放熱装置

【課題】基板上に複数の振動板を自由に配置することが可能であり、容易に放熱効果を高めることが可能な放熱装置を提供する。
【解決手段】放熱装置は、基板２と、前記基板の一面上に個別に立設された、高分子アクチュエータ１０からなる複数の振動板３と、を備え、前記振動板は、短冊形状をなし、その長手方向の一端部３ａが前記基板の一面側に固設されて固定端を、長手方向の他端部３ｂが自由端をそれぞれ成しており、前記自由端側が前記固定端側に対して振動可能とされていること、を特徴とする。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの微細化に伴い、微細配線を流れる電流密度も増大し、その結果発生するジュール熱によってデバイスが誤作動を起こすなどの問題がしばしば起こる。更にデバイスの小型化と携帯機器の普及に伴い、発熱源となる電子デバイスが高密度に実装されると、放熱が十分になされないため、より一層の悪影響が生じている。従来の半導体デバイスでは、発熱する半導体チップ上にアルミや銅などの高熱伝導度の金属を用いたヒートシンクを設けて、放熱を促進することによって素子冷却を行っていた。また、ヒートシンクだけでは放熱が不十分なプロセッサなどのデバイスでは、ヒートシンクと空冷ファンを組み合わせてデバイスの冷却を行っていた、また近年では、ヒートパイプや冷媒を用いたデバイス冷却も実施されている。
【０００３】
しかしながら、ヒートシンクと空冷ファンを用いた冷却では、特に実装時の高さが高くなってしまうため、薄型の携帯機器において不利である、水冷やヒートパイプを用いた冷却では、暖まった冷媒を冷やすための場所が必要となるので、実装面積上不利である。従来技術の問題点は、一言で言うなら微細化によって発熱量が増大したデバイスを冷却するのに、それだけ多くの空間を要する、と言う点にあった。
【０００４】
これに対し、半導体素子上に高分子アクチュエータを立設したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。高分子アクチュエータを電気的に駆動制御することで、半導体素子上を扇ぐように往復運動させ、発生した風によって半導体素子を冷却する。そのため、高分子アクチュエータが振幅する領域内には、他の高分子アクチュエータを追加して配置することができない。ゆえに、半導体素子の発熱量に応じて高分子アクチュエータの数を増やして放熱効果を高めることが難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−６０３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような従来の実情に鑑みて考案されたものであり、基板上に複数の振動板を自由に配置することが可能であり、容易に放熱効果を高めることが可能な放熱装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る放熱装置は、基板と、前記基板の一面上に個別に立設された、高分子アクチュエータからなる複数の振動板と、を備え、前記振動板は、短冊形状をなし、その長手方向の一端部が前記基板の一面側に固設されて固定端を、長手方向の他端部が自由端をそれぞれ成しており、前記自由端側が前記固定端側に対して振動可能とされていること、を特徴とする。
本発明の放熱装置では、前記基板の一面上に個別に立設された複数の振動板は、長手方向の一端部が前記基板の一面側に固設され、長手方向の他端部が自由端をそれぞれ成しており、前記自由端側が振動可能とされているので、複数の放熱板を基板上に高密度に配置することが可能である。したがって、本発明の放熱装置では、基板上に複数の振動板を自由に配置することが可能であり、容易に放熱効果を高めることが可能である。
【０００８】
また、本発明に係る放熱装置は、前記複数の振動板が、面が相対向するように並べて前記基板の一面上に立設されていることが好ましい。
前記複数の振動板が、面が相対向するように並べて前記基板の一面上に立設されているので、空気の流れが制御され放熱効果をさらに高めることが可能である。
【０００９】
また、本発明に係る放熱装置は、前記高分子アクチュエータが、一対の導電層と、前記一対の導電層の間に配された電解質層とから構成されることが好ましい。
