放電加工用ワイヤ
【課題】 被加工体の純度の向上と、研削加工や洗浄工程の簡略化を図る。
【解決手段】 炭素繊維により形成されたことを特徴とする放電加工用ワイヤ。
【解決手段】 炭素繊維により形成されたことを特徴とする放電加工用ワイヤ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電加工用ワイヤに関する。さらに詳しくは被加工体が炭化ケイ素焼結体である放電加工用ワイヤに関する。
【背景技術】
【０００２】
放電加工装置の形式の１つとして、被加工体にドリル等で孔をあけ、あけた孔にワイヤ電極を通し、そのワイヤ電極と被加工体を相対的に移動させて被加工体を切断加工する放電加工装置がある。この放電加工装置によればリング状部を備える最終成形品を得ることができる。かかる装置に用いられるワイヤは、真鍮、亜鉛メッキされたピアノ線、タングステン線などの金属から形成されているため、ワイヤ中の金属不純物が被加工体の表面に焼き付く傾向がある。そのため、高純度が求められる半導体製造用部品の加工にあたっては、製品の出荷前に焼き付き部を研削加工したり、薬液洗浄などして不純物部分を取り除く必要があった（例えば、特許文献１参照。）。特に、被加工体に線幅の狭い溝を研削加工する場合には細心の注意と熟練の技術が必要とされていた。
【特許文献１】特開２００１−９３９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
そのため、被加工体の純度の向上と、研削加工や洗浄工程の簡略化が求められていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
即ち、本発明は、以下の記載事項に関する：
（１）炭素繊維により形成されたことを特徴とする放電加工用ワイヤ。
（２）上記炭素繊維の断面の直径は、０．０２ｍｍ以下である上記（１）記載の放電加工用ワイヤ。
（３）上記炭素繊維は、引張強度が３５００MPａ以上である上記（１）又は（２）記載の放電加工用ワイヤ。
（４）上記炭素繊維は、複数のフィラメントの束からなり、１５回／ｍ以上で撚ってある上記（１）〜（３）のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
（５）上記フィラメント数は、１０００本以上である上記（４）記載の放電加工用ワイヤ。
（６）上記炭素繊維は、ポリアクリロニトリル系炭素樹脂である上記（１）〜（５）のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
（７）上前記放電加工用ワイヤの被加工体は、炭化ケイ素焼結体である上記（１）〜（６）のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
（８）上記炭素繊維は、表面にメッキ処理がなされている上記（１）〜（７）のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【発明の効果】
【０００５】
研削加工や洗浄工程の簡略化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下に実施形態を挙げて本発明を説明するが、本発明が以下の実施形態に限定されないことはいうまでもない。
図１はワーク１を配置した放電加工装置の概略観念図を示す。かかる放電加工装置は、
ワイヤ供給ローラ１１と、
ワイヤ供給ローラ１１から供給され、ワイヤガイド１３と上部ワイヤガイド１５を介してワーク１の貫通孔１ａを通り抜けるワイヤ３と、
ワーク１が配置されたステージ４と、
ワーク１を取り囲む仮想線で示された加工槽３５と、
加工槽３５にポンプ３３を介して接続された加工液タンク３１と、
ステージ４の下部に配置された下部ワイヤガイド１７を介してワイヤ３を巻き取るワイヤ巻き取りローラ１９と、
ステージ４のＸ軸駆動部２１とＹ軸駆動部２３に接続され、また上部ワイヤガイド１５のＸ軸駆動部２５とＹ軸駆動部２７に接続されたステージ４と上部ワイヤガイド１５の動作を制御するCPU５０と、
ワイヤガイド１３と上部ワイヤガイド１５の間に接続された電気エネルギ供給部４２とステージ４に接続された電気エネルギ供給部４４を有するワイヤ３に電源を供給する加工電源４０と、を備える。
