斜方蒸着装置、スクリーンの製造方法及び搬送方向変更装置
【課題】少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な蒸着装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートＷ１に、一方の面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿う状態で斜方蒸着を行う斜方蒸着装置であって、一方の面が縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートＷ１を、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする第１搬送方向変更部２０と、第１搬送方向変更部２０の後段に配置され、凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する斜方蒸着部４０とを備える斜方蒸着装置１。
【解決手段】少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートＷ１に、一方の面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿う状態で斜方蒸着を行う斜方蒸着装置であって、一方の面が縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートＷ１を、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする第１搬送方向変更部２０と、第１搬送方向変更部２０の後段に配置され、凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する斜方蒸着部４０とを備える斜方蒸着装置１。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、斜方蒸着装置、スクリーンの製造方法及び搬送方向変更装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長尺シートに蒸着を行う蒸着装置が広く知られている（例えば、特許文献１参照。）。従来の蒸着装置によれば、長尺シートにおける一方の全面に渡って安定した蒸着を行うことが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３２３５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の蒸着装置においては、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することができないという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な蒸着装置を提供することを目的とする。また、上記のような斜方蒸着装置を用いるスクリーンの製造方法を提供することを目的とする。さらにまた、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能な搬送方向変更装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ところで、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着する蒸着装置として、対象物（本発明の場合は長尺シート）に対して斜め方向から蒸着物質を蒸着する斜方蒸着部を備える斜方蒸着装置が考えられる（後述する図３参照。）。このような斜方蒸着部においては、面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿う（いわゆる「立たせた」）状態で蒸着を行うことが好ましいが、長尺シートの搬送には面が鉛直方向に対して垂直な面に沿う（いわゆる「寝せた」）状態で搬送を行うことが搬送の安定性の観点から好ましく、また、繰り出しロール等を立たせておくと多大な体積を占有してしまうため、従来の蒸着装置のような蒸着装置に上記の斜方蒸着部をそのまま適用することができなかった。そこで、本発明の発明者は、上記の点を踏まえた鋭意研究の結果、長尺シートの搬送方向を変更する構成要素を含めた斜方蒸着装置を想到し、本発明として完成させた。本発明は以下の構成要素からなる。
【０００７】
［１］本発明の斜方蒸着装置は、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートに、前記一方の面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿う状態で斜方蒸着を行う斜方蒸着装置であって、前記一方の面が前記縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が前記縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、前記一方の面が前記縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿うようにする第１搬送方向変更部と、前記第１搬送方向変更部の後段に配置され、前記凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する斜方蒸着部とを備えることを特徴とする。
【０００８】
このため、本発明の斜方蒸着装置は、凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する斜方蒸着部を備えるため、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な斜方蒸着装置となる。
【０００９】
また、本発明の斜方蒸着装置によれば、一方の面が縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする（長尺シートを立たせた状態にする）第１搬送方向変更部を備えるため、立たせた状態の長尺シートを斜方蒸着部に搬送して、立たせた状態の長尺シートに斜方蒸着を行うことが可能となる。
【００１０】
なお、本発明において「鉛直方向（重力に沿う方向）」というときには、厳密な鉛直方向のみをいうものではなく、実際上鉛直方向として扱える方向も含んでいう。「水平方向（重力に対して垂直な方向）」、「垂直」及び「平行」についても同様であり、実際上「水平方向」、「垂直」又は「平行」として扱える方向も含んでいう。
【００１１】
斜方蒸着に用いる「少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シート」は、例えば、プロジェクターからの投写光を主に使用者に向けて反射する投写用のスクリーンを製造するときに用いられる（後述する実施形態１参照。）。本発明の斜方蒸着装置は、上記のようなスクリーンを製造する用途において（つまり、投写用スクリーン製造用蒸着装置として）好適に用いることができる。
【００１２】
［２］本発明の斜方蒸着装置においては、前記一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿って搬送される前記長尺シートの搬送方向を、前記第１搬送方向変更部の方に向けて変更する前段搬送方向変更部をさらに備えることが好ましい。
【００１３】
このような構成とすることにより、前段搬送方向変更部と第１搬送方向変更部とで搬送方向を変更するため、長尺シートを段階的に寝せた状態から立たせた状態にすることとなり、その結果、長尺シートを寝せた状態から立たせた状態にするときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００１４】
なお、「長尺シートの捩れ」とは、搬送方向を変更することに起因して、一方の面の凹凸部をはじめとする長尺シートの形状が捩れてしまう事をいう。
【００１５】
［３］本発明の斜方蒸着装置においては、前記前段搬送方向変更部は、前記前段搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する前段搬送方向変更ローラーを備えることが好ましい。
【００１６】
このような構成とすることにより、簡易に、かつ、安定して長尺シートの搬送方向を変更することが可能となる。
【００１７】
［４］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第１搬送方向変更部は、前記第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備えることが好ましい。
【００１８】
ところで、第１搬送方向変更部においては、長尺シートを折り曲げるように搬送方向を変更するため、長尺シートの一方の端と他方の端とで進行方向が異なる状態となり、長尺シートの捩れの原因となることがある。しかしながら、上記のような構成とすることにより、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００１９】
［５］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第１搬送方向変更部は、前記第１搬送方向変更部を通過する前の前記長尺シートの前記一方の面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の第１水平軸回転体からなる第１水平軸回転部と、前記第１水平軸回転部の後段に配置され鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の第１鉛直軸回転体からなる第１鉛直軸回転部とを備えることも好ましい。
【００２０】
このような構成とすることにより、複数の第１水平軸回転体からなる第１水平軸回転部と、複数の第１鉛直軸回転体からなる第１鉛直軸回転部とを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００２１】
また、上記のような構成とすることにより、長尺シートが、まず複数の第１水平軸回転体からなる第１水平軸回転部に接触し、次に複数の第１鉛直軸回転体からなる第１鉛直軸回転部に接触するため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第１水平軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第１鉛直軸回転体とに長尺シートが段階的に接触することになり、その結果、長尺シートを立たせた状態にするときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００２２】
なお、第１水平軸回転体は、水平方向に沿う回転軸を有するため、いわゆる「縦回転」をする回転体となる。後述する第２水平軸回転体も同様である。また、第１鉛直軸回転体は、鉛直方向に回転軸を有するため、いわゆる「横回転」をする回転体となる。後述する第２鉛直軸回転体も同様である。
【００２３】
［６］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第１搬送方向変更部は、前記第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有する複数の第１斜め回転体からなる第１斜め回転部を備えることも好ましい。
【００２４】
このような構成とすることにより、複数の第１斜め回転体からなる第１斜め回転部を備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００２５】
［７］本発明の斜方蒸着装置においては、前記斜方蒸着部からの前記長尺シートの搬送方向を、後段の構成要素に向けて変更する第２搬送方向変更部をさらに備えることが好ましい。
【００２６】
このような構成とすることにより、斜方蒸着部で斜方蒸着した長尺シートを後段の構成要素に向けて搬送することが可能となる。
【００２７】
「後段の構成要素」とは、第２搬送方向変更部の後段に配置される構成要素のことをいい、このような構成要素としては、例えば、別の搬送方向変更部（後述する後段搬送方向部）や、巻き取りローラーを用いることができる。
【００２８】
［８］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第２搬送方向変更部からの前記長尺シートの搬送方向を変更して、前記長尺シートを、前記一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿うようにする後段搬送方向変更部をさらに備えることが好ましい。
【００２９】
このような構成とすることにより、第２搬送方向変更部と後段搬送方向変更部とで搬送方向を変更するため、長尺シートを段階的に立たせた状態から寝せた状態にすることとなり、その結果、長尺シートを立たせた状態から寝せた状態にするときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００３０】
［９］本発明の斜方蒸着装置においては、前記後段搬送方向変更部は、前記後段搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する後段搬送方向変更ローラーを備えることが好ましい。
【００３１】
このような構成とすることにより、簡易に、かつ、安定して長尺シートの搬送方向を変更し、長尺シートを寝せた状態にすることが可能となる。
【００３２】
［１０］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第２搬送方向変更部は、前記第２搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備えることが好ましい。
【００３３】
このような構成とすることにより、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００３４】
［１１］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第２搬送方向変更部は、鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の第２鉛直軸回転体からなる第２鉛直軸回転部と、前記第２鉛直軸回転部の後段に配置され、前記第２搬送方向変更部を通過した後の前記長尺シートの前記一方の面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の第２水平軸回転体からなる第２水平軸回転部とを備えることも好ましい。
【００３５】
このような構成とすることにより、複数の第２鉛直軸回転体からなる第２鉛直軸回転部と、複数の第２水平軸回転体からなる第２水平軸回転部とを備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、長尺シートの搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００３６】
また、上記のような構成とすることにより、長尺シートが、まず複数の第２鉛直軸回転体からなる第２鉛直軸回転部に接触し、次に複数の第２水平軸回転体からなる第２水平軸回転部に接触するため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第２鉛直軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第２水平軸回転体とにより、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００３７】
［１２］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第２搬送方向変更部は、前記第２搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有する複数の第２斜め回転体からなる第２斜め回転部を備えることも好ましい。
【００３８】
このような構成とすることにより、複数の第２斜め回転体からなる第２斜め回転部を備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００３９】
［１３］本発明のスクリーンの製造方法は、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有しスクリーンの基材となる長尺シートにおける、前記凹凸部の一部に蒸着反射層が選択的に形成されたスクリーンの製造方法であって、本発明の斜方蒸着装置を用いて、前記長尺シートにおける前記凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着し、前記蒸着反射層を形成する工程を含むことを特徴とする。