高分子アクチュエータの二枚の導電層間に電圧（バイアス）を印加すると、電解質層に含まれるサイズの異なる陽イオンと負イオンが偏在し、その体積差によってアクチュエータが湾曲運動する。このように高分子アクチュエータを稼働させると、高分子アクチュエータからなる放熱板間距離を動的に変化させることができる。これにより周囲の空気が接伴されるので、放熱を促進することができる。
【００１０】
また、本発明に係る放熱装置は、前記導電層が、カーボンナノチューブを含有することが好ましい。
カーボンナノチューブは、高い熱伝導度を有し、また比表面積も大きいため、放熱特性上有利である。
【００１１】
また、本発明に係る放熱装置は、前記基板の一面上に一対のクランプが配されており、該クランプの間に前記振動板の一端部を挟み込むことにより、前記振動板が前記基板に固設されていることが好ましい。
前記基板の一面上に配された一対のクランプの間に前記振動板の一端部を挟み込むことにより、短冊形状の振動板を基板上に容易に立設することができる。
【００１２】
また、本発明に係る放熱装置は、前記基板の一面に溝が設けられており、該溝内に前記振動板の一端部を挿入することにより、前記振動板が前記基板に固設されていることが好ましい。
前記基板の一面に設けられた溝に前記振動板の一端部を挟み込むことにより、短冊形状の振動板を基板上に容易に立設することができる。
【００１３】
また、本発明に係る放熱装置は、前記振動板が、前記一端部において前記一対の導電層が分離され、それぞれの内側の面の一部が前記基板の一面に対向させた状態で、前記基板に固設されていることが好ましい。
振動板の一対の導電層を分離して基板上に固設することで、振動板を基板に固設するための部材が不要となり、振動板を基板上に簡単に固設することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、基板上に複数の振動板を自由に配置することが可能であり、容易に放熱効果を高めることが可能な放熱装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る放熱装置の第一実施形態を示す斜視図。
【図２】高分子アクチュエータの動作する様子を示す写真。
【図３】高分子アクチュエータの一例を示す断面図。
【図４】図１に示す放熱装置において、振動板を基板上に立設する方法の一例を示す断面図。
【図５】高分子アクチュエータの一例を示す断面図。
【図６】リード線を用いた給電の一例を示す断面図。
【図７】高分子アクチュエータの一例を示す断面図。
【図８】高分子アクチュエータの一例を示す断面図。
【図９】振動板を基板上に立設する方法の一例を示す断面図。
【図１０】リード線を用いた給電の一例を示す断面図。
【図１１】高分子アクチュエータの一例を示す断面図。
【図１２】本発明に係る放熱装置の第二実施形態において、振動板が基板上に立設された状態を示す断面図。
【図１３】図１２に示す放熱装置において、リード線を用いた給電の一例を示す断面図。
【図１４】リード線を用いた給電の一例を示す断面図。
【図１５】本発明の放熱装置の他の形態を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る放熱装置の一実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
（第一実施形態）
図１は、本発明の放熱装置の第一実施形態を示す斜視図である。図１（ａ）は放熱装置の全体図を示しており、図１（ｂ）は放熱装置が備える高分子アクチュエータの動作状況を示す。
図１（ａ）に示すように、本発明の放熱装置１Ａ（１）は、基板２と、前記基板２の一面２ａ上に個別に立設された、高分子アクチュエータ１０からなる複数の振動板３と、を備え、前記振動板３は、短冊形状をなし、その長手方向の一端部３ａが前記基板２の一面２ａ側に固設されて固定端を、長手方向の他端部３ｂが自由端をそれぞれ成しており、前記自由端側が前記固定端側に対して振動可能とされていること、を特徴とする。
【００１８】
図１（ｂ）は１つの高分子アクチュエータについて、その動作状況を示す斜視図である。図１（ｂ）において、中央の図が図１（ａ）に相当しており、高分子アクチュエータ１０の長手方向が、基板２の一面２ａに対して垂直をなすｚ軸方向に立設された状態を表している。