【０００７】
ワイヤ３は、炭素繊維により形成されていることが好ましい。炭素繊維は導電性があり、機械的特性、例えば密度が金属に比べて小さく、引張強度、引張弾性率が高く、疲労特性、磨耗特性、潤滑性に優れるからである。さらに熱的特性、例えば線膨張係数が小さく、寸法安定性に優れており、高温下における機械的性質の低下並びに極低温域での熱伝導率も小さいからである。また炭素繊維製のワイヤ３は金属製ワイヤに比して不純物濃度の含有量が極めて少ないため、ワーク１に放電加工した場合、ワイヤ３の不純物がワーク１表面に焼き付くおそれが極めて低いからである。
【０００８】
ワーク１に微細加工を行う観点からは炭素繊維の断面の直径は０．０２ｍｍ以下であることが好ましい。ワイヤ３断面の直径の下限は特に制限されないが、０．００５ｍｍ程度である。炭素繊維の引張強度は３５００MPａ以上であることが好ましい。上記強度よりも強度が低いと放電加工の際に、ワイヤ３が切れるおそれがあるからである。また炭素繊維は、複数のフィラメント、好ましくは１０００本以上のフィラメント束からなることが好ましい。ワイヤ３の強度を上げてワイヤ３の切れを防止するためである。またワイヤ３は１５回／ｍ以上で撚ってあっても構わない。ワイヤ３をワーク１の貫通孔１ａに挿入する際に挿入しやすくなるからである。またワイヤー径が一定となり寸法精度が向上するからである。ワーク１の高純度化を図る観点からは、炭素繊維中の鉄（Fe）、銅（Cu）、亜鉛（Zn）、タングステン（W）等の全不純物濃度の総計は１００ｐｐｍ以下が好ましい。
【０００９】
炭素繊維としては、ポリアクリロニトリル系炭素樹脂やピッチ系炭素繊維が挙げられる。ポリアクリロニトリル系炭素樹脂としては、例えば東邦テナックス社製、商品名「ベスファイト」を用いることができる。尚、放電加工速度をあげる観点からは炭素繊維の表面にメッキ処理を施しても構わない。但し、ワーク１の純度の向上を図る観点からはメッキ処理なされていないことが好ましい。
【００１０】
ワーク１とワイヤ３との間の相対運動は、ステージ４の移動により行われる。ステージ４の移動はＸ軸駆動部２１とＹ軸駆動部２３をそれぞれ制御することにより行われる。尚、放電加工装置としては、上記構成を備える装置であれば特に制限なく市販の放電加工装置を用いることができる。例えば三菱電機社製、商品名「ＡＤＯＭＡＱ」を用いることができる。
【００１１】
（放電加工方法）
まず、ワーク１を用意する。ここでは例として導電性を備えた高純度炭化ケイ素焼結体からなるブリヂストン株式会社製商品名「ピュアベータ」の円板状のワーク１を用いる。切り出された後のワーク１の最終形状はリング状の製品であるとする。
【００１２】
次に、ワーク１の所定の位置に放電加工法を用いて貫通孔１ａを設ける。貫通孔１ａは図２に示すように、ワーク１の表面に中空部６１ａを備える放電電極６１を押し付ける。そして加工溶液を供給しながら放電電極６１に電流を流し、放電電極６１とワーク１の間に生じた火花でワーク１を粉砕する。この工程を放電電極６１を矢印Ａの方向に向かって除々に移動させながら行う。その際、放電電極６１の中空部６１ａから純水または加工溶液をワーク１の加工溝中に流し込み、加工溝中の粉砕紛をワーク１の表面に押し流しながら放電加工を行うことが好ましい。このようにして図３に示す仮想線で示す貫通孔１ａを備えるワーク１を得る。
【００１３】
続いて、図４（ａ）（ｂ）に示すように貫通孔１ａを設けたワーク１をステージ４の中央に配置する。そして図５に示すようにワイヤ供給ローラ１１から供給されたワイヤ３を、ワイヤ３ガイドと上部ワイヤガイド１５を介してワーク１の貫通孔１ａに通し、図６に示すようにステージ４下部に配置された下部ワイヤガイド１７を介してワイヤ巻き取りローラ１９で巻き取り、ワイヤ３を張る。
【００１４】
その後、加工電源４０から電圧をワーク１とワイヤ３間に印加して放電によりワーク１の一部を溶融飛散する。その際、加工液タンク３１からポンプ３３を介して送られた加工液を仮想線で示される加工槽３５内に設けられたノズル（図示せず）から、直接ワーク１に供給する。加工槽３５には加工液や純水を浸漬させても構わない。加工液としては通常、イオン交換された水（純水に近い水）が用いられる。そしてステージ４の位置を少しずつ移動させて、ワーク１上に所望のパターンの溝を形成する。