【００４０】
本発明のスクリーンの製造方法によれば、本発明の斜方蒸着装置を用いて長尺シートにおける凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着し、蒸着反射層を形成する工程を含むため、プロジェクターからの投写光(特に、斜方から投写される投写光)を主に使用者に向けて反射することが可能な投写用のスクリーンを容易に製造することが可能となる。
【００４１】
「凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する」とは、例えば、凹凸部が山形形状からなる場合には、当該山形形状における峰で区分される一方の領域の全部又は一部に蒸着材料を斜方蒸着することをいう。また、凹凸部が略半球形状の凹部（いわゆるマイクロレンズ）の組み合わせからなる場合には、当該略半球形状の一部に蒸着材料を斜方蒸着することをいう。
【００４２】
［１４］本発明の搬送方向変更装置は、長尺シートの搬送に用いる搬送方向変更装置であって、前記搬送方向変更装置を通過する前の前記長尺シートの面又は前記搬送方向変更部を通過した後の前記長尺シートの面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部と、鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部とを備えることを特徴とする。
【００４３】
本発明の搬送方向変更装置によれば、水平軸回転部と鉛直軸回転部とを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００４４】
また、本発明の搬送方向変更装置によれば、長尺シートが、まず水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部に接触し、次に鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部に接触するか、又は、この逆の順番で接触するかであるため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する水平軸回転体又は鉛直軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する鉛直軸回転体又は水平軸回転体とにより、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施形態１に係る斜方蒸着装置１を説明するために示す図。
【図２】実施形態１における長尺シートＷ１を説明するために示す図。
【図３】実施形態１における斜方蒸着部４０を説明するために示す図。
【図４】実施形態１におけるスクリーンＳＣＲの部分拡大断面図。
【図５】実施形態１に係るスクリーンの製造方法のフローチャート。
【図６】実施形態２に係る斜方蒸着装置２を説明するために示す図。
【図７】実施形態２における第１水平軸回転部８２を説明するために示す図。
【図８】実施形態２における第１水平軸回転体８３を説明するために示す図。
【図９】実施形態２における第１鉛直軸回転部８６を説明するために示す図。
【図１０】実施形態３に係る斜方蒸着装置３を説明するために示す図。
【図１１】実施形態３における第１斜め回転部（前段搬送方向変更部１００）を説明するために示す図。
【図１２】実施形態３における第１斜め回転体１０２を説明するために示す図。
【図１３】変形例１における長尺シートＷ２を説明するために示す図。
【図１４】変形例２における長尺シートＷ３を説明するために示す図。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
以下、本発明の斜方蒸着装置、スクリーンの製造方法及び搬送方向変更装置について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００４７】
［実施形態１］
図１は、実施形態１に係る斜方蒸着装置１を説明するために示す図である。図１（ａ）は斜方蒸着装置１の斜視図であり、図１（ｂ）は斜方蒸着装置１の正面図であり、図１（ｃ）は斜方蒸着装置１の側面図である。図１における矢印は、長尺シートＷ１の搬送方向を示すものである。
図２は、実施形態１における長尺シートＷ１を説明するために示す図である。図２（ａ）は長尺シートＷ１の１単位を示す平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ１−Ａ１断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。なお、図２においては、説明のために凹凸部の数を減らし、また、凹凸部を大きく表示している。後述する図３、図４、図１３及び図１４においても同様である。
【００４８】
図３は、実施形態１における斜方蒸着部４０を説明するために示す図である。図３（ａ）は斜方蒸着部４０の内部を示す正面断面図であり、図３（ｂ）は斜方蒸着部４０の内部を示す側面断面図である。図３における矢印は、蒸着源４４から飛散する蒸着材料Ｍを示すものである。
図４は、実施形態１におけるスクリーンＳＣＲの部分拡大断面図である。なお、図４は模式図であり、蒸着された蒸着材料Ｍの厚さを大きく表示している。
【００４９】
斜方蒸着装置やその構成要素を説明する図面においては、互いに直交する３つの方向をそれぞれｘ軸方向（図１において長尺シートＷ１が第１搬送方向変更部２０から第２搬送方向変更部６０まで搬送される方向、つまり縦平面内における水平方向）、ｙ軸方向（図１（ｂ）における紙面に平行かつｘ軸に垂直な方向）及びｚ軸方向（図１（ｂ）における紙面に垂直かつｘ軸に垂直な方向）として表示する。
【００５０】
まず、実施形態１に係る斜方蒸着装置１の構成を説明する。
実施形態１に係る斜方蒸着装置１は、図１に示すように、一方の面（図２（ａ）において示す面）に複数の凹凸部を有する長尺シートＷ１に、一方の面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿う状態で斜方蒸着を行う斜方蒸着装置であって、前段搬送方向変更部１０と、第１搬送方向変更部２０と、補助ローラー部３０，５０と、斜方蒸着部４０と、第２搬送方向変更部６０と、後段搬送方向変更部７０とを備える。実施形態１に係る斜方蒸着装置１は、いわゆるバッチ式の斜方蒸着装置であり、蒸着ごとに長尺シートＷ１の搬送が停止する。なお、本発明の斜方蒸着装置は上記のものに限られるものではなく、例えば、連続蒸着式の斜方蒸着装置とすることもできる。
【００５１】
斜方蒸着装置１においては、図１に表示する矢印で示すように長尺シートＷ１を搬送する。なお、図示及び詳しい説明は省略するが、実施形態１においては、斜方蒸着装置１の前段には、例えば、長尺シートＷ１を繰り出す繰り出しローラー等があり、斜方蒸着装置１の後段には、例えば、長尺シートＷ１を巻き取る巻き取りローラー等がある。当該繰り出しローラー及び巻き取りローラーは、回転軸が水平方向に沿うように設置される。
【００５２】
長尺シートＷ１における凹凸部は、図２に示すように、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなる。
実施形態１で用いる長尺シートＷ１は、図２（ａ）に示す長尺シートＷ１の１単位を紙面横方向に連結したパターンを有する。
実施形態１で用いる長尺シートＷ１においては、当該山形形状は、使用者から見たときに、直線（図２（ａ）の長方形内の実線）に沿って形成されている。なお、本発明の斜方蒸着装置においては、上記の長尺シートＷ１に限られず、製造するものに合わせて様々な凹凸部が形成された長尺シートに蒸着を行うことができる。
【００５３】
実施形態１においては、斜方蒸着装置１は、山形形状の広い方（当該山形形状を断面形状としたとき、山形形状における峰で区分される領域のうち、傾斜角度が緩い方の領域）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する（図３及び図４参照。）。なお、後述するスクリーンの製造方法に示すように、図４の状態のものが実施形態１に係るスクリーンの製造方法で製造するスクリーンＳＣＲであるということになる。
【００５４】
長尺シートとしては、目的に応じて様々な材料からなるものを用いることができる。好適に用いることができるものの例としては、プレス成形や型による転写等により蒸着面の凹凸部を容易に形成することが可能なもの（例えば、熱可塑性樹脂等からなるもの）を挙げることができる。
【００５５】
前段搬送方向変更部１０は、一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿って搬送される（寝せた状態で搬送される）長尺シートＷ１の搬送方向を、第１搬送方向変更部２０の方に向けて変更する。前段搬送方向変更部１０は、図１に示すように、前段搬送方向変更部１０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する２本の前段搬送方向変更ローラー１２，１４を備える。前段搬送方向変更ローラー１２，１４は、図示しない回転力付加装置（例えば、回転モーター）により回転し、長尺シートＷ１を搬送する。
【００５６】
実施形態１においては、前段搬送方向変更部１０は、長尺シートＷ１の搬送方向を上方に向けて９０°変更する。このため、長尺シートＷ１は、図１に示すように、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向（鉛直方向）に沿うことになる。
【００５７】
実施形態１においては、第１搬送方向変更部２０は、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートＷ１を、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする（立たせた状態にする）。
【００５８】
第１搬送方向変更部２０は、第１搬送方向変更部２０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備える。当該第１低摩擦ローラーは、実施形態１においては、第１搬送方向変更部２０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても４５°で交わる回転軸を有する。第１低摩擦ローラーとしては、例えば、表面にポリテトラフルオロエチレン等の低摩擦力樹脂によるコーティングが施された回転ローラーを用いることができる。
【００５９】
補助ローラー部３０は、第１搬送方向変更部２０と斜方蒸着部４０との間に配置され、長尺シートＷ１の搬送を補助する。補助ローラー部３０は、補助ローラー３２，３４を備える。補助ローラー３２，３４は、図示しない回転力付加装置（例えば、回転モーター）により回転する。
【００６０】
斜方蒸着部４０は、第１搬送方向変更部２０の後段に配置され、凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着する。よって、一方の面が縦平面に沿う状態の長尺シートＷ１に斜方蒸着を行うことになる。斜方蒸着部４０は、図３に示すように、真空チャンバー４２、蒸着源４４及び真空保持部４６，４８を備える。
真空チャンバー４２は、蒸着時において、内部を蒸着に適した環境（例えば、１０−２Ｐａ〜１０−３Ｐａの低圧環境）に保つ。蒸着源４４及び真空保持部４６，４８は、真空チャンバー４２内に配置されている。真空チャンバー４２は、図示しない真空ポンプ及び排気装置を有する。
【００６１】
蒸着源４４は、長尺シートＷ１に対して斜め下に配置され（図３（ｂ）参照。）、蒸着時において蒸着材料Ｍを収容し加熱する。なお、蒸着材料としては、目的に応じて様々なものを用いることができ、例えば、金属や無機誘電体を用いることができる。実施形態１においては、蒸着材料Ｍはアルミニウムからなる。詳しい説明は省略するが、蒸着源４４は、蒸着材料Ｍを収容するるつぼ及び蒸着材料Ｍを加熱する電子銃（電子ビームを射出する装置）を備える。実施形態１においては、電子銃からの電子ビームによりるつぼ中の蒸着材料Ｍが加熱され、微細な粒子となった蒸着材料Ｍが真空チャンバー４２内に放出される。
【００６２】
実施形態１における斜方蒸着部４０においては、図３に示すように、１個の蒸着源４４を用いているが、本発明はこれに限定されるものではない。斜方蒸着部や長尺シートの大きさ等に合わせて任意の数の蒸着源を用いることができる。
【００６３】
真空保持部４６，４８は、長尺シートＷ１が搬送されるときに開き、蒸着時に閉じることにより、蒸着時において真空チャンバー４２内を蒸着に適した環境に保つ。
【００６４】
補助ローラー部５０は、図１に示すように、斜方蒸着部４０と第２搬送方向変更部６０との間に配置され、長尺シートＷ１の搬送を補助する。補助ローラー部５０は、補助ローラー５２，５４を備える。補助ローラー５２，５４は、図示しない回転力付加装置（例えば、回転モーター）により回転する。
【００６５】
第２搬送方向変更部６０は、斜方蒸着部４０からの長尺シートＷ１の搬送方向を、後段の構成要素（この場合、後段搬送方向変更部７０）に向けて変更する。第２搬送方向変更部６０は、第２搬送方向変更部６０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備える。
【００６６】
当該第２低摩擦ローラーは、実施形態１においては、第２搬送方向変更部６０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても４５°で交わる回転軸を有する。第２低摩擦ローラーとしては、表面にポリテトラフルオロエチレン等の低摩擦力樹脂によるコーティングが施された回転ローラーを用いることができる。
このため、実施形態１においては、第１搬送方向変更部２０と第２搬送方向変更部６０とで同種の構成要素が用いられていることになる。
【００６７】
後段搬送方向変更部７０は、第２搬送方向変更部６０からの長尺シートＷ１の搬送方向を変更して、長尺シートＷ１を、一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿うようにする（長尺シートを寝せた状態にする）。後段搬送方向変更部７０は、後段搬送方向変更部７０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する２本の後段搬送方向変更ローラー７２，７４を備える。後段搬送方向変更ローラー７２，７４は、図示しない回転力付加装置（例えば、回転モーター）により回転し、長尺シートＷ１を搬送する。実施形態１においては、後段搬送方向変更部７０は搬送方向を水平方向に向けて９０°変更する。
このため、実施形態１においては、前段搬送方向変更部１０と後段搬送方向変更部７０とで同種の構成要素が用いられていることになる。
【００６８】
次に、実施形態１に係るスクリーンの製造方法について説明する。
図５は、実施形態１に係るスクリーンの製造方法のフローチャートである。
【００６９】
実施形態１に係るスクリーンの製造方法は、一方の面に複数の凹凸部を有しスクリーンの基材となる長尺シートにおける、凹凸部の一部に蒸着反射層Ｒが選択的に形成されたスクリーンの製造方法であって、図５に示すように、長尺シート準備工程Ｓ１及び蒸着工程Ｓ２を含む。
長尺シート準備工程Ｓ１は、長尺シートＷ１を準備する工程である。長尺シートＷ１の準備については一般的な方法を用いることができ、例えば、プレス成形や型による転写により一方の面の凹凸部（実施形態１においては鋸刃状の山形形状）を形成することにより長尺シートＷ１を準備することができる。
【００７０】
蒸着工程Ｓ２は、実施形態１に係る斜方蒸着装置１を用いて、長尺シートＷ１における凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着し、蒸着反射層Ｒを形成する工程である。具体的には、斜方蒸着装置１を用い、山形形状の広い方（当該山形形状を断面形状としたとき、山形形状における峰で区分される領域のうち、傾斜角度が緩い方の領域）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着して、当該蒸着材料Ｍを蒸着反射層Ｒとする（図４参照。）。その後、長尺シートＷ１を１単位ごとに切り出すことによりスクリーンＳＣＲを製造することができる。
【００７１】
次に、実施形態１に係る斜方蒸着装置１及びスクリーンの製造方法の効果を説明する。
【００７２】