後述するとおり、本発明の放熱装置１Ａ（１）を構成する高分子アクチュエータ１０は、その長手方向の一端部３ａが前記基板２の一面２ａ側に固設されて固定端を成している。この固定端側において、高分子アクチュエータ１０を構成する一対の導電層間に電圧（バイアス）を印加することにより、自由端を成している高分子アクチュエータ１０の長手方向の他端部３ｂが振動する。具体的には、高分子アクチュエータ１０の長手方向の他端部３ｂは、図１（ｂ）において、左側の図では左向きの矢印方向（−ｘ方向）へ、あるいは右側の図では右向きの矢印方向（＋ｘ方向）へ、振動可能とされている。
【００１９】
図２は、高分子アクチュエータの動作する様子を示す写真であり、短冊状のアクチュエータの一端を固定し、短冊状のアクチュエータの短辺に沿う方向から、カメラで撮影した写真である。
図２において、図２（ａ）はバイアス印加前（あるいはバイアス印加がゼロ）の状態を、図２（ｂ）はバイアス印加中（振動中）の状態を、それぞれ表している。すなわち、図２（ａ）の写真は、図１（ｂ）における中央の図に相当する。そして、図２（ｂ）の写真は、図１（ｂ）における左側の図あるいは右側の図に相当する。
図２の写真から、本発明に係る高分子アクチュエータ１０を構成する短冊形状の振動板３においては、その長手方向の一端部が基板に固設された固定端を、長手方向の他端部が自由端を、それぞれ成しており、自由端が固定端に対して変動することにより、振動板３は長手方向において湾曲するように変形している様子分かる。
【００２０】
上述したように、本発明の放熱装置１Ａ（１）では、前記基板２の一面２ａ上に個別に立設された複数の振動板３は、長手方向の一端部３ａが前記基板２の一面２ａ側に固設され、長手方向の他端部３ｂが自由端をそれぞれ成しており、前記自由端側が振動可能とされているので、複数の振動板３を基板２上に高密度に配置することが可能である。したがって、本発明の放熱装置１Ａ（１）では、基板２上に複数の振動板３を自由に配置することが可能であり、容易に放熱効果を高めることが可能である。
【００２１】
基板２は、特に限定されるものではないが、高熱伝導度のものがより好適である。使用する基板２の絶縁性、導電性は問わないが、導電性の基板２を用いる場合には、振動板３の搭載箇所を適宜絶縁する必要が有る。本実施形態では、基板２として、平坦な板状のもの（ヒートスプレッダ）を用いている。
【００２２】
基板２には、所定の配線パターン（図示略）が形成されている。配線パターンにはめっきした銅が好適に用いられるが、他の金属や導電性材料であっても構わない。また配線パターンの形成方法も、めっきに限らず任意の方法で形成して良い。基板２が金属などの導電性の場合は、少なくとも配線パターンの下部には絶縁層を設けることが必要である。
【００２３】
振動板３は、高分子アクチュエータ１０からなる。この高分子アクチュエータ１０は、図３に示すように、一対の導電層１１と、前記一対の導電層１１の間に配された電解質層１２とから構成される。
前記導電層１１は、カーボンナノチューブを含有する。カーボンナノチューブは、銅やアルミニウムなどの高熱伝導度を有する金属に比べて約３倍の熱伝導度を有し、また比表面積も大きいため、放熱特性上有利である。
【００２４】
カーボンナノチューブとイオン液体を混合すると、ゲル化することが知られている。これをバッキーゲルと呼ぶ（参考文献Fukushima et al.Angew.Chem.lnt.Ed.2005,44,2410）。本実施形態では、高分子アクチュエータ１０の材料として、このバッキーゲルを用いる。
バッキーゲルにポリマ（典型的にはフッ素系のゴム材料）を混合して作製した二枚の導電層１１の間に、イオン液体とポリマとを混合して作製した電解質層１２を挟んでホットプレスすると、図３に示すようなバッキーゲル高分子アクチュエータ１０が得られる。このようなバッキーゲル高分子アクチュエータ１０は、幅が数ｍｍ（典型的には１〜５ｍｍ）、長さが数ｃｍ（典型的には０．５〜３ｃｍ）、厚さが例えば２０μｍ〜１００μｍ程度（典型的には５０μｍ）の短冊状である。
【００２５】
なお、導電層１１へのポリマの添加は任意である。ポリマを添加すると、高分子アクチュエータ１０自身により高い弾性を持たせることができる。一方、より高い熱伝導度や放熱性が必要な場合は、ポリマを添加せずにカーボンナノチューブとイオン液体のみで導電層１１を構成すると良い。特にポリマを添加しない場合には、スーパーグロースカーボンナノチューブ等の長尺のカーボンナノチューブを用いるとより好適である。