【００１５】
最後にワーク１表面の洗浄を行う。洗浄液としては、純水、蒸留水、イオン交換水又は酸溶液等が挙げられる。ワークの逆汚染を防止する観点からは純水が好ましい。純水としては、純度が１００ｐｐｔ以下のレベルで、かつ比抵抗が１６〜１８ＭΩ・ｃｍのものが好ましく、純度が１０ｐｐｔ未満のものがより好ましい。また、洗浄液として酸溶液を用いる場合、沸硝酸液{ＨＦ／ＨＮＯ３／水（０．５／０．５／３）（体積比）}を使用することが好ましい。洗浄液に炭化ケイ素焼結体を浸漬する時間は、２分〜６０分が好ましく、５分〜３０分がより好ましく、１０分〜２０分がさらに好ましい。洗浄液に浸漬する場合、常に新しい洗浄液によって洗浄されるように、オーバーフロー方式で行ってもよく、さらに、この方式とカスケード方式とを組み合わせて行ってもよい。炭化ケイ素焼結体の洗浄方法に用いられる洗浄装置としては、従来公知の装置や、従来公知の装置に改良を加えた装置を用いることができる。尚、洗浄方法は上記溶液洗浄に制限されず、超音波洗浄並びに上記溶液洗浄を組合せてもよい。
【００１６】
上記実施形態にかかる放電加工方法によれば、炭素繊維からなるワイヤ３を用いるため、不純物がワーク１に付着しずらい。そのため従来必要とされていた研削工程や洗浄工程の簡略化を図ることができる。さらに炭素繊維からなるワイヤ３は、従来のワイヤに比して直径が短いため、線幅の狭い溝を加工することができる。
【００１７】
本実施形態により得られた炭化ケイ素焼結体は、半導体各種部材及び電子部品等に好適に使用することができる。半導体各種部材としては、ダミーウェハ、ヒーター、プラズマエッチング電極、イオン注入装置ターゲット等の高純度が望まれる部材が挙げられる。
【実施例】
【００１８】
以下に、本発明の実施例を示すが、本発明はこれら実施例に何ら制限されない。
【００１９】
（実施例）（比較例１、２）
上記実施形態の手法に従って、ワーク１に放電加工を行った。
ワーク１としては、ブリヂストン株式会社製、商標名「ピュアベータ」の高純度炭化ケイ素焼結体からなる直径４０ｍｍ厚さ３０ｍｍの円板状試験片を用いた。
放電加工機としては、三菱電機社製、商品名「ＡＤＯＭＡＱ」の改良型放電加工機を用いた。
炭素繊維ワイヤ３としては、東邦ラナックス株式会社製、商品名「ベスファイト」のフィラメント数１２０００本、撚り回数１５回／ｍ、直径０．００７ｍｍのワイヤ３を用いた。黄銅ワイヤ３としては、株式会社ＫＨＳ社製、商品名「ＫＨワイヤ３」の直径０．１５ｍｍのワイヤ３を用いた。黄銅被覆ピアノ線ワイヤ３としては、株式会社ＫＨＳ社製、商品名「ＡＰワイヤ３」の直径０．０５ｍｍのワイヤ３を用いた。
洗浄条件としては、超音波をかけながらの純水洗浄４０分、ＦＭＮ溶液（フッ酸、硝酸、純水）洗浄４０分、超音波をかけながらの純水洗浄３０分、５０％硝酸洗浄６０分、超音波をかけながらの純水洗浄５分、純水洗浄５分の順番でワーク１を洗浄した。
ワーク１に放電加工を行った直後に、不純物元素濃度を測定した。また、洗浄後にワーク１の平面と溝の不純物元素濃度を測定した。また、参考例として放電加工前のワーク１の表面の不純物元素濃度を測定した。得られた分析結果をそれぞれ表１、２、３に示す。不純物元素濃度としては、鉄（Ｆｅ）、銅（Ｃｕ）、亜鉛（Ｚｎ）の濃度を測定した。分析装置としては、全反射蛍光X線分析装置を用いた。
【表１】
【表２】
【表３】
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１はワークを配置した放電加工装置の概略観念図を示す。
【図２】図２は、ワークに放電加工法を用いて貫通孔を設ける工程図を示す。
【図３】図３は、貫通孔を備えるワークの側面図を示す。
【図４】図４（ａ）はステージの側面図を示し、図４（ｂ）はステージの上面図を示す。
【図５】図５はワークの貫通孔にワイヤを通す工程図を示す。
【図６】図６はワークの貫通孔に通したワイヤを巻き取る工程図を示す。
【符号の説明】
【００２１】
１…ワーク
１ａ…貫通孔
３…ワイヤ
４…ステージ
１１…ワイヤ供給ローラ
１３、１８…ワイヤガイド
１５…上部ワイヤガイド
１７…下部ワイヤガイド