実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着する斜方蒸着部４０を備えるため、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な斜方蒸着装置となる。
【００７３】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、一方の面が縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートＷ１を、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする（長尺シートを立たせた状態にする）第１搬送方向変更部２０を備えるため、立たせた状態の長尺シートを斜方蒸着部に搬送して、立たせた状態の長尺シートに斜方蒸着を行うことが可能となる。
【００７４】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿って搬送される長尺シートＷ１の搬送方向を、第１搬送方向変更部２０の方に向けて変更する前段搬送方向変更部１０を備えるため、前段搬送方向変更部と第１搬送方向変更部とで搬送方向を変更するため、長尺シートを段階的に寝せた状態から立たせた状態にすることとなり、その結果、長尺シートを寝せた状態から立たせた状態にするときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００７５】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、前段搬送方向変更部１０は、前段搬送方向変更部１０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する前段搬送方向変更ローラー１２，１４を備えるため、簡易に、かつ、安定して長尺シートの搬送方向を変更することが可能となる。
【００７６】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、第１搬送方向変更部２０は、第１搬送方向変更部２０を通過するいずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００７７】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、斜方蒸着部４０からの長尺シートＷ１の搬送方向を、後段の構成要素に向けて変更する第２搬送方向変更部６０を備えるため、斜方蒸着部で斜方蒸着した長尺シートを後段の構成要素に向けて搬送することが可能となる。
【００７８】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、第２搬送方向変更部６０からの長尺シートＷ１の搬送方向を変更して、長尺シートＷ１を、一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿うようにする後段搬送方向変更部７０を備えるため、第２搬送方向変更部と後段搬送方向変更部とで搬送方向を変更するため、長尺シートを段階的に立たせた状態から寝せた状態にすることとなり、その結果、長尺シートを立たせた状態から寝せた状態にするときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００７９】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、後段搬送方向変更部７０は、後段搬送方向変更部７０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する後段搬送方向変更ローラー７２，７４を備えるため、簡易に、かつ、安定して長尺シートの搬送方向を変更し、長尺シートを寝せた状態にすることが可能となる。
【００８０】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、第２搬送方向変更部６０は、第２搬送方向変更部６０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００８１】
実施形態１に係るスクリーンの製造方法によれば、実施形態１に係る斜方蒸着装置１を用いて長尺シートＷ１における凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着し、蒸着反射層Ｒを形成する工程（蒸着工程Ｓ２）を含むため、プロジェクターからの投写光(特に、斜方から投写される投写光)を主に使用者に向けて反射することが可能な投写用のスクリーンを容易に製造することが可能となる。
【００８２】
［実施形態２］
図６は、実施形態２に係る斜方蒸着装置２を説明するために示す図である。図６（ａ）は斜方蒸着装置２の斜視図であり、図６（ｂ）は斜方蒸着装置２の正面図であり、図６（ｃ）は斜方蒸着装置２の側面図である。図６における矢印は、長尺シートＷ１の搬送方向を示すものである。
図７は、実施形態２における第１水平軸回転部８２を説明するために示す図である。図７（ａ）は第１水平軸回転部８２の斜視図であり、図７（ｂ）は第１水平軸回転部８２の正面図であり、図７（ｃ）は第１水平軸回転部８２の側面図である。
【００８３】
図８は、実施形態２における第１水平軸回転体８３を説明するために示す図である。図８（ａ）は第１水平軸回転体８３の斜視図であり、図８（ｂ）は第１水平軸回転体８３の正面図であり、図８（ｃ）は第１水平軸回転体８３の側面図である。
図９は、実施形態２における第１鉛直軸回転部８６を説明するために示す図である。図９（ａ）は第１鉛直軸回転部８６の斜視図であり、図９（ｂ）は第１鉛直軸回転部８６の正面図であり、図９（ｃ）は第１鉛直軸回転部８６の側面図である。
【００８４】
実施形態２に係る斜方蒸着装置２は、基本的には実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様の構成を有するが、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成が実施形態１に係る斜方蒸着装置１とは異なる。すなわち、実施形態２に係る斜方蒸着装置２においては、図６に示すように、第１搬送方向変更部８０は第１水平軸回転部８２と第１鉛直軸回転部８６とを備え、第２搬送方向変更部９０は第２鉛直軸回転部９２と第２水平軸回転部９６とを備える。
【００８５】
第１水平軸回転部８２は、図６〜図８に示すように、第１搬送方向変更部８２を通過する前の長尺シートＷ１の搬送方向と垂直であり、かつ、水平方向に沿う回転軸８３ａｘを有する１３個の第１水平軸回転体８３からなる。第１水平軸回転体８３は、図８に示すように、回転可能な回転部８４及び固定されている固定部８５を有し、全体として車輪状の形状を有する。第１水平軸回転体８３としては、例えば、ボールベアリングを用いることができる。１３個の第１水平軸回転体８３は、それぞれ固定部８５同士で、４５°の角度で配列するように固定されている。
【００８６】
第１水平軸回転体８３の回転部８４においては、長尺シートＷ１と接触する部分に面取りが施されており、当該面取りの角度は回転軸に対して４５°である。なお、第１水平軸回転体８３と長尺シートＷ１とは斜めに（第１水平軸回転体８３の回転軸に対して４５°で）接する。第１鉛直軸回転体８７、第２鉛直軸回転体９３及び第２水平軸回転体９７についても同様である。実施形態２においては、第１水平軸回転体８３、第１鉛直軸回転体８７、第２鉛直軸回転体９３及び第２水平軸回転体９７と、長尺シートＷ１とは斜めに接するため、上記のような構成とすることにより、第１水平軸回転体８３、第１鉛直軸回転体８７、第２鉛直軸回転体９３及び第２水平軸回転体９７の角で長尺シートＷ１が損傷するのを防止することが可能となる。
【００８７】
第１鉛直軸回転部８６は、図６及び図９に示すように、第１水平軸回転部８２の後段に配置され鉛直方向に沿う回転軸８７ａｘ（図示せず。）を有する１３個の第１鉛直軸回転体８７からなる。第１鉛直軸回転体８７は、第１水平軸回転体８３と向き以外は同様の構成を有するために詳しい説明は省略するが、回転部８８及び固定部８９を有する。１３個の第１鉛直軸回転体８７は、それぞれ固定部８９同士で、４５°の角度で配列するように固定されている。
【００８８】
第２鉛直軸回転部９２は、鉛直方向に沿う回転軸９３ａｘ（図示せず。）を有する１３個の第２鉛直軸回転体９３（符号を図示せず。）からなる。第２鉛直軸回転部９２は、向き以外は第１鉛直軸回転部８６と同様の構成を有する。第２鉛直軸回転体９３は、第１水平軸回転体８３と向き以外は同様の構成を有するために詳しい説明は省略するが、回転部９４及び固定部９５（いずれも符号を図示せず。）を有する。１３個の第２鉛直軸回転体９３は、それぞれ固定部９５同士で、４５°の角度で配列するように固定されている。
【００８９】
第２水平軸回転部９６は、第２鉛直軸回転部９２の後段に配置され、第２搬送方向変更部９６を通過した後の長尺シートＷ１の搬送方向と垂直であり、かつ、水平方向に沿う回転軸９７ａｘ（図示せず。）を有する１３個の第２水平軸回転体９７（符号を図示せず。）からなる。第２水平軸回転部９６は、向き以外は第１水平軸回転部８２と同様の構成を有する。第２水平軸回転体９７は、第１水平軸回転体８３と同様の構成を有するために詳しい説明は省略するが、回転部９８及び固定部９９（いずれも符号を図示せず。）を有する。１３個の第２水平軸回転体９７は、それぞれ固定部９９同士で、４５°の角度で配列するように固定されている。
【００９０】
斜方蒸着装置２における第１搬送方向変更部８０及び第２搬送方向変更部９０は、いずれも長尺シートＷ１の搬送に用いる搬送方向変更装置であって、水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部と、鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部とを備える本発明に係る搬送方向変更装置である。
【００９１】
上記のように、実施形態２に係る斜方蒸着装置２は、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成が実施形態１に係る斜方蒸着装置１とは異なるが、凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着する斜方蒸着部４０を備えるため、実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様に、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な斜方蒸着装置となる。
【００９２】
また、実施形態２に係る斜方蒸着装置２によれば、複数の第１水平軸回転体８３からなる第１水平軸回転部８２と、複数の第１鉛直軸回転体８７からなる第１鉛直軸回転部８６とを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００９３】
また、実施形態２に係る斜方蒸着装置２によれば、長尺シートＷ１が、まず複数の第１水平軸回転体８３からなる第１水平軸回転部８２に接触し、次に複数の第１鉛直軸回転体８７からなる第１鉛直軸回転部８６に接触するため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第１水平軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第１鉛直軸回転体とに長尺シートが段階的に接触することになり、その結果、長尺シートを立たせた状態にするときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００９４】
また、実施形態２に係る斜方蒸着装置２によれば、複数の第２鉛直軸回転体９３からなる第２鉛直軸回転部９２と、複数の第２水平軸回転体９７からなる第２水平軸回転部９６とを備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、長尺シートの搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００９５】
また、実施形態２に係る斜方蒸着装置２によれば、長尺シートＷ１が、まず複数の第２鉛直軸回転体９３からなる第２鉛直軸回転部９２に接触し、次に複数の第２水平軸回転体９７からなる第２水平軸回転部９６に接触するため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第２鉛直軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第２水平軸回転体とにより、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００９６】
なお、実施形態２に係る斜方蒸着装置２は、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成以外は実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る斜方蒸着装置１が有する効果のうち該当する効果をそのまま有する。
【００９７】
実施形態２に係る搬送方向変更装置（第１搬送方向変更部８０及び第２搬送方向変更部９０）によれば、水平軸回転部（第１水平軸回転部８２及び第２水平軸回転部９６）と鉛直軸回転部（第１垂直軸回転部８６及び第２鉛直軸回転部９２）とを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００９８】
また、実施形態２に係る搬送方向変更装置によれば、長尺シートＷ１が、まず水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部に接触し、次に鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部に接触するか、又は、この逆の順番で接触するかであるため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する水平軸回転体又は鉛直軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する鉛直軸回転体又は水平軸回転体とにより、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００９９】
［実施形態３］
図１０は、実施形態３に係る斜方蒸着装置３を説明するために示す図である。図１０（ａ）は斜方蒸着装置３の斜視図であり、図１０（ｂ）は斜方蒸着装置３の正面図であり、図１０（ｃ）は斜方蒸着装置３の側面図である。図１０における矢印は、長尺シートＷ１の搬送方向を示すものである。
図１１は、実施形態３における第１斜め回転部（第１搬送方向変更部１００）を説明するために示す図である。図１１（ａ）は第１斜め回転部の斜視図であり、図１１（ｂ）は第１斜め回転部の正面図であり、図１１（ｃ）は第１斜め回転部の側面図である。
図１２は、実施形態３における第１斜め回転体１０２を説明するために示す図である。図１２（ａ）は第１斜め回転体１０２の斜視図であり、図１２（ｂ）は第１斜め回転体１０２を回転軸１０２ａｘに垂直な方向から見る図であり、図１２（ｃ）は第１斜め回転体１０２を回転軸１０２ａｘに沿う方向から見る図である。
【０１００】
実施形態３に係る斜方蒸着装置３は、基本的には実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様の構成を有するが、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成が実施形態１に係る斜方蒸着装置１とは異なる。すなわち、実施形態３に係る斜方蒸着装置３においては、図１０に示すように、第１搬送方向変更部１００は第１斜め回転部を備え、第２搬送方向変更部１１０は第２斜め回転部を備える。
【０１０１】
第１斜め回転部は、図１０及び図１１に示すように、第１搬送方向変更部１００を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸１０２ａｘを有する１３個の第１斜め回転体１０２からなる。第１斜め回転体１０２は、図１２に示すように、回転可能な回転部１０３及び固定されている固定部１０４を有し、全体として車輪状の形状を有する。第１斜め回転体１０２は、例えば、ボールベアリングを用いることができる。１３個の第１斜め回転体１０２は、第１搬送方向変更部１００を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても４５°の回転軸を有し、固定部１０４同士でそれぞれの回転軸が一致するように固定されている。
【０１０２】