【００２６】
そして、このような高分子アクチュエータ１０の一対の導電層１１間に電圧を印加すると、電解質層１２に含まれるサイズの異なる陽イオンと負イオンが偏在し、その体積差によって高分子アクチュエータ１０が湾曲運動する。このように高分子アクチュエータ１０を稼働させると、高分子アクチュエータ１０からなる振動板３間距離を動的に変化させることができる。これにより周囲の空気が接伴されるので、放熱を促進することができる。
すなわち、本発明では、熱伝導性の高いアクチュエータ自身をヒートシンクとして用いて、そのヒートシンク自身を稼働する「可動型ヒートシンク」（ソフトヒートシンク）を実現する点がポイントとなる。
【００２７】
バッキーゲルは、カーボンナノチューブを分散させて作るために、カーボンナノチューブの高い導電性と熱伝導性を併せ持つ。またカーボンナノチューブの比表面積は大きいので、カーボンナノチューブを含むバッキーゲルアクチュエータの比表面積は、アクチュエータの実表面積の千倍に値するため、放熱性も良好となる。このようなバッキーゲルアクチュエータを用いると、熱伝導性と熱放出性に優れたヒートシンクを作製することが可能となる。加えて、ヒートシンク自体がアクチュエータで作られているため、電圧を印加することによってこれを稼働させることが可能である。すなわち、ヒートシンクのフィン（ひだ）自身を動かすことによって周囲の空気に粗密を形成することができ、その結果熱放出が促進される。
また、従来はヒートシンク上に冷却ファンを搭載していたために、どうしても嵩高くなってしまっていたものが、本発明では、可動型ヒートシンクを用いることで、放熱特性を損なうことなく大幅に高さを抑制できるようになる。
【００２８】
このような高分子アクチュエータ１０からなる振動板３は、図４に示すように、前記基板２の一面２ａ上に一対のクランプ６が配されており、該クランプの間に前記振動板３の一端部を挟み込むことにより、前記振動板３が前記基板２に固設されている。
本実施形態では、基板２上に一対のクランプ６を設けている。クランプ６の空隙に振動板３を挿入し、ネジ、バネ、空気圧、スペーサなどの方法で振動板３の一端部を挟むことにより、短冊形状の振動板３を基板２上に容易に立設することができる。
【００２９】
しかしながら、このようなクランプ６によって振動板３を基板２上に固設する場合、振動板３を十分強くクランプすることが困難である。振動板３を強くクランプすると、内部の電解質層１２が押しつぶされてこの部分の電解質層１２が薄くなり、高分子アクチュエータ１０（振動板３）の動作に影響が生じる可能性があるからである。
【００３０】
そこで、図５に示すように、振動板３がクランプされる部位の電解質層１２を、ポリイミドやテフロン（登録商標）などのフッ素系樹脂の薄い絶縁性のフィルムからなるスペーサ層１４に置き換えて高分子アクチュエータ１０を形成してもよい。
高分子アクチュエータ１０の導電層１１に含まれるイオンは、電解質層１２を経由して導電層１１間に印加された電圧の符号に応じて反対側の導電層１１に移動する。電解質層１２は、フッ素系ポリマにイオン液体が含まれたものであり、イオンの通り道となることができるものである。従って、このスペーサ層１４としては、イオンを通さない物質であればよい。この観点から、イオン液体を含まないフッ素系のポリマをスペーサ層１４として用いることも可能である。
スペーサ層１４を含む高分子アクチュエータ１０からなる振動板３を、強くクランプしても高分子アクチュエータ１０の特性に影響することなく、より強固に固定することができる。
【００３１】
このような放熱装置１Ａ（１）において、高分子アクチュエータ１０への給電は、例えば、図４に示すように、高分子アクチュエータ１０に接触するクランプ６の内壁に導電性の給電電極層７を設けておき、基板２に形成された配線パターンを通じて電源に電気的に接続する方法が挙げられる。このとき、高分子アクチュエータ１０に直接触れる箇所には、導電層１１に含まれるイオン液体で腐食しにくい金などの貴金属を用いるのが好適である。
【００３２】