１９…ワイヤ巻き取りローラ
２１、２５…Ｘ軸駆動部
２３、２７…Ｙ軸駆動部
３１…加工液タンク
３３…ポンプ
３５…加工槽
４０…加工電源
４２、４４…電気エネルギ供給部
５０…ＣＰＵ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電加工用ワイヤに関する。さらに詳しくは被加工体が炭化ケイ素焼結体である放電加工用ワイヤに関する。
【背景技術】
【０００２】
放電加工装置の形式の１つとして、被加工体にドリル等で孔をあけ、あけた孔にワイヤ電極を通し、そのワイヤ電極と被加工体を相対的に移動させて被加工体を切断加工する放電加工装置がある。この放電加工装置によればリング状部を備える最終成形品を得ることができる。かかる装置に用いられるワイヤは、真鍮、亜鉛メッキされたピアノ線、タングステン線などの金属から形成されているため、ワイヤ中の金属不純物が被加工体の表面に焼き付く傾向がある。そのため、高純度が求められる半導体製造用部品の加工にあたっては、製品の出荷前に焼き付き部を研削加工したり、薬液洗浄などして不純物部分を取り除く必要があった（例えば、特許文献１参照。）。特に、被加工体に線幅の狭い溝を研削加工する場合には細心の注意と熟練の技術が必要とされていた。
【特許文献１】特開２００１−９３９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
そのため、被加工体の純度の向上と、研削加工や洗浄工程の簡略化が求められていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
即ち、本発明は、以下の記載事項に関する：
（１）炭素繊維により形成されたことを特徴とする放電加工用ワイヤ。
（２）上記炭素繊維の断面の直径は、０．０２ｍｍ以下である上記（１）記載の放電加工用ワイヤ。
（３）上記炭素繊維は、引張強度が３５００MPａ以上である上記（１）又は（２）記載の放電加工用ワイヤ。
（４）上記炭素繊維は、複数のフィラメントの束からなり、１５回／ｍ以上で撚ってある上記（１）〜（３）のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
（５）上記フィラメント数は、１０００本以上である上記（４）記載の放電加工用ワイヤ。
（６）上記炭素繊維は、ポリアクリロニトリル系炭素樹脂である上記（１）〜（５）のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
（７）上前記放電加工用ワイヤの被加工体は、炭化ケイ素焼結体である上記（１）〜（６）のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
（８）上記炭素繊維は、表面にメッキ処理がなされている上記（１）〜（７）のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【発明の効果】
【０００５】
研削加工や洗浄工程の簡略化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下に実施形態を挙げて本発明を説明するが、本発明が以下の実施形態に限定されないことはいうまでもない。
図１はワーク１を配置した放電加工装置の概略観念図を示す。かかる放電加工装置は、
ワイヤ供給ローラ１１と、
ワイヤ供給ローラ１１から供給され、ワイヤガイド１３と上部ワイヤガイド１５を介してワーク１の貫通孔１ａを通り抜けるワイヤ３と、
ワーク１が配置されたステージ４と、
ワーク１を取り囲む仮想線で示された加工槽３５と、
加工槽３５にポンプ３３を介して接続された加工液タンク３１と、
ステージ４の下部に配置された下部ワイヤガイド１７を介してワイヤ３を巻き取るワイヤ巻き取りローラ１９と、
ステージ４のＸ軸駆動部２１とＹ軸駆動部２３に接続され、また上部ワイヤガイド１５のＸ軸駆動部２５とＹ軸駆動部２７に接続されたステージ４と上部ワイヤガイド１５の動作を制御するCPU５０と、
ワイヤガイド１３と上部ワイヤガイド１５の間に接続された電気エネルギ供給部４２とステージ４に接続された電気エネルギ供給部４４を有するワイヤ３に電源を供給する加工電源４０と、を備える。