第２斜め回転部は、図１０及び図１１に示すように、第２搬送方向変更部１１０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸１１２ａｘ（図示せず。）を有する１３個の第２斜め回転体１１２（符号を図示せず。）からなる。第２斜め回転体１１２は、第１斜め回転体１０２と向き以外は同様の構成を有するために詳しい説明は省略するが、回転部１１３及び固定部１１４（いずれも符号を図示せず。）を有する。１３個の第２斜め回転体１１２は、第２搬送方向変更部１１０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても４５°の回転軸を有し、それぞれ固定部１１４同士で、それぞれの回転軸が一致するように固定されている。
【０１０３】
上記のように、実施形態３に係る斜方蒸着装置３は、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成が実施形態１に係る斜方蒸着装置１とは異なるが、凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着する斜方蒸着部４０を備えるため、実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様に、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な斜方蒸着装置となる。
【０１０４】
また、実施形態３に係る斜方蒸着装置３によれば、複数の第１斜め回転体１０２からなる第１斜め回転部を備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【０１０５】
また、実施形態３に係る斜方蒸着装置３によれば、複数の第２斜め回転体１１２からなる第２斜め回転部を備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【０１０６】
なお、実施形態３に係る斜方蒸着装置３は、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成以外は実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る斜方蒸着装置１が有する効果のうち該当する効果をそのまま有する。
【０１０７】
以上、本発明を上記の実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。その趣旨を逸脱しない範囲において種々の様態において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。
【０１０８】
（１）上記各実施形態において記載した斜方蒸着装置の構成要素や長尺シートの数、材質、形状等は例示であり、本発明の効果を損なわない範囲において変更することが可能である。例えば、前段搬送方向変更部、後段搬送方向変更部及び補助ローラー部はいずれも２本のローラーを備えるものとして記載したが、１本のローラーを備えるものとしてもよいし、３本以上のローラーを備えるものとしてもよい。
【０１０９】
（２）上記各実施形態においては、図２に示すような長尺シートＷ１を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図１３は、変形例１における長尺シートＷ２を説明するために示す図である。図１３（ａ）は長尺シートＷ２の１単位を示す平面図であり、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＡ２−Ａ２断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。図１４は、変形例２における長尺シートＷ３を説明するために示す図である。図１４（ａ）は長尺シートＷ３の１単位を示す平面図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＡ３−Ａ３断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。本発明においては、例えば、図１３に示すような長尺シート（図１３（ａ）に示す１単位を紙面横方向に連結したパターンを有する長尺シートＷ２）や図１４に示すような長尺シート（図１４（ａ）に示す１単位を紙面横方向に連結したパターンを有する長尺シートＷ３）を用いてもよい。
【０１１０】
（３）上記各実施形態においては、第２搬送方向変更部及び後段搬送方向変更部７０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。第２搬送方向変更部及び後段搬送方向変更部を備えなくてもよく、この場合、例えば、第２搬送方向変更部及び後段搬送方向変更部の代わりに長尺シートを立たせた状態のまま巻き取る長尺シート巻き取り部を備えてもよい。
【０１１１】
（４）上記各実施形態においては、第１搬送方向変更部と第２搬送方向変更部とで同種の構成要素（ローラーや回転体）を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。第１搬送方向変更部と第２搬送方向変更部とで異なる構成要素（一例を挙げれば、実施形態１における第１搬送方向変更部２０と実施形態２における第２搬送方向変更部９０との組み合わせ）を用いてもよい。また、上記各実施形態においては、前段搬送方向変更部と後段搬送方向変更部とも同種の構成要素を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。前段搬送方向変更部と後段搬送方向変更部とで異なる構成要素を用いてもよい。
【０１１２】
（５）上記各実施形態においては、前段搬送方向変更部１０及び後段搬送方向変更部７０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。前段搬送方向変更部を備えなくてもよく、この場合、例えば、長尺シートを繰り出す繰り出しローラーを代わりに備えるものとすることができる。また、後段搬送方向変更部を備えなくてもよく、この場合、例えば、長尺シートを巻き取る巻き取りローラーを代わりに備えるものとすることができる。
【０１１３】
（６）上記各実施形態において記載した各構成要素の回転軸の角度や配置角度は例示であり、本発明の効果を損なわない範囲において変更することが可能である。
【０１１４】
（７）上記各実施形態においては、斜方蒸着部４０の前後に配置された補助ローラー部３０，５０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。補助ローラー部を用いなくてもよい。また、さらに多くの補助ローラー部を用いてもよい。さらにまた、異なる位置（例えば、第１搬送方向変更部の前後や、前段搬送方向変更部と第１搬送方向変更部との間）に配置される補助ローラー部を用いてもよい。
【０１１５】
（８）上記実施形態１においては、長尺シート準備工程Ｓ１及び蒸着工程Ｓ２を含むスクリーンの製造方法を例にとって本発明のスクリーンの製造方法を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明のスクリーンの製造方法においては、上記工程以外にも既知の方法を用いる種々の工程（例えば、蒸着工程後の後処理工程や仕上工程）を含んでもよい。
【０１１６】
（９）上記実施形態２においては、本発明の搬送方向変更装置を本発明の斜方蒸着装置２に適用した場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明の搬送方向変更装置は、長尺シートの搬送方向を変更する構成要素を含む装置であれば、種々の装置（長尺シート搬送装置等）に適用することができる。
【０１１７】
（１０）上記各実施形態においては、長尺シートＷ１の搬送方向を９０°変更する前段搬送方向変更部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。長尺シートの搬送方向を９０°以外の角度に変更する前段搬送方向変更部を用いてもよい。この場合、長尺シートは、一方の面が斜めの平面に沿う状態で第１搬送方向変更部に向かうため、一方の面が縦平面以外の平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿うということになる。なお、この場合、第１搬送方向変更部の角度（ローラーを有する場合はローラーの回転軸の角度。複数の回転体を有する場合は回転体の配列角度。）は、第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの長尺シートの搬送方向に対しても４５°以外の角度となる。本発明における第１搬送方向変更部は、上記のように、一方の面が縦平面以外の平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにするものであってもよい。また、後段搬送方向変更部についても同様である。
【０１１８】
（１１）上記各実施形態においては、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする第１搬送方向変更部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。一方の面が縦平面以外の平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿う長尺シートを、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにしてもよい。長尺シートが「一方の面が縦平面以外の平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿う」状態になる場合としては、例えば、長尺シートが寝た状態であり、その搬送方向が斜方蒸着部の内部における長尺シートの搬送方向と同様である場合を挙げることができる。この場合、第１搬送方向変更部は、長尺シートの搬送方向を変えずに長尺シートを捻って長尺シートを立たせるようにするもの（例えば、角度を変更する複数のローラーを備えるもの）となる。
【符号の説明】
【０１１９】
１，２，３…斜方蒸着装置、１０…前段搬送方向変更部、１２，１４…前段搬送方向変更ローラー、２０，８０，１００…第１搬送方向変更部、３０，５０…補助ローラー部、３２，３４，５２，５４…補助ローラー、４０…斜方蒸着部、４２…真空チャンバー、４４…蒸着源、４６，４８…真空保持部、６０，９０，１１０…第２搬送方向変更部、７０…後段搬送方向変更部、７２，７４…後段搬送方向変更ローラー、８２…第１水平軸回転部、８３…第１水平軸回転体、８３ａｘ，１０２ａｘ…回転軸、８４，８８，１０３…回転部、８５，８９，１０４…固定部、８６…第１鉛直軸回転部、８７…第２鉛直軸回転体、９２…第２鉛直軸回転部、９６…第２水平軸回転部、１０２…第１斜め回転体、Ｍ…蒸着物質、Ｒ…蒸着反射層、ＳＣＲ…スクリーン、Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３…長尺シート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、斜方蒸着装置、スクリーンの製造方法及び搬送方向変更装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長尺シートに蒸着を行う蒸着装置が広く知られている（例えば、特許文献１参照。）。従来の蒸着装置によれば、長尺シートにおける一方の全面に渡って安定した蒸着を行うことが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３２３５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の蒸着装置においては、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することができないという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な蒸着装置を提供することを目的とする。また、上記のような斜方蒸着装置を用いるスクリーンの製造方法を提供することを目的とする。さらにまた、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能な搬送方向変更装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ところで、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着する蒸着装置として、対象物（本発明の場合は長尺シート）に対して斜め方向から蒸着物質を蒸着する斜方蒸着部を備える斜方蒸着装置が考えられる（後述する図３参照。）。このような斜方蒸着部においては、面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿う（いわゆる「立たせた」）状態で蒸着を行うことが好ましいが、長尺シートの搬送には面が鉛直方向に対して垂直な面に沿う（いわゆる「寝せた」）状態で搬送を行うことが搬送の安定性の観点から好ましく、また、繰り出しロール等を立たせておくと多大な体積を占有してしまうため、従来の蒸着装置のような蒸着装置に上記の斜方蒸着部をそのまま適用することができなかった。そこで、本発明の発明者は、上記の点を踏まえた鋭意研究の結果、長尺シートの搬送方向を変更する構成要素を含めた斜方蒸着装置を想到し、本発明として完成させた。本発明は以下の構成要素からなる。
【０００７】
［１］本発明の斜方蒸着装置は、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートに、前記一方の面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿う状態で斜方蒸着を行う斜方蒸着装置であって、前記一方の面が前記縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が前記縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、前記一方の面が前記縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿うようにする第１搬送方向変更部と、前記第１搬送方向変更部の後段に配置され、前記凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する斜方蒸着部とを備えることを特徴とする。
【０００８】
このため、本発明の斜方蒸着装置は、凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する斜方蒸着部を備えるため、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な斜方蒸着装置となる。
【０００９】
また、本発明の斜方蒸着装置によれば、一方の面が縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする（長尺シートを立たせた状態にする）第１搬送方向変更部を備えるため、立たせた状態の長尺シートを斜方蒸着部に搬送して、立たせた状態の長尺シートに斜方蒸着を行うことが可能となる。
【００１０】
なお、本発明において「鉛直方向（重力に沿う方向）」というときには、厳密な鉛直方向のみをいうものではなく、実際上鉛直方向として扱える方向も含んでいう。「水平方向（重力に対して垂直な方向）」、「垂直」及び「平行」についても同様であり、実際上「水平方向」、「垂直」又は「平行」として扱える方向も含んでいう。
【００１１】
斜方蒸着に用いる「少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シート」は、例えば、プロジェクターからの投写光を主に使用者に向けて反射する投写用のスクリーンを製造するときに用いられる（後述する実施形態１参照。）。本発明の斜方蒸着装置は、上記のようなスクリーンを製造する用途において（つまり、投写用スクリーン製造用蒸着装置として）好適に用いることができる。
【００１２】
［２］本発明の斜方蒸着装置においては、前記一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿って搬送される前記長尺シートの搬送方向を、前記第１搬送方向変更部の方に向けて変更する前段搬送方向変更部をさらに備えることが好ましい。
【００１３】
このような構成とすることにより、前段搬送方向変更部と第１搬送方向変更部とで搬送方向を変更するため、長尺シートを段階的に寝せた状態から立たせた状態にすることとなり、その結果、長尺シートを寝せた状態から立たせた状態にするときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００１４】