また、高分子アクチュエータ１０への給電として、図６に示すように、リード線２０を用いてもよい。高分子アクチュエータ１０の固定箇所と給電箇所とを分けることにより、高分子アクチュエータ１０を駆動させても、安定して給電することができる。また、リード線２０を用いることにより、クランプ６の内壁の高分子アクチュエータ１０と接触する部位に任意の物質を使用することができる。この部分に例えば柔らかい樹脂を用いると、高分子アクチュエータ１０を駆動させても、その動きを吸収するので、アクチュエータを安定に固定できる。これにより、高分子アクチュエータ１０の寿命を向上することができる。
【００３３】
また、図７に示すように、アクチュエータ１０の導電層１１のリード線２０が接続される部位に、金フィルム１５を貼り付けしておくと、より効率的な給電ができる。カーボンナノチューブが主成分である導電層１１の表面には微細な凹凸が多数存在する。アクチュエータ１０の成型時（二枚の導電層１１と電解質層１２の熱圧着時）に、給電位置となる部位に、金フィルム１５を同時にプレスすると、この微細な凹凸にフィルムが圧着され、アクチュエータ１０とリード線２０とのの電気的接触を向上することができる。
【００３４】
なお、スペーサ層１４を含む高分子アクチュエータ１０をプレス成型後、図８に示すようにスペーサ層１４を除去すると、クランプされる部位の導電層１１が独立した状態となる。図９に示すように、この独立した導電層１１を、絶縁部１５を介してそれぞれ個別にクランプすることによって、より強固にアクチュエータを保持することができる。また強くクランプすることによって、クランプ６の給電電極層７と高分子アクチュエータ１０の電気的な接触を向上させることができる。もちろん、この場合もリード線２０を用いて給電してもよい（図１０参照）。
さらに図１１に示すように、一対の導電層１１の間に、スペーサ層１４を二枚挿入し、導電層１１の内側に残るようにしてもよい。これにより、導電層１１の内側の絶縁と補強とが可能になる。
【００３５】
前記複数の振動板３は、図１に示すように、面が相対向するように並べて前記基板２の一面２ａ上に立設されている。前記複数の振動板３を、面が相対向するように並べて立設することで、図１中矢印に示すように、振動板３の幅方向に連続した空隙ができる。
この空隙による熱や空気の輸送が可能となる。特に、基板２に傾斜を設けたり、空隙が縦方向に繋がるように振動板３を設置すると、いわゆる煙突効果によって空気の流れを制御することができ、熱輸送、熱放出の効率を高めることが可能である。
【００３６】
隣接する振動板３同士の間隔は、特に限定されるものではないが、振動板３同士の間隔が狭すぎると、振動板３を振動させたときに振動板同士が接触しやすくなり、振動板の振動幅が低下するので放熱効率が低下する。また、振動板同士が接触することによって振動板が損傷する、などの不具合が生じ易くなる。また、振動板３同士の間隔が広すぎると、単位面積あたりの振動板３の搭載数が減少するため、振動板３の表面積が減少し、放熱効果が低下する。振動板３同士の間隔は、例えば、振動板３の長手方向の長さよりも短い距離とすることが好ましい。
また、並べて配された複数の振動板３を、集団としてどのように振動させるかは重要である。例えば、振動板３の振幅を、隣り合う振動板３同士がぶつからない程度の幅に調整する。あるいは、複数の振動板３を、同一のタイミングで振動させてもよい。
【００３７】
すなわち、本発明の放熱装置１では、カーボンナノチューブの大きな比表面積に起因する、振動板３表面からの放熱（ヒートシンク）に加えて、振動板３を稼動させることによって振動板３の間隔を変化させることにより、より効率的な放熱が可能となる（可動式のヒートシンク）。また、本発明の放熱装置１では、複数の振動板３を基板２上に高密度かつ自由に配置することが可能であり、容易に放熱効果を高めることができる。
【００３８】
（第二実施形態）
次に、本発明の放熱装置の第二実施形態について説明する。
なお、以下に示す説明では、上述した実施形態と異なる部分について主に説明し、第一実施形態と同様の部分については、その説明を省略する。
図１２は、本実施形態に係る放熱装置１Ｂ（１）の一構成例を模式的に示す図であり、放熱装置１Ｂ（１）において、高分子アクチュエータ１０からなる振動板３が基板２上に立設された状態を示す断面図である。
【００３９】
本実施形態の放熱装置１Ｂ（１）では、前記基板２の一面２ａに溝８が設けられており、該溝８内に前記振動板３の一端部３ａを挿入することにより、前記振動板３が前記基板２に固設されている。