【０００７】
ワイヤ３は、炭素繊維により形成されていることが好ましい。炭素繊維は導電性があり、機械的特性、例えば密度が金属に比べて小さく、引張強度、引張弾性率が高く、疲労特性、磨耗特性、潤滑性に優れるからである。さらに熱的特性、例えば線膨張係数が小さく、寸法安定性に優れており、高温下における機械的性質の低下並びに極低温域での熱伝導率も小さいからである。また炭素繊維製のワイヤ３は金属製ワイヤに比して不純物濃度の含有量が極めて少ないため、ワーク１に放電加工した場合、ワイヤ３の不純物がワーク１表面に焼き付くおそれが極めて低いからである。
【０００８】
ワーク１に微細加工を行う観点からは炭素繊維の断面の直径は０．０２ｍｍ以下であることが好ましい。ワイヤ３断面の直径の下限は特に制限されないが、０．００５ｍｍ程度である。炭素繊維の引張強度は３５００MPａ以上であることが好ましい。上記強度よりも強度が低いと放電加工の際に、ワイヤ３が切れるおそれがあるからである。また炭素繊維は、複数のフィラメント、好ましくは１０００本以上のフィラメント束からなることが好ましい。ワイヤ３の強度を上げてワイヤ３の切れを防止するためである。またワイヤ３は１５回／ｍ以上で撚ってあっても構わない。ワイヤ３をワーク１の貫通孔１ａに挿入する際に挿入しやすくなるからである。またワイヤー径が一定となり寸法精度が向上するからである。ワーク１の高純度化を図る観点からは、炭素繊維中の鉄（Fe）、銅（Cu）、亜鉛（Zn）、タングステン（W）等の全不純物濃度の総計は１００ｐｐｍ以下が好ましい。
【０００９】
炭素繊維としては、ポリアクリロニトリル系炭素樹脂やピッチ系炭素繊維が挙げられる。ポリアクリロニトリル系炭素樹脂としては、例えば東邦テナックス社製、商品名「ベスファイト」を用いることができる。尚、放電加工速度をあげる観点からは炭素繊維の表面にメッキ処理を施しても構わない。但し、ワーク１の純度の向上を図る観点からはメッキ処理なされていないことが好ましい。
【００１０】
ワーク１とワイヤ３との間の相対運動は、ステージ４の移動により行われる。ステージ４の移動はＸ軸駆動部２１とＹ軸駆動部２３をそれぞれ制御することにより行われる。尚、放電加工装置としては、上記構成を備える装置であれば特に制限なく市販の放電加工装置を用いることができる。例えば三菱電機社製、商品名「ＡＤＯＭＡＱ」を用いることができる。
【００１１】
（放電加工方法）
まず、ワーク１を用意する。ここでは例として導電性を備えた高純度炭化ケイ素焼結体からなるブリヂストン株式会社製商品名「ピュアベータ」の円板状のワーク１を用いる。切り出された後のワーク１の最終形状はリング状の製品であるとする。
【００１２】
次に、ワーク１の所定の位置に放電加工法を用いて貫通孔１ａを設ける。貫通孔１ａは図２に示すように、ワーク１の表面に中空部６１ａを備える放電電極６１を押し付ける。そして加工溶液を供給しながら放電電極６１に電流を流し、放電電極６１とワーク１の間に生じた火花でワーク１を粉砕する。この工程を放電電極６１を矢印Ａの方向に向かって除々に移動させながら行う。その際、放電電極６１の中空部６１ａから純水または加工溶液をワーク１の加工溝中に流し込み、加工溝中の粉砕紛をワーク１の表面に押し流しながら放電加工を行うことが好ましい。このようにして図３に示す仮想線で示す貫通孔１ａを備えるワーク１を得る。
【００１３】
続いて、図４（ａ）（ｂ）に示すように貫通孔１ａを設けたワーク１をステージ４の中央に配置する。そして図５に示すようにワイヤ供給ローラ１１から供給されたワイヤ３を、ワイヤ３ガイドと上部ワイヤガイド１５を介してワーク１の貫通孔１ａに通し、図６に示すようにステージ４下部に配置された下部ワイヤガイド１７を介してワイヤ巻き取りローラ１９で巻き取り、ワイヤ３を張る。
【００１４】
その後、加工電源４０から電圧をワーク１とワイヤ３間に印加して放電によりワーク１の一部を溶融飛散する。その際、加工液タンク３１からポンプ３３を介して送られた加工液を仮想線で示される加工槽３５内に設けられたノズル（図示せず）から、直接ワーク１に供給する。加工槽３５には加工液や純水を浸漬させても構わない。加工液としては通常、イオン交換された水（純水に近い水）が用いられる。そしてステージ４の位置を少しずつ移動させて、ワーク１上に所望のパターンの溝を形成する。