なお、「長尺シートの捩れ」とは、搬送方向を変更することに起因して、一方の面の凹凸部をはじめとする長尺シートの形状が捩れてしまう事をいう。
【００１５】
［３］本発明の斜方蒸着装置においては、前記前段搬送方向変更部は、前記前段搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する前段搬送方向変更ローラーを備えることが好ましい。
【００１６】
このような構成とすることにより、簡易に、かつ、安定して長尺シートの搬送方向を変更することが可能となる。
【００１７】
［４］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第１搬送方向変更部は、前記第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備えることが好ましい。
【００１８】
ところで、第１搬送方向変更部においては、長尺シートを折り曲げるように搬送方向を変更するため、長尺シートの一方の端と他方の端とで進行方向が異なる状態となり、長尺シートの捩れの原因となることがある。しかしながら、上記のような構成とすることにより、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００１９】
［５］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第１搬送方向変更部は、前記第１搬送方向変更部を通過する前の前記長尺シートの前記一方の面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の第１水平軸回転体からなる第１水平軸回転部と、前記第１水平軸回転部の後段に配置され鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の第１鉛直軸回転体からなる第１鉛直軸回転部とを備えることも好ましい。
【００２０】
このような構成とすることにより、複数の第１水平軸回転体からなる第１水平軸回転部と、複数の第１鉛直軸回転体からなる第１鉛直軸回転部とを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００２１】
また、上記のような構成とすることにより、長尺シートが、まず複数の第１水平軸回転体からなる第１水平軸回転部に接触し、次に複数の第１鉛直軸回転体からなる第１鉛直軸回転部に接触するため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第１水平軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第１鉛直軸回転体とに長尺シートが段階的に接触することになり、その結果、長尺シートを立たせた状態にするときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００２２】
なお、第１水平軸回転体は、水平方向に沿う回転軸を有するため、いわゆる「縦回転」をする回転体となる。後述する第２水平軸回転体も同様である。また、第１鉛直軸回転体は、鉛直方向に回転軸を有するため、いわゆる「横回転」をする回転体となる。後述する第２鉛直軸回転体も同様である。
【００２３】
［６］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第１搬送方向変更部は、前記第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有する複数の第１斜め回転体からなる第１斜め回転部を備えることも好ましい。
【００２４】
このような構成とすることにより、複数の第１斜め回転体からなる第１斜め回転部を備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００２５】
［７］本発明の斜方蒸着装置においては、前記斜方蒸着部からの前記長尺シートの搬送方向を、後段の構成要素に向けて変更する第２搬送方向変更部をさらに備えることが好ましい。
【００２６】
このような構成とすることにより、斜方蒸着部で斜方蒸着した長尺シートを後段の構成要素に向けて搬送することが可能となる。
【００２７】
「後段の構成要素」とは、第２搬送方向変更部の後段に配置される構成要素のことをいい、このような構成要素としては、例えば、別の搬送方向変更部（後述する後段搬送方向部）や、巻き取りローラーを用いることができる。
【００２８】
［８］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第２搬送方向変更部からの前記長尺シートの搬送方向を変更して、前記長尺シートを、前記一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿うようにする後段搬送方向変更部をさらに備えることが好ましい。
【００２９】
このような構成とすることにより、第２搬送方向変更部と後段搬送方向変更部とで搬送方向を変更するため、長尺シートを段階的に立たせた状態から寝せた状態にすることとなり、その結果、長尺シートを立たせた状態から寝せた状態にするときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００３０】
［９］本発明の斜方蒸着装置においては、前記後段搬送方向変更部は、前記後段搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する後段搬送方向変更ローラーを備えることが好ましい。
【００３１】
このような構成とすることにより、簡易に、かつ、安定して長尺シートの搬送方向を変更し、長尺シートを寝せた状態にすることが可能となる。
【００３２】
［１０］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第２搬送方向変更部は、前記第２搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備えることが好ましい。
【００３３】
このような構成とすることにより、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００３４】
［１１］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第２搬送方向変更部は、鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の第２鉛直軸回転体からなる第２鉛直軸回転部と、前記第２鉛直軸回転部の後段に配置され、前記第２搬送方向変更部を通過した後の前記長尺シートの前記一方の面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の第２水平軸回転体からなる第２水平軸回転部とを備えることも好ましい。
【００３５】
このような構成とすることにより、複数の第２鉛直軸回転体からなる第２鉛直軸回転部と、複数の第２水平軸回転体からなる第２水平軸回転部とを備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、長尺シートの搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００３６】
また、上記のような構成とすることにより、長尺シートが、まず複数の第２鉛直軸回転体からなる第２鉛直軸回転部に接触し、次に複数の第２水平軸回転体からなる第２水平軸回転部に接触するため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第２鉛直軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第２水平軸回転体とにより、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００３７】
［１２］本発明の斜方蒸着装置においては、前記第２搬送方向変更部は、前記第２搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有する複数の第２斜め回転体からなる第２斜め回転部を備えることも好ましい。
【００３８】
このような構成とすることにより、複数の第２斜め回転体からなる第２斜め回転部を備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００３９】
［１３］本発明のスクリーンの製造方法は、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有しスクリーンの基材となる長尺シートにおける、前記凹凸部の一部に蒸着反射層が選択的に形成されたスクリーンの製造方法であって、本発明の斜方蒸着装置を用いて、前記長尺シートにおける前記凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着し、前記蒸着反射層を形成する工程を含むことを特徴とする。
【００４０】
本発明のスクリーンの製造方法によれば、本発明の斜方蒸着装置を用いて長尺シートにおける凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着し、蒸着反射層を形成する工程を含むため、プロジェクターからの投写光(特に、斜方から投写される投写光)を主に使用者に向けて反射することが可能な投写用のスクリーンを容易に製造することが可能となる。
【００４１】
「凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する」とは、例えば、凹凸部が山形形状からなる場合には、当該山形形状における峰で区分される一方の領域の全部又は一部に蒸着材料を斜方蒸着することをいう。また、凹凸部が略半球形状の凹部（いわゆるマイクロレンズ）の組み合わせからなる場合には、当該略半球形状の一部に蒸着材料を斜方蒸着することをいう。
【００４２】
［１４］本発明の搬送方向変更装置は、長尺シートの搬送に用いる搬送方向変更装置であって、前記搬送方向変更装置を通過する前の前記長尺シートの面又は前記搬送方向変更部を通過した後の前記長尺シートの面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部と、鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部とを備えることを特徴とする。
【００４３】
本発明の搬送方向変更装置によれば、水平軸回転部と鉛直軸回転部とを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００４４】
また、本発明の搬送方向変更装置によれば、長尺シートが、まず水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部に接触し、次に鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部に接触するか、又は、この逆の順番で接触するかであるため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する水平軸回転体又は鉛直軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する鉛直軸回転体又は水平軸回転体とにより、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施形態１に係る斜方蒸着装置１を説明するために示す図。
【図２】実施形態１における長尺シートＷ１を説明するために示す図。
【図３】実施形態１における斜方蒸着部４０を説明するために示す図。
【図４】実施形態１におけるスクリーンＳＣＲの部分拡大断面図。
【図５】実施形態１に係るスクリーンの製造方法のフローチャート。
【図６】実施形態２に係る斜方蒸着装置２を説明するために示す図。
【図７】実施形態２における第１水平軸回転部８２を説明するために示す図。
【図８】実施形態２における第１水平軸回転体８３を説明するために示す図。
【図９】実施形態２における第１鉛直軸回転部８６を説明するために示す図。
【図１０】実施形態３に係る斜方蒸着装置３を説明するために示す図。
【図１１】実施形態３における第１斜め回転部（前段搬送方向変更部１００）を説明するために示す図。
【図１２】実施形態３における第１斜め回転体１０２を説明するために示す図。
【図１３】変形例１における長尺シートＷ２を説明するために示す図。
【図１４】変形例２における長尺シートＷ３を説明するために示す図。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
以下、本発明の斜方蒸着装置、スクリーンの製造方法及び搬送方向変更装置について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００４７】
［実施形態１］
図１は、実施形態１に係る斜方蒸着装置１を説明するために示す図である。図１（ａ）は斜方蒸着装置１の斜視図であり、図１（ｂ）は斜方蒸着装置１の正面図であり、図１（ｃ）は斜方蒸着装置１の側面図である。図１における矢印は、長尺シートＷ１の搬送方向を示すものである。
図２は、実施形態１における長尺シートＷ１を説明するために示す図である。図２（ａ）は長尺シートＷ１の１単位を示す平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ１−Ａ１断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。なお、図２においては、説明のために凹凸部の数を減らし、また、凹凸部を大きく表示している。後述する図３、図４、図１３及び図１４においても同様である。
【００４８】
図３は、実施形態１における斜方蒸着部４０を説明するために示す図である。図３（ａ）は斜方蒸着部４０の内部を示す正面断面図であり、図３（ｂ）は斜方蒸着部４０の内部を示す側面断面図である。図３における矢印は、蒸着源４４から飛散する蒸着材料Ｍを示すものである。
図４は、実施形態１におけるスクリーンＳＣＲの部分拡大断面図である。なお、図４は模式図であり、蒸着された蒸着材料Ｍの厚さを大きく表示している。
【００４９】
斜方蒸着装置やその構成要素を説明する図面においては、互いに直交する３つの方向をそれぞれｘ軸方向（図１において長尺シートＷ１が第１搬送方向変更部２０から第２搬送方向変更部６０まで搬送される方向、つまり縦平面内における水平方向）、ｙ軸方向（図１（ｂ）における紙面に平行かつｘ軸に垂直な方向）及びｚ軸方向（図１（ｂ）における紙面に垂直かつｘ軸に垂直な方向）として表示する。
【００５０】
まず、実施形態１に係る斜方蒸着装置１の構成を説明する。
実施形態１に係る斜方蒸着装置１は、図１に示すように、一方の面（図２（ａ）において示す面）に複数の凹凸部を有する長尺シートＷ１に、一方の面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿う状態で斜方蒸着を行う斜方蒸着装置であって、前段搬送方向変更部１０と、第１搬送方向変更部２０と、補助ローラー部３０，５０と、斜方蒸着部４０と、第２搬送方向変更部６０と、後段搬送方向変更部７０とを備える。実施形態１に係る斜方蒸着装置１は、いわゆるバッチ式の斜方蒸着装置であり、蒸着ごとに長尺シートＷ１の搬送が停止する。なお、本発明の斜方蒸着装置は上記のものに限られるものではなく、例えば、連続蒸着式の斜方蒸着装置とすることもできる。
【００５１】
斜方蒸着装置１においては、図１に表示する矢印で示すように長尺シートＷ１を搬送する。なお、図示及び詳しい説明は省略するが、実施形態１においては、斜方蒸着装置１の前段には、例えば、長尺シートＷ１を繰り出す繰り出しローラー等があり、斜方蒸着装置１の後段には、例えば、長尺シートＷ１を巻き取る巻き取りローラー等がある。当該繰り出しローラー及び巻き取りローラーは、回転軸が水平方向に沿うように設置される。
【００５２】
長尺シートＷ１における凹凸部は、図２に示すように、鋸刃状の断面形状を有する複数の山形形状からなる。
実施形態１で用いる長尺シートＷ１は、図２（ａ）に示す長尺シートＷ１の１単位を紙面横方向に連結したパターンを有する。
実施形態１で用いる長尺シートＷ１においては、当該山形形状は、使用者から見たときに、直線（図２（ａ）の長方形内の実線）に沿って形成されている。なお、本発明の斜方蒸着装置においては、上記の長尺シートＷ１に限られず、製造するものに合わせて様々な凹凸部が形成された長尺シートに蒸着を行うことができる。