基板２の一上に溝８（スリット）を設け、この溝８に前記振動板３の一端部３ａを挟み込むことにより、短冊形状の振動板３を基板２上に容易に立設することができる。必要に応じて、溝８の側壁と振動板３の間にスペーサ（図示略）を挿入することにより、振動板３を基板２に立設することもできる。
【００４０】
このような放熱装置１Ｂ（１）において、高分子アクチュエータ１０への給電は、例えば、高分子アクチュエータ１０に接触する溝８の内壁に導電性の給電電極層９を設けておき、基板２に形成された配線層を通じて電源に電気的に接続する方法が挙げられる。また、高分子アクチュエータ１０への給電として、図１３に示すように、リード線２０を用いてもよい。高分子アクチュエータ１０の固定箇所と給電箇所とを分けることにより、高分子アクチュエータ１０を駆動させても、安定して給電することができる。
また、図１４に示すように、溝８を、基板２を貫通して形成し、基板２の反対側に給電箇所を設けてもよい。
【００４１】
以上、本発明の放熱装置について説明してきたが、本発明は上述した例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、高分子アクチュエータ１０からなる振動板３を基板２上に立設する方法としては、上述した例に限定されず、他の形態とすることも可能である。例えば、図１５に示すように、振動板３（アクチュエータ１０）の一端部３ａにおいて一対の導電層１１が分離され、それぞれの内側の面の一部が前記基板２の一面２ａに対向させた状態で、前記基板２に固設されていてもよい。基板２上に電極パッド４を設け、この電極パッド４に対し、アクチュエータ１０の二枚の導電層１１をそれぞれ電気的に接触させ固定する。これによりアクチュエータ１０の基板２への固定と、アクチュエータ１０への給電が容易となる。振動板３を開いて基板２上に固設することで、開いた部分に生ずる空洞を、空気や熱の通り道とすることができるので、熱輸送、熱放出の効率をさらに高めることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、電子機器等に搭載される放熱装置に広く適用可能である。特に、放熱装置自体が狭い内部空間に設置が求められる放熱装置として、本発明は好適である。
【符号の説明】
【００４３】
１Ａ，１Ｂ（１）放熱装置、２基板、３振動板、３ａ一端部、３ｂ他端部、６クランプ、７，９給電電極層、８溝、１０高分子アクチュエータ、１１導電層、１２電解質層、１４スペーサ、２０リード線。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の一面上に個別に立設された、高分子アクチュエータからなる複数の振動板と、を備え、
前記振動板は、短冊形状をなし、その長手方向の一端部が前記基板の一面側に固設されて固定端を、長手方向の他端部が自由端をそれぞれ成しており、前記自由端側が前記固定端側に対して振動可能とされていること、を特徴とする放熱装置。
【請求項２】
前記複数の振動板は、面が相対向するように並べて前記基板の一面上に立設されていること、を特徴とする請求項１に記載の放熱装置。
【請求項３】
前記高分子アクチュエータは、一対の導電層と、前記一対の導電層の間に配された電解質層とから構成されること、を特徴とする請求項１又は２に記載の放熱装置。
【請求項４】
前記導電層は、カーボンナノチューブを含有することを特徴とする請求項３に記載の放熱装置。
【請求項５】
前記基板の一面上に一対のクランプが配されており、該クランプの間に前記振動板の一端部を挟み込むことにより、前記振動板が前記基板に固設されていること、を特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の放熱装置。
【請求項６】
前記基板の一面に溝が設けられており、該溝内に前記振動板の一端部を挿入することにより、前記振動板が前記基板に固設されていること、を特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の放熱装置。
【請求項７】
前記振動板は、前記一端部において前記一対の導電層が分離され、それぞれの内側の面の一部が前記基板の一面に対向させた状態で、前記基板に固設されていること、を特徴とする請求項３又は４に記載の放熱装置。

【図１】