【００１５】
最後にワーク１表面の洗浄を行う。洗浄液としては、純水、蒸留水、イオン交換水又は酸溶液等が挙げられる。ワークの逆汚染を防止する観点からは純水が好ましい。純水としては、純度が１００ｐｐｔ以下のレベルで、かつ比抵抗が１６〜１８ＭΩ・ｃｍのものが好ましく、純度が１０ｐｐｔ未満のものがより好ましい。また、洗浄液として酸溶液を用いる場合、沸硝酸液{ＨＦ／ＨＮＯ３／水（０．５／０．５／３）（体積比）}を使用することが好ましい。洗浄液に炭化ケイ素焼結体を浸漬する時間は、２分〜６０分が好ましく、５分〜３０分がより好ましく、１０分〜２０分がさらに好ましい。洗浄液に浸漬する場合、常に新しい洗浄液によって洗浄されるように、オーバーフロー方式で行ってもよく、さらに、この方式とカスケード方式とを組み合わせて行ってもよい。炭化ケイ素焼結体の洗浄方法に用いられる洗浄装置としては、従来公知の装置や、従来公知の装置に改良を加えた装置を用いることができる。尚、洗浄方法は上記溶液洗浄に制限されず、超音波洗浄並びに上記溶液洗浄を組合せてもよい。
【００１６】
上記実施形態にかかる放電加工方法によれば、炭素繊維からなるワイヤ３を用いるため、不純物がワーク１に付着しずらい。そのため従来必要とされていた研削工程や洗浄工程の簡略化を図ることができる。さらに炭素繊維からなるワイヤ３は、従来のワイヤに比して直径が短いため、線幅の狭い溝を加工することができる。
【００１７】
本実施形態により得られた炭化ケイ素焼結体は、半導体各種部材及び電子部品等に好適に使用することができる。半導体各種部材としては、ダミーウェハ、ヒーター、プラズマエッチング電極、イオン注入装置ターゲット等の高純度が望まれる部材が挙げられる。
【実施例】
【００１８】
以下に、本発明の実施例を示すが、本発明はこれら実施例に何ら制限されない。
【００１９】
（実施例）（比較例１、２）
上記実施形態の手法に従って、ワーク１に放電加工を行った。
ワーク１としては、ブリヂストン株式会社製、商標名「ピュアベータ」の高純度炭化ケイ素焼結体からなる直径４０ｍｍ厚さ３０ｍｍの円板状試験片を用いた。
放電加工機としては、三菱電機社製、商品名「ＡＤＯＭＡＱ」の改良型放電加工機を用いた。
炭素繊維ワイヤ３としては、東邦ラナックス株式会社製、商品名「ベスファイト」のフィラメント数１２０００本、撚り回数１５回／ｍ、直径０．００７ｍｍのワイヤ３を用いた。黄銅ワイヤ３としては、株式会社ＫＨＳ社製、商品名「ＫＨワイヤ３」の直径０．１５ｍｍのワイヤ３を用いた。黄銅被覆ピアノ線ワイヤ３としては、株式会社ＫＨＳ社製、商品名「ＡＰワイヤ３」の直径０．０５ｍｍのワイヤ３を用いた。
洗浄条件としては、超音波をかけながらの純水洗浄４０分、ＦＭＮ溶液（フッ酸、硝酸、純水）洗浄４０分、超音波をかけながらの純水洗浄３０分、５０％硝酸洗浄６０分、超音波をかけながらの純水洗浄５分、純水洗浄５分の順番でワーク１を洗浄した。
ワーク１に放電加工を行った直後に、不純物元素濃度を測定した。また、洗浄後にワーク１の平面と溝の不純物元素濃度を測定した。また、参考例として放電加工前のワーク１の表面の不純物元素濃度を測定した。得られた分析結果をそれぞれ表１、２、３に示す。不純物元素濃度としては、鉄（Ｆｅ）、銅（Ｃｕ）、亜鉛（Ｚｎ）の濃度を測定した。分析装置としては、全反射蛍光X線分析装置を用いた。
【表１】
【表２】
【表３】
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１はワークを配置した放電加工装置の概略観念図を示す。
【図２】図２は、ワークに放電加工法を用いて貫通孔を設ける工程図を示す。
【図３】図３は、貫通孔を備えるワークの側面図を示す。
【図４】図４（ａ）はステージの側面図を示し、図４（ｂ）はステージの上面図を示す。
【図５】図５はワークの貫通孔にワイヤを通す工程図を示す。
【図６】図６はワークの貫通孔に通したワイヤを巻き取る工程図を示す。
【符号の説明】
【００２１】
１…ワーク
１ａ…貫通孔
３…ワイヤ
４…ステージ
１１…ワイヤ供給ローラ
１３、１８…ワイヤガイド
１５…上部ワイヤガイド
１７…下部ワイヤガイド
１９…ワイヤ巻き取りローラ