【００５３】
実施形態１においては、斜方蒸着装置１は、山形形状の広い方（当該山形形状を断面形状としたとき、山形形状における峰で区分される領域のうち、傾斜角度が緩い方の領域）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着する（図３及び図４参照。）。なお、後述するスクリーンの製造方法に示すように、図４の状態のものが実施形態１に係るスクリーンの製造方法で製造するスクリーンＳＣＲであるということになる。
【００５４】
長尺シートとしては、目的に応じて様々な材料からなるものを用いることができる。好適に用いることができるものの例としては、プレス成形や型による転写等により蒸着面の凹凸部を容易に形成することが可能なもの（例えば、熱可塑性樹脂等からなるもの）を挙げることができる。
【００５５】
前段搬送方向変更部１０は、一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿って搬送される（寝せた状態で搬送される）長尺シートＷ１の搬送方向を、第１搬送方向変更部２０の方に向けて変更する。前段搬送方向変更部１０は、図１に示すように、前段搬送方向変更部１０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する２本の前段搬送方向変更ローラー１２，１４を備える。前段搬送方向変更ローラー１２，１４は、図示しない回転力付加装置（例えば、回転モーター）により回転し、長尺シートＷ１を搬送する。
【００５６】
実施形態１においては、前段搬送方向変更部１０は、長尺シートＷ１の搬送方向を上方に向けて９０°変更する。このため、長尺シートＷ１は、図１に示すように、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向（鉛直方向）に沿うことになる。
【００５７】
実施形態１においては、第１搬送方向変更部２０は、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートＷ１を、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする（立たせた状態にする）。
【００５８】
第１搬送方向変更部２０は、第１搬送方向変更部２０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備える。当該第１低摩擦ローラーは、実施形態１においては、第１搬送方向変更部２０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても４５°で交わる回転軸を有する。第１低摩擦ローラーとしては、例えば、表面にポリテトラフルオロエチレン等の低摩擦力樹脂によるコーティングが施された回転ローラーを用いることができる。
【００５９】
補助ローラー部３０は、第１搬送方向変更部２０と斜方蒸着部４０との間に配置され、長尺シートＷ１の搬送を補助する。補助ローラー部３０は、補助ローラー３２，３４を備える。補助ローラー３２，３４は、図示しない回転力付加装置（例えば、回転モーター）により回転する。
【００６０】
斜方蒸着部４０は、第１搬送方向変更部２０の後段に配置され、凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着する。よって、一方の面が縦平面に沿う状態の長尺シートＷ１に斜方蒸着を行うことになる。斜方蒸着部４０は、図３に示すように、真空チャンバー４２、蒸着源４４及び真空保持部４６，４８を備える。
真空チャンバー４２は、蒸着時において、内部を蒸着に適した環境（例えば、１０−２Ｐａ〜１０−３Ｐａの低圧環境）に保つ。蒸着源４４及び真空保持部４６，４８は、真空チャンバー４２内に配置されている。真空チャンバー４２は、図示しない真空ポンプ及び排気装置を有する。
【００６１】
蒸着源４４は、長尺シートＷ１に対して斜め下に配置され（図３（ｂ）参照。）、蒸着時において蒸着材料Ｍを収容し加熱する。なお、蒸着材料としては、目的に応じて様々なものを用いることができ、例えば、金属や無機誘電体を用いることができる。実施形態１においては、蒸着材料Ｍはアルミニウムからなる。詳しい説明は省略するが、蒸着源４４は、蒸着材料Ｍを収容するるつぼ及び蒸着材料Ｍを加熱する電子銃（電子ビームを射出する装置）を備える。実施形態１においては、電子銃からの電子ビームによりるつぼ中の蒸着材料Ｍが加熱され、微細な粒子となった蒸着材料Ｍが真空チャンバー４２内に放出される。
【００６２】
実施形態１における斜方蒸着部４０においては、図３に示すように、１個の蒸着源４４を用いているが、本発明はこれに限定されるものではない。斜方蒸着部や長尺シートの大きさ等に合わせて任意の数の蒸着源を用いることができる。
【００６３】
真空保持部４６，４８は、長尺シートＷ１が搬送されるときに開き、蒸着時に閉じることにより、蒸着時において真空チャンバー４２内を蒸着に適した環境に保つ。
【００６４】
補助ローラー部５０は、図１に示すように、斜方蒸着部４０と第２搬送方向変更部６０との間に配置され、長尺シートＷ１の搬送を補助する。補助ローラー部５０は、補助ローラー５２，５４を備える。補助ローラー５２，５４は、図示しない回転力付加装置（例えば、回転モーター）により回転する。
【００６５】
第２搬送方向変更部６０は、斜方蒸着部４０からの長尺シートＷ１の搬送方向を、後段の構成要素（この場合、後段搬送方向変更部７０）に向けて変更する。第２搬送方向変更部６０は、第２搬送方向変更部６０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備える。
【００６６】
当該第２低摩擦ローラーは、実施形態１においては、第２搬送方向変更部６０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても４５°で交わる回転軸を有する。第２低摩擦ローラーとしては、表面にポリテトラフルオロエチレン等の低摩擦力樹脂によるコーティングが施された回転ローラーを用いることができる。
このため、実施形態１においては、第１搬送方向変更部２０と第２搬送方向変更部６０とで同種の構成要素が用いられていることになる。
【００６７】
後段搬送方向変更部７０は、第２搬送方向変更部６０からの長尺シートＷ１の搬送方向を変更して、長尺シートＷ１を、一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿うようにする（長尺シートを寝せた状態にする）。後段搬送方向変更部７０は、後段搬送方向変更部７０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する２本の後段搬送方向変更ローラー７２，７４を備える。後段搬送方向変更ローラー７２，７４は、図示しない回転力付加装置（例えば、回転モーター）により回転し、長尺シートＷ１を搬送する。実施形態１においては、後段搬送方向変更部７０は搬送方向を水平方向に向けて９０°変更する。
このため、実施形態１においては、前段搬送方向変更部１０と後段搬送方向変更部７０とで同種の構成要素が用いられていることになる。
【００６８】
次に、実施形態１に係るスクリーンの製造方法について説明する。
図５は、実施形態１に係るスクリーンの製造方法のフローチャートである。
【００６９】
実施形態１に係るスクリーンの製造方法は、一方の面に複数の凹凸部を有しスクリーンの基材となる長尺シートにおける、凹凸部の一部に蒸着反射層Ｒが選択的に形成されたスクリーンの製造方法であって、図５に示すように、長尺シート準備工程Ｓ１及び蒸着工程Ｓ２を含む。
長尺シート準備工程Ｓ１は、長尺シートＷ１を準備する工程である。長尺シートＷ１の準備については一般的な方法を用いることができ、例えば、プレス成形や型による転写により一方の面の凹凸部（実施形態１においては鋸刃状の山形形状）を形成することにより長尺シートＷ１を準備することができる。
【００７０】
蒸着工程Ｓ２は、実施形態１に係る斜方蒸着装置１を用いて、長尺シートＷ１における凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着し、蒸着反射層Ｒを形成する工程である。具体的には、斜方蒸着装置１を用い、山形形状の広い方（当該山形形状を断面形状としたとき、山形形状における峰で区分される領域のうち、傾斜角度が緩い方の領域）の一部に蒸着材料Ｍを選択的に蒸着して、当該蒸着材料Ｍを蒸着反射層Ｒとする（図４参照。）。その後、長尺シートＷ１を１単位ごとに切り出すことによりスクリーンＳＣＲを製造することができる。
【００７１】
次に、実施形態１に係る斜方蒸着装置１及びスクリーンの製造方法の効果を説明する。
【００７２】
実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着する斜方蒸着部４０を備えるため、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な斜方蒸着装置となる。
【００７３】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、一方の面が縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートＷ１を、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする（長尺シートを立たせた状態にする）第１搬送方向変更部２０を備えるため、立たせた状態の長尺シートを斜方蒸着部に搬送して、立たせた状態の長尺シートに斜方蒸着を行うことが可能となる。
【００７４】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿って搬送される長尺シートＷ１の搬送方向を、第１搬送方向変更部２０の方に向けて変更する前段搬送方向変更部１０を備えるため、前段搬送方向変更部と第１搬送方向変更部とで搬送方向を変更するため、長尺シートを段階的に寝せた状態から立たせた状態にすることとなり、その結果、長尺シートを寝せた状態から立たせた状態にするときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００７５】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、前段搬送方向変更部１０は、前段搬送方向変更部１０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する前段搬送方向変更ローラー１２，１４を備えるため、簡易に、かつ、安定して長尺シートの搬送方向を変更することが可能となる。
【００７６】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、第１搬送方向変更部２０は、第１搬送方向変更部２０を通過するいずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００７７】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、斜方蒸着部４０からの長尺シートＷ１の搬送方向を、後段の構成要素に向けて変更する第２搬送方向変更部６０を備えるため、斜方蒸着部で斜方蒸着した長尺シートを後段の構成要素に向けて搬送することが可能となる。
【００７８】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、第２搬送方向変更部６０からの長尺シートＷ１の搬送方向を変更して、長尺シートＷ１を、一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿うようにする後段搬送方向変更部７０を備えるため、第２搬送方向変更部と後段搬送方向変更部とで搬送方向を変更するため、長尺シートを段階的に立たせた状態から寝せた状態にすることとなり、その結果、長尺シートを立たせた状態から寝せた状態にするときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００７９】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、後段搬送方向変更部７０は、後段搬送方向変更部７０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する後段搬送方向変更ローラー７２，７４を備えるため、簡易に、かつ、安定して長尺シートの搬送方向を変更し、長尺シートを寝せた状態にすることが可能となる。
【００８０】
また、実施形態１に係る斜方蒸着装置１によれば、第２搬送方向変更部６０は、第２搬送方向変更部６０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００８１】
実施形態１に係るスクリーンの製造方法によれば、実施形態１に係る斜方蒸着装置１を用いて長尺シートＷ１における凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着し、蒸着反射層Ｒを形成する工程（蒸着工程Ｓ２）を含むため、プロジェクターからの投写光(特に、斜方から投写される投写光)を主に使用者に向けて反射することが可能な投写用のスクリーンを容易に製造することが可能となる。
【００８２】
［実施形態２］
図６は、実施形態２に係る斜方蒸着装置２を説明するために示す図である。図６（ａ）は斜方蒸着装置２の斜視図であり、図６（ｂ）は斜方蒸着装置２の正面図であり、図６（ｃ）は斜方蒸着装置２の側面図である。図６における矢印は、長尺シートＷ１の搬送方向を示すものである。
図７は、実施形態２における第１水平軸回転部８２を説明するために示す図である。図７（ａ）は第１水平軸回転部８２の斜視図であり、図７（ｂ）は第１水平軸回転部８２の正面図であり、図７（ｃ）は第１水平軸回転部８２の側面図である。
【００８３】
図８は、実施形態２における第１水平軸回転体８３を説明するために示す図である。図８（ａ）は第１水平軸回転体８３の斜視図であり、図８（ｂ）は第１水平軸回転体８３の正面図であり、図８（ｃ）は第１水平軸回転体８３の側面図である。
図９は、実施形態２における第１鉛直軸回転部８６を説明するために示す図である。図９（ａ）は第１鉛直軸回転部８６の斜視図であり、図９（ｂ）は第１鉛直軸回転部８６の正面図であり、図９（ｃ）は第１鉛直軸回転部８６の側面図である。
【００８４】
実施形態２に係る斜方蒸着装置２は、基本的には実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様の構成を有するが、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成が実施形態１に係る斜方蒸着装置１とは異なる。すなわち、実施形態２に係る斜方蒸着装置２においては、図６に示すように、第１搬送方向変更部８０は第１水平軸回転部８２と第１鉛直軸回転部８６とを備え、第２搬送方向変更部９０は第２鉛直軸回転部９２と第２水平軸回転部９６とを備える。
【００８５】
第１水平軸回転部８２は、図６〜図８に示すように、第１搬送方向変更部８２を通過する前の長尺シートＷ１の搬送方向と垂直であり、かつ、水平方向に沿う回転軸８３ａｘを有する１３個の第１水平軸回転体８３からなる。第１水平軸回転体８３は、図８に示すように、回転可能な回転部８４及び固定されている固定部８５を有し、全体として車輪状の形状を有する。第１水平軸回転体８３としては、例えば、ボールベアリングを用いることができる。１３個の第１水平軸回転体８３は、それぞれ固定部８５同士で、４５°の角度で配列するように固定されている。
【００８６】
第１水平軸回転体８３の回転部８４においては、長尺シートＷ１と接触する部分に面取りが施されており、当該面取りの角度は回転軸に対して４５°である。なお、第１水平軸回転体８３と長尺シートＷ１とは斜めに（第１水平軸回転体８３の回転軸に対して４５°で）接する。第１鉛直軸回転体８７、第２鉛直軸回転体９３及び第２水平軸回転体９７についても同様である。実施形態２においては、第１水平軸回転体８３、第１鉛直軸回転体８７、第２鉛直軸回転体９３及び第２水平軸回転体９７と、長尺シートＷ１とは斜めに接するため、上記のような構成とすることにより、第１水平軸回転体８３、第１鉛直軸回転体８７、第２鉛直軸回転体９３及び第２水平軸回転体９７の角で長尺シートＷ１が損傷するのを防止することが可能となる。
【００８７】
第１鉛直軸回転部８６は、図６及び図９に示すように、第１水平軸回転部８２の後段に配置され鉛直方向に沿う回転軸８７ａｘ（図示せず。）を有する１３個の第１鉛直軸回転体８７からなる。第１鉛直軸回転体８７は、第１水平軸回転体８３と向き以外は同様の構成を有するために詳しい説明は省略するが、回転部８８及び固定部８９を有する。１３個の第１鉛直軸回転体８７は、それぞれ固定部８９同士で、４５°の角度で配列するように固定されている。
