方の電極から前記電気−機械エネルギ変換素子の他方の電極が形成された面まで配設された引き回し電極と、
を備えることを特徴とする振動板。
【請求項３】
前記切り欠き部は、前記振動板の外周部に少なくとも１つ形成されることを特徴とする請求項１記載の振動板。
【請求項４】
前記面取り部は、前記振動板の少なくとも１つの角部に形成されることを特徴とする請求項２記載の振動板。
【請求項５】
前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記振動板の１つの辺に沿って前記振動板の片面に接着される圧電素子であることを特徴とする請求項１又は２記載の振動板。
【請求項６】
前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記振動板の１つの辺に沿って前記振動板の両面に接着される圧電素子であることを特徴とする請求項１又は２記載の振動板。
【請求項７】
前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記振動板の対向する両側の辺に沿って前記振動板の片面に接着される圧電素子であることを特徴とする請求項１又は２記載の振動板。
【請求項８】
前記電気−機械エネルギ変換素子は、前記振動板の対向する両側の辺に沿って前記振動板の両面に接着される圧電素子であることを特徴とする請求項１又は２記載の振動板。
【請求項９】
前記振動板は、セラミックス、ガラスを含む群から選択されることを特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の振動板。
【請求項１０】
前記請求項１乃至９の何れかに記載の振動板を備え、前記振動板に接する物体を移動させることを特徴とする振動波駆動装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００７−２６４０９５（Ｐ２００７−２６４０９５Ａ）
【公開日】平成１９年１０月１１日（２００７．１０．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−８６０６０（Ｐ２００６−８６０６０）
【出願日】平成１８年３月２７日（２００６．３．２７）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１０月１１日（２００７．１０．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年３月２７日（２００６．３．２７）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
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