２１、２５…Ｘ軸駆動部
２３、２７…Ｙ軸駆動部
３１…加工液タンク
３３…ポンプ
３５…加工槽
４０…加工電源
４２、４４…電気エネルギ供給部
５０…ＣＰＵ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭素繊維により形成されたことを特徴とする放電加工用ワイヤ。
【請求項２】
前記炭素繊維の断面の直径は、０．０２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項３】
前記炭素繊維は、引張強度が３５００MPａ以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項４】
前記炭素繊維は、複数のフィラメントの束からなり、１５回／ｍ以上で撚ってあることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項５】
前記フィラメント数は、１０００本以上であることを特徴とする請求項４記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項６】
前記炭素繊維は、ポリアクリロニトリル系炭素樹脂であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項７】
前記放電加工用ワイヤの被加工体は、炭化ケイ素焼結体であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項８】
前記炭素繊維は、表面にメッキ処理がなされていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項１】
炭素繊維により形成されたことを特徴とする放電加工用ワイヤ。
【請求項２】
前記炭素繊維の断面の直径は、０．０２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項３】
前記炭素繊維は、引張強度が３５００MPａ以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項４】
前記炭素繊維は、複数のフィラメントの束からなり、１５回／ｍ以上で撚ってあることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項５】
前記フィラメント数は、１０００本以上であることを特徴とする請求項４記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項６】
前記炭素繊維は、ポリアクリロニトリル系炭素樹脂であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項７】
前記放電加工用ワイヤの被加工体は、炭化ケイ素焼結体であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【請求項８】
前記炭素繊維は、表面にメッキ処理がなされていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の放電加工用ワイヤ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００７−３００７５（Ｐ２００７−３００７５Ａ）
【公開日】平成１９年２月８日（２００７．２．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２１４２２１（Ｐ２００５−２１４２２１）
【出願日】平成１７年７月２５日（２００５．７．２５）
【出願人】（０００００５２７８）株式会社ブリヂストン (11,469)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年２月８日（２００７．２．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年７月２５日（２００５．７．２５）
【出願人】（０００００５２７８）株式会社ブリヂストン (11,469)
【Ｆターム（参考）】
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