【００８８】
第２鉛直軸回転部９２は、鉛直方向に沿う回転軸９３ａｘ（図示せず。）を有する１３個の第２鉛直軸回転体９３（符号を図示せず。）からなる。第２鉛直軸回転部９２は、向き以外は第１鉛直軸回転部８６と同様の構成を有する。第２鉛直軸回転体９３は、第１水平軸回転体８３と向き以外は同様の構成を有するために詳しい説明は省略するが、回転部９４及び固定部９５（いずれも符号を図示せず。）を有する。１３個の第２鉛直軸回転体９３は、それぞれ固定部９５同士で、４５°の角度で配列するように固定されている。
【００８９】
第２水平軸回転部９６は、第２鉛直軸回転部９２の後段に配置され、第２搬送方向変更部９６を通過した後の長尺シートＷ１の搬送方向と垂直であり、かつ、水平方向に沿う回転軸９７ａｘ（図示せず。）を有する１３個の第２水平軸回転体９７（符号を図示せず。）からなる。第２水平軸回転部９６は、向き以外は第１水平軸回転部８２と同様の構成を有する。第２水平軸回転体９７は、第１水平軸回転体８３と同様の構成を有するために詳しい説明は省略するが、回転部９８及び固定部９９（いずれも符号を図示せず。）を有する。１３個の第２水平軸回転体９７は、それぞれ固定部９９同士で、４５°の角度で配列するように固定されている。
【００９０】
斜方蒸着装置２における第１搬送方向変更部８０及び第２搬送方向変更部９０は、いずれも長尺シートＷ１の搬送に用いる搬送方向変更装置であって、水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部と、鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部とを備える本発明に係る搬送方向変更装置である。
【００９１】
上記のように、実施形態２に係る斜方蒸着装置２は、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成が実施形態１に係る斜方蒸着装置１とは異なるが、凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着する斜方蒸着部４０を備えるため、実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様に、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な斜方蒸着装置となる。
【００９２】
また、実施形態２に係る斜方蒸着装置２によれば、複数の第１水平軸回転体８３からなる第１水平軸回転部８２と、複数の第１鉛直軸回転体８７からなる第１鉛直軸回転部８６とを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００９３】
また、実施形態２に係る斜方蒸着装置２によれば、長尺シートＷ１が、まず複数の第１水平軸回転体８３からなる第１水平軸回転部８２に接触し、次に複数の第１鉛直軸回転体８７からなる第１鉛直軸回転部８６に接触するため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第１水平軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第１鉛直軸回転体とに長尺シートが段階的に接触することになり、その結果、長尺シートを立たせた状態にするときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００９４】
また、実施形態２に係る斜方蒸着装置２によれば、複数の第２鉛直軸回転体９３からなる第２鉛直軸回転部９２と、複数の第２水平軸回転体９７からなる第２水平軸回転部９６とを備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、長尺シートの搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００９５】
また、実施形態２に係る斜方蒸着装置２によれば、長尺シートＷ１が、まず複数の第２鉛直軸回転体９３からなる第２鉛直軸回転部９２に接触し、次に複数の第２水平軸回転体９７からなる第２水平軸回転部９６に接触するため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第２鉛直軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する第２水平軸回転体とにより、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００９６】
なお、実施形態２に係る斜方蒸着装置２は、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成以外は実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る斜方蒸着装置１が有する効果のうち該当する効果をそのまま有する。
【００９７】
実施形態２に係る搬送方向変更装置（第１搬送方向変更部８０及び第２搬送方向変更部９０）によれば、水平軸回転部（第１水平軸回転部８２及び第２水平軸回転部９６）と鉛直軸回転部（第１垂直軸回転部８６及び第２鉛直軸回転部９２）とを備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【００９８】
また、実施形態２に係る搬送方向変更装置によれば、長尺シートＷ１が、まず水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部に接触し、次に鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部に接触するか、又は、この逆の順番で接触するかであるため、搬送方向変更前の長尺シートの搬送方向に沿って回転する水平軸回転体又は鉛直軸回転体と、搬送方向変更後の長尺シートの搬送方向に沿って回転する鉛直軸回転体又は水平軸回転体とにより、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れをより一層抑制することが可能となる。
【００９９】
［実施形態３］
図１０は、実施形態３に係る斜方蒸着装置３を説明するために示す図である。図１０（ａ）は斜方蒸着装置３の斜視図であり、図１０（ｂ）は斜方蒸着装置３の正面図であり、図１０（ｃ）は斜方蒸着装置３の側面図である。図１０における矢印は、長尺シートＷ１の搬送方向を示すものである。
図１１は、実施形態３における第１斜め回転部（第１搬送方向変更部１００）を説明するために示す図である。図１１（ａ）は第１斜め回転部の斜視図であり、図１１（ｂ）は第１斜め回転部の正面図であり、図１１（ｃ）は第１斜め回転部の側面図である。
図１２は、実施形態３における第１斜め回転体１０２を説明するために示す図である。図１２（ａ）は第１斜め回転体１０２の斜視図であり、図１２（ｂ）は第１斜め回転体１０２を回転軸１０２ａｘに垂直な方向から見る図であり、図１２（ｃ）は第１斜め回転体１０２を回転軸１０２ａｘに沿う方向から見る図である。
【０１００】
実施形態３に係る斜方蒸着装置３は、基本的には実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様の構成を有するが、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成が実施形態１に係る斜方蒸着装置１とは異なる。すなわち、実施形態３に係る斜方蒸着装置３においては、図１０に示すように、第１搬送方向変更部１００は第１斜め回転部を備え、第２搬送方向変更部１１０は第２斜め回転部を備える。
【０１０１】
第１斜め回転部は、図１０及び図１１に示すように、第１搬送方向変更部１００を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸１０２ａｘを有する１３個の第１斜め回転体１０２からなる。第１斜め回転体１０２は、図１２に示すように、回転可能な回転部１０３及び固定されている固定部１０４を有し、全体として車輪状の形状を有する。第１斜め回転体１０２は、例えば、ボールベアリングを用いることができる。１３個の第１斜め回転体１０２は、第１搬送方向変更部１００を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても４５°の回転軸を有し、固定部１０４同士でそれぞれの回転軸が一致するように固定されている。
【０１０２】
第２斜め回転部は、図１０及び図１１に示すように、第２搬送方向変更部１１０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても斜めの回転軸１１２ａｘ（図示せず。）を有する１３個の第２斜め回転体１１２（符号を図示せず。）からなる。第２斜め回転体１１２は、第１斜め回転体１０２と向き以外は同様の構成を有するために詳しい説明は省略するが、回転部１１３及び固定部１１４（いずれも符号を図示せず。）を有する。１３個の第２斜め回転体１１２は、第２搬送方向変更部１１０を通過する前後いずれの長尺シートＷ１の搬送方向に対しても４５°の回転軸を有し、それぞれ固定部１１４同士で、それぞれの回転軸が一致するように固定されている。
【０１０３】
上記のように、実施形態３に係る斜方蒸着装置３は、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成が実施形態１に係る斜方蒸着装置１とは異なるが、凹凸部の一部に蒸着材料Ｍを斜方蒸着する斜方蒸着部４０を備えるため、実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様に、少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートを用いた場合、凹凸部の一部に蒸着材料を選択的に蒸着することが可能な斜方蒸着装置となる。
【０１０４】
また、実施形態３に係る斜方蒸着装置３によれば、複数の第１斜め回転体１０２からなる第１斜め回転部を備えるため、長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【０１０５】
また、実施形態３に係る斜方蒸着装置３によれば、複数の第２斜め回転体１１２からなる第２斜め回転部を備えるため、斜方蒸着部からの長尺シートの搬送方向を変更するときにおいて、長尺シートの一方の端と他方の端との進行方向の差異を緩和し、搬送方向を変更するときの長尺シートの捩れを抑制することが可能となる。
【０１０６】
なお、実施形態３に係る斜方蒸着装置３は、第１搬送方向変更部及び第２搬送方向変更部の構成以外は実施形態１に係る斜方蒸着装置１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る斜方蒸着装置１が有する効果のうち該当する効果をそのまま有する。
【０１０７】
以上、本発明を上記の実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。その趣旨を逸脱しない範囲において種々の様態において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。
【０１０８】
（１）上記各実施形態において記載した斜方蒸着装置の構成要素や長尺シートの数、材質、形状等は例示であり、本発明の効果を損なわない範囲において変更することが可能である。例えば、前段搬送方向変更部、後段搬送方向変更部及び補助ローラー部はいずれも２本のローラーを備えるものとして記載したが、１本のローラーを備えるものとしてもよいし、３本以上のローラーを備えるものとしてもよい。
【０１０９】
（２）上記各実施形態においては、図２に示すような長尺シートＷ１を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図１３は、変形例１における長尺シートＷ２を説明するために示す図である。図１３（ａ）は長尺シートＷ２の１単位を示す平面図であり、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＡ２−Ａ２断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。図１４は、変形例２における長尺シートＷ３を説明するために示す図である。図１４（ａ）は長尺シートＷ３の１単位を示す平面図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＡ３−Ａ３断面の一部を拡大して示す部分拡大断面図である。本発明においては、例えば、図１３に示すような長尺シート（図１３（ａ）に示す１単位を紙面横方向に連結したパターンを有する長尺シートＷ２）や図１４に示すような長尺シート（図１４（ａ）に示す１単位を紙面横方向に連結したパターンを有する長尺シートＷ３）を用いてもよい。
【０１１０】
（３）上記各実施形態においては、第２搬送方向変更部及び後段搬送方向変更部７０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。第２搬送方向変更部及び後段搬送方向変更部を備えなくてもよく、この場合、例えば、第２搬送方向変更部及び後段搬送方向変更部の代わりに長尺シートを立たせた状態のまま巻き取る長尺シート巻き取り部を備えてもよい。
【０１１１】
（４）上記各実施形態においては、第１搬送方向変更部と第２搬送方向変更部とで同種の構成要素（ローラーや回転体）を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。第１搬送方向変更部と第２搬送方向変更部とで異なる構成要素（一例を挙げれば、実施形態１における第１搬送方向変更部２０と実施形態２における第２搬送方向変更部９０との組み合わせ）を用いてもよい。また、上記各実施形態においては、前段搬送方向変更部と後段搬送方向変更部とも同種の構成要素を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。前段搬送方向変更部と後段搬送方向変更部とで異なる構成要素を用いてもよい。
【０１１２】
（５）上記各実施形態においては、前段搬送方向変更部１０及び後段搬送方向変更部７０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。前段搬送方向変更部を備えなくてもよく、この場合、例えば、長尺シートを繰り出す繰り出しローラーを代わりに備えるものとすることができる。また、後段搬送方向変更部を備えなくてもよく、この場合、例えば、長尺シートを巻き取る巻き取りローラーを代わりに備えるものとすることができる。
【０１１３】
（６）上記各実施形態において記載した各構成要素の回転軸の角度や配置角度は例示であり、本発明の効果を損なわない範囲において変更することが可能である。
【０１１４】
（７）上記各実施形態においては、斜方蒸着部４０の前後に配置された補助ローラー部３０，５０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。補助ローラー部を用いなくてもよい。また、さらに多くの補助ローラー部を用いてもよい。さらにまた、異なる位置（例えば、第１搬送方向変更部の前後や、前段搬送方向変更部と第１搬送方向変更部との間）に配置される補助ローラー部を用いてもよい。
【０１１５】
（８）上記実施形態１においては、長尺シート準備工程Ｓ１及び蒸着工程Ｓ２を含むスクリーンの製造方法を例にとって本発明のスクリーンの製造方法を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明のスクリーンの製造方法においては、上記工程以外にも既知の方法を用いる種々の工程（例えば、蒸着工程後の後処理工程や仕上工程）を含んでもよい。
【０１１６】
（９）上記実施形態２においては、本発明の搬送方向変更装置を本発明の斜方蒸着装置２に適用した場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明の搬送方向変更装置は、長尺シートの搬送方向を変更する構成要素を含む装置であれば、種々の装置（長尺シート搬送装置等）に適用することができる。
【０１１７】
（１０）上記各実施形態においては、長尺シートＷ１の搬送方向を９０°変更する前段搬送方向変更部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。長尺シートの搬送方向を９０°以外の角度に変更する前段搬送方向変更部を用いてもよい。この場合、長尺シートは、一方の面が斜めの平面に沿う状態で第１搬送方向変更部に向かうため、一方の面が縦平面以外の平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿うということになる。なお、この場合、第１搬送方向変更部の角度（ローラーを有する場合はローラーの回転軸の角度。複数の回転体を有する場合は回転体の配列角度。）は、第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの長尺シートの搬送方向に対しても４５°以外の角度となる。本発明における第１搬送方向変更部は、上記のように、一方の面が縦平面以外の平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにするものであってもよい。また、後段搬送方向変更部についても同様である。
【０１１８】
（１１）上記各実施形態においては、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにする第１搬送方向変更部を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。一方の面が縦平面以外の平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿う長尺シートを、一方の面が縦平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿うようにしてもよい。長尺シートが「一方の面が縦平面以外の平面に沿い、かつ、搬送方向が縦平面内における水平方向に沿う」状態になる場合としては、例えば、長尺シートが寝た状態であり、その搬送方向が斜方蒸着部の内部における長尺シートの搬送方向と同様である場合を挙げることができる。この場合、第１搬送方向変更部は、長尺シートの搬送方向を変えずに長尺シートを捻って長尺シートを立たせるようにするもの（例えば、角度を変更する複数のローラーを備えるもの）となる。
【符号の説明】
【０１１９】
１，２，３…斜方蒸着装置、１０…前段搬送方向変更部、１２，１４…前段搬送方向変更ローラー、２０，８０，１００…第１搬送方向変更部、３０，５０…補助ローラー部、３２，３４，５２，５４…補助ローラー、４０…斜方蒸着部、４２…真空チャンバー、４４…蒸着源、４６，４８…真空保持部、６０，９０，１１０…第２搬送方向変更部、７０…後段搬送方向変更部、７２，７４…後段搬送方向変更ローラー、８２…第１水平軸回転部、８３…第１水平軸回転体、８３ａｘ，１０２ａｘ…回転軸、８４，８８，１０３…回転部、８５，８９，１０４…固定部、８６…第１鉛直軸回転部、８７…第２鉛直軸回転体、９２…第２鉛直軸回転部、９６…第２水平軸回転部、１０２…第１斜め回転体、Ｍ…蒸着物質、Ｒ…蒸着反射層、ＳＣＲ…スクリーン、Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３…長尺シート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートに、前記一方の面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿う状態で斜方蒸着を行う斜方蒸着装置であって、
前記一方の面が前記縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が前記縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、前記一方の面が前記縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿うようにする第１搬送方向変更部と、
前記第１搬送方向変更部の後段に配置され、前記凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する斜方蒸着部とを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の斜方蒸着装置において、
前記一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿って搬送される前記長尺シートの搬送方向を、前記第１搬送方向変更部の方に向けて変更する前段搬送方向変更部をさらに備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項３】
請求項２に記載の斜方蒸着装置において、
前記前段搬送方向変更部は、前記前段搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する前段搬送方向変更ローラーを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第１搬送方向変更部は、
前記第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第１搬送方向変更部は、
前記第１搬送方向変更部を通過する前の前記長尺シートの前記一方の面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の第１水平軸回転体からなる第１水平軸回転部と、
前記第１水平軸回転部の後段に配置され鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の第１鉛直軸回転体からなる第１鉛直軸回転部とを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第１搬送方向変更部は、
前記第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有する複数の第１斜め回転体からなる第１斜め回転部を備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記斜方蒸着部からの前記長尺シートの搬送方向を、後段の構成要素に向けて変更する第２搬送方向変更部をさらに備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項８】
請求項７に記載の斜方蒸着装置において、
前記第２搬送方向変更部からの前記長尺シートの搬送方向を変更して、前記長尺シートを、前記一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿うようにする後段搬送方向変更部をさらに備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項９】
請求項８に記載の斜方蒸着装置において、
前記後段搬送方向変更部は、前記後段搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する後段搬送方向変更ローラーを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項１０】
請求項７〜９のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第２搬送方向変更部は、
前記第２搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項１１】
請求項７〜９のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第２搬送方向変更部は、
鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の第２鉛直軸回転体からなる第２鉛直軸回転部と、
前記第２鉛直軸回転部の後段に配置され、前記第２搬送方向変更部を通過した後の前記長尺シートの前記一方の面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の第２水平軸回転体からなる第２水平軸回転部とを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項１２】
請求項７〜９のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第２搬送方向変更部は、
前記第２搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有する複数の第２斜め回転体からなる第２斜め回転部を備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項１３】
少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有しスクリーンの基材となる長尺シートにおける、前記凹凸部の一部に蒸着反射層が選択的に形成されたスクリーンの製造方法であって、
請求項１〜１２のいずれかに記載の斜方蒸着装置を用いて、前記長尺シートにおける前記凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着し、前記蒸着反射層を形成する工程を含むことを特徴とするスクリーンの製造方法。
【請求項１４】
長尺シートの搬送に用いる搬送方向変更装置であって、
前記搬送方向変更装置を通過する前の前記長尺シートの面又は前記搬送方向変更部を通過した後の前記長尺シートの面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部と、
鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部とを備えることを特徴とする搬送方向変更装置。
【請求項１】
少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有する長尺シートに、前記一方の面が鉛直方向を含む縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿う状態で斜方蒸着を行う斜方蒸着装置であって、
前記一方の面が前記縦平面以外の平面に沿う、又は、搬送方向が前記縦平面内における水平方向以外の方向に沿う長尺シートを、前記一方の面が前記縦平面に沿い、かつ、搬送方向が前記縦平面内における水平方向に沿うようにする第１搬送方向変更部と、
前記第１搬送方向変更部の後段に配置され、前記凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着する斜方蒸着部とを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の斜方蒸着装置において、
前記一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿って搬送される前記長尺シートの搬送方向を、前記第１搬送方向変更部の方に向けて変更する前段搬送方向変更部をさらに備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項３】
請求項２に記載の斜方蒸着装置において、
前記前段搬送方向変更部は、前記前段搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する前段搬送方向変更ローラーを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第１搬送方向変更部は、
前記第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第１低摩擦ローラーを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第１搬送方向変更部は、
前記第１搬送方向変更部を通過する前の前記長尺シートの前記一方の面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の第１水平軸回転体からなる第１水平軸回転部と、
前記第１水平軸回転部の後段に配置され鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の第１鉛直軸回転体からなる第１鉛直軸回転部とを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第１搬送方向変更部は、
前記第１搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有する複数の第１斜め回転体からなる第１斜め回転部を備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記斜方蒸着部からの前記長尺シートの搬送方向を、後段の構成要素に向けて変更する第２搬送方向変更部をさらに備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項８】
請求項７に記載の斜方蒸着装置において、
前記第２搬送方向変更部からの前記長尺シートの搬送方向を変更して、前記長尺シートを、前記一方の面が鉛直方向に対して垂直な面に沿うようにする後段搬送方向変更部をさらに備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項９】
請求項８に記載の斜方蒸着装置において、
前記後段搬送方向変更部は、前記後段搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても垂直な回転軸を有する後段搬送方向変更ローラーを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項１０】
請求項７〜９のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第２搬送方向変更部は、
前記第２搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有し、表面の摩擦力が低い第２低摩擦ローラーを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項１１】
請求項７〜９のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第２搬送方向変更部は、
鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の第２鉛直軸回転体からなる第２鉛直軸回転部と、
前記第２鉛直軸回転部の後段に配置され、前記第２搬送方向変更部を通過した後の前記長尺シートの前記一方の面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の第２水平軸回転体からなる第２水平軸回転部とを備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項１２】
請求項７〜９のいずれかに記載の斜方蒸着装置において、
前記第２搬送方向変更部は、
前記第２搬送方向変更部を通過する前後いずれの前記長尺シートの搬送方向に対しても斜めの回転軸を有する複数の第２斜め回転体からなる第２斜め回転部を備えることを特徴とする斜方蒸着装置。
【請求項１３】
少なくとも一方の面に複数の凹凸部を有しスクリーンの基材となる長尺シートにおける、前記凹凸部の一部に蒸着反射層が選択的に形成されたスクリーンの製造方法であって、
請求項１〜１２のいずれかに記載の斜方蒸着装置を用いて、前記長尺シートにおける前記凹凸部の一部に蒸着材料を斜方蒸着し、前記蒸着反射層を形成する工程を含むことを特徴とするスクリーンの製造方法。
【請求項１４】
長尺シートの搬送に用いる搬送方向変更装置であって、
前記搬送方向変更装置を通過する前の前記長尺シートの面又は前記搬送方向変更部を通過した後の前記長尺シートの面に沿い、かつ、水平方向に沿う回転軸を有する複数の水平軸回転体からなる水平軸回転部と、
鉛直方向に沿う回転軸を有する複数の鉛直軸回転体からなる鉛直軸回転部とを備えることを特徴とする搬送方向変更装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１２−２５１２１８（Ｐ２０１２−２５１２１８Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１２５０８７（Ｐ２０１１−１２５０８７）
【出願日】平成２３年６月３日（２０１１．６．３）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年６月３日（２０１１．６．３）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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